CN104834398B - 触摸面板以及制造触摸面板的方法 - Google Patents

触摸面板以及制造触摸面板的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN104834398B
CN104834398B CN201410676461.0A CN201410676461A CN104834398B CN 104834398 B CN104834398 B CN 104834398B CN 201410676461 A CN201410676461 A CN 201410676461A CN 104834398 B CN104834398 B CN 104834398B
Authority
CN
China
Prior art keywords
touch panel
sensing electrode
wiring
pattern
electrostatic discharge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201410676461.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104834398A (zh
Inventor
李炳珍
姜盛球
金廷玧
林志勋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Display Co Ltd
Original Assignee
Samsung Display Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Display Co Ltd filed Critical Samsung Display Co Ltd
Publication of CN104834398A publication Critical patent/CN104834398A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104834398B publication Critical patent/CN104834398B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
    • G06F3/0443—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a single layer of sensing electrodes
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/0416—Control or interface arrangements specially adapted for digitisers
    • G06F3/04164—Connections between sensors and controllers, e.g. routing lines between electrodes and connection pads
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
    • G06F3/0448—Details of the electrode shape, e.g. for enhancing the detection of touches, for generating specific electric field shapes, for enhancing display quality
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
    • G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
    • G06F2203/04103—Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
    • G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
    • G06F2203/04107—Shielding in digitiser, i.e. guard or shielding arrangements, mostly for capacitive touchscreens, e.g. driven shields, driven grounds

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Position Input By Displaying (AREA)

Abstract

本发明涉及触摸面板以及制造触摸面板的方法。触摸面板包括多个感测电极、多条配线以及静电放电图案。多个感测电极布置在基板上。多条配线从多个感测电极延伸。多条配线的底部表面具有与多个感测电极的底部表面相同的高度。静电放电图案电连接至多条配线。

Description

触摸面板以及制造触摸面板的方法
技术领域
本发明的示例性实施方式涉及触摸面板，并且更具体地，涉及触摸面板以及制造触摸面板的方法。
背景技术
触摸面板是能够通过将物体的触摸转换成电信号来接收信息的装置。触摸面板可被分为电阻型触摸面板、电容型触摸面板、电磁型触摸面板、表面声波(SAW)型触摸面板或者红外型触摸面板。
在制造触摸面板或使用触摸面板时，在触摸面板中可能出现静电流。静电流在感测电极和配线彼此直接接触的部分处可能击穿。
发明内容
本发明的示例性实施方式提供一种具有增加的可靠性的触摸面板。
本发明的示例性实施方式提供一种制造具有增加的可靠性的触摸面板的方法。
根据本发明的示例性实施方式的一方面，提供了一种触摸面板。触摸面板包括多个感测电极、多条配线以及静电放电图案。多个感测电极布置在基板上。多条配线从多个感测电极延伸。多条配线的底部表面具有与多个感测电极的底部表面相同的高度。静电放电图案电连接至多条配线。
在本发明的示例性实施方式中，触摸面板可进一步包括布置在静电放电图案与感测电极之间的绝缘层图案。静电放电图案可包括直接接触配线的第一端部以及与感测电极重叠的第二端部。
在本发明的示例性实施方式中，静电放电图案的第二端部可与配线或感测电极分开。
