KR101712034B1 - Turn over module and laser lift off apparatus having the same - Google Patents

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엄승환
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Abstract

The present invention relates to a turnover module and a laser lift-off apparatus having the same and comprises: a first holding unit installed in a base unit, having a plurality of first guide pins to be able to hold a glass; a first alignment unit installed in the base unit, lining the glass; a rotation member connecting to the base, having a rotation axis to enable the aligned glass to rotate around the rotation axis; an adsorption member connecting to the rotation member and enabling the glass to rotate around the rotation axis; and a second holding unit installed in the base unit, having a plurality of second guide pins to hold the rotated glass.

Description

턴 오버 모듈 및 이를 구비한 레이저 리프트 오프 장치{TURN OVER MODULE AND LASER LIFT OFF APPARATUS HAVING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a turn-over module and a laser lift-

본 발명은 글라스 및 기판을 분리하기 위해 글라스를 회전시키는 턴 오버 모듈 및 이를 구비하는 레이저 리프트 오프 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a turn-over module for rotating a glass to separate a glass and a substrate, and a laser lift-off device having the same.

최근 들어 엑시머 레이저(Eximer Laser) 빔의 안정성과 출력이 향상됨에 따라 반도체 물질을 가공하는 공정으로까지 그 사용 범위가 넓어지고 있다.In recent years, as the stability and power of the Eximer laser beam have been improved, the use range of the semiconductor material has been extended to the processing of the semiconductor material.

특히, 발광 다이오드(LED : Light Emitting Diode)와 같은 소자를 형성하기 위해, 레이저 빔(Laser beam)을 발생시키는 레이저 가공장치를 통해, 글라스 및 기판을 분리하는 공정이 주로 이루어지고, 이러한 공정을 레이저 리프트 오프(Laser Lift Off : LLO)공정이라고 한다.Particularly, in order to form an element such as a light emitting diode (LED), a process of separating a glass and a substrate is mainly performed through a laser processing apparatus for generating a laser beam, Called a Laser Lift Off (LLO) process.

기판 및 글라스의 분리를 위해서, 레이저를 기판 및 글라스 사이에 조사하여야 하는데, 이를 위해 글라스를 180 ° 회전시키는 공정이 필요하다. In order to separate the substrate and the glass, a laser must be irradiated between the substrate and the glass. To this end, a process of rotating the glass by 180 ° is required.

이를 위해, 종래에는 180 ° 회전하고, 로봇에 의해 회전된 글라스가 다른 곳으로 이송되었기에, 회전 전, 회전 후 및 이송 후에 각각 글라스를 정렬시켜야 하는 번거로움이 있었다. For this purpose, conventionally, the glass rotated by 180 degrees and the glass rotated by the robot have been transferred to other places, so that there is a need to align the glass before rotation, after rotation, and after transfer.

또한, 글라스의 회전, 이송 및 정렬이 별도의 공정으로서 행해져서 제조 공정상의 불리한 점이 있었다.Further, rotation, transfer, and alignment of the glass are performed as separate processes, which is disadvantageous in the manufacturing process.

한편, 종래에는 회전된 글라스를 로봇이 이송하여 반응챔버 내부로 공급하여야 하였으므로, 생산성이 저하되는 문제가 있었다.Conventionally, since the robot is required to feed the rotated glass to the inside of the reaction chamber, the productivity is lowered.

본 발명의 일 목적은, 레이저의 조사로 기판과 글라스를 분리시키기 위해 글라스를 회전시키는 구조를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a structure for rotating a glass to separate a substrate from a glass by irradiation of a laser.

본 발명의 다른 일 목적은, 기판과 글라스를 분리시키기 위해 글라스를 회전시키는데 있어서, 글라스를 최소로 정렬시키는 등 제조 공정을 단축시키는 구조를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a structure for shortening the manufacturing process such as minimizing the alignment of the glass in rotating the glass to separate the substrate from the glass.

본 발명의 또 다른 일 목적은, 글라스를 회전시키면서 바로, 회전된 글라스를 반응챔버 내부로 공급할 수 있는 구조를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a structure capable of supplying a rotated glass directly into a reaction chamber while rotating the glass.

상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 턴 오버 모듈은, 베이스부에 설치되고, 글라스를 거치 가능하도록 이루어지는 복수 개의 제1가이드핀을 구비하는 제1거치부; 상기 베이스부에 설치되며, 상기 글라스를 정렬시키는 제1얼라인부; 상기 베이스부에 연결되고, 회전축을 구비하여 상기 정렬된 글라스를 상기 회전축을 중심으로 회동 가능하게 하는 회전부재; 상기 회전부재에 연결되어 상기 글라스를 상기 회전축을 중심으로 회전 가능하게 흡착시키는 흡착부재; 및 상기 베이스부에 설치되고, 복수 개의 제2가이드핀을 구비하여 상기 회전된 글라스를 거치시키는 제2거치부를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a turn-over module including: a first mounting portion provided on a base portion and including a plurality of first guide pins capable of mounting a glass; A first aligning part installed on the base part for aligning the glass; A rotating member connected to the base and having a rotating shaft to rotate the aligned glass about the rotating shaft; An adsorption member connected to the rotatable member to adsorb the glass rotatably about the rotation axis; And a second mounting part provided on the base part and having a plurality of second guide pins for mounting the rotated glass.

본 발명과 관련된 일 예에 의하면, 상기 제1거치부는, 상기 베이스부에 고정되는 제1지지판; 및 상기 제1가이드핀이 결합되고, 상기 제1지지판에 대해 상대 이동하도록 상기 제1지지판에 설치되는 제1연결판을 더 구비한다.According to an embodiment of the present invention, the first mounting portion includes: a first supporting plate fixed to the base portion; And a first connection plate coupled to the first guide pin and installed on the first support plate to move relative to the first support plate.

본 발명과 관련된 다른 일 예에 의하면, 상기 제2가이드핀에 인접하여 지그카세트가 설치되고, 상기 지그카세트에 수용된 지그는 이송 로봇에 의해 상기 제2거치부로 이송되어 상기 제2거치부에 거치되며, 상기 회전된 글라스는 상기 지그에 지지되어 상기 제2거치부에 거치된다. According to another embodiment of the present invention, a jig cassette is installed adjacent to the second guide pin, and the jig contained in the jig cassette is transferred to the second mounting unit by the transfer robot and is mounted on the second mounting unit , The rotated glass is supported by the jig and is mounted on the second mounting portion.

