KR101724193B1 - 용존산소 측정 센서, 그 제조방법, 및 용존산소 측정 장치 - Google Patents

용존산소 측정 센서, 그 제조방법, 및 용존산소 측정 장치 Download PDF

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Abstract

용존산소 측정 센서와, 그 제조방법, 그리고 개별 센서를 어레이 배열로 포함하는 장치가 제공된다. 이 센서는 내부에 밀폐된 공간을 제공하는 용기부와, 용기부 상에 배치된 전극을 포함하는 전기분해부와, 용기부의 공간 내에 배치된 감지부를 포함하고, 피측정 용액 내에 배치된 상태에서 전기분해부에 전기가 인가되어 발생되는 전기분해에 의해 용기부의 일부가 개방되고 개방된 부위를 통해 용기부의 공간 내로 피측정 용액이 투입되어 감지부에 접촉됨으로써 측정이 이루진다.

Description

용존산소 측정 센서, 그 제조방법, 및 용존산소 측정 장치{DISSOLVED OXYGEN MEASURING SENSOR, MANUFACTURING METHOD THEREOF AND DISSOLVED OXYGEN MEASURING APPARATUS}
본 발명은 용존산소 측정 분야에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전기분해에 의한 막 파괴에 의해 투입되는 피측정 용액과 감지부가 접촉함으로써 측정이 이루어지는 용존산소 측정 센서, 그 제조방법, 및 그러한 센서를 어레이로 포함하는 용존산소 측정 장치에 관한 것이다.
용존산소량계는 수질측정계 중에서 가장 핵심적인 계측기라고 할 수 있다. 용존산소량은 물속에 녹아있는 산소의 양을 뜻하며 1L의 물에 들어있는 산소의 mg 단위 양으로 표시된다.
기존의 일반적인 전기화학적 용존산소량계는 다른 pH 센서, ORP 센서 등과 달리 장기간의 실시간 연속 측정이 불가능하다. 용존산소량계의 주요 부품인 전해질, 필터, 전극봉의 수명이 수개월 이내로 짧아, 계측기를 자주 교환해야 되는 문제점을 가지고 있기 때문이다. 또한 맴브레인은 유기물이 내부에 침투하여 맴브레인의 선택적 투과성을 떨어뜨리는 파울링 현상과 부유물과 오염물이 쉽게 점착되는 문제로 인해 사용 수명이 매우 짧아 잦은 교체가 요구된다. 특히 하폐수 처리장과 같이 부유물질이 많은 환경에서는 맴브레인의 교체 수명은 1개월에 불과하다. 전극봉의 경우 자체 전기화학적 반응에 의한 노후화를 피할 수 없어 3개월 정도의 수명을 지니며, 전해질은 전해질 내의 이온들이 공기 중에 노출되면 변질되어 수명이 1개월 정도에 불과하다. 따라서 잦은 부품 교체로 인해 기존의 용존산소량계로는 장기간에 걸친 실시간 연속측정이 힘들다고 할 수 있다. 이러한 전기화학적 용존산소량계의 문제를 개선하기 위해 LED를 이용한 광학적 방식이 개발되었으나, 전해질, 맴브레인의 교체가 필요 없어 사용 편의성을 개선한 대신에, 가격이 매우 높고 측정 범위가 작으며 형광체와 광학 소자들의 열화로 인한 계측기의 수명은 여전히 진전이 없어 완전한 해결책이 되지는 못하고 있다. 따라서 아직 생산되는 용존산소량계의 90% 이상이 전기화학적 방식이며, 용존산소량계의 수명 문제는 해결해야 될 가장 큰 과제로 남아 있다.
한국특허공개 10-1999-014660
본 발명은 상술한 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 전기분해에 의한 막 파괴에 의해 투입되는 피측정 용액과 감지부가 접촉함으로써 측정이 이루어지는 용존산소 측정 센서를 제공한다.
