KR101707450B1 - 시편 가공 장치 - Google Patents

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KR101707450B1 KR1020150172448A KR20150172448A KR101707450B1 KR 101707450 B1 KR101707450 B1 KR 101707450B1 KR 1020150172448 A KR1020150172448 A KR 1020150172448A KR 20150172448 A KR20150172448 A KR 20150172448A KR 101707450 B1 KR101707450 B1 KR 101707450B1
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 시편 가공 장치는 시편을 연마하는 시편 연마기, 그리고 상기 시편 연마기에 연마제를 공급하는 연마제 공급기를 포함하고, 상기 연마제 공급기는 상기 연마제를 채운 복수개의 용기를 탑재하는 케이스, 상기 케이스에 설치되며 상기 용기를 상기 케이스 내에서 이동시키는 용기 이동부, 상기 용기에 담겨진 연마제를 분사시키는 분사부, 그리고 상기 연마제의 분사각을 조절하는 분사각 조절부를 포함한다.

Description

시편 가공 장치{SAMPLE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 시편 가공 장치에 관한 것이다.
일반적으로 제철소에서는 수요자가 원하는 물성이 나타나도록 철강 제품을 생산한다. 이와 같이 생산된 철강제품 중 일부는 시편으로 선별되어 수요자가 요구하는 물성에 부합되는지를 검사하거나 성분을 분석한다. 시편을 검사하거나 분석하기 위해서는 시편 가공 장치를 이용하여 시편의 표면을 정밀하게 연마하는 공정이 필요하다.
시편 가공 장치는 몰드에 고정된 시편의 표면을 연마하기 위해 회전하는 연마기에 연마포를 장착하고, 연마포의 표면과 시편의 표면을 접촉하면서 시편의 표면을 정밀하게 연마한다. 이 때, 연마포와 시편간의 마찰을 최소화하기 위해 연마제를 공급한다. 연마 작업 시 작업자는 에어로졸 타입의 연마제를 몰드와 연마포 사이에 뿌린다.
이와 같이, 작업자가 수작업으로 연마제를 공급하는 경우 회전하는 시편 가공 장치의 부품과 접촉하여 작업자 안전사고가 발생하기 쉽다. 또한, 작업자가 수작업으로 연마제를 공급하므로 연마제가 시편에 일정하게 공급되지 않아 시편의 표면에 스크래치(scratch) 등의 결함이 발생하기 쉽고, 이로 인해 시편의 성분 분석 시 정밀한 데이터를 얻기 어려웠다. 또한, 이로 인해 시편을 재 가공할 수도 있다. 또한, 아연 도금된 시편을 연마하는 경우에는 에어레졸 타입의 다이아몬드 연마제를 사용하므로 연마제의 분사 시 연마제를 이루는 다이아몬드와 알코올 등이 주변으로 비산되어 작업자가 흡입할 수 있으며, 이 경우 작업자의 건강을 해칠 수 있고, 주변 환경을 오염시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 시편을 효율적으로 정밀하게 연마할 수 있는 시편 가공 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시편 가공 장치는 시편을 연마하는 시편 연마기, 그리고 상기 시편 연마기에 연마제를 공급하는 연마제 공급기를 포함하고, 상기 연마제 공급기는 상기 연마제를 채운 복수개의 용기를 탑재하는 케이스, 상기 케이스에 설치되며 상기 용기를 상기 케이스 내에서 이동시키는 용기 이동부, 상기 용기에 담겨진 연마제를 분사시키는 분사부, 그리고 상기 연마제의 분사각을 조절하는 분사각 조절부를 포함한다.
상기 연마제 공급기는 상기 케이스의 일측단을 덮는 덮개, 그리고 상기 덮개에 연결되어 있는 덮개 조절부를 더 포함할 수 있다.
상기 용기 이동부는 상기 용기의 측면과 접촉하는 가압 부재, 그리고 상기 케이스의 타측단에 설치되며 상기 용기를 일측 방향으로 이동시키는 동력을 상기 가압 부재에 전달하는 제1 구동기를 포함할 수 있다.
