KR101726057B1 - 표면결함 계측장치 및 표면결함 계측 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시 형태에 따른 표면결함 계측장치는, 대상체의 표면에 각각 서로 다른 파장의 광을 조사하고, 상기 표면에서 반사된 광을 감지하는 제1 측정 모듈과 제2 측정 모듈을 포함하는 측정부; 및 상기 측정부의 작동을 제어하고, 상기 측정부로부터 전송되는 신호를 수신하여 표면결함을 검출하는 검출부;를 포함할 수 있다.

Description

표면결함 계측장치 및 표면결함 계측 시스템{SURFACE DEFECT MEASURING APPARATUS AND SURFACE DEFECT MEASURING SYSTEM}
본 발명은 표면결함 계측장치 및 표면결함 계측 시스템에 관한 것이다.
압연롤은 압연중 강판과의 마찰, 공기/수분과의 접촉으로 인한 부식 등이 원인이 되어 표면이 마모되게 되며, 이로 인해 압연롤의 직경도 줄어들게 된다. 압연롤의 실제직경 수준은 압하설정 시 주요요소 중 하나로 사용된 압연롤 직경 정보가 실제 정보와 상이한 경우, 압연시 소재가 한쪽 방향으로 휘어지는 등의 불량이 발생된다. 또한, 압연롤은 압연 중 이물이 강판과 롤 사이에 끼거나, 강판에 발생된 돌출결함 등에 의해 표면결함이 발생되게 된다. 이러한 압연롤에 발생된 표면결함은 압연시 소재 표면에 주기적인 결함을 발생시키게 되며, 압연롤의 표면결함 발생여부를 신속하게 파악하지 못하면 소재에 대량의 불량을 발생시키게 된다.
따라서, 압연롤의 표면결함 발생여부를 실시간으로 파악할 수 있다면 이들 정보를 기반으로 압연롤 교체/그라인딩 작업을 실시함으로써 압연소재에 발생되는 표면결함을 미연에 방지할 수 있다. 또한, 압연롤에 발생된 표면결함의 높이/크기/방향 등의 3차원 정보를 파악할 수 있다면 압연롤에 발생된 표면결함의 사이즈별 압연소재 결함발생 가능성을 분석하여 최적의 압연롤 교체 타이밍을 도출해낼 수 있다.
특허공개 제2004-0006525호
이에 당 기술분야에서는 종래의 계측장치에서 파악이 불가능하였던 압연롤의 마모정도를 실시간으로 측정하고, 압연롤의 표면에 발생된 표면결함의 검출 및 표면결함의 상세정보를 실시간으로 측정할 수 있는 방안이 요구되고 있다.
다만, 본 발명의 목적은 이에만 제한되는 것은 아니며, 명시적으로 언급하지 않더라도 아래에서 설명하는 과제의 해결수단이나 실시 형태로부터 파악될 수 있는 목적이나 효과도 이에 포함된다고 할 것이다.
본 발명의 일 실시 형태에 따른 표면결함 계측장치는, 대상체의 표면에 각각 서로 다른 파장의 광을 조사하고, 상기 표면에서 반사된 광을 감지하는 제1 측정 모듈과 제2 측정 모듈을 포함하는 측정부; 및 상기 측정부의 작동을 제어하고, 상기 측정부로부터 전송되는 신호를 수신하여 표면결함을 검출하는 검출부;를 포함할 수 있다.
상기 제1 측정 모듈은, 제1 파장의 광을 조사하는 제1 조명 수단 및 상기 제1 조명 수단에 인접하여 배치되는 제1 감지 수단을 포함하고, 상기 제2 측정 모듈은, 제2 파장의 광을 조사하는 제2 조명 수단 및 상기 제2 조명 수단에 인접하여 배치되는 제2 감지 수단을 포함하며, 상기 제1 감지 수단은 상기 제2 파장의 광을 감지하고, 상기 제2 감지 수단은 상기 제1 파장의 광을 감지할 수 있다.
상기 제1 감지 수단은 상기 제2 파장의 광을 투과시키는 제1 필터를 더 포함하고, 상기 제2 감지 수단은 상기 제1 파장의 광을 투과시키는 제2 필터를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 필터는 상기 제1 파장의 광을 차단하고, 상기 제2 필터는 상기 제2 파장의 광을 차단할 수 있다.
상기 제1 측정 모듈은 복수의 상기 제1 조명 수단과 상기 제1 감지 수단을 포함하고, 상기 복수의 제1 조명 수단과 제1 감지 수단은 상호 교호적으로 배열될 수 있다.