在本发明的示例性实施方式中，静电放电图案可布置为邻近于其中感测电极直接接触配线的部分。
在本发明的示例性实施方式中，可调整静电放电图案与感测电极的上边缘之间的距离。
在本发明的示例性实施方式中，感测电极和配线可包括多条金属纳米线。静电放电图案可包括依次堆叠的第一导电图案和第二导电图案。
在本发明的示例性实施方式中，感测电极和配线可包括多条银(Ag)纳米线。第一导电图案的电阻可低于第二导电图案的电阻。第二导电图案的抗氧化性可高于第一导电图案的抗氧化性。
在本发明的示例性实施方式中，第一导电图案可包括铜(Cu)，并且第二导电图案可包括钛(Ti)。
在本发明的示例性实施方式中，多条配线可具有第一宽度。静电放电图案可具有第二宽度。第二宽度可小于第一宽度。
在本发明的示例性实施方式中，第一宽度可在第二宽度的两倍到十倍的范围内。
在本发明的示例性实施方式中，基板可包括第一区域和围绕第一区域的至少一侧的第二区域。感测电极可布置在第一区域中。
在本发明的示例性实施方式中，配线可布置在第一区域和第二区域中。配线在第一区域中可具有第一宽度并在第二区域中具有第三宽度。第一宽度可小于第三宽度。
在本发明的示例性实施方式中，触摸面板可进一步包括布置在第二区域中的焊盘部分。第二区域可围绕第一区域的一侧。
在本发明的示例性实施方式中，感测电极可排布在可平行于基板的顶部表面的第一方向和第二方向上。配线可在第一区域中沿第一方向延伸。
在本发明的示例性实施方式中，触摸面板可进一步包括布置在基板上的相对电极。相对电极可具有平坦的形状，从而使相对电极与感测电极不重叠。
在本发明的示例性实施方式中，相对电极可在第一方向上延伸，并且多个感测电极可对应于单个相对电极。
在本发明的示例性实施方式中，相对电极的顶部表面和底部表面可具有与感测电极的顶部表面和底部表面相同的高度。
在本发明的示例性实施方式中，感测电极可排布在平行于基板的顶部表面的第一方向和第二方向上。配线可在第一区域中沿相对于第一方向倾斜的倾斜方向延伸。
在本发明的示例性实施方式中，多个静电放电图案可对应于单条配线。
根据本发明的示例性实施方式的一方面，提供了一种制造触摸面板的方法。在该方法中，在基板上形成感测电极和从感测电极延伸的配线。绝缘层图案形成为与感测电极和配线部分重叠。在绝缘层图案上形成静电放电图案。静电放电图案通过穿透绝缘层图案的接触孔接触配线。
在本发明的示例性实施方式中，形成静电放电图案可包括依次形成第一导电层和第二导电层并部分地去除第一导电层和第二导电层以形成第一导电图案和第二导电图案。第一导电层和第二导电层可覆盖感测电极和配线。第一导电层和第二导电层相对于感测电极和配线均具有蚀刻选择性。
在本发明的示例性实施方式中，形成感测电极和配线包括同时形成相对电极。相对电极可具有平坦的形状，从而使相对电极与感测电极不重叠。
根据本发明的示例性实施方式，静电放电图案可具有可小于配线的第一宽度W1的第二宽度W2。在配线中流动的静电流可被放电到静电放电图案。例如，在静电放电图案的端部处可能会导致发生静电损坏或静电击穿。因此，静电放电图案可防止感测电极与配线之间的静电损坏或静电击穿。
附图说明
从下面结合附图进行的描述中，可进一步详细地理解实例实施方式，其中：
图1是示出根据本发明的示例性实施方式的触摸面板的平面图；
图2是示出根据本发明的示例性实施方式的图1的区域III的平面图；
图3是示出沿根据本发明的示例性实施方式的图2中的线IV-IV’截取的截面图；
图4是示出根据本发明的示例性实施方式的触摸面板的一部分的平面图；
图5是示出根据本发明的示例性实施方式的触摸面板的一部分的平面图；
图6是示出根据本发明的示例性实施方式的触摸面板的一部分的平面图；
图7是示出根据本发明的示例性实施方式的触摸面板的一部分的平面图；
图8是示出根据本发明的示例性实施方式的触摸面板的平面图；以及
图9至图15是示出根据本发明的示例性实施方式的制造触摸面板的方法的平面图和截面图。
具体实施方式
参照附图更全面地描述本发明的示例性实施方式。然而本发明可体现为很多不同的形式，并且不应被解释为限于在此阐述的实例实施方式。在附图中，为清晰起见，可放大层和区域的尺寸和相对尺寸。
将理解，当元件或层被称为“在”另一元件或层“上”、“连接至”或“耦接至”另一元件或层时，其可直接在另一元件或层上、直接连接或耦接至另一元件或层，或者可存在中间元件或层。相同或相似的参考编号在全文中可表示相同或相似的元件。
本文所用的术语仅是为了描述特定示例性实施方式的目的，而不旨在限制本发明。
在本文中，参考本发明的理想化实例和中间结构的示意性图示来描述本发明的实施方式。因而，可预期例如因制造技术和/或容差而产生的图示的形状的变化。因此，本发明的示例性实施方式不应被解释为局限于本文中示出的区域的特定形状，而是包括例如因制造而产生的形状上的偏差。
图1是示出根据本发明的示例性实施方式的触摸面板的平面图。图2是示出根据本发明的示例性实施方式的图1的区域III的平面图。图3是示出沿着根据本发明的示例性实施方式的图2中的线IV-IV’截取的截面图。
参考图1至图3，根据本发明的示例性实施方式的触摸面板可包括基板100、多个感测电极111至116、多条配线220以及焊盘部分228。触摸面板可进一步包括电连接至每条配线220的静电放电(ESD)图案240。
基板100可包括透明绝缘基板。例如，基板100可包括玻璃基板、石英基板、透明树脂基板等。
基板100可被划分成第一区域I和第二区域II。在本发明的示例性实施方式中，第一区域I可以是感测电极111至116可定位于的感测区域，并且第二区域II可以是配线220和焊盘部分228可定位于的外围区域。例如，第一区域I可暴露给触摸面板的用户，并且第二区域II可被边框(bezel)覆盖。第二区域II可围绕第一区域I的至少一侧。根据本发明的示例性实施方式，第二区域II可围绕如图1中所示的第一区域I的一侧。
多个感测电极111至116可布置在基板100上的第一区域I中。在本发明的示例性实施方式中，多个感测电极111至116可排布在基本平行于基板100的顶部表面的第一方向D1上。因此，多个感测电极111至116可组成第一感测电极列110。此外，第一感测电极列110、第二感测电极列120和第三感测电极列130可排布在基本垂直于第一方向D1的第二方向D2上。因此，多个感测电极列110、120和130可组成感测电极阵列。例如，感测电极阵列可包括排布在第一方向D1和第二方向D2上的多个感测电极。