본 발명은 또한 상술한 개선된 용존산소 측정 센서의 제조방법을 제공한다.
본 발명은 또한 상술한 개선된 개별 용존산소 측정 센서를 어레이로 포함하는 용존산소 측정 장치를 제공한다.
본 발명은 용존산소 측정 센서를 제공하며, 이는: 내부에 밀폐된 공간을 제공하는 용기부; 상기 용기부 상에 배치된 전극을 포함하는 전기분해부; 및 상기 용기부의 공간 내에 배치된 감지부;를 포함하고, 피측정 용액 내에 배치된 상태에서 상기 전기분해부에 전기가 인가되어 발생되는 전기분해에 의해 상기 용기부의 일부가 개방되고, 개방된 부위를 통해 상기 용기부의 공간 내로 피측정 용액이 투입되어 상기 감지부에 접촉됨으로써 측정이 이루어진다.
상기 전기분해부의 전극이 배치되는 용기부의 부위는 박막으로 형성된 것이다.
상기 용기부는: 바닥부와 측벽부를 포함하여, 내부에 홈 형태의 공간을 제공하고 상부가 개구된 용기몸체; 및 개구된 부위에 배치된 덮개부;를 포함하고, 상기 박막은 상기 덮개부에 배치된다.
상기 감지부는 전해질, 작동전극, 상대전극, 및 기준전극을 포함할 수 있다.
상기 감지부는 상기 용기부의 밀폐된 공간 외부로 노출된, 전극들을 위한 단자들 및 배선들을 더 포함할 수 있다.
상기 전기분해부는 양전극과 음전극의 전극쌍을 하나 이상 포함하고, 상기 양전극과 상기 음전극은 하나 이상의 막대부위를 포함하며, 상기 양전극의 막대부위와 상기 음전극의 막대부위는 교번적인 배열이 되도록 서로 삽입될 수 있다.
상기 박막은 산화막일 수 있다.
본 발명은 또한 상술한 어느 하나의 개별 용존산소 측정 센서를 다수개 포함하는 용존산소 측정 장치를 제공한다.
상기 다수개의 용존산소 측정 센서들은 각각 고유 식별이 가능하도록 어레이로 배열되어 선택적인 동작이 가능하다. 이 경우, 상기 센서들의 일부 또는 전부가 바닥부를 공유할 수 있다.
본 발명은 또한 용존산소 측정 센서 제조방법을 제공하며, 이는: (a) 바닥부와 측벽부를 포함하는 용기몸체와, 상기 용기몸체 내에 적어도 전해질과 센서 전극들이 수용된 감지부를 포함하는 하부구조를 준비하는 단계; (b) 전기분해부가 형성된 덮개부를 준비하는 단계; 및 (c) 상기 하부구조에 상기 덮개부를 결합하는 단계;를 포함한다. 상기 결합된 구조가 피측정 용액 내에 배치된 상태에서 상기 전기분해부에 전기가 인가되어 발생되는 전기분해에 의해 상기 덮개부의 해당 부위가 개방되고, 개방된 부위를 통해 상기 용기부의 공간 내로 피측정 용액이 투입되어 그 내부의 감지부에 접촉됨으로써 측정이 이루어진다.
상기 단계 (a)는: (a1) 상기 바닥부를 이루는 베이스판에 작동전극, 상대전극 및 기준전극을 포함하는 센서 전극군과, 센서 전극군을 위한 단자와 배선을 형성하는 단계; 및 (a2) 상기 적어도 센서 전극군을 포함하도록 측벽부를 상기 바닥부에 결합하는 단계;를 포함한다.
상기 단계 (b)는: (b1) 기판 상에 박막을 형성하는 단계; (b2) 상기 기판 상면의 상기 박막 상에 전기분해부를 형성하는 단계; 및 (b3) 상기 기판의 하면 측에서 상기 기판의 일부분을 선택적으로 제거하는 단계;를 포함하고, 상기 단계 (b3)에서 상기 기판의 일부분을 선택적으로 제거하는 것은 상기 박막의 하면을 노출시킨다.
