KR101727712B1 - 터치 패널, 배선 구조 및 배선 구조를 형성하기 위한 방법 - Google Patents

터치 패널, 배선 구조 및 배선 구조를 형성하기 위한 방법 Download PDF

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Abstract

터치 패널은 기판, 도전성 센싱 층, 절연 층 및 도전성 라인 층을 포함한다. 상기 기판은 중앙부와 제1 주변부를 포함한다. 상기 도전성 센싱 층은 상기 중앙부 상에 배치된다. 상기 절연 층은 제2 주변부를 포함하고, 상기 제2 주변부는 도랑 구조를 가지며 제1 주변부 상에 배치된다. 상기 도전성 라인 층은 상기 도랑 구조 내에 배치되고, 상기 도전성 센싱 층에 전기적으로 연결된다. 배선 구조 및 배선 구조를 형성하기 위한 방법이 또한 제공된다.

Description

터치 패널, 배선 구조 및 배선 구조를 형성하기 위한 방법{TOUCH PANEL AND WIRING STRUCTURE AND METHOD FOR FORMING WIRING STRUCTURE}
본 발명은 배선 구조에 관한 것이며, 더욱 상세하게는, 터치 패널에 결속된 배선 구조 및 그 배선 구조를 형성하는 방법에 관한 것이다.
본 출원은 참조에 의해 전체로서 본원에 인용되어 개시되는, 대만 특허청에 2014년 5월 20일에 출원한 대만 특허 출원 제103117697의 이점을 주장하고 있다.
도 1a 및 도 1b는 종래 기술에서 터치 패널(10)의 평면도 및 정면도를 개략적으로 도시한 것으로서 이를 참조하여 설명한다. 도 1b는 도 1a에서 표시된 참조선 AA' 에서의 개략적인 정면 단면도를 나타낸다. 터치 패널(10)은 기판(11), 도전성 센싱 층(12), 절연 층(13), 도전성 센싱 층(14), 도전성 라인 층(15), 보호 층(16), 전극 층(17) 및 패드 층(18)을 포함한다. 기판(11)은 중앙부(111)와 상기 중앙부(111)에 연결된 주변부(112)를 포함한다. 도전성 센싱 층(12)은 기판(11)의 중앙부(111)에 배치되고, 라인 연장 방향(DR1)을 갖는다.
절연 층(13)은 도전성 센싱 층(12) 상에 배치되고, 도전성 센싱 층(14)으로부터 도전성 센싱 층(12)을 절연시킨다. 도전성 센싱 층(14)은 절연 층(13) 상에 배치되고, 라인 연장 방향(DR2)를 갖는다. 라인 연장 방향 들(DR1, DR2)은 각각 X축 방향과 Y축 방향이고; 또는, 라인 연장 방향 들(DR1, DR2)은 각각 Y축 방향과 X축 방향이다. 도전성 라인 층(15)은 기판(11)의 주변부(112)에 배치되고, 도전성 센싱 층(12, 14)에 전기적으로 접속된다. 보호 층(16)은 도전성 센싱 층(14), 절연 층(13) 및 도전성 센싱 층(12)을 포함한다. 전극 층(17)은, 다수의 전극(171, 172, ...... 176)을 포함하고, 도전성 라인 층(15)으로부터 연장되고, 도전성 센싱 층(12, 14)와 연결된다. 패드 층(18)은 기판(11)의 주변부(112)에 배치되고, 다수의 패드(181, 182 ... 186)를 포함하며, 도전성 라인 층(15)에 전기적으로 연결된다.
도전성 라인 층(15)은 다수의 도전성 라인들(151, 152 156)을 포함한다. 만일 이 다수의 도전성 라인들(151, 152 ... 156)을 가늘게 하는 것이 바람직한 경우, 레이저 에칭 공정이나 감광 금속 슬러리의 리소그래피 공정이 채용되어야 하며, 따라서 다수의 도전성 라인들(151, 152, ... 156)의 미세화를 달성할 수 있다.
본 발명의 일 측면은 다수의 도전성 라인들을 가늘게 하기 위하여 터치 패널의 다수의 도전성 라인들을 제조하기 위한 개선된 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따라서 터치 패널을 제공하는 것이다. 터치 패널은 기판, 도전성 센싱 층, 절연 층 및 도전성 라인 층을 포함한다. 기판은 중앙부와 제1 주변부를 포함한다. 도전성 센싱 층은 중앙부에 배치된다. 절연 층은 제2 주변부를 포함하며, 상기 제2 주변부는 도랑(trench) 구조를 가지며, 상기 제1 주변부에 배치된다. 도전성 라인 층은 도랑(trench) 구조에 배치되고, 도전성 센싱 층에 전기적으로 연결된다.
또한 본 발명의 다른 실시 예는 배선 구조를 제공하는 것이다. 상기 배선 구조는 기판, 도전성 센싱 층, 절연 층 및 배선 층을 포함한다. 상기 도전성 센싱 층은 상기 기판 상에 배치되며, 센싱 라인을 갖는다. 상기 절연 층은 주변부를 포함하며, 상기 주변부는 도랑(trench) 구조를 갖는다. 상기 배선 층은 도랑 구조 내에 배치되며, 센싱 라인에 전기적으로 연결된다.
또한, 본 발명의 다른 실시 예는 배선 구조를 형성하기 위한 방법을 제공한다. 상기 방법은 다음의 단계를 포함한다. 중앙부와 제1 주변부를 포함하는 기판이 제공된다. 도전성 센싱 층은 상기 중앙부에 형성되며, 제1 도전성 센싱 층은 센싱 라인을 갖는다. 절연 층은 상기 제1 주변부에 형성되며, 상기 절연 층은 제2 주변부를 포함한다. 도랑(trench) 구조는 상기 제2 주변부에 형성된다. 배선 층은 상기 도랑 구조 내에 형성되며, 상기 배선 층은 상기 센싱 라인에 전기적으로 연결된다.
본 발명에 따르면, 다수의 도전성 라인들을 가늘게 할 수 있도록, 터치 패널의 다수의 도전성 라인들을 제조하기 위한 개선된 방법이 제공될 수 있다.
본 발명의 상기 및 다른 특징 및 장점은 도면을 참조하여 이하 설명에 의해 보다 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1a 및 도 1b는 종래기술에서 터치 패널의 평면도와 정면도를 도시한 각각의 개략도이다.
도 2a 및 도 2b는 각각 본 발명의 다양한 실시 예에 따른 터치 패널의 평면도와 정면도를 도시한 개략도이다.
도 3a 및 도 3b는 각각 본 발명의 다양한 실시 예에 따른 터치 패널의 평면도 및 정면도를 도시한 개략도이다.