상기 제2 측정 모듈은 복수의 상기 제2 조명 수단과 상기 제2 감지 수단을 포함하고, 상기 복수의 제2 조명 수단과 제2 감지 수단은 상호 교호적으로 배열될 수 있다.
상기 제1 및 제2 측정 모듈은, 상기 제1 조명 수단과 제1 감지 수단 및 상기 제2 조명 수단과 제2 감지 수단이 각각 장착되는 하우징을 포함할 수 있다.
레이저빔을 발생시키는 광원 및 상기 레이저 빔을 평면패턴 레이저빔 형태로 상기 대상체의 표면에 조사시키는 프리즘을 포함하는 광 출력부; 상기 대상체 표면에서 반사되는 평면패턴 레이저빔을 수신하는 광 수신부; 및 상기 광 수신부에서 전송된 신호를 처리하는 신호처리부;를 더 포함할 수 있다.
상기 프리즘은 일면에 평면패턴을 가지며, 상기 평면패턴은 수직방향 및 수평방향의 평행선을 복수개 연결한 바둑판 모양을 가질 수 있다.
상기 광원에서 발생된 상기 레이저빔의 직경을 조절하는 렌즈를 더 포함할 수 있다.
상기 검출부 및 상기 신호처리부로부터 각각 측정 결과를 전달받는 메인 서버를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 형태에 따른 표면결함 계측 시스템은, 대상체의 표면에 각각 서로 다른 파장의 광을 조사하고 상기 표면에서 반사된 광을 감지하는 제1 측정 모듈과 제2 측정 모듈을 포함하는 측정부, 및 상기 측정부로부터 전송된 신호를 수신하여 표면 결함을 검출하는 검출부를 포함하는 제1 계측장치; 레이저빔을 발생시키는 광원 및 상기 레이저 빔을 평면패턴 레이저빔 형태로 상기 대상체의 표면에 조사시키는 프리즘을 포함하는 광 출력부, 상기 대상체 표면에서 반사되는 평면패턴 레이저빔을 수신하는 광 수신부, 및 상기 광 수신부에서 전송된 신호를 처리하는 신호처리부를 포함하는 제2 계측장치; 및 상기 검출부 및 상기 신호처리부로부터 각각 측정 결과를 전달받는 메인 서버;를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 압연롤의 마모정도를 실시간으로 측정하고, 압연롤의 표면에 발생된 표면결함의 검출 및 표면결함의 상세정보를 실시간으로 측정할 수 있는 표면결함 계측장치 및 표면결함 계측 시스템이 제공될 수 있다.
본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시 형태를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표면결함 계측 시스템을 개략적으로 설명하는 도이다.
도 2는 도 1의 표면결함 계측 시스템에서 제1 계측장치를 개략적으로 설명하는 도이다.
도 3은 도 2의 제1 계측장치에서 제1 및 제2 측정 모듈을 개략적으로 나타내는 도이다.
도 4는 제1 및 제2 측정 모듈의 변형예를 개략적으로 나타내는 도이다.
도 5는 도 1의 표면결함 계측 시스템에서 제2 계측장치를 개략적으로 설명하는 도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시 형태로 한정되는 것은 아니다.
또한, 본 발명의 실시형태는 당해 기술분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면 상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다. 본 명세서에서, '상', '상부', '상면', '하', '하부', '하면', '측면' 등의 용어는 도면을 기준으로 한 것이며, 실제로는 소자나 구성요소가 배치되는 방향에 따라 달라질 수 있을 것이다.
도 1 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표면결함 계측 시스템을 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표면결함 계측 시스템을 개략적으로 설명하는 도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표면결함 계측 시스템(1)은 대상체(R)의 표면결함을 검출하는 제1 계측장치(10), 제2 계측장치(20), 및 메인 서버(30)를 포함할 수 있다.
상기 제1 계측장치(10)는 상기 대상체(R)에 발생된 결함의 검출 및 결함의 상세한 정보를 실시간으로 측정할 수 있다. 상기 제2 계측장치(20)는 상기 대상체(R)의 마모정도를 실시간으로 측정할 수 있다.
도 2에서는 상기 제1 계측장치를 개략적으로 설명하고 있다. 도 2를 참조하면, 상기 제1 계측장치(10)는 대상체(R)의 표면에 각각 서로 다른 파장의 광(L1,L2)을 조사하고 상기 표면에서 반사된 광을 감지하는 제1 측정 모듈(110)과 제2 측정 모듈(120)을 포함하는 측정부(100), 및 상기 측정부(100)로부터 전송된 신호를 수신하여 대상체(R)의 표면결함을 검출하는 검출부(200)를 포함할 수 있다.