상기 기판이 선택적으로 제거되는 부위는 상기 전기분해부의 양극과 음극이 대면하면서 배치된 전극쌍 부위에 대응한다.
본 발명에 따르면, 반도체 제조 공정과 유사한 방식으로 용존산소 측정 센서 와, 그를 어레이로 포함하는 용존산소 측정 장치를 제조할 수 있다. 기존의 센서가 전해질, 전해액, 나피온을 수시로 교체하여야 하지만, 본 발명의 센서 및 장치는 다수개의 개별 센서를 포함하는 구성이 가능하기 때문에, 개별 센서를 선택적, 순차적으로 작동시키는 것이 가능하고, 그럼으로써 실질적으로 연속적이고 장기간의 측정이 가능하다. 또한 센서들은 방수가 가능한 구조이기 때문에 장치 수명을 더욱 연장시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 용존산소 측정 센서를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1의 A-A에 따른 단면도이다.
도 3은 도 1의 용존산소 측정 센서의 사용예를 보여주기 위해 도시한 도면이다.
도 4a 내지 4d는 도 1의 용존산소 측정 센서 및 그의 구성요소를 도시한 도면이다.
도 5는 도 1의 용존산소 측정 센서의 구조와 동작을 설명하기 위해 도시한 도면이다.
도 6a 내지 도 6h는 본 발명의 용존산소 측정 센서에 포함되는 전기분해부(12)가 형성된 덮개부(112)에 대한 제조 과정을 나타낸 도면이다.
도 7a 내지 7d는 본 발명의 센서(1)에 포함된 전극쌍(121) 부위에 대한 사진이다.
도 8은 본 발명의 용존산소 측정 장치를 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시예를 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
도 1은 본 발명의 용존산소 측정 센서를 개략적으로 도시한 도면이다. 도 2는 도 1의 A-A에 따른 단면도이다. 도 3은 도 1의 용존산소 측정 센서의 사용예를 보여주기 위해 도시한 도면이다. 도 4a 내지 4d는 도 1의 용존산소 측정 센서 및 그의 구성요소를 도시한 도면이다. 도 5는 도 1의 용존산소 측정 센서의 구조와 동작을 설명하기 위해 도시한 도면이다.
도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 용존산소 측정 센서(1)는 내부에 밀폐된 공간(S1)을 제공하는 용기부(11)와, 용기부(11) 상에 배치된 전극을 포함하는 전기분해부(12)와, 용기부(11)의 공간(S1) 내에 배치된 감지부(13)를 포함한다. 이러한 용존산소 측정 센서(1)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 피측정 용액 내에 배치된 상태에서 전기분해부(12)에 전기가 인가되어 발생되는 전기분해에 의해 용기부(11)의 일부가 개방되고, 개방된 부위를 통해 용기부(11)의 공간 내로 피측정 용액이 투입되어 감지부(13)에 접촉됨으로써 측정이 이루어진다.
여기서 바람직하게는 전기분해부(12)의 전극이 배치되는 용기부(11)의 부위는 박막(1121)으로 형성될 수 있고, 박막(1121)은 예를 들어 산화막일 수 있다. 본 발명의 용존산소 측정 센서(1)의 적어도 일부분, 이를 테면, 전기분해부(12)가 배치되는 덮개부(112)가 반도체 장치의 제조공정과 유사한 공정을 통해 제조될 수 있다.
용기부(11)는 용기몸체(111)와 덮개부(112)를 포함한다. 용기몸체(111)는 바닥부(1111)와 측벽부(1112)를 포함함으로써, 용기부(11)의 내부에 홈 형태의 공간을 제공한다.
용기몸체(111)의 바닥부(1111)에는 3전극 구성의 감지부(13)가 배치된다. 후술되는 바와 같이 감지부(13)는 반도체 제조 공정과 유사한 방식으로 바닥부(1111)인 베이스판에 형성될 수 있다.
