KR101721825B1 - 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 방법 및 장치 - Google Patents

반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 방법 및 장치에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 방법은 단말은 외부로부터 공정 설비의 전장품에 대한 검사명령을 수신하는 단계, 상기 단말은 상기 검사명령이 제1검사명령이면, 캘리브레이터로 명령신호를 송신하는 단계, 상기 캘리브레이터는 제1제어신호를 생성하여 입출력 보드로 전송하는 단계, 상기 단말은 프로그래머블 로직 컨트롤러를 제어하여 상기 입출력 보드를 통해 상기 제1제어신호 또는 제2제어신호를 상기 공정 설비의 전장품으로 전송하는 단계, 상기 단말은 상기 프로그래머블 로직 컨트롤러를 제어하여 DMM 보드를 통해 출력신호를 상기 공정 설비의 전장품으로부터 상기 디지털 멀티 미터에 수신되도록 제어하는 단계, 상기 디지털 멀티 미터는 상기 출력신호를 이용하여 상기 공정 설비의 전장품 이상여부를 검사하여 출력신호 결과정보를 생성하는 단계를 포함한다.

Description

반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR TESTING OF PROCESS SYSTEM IN SEMICONDUCTOR AND LCD}
본 발명은 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 방법 및 장치에 관한 것이다.
집적 회로 소자들과 같은 반도체 소자들은 일반적으로 실리콘 웨이퍼와 같은 기판 상에 일련의 처리 공정들을 반복적으로 수행함으로써 형성될 수 있다. 예를 들면, 기판 상에 막을 형성하는 증착 공정, 막을 전기적 특성들을 갖는 패턴들로 형성하기 위한 식각 공정, 패턴들에 불순물들을 주입 또는 확산시키기 위한 이온 주입 공정 또는 확산 공정, 패턴들이 형성된 기판으로부터 불순물들을 제거하기 위한 세정 및 린스 공정 등을 반복적으로 수행함으로써 반도체 소자들이 기판 상에 형성될 수 있다.
이와 같이, 반도체나 LCD를 생산하는 공정에서는 작은 오류가 발생하여도 큰 손실이 발행하므로, 각 설비의 기능을 검사하는 것은 매우 중요한 요소이다.
대한민국 공개특허 제 10-2015-0071849호(2015년06월29일)는 반도체 검사 공정에 관한 공정 파라미터들의 기준값들과 허용오차값들을 포함하는 레퍼런스 파일이 반도체 검사 설비에 저장되어 있는지 확인하는 단계와, 상기 반도체 검사 설비에 기 저장되어 있는 공정 파라미터들을 상기 허용오차값들을 비교하는 단계와, 상기 기 저장된 공정 파라미터들이 상기 허용오차값들을 벗어나는 경우 상기 반도체 검사 설비의 동작을 중지시키는 단계로 수행되는 반도체 검사 설비의 동작 제어 방법을 개시하고 있다.
그러나, 종래의 반도체 및 LCD공정 설비 기능 검사는 제조 완료 후 전기 배선 및 컨넥터, 계전류 등의 검사 과정에서 이상 유무를 검침기를 가지는 테스터기를 사용하여 각 설비의 박스에서 각개의 부품 하나하나를 검사하면서 검사자가 성적서에 수기로 기록하는 방식으로 많은 시간과 인력을 낭비하는 문제점과 검사자의 실수로 인한 검사 누락, 성적서 오기록 등의 여러 가지 문제점을 안고 있었다.