상기 분사부는 상기 케이스의 상단에 설치되며 상기 용기를 상기 하단 방향으로 이동시키는 제2 구동기, 그리고 상기 용기의 입구를 가격하여 상기 용기 내부의 연마제를 분사시키는 분사 부재를 포함할 수 있다.
상기 분사 부재는 상기 덮개에 설치되어 있을 수 있다.
상기 분사각 조절부는 상기 시편 연마기와 상기 케이스를 서로 연결하는 제1 고정축, 상기 케이스의 타측단에 연결되어 있는 제3 구동기를 포함하고, 상기 제3 구동기의 동력에 의해 상기 케이스는 상기 제1 고정축을 중심으로 회전할 수 있다.
상기 제1 고정축의 일단은 상기 케이스의 측면에 부착되어 있고, 상기 제1 고정축의 타단은 상기 시편 연마기에 형성된 제1 홈에 삽입되어 회전할 수 있다.
상기 덮개 조절부는 상기 덮개에 상기 케이스를 열고 닫는 동력을 전달하는 제4 구동기, 상기 제4 구동기와 상기 시편 연마기를 서로 연결하는 제2 고정축을 포함할 수 있다.
상기 제2 고정축의 일단은 상기 제4 구동기에 부착되어 있고, 상기 제2 고정축의 타단은 상기 시편 연마기에 형성된 제2 홈에 삽입되어 회전할 수 있다.
상기 연마제 공급기는 상기 덮개에 설치되어 있으며 상기 용기의 입구와 체결되는 용기 지지링을 더 포함할 수 있다.
상기 연마제는 고형 성분과 액상 성분을 포함하는 에어로졸 타입이며, 상기 고형 성분은 금강사, 유리가루, 코런덤, 카보런덤 중 적어도 어느 하나를 포함하고, 상기 액상 성분은 에탄올을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시편 가공 장치는 에어로졸 타입의 연마제를 자동으로 설정량만큼 시편에 공급하여 시편의 연마를 자동화할 수 있다.
이와 같이, 연마 공정 시 사용되는 연마제를 자동으로 공급할 수 있으므로 몰드에 고정된 시편의 표면을 마찰없이 연마가 가능함으로 데이터의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
또한, 시편 연마기의 챔버를 닫은 채로 연마제 공급기를 통한 연마제의 공급이 가능하며, 작업자가 유해물질에 노출되지 않아 안전하며, 자동으로 연마작업이 이뤄지므로, 그 동안 작업자가 다른 작업을 할 수 있어 작업능률이 향상된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 시편 가공 장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 시편 가공 장치의 연마제 공급기의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 시편 가공 장치의 연마제 공급기의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 시편 가공 장치의 연마제 공급기의 저면도이다.
도 5는 도 2의 A 부분의 확대도이다.
도 6은 분사 부재를 이용하여 연마제를 분사하는 상태를 도시한 도면이다.
도 7은 케이스에서 덮개를 분리한 상태를 도시한 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
그러면 본 발명의 일 실시예에 따른 시편 가공 장치에 대하여 도면을 참고로 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 시편 가공 장치의 개략도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 시편 가공 장치는 시편(1)을 연마하는 시편 연마기(100), 시편 연마기(100)에 연마제(2)을 공급하는 연마제 공급기(200)를 포함한다.
시편 연마기(100)는 챔버(110), 챔버(110) 내에 위치하는 연마 구동기(120), 연마 구동기(120)에 연결되어 있으며 연마 구동기(120)에 의해 고속으로 회전하는 연마기(130), 연마기(130)에 장착되어 있는 연마포(140)를 포함한다. 연마기(130)의 고속 회전에 의해 연마포(140)도 고속으로 회전하게 된다.