在本发明的示例性实施方式中，多个感测电极111至116可具有如图1和图2中所示的在第二方向D2上延伸的矩形形状。然而，本发明并不必限于此。例如，多个感测电极111至116可具有不同的形状。
多个感测电极111至116可以预定方式排布。在本发明的示例性实施方式中，感测电极111至116的每一个在第二方向D2上可具有相同的长度。此外，感测电极111至116的每一个可在第二方向D2上逐渐地偏移。例如，感测电极111至116的边缘可沿倾斜方向排布。可替换地，感测电极111至116的每一个在第二方向D2上可具有不同的长度。
多条配线220可布置在基板100上的第一区域I和第二区域II中。多条配线220可电连接多个感测电极111至116和焊盘部分228。每条配线220可彼此电绝缘，并可排布成对应于感测电极111至116中的每一个。例如，第一配线221可电连接至第一感测电极111，并且第二配线222可电连接至第二感测电极112等。
在本发明的示例性实施方式中，每条配线220可在第一区域I中沿第一方向D1延伸。每条配线220可直接接触感测电极111至116的每一个的下边缘。此外，电连接至组成一个感测电极列110的感测电极111至116的配线220可布置为彼此相邻。
每条配线220在第二方向D2上可具有第一宽度W1。可根据配线220的电阻以及配线220所占的面积来确定第一宽度W1。在本发明的示例性实施方式中，第一宽度W1可在约10μm至约50μm的范围内。例如，第一宽度W1可为约为30μm。
在本发明的示例性实施方式中，多条配线220可在第一方向D1上从第一区域I延伸至第二区域II，从而第二区域II可围绕第一区域I的一侧。如图1所示，用于接收配线220的第二区域II无需布置在第一区域I的左侧或右侧。因此，可减小无需暴露给用户的第二区域II的面积。
多条配线220可在第二区域II中沿第一方向D1和第二方向D2延伸并可接触焊盘部分228。因此，感测电极111至116中的每一个可通过每条配线220电连接至焊盘部分228。
在本发明的示例性实施方式中，每条配线220在第二区域II中可具有第三宽度W3，并且第三宽度W3可大于第一宽度W1。例如，第三宽度W3可以在第一宽度W1的两倍到五倍的范围内。例如，多个感测电极111至116无需布置在第二区域II中，因此，具有放大宽度W3的多条配线220可封装在第二区域II中。由于多条配线220可具有放大的宽度W3，因此可减小配线220的电阻。此外，可增加配线220与焊盘部分228之间的接触裕度(contact margin)。
感测电极111至116以及配线220可通过相同的图案化工艺形成。例如，感测电极111至116以及配线220可包括相同的材料，并可具有相同的顶部表面和相同的底部表面。在这种情况下，感测电极111至116以及配线220的最小宽度可以是第一宽度W1。例如，可通过具有对应于第一宽度W1的分辨率的图案化工艺形成感测电极111至116以及配线220。
在本发明的示例性实施方式中，感测电极111至116以及配线220可包括多条金属纳米线。多条金属纳米线可随机地排布或可排布在预定方向上。
在本发明的示例性实施方式中，金属纳米线可具有约10nm至约50nm的宽度并可具有约1μm至约10μm的长度。例如，金属纳米线可包括银(Ag)纳米线。金属纳米线可具有相对大的长度，并可排布为形成网状物(network)，从而感测电极110至116以及配线220可具有相对小的电阻和相对大的透光率。此外，金属纳米线可具有相对大的延展性。即使在触摸面板被弯曲的情况下，感测电极111至116以及配线220也可保持不被损坏。
现参考图2和图3，多个绝缘层图案230可布置成对应于感测电极111至116以及配线220。
在本发明的示例性实施方式中，绝缘层图案230可具有在第二方向D2上延伸的矩形形状。在这种情况下，绝缘层图案230的一个端部可与一条配线220重叠，并且绝缘层图案230的另一端部可与感测电极111至116的其中一个重叠。例如，如图2所示，绝缘层图案230可与第一配线221部分重叠，并且可与可布置为邻近于第一配线221并且可不电连接至第一配线221的第二感测电极112部分重叠。绝缘层图案230可具有预定的厚度，因此绝缘层图案230可将感测电极111至116与静电放电图案240电绝缘。例如，绝缘层图案230可具有在约2μm至约5μm范围内的厚度。
静电放电图案240可布置在绝缘层图案230上的第一区域I中。在本发明的示例性实施方式中，多个静电放电图案240可对应于多个绝缘层图案230。
在实例实施方式中，如图2所示，静电放电图案240可具有在第二方向D2上延伸的矩形形状。在这种情况下，静电放电图案240在第一方向D1上可具有第二宽度W2，并且第二宽度W2可小于配线220的第一宽度W1。在本发明的示例性实施方式中，配线220的第一宽度W1可在静电放电图案240的第二宽度W2的两倍到十倍的范围内。例如，第二宽度W2可在约1μm至约10μm的范围内。
静电放电图案240的第一端部可通过穿透绝缘层图案230的接触孔238电连接至配线220，并且静电放电图案240的第二端部可与感测电极111至116的其中一个重叠。特别地，静电放电图案240的第二端部可不直接接触导电材料。例如，静电放电图案240可电连接至第一配线221，并可与第二感测电极112重叠。
参考图3，静电放电图案240可具有包括第一导电图案242和第二导电图案244的多层结构。在本发明的示例性实施方式中，第一导电图案242可包括可具有相对小的电阻的金属(诸如铝或铜)，并且第二导电图案244可包括可具有相对高的抗氧化性的金属(诸如钛或镍)。当第一导电图案242包括铜并且第二导电图案244包括钛时，静电放电图案240相对于感测电极111至116以及配线220的Ag纳米线可具有蚀刻选择性。因此，在用于形成第一导电图案242和第二导电图案244的蚀刻过程期间，感测电极111至116以及配线220可不被损坏。
静电放电图案240可形成在绝缘层图案230上并且可包括与感测电极111至116以及配线220的材料不同的材料。因此，可与用于形成感测电极111至116以及配线220的图案化工艺分开地执行用于形成静电放电图案240的图案化工艺。静电放电图案240可通过具有对应于第二宽度W2(其可小于第一宽度W1)的分辨率的图案化工艺形成静电放电图案240。