본 발명의 턴 오버 모듈은 상기 베이스부에 설치되며, 상기 제2거치부에 거치된 상기 지그를 기결정된 위치로 정렬시키는 제2얼라인부를 더 포함할 수 있다.The turnover module of the present invention may further include a second aligning portion which is installed in the base portion and aligns the jig fixed to the second mounting portion to a predetermined position.

본 발명과 관련된 또 다른 일 예에 의하면, 상기 흡착부재는, 상기 회전부재에 설치되어 함께 회동하는 판부; 및 상기 판부의 일 측에 복수 개로 설치되고, 부압을 형성하여 상기 글라스를 흡착시키는 흡착유닛을 포함한다. According to another embodiment of the present invention, the adsorption member includes: a plate portion installed on the rotating member and rotating together; And a plurality of adsorption units provided on one side of the plate portion for adsorbing the glass by forming a negative pressure.

상기 판부는, 상기 제1가이드핀을 이동 가능하게 하는 이동 공간을 구비하고, 상기 제1가이드핀은, 상기 글라스가 거치된 상태에서 상기 글라스를 상기 흡착유닛에 흡착 가능하도록 상기 판부와 교차하는 방향으로 상기 이동 공간에서 이동될 수 있다. Wherein the plate portion includes a moving space for moving the first guide pin, and the first guide pin is movable in a direction crossing the plate portion so that the glass can be attracted to the adsorption unit while the glass is stationary In the moving space.

상기 흡착유닛은 상기 회전부재에 의해 상기 판부가 회전된 상태에서, 상기 부압의 형성을 해제하여서 상기 회전된 글라스를 상기 흡착유닛으로부터 이탈시키고 상기 제2가이드핀에 거치 가능하도록 할 수 있다.The suction unit can release the formation of the negative pressure in the state where the plate portion is rotated by the rotating member so that the rotated glass can be detached from the suction unit and can be mounted on the second guide pin.

본 발명과 관련된 또 다른 일 예에 의하면, 상기 제2거치부는 내부에서 레이저가 조사되는 반응챔버의 내부에 배치된다.According to another embodiment of the present invention, the second mounting portion is disposed inside a reaction chamber in which a laser is irradiated.

상기의 또 다른 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 레이저 리프트 오프 장치는, 특허청구범위의 청구항 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항의 턴 오버 모듈; 상기 턴 오버 모듈에 의해 회전된 글라스를 수용하도록 이루어지는 반응챔버; 및 상기 반응챔버에 설치되고, 상기 글라스를 향해서 레이저를 조사하는 레이저 발생부를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a laser lift-off device comprising: a turn-over module according to any one of claims 1 to 8 of the claims; A reaction chamber configured to receive the glass rotated by the turnover module; And a laser generation unit installed in the reaction chamber and irradiating a laser toward the glass.

본 발명은 회전축에 연결되는 회전부재를 구비하여 흡착부재로 글라스를 흡착시킨 채로 글라스를 회전시킬 수 있다.The present invention has a rotating member connected to a rotating shaft, and the glass can be rotated while the glass is being adsorbed by the absorbing member.

또한, 본 발명은 글라스가 제1거치부에 거치된 상태에서 글라스를 정렬시키고 회전 후에도 기 결정된 위치로 위치하여 제조 공정을 단축시킬 수 있다.In addition, the present invention can shorten the manufacturing process by aligning the glass in a state in which the glass is mounted on the first mounting portion and positioning the glass at a predetermined position after rotation.

한편, 본 발명은 반응챔버 내부에 제2거치부가 설치되어 글라스를 회전시키면서 바로 반응챔버 내부로 공급할 수 있게 한다.Meanwhile, the present invention provides a second mounting part inside the reaction chamber so that the glass can be directly supplied into the reaction chamber while rotating the glass.

도 1은 턴 오버 모듈이 설치된 레이저 리프트 오프 장치의 일예를 도시하는 사시도.
도 2는 회전되기 전 상태의 글라스가 흡착된 턴 오버 모듈의 사시도.
도 3은 글라스가 제1거치대에 거치된 상태를 도시하는 단면도.
도 4는 도 2의 A부분의 확대도.
도 5는 도 4의 턴 오버 모듈의 종단면도.
도 6는 회전된 후 상태의 글라스가 거치된 턴 오버 모듈의 사시도.
도 7은 도 6의 B부분의 확대도.
도 8은 도 7의 턴 오버 모듈의 종단면도.
도 9a는 턴 오버 모듈 및 챔버 간 배치의 일 예를 도시하는 개념도.
도 9b는 턴 오버 모듈 및 챔버 간 배치의 다른 일 예를 도시하는 개념도.1 is a perspective view showing an example of a laser lift-off device equipped with a turn-over module;
2 is a perspective view of a turn-over module to which a glass before being rotated is attracted.
3 is a sectional view showing a state in which the glass is placed on the first holder.
4 is an enlarged view of a portion A in Fig.
Figure 5 is a longitudinal section of the turn-over module of Figure 4;
6 is a perspective view of a turn-over module in which a glass in a rotated state is mounted;
7 is an enlarged view of a portion B in Fig.
Figure 8 is a longitudinal section of the turn-over module of Figure 7;
9A is a conceptual diagram showing an example of a turnover module and an inter-chamber arrangement.
9B is a conceptual diagram showing another example of the turnover module and the inter-chamber arrangement.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 동일하거나 유사한 구성요소에는 동일·유사한 도면 부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like or similar elements are denoted by the same or similar reference numerals, and a duplicate description thereof will be omitted. The suffix "part" for the constituent elements used in the following description is to be given or mixed with consideration only for ease of specification, and does not have a meaning or role that distinguishes itself. In the following description of the embodiments of the present invention, a detailed description of related arts will be omitted when it is determined that the gist of the embodiments disclosed herein may be blurred. It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are intended to provide further explanation of the invention as claimed. , ≪ / RTI > equivalents, and alternatives.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms including ordinals, such as first, second, etc., may be used to describe various elements, but the elements are not limited to these terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어"있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, although other elements may be present in between.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

본 출원에서, "포함한다" 또는 "구비한다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In the present application, the terms "comprises ", or" comprising ", and the like, specify that the presence of a feature, a number, a step, an operation, an element, a component, But do not preclude the presence or addition of features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