측벽부(1112)는 이들 감지부(13)의 적어도 센서 전극군(131, 132, 133)이 바닥부(1111)와 측벽부(1112)가 결합하면서 형성되는 공간(S1) 내에 포함되도록 바닥부(1111)에 결합된다. 따라서, 감지부(13)의 센서 전극군(131, 132, 133)은 통형 공간을 가지는 측벽부(1112)의 테두리의 내부에 배치되도록 정해진다. 이와 같이 감지부(13)가 형성된 용기몸체(111)를 여기서는 하부구조라고 칭할 수 있다.
바닥부(1111)는 예를 들어 글라스와 같은 소재가 이용될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 이와 같이 바닥부(1111)에 감지부(13)가 형성된 구조를 도 4a에서 보여준다. 참고적으로, 도 4a에서의 파선으로 나타낸 것은 측벽부(1112)가 배치되는 위치를 나타낸다.
측벽부(1112)는 예를 들어 PDMS와 같은 소재를 이용하여 형성할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
바닥부(1111)와 측벽부(1112)로 이루어진 용기몸체(111)에 감지부(13)가 포함된 구성인, 하부구조는 도 4b에서 확인할 수 있다. 측벽부(1112)를 감지부(13)의 센서 전극군(131, 132, 133), 배선(135) 및 단자(136)가 형성된 바닥부(1111)에 결합하고 나서, 나피온과 같은 전해질(134)을 공간에 채워 넣을 수 있다.
덮개부(112)는, 상술한 바와 같이, 그 상면에 형성된 전기분해부(12)를 가진다. 이러한 구조는 반도체 장치의 제조공정과 유사한 공정을 통해 아래에서 상세하게 설명되는 바와 같이 제조될 수 있다.
덮개부(112) 상에 형성되는 전기분해부(12)는 양전극과 음전극으로 이루어진 전극쌍(121)을 하나 이상 포함한다. 이러한 전극쌍(121)의 양전극과 음전극은 막대부위(1211)를 하나 이상 가지며, 이들 막대부위(1211)는 서로 삽입되어 교번적으로 배열되는 구성이다(도 5 참조). 덮개부(112)에 있어서 전극쌍(121)이 형성되는 부위는 박막(1121)만이 배치되며, 이는 도 4c의 우측에 도시한 덮개부(112)의 하면에서 확인할 수 있다. 도 4c의 우측 도면에서, 덮개부(112)의 하면에는 다수개의 홈(S2)이 형성되어 있는 것이 보이며, 이 홈들은 박막(1121)의 하면을 노출시키며, 그 부위 박막(1121)의 상면에는 전극쌍(121)이 배치된다. 다시 도 1 및 2를 참조하여, 전기분해부(12)는 전극쌍(121) 외에, 단자(124)와 배선(123)을 포함한다. 또한, 도 1 및 2에서는 보이지 않을 수 있으나, 배선(123) 상에는 보호막(125)이 배치될 수 있다(도 5 참조).
전기분해부가 형성된 덮개부(112)는 측벽부(1112) 상에 결합되면서 용기부(11) 내부의 공간(S1)을 밀폐시킨다. 이 결합 역시 O2 플라즈마를 이용하여 이루어질 수 있다. 이와 같이 결합된 구조가 본 발명의 용존산소 측정 센서(1)이며, 이는 도 4d 및 도 1에 도시된 바와 같다.
도 5는 본 발명의 용존산소 측정 센서를 설명하기 위해 개략적으로 나타낸 도면이다. 가장 아래는 바닥부(1111), 측벽부(1112), 및 감지부(13)를 포함하는 하부구조에 대한 단면도이고, 가장 위는 전기분해부(12)가 형성된 덮개부(112)에 대한 단면도이며, 중앙은 전기분해부(12)에 대한 평면도이다.