静电放电图案240可布置为邻近于其中感测电极111至116直接接触配线220的部分。当静电放电图案240与第二感测电极112重叠时，如图2所示，第一距离T1可被定义为静电放电图案240与第二感测电极112的上边缘之间的距离，并且第二距离T2可被定义为静电放电图案240与第二感测电极112的下边缘之间的距离。第一距离T1可小于第二距离T2。因此，静电放电图案240可防止第一配线221与第一感测电极111之间的静电损坏。
静电放电图案240可具有在第二方向D2上延伸的矩形形状，然而本发明并不限于此。例如，静电放电图案240可在倾斜方向上延伸，或者可被弯折或弯曲。可替代地，静电放电图案240可具有梯形形状或者三角形形状。在这种情况下，静电放电图案240的宽度可随着与配线220的距离的增加而减小。
根据本发明的示例性实施方式，静电放电图案240可具有第二宽度W2，第二宽度W2可小于配线220的第一宽度W1，在配线220中流动的静电流可被放电到静电放电图案240。例如，在静电放电图案240的端部处可能会导致发生静电损坏或静电击穿。因此，静电放电图案240可防止感测电极111至116与配线220之间的静电损坏或静电击穿。因此，感测电极111至116以及相应的配线220可不会因静电损坏或静电击穿而绝缘。
图4是示出根据本发明的示例性实施方式的触摸面板的部分的平面图。除了第一静电放电图案242和第二静电放电图案244以外，图4中的触摸面板可基本与图1至图3中的触摸面板相同或者相似。
感测电极111和112可布置在基板上。感测电极111和112可排布在第一方向D1或第二方向D2上。因此，多个感测电极111和112可排布成矩阵形式以组成感测电极阵列。
多条配线220可排布成对应于感测电极111和112。例如，多条配线220可包括电连接至第一感测电极111的第一配线221以及电连接至第二感测电极112的第二配线222。在这种情况下，多条配线220在第二方向D2上可具有第一宽度W1，并且第一宽度W1可在约10μm至约50μm的范围内。
感测电极111和112以及配线220可通过相同的图案化工艺形成。例如，感测电极111至116以及配线220可包括相同的材料，并可具有相同的顶部表面和相同的底部表面。在本发明的示例性实施方式中，感测电极111和112以及配线220可包括多条金属纳米线，诸如，Ag纳米线。
多个绝缘层图案232和234可布置成对应感测电极111和112以及配线221和222。在本发明的示例性实施方式中，多个绝缘层图案232和234可对应于单条配线221。
在本发明的示例性实施方式中，绝缘层图案232和234可具有在第二方向D2上延伸的矩形形状。绝缘层图案232和234中的每一个可与第一配线221和第二感测电极112重叠。
多个静电放电图案242和244可布置成对应于感测电极111和112以及配线221和222。在本发明的示例性实施方式中，多个静电放电图案242和244可对应于单条配线221。
在本发明的示例性实施方式中，静电放电图案242和244可具有在第二方向D2上延伸的矩形形状。静电放电图案242和244中的每一个可与第一配线221和第二感测电极112重叠。
如图4所示，静电放电图案242和244的第一端部可通过接触孔238和239电连接至第一配线221，并且静电放电图案242和244的第二端部可被布置为与第二感测电极112重叠。此外，静电放电图案242和244在第一方向D1上可具有第二宽度W2。例如，第二宽度W2可在约1μm至约10μm的范围内。
在本发明的示例性实施方式中，第一静电放电图案242和第二静电放电图案244可在第一方向上D1彼此间隔开。例如，第一静电放电图案242可布置在第二静电放电图案224与第二感测电极112的上边缘之间。
第一静电放电图案242和第二静电放电图案244可布置为邻近于其中第一感测电极111直接接触第一配线221的部分。例如，如图4所示，当第一静电放电图案242和第二静电放电图案244与第二感测电极112重叠时，第一距离T1可被定义为第二静电放电图案244与第二感测电极112的上边缘之间的距离，并且第二距离T2可被定义为第二静电放电图案244与第二感测电极112的下边缘之间的距离。第一距离T1可小于第二距离T2。因此，第一静电放电图案242和第二静电放电图案244可防止第一配线221与第一感测电极111之间的静电损坏。
根据本发明的示例性实施方式，第一静电放电图案242和第二静电放电图案244可具有可小于配线220的第一宽度W1的第二宽度W2，在配线220中流动的静电流可被放电到第一静电放电图案242或第二静电放电图案244。例如，在第一静电放电图案242和第二静电放电图案244的端部处可能会导致发生静电损坏或静电击穿。因此，第一静电放电图案242和第二静电放电图案244可防止感测电极111和112与配线220之间的静电损坏或静电击穿。因此，感测电极111和112以及相应的配线220可不会因静电损坏或静电击穿而绝缘。
图5是示出根据本发明的示例性实施方式的触摸面板的部分的平面图。除了感测电极141和142以及相对电极170以外，图5中的触摸面板可基本与图1至图3中的触摸面板相同或者相似。
感测电极141和142可布置在基板上，并可排布在第一方向D1或第二方向D2上。因此，多个感测电极141和142可排布成矩阵形式以组成感测电极阵列。在本发明的示例性实施方式中，感测电极141和142中的每一个可具有“E”形状。
相对电极170可在第一方向D1上延伸。相对电极170可被布置成对应于感测电极141和142。此外，多个相对电极170可排布在第二方向D2上。
在本发明的示例性实施方式中，相对电极170可以是可能不传输电信号的虚拟(dummy)电极。相对电极170可补偿其中布置感测电极141和142的一个区域与其中未布置感测电极141和142的另一个区域之间的介电常数和透射率的差异。
在本发明的示例性实施方式中，相对电极170可传输电信号。例如，触摸面板可通过观察感测电极141和142与相对电极170之间的电容变化来检测触摸的位置。
多条配线220可被排布成对应于感测电极141和142。例如，多条配线220可包括电连接至第一感测电极141的第一配线221以及电连接至第二感测电极142的第二配线222。多条配线220在第二方向D2上可具有第一宽度W1，并且第一宽度W1可在约10μm至约50μm的范围内。
感测电极141和142、相对电极170以及配线220可通过相同的图案化工艺形成。例如，感测电极141和142、相对电极170以及配线220可包括相同的材料，并可具有相同的顶部表面和相同的底部表面。在本发明的示例性实施方式中，感测电极141和142、相对电极170以及配线220可布置为彼此不重叠。