도 1은 턴 오버 모듈(100)이 설치된 레이저 리프트 오프 장치(1000)의 일예를 도시하는 사시도이고, 도 2는 회전되기 전 상태의 글라스가(3) 흡착된 턴 오버 모듈(100)의 사시도이다. 도 3은 글라스(3)가 제1거치대(10)에 거치된 상태를 도시하는 단면도이다. 또한, 도 4은 도 2의 A부분의 확대도이다. 한편, 도 5는 회전되기 전 상태의 글라스가 흡착부재(40)에 흡착된 턴 오버 모듈(100)의 종단면도이다.FIG. 1 is a perspective view showing an example of a laser lift-off device 1000 in which a turnover module 100 is installed, and FIG. 2 is a perspective view of a turnover module 100 in which a glass before being rotated is attracted . 3 is a sectional view showing a state in which the glass 3 is mounted on the first cradle 10. Fig. 4 is an enlarged view of a portion A in Fig. 5 is a vertical cross-sectional view of the turn-over module 100 in which the glass before being rotated is attracted to the suction member 40. As shown in FIG.

이하, 도 1 내지 도 5를 참조하여, 글라스(3)가 회전 되기 전 상태에서 턴 오버 모듈(100)의 구성에 대하여 서술하기로 한다. Hereinafter, with reference to Figs. 1 to 5, the configuration of the turn-over module 100 will be described before the glass 3 is rotated.

본 발명의 턴 오버 모듈(100)은, 제1거치부(10), 제1얼라인부(20), 회전부재(30), 흡착부재(40) 및 제2거치부(50)를 포함한다. The turnover module 100 of the present invention includes a first mounting portion 10, a first aligning portion 20, a rotary member 30, a suction member 40 and a second mounting portion 50.

턴 오버 모듈(100)은 턴 오버 모듈(100)을 수용하는 턴 오버 모듈 챔버 내에 설치될 수 있다.The turnover module 100 may be installed in a turnover module chamber that accommodates the turnover module 100.

제1거치부(10)는 복수 개의 제1가이드핀(12)을 구비하여 글라스(3)를 거치 가능하게 한다. 제1거치부(10)는 베이스부(80)에 설치되는데, 본 발명의 베이스부(80)는 후술하는 바와 같이, 제1 및 제2베이스부(83, 85)를 포함하고, 제1거치부(10)는 제1베이스부(83)에 설치될 수 있다. 제1베이스부(83)는 제1거치부(10) 및 제1얼라인부(20)가 설치되도록 판이나 봉 등을 구비할 수 있다. 또한, 제2베이스부(85)는 제2거치부(50)가 설치되도록 판이나 봉 등을 구비할 수 있다. The first mounting part (10) includes a plurality of first guide pins (12) to allow the glass (3) to be mounted. The first mounting portion 10 is provided on the base portion 80. The base portion 80 of the present invention includes first and second base portions 83 and 85 as described later, The unit 10 may be installed in the first base portion 83. The first base portion 83 may include a plate or a rod so that the first mounting portion 10 and the first aligning portion 20 are installed. The second base portion 85 may be provided with a plate or a rod so that the second mounting portion 50 is installed.

도 2 내지 5에는 턴 오버 모듈(100)의 하부를 형성하고, 제1거치부(10) 및 제1얼라인부(20)가 설치되도록 판과 이에 설치되는 봉을 구비하는 제1베이스부(83) 및 제2거치부(50)가 설치되도록 판과 이에 설치되는 봉을 구비하는 제2베이스부(85) 일예가 도시된다. 2 to 5 show a first base portion 83 having a plate and a rod to be installed thereon such that the first mounting portion 10 and the first aligning portion 20 are installed, And a second base portion 85 having a plate and a rod to which the second mounting portion 50 is mounted.

제1거치부(10)는 제1연결판(16), 제1지지판(14) 및 제1구동부(18)를 더 구비할 수 있다. 제1연결판(16)은 제1가이드핀(12)이 연결되는 판으로, 제1가이드핀(12)과 함께 상하로 이동한다. 제1지지판(14)은 제1베이스부(83)에 고정되는데, 제1연결판(16)은 제1지지판(14)과의 상대적 거리가 가변되도록 제1지지판(14)에 설치된다. 제1구동부(18)는 제1연결판(16)에 설치되는데, 제1연결판(16)에 구동력을 제공하여서 제1연결판(16)을 상하 운동시킨다.The first mounting portion 10 may further include a first connecting plate 16, a first supporting plate 14, and a first driving portion 18. The first connection plate 16 is a plate to which the first guide pin 12 is connected and moves up and down together with the first guide pin 12. The first support plate 14 is fixed to the first base 83. The first connection plate 16 is installed on the first support plate 14 so that the relative distance with respect to the first support plate 14 is variable. The first driving unit 18 is installed on the first connecting plate 16 and provides a driving force to the first connecting plate 16 to move the first connecting plate 16 up and down.

도 3 등을 참조하면, 제1연결판(16)은 제1지지판(14)의 하측에서 제1지지판(14)에 상대 이동 가능하도록 이격되어 배치되며, 제1가이드핀(12)이 상측을 향해 배치되도록 제1연결판(16)의 상면에 고정되는 일예가 도시된다. 또한, 제1구동부(16)는 제1연결판(16)의 하면에 설치되어 제1열결판(16)과 함께 제1가이드핀(12)을 상하 운동시킨다.3 and the like, the first connection plate 16 is disposed apart from the first support plate 14 so as to be relatively movable with respect to the first support plate 14, and the first guide pin 12 is disposed on the upper side And is fixed to the upper surface of the first connecting plate 16 so as to be disposed toward the second connecting plate 16. The first driving part 16 is installed on the lower surface of the first connection plate 16 and moves the first guide pin 12 up and down together with the first thermal connection 16.

제1연결판(16) 및 제1지지판(14)의 거리가 가장 가까워지도록 제1가이드핀(12)은 상방향으로 최대 이동된 상태가 되고, 제1연결판(16) 및 제1지지판(14)의 거리가 가장 멀게되면, 제1가이드핀(12)은 하방향으로 최대 이동된 상태가 된다. 도 3에는 제1연결판(16)이 상측으로 이동되어 제1지지판(14)과 거리가 가까워지고, 이로 인해 제1가이드핀(12)이 상방향으로 이동되며, 글라스(3)를 거치하는 일 예가 도시되어 있다. The first guide pin 12 is maximally moved upward so that the distance between the first connection plate 16 and the first support plate 14 is the closest and the first connection plate 16 and the first support plate 14 are the farthest from each other, the first guide pin 12 is moved to the maximum in the downward direction. 3, the first connecting plate 16 is moved upward to be closer to the first supporting plate 14 so that the first guide pin 12 is moved upward and the glass plate 3 An example is shown.