또한, 종래의 공정 설비 장치는 각 설비에 맞추어 각각의 지그 형태의 검자 장치를 제작하여야 하는 문제점도 있었다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적인 과제는 하나의 장치에서 효율적으로 반도체 및 엘시디 공정 설비의 전장품의 기능을 검사할 수 있는 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 방법 및 장치에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 방법은 단말은 외부로부터 공정 설비의 전장품에 대한 검사명령을 수신하는 단계, 상기 단말은 상기 검사명령이 제1검사명령이면, 캘리브레이터로 명령신호를 송신하는 단계, 상기 캘리브레이터는 제1제어신호를 생성하여 입출력 보드로 전송하는 단계, 상기 단말은 프로그래머블 로직 컨트롤러를 제어하여 상기 입출력 보드를 통해 상기 제1제어신호 또는 제2제어신호를 상기 공정 설비의 전장품으로 전송하는 단계, 상기 단말은 상기 프로그래머블 로직 컨트롤러를 제어하여 DMM 보드를 통해 출력신호를 상기 공정 설비의 전장품으로부터 상기 디지털 멀티 미터에 수신되도록 제어하는 단계, 상기 디지털 멀티 미터는 상기 출력신호를 이용하여 상기 공정 설비의 전장품 이상여부를 검사하여 출력신호 결과정보를 생성하는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 방법은 상기 단말은 상기 출력신호 결과정보가 미리 설정된 범위 이내이면, 상기 공정 설비의 전장품에 대해 정상으로 판단하고, 상기 단말은 상기 출력신호 결과정보가 미리 설정된 범위 이내가 아니면, 상기 공정 설비의 전장품에 대해 비정상으로 판단하는 단계를 더 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 방법은 상기 단말은 상기 출력신호 결과정보가 미리 설정된 범위 이내인지 확인하는 단계, 상기 단말은 검사 성적서에 검사결과를 입력하는 단계를 더 포함한다.
상기 제1검사명령은 아날로그 검사명령, 디지털 검사명령, 온도 검사명령을 포함하고, 상기 검사결과는 측정결과와 정상/비정상 여부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 방법은 전원공급부는 상기 제2제어신호를 생성하여 상기 입출력 보드로 전송하는 단계 더 포함한다.
상기 제1제어신호는 온도 신호(Temperature Signal), 아날로그 신호(Analog Signal), 디지털 신호(Digital Signal)를 포함하고, 상기 제2제어신호는 AC전원(AC Signal), DC전원(DC Signal), 개방신호(Open Signal), 단락신호(Close Signal)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 장치는 온도 신호(Temperature Signal), 아날로그 신호(Analog Signal), 디지털 신호(Digital Signal)를 생성하여 입출력 보드로 전송하는 캘리브레이터, 공정 설비의 전장품에 제어신호를 전송하는 입출력 보드, 상기 공정 설비의 전장품으로부터 수신한 출력신호를 디지털 멀티 미터로 전송하는 DMM 보드, 단말로부터 수신한 명령신호에 따라 PLC 제어신호를 상기 입출력 보드와 상기 DMM 보드로 전송하는 프로그래머블 로직 컨트롤러, 상기 출력신호를 이용하여 상기 공정 설비의 전장품 이상여부를 검사하여 출력신호 결과정보를 생성하는 디지털 멀티 미터를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 장치는 AC전원(AC Signal), DC전원(DC Signal), 개방신호(Open Signal), 단락신호(Close Signal)를 생성하여 상기 입출력 보드로 전송하는 전원공급부를 더 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 장치는 외부로부터 상기 공정 설비의 전장품에 대한 검사명령을 수신하고, 검사명령이 제1검사명령이면, 상기 캘리브레이터로 명령신호를 송신하고, 상기 프로그래머블 로직 컨트롤러를 제어하여 상기 입출력 보드를 통해 제1제어신호 또는 제2제어신호를 상기 공정 설비의 전장품으로 전송하고, 상기 프로그래머블 로직 컨트롤러를 제어하여 상기 DMM 보드를 통해 상기 출력신호를 상기 공정 설비의 전장품으로부터 상기 디지털 멀티 미터에 수신되도록 제어하는 단말을 더 포함한다.
상기 단말은 상기 출력신호 결과정보가 미리 설정된 범위 이내이면, 상기 공정 설비의 전장품에 대해 정상으로 판단하고, 상기 출력신호 결과정보가 미리 설정된 범위 이내가 아니면, 상기 공정 설비의 전장품에 대해 비정상으로 판단하며, 검사 성적서에 검사결과를 입력하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 방법 및 장치에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 본 발명은 하나의 검사 장치에서 반도체 및 엘시디 공정 설비의 각 전장품의 기능을 모두 검사할 수 있다.
둘째, 본 발명은 입출력 보드와 DMM 보드를 통해서, 공정 설비 검사 장치와 공정 설비의 전장품 사이에서 64채널 이상으로 제어신호와 출력신호를 중계할 수 있다.
셋째, 본 발명은 단말을 통해서 자동적으로 검사 성적서에 측정결과와 정상/비정상 여부 등 이상여부를 입력할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 입출력 보드에서의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 DMM 보드에서의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
또한, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 이외의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다.