표면결함의 검출 대상이 되는 상기 대상체(R)는, 예를 들어, 압연롤일 수 있으나 이에 한정하는 것은 아니다. 압연롤 이외에 압연 공정에 사용되는 다른 구성요소도 대상체에 포함될 수 있다. 본 발명에서는 대상체(R)가 압연롤인 경우를 대상으로 설명한다.
상기 측정부(100)는 상기 대상체(R)의 표면에 각각 서로 다른 파장의 광(L1,L2)을 조사하고, 상기 표면에서 반사된 광(L1,L2)을 감지하는 제1 측정 모듈(110)과 제2 측정 모듈(120)을 포함할 수 있다.
상기 제1 및 제2 측정 모듈(110,120)은 상기 대상체(R)에 대해 대칭을 이루며 서로 마주하는 구조로 배치될 수 있다. 즉, 정반사(正反射)를 구현하도록 상기 제1 및 제2 측정 모듈(110,120) 사이에 상기 대상체(R)가 위치하도록 배치될 수 있다.
도 3에서는 상기 제1 계측장치(10)에서 제1 및 제2 측정 모듈(110,120)을 개략적으로 나타내고 있다.
도 3을 참조하면, 상기 제1 측정 모듈(110)은 제1 파장의 광(L1)을 조사하는 제1 조명 수단(111) 및 상기 제1 조명 수단(111)에 인접하여 배치되는 제1 감지 수단(112)을 포함할 수 있다. 상기 제1 조명 수단 및 상기 제1 감지 수단은 하우징(114)에 장착되어 고정될 수 있다.
상기 제2 측정 모듈(120)은 제2 파장의 광(L2)을 조사하는 제2 조명 수단(121) 및 상기 제2 조명 수단(121)에 인접하여 배치되는 제2 감지 수단(122)을 포함할 수 있다. 상기 제2 조명 수단(121) 및 상기 제2 감지 수단(122)은 하우징(124)에 장착되어 고정될 수 있다.
상기 각 하우징(114,124)은 회전축(115,125)을 통해서 위치가 조정될 수 있다.
상기 제1 조명 수단(111)은 제1 파장의 광(L1)을 상기 대상체(R)의 표면에 조사할 수 있다. 그리고, 상기 제2 조명 수단(121)은 상기 제1 파장(L1)과 상이한 파장을 갖는 제2 파장의 광(L2)을 상기 대상체(R)의 표면에 조사할 수 있다.
상기 제1 및 제2 파장의 광(L1,L2)은 상기 대상체(R)의 표면 중 동일한 부위로 조사될 수 있다. 즉, 상기 제1 및 제2 파장의 광(L1,L2)이 각각 서로 반대 방향에서 상기 대상체(R)의 표면 동일한 부위에 조사될 수 있다.
상기 제1 감지 수단(112)은 상기 대상체(R)의 표면에서 반사되는 상기 제2 파장의 광(L2)을 감지할 수 있다. 그리고, 상기 제2 감지 수단(122)은 상기 대상체(R)의 표면에서 반사되는 상기 제1 파장의 광(L1)을 감지할 수 있다.
상기 제1 및 제2 감지 수단(112,122)은, 예를 들어, 상기 대상체(R)의 표면을 촬영할 수 있는 카메라를 포함할 수 있으나 이에 한정하는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 대상체(R)의 표면에서 반사된 광을 수광할 수 있는 감지 수단이면 모두 포함될 수 있다.
상기 제1 감지 수단(112)은 상기 제1 파장의 광(L1)을 차단하고 상기 제2 파장의 광(L2)을 투과시키는 제1 필터(113)를 포함할 수 있다. 그리고, 상기 제2 감지 수단(122)은 상기 제2 파장의 광(L2)을 차단하고 상기 제1 파장의 광(L1)을 투과시키는 제2 필터(123)를 포함할 수 있다.
상기 제1 및 제2 필터(113,123)는 상기 제1 및 제2 감지 수단(112,122)이 동일한 하우징(114,124)에 함께 장착된 상기 제1 및 제2 조명 수단(111,121)의 광에 영향을 받지 않고 상대 하우징(114,124)에 장착된 조명 수단(111,121)의 광만을 감지 및 감광하도록 할 수 있다.