제1연결판(16) 및 제1지지판(14)의 거리가 가까워진 상태 즉 제1가이드핀(12)에 상방향으로 이동된 상태에서, 글라스(3)가 제1가이드핀(12)에 거치되고, 후술하는 제1얼라인부(20)에 의해 글라스(3)가 정렬된다. 그 후에, 제1연결판(16) 및 제1지지판(14)의 거리가 멀어지도록 제1연결판(16)이 하방향으로 이동하여, 글라스(3)는 흡착부재(40)까지 이동되어 도 2, 도 4 및 도 5의 도면에서의 상태로 될 수 있다. 도 4에는 제1연결판(16)이 하측으로 이동되어 제1지지판(14)과 거리가 멀어지고, 이로 인해 제1가이드핀(12)이 하방향으로 이동되며, 글라스(3)는 흡착부재(40)의 흡착유닛(45)에 의해 흡착되는 일 예가 도시되어 있다. The glass 3 is placed on the first guide pin 12 in a state in which the distance between the first connection plate 16 and the first support plate 14 is close to the first guide pin 12, And the glass 3 is aligned by the first aligning portion 20 to be described later. Thereafter, the first connection plate 16 moves downward so that the distance between the first connection plate 16 and the first support plate 14 is increased, so that even when the glass 3 is moved to the suction member 40 2, Fig. 4, and Fig. 4, the first connecting plate 16 is moved downward to be distanced from the first supporting plate 14 so that the first guide pin 12 is moved downward, And is adsorbed by the adsorption unit 45 of the adsorption unit 40 shown in Fig.

글라스(3)는 제1거치부(10)에 거치되기 전에 턴 오버 모듈(100)에 인접하여 배치된 글라스카세트(110)에 적층되는데, 이송 로봇(120)은 글라스(3)를 제1거치부(10)로 이송시킨다. 이송 로봇(120)은 글라스(3)를 글라스카세트(110)로부터 제1거치부(10)로 이송한다. 또한, 이송 로봇(120)은 본 발명의 턴 오버 모듈(100)에 의해 글라스(3)가 회전된 후 제2거치부(50)에 거치된 후, 글라스(3)를 반응챔버(300) 내로 이송시킬 수 있다. The glass 3 is stacked on the glass cassette 110 disposed adjacent to the turnover module 100 before the glass 3 is mounted on the first stationary part 10. The transfer robot 120 transfers the glass 3 to the first stationary part 10, (10). The transfer robot 120 transfers the glass 3 from the glass cassette 110 to the first mounting portion 10. After the glass 3 is rotated by the turnover module 100 of the present invention and is then placed on the second mounting portion 50, the transfer robot 120 transfers the glass 3 into the reaction chamber 300 .

물론, 본 발명의 다른 일 예에서는 글라스(3)가 회전된 후 이송 로봇(120)에 의해서 반응챔버(300) 내부로 이송되는 것이 아니고, 바로 이송되도록 제2거치부(50)가 반응챔버(300) 내부에 배치될 수도 있다. 이는 도 9b에 도시되어 있는데, 제2거치부(50)가 반응챔버 내부에 배치되는 일 예가 도시된다.Of course, in another embodiment of the present invention, the second mounting portion 50 is not moved to the reaction chamber 300 so that the glass 3 is not transferred into the reaction chamber 300 by the transfer robot 120 after the rotation of the glass 3, 300). This is shown in Fig. 9B, and an example in which the second mounting portion 50 is disposed inside the reaction chamber is shown.

이송 로봇(120)은 복수의 링크로 구성될 수 있는데, 글라스(3)를 턴 오버 모듈(100)에 공급하고, 회전된 글라스(3)를 반응챔버(300)로 이송시키도록 글라스(3)를 병진 및 회전 이송 가능하도록 동작하도록 구성된다. The transfer robot 120 may be composed of a plurality of links and supplies the glass 3 to the turnover module 100 and the glass 3 to transfer the rotated glass 3 to the reaction chamber 300. [ To be translationally and rotationally transferable.

제1얼라인부(20)는 글라스(3)를 기결정된 제1위치로 정렬시킨다. 제1얼라인부(20)는 제1가이드핀(12)에 거치된 글라스(3)를 글라스(3)의 일 대각선에서 양쪽을 가압하여 정렬시킬 수 있다. The first aligning portion 20 aligns the glass 3 to the predetermined first position. The first aligning portion 20 can align the glass 3 placed on the first guide pin 12 by pressing the glass 3 on one diagonal line of the glass 3. [

일예로, 도 3에는, 글라스(3)의 일 대각선의 양쪽에 각각 제1얼라인부(20)의 복수의 핀(23)이 배치되고, 복수의 핀(23)이 복수의 핀(23)의 길이 방향과 교차하는 방향으로 이동하여 글라스(3)의 모서리 측부를 가압하여 글라스(3)를 정렬시키는 일례가 도시된다. 제1얼라인부(20)의 복수의 핀(23)에서 글라스(3)의 모서리를 가압하는 부분은 회전 가능하도록 이루어질 수 있다. For example, in FIG. 3, a plurality of pins 23 of the first aligning portion 20 are disposed on both sides of one diagonal line of the glass 3, and a plurality of pins 23 And moves in a direction intersecting the longitudinal direction to press the edge side of the glass 3 to align the glass 3. [ A portion for pressing the edge of the glass 3 at the plurality of pins 23 of the first aligning portion 20 can be made rotatable.

본 발명의 턴 오버 모듈(100)은 회전부재(30)에 의해 글라스(3)가 회전되기 전 상태에서 제1얼라인부(20)에 의해 정렬이 이루어지게 되므로, 회전된 상태에서도 원하는 위치에 배치된 상태가 유지된다. The turnover module 100 according to the present invention is arranged by the first aligning portion 20 in a state before the glass 3 is rotated by the rotating member 30 so that it is arranged at a desired position even in the rotated state Is maintained.