도 5, 및 도 4c에서 알 수 있는 바와 같이, 덮개부(112)에서 전극쌍(121)이 형성되는 부위는 박막(1121)만이 존재하며, 이는 덮개부(112)의 하면을 보여주는 도 4c의 우측도면에서 홈(S2)들에 해당한다.
전기분해부(12)나 감지부(13)의 배선 상에는 보호막이 형성될 수 있다. 예를 들어, 도 5에서 알 수 있는 바와 같이, 전기분해부(12)의 배선(123) 상에는 포토레지스트와 같은 소재를 이용하여 형성된 보호막(125)이 형성될 수 있다. 또한, 전기분해부(12)나 감지부(13)의 전극의 외부 접속을 위한 단자(124, 136)들은 전도성 에폭시와 같이 부식을 방지할 수 있는 소재가 적용될 수 있다.
도 6a 내지 도 6h는 본 발명의 용존산소 측정 센서에 포함되는 전기분해부(12)가 형성된 덮개부(112)에 대한 제조 과정을 나타낸 도면이다.
먼저, 도 6a와 같이, 예를 들어 실리콘 기판(1122) 상에 박막층(1121, 1123)을 형성한다. 이는 예를 들어 TEOS를 이용하여 CVD 방식으로 형성할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 박막층(1121, 1123)은 실리콘 기판의 상면과 하면에 각각 형성할 수 있고, 이 경우 상면의 경우는 약 3000ㅕ의 두께로 형성할 수 있고, 하면은 2㎛의 두께로 형성할 수 있다.
이어, 도 6b와 같이, 기판(1122) 상면의 박막층(1121) 상에 리프트오프용 마스크(M1)를 형성하며, 마스크(M1)는 예를 들어 포토레지스트를 이용할 수 있다.
도 6c와 같이, 마스크(M1)를 포함하는 기판 상면의 박막층(1121) 전면에 금속층(120)을 형성하며, 예를 들어 Cr/Au를 적용할 수 있다. 참고적으로, 도면에서는 이해의 편의를 위해 마스크(M1) 상에는 금속층(120)이 형성되지 않은 것으로 도시하였으나, 마스크(M1) 위에도 금속층(120)이 형성될 수도 있다.
도 6d와 같이, 마스크(M1)를 리프트오프하여 전기분해부(12)의 전극쌍(121) 및 배선(123)을 형성한다. 도면에서는 부호로 표시하지 않았지만 전극쌍은 배선(123)이 단절된 부분에서 형성된다.
다음에, 도 6e와 같이, 배선(123) 상에 보호막(125)을 형성한다. 이는 포토레지스트와 같은 절연성 물질을 도포하고 베이킹하는 것으로 구현할 수 있다.
도 6f와 같이, 기판(1122) 하면의 박막층(1123) 상에 식각용 마스크(M2)를 형성한다. 이는 포토리소그래피를 통해 형성할 수 있다.
도 6g 및 6h와 같이, 기판(1122) 하면의 박막층(1123) 일부와 기판(1122)의 일부를 식각 제거한다. 이때의 식각 깊이는 기판(1122) 상면의 박막층(1121)이 노출되도록 식각한다. 식각되는 부위는 기판 상면에 형성된 전극쌍(121)들에 대응하는 부위에 해당한다. 참고적으로, 기판(1122) 부위를 식각하기 전에, 도 6h와 같이, 패시베이션층(1251)을 먼저 형성한 후 진행하는 것도 가능하다. 이러한 패시베이션층(1251)은 전기분해부(12) 배선(123)들에 대한 보호막 역할을 수행할 수 있다.
이상의 제조 과정의 설명에서는 생략되었으나, 전기분해부(12)의 단자들은 전도성 에폭시와 같은 소재를 적용할 수 있다.