또한, 시편 연마기(100)는 연마포(140) 상부에 위치하며 시편(1)을 고정하는 몰드(mold)(150), 몰드(150)를 고정하며 몰드(150)를 회전시키는 몰드 고정 지그(160)를 포함한다. 몰드 고정 지그(160)의 회전에 의해 몰드(150)에 고정된 시편(1)도 회전하게 된다. 이때, 몰드 고정 지그(160)와 연마기(130)는 서로 반대 방향으로 회전하여 연마 효율을 향상시키게 된다.
연마제 공급기(200)는 시편 연마기(100)에 부착되어 있으며, 구체적으로는 챔버(110)의 내벽(110a)에 부착될 수 있다. 연마제 공급기(200)는 시편(1)과 소정 간격 이격되어 있으며, 시편 연마기(100)에 연마제(2)를 공급하여 연마포(140)와 시편(1)간의 마찰력을 최소화한다.
이하에서, 연마제 공급기의 구체적인 구조에 대해 도 2, 도 3 및 도 4를 참고하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 시편 가공 장치의 연마제 공급기의 정면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 시편 가공 장치의 연마제 공급기의 평면도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 시편 가공 장치의 연마제 공급기의 저면도이다.
도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 시편 가공 장치의 연마제 공급기(200)는 케이스(210), 케이스(210) 내에 설치되며 용기(3)를 이동시키는 용기 이동부(220), 용기(3)에 담겨진 연마제(2)을 외부로 분사시키는 분사부(230), 연마제(2)가 분사되는 분사각을 조절하는 분사각 조절부(240), 케이스(210)의 일측단(210a)을 덮는 덮개(250), 그리고 덮개(250)에 연결되어 있는 덮개 조절부(260)를 포함한다.
케이스(210)는 연마제(2)를 채운 복수개의 용기(3)를 탑재하고 있으며, 챔버(110)의 내벽(110a)에 부착되어 있다. 이러한 케이스(210)는 직육면체 형상일 수 있다. 용기(3)는 용기(3)의 입구(3b)가 아래로 향한 상태로 케이스(210)에 탑재되어 있으며, 도 3에 도시한 바와 같이, 케이스(210)에는 용기(3)의 몸체(3a)가 안착될 수 있는 복수개의 몸체 안착 홈(21)이 형성되어 있다. 그리고, 도 4에 도시한 바와 같이, 케이스(210)에는 용기(3)의 입구(3b)가 안착되는 복수개의 입구 안착 홈(22)이 형성되어 있다. 인접하는 입구 안착 홈(22)은 연결 홈(23)을 통해 서로 연결되어 있으며, 연결 홈(23)을 이용하여 용기(3)의 입구(3b)가 이동할 수 있다. 연마제(2)은 고형 성분과 액상 성분을 포함하는 에어로졸(aerosol) 타입일 수 있다. 고형 성분은 금강사, 유리가루, 코런덤, 카보런덤 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있고, 액상 성분은 에탄올을 포함할 수 있다.
용기(3)의 입구(3b)에는 연마제(2)을 분사시킬 수 있는 분사체(4)가 위치하고 있다.
용기 이동부(220)는 용기(3)의 측면과 접촉하는 가압 부재(221), 그리고 케이스(210)의 타측단(210b)에 설치되어 있으며 가압 부재(221)와 연결되는 제1 구동기(222)를 포함한다.
가압 부재(221)는 용기(3)의 측면과 동일한 형상을 가지므로 용기(3)의 측면과 접촉하는 면적이 최대화되어 제1 구동기(222)의 동력을 최대한 용기(3)에 전달할 수 있다. 제1 구동기(222)는 용기(3)를 케이스(210)의 일측 방향(X)으로 이동시키는 동력을 가압 부재(221)에 전달한다. 용기 이동부(220)를 이용하여 용기(3)를 분사 위치로 이동시킬 수 있다.
분사부(230)는 케이스(210)의 상단에 설치되며 용기(3)를 케이스(210)의 하단 방향(Y)으로 이동시키는 제2 구동기(231), 그리고 용기(3)의 입구(3b)를 가격하여 용기(3) 내부의 연마제(2)을 분사시키는 분사 부재(232)를 포함한다.