회전부재(30)는 일 축을 중심으로 회전하는 회전축(32)에 연결되어 정렬된 글라스(3)를 일 축을 중심으로 회동 가능하게 한다. 회전부재(30)는 판형상으로 이루어질 수 있다. 회전부재(30)에는 후술하는 흡착부재(40)의 판부(42)가 회전부재(30)와 나란하게 배치되도록 설치되는데, 회전부재(30)의 회전에 따라 판부(42)가 함께 회동되게 되고, 판부(42)에 거치된 글라스(3)는 회전된 후 제2거치부(50)로 거치되게 된다. 회전부재(30)는 글라스(3)를 180 °회전시킬 수 있다. 도 3 및 도 5을 참조하면, 회전부재(30)는 도시된 화살표 방향으로 회전 운동 가능하도록 이루어지며, 글라스(3)를 시계방향으로 회전시킨다.The rotary member 30 is connected to a rotary shaft 32 that rotates about one axis, so that the aligned glass 3 is rotatable about one axis. The rotary member 30 may be formed in a plate shape. The plate member 42 of the adsorption member 40 to be described later is disposed in parallel with the rotary member 30 on the rotary member 30. The plate member 42 is rotated together with the rotation of the rotary member 30 And the glass 3, which is placed on the plate portion 42, is rotated and then mounted on the second mounting portion 50. The rotary member 30 can rotate the glass 3 by 180 degrees. 3 and 5, the rotary member 30 is configured to be rotatable in the direction of the arrow shown, and rotates the glass 3 clockwise.

본 발명의 글라스(3)에는 기판이 붙어있는데, 회전부재(30)에 의해 회전이 되기 전 상태에서는 기판이 위쪽에 놓이게 되고, 글라스(3)가 회전부재(30)에 의해 180 °회전되게 되면, 글라스(3)가 위쪽, 기판이 아래쪽에 배치된 상태로 된다. 회전된 글라스(3)는 반응챔버(300) 내에서 레이저 발생부에 의해 레이저가 조사되어 기판으로부터 글라스(3)가 분리되게 된다. The substrate is attached to the glass 3 of the present invention. When the glass 3 is rotated by 180 degrees by the rotation member 30, the substrate is placed on the upper side in the state before rotation by the rotation member 30 , The glass 3 is arranged at the upper side and the substrate is arranged at the lower side. The laser beam is irradiated to the rotated glass 3 by the laser generating unit in the reaction chamber 300, and the glass 3 is separated from the substrate.

회전부재(30)가 연결되는 회전축(32)은 구동부에 의해 회전될 수 있다. 한편, 구동부는 동력을 발생시키는 구성으로서 예를 들면, 모터가 될 수 있다. The rotary shaft 32 to which the rotary member 30 is connected can be rotated by the driving unit. On the other hand, the driving unit may be, for example, a motor for generating power.

흡착부재(40)는 회전부재(30)에 설치되어 글라스(3)를 회전부재(30)의 회전축(32)을 중심으로 회전 가능하게 흡착시킨다. 흡착부재(40)는 판부(42) 및 흡착유닛(45)을 포함할 수 있다. The adsorption member 40 is installed on the rotary member 30 to adsorb the glass 3 rotatably about the rotary shaft 32 of the rotary member 30. The adsorption member 40 may include a plate portion 42 and an adsorption unit 45.

판부(42)는 회전부재(30)에 설치되어 회전부재(30)와 함께 회동 가능하도록 이루어질 수 있다. 판부(42)는 제1가이드핀(12)이 이동되는 이동 공간(43)을 구비하는데, 제1가이드핀(12)은 이동 공간(43)에서 판부(42)와 교차하는 방향으로 이동되어서 제1가이드핀(12)에 거치되었던 글라스(3)를 흡착유닛(45)에 접촉 가능하게 한다. The plate portion 42 may be provided on the rotary member 30 and may be rotatable together with the rotary member 30. The plate portion 42 has a moving space 43 in which the first guide pin 12 is moved so that the first guide pin 12 is moved in the moving space 43 in the direction crossing the plate portion 42, 1 Glass (3) which has been mounted on the guide pin (12) can be brought into contact with the suction unit (45).

흡착유닛(45)은 판부(42)의 일 측에 복수 개로 설치되는데, 부압을 형성하여 흡착유닛(45)에 접촉된 상태의 글라스(3)를 흡착시킬 수 있다. 또한, 흡착유닛(45)에 글라스(3)를 흡착시킨 후, 회전부재(40)가 회전한 뒤 흡착유닛(45)은 부압의 형성을 해제함으로써, 글라스(3)의 흡착을 해제하여 제2거치대(50)에 거치 가능하도록 한다. 흡착유닛(45)은 예를 들면, 패드(pad) 또는 진공척(vacuum chuck)일 수 있다. A plurality of suction units (45) are provided on one side of the plate portion (42), which can form a negative pressure to adsorb the glass (3) in contact with the suction unit (45). After the glass 3 is adsorbed to the adsorption unit 45 and the rotation member 40 is rotated, the adsorption unit 45 releases the negative pressure to release the adsorption of the glass 3, So that it can be mounted on the platform 50. The absorption unit 45 may be, for example, a pad or a vacuum chuck.

도 6는 회전된 후 상태의 글라스(3)가 거치된 턴 오버 모듈(100)의 사시도이고, 도 7은 도 6의 B부분의 확대도이다. 또한, 도 8은 도 7의 턴 오버 모듈(100)의 종단면도이다. Fig. 6 is a perspective view of the turn-over module 100 in which the glass 3 in a rotated state is mounted, and Fig. 7 is an enlarged view of a portion B in Fig. 8 is a longitudinal sectional view of the turn-over module 100 of FIG.

도 6 내지 도 8은, 회전부재(30)에 의해 흡착유닛(45)에 흡착된 글라스(3)가 회전된 후와 관련된 도면이다. 이하, 회전부재(30)에 의해 글라스(3)가 회전된 상태 및 턴 오버 모듈(100)의 구성 중에서 앞서 서술하지 않은 구성들에 대하여 서술하기로 한다.Figs. 6 to 8 are diagrams related to after rotation of the glass 3 adsorbed by the adsorption unit 45 by the rotary member 30. Fig. Hereinafter, the configurations of the rotation of the glass 3 by the rotary member 30 and the configurations of the turn-over module 100 that are not described above will be described.

제2거치부(50)는 복수 개의 제2가이드핀(52)을 구비하여 회전된 글라스(3)를 거치 가능하게 한다. 제2거치부(50)는 제2베이스부(85)에 설치될 수 있다. The second mounting part (50) includes a plurality of second guide pins (52) to allow the rotated glass (3) to be mounted. The second mounting portion 50 may be installed in the second base portion 85.