根据本发明的示例性实施方式，静电放电图案240可具有可小于配线220的第一宽度W1的第二宽度W2，在配线220中流动的静电流可被放电到静电放电图案240。
图6是示出根据本发明的示例性实施方式的触摸面板的部分的平面图。除了感测电极151和152以外，图6中的触摸面板可基本与图1至图3中的触摸面板相同或者相似。
参考图6，感测电极151和152可具有包括平行的上边缘与下边缘的梯形状。然而，本发明并不限于此。例如，感测电极151和152可具有不同的形状。相对电极172可被布置成对应于感测电极151和152。
在本发明的示例性实施方式中，相对电极170可以是可能不传输电信号的虚拟电极。相对电极170可补偿其中布置感测电极141和142的一个区域与其中未布置感测电极141和142的另一个区域之间的介电常数和透射率的差异。
图7是示出根据本发明的示例性实施方式的触摸面板的部分的平面图。除了配线225以外，图7中的触摸面板可基本与图1至图3中的触摸面板相同或者相似。
参考图7，配线225可电连接至感测电极111与112。配线225可包括第一配线226和第二配线227。在本发明的示例性实施方式中，配线225可在第三方向D3上延伸，并且第二方向D2与第三方向D3之间的第一角度θ可在约45°至约90°的范围内。由于配线225在倾斜方向上延伸，因此相邻配线225之间的距离可增大。因此，可减少相邻配线225之间的耦合现象。
图8是示出根据本发明的示例性实施方式的触摸面板的部分的平面图。除了静电放电图案240的位置以外，图8中的触摸面板可基本与图1至图3中的触摸面板相同或者相似。
参考图8，触摸面板可包括基板100、多个感测电极111至116、多条配线220以及焊盘部分228。触摸面板可进一步包括电连接至每条配线220的静电放电(ESD)图案240。
多个感测电极111至116可布置在基板100上的第一区域I中。在本发明的示例性实施方式中，多个感测电极111至116可排布在基本平行于基板100的顶部表面的第一方向D1上。因此，多个感测电极111至116可组成第一感测电极列110。此外，第一感测电极列110、第二感测电极列120和第三感测电极列130可排布在基本垂直于第一方向D1的第二方向D2上。因此，多个感测电极列110、120和130可组成感测电极阵列。
配线220、绝缘层图案230和静电放电图案240可基本上与参考图1至图3所描述的那些相同或相似。
然而，可调整静电放电图案240的位置。例如，可不同地确定每个静电放电图案240与相应的感测电极111至116的上边缘之间的距离。例如，第一距离T1可被定义为第一感测电极列110中的静电放电图案240与感测电极112的上边缘之间的距离，第三距离T3可被定义为第二感测电极列120中的静电放电图案240与感测电极112的上边缘之间的距离，并且第四距离T4可被定义为第三感测电极列130中的静电放电图案240与感测电极112的上边缘之间的距离。在这种情况下，第一距离T1可不同于第三距离T3或第四距离T4。
静电放电图案240可包括导电图案，从而在其中布置静电放电图案240的一个区域与其中未布置静电放电图案240的另一个区域之间存在介电常数与透射率的差异。如果静电放电图案240可被规则地排布，则用户可观察到莫尔图案(moiré pattern，波纹图案)。
根据本发明的示例性实施方式，可调整静电放电(ESD)图案240的位置，从而用户可不会观察到莫尔图案。
图9至图15是示出根据本发明的示例性实施方式的制造触摸面板的方法的平面图和截面图。
图9是示出根据本发明的某些示例性实施方式的制造触摸面板的方法的平面图，图10、图12和图14是示出根据本发明的某些示例性实施方式的图9的区域Ⅲ的平面图；并且图11、图13和图15是沿着根据本发明的某些示例性实施方式的图10、图12和图14中的线IV-IV’截取的截面图。
参考图9至图11，可在基板100上形成多个感测电极111至116以及配线220。
具体地，可在基板100上形成导电电极层，并且可图案化导电电极层以同时形成多个感测电极111至116以及配线220。
基板100可包括透明绝缘基板。例如，基板100可包括玻璃基板、石英基板、透明树脂基板等。基板100可具有预定的柔性。基板100可被划分成第一区域I和第二区域II。
在本发明的示例性实施方式中，可通过使用金属纳米线层来形成导电电极层。可通过将多条金属纳米线分散于溶液中、在基板100上涂覆溶液、并使溶液脱水来形成导电电极层。因此，多条金属纳米线可排布成形成不规则的网状物，并且导电电极层可具有预定的柔性。
在本发明的示例性实施方式中，溶液可包括可有效地分散多条金属纳米线并且不会腐蚀或氧化多条金属纳米线的水、酒精、酮或醚。在大约100℃以上的温度下，溶液(例如，溶剂)可具有相对高的挥发性。此外，金属纳米线可包括例如银(Ag)纳米线。
在示例性实施方式中，金属纳米线可具有约10nm至约50nm的宽度并可具有约1μm至约10μm的长度。金属纳米线可具有相对大的长度，并可排布为形成网状物，从而导电电极层可具有相对小的电阻和相对大的透光率。此外，金属纳米线可具有相对大的延展性。因此，即使当触摸面板被弯曲时，导电电极层也可不被损坏。
在本发明的示例性实施方式中，多个感测电极111至116可排布在基本平行于基板100的顶部表面的第一方向D1上。因此，多个感测电极111至116可组成第一感测电极列110。此外，第一感测电极列110、第二感测电极列120和第三感测电极列130可排布在基本垂直于第一方向D1的第二方向D2上。例如，感测电极阵列可包括布置在第一方向D1和第二方向D2上的多个感测电极。
多条配线220可被排布成对应于感测电极111和112。多条配线220可在第一区域I中沿第一方向D1延伸。在这种情况下，多条配线220在第二方向D2上可具有第一宽度W1。
可通过相同的图案化工艺形成感测电极111至116以及配线220。例如，感测电极111至116以及配线220可包括相同的材料，并可具有相同的顶部表面和相同的底部表面。在这种情况下，感测电极111至116以及配线220的最小宽度可以是第一宽度W1。例如，可通过具有对应于第一宽度W1的分辨率的图案化工艺形成感测电极111至116以及配线220。
在本发明的示例性实施方式中，可进一步在基板100上形成相对电极(参见图5和图6)。例如，可同时形成相对电极、感测电极111至116以及配线220。