이렇게 제조된 덮개부(112)를 준비된 하부구조, 즉 바닥부(1111), 측벽부(1112) 및 감지부(13)를 포함하는 구조에 결합한다. 이는 상술한 바와 같이 덮개부(112)를 측벽부(1112) 상에 결합하며, O2 플라즈마를 이용하여 구현할 수 있다.
이상과 같은 본 발명의 용존산소 측정 센서(1)는, 도 3과 같이 피측정 용액 내에 투입될 수 있다. 이 상태에서 전기분해부(12)에 전기가 인가되어 전기분해가 발생하면, 전기분해에 의한 충격에 의해 박막(1121)과 전극쌍(121)이 파괴되어 용기부(11)의 밀폐된 공간(S1)을 개방하고, 그를 통해 피측정 용액이 투입되어 용기부(11)의 공간(S1) 내에 있는 감지부(13)의 전해질(134)과 접촉하게 됨으로써 용존 산소량의 측정이 이루어지게 된다.
도 7a 내지 7d는 본 발명의 센서(1)에 포함된 전극쌍(121) 부위에 대한 사진이다. 도 7a와 도 7b는 각각 전극쌍(121)을 전면(평면도)과 후면을 나타낸다. 이때는 아직 전기분해가 발생하지 않은 상태로서 전극쌍(121)이 그대로 유지되고 있는 형태를 보여준다. 도 7c와 도 7d는 전기분해가 발생한 후의 파괴된 전극쌍(121)에 대한 전면과 후면을 보여준다.
도 8은 본 발명의 용존산소 측정 장치를 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이다.
본 발명의 용존산소 측정 장치는 도 8에 도시한 바와 같이 개별 센서(1)를 다수개 포함할 수 있고, 바람직하게는 어레이로 포함할 수 있다. 이러한 어레이 형태는 개별 센서(1)들이 고유하게 식별될 수 있도록 하고, 그럼으로써 개별 센서(1)들이 선택적으로 작동할 수 있다. 따라서, 장치의 수명을 대폭적으로 연장할 수 있게 된다. 또한, 이러한 개별 센서를 어레이로 포함하는 장치는 개별 센서(1)들을 각각 제조하는 대신 반도체 제조 공정과 유사한 공정을 이용하여 어레이를 한번에 제조할 수도 있다. 이 경우에는, 바닥부, 측벽부, 및 감지부를 포함하는 하부구조와 전기분해부를 포함하는 덮개부를 각각 어레이로 제조한 후 결합하는 것으로 구현할 수 있다. 이와 같이 개별 센서가 어레이로 배열된 장치를 제조할 경우에는 바닥부는 하나의 베이스판을 공유하는 형태가 가능하다.
이상, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해서 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명하다 할 것이다.
1: 용존산소 측정 센서 11: 용기부
12: 전기분해부 13: 감지부
111: 용기몸체 112: 덮개부
120: 금속층 121: 전극쌍
123, 135: 배선 124, 136: 단자
125: 보호막 131, 132, 133: 센서 전극군
134: 전해질 1111: 바닥부
1112: 측벽부 1121: 박막
1122: 실리콘 기판 1123: 박막층
1211: 막대부위 M1, M2: 마스크
S1: 공간 S2: 홈

Claims (15)

  1. 용존산소 측정 센서로서:
    내부에 밀폐된 공간을 제공하는 용기부;
    상기 용기부 상에 배치된 전극을 포함하는 전기분해부; 및
    상기 용기부의 공간 내에 배치된 감지부;를 포함하고,
    피측정 용액 내에 배치된 상태에서 상기 전기분해부에 전기가 인가되어 발생되는 전기분해에 의해 상기 용기부의 일부가 개방되고, 개방된 부위를 통해 상기 용기부의 공간 내로 피측정 용액이 투입되어 상기 감지부에 접촉됨으로써 측정이 이루어지는 용존산소 측정 센서.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 전기분해부의 전극이 배치되는 용기부의 부위는 박막으로 형성된 것인, 용존산소 측정 센서.