제2 구동기(231)는 용기(3)의 바닥면과 접촉하여 용기(3)를 케이스(210)의 하단 방향(Y)을 이동시킬 수 있다.
케이스(210)의 일측단(210a)에는 용기(3)의 입구(3b)가 위치하며 스프링(71)이 내장되어 있는 스프링 홈(24)이 형성되어 있다.
분사 부재(232)는 덮개(250)의 하측에 설치되어 용기(3)의 입구(3b) 쪽으로 연장되어 있다. 분사 부재(232)는 돌기의 형상을 가지며, 용기(3)의 입구(3b)와 접촉하여 용기(3)의 입구(3b)에 위치하는 분사체(4)를 가격하여 용기(3) 내부의 연마제(2)가 외부로 분사될 수 있도록 한다.
분사 부재(232)의 하부에는 센서(280)가 부착되어 있다. 센서(280)는 분사체(4)가 분사되는 양을 센싱할 수 있다.
분사각 조절부(240)는 시편 연마기(100)의 챔버(110)의 내벽(110a)과 케이스(210)를 서로 연결하는 제1 고정축(241), 케이스(210)의 타측단에 연결되어 있는 제3 구동기(242)를 포함한다.
제1 고정축(241)의 일단은 케이스(210)의 측면에 부착되어 있고, 제1 고정축(241)의 타단은 시편 연마기(100)의 챔버(110)의 내벽(110a)에 형성된 제1 홈(11)에 삽입되어 회전한다. 이 때, 제1 홈(11)과 제1 고정축(241) 사이에는 제1 베어링(243)이 설치되어 제1 고정축(241)의 회전을 원활하게 한다.
제1 고정축(241)에 의해 시편 연마기(100)의 챔버(110)의 내벽(110a)과 케이스(210)는 고정된 상태에서, 제3 구동기(242)의 동력에 의해 케이스(210)는 제1 고정축(241)을 중심으로 회전하게 된다. 따라서, 분사각 조절부(240)는 스윙 동작을 진행하게 되므로, 연마제(2)을 시편(1)의 모든 위치에 균일하게 분사시킬 수 있다.
덮개(250)는 케이스(210)의 일측단(210a)을 덮을 수 있도록 케이스(210)의 일측단(210a)과 동일한 크기를 가진다. 덮개(250)와 케이스(210) 사이에는 장석(251)이 설치되어 있다. 장석(251)은 덮개(250)가 케이스(210)의 일측단(210a)(210a)을 덮고 여는 동작이 가능하게 한다.
덮개 조절부(260)는 덮개(250)에 케이스(210)를 열고 닫는 동력을 소정 방향(Y)으로 전달하는 제4 구동기(261), 제4 구동기(261)와 시편 연마기(100)의 챔버(110)의 내벽(110a)을 서로 연결하는 제2 고정축(262)를 포함한다.
제2 고정축(262)의 일단은 제4 구동기(261)에 부착되어 있고, 제2 고정축(262)의 타단은 시편 연마기(100)에 형성된 제2 홈(12)에 삽입되어 회전한다. 이 때, 제2 홈(12)과 제2 고정축(262) 사이에는 제2 베어링(263)이 설치되어 제2 고정축(262)의 회전을 원활하게 한다.
제4 구동기(261)와 제2 고정축(262)을 포함하는 덮개 조절부(260)에 의해 덮개(250)의 위치를 용이하게 조절 가능하다. 이와 같이 케이스(210)의 일측단(210a)을 덮고 있는 덮개(250)를 열고, 외부로 노출된 용기(3)를 외부로 토출시킬 수 있다. 따라서, 연마제(2)가 모두 소진된 용기(3)를 자동으로 교체할 수 있다.
도 5는 도 2의 A 부분의 확대도이다.