이하, 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위하여 본 발명에 따른 실시예들을 첨부 도면을 참조하면서 보다 상세하게 설명하고자 한다.
본 발명에서 "반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 장치"는 반도체, 엘시디(Liquid Crystal Display, LCD)를 생산하기 위한 공정용 설비를 검사하는 장치를 의미한다. 본 발명은 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 장치는 유기발광 다이오드(Organic Light Emitting Diode, OLED) 생산 등 다양한 물건의 생산에 사용되는 공정 설비를 검사하는 장치에 적용 가능하다.
또한, 본 발명에서 "반도체 및 엘시디 공정 설비"를 공정 설비로 간략하게 명명할 수도 있고, 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 장치는 공정 설비 검사 장치로 간략하게 명명할 수 있음을 밝혀둔다.
또한, 본 발명에서 "전장품"은 반도체 및 엘시디 공정 설비에서 메인 전원, RF 생성기, 모터 등의 동작을 위해서 전원 혹은 제어신호를 필요로 하는 부품을 의미한다. 예를 들어, 전장품은 공정 설비에서 배선용 차단기, 누전 차단기, 회로 보호기, 전자 접촉기, 온도 제어기, 모터 드라이버, 릴레이, PLC 등이 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 1, 도 2를 참조하면, 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 장치(1)는 단말(10), 캘리브레이터(20)(Calibrator), 전원공급부(30), 입출력 보드(40)(I/O Board), 프로그래머블 로직 컨트롤러(50)(Programmable Logic Controller, PLC), DMM 보드(60)(DMM Board), 디지털 멀티 미터(70)(Digital Multi Meter, DMM)를 포함한다.
또한, 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 장치(1)는 컨넥터부를 더 포함할 수 있다.
단말(10)은 공정 설비 검사 장치를 제어/감시하는 부분이다. 또한, 단말(10)은 수신한 사용자로부터 명령을 입력 받고, 이러한 명령에 따라 공정 설비 검사 장치가 동작을 수행하도록 하며, 수신한 데이터를 취합하고 전송할 수 있다. 예를 들어, 단말(10)은 공정 설비의 검사에 필요한 각 구성요소 간 통신, 공정 설비 부품간 통신, 사용자로부터 공정 설비의 검사를 실행하라는 명령을 수신하여 다른 구성요소로 전달하는 기능, 공정 설비의 검사 성적서 데이터 로깅(Data Logging) 등을 수행한다. 이때, 단말(10)은 특정 소프트웨어로 구성된 시스템 엔진을 구동하여 다양한 기능을 수행할 수 있다.
예를 들어, 단말(10)은 원격지의 산업 기반 시설에 대한 감시/제어 시스템인 SCADA(Supervisory Control Data Acquisition) 와 관리/운영을 담당하는 사용자와 감시/제어 시스템간 상호 동작이 가능하도록 인터페이스를 제공하는 중간 매체인 HMI(Human Machine Interface)를 통합 한 스크립트 기반의 SCADA & HMI 소프트웨어를 활용한 시스템 엔진을 포함하고, 이러한 시스템 엔진을 활용하여 공정 설비 검사 장치의 동작을 제어할 수 있다.
또한, 단말(10)은 디지털 멀티 미터(70)로부터 수신한 출력신호 결과정보가 미리 설정된 범위 이내인지 확인하여 공정 설비 전장품의 이상 여부를 확인한다.
단말(10)은 디지털 멀티 미터(70)로부터 수신한 출력신호 결과정보가 미리 설정된 범위 이내인지 확인하여 공정 설비 전장품의 이상 여부를 확인하면, 미리 설정된 검사 성적서에 디지털 멀티 미터(70)로부터 수신한 출력신호 결과정보와 출력신호 결과정보에 따른 검사 정상(또는 합격), 비정상(또는 불합격) 여부를 입력할 수 있다.
예를 들어, 단말(10)은 AC220V의 경우 AC220V±10V, DC24V의 경우 DC24V±5V 범위로 설정범위를 미리 설정한 경우에, 수신한 출력신호 결과정보에서 AC전원이 AC220V±10V 이내이고, DC전원이 DC24V±5V 이내이면, 전장품이 정상이고, 검사 성적서에 측정결과와, 정상(또는 합격)으로 판단하여 이를 입력하고, 검사를 종료한다.