  3. 청구항 2에 있어서, 상기 용기부는:
    바닥부와 측벽부를 포함하여, 내부에 홈 형태의 공간을 제공하고 상부가 개구된 용기몸체; 및
    개구된 부위에 배치된 덮개부;를 포함하고,
    상기 박막은 상기 덮개부에 배치된 것인, 용존산소 측정 센서.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 감지부는 전해질, 작동전극, 상대전극, 및 기준전극을 포함하는 것인, 용존산소 측정 센서.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 감지부는 상기 용기부의 밀폐된 공간 외부로 노출된, 전극들을 위한 단자들 및 배선들을 더 포함하는 것인, 용존산소 측정 센서.
  6. 청구항 2에 있어서,
    상기 전기분해부는 양전극과 음전극의 전극쌍을 하나 이상 포함하고, 상기 양전극과 상기 음전극은 하나 이상의 막대부위를 포함하며, 상기 양전극의 막대부위와 상기 음전극의 막대부위는 교번적인 배열이 되도록 서로 삽입된 것인, 용존산소 측정 센서.
  7. 청구항 2에 있어서,
    상기 박막은 산화막인 것인, 용존산소 측정 센서.
  8. 선행하는 청구항 중 어느 하나의 개별 용존산소 측정 센서를 다수개 포함하는 용존산소 측정 장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 다수개의 용존산소 측정 센서들은 각각 고유 식별이 가능하도록 어레이로 배열되어 선택적인 동작이 가능한 것인, 용존산소 측정 장치.
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 센서들의 일부 또는 전부가 바닥부를 공유하는 것인, 용존산소 측정 장치.
  11. 용존산소 측정 센서 제조방법으로서:
    (a) 바닥부와 측벽부를 포함하는 용기몸체와, 상기 용기몸체 내에 적어도 전해질과 센서 전극들이 수용된 감지부를 포함하는 하부구조를 준비하는 단계;
    (b) 전기분해부가 형성된 덮개부를 준비하는 단계; 및
    (c) 상기 하부구조에 상기 덮개부를 결합하여 용기부를 형성하는 단계;를 포함하는, 용존 산소 측정 센서의 제조 방법.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 결합된 구조가 피측정 용액 내에 배치된 상태에서 상기 전기분해부에 전기가 인가되어 발생되는 전기분해에 의해 상기 덮개부의 해당 부위가 개방되고, 개방된 부위를 통해 상기 용기부의 공간 내로 피측정 용액이 투입되어 그 내부의 감지부에 접촉됨으로써 측정이 이루어지는 것인, 용존산소 측정 장치의 제조 방법.
  13. 청구항 11에 있어서, 상기 단계 (a)는;
    (a1) 상기 바닥부를 이루는 베이스판에 작동전극, 상대전극 및 기준전극을 포함하는 센서 전극군과, 센서 전극군을 위한 단자와 배선을 형성하는 단계; 및
    (a2) 상기 적어도 센서 전극군을 포함하도록 측벽부를 상기 바닥부에 결합하는 단계;를 포함하는, 용존 산소 측정 센서의 제조 방법.
  14. 청구항 11에 있어서, 상기 단계 (b)는:
    (b1) 기판 상에 박막을 형성하는 단계;
    (b2) 상기 기판 상면의 상기 박막 상에 전기분해부를 형성하는 단계; 및
    (b3) 상기 기판의 하면 측에서 상기 기판의 일부분을 선택적으로 제거하는 단계;를 포함하고,
    상기 단계 (b3)에서 상기 기판의 일부분을 선택적으로 제거하는 것은 상기 박막의 하면을 노출시키는 것인, 용존 산소 측정 센서의 제조 방법.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 기판이 선택적으로 제거되는 부위는 상기 전기분해부의 양극과 음극이 대면하면서 배치된 전극쌍 부위에 대응하는 것인, 용존 산소 측정 센서의 제조 방법.
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