도 5에 도시한 바와 같이, 덮개(250)에는 용기(3)의 입구(3b)와 체결되는 용기 지지링(270)이 설치되어 있다. 용기 지지링(270)은 스프링(71)에 의해 지지되며, 스프링 홈(24)과 스프링(71) 사이에 위치하고 있다.
이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 시편 가공 장치를 이용한 시편 가공 방법에 대하여 이하에서 도 1 내지 도 7을 참고로 상세히 설명한다.
도 6은 분사 부재를 이용하여 연마제를 분사하는 상태를 도시한 도면이고, 도 7은 케이스에서 덮개를 분리한 상태를 도시한 도면이다.
우선, 도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 시편 가공 장치를 이용한 시편 가공 방법은 연마 구동기(120)에 연결된 연마기(130)에 연마포(140)를 장착하고, 몰드 고정 지그(160)에 시편(1)을 고정한 몰드(150)를 장착한다. 그리고, 연마포(140)와 시편(1)이 서로 회전하면서 접촉하여 시편(1)이 연마되어 진다.
다음으로, 도 2 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 용기 이동부(220)의 제1 구동기(222)를 이용하여 가압 부재(221)를 일측 방향(X)으로 이동시켜 용기(3)을 분사 위치에 위치시킨다. 분사 위치는 덮개(250)에 가장 인접한 위치이다. 이 때, 덮개 조절부(260)의 제4 구동기(261)에 의해 덮개(250)는 닫혀진 상태이다.
다음으로, 도 6에 도시한 바와 같이, 분사부(230)의 제2 구동기(231)가 하단 방향(Y)으로 이동하여 용기(3)의 몸체를 밀면 용기(3)가 하단 방향으로 이동하여 용기(3)의 입구(3b)는 분사 부재(232)와 접촉하게 된다. 이 때, 스프링(71)은 압축되며, 분사 부재(232)는 용기(3)의 입구(3b)에 위치하는 분사체(4)를 가격하게 된다. 따라서, 용기(3)의 내부에 충진되어진 에어로졸 타입의 연마제(2)는 전면으로 분사하게 된다.
이 때, 분사 부재(232)의 하부에 위치하는 센서(280)는 분사되는 분사체(4)의 양을 감지하여 그 데이터를 송출한다.
그리고, 연마제(2)가 분사되는 상태에서, 분사각 조절부(240)의 제3 구동기(242)는 케이스(210)의 일측 방향(X)과 타측 방향으로 케이스(210)를 반복적으로 이동시킨다. 이 때, 시편 연마기(100)의 챔버(110)의 내벽(110a)에 케이스(210)가 제1 고정축(241)으로 고정되어 있으므로, 케이스(210)가 제1 고정축(241)을 축으로 하여 스윙하게 된다. 따라서, 연마제(2)를 시편(1)의 모든 위치에 균일하게 분사시킬 수 있다.
다음으로, 계속되는 분사로 센서(280)가 분사체(4)의 소멸을 인식하게 되면, 분사 동작은 정지하게 된다.
다음으로, 도 7에 도시한 바와 같이, 덮개(250)에 연결된 제4 구동기(261)가 일측 방향(X)으로 이동하여 케이스(210)에서 덮개(250)를 분리시키고, 분사를 위해 용기(3)의 몸체를 하단 방향으로 밀고 있던 제2 구동기(231)를 상단 방향(Z)으로 이동시키게 된다. 이 때, 압축되어 있던 스프링(71)의 탄성력에 의해 용기(3)는 상단 방향(Z)으로 이동하게 된다.