参考图12和图13，可在基板100上形成绝缘层以覆盖感测电极111至116以及配线220，并且随后可部分地去除绝缘层以形成绝缘层图案230。
可通过使用透明绝缘材料形成绝缘层。例如，可使用丙烯酸类树脂或聚碳酸酯类树脂来形成绝缘层。在本发明的示例性实施方式中，绝缘层可具有约2μm至约5μm的厚度。
可执行蚀刻工艺来形成绝缘层图案230。绝缘层图案230可基本与参考图2和图3描述的绝缘层图案230相同或相似。
在蚀刻过程期间，可形成穿透绝缘层图案230的接触孔238。在示例性实施方式中，接触孔238可暴露配线220的顶部表面的一部分。
参考图14和图15，可在绝缘层图案230上形成静电放电图案240。
具体地，可依次形成第一导电层和第二导电层以覆盖感测电极111至116以及配线220，并且随后可部分地去除第一导电层和第二导电层以形成第一导电图案242和第二导电图案244。
在本发明的示例性实施方式中，可使用可具有相对小的电阻的金属(诸如铝或铜)来形成第一导电图案242，并且可使用可具有相对高的抗氧化性的金属(诸如钛或镍)来形成第二导电图案244。例如，第一导电图案242的电阻低于第二导电图案244的电阻，并且第二导电图案244的抗氧化性高于第一导电图案242的抗氧化性。
具体地，当第一导电图案242包括铜并且第二导电图案244包括钛时，第一导电图案242和第二导电图案244相对于感测电极111至116以及配线220可具有蚀刻选择性。因此，在用于形成第一导电图案242和第二导电图案244的蚀刻过程期间，感测电极111至116以及配线220可不被损坏或击穿。
在本发明的示例性实施方式中，静电放电图案240可具有包括第一导电图案242和第二导电图案244的多层结构。静电放电图案240在第一方向D1上可具有小于第一宽度W1的第二宽度W2。因此，用于形成第一导电图案242和第二导电图案244的工艺可具有对应于第二宽度W2的分辨率。由于第一导电层和第二导电层可包括金属，因此与金属纳米线层相比，第一导电层和第二导电层可容易地被图案化。
前述是对本发明的示例性实施方式的说明，并且本发明不应被解释为限于本文中所呈现的示例性实施方式。在本质上不背离本公开的新颖教导和方面的前提下，可对本文中所呈现的示例性实施方式进行修改。

Claims (19)

1.一种触摸面板，包括：
多个感测电极，布置在基板上；
多条配线，从所述多个感测电极的每一个延伸，所述多条配线的每一个的底部表面具有与所述多个感测电极的每一个的相应底部表面相同的高度，其中，所述多条配线与所述多个感测电极一一对应地电连接；以及
静电放电图案，电连接至所述多条配线，并且包括直接接触所述配线的第一端部以及与所述感测电极重叠的第二端部，
其中，所述触摸面板进一步包括布置在所述静电放电图案与所述感测电极之间且与所述静电放电图案和所述感测电极部分重叠的绝缘层图案。
2.根据权利要求1所述的触摸面板，其中，所述静电放电图案的所述第二端部与所述配线或所述感测电极分开。
3.根据权利要求1所述的触摸面板，其中，所述静电放电图案布置为邻近于其中所述感测电极直接接触所述配线的部分。
4.根据权利要求1所述的触摸面板，其中，所述多个感测电极包括多列感测电极，并且对于所述多列感测电极的每一列，所述静电放电图案与所述感测电极的上边缘之间的距离不同。
5.根据权利要求1所述的触摸面板，其中，所述感测电极和所述配线包括多条金属纳米线，并且所述静电放电图案包括依次堆叠的第一导电图案和第二导电图案。
6.根据权利要求5所述的触摸面板，其中，所述感测电极和所述配线包括多条银纳米线，所述第一导电图案的电阻低于所述第二导电图案的电阻，并且所述第二导电图案的抗氧化性高于所述第一导电图案的抗氧化性。
7.根据权利要求5所述的触摸面板，其中，所述第一导电图案包括铜，并且所述第二导电图案包括钛。
8.根据权利要求1所述的触摸面板，其中，所述多条配线具有第一宽度，所述静电放电图案具有第二宽度，并且所述第二宽度小于所述第一宽度。
9.根据权利要求8所述的触摸面板，其中，所述第一宽度在所述第二宽度的两倍到十倍的范围内。
10.根据权利要求1所述的触摸面板，
其中，所述基板包括第一区域和围绕所述第一区域的至少一侧的第二区域，并且所述感测电极布置在所述第一区域中，
其中，所述配线布置在所述第一区域和所述第二区域中，所述配线在所述第一区域中具有第一宽度并在所述第二区域中具有第三宽度，并且所述第一宽度小于所述第三宽度。
11.根据权利要求10所述的触摸面板，其中，所述感测电极排布在平行于所述基板的顶部表面的第一方向和第二方向上，并且所述配线在所述第一区域中沿所述第一方向延伸。
12.根据权利要求11所述的触摸面板，进一步包括布置在所述基板上的相对电极，
其中，所述相对电极具有平坦的形状，从而所述相对电极与所述感测电极不重叠，其中，所述相对电极在所述第一方向上延伸，并且多个感测电极对应于单个相对电极，并且其中，所述相对电极的顶部表面和底部表面具有与所述感测电极的顶部表面和底部表面相同的高度。
13.根据权利要求10所述的触摸面板，其中，所述感测电极排布在平行于所述基板的顶部表面的第一方向和第二方向上，并且所述配线在所述第一区域中沿相对于所述第一方向倾斜的倾斜方向延伸。
14.根据权利要求1所述的触摸面板，其中，多个静电放电图案对应于单条配线。
15.一种制造触摸面板的方法，所述方法包括：
在基板上形成多个感测电极和多条配线，所述多条配线的每一个从所述多个感测电极的相应感测电极延伸；
形成与所述多个感测电极和所述多条配线部分重叠的绝缘层图案；
在所述绝缘层图案上形成静电放电图案，所述静电放电图案通过穿透所述绝缘层图案的接触孔接触所述配线，所述静电放电图案包括直接接触所述配线的第一端部以及与所述感测电极重叠的第二端部，
其中，所述多条配线与所述多个感测电极一一对应地电连接。
16.根据权利要求15所述的方法，其中，形成所述静电放电图案包括：
依次形成第一导电层和第二导电层，所述第一导电层和所述第二导电层覆盖所述感测电极和所述配线；以及
部分地去除所述第一导电层和所述第二导电层以形成第一导电图案和第二导电图案，
其中，所述第一导电层和所述第二导电层相对于所述感测电极和所述配线均具有蚀刻选择性。
17.一种触摸面板，包括：
第一感测电极，布置在基板上并通过第一配线连接至所述基板的焊盘部分；
第二感测电极，布置在所述基板上并通过第二配线连接至所述基板的所述焊盘部分；
第一桥金属，从所述第一配线延伸至所述第二感测电极以与第二感测电极部分重叠；