본 발명을 하기 실시 예를 참조하여 보다 구체적으로 설명한다. 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 하기 설명들은 예시 및 설명만의 목적을 위해 제시되는 것을 주목해야 한다. 이것은 개시된 정확한 형태에만 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 다양한 실시 예에 따른 터치 패널(20)의 평면도와 정면도를 도시한 각각의 개략도인 도 2a 및 도 2b를 참조하기로 한다. 도 2b 는 도 2a에 표시된 표시 기준선 BB'에서 정면 개략 단면도를 나타낸다. 터치 패널(20)은 기판(21), 도전성 센싱 층(22), 절연 층(23) 및 도전성 라인 층(25)을 포함한다. 기판(21)은 중앙부(211)와, 상기 중앙부(211)와 연계된 주변부(212)를 포함한다. 예를 들어, 기판(21)은 투명 절연 기판이며, 딱딱하거나 유연할 수 있다.
몇 가지 실시 예에서, 기판(21)은 중앙부(211)와, 상기 중앙부(211)에 연결되는 4 개의 측면부(215, 216, 217, 218)을 포함하며; 그리고 주변부(212)는 4개의 측면부(215, 216, 217, 218)로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함한다. 측면부(217, 218)는 측면부(215, 216)에 각각 반대편이며; 그리고 상기 측면부(216, 218) 각각은 측면부(215, 217)에 인접한다. 예를 들어, 기판(21)의 중앙부(211)는 터치 감지를 위해 사용되며, 기판(21)의 주변부(212)는 배선 배열 및/또는 장식을 위해 사용된다.
일부 실시 예에서, 도전성 센싱 층(22)은 기판(21)의 중앙부(211) 상에 배치된다. 도전성 센싱 층(22)은 다수의 센싱 라인(221, 222 ... 226)을 포함하고, 라인 연장 방향(DR3)을 가진다. 다수의 센싱 라인들(221, 222, ... 226)은 센싱 라인 어레이를 구성하며; 다수의 센싱 라인(221, 222 ... 226)의 각 센싱 라인은 라인 연장 방향(DR3)으로 연장된다. 예를 들어, 상기 도전성 센싱 층(22)은 투명한 도전성 감지 층이다.
몇몇 실시 예에서, 절연 층(23)은 중앙부(231)과 상기 중앙부(231)와 연계된 주변부(232)를 포함한다. 절연 층(23)의 중앙부(231)는 도전성 센싱 층(22) 상에 배열되고; 절연 층(23)의 주변부(232)는 도랑(trench) 구조(235)를 가지며, 기판(21)의 주변부(212) 상에 배치된다. 예를 들어, 절연 층(23)은 투명한 유전체 층이다. 일부 실시 예에서, 절연 층(23)은 수지 성분의 유전체 물질의 재료이며; 예를 들어, 수지는 감광성 수지 또는 열경화성 수지이다. 예를 들어, 절연 층(23)은 리소그래피 공정이나 인쇄 공정을 이용하여 형성되고; 상기 인쇄 공정은 스크린 인쇄 법이나 전사 인쇄법이다. 예를 들어, 도랑 구조(235) 및 절연 층(23)의 주변부(232) 각각은 기판(21)의 주변부(212) 상에 배치된다.
몇몇 실시 예에서, 도전성 라인 층(25)은 도랑 구조(235) 내에 배치되고, 도전성 센싱 층(22)에 전기적으로 연결된다. 도전성 라인 층(25)의 재질은 금속, 카본 나노 튜브, 건조된 도전성 슬러리, 산화 인듐 주석 (ITO) 또는 다른 도전성 재료일 수 있다. 도전성 라인 층(25)은 스크린 인쇄 공정을 이용하여 제조될 수 있다. 도전성 라인 층(25)은 증착 공정과 에칭 공정을 이용하여 제조될 수 있다. 일부 실시 예에서, 도전성 라인 층(25)의 재료는 건조된 도전성 슬러리(slurry)이며, 그리고 스크린 인쇄 공정을 이용하여 형성되며, 상기 도전성 라인 층(25)은 금속 실버를 포함하는 재료를 포함한다.
몇몇 실시 예에서, 터치 패널(20)은 도전성 센싱 층(24) 및 보호 층(26)을 더 포함한다. 도전성 센싱 층(22)는 기판(21)에 연결된다. 절연 층(23)은 기판(21) 및 2 개의 도전성 센싱 층(22, 24)에 연결된다. 보호 층(26)은 도전성 센싱 층(24)에 연결된다. 도전성 라인 층(25)은 기판(21) 및 2 개의 도전성 센싱 층(22, 24)에 연결된다. 도전성 센싱 층(22)은 기판(21)과 절연 층(23) 사이에 배치된다. 절연 층(23)이 2개의 도전성 센싱 층(22, 24) 사이에 배치된다.
몇몇 실시 예에서, 상기 도전성 센싱 층(24)은 적어도 부분적으로 절연 층(23)의 중앙부(231) 상에 배치된다. 도전성 센싱 층(24)은 다수의 센싱 라인(241, 242 ... 246)을 포함하고, 라인 연장 방향(DR4)를 가진다. 다수의 센싱 라인(241, 242, ... 246)은 센싱 라인 어레이를 구성한다; 다수의 센싱 라인(241, 242, ... 246)의 각각의 센싱 라인은 라인 연장 방향(DR4)으로 연장된다. 예를 들어, 상기 도전성 센싱 층(24)은 투명한 도전성 센싱 층이고; 그리고 도전성 센싱 층(24)의 라인 확장 방향(DR4)은 도전성 센싱 층(22)의 라인 연장 방향(DR3)과 교차한다. 예를 들어, 라인 연장 방향(DR3, DR4)은 각각 X축 방향과 Y축 방향이고; 또는, 라인 연장 방향(DR3, DR4)는 각각 Y축 방향과 X축 방향이다.
몇몇 실시 예에서, 보호 층(26)은 도전성 센싱 층(22), 절연 층(23)의 중앙부(231)와 도전성 센싱 층(24)을 덮고 있다. 일부 실시 예에서, 보호 층(26)의 제조는 불필요한 공정이며; 그리고 통상의 기술자는, 제품의 설계 요구에 따라, 보호 층(26)을 제조할 것인지 여부를 선택할 수 있다. 예를 들어, 보호 층(26)은 투명한 절연 보호 층이다.
몇몇 실시 예에서, 도전성 라인 층(25)은 도전성 센싱 층(24)에 전기적으로 연결되고, 다수의 도전성 라인들(251, 252 ... 256)과 다수의 도전성 라인들(351, 352 ... 356)을 포함한다. 다수의 도전성 라인들(251, 252 ... 256)은 다수의 센싱 라인들(221, 222, ... 226)에 각각 전기적으로 연결되며; 그리고 다수의 도전성 라인들(351, 352, 356)은 다수의 센싱 라인들(241, 242 ... 246)에 각각 전기적으로 연결된다. 일부 실시 예에서, 도랑 구조(235)는 다수의 도랑들(2351, 2352, ... 2356)과 다수의 도랑들(3351, 3352, ... , 3356)을 포함한다. 다수의 도전성 라인들(251, 252, ... 256)은 다수의 도랑들(2351, 2352, ... 2356)에 각각 배치되고; 다수의 도전성 라인들(351, 352, ... 356)은 다수의 도랑들(3351, 3352, ... 3356)에 각각 배치된다. 예를 들어, 다수의 도랑들(2351, 2352, ... 2356), 및 다수의 도랑들(3351, 3352, ... 3356)은, 그 폭이 20㎛ 에서 30㎛ 범위인 것을 특징으로 하는 특정한 도전성 라인을 포함한다.