이와 달리, 단말(10)은 미리 설정된 범위 이내가 아니면, 전장품이 비정상이고, 검사 성적서에 측정결과와, 비정상(또는 불합격)으로 판단하여 이를 입력하고, 사용자에게 알려줄 수 있다.
이러한, 측정내용 및 그 측정 결과의 합격, 불합격 범위는 설정에 따라 다양한 형태가 가능하다.
또한, 단말(10)은 설정에 따라서 출력신호 결과정보와 출력신호 결과정보에 따른 검사 합격, 불합격 여부를 표시장치를 통해서 표시하거나, 외부로 출력할 수 있다.
또한, 단말(10)은 외부로부터 공정 설비의 전장품에 대한 검사명령을 수신하고, 검사명령이 제1검사명령이면, 캘리브레이터(20)로 명령신호를 송신하고, 프로그래머블 로직 컨트롤러(50)를 제어하여 입출력 보드(40)를 통해 제1제어신호 또는 제2제어신호를 공정 설비의 전장품으로 전송하고, 프로그래머블 로직 컨트롤러(50)를 제어하여 DMM 보드(60)를 통해 출력신호를 공정 설비의 전장품으로부터 디지털 멀티 미터(70)에 수신되도록 제어할 수 있다.
또한, 단말(10)은 출력신호 결과정보가 미리 설정된 범위 이내이면, 공정 설비의 전장품에 대해 정상으로 판단하고, 출력신호 결과정보가 미리 설정된 범위 이내가 아니면, 공정 설비의 전장품에 대해 비정상으로 판단하며, 검사 성적서에 검사결과를 입력할 수 있다.
본 명세서에서 단말(10)은 컴퓨터, 휴대용 컴퓨터(Laptop), 핸드헬드 컴퓨터(Handheld computer), 태블릿(Tablet) 컴퓨터, 이동전화, 미디어 플레이어, PDA, 서버 등, 그리고 이러한 아이템 둘 이상의 결합을 포함하지만 이에 한정되지 않는 임의의 휴대용 전자장치일 수 있다. 단말(10)은 오직 휴대용 전자장치의 한 예이고, 단말(10)이 도시한 것보다 많거나 적은 구성요소 또는 상이한 구성요소의 구성(Configuration)을 가질 수 있음을 인식하여야 한다. 또한, 단말(10)은 여러 구성요소는 하나 이상의 신호처리 및/또는 프로그램 전용 집적회로를 포함하여, 하드웨어, 소프트웨어 또는 하드웨어와 소프트웨어 둘의 조합으로 구현될 수 있다.
캘리브레이터(20)(Calibrator)는 공정 설비 또는 공정 설비의 전장품으로부터 출력되는 출력신호를 위해 필요한 제어신호인 온도 신호(Temperature Signal), 아날로그 신호(Analog Signal), 디지털 신호(Digital Signal)를 생성하여 입출력 보드(40)로 전송하는 부분이다. 캘리브레이터(20)는 단말(10)의 명령신호에 따라 필요한 제어신호를 생성하여 입출력 보드(40)로 전송한다.
본 발명에서는 캘리브레이터(20)에서 생성하여 입출력 보드(40)로 전송하는 제어신호를 제1제어신호라 명명할 수 있다.
전원공급부(30)는 공정 설비 또는 공정 설비의 전장품으로부터 출력되는 출력신호를 위해 필요한 제어신호인 AC전원(AC Signal), DC전원(DC Signal), 개방신호(Open Signal), 단락신호(Close Signal)를 생성하여 입출력 보드(40)로 전송하는 부분이다.
본 발명에서는 전원공급부(30)에서 생성하여 입출력 보드(40)로 전송하는 제어신호를 제2제어신호라 명명할 수 있다.
입출력 보드(40)(I/O Board) 공정 설비의 전장품에 제어신호를 전송하는 부분이다. 입출력 보드(40)는 릴레이(Relay)로 구성된 인터페이스 보드(Interface Board)가 가능하다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 입출력 보드에서의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 입출력 보드(40)는 복수의 릴레이로 구성되어 공정 설비의 각 전장품에 제어신호를 전송한다.
예를 들어, 입출력 보드(40)는 캘리브레이터(20)로부터 제어신호인 온도 신호, 아날로그 신호, 디지털 신호를 수신하고, 전원공급부(30)로부터 제어신호인 AC전원, DC전원, 개방신호, 단락신호를 수신하여, 프로그래머블 로직 컨트롤러(50)의 제어에 따라 수신한 제어신호를 공정 설비로 전송한다.