제2거치부(50)는 제2연결판(56) 및 제2지지판(54) 및 제2구동부(57)를 더 구비할 수 있다. 제2연결판(56)은 제2가이드핀(52)이 연결되는 판으로, 제2가이드핀(52)과 함께 상하로 이동한다. 제2지지판(54)은 제2베이스부(85)에 고정되는데, 제2연결판(56)은 제2지지판(54)과의 상대적 거리가 가변되도록 제2지지판(54)에 설치된다. 제2구동부(57)는 제2연결판(56)에 설치되는데, 제2연결판(56)에 구동력을 제공하여서 제2연결판(56)을 상하 운동시킨다.The second mounting portion 50 may further include a second connecting plate 56, a second supporting plate 54, and a second driving portion 57. The second connecting plate 56 is a plate to which the second guide pin 52 is connected and moves up and down together with the second guide pin 52. The second support plate 54 is fixed to the second base portion 85 and the second connection plate 56 is installed on the second support plate 54 so that the relative distance with respect to the second support plate 54 is variable. The second driving unit 57 is installed on the second connecting plate 56 and provides a driving force to the second connecting plate 56 to move the second connecting plate 56 up and down.

제2거치부(50)는 회전된 글라스(3)를 거치시키는 점에서 회전 전의 글라스(3)를 거치시키는 제1거치부(10)와 차이가 있다. 글라스(3)가 제1거치부(10)에 의해 거치된 후, 흡착부재(40)에 의해 흡착되고, 회전부재(30)의 회전에 의해 회전하는 점에 대해서는, 도 2 내지 도 5의 설명 부분에서 상세히 전술하였다.The second mounting portion 50 differs from the first mounting portion 10 that mounts the glass 3 before rotation in that it mounts the rotated glass 3. The points where the glass 3 is held by the first mounting portion 10 and then adsorbed by the suction member 40 and rotated by the rotation of the rotary member 30 will be described with reference to Figs. Lt; / RTI >

제2연결판(56) 및 제2지지판(54)의 상대적인 거리가 가장 가까워지면, 제2가이드핀(52)은 상방향으로 최대 이동된 상태가 되고, 제2연결판(56) 및 제2지지판(54)의 상대적인 거리가 가장 멀게되면, 제2가이드핀(52)은 하방향으로 최대 이동된 상태가 된다. When the relative distance between the second connecting plate 56 and the second supporting plate 54 is the closest, the second guide pin 52 is moved up to the maximum, and the second connecting plate 56 and the second When the relative distance of the support plate 54 is the greatest, the second guide pin 52 is maximally moved downward.

일례로, 제2연결판(56) 및 제2지지판(54)의 거리가 가까워진 상태 즉 제2가이드핀(52)에 상방향으로 이동된 상태에서, 회전된 글라스(3)가 제2가이드핀(52)에 거치된다. 그 후에, 제2연결판(56) 및 제2지지판(54)의 거리가 멀어지도록 제2연결판(56)이 하방향으로 이동하여, 회전된 글라스(3)가 이송 로봇(120)에 의해 반응챔버(300) 내부로 이송될 수 있도록 제2가이드핀(52)은 위치된다. For example, when the distance between the second connecting plate 56 and the second supporting plate 54 is shortened, that is, in a state in which the rotated glass 3 is moved upward to the second guide pin 52, (52). Thereafter, the second connecting plate 56 moves downward so that the distance between the second connecting plate 56 and the second supporting plate 54 is increased and the rotated glass 3 is moved by the transfer robot 120 The second guide pin 52 is positioned so as to be transferred into the reaction chamber 300.

제2가이드핀(52)에는 별도의 지그(58)가 더 거치될 수 있으며, 회전된 글라스(3)는 제2가이드핀(52)에 직접 거치될 수 있고, 지그(58)에 지지된 채로 제2가이드핀(52)에 거치될 수도 있다. 지그(58)는 턴 오버 모듈(100)과 인접하여 배치되는 지그카세트(115)에 적층되고, 이송 로봇(120)에 의해 제2가이드핀(52)에 제공되게 된다. A separate jig 58 can be further mounted on the second guide pin 52 and the rotated glass 3 can be directly mounted on the second guide pin 52 and can be held by the jig 58 And may be mounted on the second guide pin 52. The jig 58 is stacked on the jig cassette 115 disposed adjacent to the turnover module 100 and is provided to the second guide pin 52 by the transfer robot 120.

회전된 글라스(3)가 지그(58)에 지지된 채로 제2가이드핀(52)에 거치되는 경우, 지그(58)를 정렬시키는 제2얼라인부(59)가 더 설치될 수도 있다. 제2얼라인부(59)는 제1얼라인부(20)와 마찬가지로, 복수의 봉(59a)을 포함할 수 있는데, 지그(58)의 모서리부근을 가압하여 정렬시키도록 하며, 지그(58)를 가압하여 정렬하는 점은 차이가 있으나 동작원리는 글라스(3)를 가압하여 정렬하는 제1얼라인부(20)와 거의 같다. 지그(58)에는 회전된 글라스(3)가 지지되고, 회전된 글라스(3) 및 지그(58)가 함께 이송 로봇(120)에 의해 반응챔버(300) 내부로 이송될 수 있다. A second aligning portion 59 for aligning the jig 58 may be further provided when the rotated glass 3 is mounted on the second guide pin 52 while being supported by the jig 58. [ The second aligning portion 59 may include a plurality of rods 59a like the first aligning portion 20 so as to press and align the vicinity of the edge of the jig 58, The operating principle is almost the same as that of the first aligning portion 20 which presses and aligns the glass 3. The rotated glass 3 is supported on the jig 58 and the rotated glass 3 and the jig 58 can be transferred together into the reaction chamber 300 by the transfer robot 120.