상기 검출부(200)는 상기 측정부(100)의 작동을 제어하는 한편, 상기 측정부(100)로부터 전송되는 신호를 수신하여 상기 대상체(R)의 표면결함을 검출할 수 있다. 상기 검출부(200)는, 예를 들어, 컴퓨터를 포함할 수 있다.
상기 대상체(R)의 표면에 표면결함에 따른 굴곡이 형성된 경우, 상기 제1 및 제2 감지 수단(112,122)이 감지하는 상기 반사되는 광(L1,L2)의 감광량은 상기 굴곡에 따라 달라지게 된다. 상기 검출부(200)는 상기 제1 및 제2 감지 수단(112,122)으로부터 신호를 전달받고, 이러한 광(L1,L2)에 대한 감광량의 차이를 토대로 상기 대상체(R)의 표면결함을 검출할 수 있다. 또한, 상기 대상체(R) 표면의 돌출된 높이, 파여진 홈의 깊이, 크기 등 결함의 상세한 정보를 실시간을 측정 및 확보할 수 있다.
이와 같이, 본 실시 형태에서는 서로 다른 파장의 광(L1,L2)을 각각 조사하는 한 쌍의 제1 및 제2 측정 모듈(110,120)을 대상체(R)에 대해 정반사(正反射) 구조로 배치하여 반사되는 각 파장의 광(L1,L2)을 수광함으로써 표면결함을 검출하고, 아울러 결함의 상세한 정보를 실시간으로 측정 및 획득하는 것이 가능하다.
도 4에서는 상기 제1 및 제2 측정 모듈(110',120')의 변형예를 개략적으로 나타내고 있다.
도 4를 참조하면, 상기 제1 측정 모듈(110')은 복수의 상기 제1 조명 수단(111)과 상기 제1 감지 수단(112)을 포함하고, 상기 복수의 제1 조명 수단(111)과 제1 감지 수단(112)은 상호 교호적으로 배열될 수 있다.
마찬가지로, 상기 제2 측정 모듈(120')은 복수의 상기 제2 조명 수단(121)과 상기 제2 감지 수단(122)을 포함하고, 상기 복수의 제2 조명 수단(121)과 제2 감지 수단(122)은 상호 교호적으로 배열될 수 있다.
즉, 도 3에서 도시하는 실시 형태에 따른 제1 및 제2 측정 모듈(110,120)이 각각 단일의 조명 수단(111,121)과 감지 수단(112,122)을 가지는 것과 달리, 본 실시 형태에 따른 제1 및 제2 측정 모듈(110',120')은 각각 복수의 조명 수단(111,121)과 감지 수단(112,122)을 가지는 점에서 차이가 있는 것으로 이해될 수 있다.
상기 복수의 제1 조명 수단(111)과 복수의 제1 감지 수단(112) 및 상기 복수의 제2 조명 수단(121)과 복수의 제2 감지 수단(122)은 각각 하우징(114,124) 내에 장착되고, 상기 하우징(114,124)의 길이 방향을 따라서 배열될 수 있다.
상기 하우징(114,124)의 길이는 상기 대상체(R), 예를 들어, 압연롤의 길이에 대응하는 크기의 길이를 가질 수 있다. 그리고, 상기 대상체(R)와 길이 방향을 따라서 서로 평행한 구조로 배치될 수 있다. 따라서, 상기 대상체(R)의 길이 방향 전체의 표면에 대한 표면결함을 실시간으로 검출 및 측정할 수 있다.
상기 복수의 제1 및 제2 조명 수단(111,121)과 복수의 제1 및 제2 감지 수단(112,122)의 수량은 상기 대상체(R)의 길이에 대응하는 상기 하우징(114,124)의 길이에 따라서 다양하게 조절될 수 있다.
마찬가지로, 상기 하우징(114,124)는 각각 회전축(115,125)을 통해서 위치 조정이 가능하다. 그리고, 각 제1 및 제2 감지 수단(112,122)에는 제1 및 제2 필터(113,123)가 구비될 수 있다.
상기 제2 계측장치(20)는 광 출력부(300), 광 수신부(400) 및 신호처리부(500)를 포함할 수 있다.
도 5를 참조하여 상기 제2 계측장치에 대해 설명한다. 도 5는 상기 제2 계측장치를 개략적으로 설명하는 도이다.