본 발명의 입출력 보드(40)는 64채널(CH) 이상으로 공정 설비의 전장품에 제어신호를 중계할 수 있어, 종래의 인터페이스 보드가 가진 신호 허용 한계 및 크기, 기능 선택의 한계에 대한 단점을 보완하였다.
프로그래머블 로직 컨트롤러(50)(Programmable Logic Controller, PLC)는 단말(10)로부터 수신한 명령신호(제어신호)에 따라 PLC 제어신호를 입출력 보드(40)와 DMM 보드(60)로 전송하는 부분이다.
예를 들어, 프로그래머블 로직 컨트롤러(50)는 입출력 보드(40)의 릴레이 온(on)을 하라는 명령신호를 단말(10)로부터 수신하면, 릴레이 온(on)을 포함한 PLC 제어신호를 입출력 보드(40)에 전송하고, 입출력 보드(40)는 캘리브레이터(20) 및/또는 전원공급부(30)로부터 수신한 제어신호를 공정 설비로 전송한다.
이와 반대로, 프로그래머블 로직 컨트롤러(50)는 입출력 보드(40)의 릴레이 오프(off)를 하라는 명령신호를 단말(10)로부터 수신하면, 릴레이 오프(off)를 포함한 PLC 제어신호를 입출력 보드(40)에 전송하고, 입출력 보드(40)는 캘리브레이터(20) 및/또는 전원공급부(30)로부터 수신한 제어신호를 공정 설비로 전송하지 않는다.
다른 실시예로, 프로그래머블 로직 컨트롤러(50)는 DMM 보드(60)의 릴레이 온(on)을 하라는 명령신호를 단말(10)로부터 수신하면, 릴레이 온(on)을 포함한 PLC 제어신호를 DMM 보드(60)에 전송하고, DMM 보드(60)는 공정 설비로부터 수신한 출력신호를 디지털 멀티 미터(70)로 전송한다.
이와 반대로, 프로그래머블 로직 컨트롤러(50)는 DMM 보드(60)의 릴레이 오프(off)를 하라는 명령신호를 단말(10)로부터 수신하면, 릴레이 오프(off)를 포함한 PLC 제어신호를 DMM 보드(60)에 전송하고, DMM 보드(60)는 공정 설비로부터 수신한 출력신호를 디지털 멀티 미터(70)로 전송하지 않는다.
DMM 보드(60)(DMM Board)는 공정 설비의 전장품으로부터 수신한 출력신호를 디지털 멀티 미터(70)로 전송하는 부분이다. DMM 보드(60)는 릴레이(Relay)로 구성된 인터페이스 보드(Interface Board)가 가능하다. 여기서, 출력신호는 제어신호를 수신한 공정 설비의 각 전장품이 출력하는 신호를 의미한다.
예를 들어, 출력신호는 각 전장품으로부터 출력되는 AC전원, DC전원, 저항, 개방신호, 단란신호 등이 가능하다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 DMM 보드에서의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 DMM 보드(60)는 복수의 릴레이로 구성되어 공정 설비의 각 전장품으로부터 출력신호를 수신하여 프로그래머블 로직 컨트롤러(50)의 제어에 따라 수신한 출력신호를 디지털 멀티 미터(70)로 전송한다.
예를 들어, DMM 보드(60)는 입출력 보드(40)를 통해서 온도 신호, 아날로그 신호, 디지털 신호, AC전원, DC전원, 개방신호, 단락신호 등의 제어신호가 공정 설비의 각 전장품에 입력된 후에 출력되는 출력신호를 프로그래머블 로직 컨트롤러(50)의 제어에 따라 디지털 멀티 미터(70)로 전송한다.
본 발명의 DMM 보드(60)는 64채널(CH) 이상으로 전장품의 출력신호를 중계할 수 있어, 종래의 인터페이스 보드가 가진 신호 허용 한계 및 크기, 기능 선택의 한계에 대한 단점을 보완하였다.
디지털 멀티 미터(70)(Digital Multi Meter, DMM)는 수신한 출력신호를 이용하여 공정설비의 각 전장품들의 전압, 전류, 저항, 회로 개방, 회로 단락 등을 검사하는 부분이다. 즉, 디지털 멀티 미터(70)는 수신한 출력신호를 이용하여 공정 설비 전장품의 이상 여부(또는 정상 여부)를 검사한다.