그리고, 제1 구동기(222)와 가압 부재(221)를 이용하여 용기(3)를 밀면 용기(3)는 케이스(210)의 외부로 취출되며, 다른 용기(3)가 분사 위치에 위치하게 된다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 시편 가공 장치는 에어로졸 타입의 연마제를 자동으로 설정량만큼 시편에 공급하여 시편의 연마를 자동화할 수 있다. 이와 같이, 연마 공정 시 사용되는 연마제를 자동으로 공급할 수 있으므로 몰드에 고정된 시편의 표면을 마찰없이 연마가 가능함으로 데이터의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
또한, 시편 연마기의 챔버를 닫은 채로 연마제 공급기를 통한 연마제의 공급이 가능하며, 작업자가 유해물질에 노출되지 않아 안전하며, 자동으로 연마작업이 이뤄지므로, 그 동안 작업자가 다른 작업을 할 수 있어 작업능률이 향상된다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
210: 케이스 220: 용기 이동부
230: 분사부 240: 분사각 조절부
250: 덮개 260: 덮개 조절부

Claims (11)

  1. 시편을 연마하는 시편 연마기, 그리고
    상기 시편 연마기에 연마제를 공급하는 연마제 공급기
    를 포함하고,
    상기 연마제 공급기는
    상기 연마제를 채운 복수개의 용기를 탑재하는 케이스,
    상기 케이스에 설치되며 상기 용기를 상기 케이스 내에서 이동시키는 용기 이동부,
    상기 용기에 담겨진 연마제를 분사시키는 분사부, 그리고
    상기 연마제의 분사각을 조절하는 분사각 조절부
    를 포함하는 시편 가공 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 연마제 공급기는
    상기 케이스의 일측단을 덮는 덮개, 그리고
    상기 덮개에 연결되어 있는 덮개 조절부를 더 포함하는 시편 가공 장치.
  3. 제2항에서,
    상기 용기 이동부는
    상기 용기의 측면과 접촉하는 가압 부재, 그리고
    상기 케이스의 타측단에 설치되며 상기 용기를 일측 방향으로 이동시키는 동력을 상기 가압 부재에 전달하는 제1 구동기
    를 포함하는 시편 가공 장치.
  4. 제3항에서,
    상기 분사부는
    상기 케이스의 상단에 설치되며 상기 용기를 상기 케이스의 하단 방향으로 이동시키는 제2 구동기, 그리고
    상기 용기의 입구를 가격하여 상기 용기 내부의 연마제를 분사시키는 분사 부재를 포함하는 시편 가공 장치.
  5. 제4항에서,
    상기 분사 부재는 상기 덮개에 설치되어 있는 시편 가공 장치.
  6. 제4항에서,
    상기 분사각 조절부는
    상기 시편 연마기와 상기 케이스를 서로 연결하는 제1 고정축,
    상기 케이스의 타측단에 연결되어 있는 제3 구동기
    를 포함하고,
    상기 제3 구동기의 동력에 의해 상기 케이스는 상기 제1 고정축을 중심으로 회전하는 시편 가공 장치.
  7. 제6항에서,
    상기 제1 고정축의 일단은 상기 케이스의 측면에 부착되어 있고,
    상기 제1 고정축의 타단은 상기 시편 연마기에 형성된 제1 홈에 삽입되어 회전하는 시편 가공 장치.
  8. 제2항에서,
    상기 덮개 조절부는
    상기 덮개에 상기 케이스를 열고 닫는 동력을 전달하는 제4 구동기,
    상기 제4 구동기와 상기 시편 연마기를 서로 연결하는 제2 고정축
    을 포함하는 시편 가공 장치.
  9. 제8항에서,
    상기 제2 고정축의 일단은 상기 제4 구동기에 부착되어 있고,
    상기 제2 고정축의 타단은 상기 시편 연마기에 형성된 제2 홈에 삽입되어 회전하는 시편 가공 장치.
  10. 제2항에서,
    상기 연마제 공급기는
    상기 덮개에 설치되어 있으며 상기 용기의 입구와 체결되는 용기 지지링을 더 포함하는 시편 가공 장치.
  11. 제1항에서,
    상기 연마제는 고형 성분과 액상 성분을 포함하는 에어로졸 타입이며, 상기 고형 성분은 금강사, 유리가루, 코런덤, 카보런덤 중 적어도 어느 하나를 포함하고, 상기 액상 성분은 에탄올을 포함하는 시편 가공 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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