도 5를 참조하면, 상기 광 출력부(300)는 레이저빔(L3)을 발생시키는 광원(310) 및 상기 레이저빔(L3)을 평면패턴 레이저빔 형태로 상기 대상체(R)의 표면에 조사시키는 프리즘(320)을 포함할 수 있다. 그리고, 상기 광원(310)에서 발생된 상기 레이저빔(L3)의 직경을 조절하는 렌즈(330)를 더 포함할 수 있다.
상기 광원(310)은 레이저빔(L3)을 발생시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 광원(310)은 p형 반도체와 n형 반도체를 접합한 p-n접합 반도체 다이오드에 전류를 인가하여 레이저빔(laser beam)을 발진시키는 레이저 다이오드(LD)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 광원(310)은, 예를 들어, n형 반도체층 및 p형 반도체층과 이들 사이에 배치된 활성층을 가지며 소정 파장의 광을 발광하는 발광다이오드(LED)를 포함할 수 있다.
상기 프리즘(320)은 일면에 평면패턴(321)을 가지며, 직진성을 갖는 상기 레이저빔(L3)을 확산시켜 상기 평면패턴 형태에 따라 평면패턴 레이저빔으로 상기 대상체(R)의 표면에 넓게 투사시킬 수 있다. 상기 평면패턴(321)은, 예를 들어, 수직방향 및 수평방향의 평행선을 복수개 연결한 바둑판 모양을 가질 수 있다.
상기 프리즘(320)은 광투과성 물질로 이루어질 수 있다. 본 실시 형태에서는 상기 프리즘(320)이 사각 형상을 갖는 것으로 예시하고 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다.
상기 렌즈(330)는 상기 광원(310)과 상기 프리즘(320) 사이에 배치되며, 상기 레이저빔(L3)의 직경을 조절할 수 있다. 상기 렌즈(330)는 단일 또는 복수개로 구비될 수 있다.
상기 광 수신부(400)는 상기 대상체(R) 표면에서 반사되는 평면패턴 레이저빔(L3)을 수신할 수 있다. 상기 광 수신부(400)는, 예를 들어, 영역 카메라(area camera)를 포함할 수 있으나 이에 한정하는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 대상체(R)의 표면에서 반사된 레이저빔을 수광할 수 있는 감지 수단이면 모두 포함될 수 있다.
상기 신호처리부(500)는 상기 광 수신부(400)에서 전송된 신호를 처리할 수 있다. 레이저빔이 조사되는 조사영역 내에 표면굴곡이 있는 경우 상기 광 수신부(400)에 수신되는 상기 평면패턴의 형태는 본래의 바둑판 모양에서 변화할 수 있다. 상기 신호처리부(500)는 이러한 패턴의 변화 정도를 기준으로 표면의 3차원 데이터를 생성할 수 있다. 그리고, 이러한 3차원 데이터를 토대로 대상체(R) 표면의 마모정도를 측정할 수 있다.
특히, 수직방향 및 수평방향으로 평행선을 복수개 연결한 바둑판 모양의 평면패턴(321)을 갖는 레이저빔을 조사함으로써 작업장 내의 분진 등에 의해 레이저빔이 산란되어 발생될 수 있는 측정 오류를 최소화하고, 측정 정도를 향상시킬 수 있다.
상기 메인 서버(30)는 상기 검출부(200) 및 상기 신호처리부(500)로부터 각각 측정 결과를 전달받을 수 있다. 이러한 측정 결과는 오프라인 분석 및 실시간 제어기기로 전달될 수 있다.
종래에는 교체주기를 사전에 정하여 일정 기간마다 압연롤을 교체/표면 그라인딩을 실시하여 압연롤의 직경 균일도를 관리하였다. 그러나, 본 발명의 실시예에 따른 계측장치 및 계측 시스템은 압연롤의 마모 정도를 실시간으로 측정하고, 압연롤 표면에 발생된 표면결함을 검출 및 결함의 상세한 정보를 실시간으로 측정할 수 있다. 그리고, 실시간 정보를 토대로 압연롤 교체/그라인딩 작업을 실시함으로써 압연소재에 발생될 수 있는 결함을 미연에 방지하는 것이 가능하다.
아울러, 실시간 측정 결과에 따른 정보를 토대로 결함의 사이즈별 압연소재의 결함 발생 가능성을 분석하여 최적의 압연롤 교체 타이밍을 도출해낼 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시 형태에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.