또한, 디지털 멀티 미터(70)는 수신한 출력신호를 이용하여 공정설비의 각 전장품들의 전압, 전류, 저항, 회로 개방, 회로 단락 등을 검사한 결과인 출력신호 결과정보를 생성하여 단말(10)로 전송한다.
이때, 디지털 멀티 미터(70)는 전압, 전류, 저항, 회로 개방, 회로 단락의 측정에 대한 기능 변환은 단말(10)의 명령에 의해서 결정될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 5를 참조하면, 단말(10)은 외부로부터 공정 설비의 전장품에 대한 검사명령을 수신한다(S501). 여기서, 검사명령은 임의의 전장품에 대한 이상 여부를 검사하라는 명령으로, 전원, 저항, 단선, 단락 등을 검사하는 명령이 가능하다.
단말(10)은 검사명령을 확인한다(S520).
단말(10)은 검사명령이 제1검사명령이면, 캘리브레이터(20)로 명령신호를 송신한다(S530). 여기서, 제1검사명령은 아날로그 검사명령, 디지털 검사명령, 온도 검사명령을 포함할 수 있다.
캘리브레이터(20)는 제1제어신호를 생성하여 입출력 보드(40)로 전송한다(S504). 여기서, 제1제어신호는 온도 신호(Temperature Signal), 아날로그 신호(Analog Signal), 디지털 신호(Digital Signal)를 포함한다.
전원공급부(30)는 제2제어신호를 생성하여 입출력 보드(40)로 전송한다(S505). 여기서, 제2제어신호는 AC전원(AC Signal), DC전원(DC Signal), 개방신호(Open Signal), 단락신호(Close Signal)를 포함한다.
단말(10)은 프로그래머블 로직 컨트롤러(50)를 제어하여 입출력 보드(40)를 통해 제어신호(제1제어신호 또는 제2제어신호)를 공정 설비의 전장품으로 전송한다(S506). 이때, 프로그래머블 로직 컨트롤러(50)는 입출력 보드(40)의 릴레이 온(on)을 수행하여 제어신호(제1제어신호 또는 제2제어신호)를 공정 설비의 전장품으로 전송한다.
단말(10)은 프로그래머블 로직 컨트롤러(50)를 제어하여 DMM 보드(60)를 통해 출력신호를 공정 설비의 전장품으로부터 디지털 멀티 미터(70)에 수신되도록 제어한다(S506).
디지털 멀티 미터(70)는 출력신호를 이용하여 공정 설비의 전장품 이상여부(정상여부)를 검사하여 출력신호 결과정보를 생성한다(S508).
단말(10)은 디지털 멀티 미터(70)로부터 출력신호 결과정보를 수신한다(S509).
단말(10)은 출력신호 결과정보가 미리 설정된 범위 이내인지 확인한다(S510).
단말(10)은 출력신호 결과정보가 미리 설정된 범위 이내이면, 공정설비의 전장품에 대해 정상으로 판단한다(S511).
단말(10)은 출력신호 결과정보가 미리 설정된 범위 이내가 아니면, 공정설비의 전장품에 대해 비정상으로 판단한다(S512).
단말(10)은 검사 성적서에 검사결과를 입력한다(S513). 이때, 검사결과는 측정결과와 정상/비정상 여부를 포함할 수 있다.
이상과 같이 본 발명을 도면에 도시한 실시예를 참고하여 설명하였으나, 이는 발명을 설명하기 위한 것일 뿐이며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 발명의 상세한 설명으로부터 다양한 변형 또는 균등한 실시예가 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 권리범위는 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 결정되어야 한다.