도 8을 참조하면, 회전부재(30)에 의해 회전된 글라스(3)가 도시된다. 이때, 지그(58)는 제2가이드핀(52)에 의해 거치된 상태이다. 지그(58)는 지그 카세트(115)로부터 이송 로봇(120)에 의해 제2가이드핀(52)에 제공되는데, 제2가이드핀(52)은 제2연결판(56)에 이동에 의해 상하로 이동하여, 제2얼라인부(59)에 의해 지그(58)가 정렬되도록 할 수 있다. 제2얼라인부(59)에 의해 지그(58)가 정렬된 후, 제2가이드핀(52)에 의해 상방향으로 더 이동하여 회전된 글라스(3)를 지지하도록 할 수 있다. Referring to Fig. 8, a glass 3 rotated by the rotating member 30 is shown. At this time, the jig 58 is held by the second guide pin 52. The jig 58 is provided to the second guide pin 52 from the jig cassette 115 by the transfer robot 120 while the second guide pin 52 is moved up and down So that the jigs 58 can be aligned by the second aligning portion 59. After the jig 58 is aligned by the second aligning portion 59, it can be further moved upward by the second guide pin 52 to support the rotated glass 3.

제2가이드핀(52)에 거치된 회전된 글라스(3) 또는 회전된 글라스(3)를 지지하는 지그(58)는 이송 로봇(120)에 의해 반응챔버(300) 내부로 이송될 수 있다. 반응챔버(300) 내부에서 조사되는 레이저에 의해 글라스(3)에 결합된 기판은 분리되게 된다. The jig 58 supporting the rotated glass 3 or the rotated glass 3 mounted on the second guide pin 52 can be transferred into the reaction chamber 300 by the transfer robot 120. The substrate bonded to the glass 3 by the laser irradiated inside the reaction chamber 300 is separated.

도 9a는 턴 오버 모듈 및 반응챔버 간 배치의 일 예를 도시하는 개념도이고, 도 9b는 턴 오버 모듈 및 반응챔버 간 배치의 다른 일 예를 도시하는 개념도이다. 이하, 도 9a 및 도 9b를 참조하여, 턴 오버 모듈(100), 글라스카세트(110), 지그카세트(115), 이송 로봇(120) 및 반응챔버(300) 등의 배치관계에 예에 대하여 서술한다.FIG. 9A is a conceptual diagram showing an example of the arrangement of the turnover module and the reaction chamber, and FIG. 9B is a conceptual diagram showing another example of the arrangement of the turnover module and the reaction chamber. 9A and 9B, description will be given of an example of the arrangement relationship of the turnover module 100, the glass cassette 110, the jig cassette 115, the transfer robot 120, and the reaction chamber 300, do.

전술한 턴 오버 모듈(100), 글라스카세트(110) 및 지그카세트(115)는 서로 인접하여 배치될 수 있다. 하지만, 턴 오버 모듈(100)이 글라스카세트(110) 및 지그카세트(115)와 인접하여 배치되지 않고, 턴 오버 모듈(100)이 반응챔버(300)에 설치되는 예 또한 가능하다. The turn-over module 100, the glass cassette 110, and the jig cassette 115 described above may be disposed adjacent to each other. However, it is also possible that the turnover module 100 is not disposed adjacent to the glass cassette 110 and the jig cassette 115, and the turnover module 100 is installed in the reaction chamber 300.

이러한 경우, 제1거치부(10)는 반응챔버(300) 외부에 설치되고, 제2거치부(50)는 반응챔버(300) 내부에 설치되게 된다. 도 9a 및 도 9b에는 턴 오버 모듈(100), 글라스카세트(110) 및 지그카세트(115)가 서로 인접 배치되는 일 예와 턴 오버 모듈(100)이 반응챔버(300)에 설치되는 다른 일예에 대하여 각각 도시된다. In this case, the first mounting portion 10 is installed outside the reaction chamber 300, and the second mounting portion 50 is installed inside the reaction chamber 300. 9A and 9B show an example in which the turnover module 100, the glass cassette 110 and the jig cassette 115 are disposed adjacent to each other and another example in which the turnover module 100 is installed in the reaction chamber 300 Respectively.

한편, 본 발명의 레이저 리프트 오프 장치(1000)는, 턴 오버 모듈(100), 반응챔버(300) 및 레이저 발생부를 포함한다. Meanwhile, the laser lift-off apparatus 1000 of the present invention includes a turn-over module 100, a reaction chamber 300, and a laser generator.

턴 오버 모듈(100)에 대한 설명은 전술한 설명으로 갈음하기로 한다. The description of the turn-over module 100 will be omitted from the above description.

반응챔버(300)는 회전된 글라스(3)를 수용하도록 이루어질 수 있고, 내부에서 레이저가 조사되도록 형성된다. The reaction chamber 300 may be configured to receive the rotated glass 3, and the laser is irradiated inside.

레이저 발생부는 반응챔버(300)에 설치되는데, 반응챔버(300) 내부에 설치된 글라스(3)를 기판으로부터 분리시키도록 글라스(3)를 향해서 레이저를 조사한다. The laser generating part is installed in the reaction chamber 300 and irradiates the laser toward the glass 3 so as to separate the glass 3 installed in the reaction chamber 300 from the substrate.

턴 오버 모듈(100)에 의해 회전된 글라스(3)는 반응챔버(300) 내부에서 조사된 레이저에 의해 기판으로부터 분리되게 된다. The glass 3 rotated by the turnover module 100 is separated from the substrate by the laser irradiated inside the reaction chamber 300.

본 발명의 레이저 리프트 오프 장치(1000)는, 턴 오버 모듈(100)에 의해, 기판을 최소로 정렬시키고, 박막을 회전시키면서 바로, 회전된 박막을 반응챔버(300) 내부로 공급할 수 있게 하는 등 제조 공정을 단축시킬 수 있다.The laser lift-off apparatus 1000 of the present invention is a laser lift-off apparatus 1000 that allows the substrate to be aligned at a minimum by the turnover module 100 and to supply the rotated thin film directly into the reaction chamber 300 while rotating the thin film The manufacturing process can be shortened.

이상에서 설명한 턴오버 모듈(100) 및 이를 구비한 레이저 리프트 오프 장치(1000)는 위에서 설명된 실시예들의 구성과 방법에 한정되는 것이 아니라, 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.The above-described turnover module 100 and the laser lift-off device 1000 having the same are not limited to the configurations and the methods of the embodiments described above, Or some of them may be selectively combined.

본 발명은 본 발명의 정신 및 필수적 특징을 벗어나지 않는 범위에서 다른 특정한 형태로 구체화될 수 있음은 당업자에게 자명하다. 따라서, 상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 본 발명의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 본 발명의 범위에 포함된다.It will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. Accordingly, the above description should not be construed in a limiting sense in all respects and should be considered illustrative. The scope of the present invention should be determined by rational interpretation of the appended claims, and all changes within the scope of equivalents of the present invention are included in the scope of the present invention.