몇몇 실시 예에서, 터치 패널(20)은 전극 층(27)과 패드 층(28)을 더 포함한다. 전극 층(27)은 도전성 라인 층(25)으로부터 연장되고, 상기 도전성 센싱 층(22, 24)과 접속하고 있다. 전극 층(27)은 다수의 전극들(271, 272, ... 276) 및 다수의 전극들(371, 372, ... 376)을 포함한다. 일부 실시 예에서, 패드 층(28)은 도전성 라인 층(25)에 전기적으로 연결되고, 다수의 패드들(281, 282, ... 286)과 다수의 패드들(381, 382, ... 386)을 포함한다. 다수의 패드들(281, 282, ... 286)은 각각 다수의 도전성 라인들(251, 252, ... 256)에 전기적으로 연결되며, 그리고 다수의 도랑들(2351, 2352, ... 2356)내에 각각 배치될 수 있다. 다수의 패드들(381, 382 ... 386)은 다수의 도전성 라인들(351, 352, ... 356)에 각각 전기적으로 연결되고, 다수의 도랑들(3351, 3352, ... 3356)에 각각 배치될 수 있다.
몇몇 실시 예에서, 절연 층(23)의 중앙부(231)는 도전성 센싱 층(24)으로부터 도전성 센싱 층(22)을 절연시킨다. 중앙부(231) 및 절연 층(23)의 주변부(232)는 동일한 재료로 만들어진다. 절연 층(23)의 주변부(232)는 절연 층(23)의 중앙부(231)로부터 연장하거나 연속적으로 연장된다. 절연 층(23)의 중앙부(231)는 도전성 센싱 층(24)으로부터 기판(21)의 중앙부(211)를 분리한다. 일부 실시 예에서, 터치 패널(20)은 정전 용량 방식의 터치 패널이다. 일부 실시 예에서, 도 2a 및 도 2b에서 터치 패널(20)의 구조는 저항성 터치 패널을 적용할 수도 있다. 일부 실시 예에서, 절연 층(23)의 주변부(232)는 절연 층(23)의 중앙부(231)로부터 분리된다.
도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같은 다양한 실시 예에서, 배선 구조(30)는 기판(21), 도전성 센싱 층(22), 절연 층(23) 및 배선 층(29)을 포함한다. 도전성 센싱 층(22)은 기판(21) 상에 배치되며, 센싱 라인(222 등)을 갖는다. 절연 층(23)은 주변부(232)를 포함한다. 상기 절연 층(23)의 주변부(232)는 도랑(trench) 구조(235)를 갖는다. 배선 층(29)은 도랑 구조(235)에 배치되고, 도전성 센싱 층(22)의 센싱 라인 (예: 222)에 전기적으로 접속된다. 예를 들어, 배선 층(29)은 도전성 라인 층(25)이다.
일부 실시 예에서, 배선 구조(30)는 터치 패널(20)에 적용되거나, 터치 패널(20)이며, 그리고 또한 도전성 센싱 층(24) 및 도전성 센싱 층(24)에 결합되는 보호 층(26)을 포함한다. 절연 층(23)은 상기 주변 부(232)과 관련된 중앙 부(231)를 포함한다. 절연 층(23)의 중앙부(231)는 도전성 센싱 층(22) 상에 배치된다. 도전성 센싱 층(24)은 절연 층(23)의 중앙부(231)에 적어도 부분적으로 배치되고, 센싱 라인(241 등)을 갖는다. 보호 층(26)은 도전성 센싱 층(22), 절연 층(23)의 중앙부(231) 및 도전성 센싱 층(24)을 덮는다. 배선 층(29)은 금속 실버를 포함하는 재료를 가지며, 상기 도전성 센싱 층(24)의 센싱 라인(241 등)에 또한 전기적으로 연결된다.
몇몇 실시 예에서, 기판(21)은 중앙부(211) 및 상기 중앙부(211)와 연관된 주변부(212)를 포함한다. 도전성 센싱 층(22)은 기판(21)의 중앙부(211) 상에 배치된다. 절연 층(23)의 중앙부(231)는 도전성 센싱 층(24)으로부터 도전성 센싱 층(22)을 절연하고, 상기 도전성 센싱 층(24)으로부터 기판(21)의 중앙부(211)를 분리한다. 중앙부(231) 및 절연 층(23)의 주변부(232)는 동일한 재료로 만들어진다. 절연 층(23)의 주변부(232)는 기판(21)의 주변부(212) 상에 배치되고, 절연 층(23)의 중앙부(231)로부터 연장된다.
본 발명의 다양한 실시 예에 따른 터치 패널(40)의 평면도 및 정면도를 도시한 개략도인 도 3a 및 도 3b를 참조하여 설명한다. 도 3b는 도 3a에 표시된 참조라인 CC' 에서의 개략적인 정면 단면도를 나타낸다. 터치 패널(40)의 구조는 도 2a 및 도 2b에서 도시된 터치 패널(20)의 구조와 유사하다. 터치 패널(40) 및 터치 패널(20) 사이의 차이를 하기에 설명한다. 도 3a 및 도 3b에서, 터치 패널(40)은 기판(21), 도전성 센싱 층(22), 절연 층(43) 및 도전성 라인 층(25)을 포함한다.
일부 실시 예에서, 절연 층(43)은 중앙부(431)와 상기 중앙부(431)와 관련된 주변 부(432)를 포함한다. 절연 층(43)의 중앙부(431)는 도전성 센싱 층(22) 상에 배치되고; 절연 층(43)의 주변부(432)는 도랑(trench) 구조(235)를 가지며, 기판(21)의 주변부(212) 상에 배치된다. 예를 들어, 절연 층(43)은 투명한 유전체 층이다. 일부 실시 예에서, 절연 층(43)은 수지 재료인 유전체인 물질을 가지며; 예를 들어, 수지는 감광성 수지 또는 열경화성 수지이다. 예를 들어, 절연 층(43)은 리소그래피 공정이나 인쇄 공정을 이용하여 형성되고; 상기 인쇄 공정은 스크린 인쇄 공정 또는 전사 인쇄 공정이 있다. 도전성 라인 층(25)은 도랑 구조(235) 내에 배치되고, 그리고 도전성 센싱 층(22)에 전기적으로 연결된다. 예를 들어, 터치 패널(40)은 정전 용량식 터치 패널이다.