1: 반도체 및 엘시디 공정 설비 검사 장치
2: 반도체 및 엘시디 공정 설비
10: 단말
20: 캘리브레이터(Calibrator)
30: 전원공급부
40: 입출력 보드(I/O Board)
50: 프로그래머블 로직 컨트롤러(PLC)
60: DMM 보드(DMM Board)
70: 디지털 멀티 미터(DMM)

Claims (10)

  1. 단말은 외부로부터 공정 설비의 전장품에 대한 검사명령을 수신하는 단계,
    상기 단말은 상기 검사명령이 제1검사명령이면, 캘리브레이터로 명령신호를 송신하는 단계,
    상기 캘리브레이터는 제1제어신호를 생성하여 입출력 보드로 전송하는 단계,
    상기 단말은 프로그래머블 로직 컨트롤러를 제어하여 상기 입출력 보드를 통해 상기 제1제어신호 또는 제2제어신호를 상기 공정 설비의 전장품으로 전송하는 단계,
    상기 단말은 상기 프로그래머블 로직 컨트롤러를 제어하여 DMM 보드를 통해 출력신호를 상기 공정 설비의 전장품으로부터 디지털 멀티 미터에 수신되도록 제어하는 단계,
    상기 디지털 멀티 미터는 상기 출력신호를 이용하여 상기 공정 설비의 전장품 이상여부를 검사하여 출력신호 결과정보를 생성하는 단계를 포함하는 공정 설비 검사 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 단말은 상기 출력신호 결과정보가 미리 설정된 범위 이내이면, 상기 공정 설비의 전장품에 대해 정상으로 판단하고,
    상기 단말은 상기 출력신호 결과정보가 미리 설정된 범위 이내가 아니면, 상기 공정 설비의 전장품에 대해 비정상으로 판단하는 단계를 더 포함하는 공정 설비 검사 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 단말은 상기 출력신호 결과정보가 미리 설정된 범위 이내인지 확인하는 단계,
    상기 단말은 검사 성적서에 검사결과를 입력하는 단계를 더 포함하는 공정 설비 검사 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1검사명령은 아날로그 검사명령, 디지털 검사명령, 온도 검사명령을 포함하고,
    상기 검사결과는 측정결과와 정상/비정상 여부를 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 설비 검사 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    전원공급부는 상기 제2제어신호를 생성하여 상기 입출력 보드로 전송하는 단계 더 포함하는 공정 설비 검사 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1제어신호는 온도 신호(Temperature Signal), 아날로그 신호(Analog Signal), 디지털 신호(Digital Signal)를 포함하고,
    상기 제2제어신호는 AC전원(AC Signal), DC전원(DC Signal), 개방신호(Open Signal), 단락신호(Close Signal)를 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 설비 검사 방법.
  7. 온도 신호(Temperature Signal), 아날로그 신호(Analog Signal), 디지털 신호(Digital Signal)를 생성하여 입출력 보드로 전송하는 캘리브레이터,
    공정 설비의 전장품에 제어신호를 전송하는 입출력 보드,
    상기 공정 설비의 전장품으로부터 수신한 출력신호를 디지털 멀티 미터로 전송하는 DMM 보드,
    단말로부터 수신한 명령신호에 따라 PLC 제어신호를 상기 입출력 보드와 상기 DMM 보드로 전송하는 프로그래머블 로직 컨트롤러,
    상기 출력신호를 이용하여 상기 공정 설비의 전장품 이상여부를 검사하여 출력신호 결과정보를 생성하는 디지털 멀티 미터를 포함하는 공정 설비 검사 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    AC전원(AC Signal), DC전원(DC Signal), 개방신호(Open Signal), 단락신호(Close Signal)를 생성하여 상기 입출력 보드로 전송하는 전원공급부를 더 포함하는 공정 설비 검사 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    외부로부터 상기 공정 설비의 전장품에 대한 검사명령을 수신하고, 검사명령이 제1검사명령이면, 상기 캘리브레이터로 명령신호를 송신하고, 상기 프로그래머블 로직 컨트롤러를 제어하여 상기 입출력 보드를 통해 제1제어신호 또는 제2제어신호를 상기 공정 설비의 전장품으로 전송하고, 상기 프로그래머블 로직 컨트롤러를 제어하여 상기 DMM 보드를 통해 상기 출력신호를 상기 공정 설비의 전장품으로부터 상기 디지털 멀티 미터에 수신되도록 제어하는 단말을 더 포함하는 공정 설비 검사 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 단말은 상기 출력신호 결과정보가 미리 설정된 범위 이내이면, 상기 공정 설비의 전장품에 대해 정상으로 판단하고, 상기 출력신호 결과정보가 미리 설정된 범위 이내가 아니면, 상기 공정 설비의 전장품에 대해 비정상으로 판단하며, 검사 성적서에 검사결과를 입력하는 것을 특징으로 하는 공정 설비 검사 장치.
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