1... 표면결함 계측 시스템
10... 제1 계측장치
20... 제2 계측장치
30... 메인 서버
100...측정부
200... 검출부
300... 광 출력부
400... 광 수신부
500... 신호처리부

Claims (12)

  1. 대상체의 표면에 각각 서로 다른 파장의 광을 조사하고, 상기 표면에서 반사된 광을 감지하는 제1 측정 모듈과 제2 측정 모듈을 포함하는 측정부;
    상기 측정부의 작동을 제어하고, 상기 측정부로부터 전송되는 신호를 수신하여 표면결함을 검출하는 검출부;
    레이저빔을 발생시키는 광원 및 상기 레이저 빔을 평면패턴 레이저빔 형태로 상기 대상체의 표면에 조사시키는 프리즘을 포함하는 광 출력부;
    상기 대상체 표면에서 반사되는 평면패턴 레이저빔을 수신하는 광 수신부; 및
    상기 광 수신부에서 전송된 신호를 처리하는 신호처리부;
    를 포함하고,
    상기 제1 측정 모듈은, 제1 파장의 광을 조사하는 복수의 제1 조명 수단 및 상기 복수의 제1 조명 수단에 인접하여 배치되되 상기 복수의 제1 조명 수단과 상호 교호적으로 배열되는 복수의 제1 감지 수단을 포함하고,
    상기 제2 측정 모듈은, 제2 파장의 광을 조사하는 복수의 제2 조명 수단 및 상기 복수의 제2 조명 수단에 인접하여 배치되되 상기 복수의 제2 조명 수단과 상호 교호적으로 배열되는 복수의 제2 감지 수단을 포함하며,
    상기 제1 감지 수단은 상기 제2 파장의 광을 감지하고, 상기 제2 감지 수단은 상기 제1 파장의 광을 감지하는 것을 특징으로 하는 표면결함 계측장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 감지 수단은 상기 제2 파장의 광을 투과시키는 제1 필터를 더 포함하고, 상기 제2 감지 수단은 상기 제1 파장의 광을 투과시키는 제2 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 계측장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 필터는 상기 제1 파장의 광을 차단하고, 상기 제2 필터는 상기 제2 파장의 광을 차단하는 것을 특징으로 하는 표면결함 계측장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 측정 모듈은, 상기 제1 조명 수단과 제1 감지 수단 및 상기 제2 조명 수단과 제2 감지 수단이 각각 장착되는 하우징을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 계측장치.
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서,
    상기 프리즘은 일면에 평면패턴을 가지며, 상기 평면패턴은 수직방향 및 수평방향의 평행선을 복수개 연결한 바둑판 모양을 가지는 것을 특징으로 하는 표면결함 계측장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 광원에서 발생된 상기 레이저빔의 직경을 조절하는 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 계측장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 검출부 및 상기 신호처리부로부터 각각 측정 결과를 전달받는 메인 서버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면결함 계측장치.
  12. 대상체의 표면에 각각 서로 다른 파장의 광을 조사하고 상기 표면에서 반사된 광을 감지하는 제1 측정 모듈과 제2 측정 모듈을 포함하는 측정부, 및 상기 측정부로부터 전송된 신호를 수신하여 표면 결함을 검출하는 검출부를 포함하는 제1 계측장치;
    레이저빔을 발생시키는 광원 및 상기 레이저 빔을 평면패턴 레이저빔 형태로 상기 대상체의 표면에 조사시키는 프리즘을 포함하는 광 출력부, 상기 대상체 표면에서 반사되는 평면패턴 레이저빔을 수신하는 광 수신부, 및 상기 광 수신부에서 전송된 신호를 처리하는 신호처리부를 포함하는 제2 계측장치; 및
    상기 검출부 및 상기 신호처리부로부터 각각 측정 결과를 전달받는 메인 서버;
    를 포함하고,
    상기 제1 측정 모듈은, 제1 파장의 광을 조사하는 복수의 제1 조명 수단 및 상기 복수의 제1 조명 수단에 인접하여 배치되되 상기 복수의 제1 조명 수단과 상호 교호적으로 배열되는 복수의 제1 감지 수단을 포함하고,
    상기 제2 측정 모듈은, 제2 파장의 광을 조사하는 복수의 제2 조명 수단 및 상기 복수의 제2 조명 수단에 인접하여 배치되되 상기 복수의 제2 조명 수단과 상호 교호적으로 배열되는 복수의 제2 감지 수단을 포함하며,
    상기 제1 감지 수단은 상기 제2 파장의 광을 감지하고, 상기 제2 감지 수단은 상기 제1 파장의 광을 감지하는 것을 특징으로 하는 표면결함 계측 시스템.
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