몇몇 실시 예에서, 터치 패널(40)은 도전성 센싱 층(44)과 보호 층(26)을 더 포함한다. 상기 도전성 센싱 층(44)은 절연 층(43)의 중앙부(431)에 적어도 부분적으로 배치된다. 도전성 센싱 층(44)은 다수의 센싱 라인들(441, 442, ... 446)을 포함하고, 라인 연장 방향(DR6)을 갖는다. 다수의 센싱 라인들(441, 442, ... 446)은 센싱 라인 어레이를 구성하며; 다수의 센싱 라인들(441, 442 ... 446)의 각 센싱 라인은 라인 연장 방향(DR6)으로 연장한다. 예를 들어, 도전성 센싱 층(44)는 투명한 도전성 센싱 층이고; 도전성 센싱 층(44)의 라인 연장 방향(DR6)은 도전성 센싱 층(22)의 라인 연장 방향(DR3)과 교차한다. 예를 들어, 라인 연장 방향(DR3, DR6)은 각각 X축 방향과 Y축 방향이고; 또는, 라인 연장 방향(DR3, DR6)는 각각 Y축 방향과 X축 방향이다.
몇몇 실시 예에서, 보호 층(26)은 도전성 센싱 층(22), 절연 층(43)의 중앙부(431) 및 도전성 센싱 층(44)을 덮는다. 중앙부(431) 및 절연 층(43)의 주변부(432)는 동일한 재료로 만들어진다. 절연 층(43)의 주변부(432)는 절연 층(43)의 중앙부(431)로부터 연장하거나 연속적으로 연장한다. 도전성 라인 층(25)은 금속 실버를 포함하는 재료를 가지며, 또한 도전성 센싱 층(44)에 전기적으로 연결된다.
몇몇 실시 예에서, 기판(21)의 중앙부(211)는 3개의 표면 부(2191, 2192, 2193)를 포함하는 특정 표면(219)을 포함한다. 표면 부(2192)는 표면부(2193)으로부터 표면부(2191)를 분리하고, 표면 부(2191) 및 표면 부(2193)에 결합된다. 도전성 센싱 층(22), 절연 층(43)의 중앙부(431) 및 도전성 센싱 층(44)은 표면부(2191, 2192, 2193) 상에 각각 배치된다. 도전성 센싱 층(44)은 센싱 전극부(44A)와 센싱 전극부(44A)에 연결된 브리지 라인 부(44B)를 포함한다. 센싱 전극부(44A)는 기판(21)의 표면부(2193) 상에 배치된다. 브리지 라인부(44B)는 센싱 전극부(44A) 및 절연 층(43)의 중앙부(431) 상에 배치된다. 예를 들어, 특정 표면(219)는 상부 표면이다.
일부 실시 예에서, 센싱 전극부(44A)는 다수의 센싱 전극들(44A1, 44A2, ... 44A6)을 포함하고; 브리지 라인부(44B)는 다수의 브리지 라인들(44B1, 44B2, ... 44B6)을 포함하며; 다수의 브리지 라인(44B1, 44B2, 44B6)의 각각의 브리지 라인(예, 44B2)은 각각의 브리지 라인(44B2)에 인접한 2개의 센싱 전극(44A1, 44A2)을 전기적으로 연결하기 위한 브리지를 형성한다. 일부 실시 예에서, 터치 패널(40)은 전극 층(27)과 패드 층(28)을 더 포함한다.
일부 실시 예들은 도 3a 및 도 3b의 예시에 따라 제공되며, 도전성 센싱 층(22)은 센싱 전극 부(44A)와 다수의 센싱 라인들(221, 222, ... 226)을 포함하고; 도전성 센싱 층(44)은 브리지 라인부(44B)를 포함한다. 예를 들어, 도전성 센싱 층(22)은 센싱 라인(222), 센싱 전극(44A1) 및 센싱 전극(44A2)를 포함하며, 상기 센싱 전극(44A2)는 센싱 라인(222)에 관하여 센싱 전극(44A1)에 반대쪽이다. 센싱 라인(222) 및 절연 층(43)의 중앙부(431)는 표면부(2191) 및 표면부(2192) 상에 각각 배치된다. 제2 센싱 전극들(44A1, 44A2) 각각은 표면부(2193) 상에 배치된다. 도전성 센싱 층(44)은 브리지 라인(44B2)을 포함하며, 상기 브리지 라인(44B2)은 센싱 전극(44A1)으로부터 센싱 전극(44A2)까지 센싱 라인(222)을 가로질러 연장하며, 절연층(43)의 중앙부(431)에 배치된다.
도 3a 및 3b에서 예시에 따라 제공되는 다양한 실시 예에서, 배선 구조(50)는 기판(21), 도전성 센싱 층(22), 절연 층(43) 및 배선 층(29)을 포함한다. 도전성 센싱 층(22)은 기판(21) 상에 배치되고, 센싱 라인(222 등)을 갖는다. 절연 층(43)은 주변부(432)를 포함한다. 절연 층(43)의 주변부(432)는 도랑(trench) 구조(235)를 갖는다. 배선 층(29)은 도랑 구조(235)내에 배치되고, 도전성 센싱 층(22)의 센싱 라인(222 등)에 전기적으로 연결된다. 예를 들어, 배선 층(29)은 도전성 라인 층(25)이며, 센싱 전극(44A1, 44A2)에 전기적으로 연결된다.
몇몇 실시 예에서, 배선 구조(50)는 터치 패널(40)에 봉사하거나, 터치 패널(40)이며, 도전성 센싱 층(44)과 보호 층(26)을 더 포함한다. 절연 층(43), 도전성 라인 층(25) 및 2 개의 도전성 센싱 층(22, 44) 각각은 기판(21)에 결합된다. 보호 층(26)은 도전성 센싱 층(44)에 연결된다. 도전성 센싱 층(22)은 기판(21)과 절연 층(43) 사이에 배치된다. 절연 층(43)은 주변부(432)와 연관된 중앙부(431)를 더 포함하며, 2개의 도전성 센싱 층(22, 44) 사이에 배치되고, 상기 2개의 도전성 센싱 층(22, 44)에 결합된다. 절연 층(43)의 중앙부(431)는 도전성 센싱 층(22) 상에 배치된다. 도전성 센싱 층(44)은 적어도 부분적으로 절연 층(43)의 중앙부(431) 상에 배치되고, 센싱 라인(441 등)을 갖는다. 보호 층(26)은 도전성 센싱 층(22), 절연 층(43)의 중앙부(431) 및 도전성 센싱 층(44)을 덮는다. 배선 층(29)은 금속 실버를 포함하는 재료를 가지며, 그리고 또한 도전성 센싱 층(44)의 센싱 라인(441 등)에 전기적으로 접속된다.
도 2a, 2b, 3a 및 3b에서 예시에 따라 제공되는 다양한 실시 예에서, 배선 구조(30 또는 50)를 형성하기 위한 방법은 하기 단계들을 포함한다. 기판(21)이 제공된다. 상기 기판(21)은 중앙부(211)와, 상기 중앙부(211)와 연관된 주변부(212)를 포함한다. 도전성 센싱 층(22)은 기판(21)의 중앙부(211)에 형성되며, 상기 도전성 센싱 층(22)은 센싱 라인(222 등)을 갖는다. 절연 층(23 또는 43)은 기판(21)의 주변부(212)에 형성되며, 상기 절연 층(23 또는 43)은 주변부(232 또는 432)를 포함한다. 도랑(trench) 구조(235)는 절연 층(23 또는 43)의 주변부(232 또는 432)에 형성된다. 배선 층(29)은 도랑 구조(235) 내에 형성되며, 상기 배선 층(29)은 도전성 센싱 층(22)의 센싱 라인(예컨대 222)에 전기적으로 연결된다.
일부 실시 예에서, 절연 층(23 또는 43)은 주변부(232 또는 432)와 연관된 중앙부(231 또는 431)을 더 형성하며, 상기 절연 층(23 또는 43)의 중앙 부(231 또는 431)는 도전성 센싱 층(22)에 적어도 일부분에 배치된다. 상기 방법은 다음 단계를 더 포함한다. 도전성 센싱 층(24 또는 44)은 절연 층(23)의 중앙부(231) 상에 적어도 부분적으로 형성되며, 상기 도전성 센싱 층(24 또는 44)는 센싱 라인(241 또는 441 등)을 포함하며, 배선 층(29)은 또한 상기 도전성 센싱 층(24 또는 44)의 센싱 라인(241 또는 441 등)에 전기적으로 연결된다. 보호 층(26)은 도전성 센싱 층(22), 절연 층(23 또는 43)의 중앙부(231 또는 431) 및 도전성 센싱 층(24 또는 44)을 덮도록 형성된다.
몇몇 실시 예에서, 도랑(trench) 구조(235)에 배선 층(29)을 형성하는 단계는 다음의 하위 단계들을 포함한다. 도랑 구조(235)는 스크린 프린팅 공정을 이용하여 도전성 슬러리로 채워지며, 상기 도전성 슬러리는 금속 실버를 포함한다. 도전성 슬러리를 건식 도전성 슬러리로 만들기 위하여 건조시킨다. 건식 도전성 슬러리의 일부가 배선 층(29)를 형성하기 위해 제거된다.
일부 실시 예에서, 배선 구조(30 또는 50)은 터치 패널(20 또는 40)에 봉사한다. 건조된 도전성 슬러리의 일부는 연마 공정을 이용하여 제거되며, 상기 연마 공정은 절연 층(23 또는 43)의 주변부(232 또는 432)를 사용하여 정지된다. 절연 층(23 또는 43)의 중앙부(231 또는 431) 및 도랑 구조(235)는 동시에 형성된다. 일부 실시 예에서, 도전성 슬러리의 성분은 금속 분말, 저 융점 유리 분말 및 결합제를 포함하며, 상기 금속 분말은 실버 분말이 바람직하고, 결합제는 터피네올 또는 에틸 셀룰로오스가 바람직하다.
일부 실시 예에서, 기판(21)의 중앙부(211)는 3개의 표면부(2191, 2192, 2193)을 포함하는 특정 표면(219)을 포함한다. 표면부(2192)는 표면부(2193)으로부터 표면부(2191)을 분리하고, 표면부(2191) 및 표면부(2193)에 결합된다. 도전성 센싱 층(22) 및 절연 층(43)의 중앙부(431)는 표면부(2191) 및 표면부(2192) 상에 각각 형성된다. 절연 층(43)의 중앙부(431)에 도전성 센싱 층(44)를 형성하는 단계는 다음의 하위 단계들을 포함한다. 센싱 전극부(44A)는 기판(21)의 표면부(2193) 상에 형성된다. 브리지 라인부(44B)는 센싱 전극부(44A) 및 절연 층(43)의 중앙부(431) 상에 형성된다.
일부 실시 예에서, 도전성 센싱 층(22)은 센싱 전극(44A1) 및 센싱 전극(44A2)를 더 포함하며, 상기 센싱 전극(44A2)은 센싱 라인(222)과 관련하여 센싱 전극(44A1)에 반대쪽에 있다. 센싱 라인(222) 및 절연 층(43)의 중앙부(431)는 표면부(2191) 및 표면부(2192) 상에 각각 배치된다. 센싱 전극(44A1, 44A2) 각각은 표면부(2193)에 배치된다. 상기 방법은 절연 층(43)의 중앙부(431)에 도전성 센싱 층(44)을 형성하기 위한 단계를 포함한다. 절연 층(43)의 중앙부(431)에 도전성 센싱 층(44)을 형성하는 단계는, 절연 층(43)의 중앙부(431)에 브리지 라인(44B2)를 형성하는 하부 단계를 포함하며, 상기 브리지 라인(44B2)은 센싱 전극(44A1)으로부터 상기 센싱 라인(222)을 가로질러 상기 센싱 전극(44A2)까지 연장된다.
종래 기술에서, (다수의 실버 라인과 같은) 다수의 도전성 라인(151, 152, 156)은 터치 패널(10)의 센서의 주변 영역에 배치되며, 상기 센서는 도전성 센싱 층(12), 절연 층(13) 및 도전성 센싱 층(14)을 포함한다. 만약 다수의 도전성 라인(151, 152, ... 156)의 미세화가 바람직한 경우, 감광 금속 슬러리의 레이저 에칭 공정이나 리소그래피 공정이 채용되어야 하며, 따라서 이와 같이 다수의 도전성 라인들(151, 152, ... 156)의 미세화를 달성한다. 본 발명의 몇몇 실시 예에서, (도전성 센싱 층(22 및 24)과 같은) X-라인 및 Y-라인 층들 사이에 배치될 (절연 층(23)과 같은) 유전체 절연 층이 형성될 때, (다수의 도랑들(2351, 2352, ... 2356) 및 다수의 도랑들(3351, 3352, ... 3356)과 같은) 다수의 주변 라인 도랑들은 동시에 제조되며; 그리고 다수의 도랑들은 실버 슬러리 스크린 인쇄 기술을 사용하여 실버 슬러리가 채워지고, 따라서 다수의 실버 배선들의 미세화를 달성한다.
본 발명의 일부 실시 예에서, 다수의 도랑들은 실버 슬러리로 충전되며; 상기 실버 슬러리는 건조된 실버 슬러리를 형성하도록 건조되고; (연마 처리와 같은) 표면 처리는 잔여의 건조된 실버 슬러리를 제거하기 위하여 건조된 실버 슬러리에 시행되며, 따라서 남아있는 건조된 실버 슬러리만이 다수의 도랑들 내에 형성된다. 상기 남아있는 건조된 실버 슬러리는 다수의 실버 라인들의 미세화를 달성하기 위하여 다수의 도전성 라인(251, 252 ... 256) 및 다수의 도랑들(351, 352, ... 356)을 형성한다.
본 개시에는 현재의 가장 실용적이고 바람직한 실시 예로 간주되는 것에 관련하여 설명되었지만, 본 발명은 개시된 실시 예에 제한될 필요가 없는 것으로 이해되어야 한다. 오히려, 다양한 수정 및 그러한 모든 변형 및 유사한 구조를 포함하도록 가장 넓게 해석되어야하는, 첨부된 청구 범위의 사상 및 범위 내에 포함된 유사한 배열을 포함하도록 하는 것이 의도된다.
10, 20, 40 : 터치 패널
11, 21 : 기판
22 : 도전성 센싱 층
23 : 절연 층
24 : 도전성 센싱 층
25 : 도전성 라인 층

Claims (9)

  1. 제1 중앙부와, 제1 표면을 갖는 제1 주변부를 포함하는 기판;
    상기 제1 중앙부 상에 배치되고, 접촉 전극을 갖는 센싱 라인을 포함하는 제1 도전성 센싱 층;
    제2 주변부를 포함하는 절연 층, 여기서 상기 제2 주변부는, 도랑 구조와, 상기 접촉 전극과 결부된 측면부를 가지며, 상기 제1 주변부의 상기 제1 표면 상에 배치되고; 및
    도전성 라인을 포함하고, 상기 도랑 구조에 배치되고, 상기 제1 도전성 센싱 층에 전기적으로 연결되는 도전성 라인 층을 포함하고,
    상기 접촉 전극은 제1 주변을 갖고,
    상기 측면부는, 상기 접촉 전극과 결부된 제1 측과, 제2 주변을 갖고 상기 제1 측의 반대편에 있는 제2 측을 갖고,
    상기 제2 주변부는, 상기 제1 주변 및 상기 제2 주변 사이에 절연층부를 갖고,
    상기 절연층부는, 상기 제1 표면과 마주하는 제2 표면과, 상기 제2 표면의 반대편에 있는 제3 표면을 갖고,
    상기 도랑 구조는 도랑을 포함하고, 상기 도랑은 상기 제3 표면을 지나가고 상기 절연층부 내에 형성되고,
    상기 도전성 라인은, 상기 접촉 전극에 전기적으로 연결되고, 상기 도랑 내에 배치되는 터치 패널로서,
    상기 절연 층은 상기 제1 도전성 센싱 층 상에 배치된 제2 중앙부를 더 포함하고,
    상기 터치 패널은 상기 제2 중앙부 상에 적어도 부분적으로 배치되는 제2 도전성 센싱 층을 더 포함하고,
    상기 도전성 라인 층은 상기 제2 도전성 센싱 층에 전기적으로 더 연결되고,
    상기 제1 중앙부는 특정 표면을 포함하고, 여기서, 상기 특정 표면은 제1 표면부, 제2 표면부 및 제3 표면부를 포함하고, 상기 제2 표면부는 상기 제3 표면부로부터 상기 제1 표면부를 분리하고,
    상기 제1 도전성 센싱 층, 상기 제2 중앙부 및 상기 제2 도전성 센싱 층은 각각 상기 제 1, 제 2 및 제 3 표면부 상에 배치되고,
    상기 제2 도전성 센싱 층은, 상기 제3 표면부 상에 배치되는 센싱 전극부; 및 상기 센싱 전극부 및 상기 제2 중앙부 상에 배치되는 브리지 라인부를 포함하는 터치 패널.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 중앙부와 상기 제2 주변부는 동일한 재료로 제조되고,
    상기 터치 패널은,
    상기 제1 도전성 센싱 층, 상기 제2 중앙부 및 상기 제 2 도전성 센싱 층을 덮는 보호 층을 더 포함하고,
    상기 제2 중앙부는 상기 제2 도전성 센싱 층으로부터 상기 제1 도전성 센싱 층을 절연하고,
    상기 도전성 라인 층은 금속 실버를 포함하고,
    상기 제2 중앙부는 터치 패널이 다른 상태일 때 상기 제2 도전성 센싱 층으로부터 상기 제1 중앙부를 분리하는 터치 패널.
  3. 제1 중앙부와, 제1 표면을 갖는 제1 주변부를 포함하는 기판;
    상기 제1 중앙부 상에 배치되고, 접촉 전극을 갖는 센싱 라인을 포함하는 제1 도전성 센싱 층;
    제2 주변부를 포함하는 절연 층, 여기서 상기 제2 주변부는, 도랑 구조와, 상기 접촉 전극과 결부된 측면부를 가지며, 상기 제1 주변부의 상기 제1 표면 상에 배치되고; 및
    도전성 라인을 포함하고, 상기 도랑 구조에 배치되고, 상기 제1 도전성 센싱 층에 전기적으로 연결되는 도전성 라인 층을 포함하고,
    상기 접촉 전극은 제1 주변을 갖고,
    상기 측면부는, 상기 접촉 전극과 결부된 제1 측과, 제2 주변을 갖고 상기 제1 측의 반대편에 있는 제2 측을 갖고,
    상기 제2 주변부는, 상기 제1 주변 및 상기 제2 주변 사이에 절연층부를 갖고,
    상기 절연층부는, 상기 제1 표면과 마주하는 제2 표면과, 상기 제2 표면의 반대편에 있는 제3 표면을 갖고,
    상기 도랑 구조는 도랑을 포함하고, 상기 도랑은 상기 제3 표면을 지나가고 상기 절연층부 내에 형성되고,
    상기 도전성 라인은, 상기 접촉 전극에 전기적으로 연결되고, 상기 도랑 내에 배치되는 터치 패널로서,
    상기 절연 층은 상기 제1 도전성 센싱 층 상에 배치된 제2 중앙부를 더 포함하고,
    상기 터치 패널은 상기 제2 중앙부 상에 적어도 부분적으로 배치된 제2 도전성 센싱 층을 더 포함하고,
    상기 제1 도전성 센싱 층은 제1 센싱 전극 및 상기 센싱 라인에 관하여 상기 제1 센싱 전극의 반대편에 있는 제2 센싱 전극을 더 포함하고,
    상기 제1 중앙부는 특정 표면을 포함하고, 상기 특정 표면은 제1 표면부, 제2 표면부 및 제3 표면부를 포함하고, 상기 제2 표면부는 상기 제3 표면부로부터 상기 제1 표면부를 분리하고,
    상기 센싱 라인 및 상기 제2 중앙부는 각각 상기 제1 및 제2 표면부 상에 배치되고,
    상기 제1 및 제2 센싱 전극들 각각은 상기 제3 표면부에 배치되고,
    상기 제2 도전성 센싱 층은, 상기 제1 센싱 전극으로부터 상기 센싱 라인을 가로질러 상기 제2 센싱 전극까지 연장되고, 상기 제2 중앙부 상에 배치되는 브리지 라인을 포함하는 터치 패널.