Claims (9)

베이스부에 설치되고, 글라스를 거치 가능하도록 이루어지는 복수 개의 제1가이드핀을 구비하는 제1거치부;
상기 베이스부에 설치되며, 상기 글라스를 정렬시키는 제1얼라인부;
상기 베이스부에 연결되고, 회전축을 구비하여 상기 정렬된 글라스를 상기 회전축을 중심으로 회동 가능하게 하는 회전부재;
상기 회전부재에 연결되어 상기 글라스를 상기 회전축을 중심으로 회전 가능하게 흡착시키는 흡착부재; 및
상기 베이스부에 설치되고, 복수 개의 제2가이드핀을 구비하여 상기 회전된 글라스를 거치시키는 제2거치부를 포함하고,
상기 흡착부재는,
상기 회전부재에 설치되어 함께 회동하는 판부; 및
상기 판부의 일 측에 복수 개로 설치되고, 부압을 형성하여 상기 글라스를 흡착시키는 흡착유닛을 포함하며,
상기 판부는, 상기 제1가이드핀을 이동 가능하게 하는 이동 공간을 구비하고,
상기 제1가이드핀은, 상기 글라스가 거치된 상태에서 상기 글라스를 상기 흡착유닛에 흡착 가능하도록 상기 판부와 교차하는 방향으로 상기 이동 공간에서 이동되는 것을 특징으로 하는 턴 오버 모듈.
A first mounting portion provided on the base portion and including a plurality of first guide pins for allowing the glass to be mounted;
A first aligning part installed on the base part for aligning the glass;
A rotating member connected to the base and having a rotating shaft to rotate the aligned glass about the rotating shaft;
An adsorption member connected to the rotatable member to adsorb the glass rotatably about the rotation axis; And
And a second mounting part provided on the base part and having a plurality of second guide pins for mounting the rotated glass,
The adsorption member
A plate part installed on the rotating member and rotating together; And
And a plurality of adsorption units provided on one side of the plate portion for adsorbing the glass by forming a negative pressure,
Wherein the plate portion has a moving space for moving the first guide pin,
Wherein the first guide pin is moved in the moving space in a direction crossing the plate section so that the glass can be attracted to the adsorption unit in a state where the glass is stationary.
제1항에 있어서,
상기 제1거치부는,
상기 베이스부에 고정되는 제1지지판; 및
상기 제1가이드핀이 결합되고, 상기 제1지지판에 대해 상대 이동하도록 상기 제1지지판에 설치되는 제1연결판을 더 구비하는 턴 오버 모듈.
The method according to claim 1,
Wherein the first mounting portion comprises:
A first support plate fixed to the base portion; And
And a first connection plate coupled to the first support pin and installed on the first support plate to move relative to the first support plate.
베이스부에 설치되고, 글라스를 거치 가능하도록 이루어지는 복수 개의 제1가이드핀을 구비하는 제1거치부;
상기 베이스부에 설치되며, 상기 글라스를 정렬시키는 제1얼라인부;
상기 베이스부에 연결되고, 회전축을 구비하여 상기 정렬된 글라스를 상기 회전축을 중심으로 회동 가능하게 하는 회전부재;
상기 회전부재에 연결되어 상기 글라스를 상기 회전축을 중심으로 회전 가능하게 흡착시키는 흡착부재; 및
상기 베이스부에 설치되고, 복수 개의 제2가이드핀을 구비하여 상기 회전된 글라스를 거치시키는 제2거치부를 포함하고,
상기 제2가이드핀에 인접하여 지그카세트가 설치되고,
상기 지그카세트에 수용된 지그는 이송 로봇에 의해 상기 제2거치부로 이송되어 상기 제2거치부에 거치되며,
상기 회전된 글라스는 상기 지그에 지지되어 상기 제2거치부에 거치되는 것을 특징으로 하는 턴 오버 모듈.
A first mounting portion provided on the base portion and including a plurality of first guide pins for allowing the glass to be mounted;
A first aligning part installed on the base part for aligning the glass;
A rotating member connected to the base and having a rotating shaft to rotate the aligned glass about the rotating shaft;
An adsorption member connected to the rotatable member to adsorb the glass rotatably about the rotation axis; And
And a second mounting part provided on the base part and having a plurality of second guide pins for mounting the rotated glass,
A jig cassette is provided adjacent to the second guide pin,
The jig contained in the jig cassette is transferred to the second mounting portion by the transfer robot and is mounted on the second mounting portion,
Wherein the rotated glass is supported by the jig and is mounted on the second mounting part.
제3항에 있어서,
상기 베이스부에 설치되며, 상기 제2거치부에 거치된 상기 지그를 기결정된 위치로 정렬시키는 제2얼라인부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 턴 오버 모듈.
The method of claim 3,
Further comprising a second aligning portion which is provided in the base portion and aligns the jig fixed to the second mounting portion to a predetermined position.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 흡착유닛은 상기 회전부재에 의해 상기 판부가 회전된 상태에서, 상기 부압의 형성을 해제하여서 상기 회전된 글라스를 상기 흡착유닛으로부터 이탈시키고 상기 제2가이드핀에 거치 가능하도록 하는 것을 특징으로 하는 턴 오버 모듈.
The method according to claim 1,
Characterized in that the suction unit releases the formation of the negative pressure in the state where the plate portion is rotated by the rotating member so that the rotated glass is detached from the suction unit and can be mounted on the second guide pin Over module.
제1항에 있어서,
상기 제2거치부는 내부에서 레이저가 조사되는 반응챔버의 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 턴 오버 모듈.
The method according to claim 1,
Wherein the second mounting part is disposed inside a reaction chamber in which a laser is irradiated.
제1항, 제2항, 제3항, 제4항, 제7항 및 제8항 중 어느 한 항의 턴 오버 모듈;
상기 턴 오버 모듈에 의해 회전된 글라스를 수용하도록 이루어지는 반응챔버; 및
상기 반응챔버에 설치되고, 상기 글라스를 향해서 레이저를 조사하는 레이저 발생부를 포함하는 레이저 리프트 오프 장치.
A turn-over module according to any one of claims 1, 2, 3, 4, 7 and 8;
A reaction chamber configured to receive the glass rotated by the turnover module; And
And a laser generation unit installed in the reaction chamber and irradiating a laser toward the glass.
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