第一绝缘图案，与所述第一桥金属和所述第二感测电极部分重叠，以将所述第一桥金属与所述第二感测电极绝缘；
第三感测电极，布置在所述基板上并通过第三配线连接至所述基板的所述焊盘部分；
第二桥金属，从所述第二配线延伸至所述第三感测电极以与第三感测电极部分重叠；以及
第二绝缘图案，与所述第二桥金属和所述第三感测电极部分重叠，以将所述第二桥金属与所述第三感测电极绝缘。
18.根据权利要求17所述的触摸面板，进一步包括：
第四感测电极，布置在所述基板上并通过第四配线连接至所述基板的所述焊盘部分；
第三桥金属，从所述第三配线延伸至所述第四感测电极；以及
第三绝缘图案，将所述第三桥金属与所述第四感测电极绝缘。
19.根据权利要求17所述的触摸面板，其中，所述第一桥金属和所述第二桥金属是静电放电图案。
CN201410676461.0A 2014-02-10 2014-11-21 触摸面板以及制造触摸面板的方法 Active CN104834398B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2014-0014714 2014-02-10
KR1020140014714A KR102188985B1 (ko) 2014-02-10 2014-02-10 터치 패널 및 터치 패널의 제조 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104834398A CN104834398A (zh) 2015-08-12
CN104834398B true CN104834398B (zh) 2020-01-17

Family

ID=53774912

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410676461.0A Active CN104834398B (zh) 2014-02-10 2014-11-21 触摸面板以及制造触摸面板的方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10042487B2 (zh)
KR (1) KR102188985B1 (zh)
CN (1) CN104834398B (zh)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102325384B1 (ko) * 2015-04-09 2021-11-10 삼성디스플레이 주식회사 터치 패널 및 이의 제조방법
KR102329050B1 (ko) * 2015-04-17 2021-11-19 삼성디스플레이 주식회사 터치 패널 및 이의 제조방법
KR101609992B1 (ko) * 2015-10-05 2016-04-06 주식회사 지2터치 터치 스크린 패널
CN109558023A (zh) * 2017-09-27 2019-04-02 华为终端（东莞）有限公司 触摸显示屏和终端设备
KR102537444B1 (ko) 2018-05-31 2023-05-30 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 장치
KR20200124807A (ko) * 2019-04-24 2020-11-04 삼성디스플레이 주식회사 터치 센서 및 이를 포함하는 표시 장치
CN110502151B (zh) * 2019-08-27 2023-01-17 京东方科技集团股份有限公司 触控面板、触控显示装置及触控面板的制备方法
CN115866879A (zh) * 2019-09-10 2023-03-28 群创光电股份有限公司 电子装置
KR20210094194A (ko) * 2020-01-20 2021-07-29 삼성디스플레이 주식회사 전자패널 및 이를 포함한 표시장치
CN111708466B (zh) * 2020-07-28 2023-04-14 武汉天马微电子有限公司 触控显示面板和显示装置
CN114115598B (zh) * 2021-11-24 2024-03-22 武汉天马微电子有限公司 显示面板和显示装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101655755A (zh) * 2009-09-17 2010-02-24 友达光电股份有限公司 触控面板
CN103164091A (zh) * 2012-08-31 2013-06-19 敦泰科技有限公司 单层电极互电容触摸屏
CN203149524U (zh) * 2013-02-08 2013-08-21 胜华科技股份有限公司 具静电防护的触控面板

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100787892B1 (ko) * 2006-10-31 2007-12-27 삼성전자주식회사 반도체 패키지 및 그의 제조 방법
JP5103254B2 (ja) * 2008-04-16 2012-12-19 株式会社ジャパンディスプレイイースト 静電容量方式タッチパネルおよびそれを備える画面入力型表示装置
TW200945956A (en) 2008-04-22 2009-11-01 Wintek Corp Electrostatic discharge protection device for touch panels
JP2011100438A (ja) * 2009-06-05 2011-05-19 Rohm Co Ltd 静電容量式入力装置
TWI447475B (zh) * 2009-09-07 2014-08-01 Au Optronics Corp 觸控面板
TWI435292B (zh) * 2010-06-17 2014-04-21 Au Optronics Corp 感測式顯示裝置
WO2012023394A1 (ja) 2010-08-18 2012-02-23 株式会社村田製作所 Ｅｓｄ保護デバイス
TWI471642B (zh) 2010-09-24 2015-02-01 Wintek Corp Touch panel structure and its touch display panel