  4. 제1 표면을 갖는 기판;
    상기 기판 상에 배치되고, 접촉 전극을 갖는 제1 센싱 라인을 갖는 제1 도전성 센싱 층;
    제1 주변부를 포함하는 절연 층, 여기서, 상기 제1 주변부는, 도랑 구조와, 상기 접촉 전극과 결부된 측면부를 가지며, 상기 제1 표면 상에 배치되고; 및
    도전성 라인을 포함하고, 상기 도랑 구조 내에 배치되고, 상기 제1 센싱 라인에 전기적으로 연결되는 배선 층을 포함하고,
    상기 접촉 전극은 제1 주변을 갖고,
    상기 측면부는, 상기 접촉 전극과 결부된 제1 측과, 제2 주변을 갖고 상기 제1 측의 반대편에 있는 제2 측을 갖고,
    상기 제1 주변부는, 상기 제1 주변 및 상기 제2 주변 사이에 절연층부를 갖고,
    상기 절연층부는, 상기 제1 표면과 마주하는 제2 표면과, 상기 제2 표면의 반대편에 있는 제3 표면을 갖고,
    상기 도랑 구조는 도랑을 포함하고, 상기 도랑은 상기 제3 표면을 지나가고 상기 절연층부 내에 형성되고,
    상기 도전성 라인은, 상기 접촉 전극에 전기적으로 연결되고, 상기 도랑 내에 배치되는 배선 구조로서,
    상기 절연 층은 상기 제1 도전성 센싱 층 상에 배치된 제1 중앙부를 더 포함하고,
    상기 배선 구조는 상기 제1 중앙부 상에 적어도 부분적으로 배치되고, 제2 센싱 라인을 갖는 제2 도전성 센싱 층을 더 포함하고,
    상기 기판은 제2 중앙부 및 제2 주변부를 포함하고,
    상기 제1 도전성 센싱 층은 상기 제2 중앙부 상에 배치되고,
    상기 제1 주변부는 상기 제 2 주변부 상에 배치되고,
    상기 배선 층은 상기 제2 센싱 라인에 전기적으로 더 접속되고,
    상기 제2 중앙부는 특정 표면을 포함하고, 여기서 상기 특정 표면은 제1 표면부, 제2 표면부 및 제3 표면부를 포함하고, 상기 제2 표면부는 상기 제3 표면부로부터 상기 제1 표면부를 분리하고,
    상기 제1 도전성 센싱 층, 상기 제1 중앙부 및 상기 제2 도전성 센싱 층은 각각 제1, 제2 및 제3 표면부 상에 배치되고,
    상기 제2 도전성 센싱 층은, 상기 제3 표면부 상에 배치되는 센싱 전극부와; 상기 센싱 전극부 및 상기 제1 중앙부 상에 배치된 브리지 라인부를 포함하는 배선 구조.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제1 중앙부 및 상기 제1 주변부는 동일한 재료로 제조되고,
    상기 배선 구조는,
    터치 패널에 적용되고,
    상기 제1 도전성 센싱 층, 상기 제1 중앙부 및 상기 제2 도전성 센싱 층을 덮는 보호 층을 더 포함하고,
    상기 제1 중앙부는 상기 제2 도전성 센싱 층으로부터 상기 제1 도전성 센싱 층을 절연하고,
    상기 배선 층은 금속 실버를 포함하는 재료를 가지고,
    상기 제1 중앙부는 상기 배선 구조가 다른 상태일 때 상기 제2 도전성 센싱 층으로부터 상기 제2 중앙부를 분리하는 배선 구조.
  6. 제1 표면을 갖는 기판;
    상기 기판 상에 배치되고, 접촉 전극을 갖는 제1 센싱 라인을 갖는 제1 도전성 센싱 층;
    제1 주변부를 포함하는 절연 층, 여기서, 상기 제1 주변부는, 도랑 구조와, 상기 접촉 전극과 결부된 측면부를 가지며, 상기 제1 표면 상에 배치되고; 및
    도전성 라인을 포함하고, 상기 도랑 구조 내에 배치되고, 상기 제1 센싱 라인에 전기적으로 연결되는 배선 층을 포함하고,
    상기 접촉 전극은 제1 주변을 갖고,
    상기 측면부는, 상기 접촉 전극과 결부된 제1 측과, 제2 주변을 갖고 상기 제1 측의 반대편에 있는 제2 측을 갖고,
    상기 제1 주변부는, 상기 제1 주변 및 상기 제2 주변 사이에 절연층부를 갖고,
    상기 절연층부는, 상기 제1 표면과 마주하는 제2 표면과, 상기 제2 표면의 반대편에 있는 제3 표면을 갖고,
    상기 도랑 구조는 도랑을 포함하고, 상기 도랑은 상기 제3 표면을 지나가고 상기 절연층부 내에 형성되고,
    상기 도전성 라인은, 상기 접촉 전극에 전기적으로 연결되고, 상기 도랑 내에 배치되는 배선 구조로서,
    상기 배선 구조는 터치 패널에 적용되고,
    상기 절연 층은 상기 제1 도전성 센싱 층 상에 배치된 제1 중앙 부를 더 포함하고,
    상기 배선 구조는 상기 제1 중앙부 상에 적어도 부분적으로 배치된 제2 도전성 센싱 층을 더 포함하고,
    상기 기판은 제2 중앙부 및 제2 주변부를 포함하고,
    상기 제1 도전성 센싱 층은, 상기 제2 중앙부 상에 배치되고, 제1 센싱 전극 및 상기 제1 센싱 라인에 관하여 상기 제1 센싱 전극의 반대편에 있는 제2 센싱 전극을 더 포함하고,
    상기 제1 주변부는 상기 제2 주변부 상에 배치되고,
    상기 배선 층은 상기 제1 및 제2 센싱 전극들 중 적어도 하나에 전기적으로 더 연결되고,
    상기 제2 중앙부는 특정 표면을 포함하고, 여기서, 상기 특정 표면은 제1 표면부, 제 2 표면부 및 제 3 표면부를 포함하고, 상기 제2 표면부는 상기 제3 표면부로부터 상기 제1 표면부를 분리하고,
    상기 제1 센싱 라인과 상기 제1 중앙부는 각각 상기 제1 및 제2 표면부 상에 배치되고,
    상기 제1 및 제2 센싱 전극들 각각은 상기 제3 표면부 상에 배치되고,
    상기 제2 도전성 센싱 층은 브리지 라인을 포함하고, 여기서 상기 브리지 라인은 상기 제1 센싱 전극으로부터 상기 제1 센싱 라인을 가로질러 상기 제2 센싱 전극까지 연장하고, 상기 제1 중앙부 상에 배치되는 배선 구조.
  7. 제1 중앙부 및, 제1 표면을 갖는 제1 주변부를 포함하는 기판을 제공하고,
    상기 제1 중앙부 상에 제1 도전성 센싱 층을 형성하고, 여기서 상기 제1 도전성 센싱 층은 접촉 전극을 갖는 제1 센싱 라인을 가지고,
    상기 제1 주변부 상에 절연 층을 형성하고, 여기서 상기 절연 층은 상기 제1 표면 상에 배치되는 제2 주변부를 포함하고,
    상기 제2 주변부가 상기 접촉 전극과 결부된 측면부를 갖도록 상기 제2 주변부에 도랑 구조를 형성하고,
    상기 도랑 구조에 배선 층을 형성하는 것을 포함하는 방법이고, 여기서 상기 배선 층은 도전성 라인을 포함하고, 상기 제1 센싱 라인에 전기적으로 연결되고,
    상기 접촉 전극은 제1 주변을 갖고,
    상기 측면부는, 상기 접촉 전극과 결부된 제1 측과, 제2 주변을 갖고 상기 제1 측의 반대편에 있는 제2 측을 갖고,
    상기 제2 주변부는, 상기 제1 주변 및 상기 제2 주변 사이에 절연층부를 갖고,
    상기 절연층부는, 상기 제1 표면과 마주하는 제2 표면과, 상기 제2 표면의 반대편에 있는 제3 표면을 갖고,
    상기 도랑 구조는 도랑을 포함하고, 상기 도랑은 상기 제3 표면을 지나가고 상기 절연층부 내에 형성되고,
    상기 도전성 라인은, 상기 접촉 전극에 전기적으로 연결되고, 상기 도랑 내에 배치되고,
    상기 절연 층은 상기 제1 센싱 라인 상에 적어도 부분적으로 배치되는 제2중앙부를 더 형성하고,
    상기 방법은 상기 제1 중앙부 상에 제2 도전성 센싱 층을 형성하는 것을 더 포함하고,
    상기 제2 도전성 센싱 층은 상기 배선 층에 전기적으로 연결되는 제2 센싱 라인을 포함하고,
    상기 제1 중앙부는 특정 표면을 포함하고, 여기서 상기 특정 표면은 제1 표면부, 제2 표면부 및 제3 표면부를 포함하고, 상기 제2 표면부는 상기 제3 표면부로부터 상기 제1 표면부를 분리하고,
    상기 제1 도전성 센싱 층 및 상기 제2 중앙부는 상기 제1 및 제2 표면부 상에 각각 배치되고,
    상기 제1 중앙부 상에 상기 제2 도전성 센싱 층을 형성하는 것은, 상기 제3 표면부 상에 센싱 전극부를 형성하고, 상기 센싱 전극부 및 상기 제2 중앙부 상에 브리지 라인부를 형성하는 것을 포함하는 배선 구조를 형성하는 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 방법은,
    상기 제1 도전성 센싱 층, 상기 제2 중앙부 및 상기 제2 도전성 센싱 층을 덮는 보호 층을 형성하는 것을 더 포함하고,
    상기 도랑 구조에 상기 배선 층을 형성하는 것은,
    스크린 프린팅 공정에 의해 도전성 슬러리로 상기 도랑 구조를 채우고, 여기서 상기 도전성 슬러리는 금속 실버를 포함하고,
    상기 도전성 슬러리를 건조하여 건조된 도전성 슬러리를 형성하고,
    상기 건조된 도전성 슬러리의 일부를 제거하여 상기 배선 층을 형성하는 것을 포함하고,
    상기 건조된 도전성 슬러리의 상기 일부는 연마 공정을 이용하여 제거되고,
    상기 배선 구조는 터치 패널에 적용되고,
    상기 제1 중앙부 및 상기 도랑 구조가 동시에 형성되고,
    상기 제2 중앙부는 상기 방법이 다른 상태에서 수행될 때 상기 제2 도전성 센싱 층으로부터 상기 제1 중앙부를 분리하는 배선 구조를 형성하는 방법.
  9. 제1 중앙부 및, 제1 표면을 갖는 제1 주변부를 포함하는 기판을 제공하고,
    상기 제1 중앙부 상에 제1 도전성 센싱 층을 형성하고, 여기서 상기 제1 도전성 센싱 층은 접촉 전극을 갖는 제1 센싱 라인을 가지고,
    상기 제1 주변부 상에 절연 층을 형성하고, 여기서 상기 절연 층은 상기 제1 표면 상에 배치되는 제2 주변부를 포함하고,
    상기 제2 주변부가 상기 접촉 전극과 결부된 측면부를 갖도록 상기 제2 주변부에 도랑 구조를 형성하고,
    상기 도랑 구조에 배선 층을 형성하는 것을 포함하는 방법이고, 여기서 상기 배선 층은 도전성 라인을 포함하고, 상기 제1 센싱 라인에 전기적으로 연결되고,
    상기 접촉 전극은 제1 주변을 갖고,
    상기 측면부는, 상기 접촉 전극과 결부된 제1 측과, 제2 주변을 갖고 상기 제1 측의 반대편에 있는 제2 측을 갖고,
    상기 제2 주변부는, 상기 제1 주변 및 상기 제2 주변 사이에 절연층부를 갖고,
    상기 절연층부는, 상기 제1 표면과 마주하는 제2 표면과, 상기 제2 표면의 반대편에 있는 제3 표면을 갖고,
    상기 도랑 구조는 도랑을 포함하고, 상기 도랑은 상기 제3 표면을 지나가고 상기 절연층부 내에 형성되고,
    상기 도전성 라인은, 상기 접촉 전극에 전기적으로 연결되고, 상기 도랑 내에 배치되고,
    상기 절연 층은 상기 제1 도전성 센싱 층 상에 적어도 부분적으로 배치되는 제2 중앙부를 더 형성하고,
    상기 방법은 상기 제2 중앙부 상에 제2 도전성 센싱 층을 형성하는 것을 더 포함하고,
    상기 제1 도전성 센싱 층은 제1 센싱 전극과, 상기 제1 센싱 라인에 관하여 상기 제1 센싱 전극의 반대편에 있는 제2 센싱 전극을 더 포함하고,
    상기 배선 층은 상기 제1 및 제2 센싱 전극들 중 적어도 하나에 전기적으로 더 연결되고,
    상기 제1 중앙부는 특정 표면을 포함하고, 여기서, 상기 특정 표면은 제1 표면부, 제2 표면부 및 제3 표면부를 포함하고, 상기 제2 표면부는 상기 제3 표면부로부터 상기 제1 표면부를 분리하고,
    상기 제1 센싱 라인과 상기 제2 중앙부는 각각 상기 제1 및 제2 표면부 상에 배치되고,
    상기 제1 및 제2 센싱 전극들 각각은 상기 제3 표면부 상에 배치되고,
    상기 제2 중앙부 상에 상기 제2 도전성 센싱 층을 형성하는 것은, 상기 제2 중앙부 상에 브리지 라인을 형성하는 것을 포함하고, 여기서 상기 브리지 라인은 상기 제1 센싱 전극으로부터 상기 센싱 라인을 가로질러 상기 제2 센싱 전극까지 연장하는 것을 특징으로 하는 배선 구조를 형성하는 방법.
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