KR101650074B1 (ko) 2010-09-29 2016-08-23 삼성디스플레이 주식회사 터치 스크린 패널
TWI423092B (zh) * 2010-10-04 2014-01-11 Au Optronics Corp 觸控面板及其修補方法
KR101339669B1 (ko) 2010-10-26 2013-12-11 삼성디스플레이 주식회사 터치 스크린 패널
KR101448251B1 (ko) 2010-10-28 2014-10-08 삼성디스플레이 주식회사 터치 스크린 패널 및 이를 구비한 표시 장치
TWI421748B (zh) * 2010-12-30 2014-01-01 Au Optronics Corp 觸控面板
KR101273798B1 (ko) * 2010-12-31 2013-06-11 경희대학교 산학협력단 다층 투명전극 및 그 제조방법
TWI439896B (zh) * 2011-01-14 2014-06-01 Chunghwa Picture Tubes Ltd 觸控面板之感應裝置
KR101303635B1 (ko) * 2011-05-26 2013-09-11 엘지이노텍 주식회사 터치윈도우
JP5863002B2 (ja) 2011-08-05 2016-02-16 大日本印刷株式会社 カラーフィルタ一体型タッチパネルセンサおよびタッチパネル機能付き表示装置
KR20130024100A (ko) * 2011-08-30 2013-03-08 삼성전기주식회사 터치패널
KR101818258B1 (ko) 2011-12-13 2018-01-15 엘지디스플레이 주식회사 표시장치용 터치 스크린 패널
US8854778B2 (en) 2011-12-27 2014-10-07 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. ESD protection circuit
US9069924B2 (en) 2011-12-29 2015-06-30 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. ESD protection circuit cell
TWI599921B (zh) * 2012-09-07 2017-09-21 財團法人工業技術研究院 觸控面板
CN102890591B (zh) * 2012-09-28 2016-03-09 北京京东方光电科技有限公司 一种触摸屏、触控显示装置及触摸屏的制造方法
CN104218028B (zh) * 2013-06-05 2018-03-30 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 静电放电保护结构及其形成方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101655755A (zh) * 2009-09-17 2010-02-24 友达光电股份有限公司 触控面板
CN103164091A (zh) * 2012-08-31 2013-06-19 敦泰科技有限公司 单层电极互电容触摸屏
CN203149524U (zh) * 2013-02-08 2013-08-21 胜华科技股份有限公司 具静电防护的触控面板

Also Published As

Publication number Publication date
KR102188985B1 (ko) 2020-12-10
US10042487B2 (en) 2018-08-07
US20150227235A1 (en) 2015-08-13
CN104834398A (zh) 2015-08-12
KR20150094808A (ko) 2015-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104834398B (zh) 触摸面板以及制造触摸面板的方法
TWI652607B (zh) 觸控面板及應用其的觸控顯示裝置
CN103092414B (zh) 一种外挂式触摸屏及其制作方法、显示装置
US9153385B2 (en) Electrode structure of the touch panel, method thereof and touch panel
US9519392B2 (en) Touch screen panel fabrication method and touch screen panel
CN101840292B (zh) 电容式触控电路图形及其制法
TWI507940B (zh) 觸控面板及觸控顯示面板
CN108614652B (zh) 触控面板
US8304675B2 (en) Matrix touch panel
CN102819367B (zh) 触控面板的制造方法
TWI522877B (zh) 觸控面板與觸控顯示裝置
KR20170064139A (ko) 터치 패널
KR20150139104A (ko) 터치 스크린 패널
EP2690534B1 (en) Touch screen panel and fabrication method thereof
TWI545491B (zh) 觸控面板及其之製造方法
TWI588688B (zh) 觸控面板及觸控顯示面板
US9426895B2 (en) Method of fabricating touch screen panel
TWM505004U (zh) 觸控面板
KR101985894B1 (ko) 터치 스크린 패널 및 그의 제조방법
KR20150052682A (ko) 터치 패널 및 이의 제조 방법
JP2016162305A (ja) タッチパネルおよびその製造方法
TWI578215B (zh) 觸控裝置及其製造方法
TWI403945B (zh) Capacitive touch circuit and its manufacturing method
CN102346614A (zh) 一种电容式触控面板及其制作方法
CN102419673B (zh) 电容式触控电路图形结构及其制法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant