KR101707080B1 - 탠덤 태양전지의 제조방법 및 그에 따라 제조된 탠덤 태양전지 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 하부셀의 열화 문제가 없으면서 상부셀의 효율도 최대가 될 수 있는 탠덤 태양전지의 제조방법에 관한 것으로, 기판 위에 하부셀을 형성하고, 상기 하부셀 위에 적어도 1개 이상의 상부셀을 순차적으로 형성하여 탠덤 태양전지를 제조하는 방법으로서, 상기 상부셀을 형성하는 과정에서, 상기 상부셀의 광흡수층을 형성하는 단계가, 별도의 임시기판 위에 몰리브덴층을 형성하는 단계; 상기 몰리브덴층 위에 CIGS층을 형성하는 단계; 상기 몰리브덴층과 상기 CIGS층을 분리하는 단계; 및 상기 분리된 CIGS층을 부착하는 단계를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 탠덤 태양전지의 상부셀의 광흡수층을 별도로 형성한 뒤에 분리하여 하부셀 위에 부착함으로써, 상부셀 형성과정에서 하부셀이 열화되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 상부셀의 변환효율이 최대가 될 수 있는 공정 조건에서 상부셀의 광흡수층을 형성할 수 있는 효과가 있다.

Description

탠덤 태양전지의 제조방법 및 그에 따라 제조된 탠덤 태양전지{MANUFACTURING METHOD FOR TANDEM SOLAR CELL AND TANDEM SOLAR CELL MANUFACTURED BY THE METHOD}
본 발명은 탠덤 태양전지의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 하부셀의 열화문제가 없으면서 상부셀의 효율도 뛰어난 탠덤 태양전지의 제조방법에 관한 것이다.
최근 심각한 환경오염 문제와 화석 에너지 고갈로 차세대 청정에너지 개발에 대한 중요성이 증대되고 있다. 그 중에서도 태양전지는 태양 에너지를 직접 전기 에너지로 전환하는 장치로서, 공해가 적고, 자원이 무한적이며 반영구적인 수명이 있어 미래 에너지 문제를 해결할 수 있는 에너지원으로 기대되고 있다.
태양전지는 광흡수층으로 사용되는 물질에 따라서 다양한 종류로 구분되며, 현재 가장 많이 사용되는 것은 실리콘을 이용한 실리콘 태양전지이다. 그러나 최근 실리콘의 공급부족으로 가격이 급등하면서 박막형 태양전지에 대한 관심이 증가하고 있다. 박막형 태양전지는 얇은 두께로 제작되므로 재료의 소모량이 적고, 무게가 가볍기 때문에 활용범위가 넓다. 이러한 박막형 태양전지의 재료로는 높은 광흡수 계수를 가지는 CIGS(Copper Indium Galium Selenide)가 각광받고 있다. 이는 CIGS를 박막 태양전지의 제조에 사용함으로써 높은 변환효율을 얻을 수 있기 때문이다.
한편, CIGS 태양전지의 효율을 더욱더 높이기 위한 방안으로 제시되는 다중접합 구조의 탠덤(tandem) 태양전지에 대한 관심이 높아지고 있다. 탠덤(tandem) 구조의 태양전지는 단일 셀 CIGS 태양전지 두 개 이상을 적층시킨 복층 구조의 태양전지를 말한다. 그러나 이러한 탠덤 구조의 태양전지의 경우 하부셀을 제조한 다음 상부셀을 그 위에 형성하는 모노리식(monolithic) 제조방법의 경우, 상부셀을 형성하는 과정에서 이미 형성된 하부셀이 손상되는 문제가 발생하여 기대하는 에너지 변환효율을 얻기 어려운 문제가 있다.
이런 문제를 해결하기 위하여, 상부셀과 하부셀을 별도로 제조한 뒤에 결합하는 기계적 결합식 제조방법이 개발되었으나, 제조 공정이 복잡하고 별도로 제조된 셀을 부착하는 과정에서 문제가 발생하고 있다.
나아가, CIGS 태양전지와 같은 화합물 태양전지의 경우는 광흡수층을 형성하는 기판 또는 전극층의 종류에 따라서 광흡수층의 효율에서 큰 차이를 나타내는 특징이 있다. 하지만, 종래의 모노리식 제조방법이나 기계적 결합식 제조방법은, 모두가 상부셀을 제조하는 과정이 광흡수층을 제조할 수 있는 최적의 조건에서 수행되지 못하는 단점이 있다.
대한민국 공개특허 10-2010-0028729 미국 공개특허 2012-0204939
본 발명은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서 하부셀의 열화 문제가 없으면서 상부셀의 효율도 최대가 될 수 있는 다중접합 태양전지의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 탠덤 태양전지의 제조방법은, 기판 위에 하부셀을 형성하고, 상기 하부셀 위에 적어도 1개 이상의 상부셀을 순차적으로 형성하여 탠덤 태양전지를 제조하는 방법으로서, 상기 상부셀을 형성하는 과정에서, 상기 상부셀의 광흡수층을 형성하는 단계가, 별도의 임시기판 위에 몰리브덴층을 형성하는 단계; 상기 몰리브덴층 위에 CIGS층을 형성하는 단계; 상기 몰리브덴층과 상기 CIGS층을 분리하는 단계; 및 상기 분리된 CIGS층을 부착하는 단계를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
CIGS 태양전지는 몰리브덴 재질의 후면전극의 표면에 형성할 때에, 가장 효율이 뛰어난 CIGS 광흡수층을 형성할 수 있다. 하지만, 모노리식 제조방법에 의하는 경우에 하부셀 위에 상부셀을 제조하기 때문에 몰리브덴을 사용할 수 없고, 기계적 접합식 제조방법에 의하는 경우에도 상부셀의 특성상 투명기판과 투명전극을 사용하여야하기 때문에 몰리브덴 위에 CIGS 광흡수층을 형성할 수는 없었다.
반면에, 본 발명은 별도의 임시 기판의 표면에 형성된 몰리브덴층 위에 CIGS 광흡수층을 형성함으로써, 상부셀의 CIGS 광흡수층도 최적의 효율을 나타낼 수 있다.
이때, 임시기판이 소다라임 유리기판인 것이 바람직하다. CIGS 태양전지 개발 초기에는 높은 공정온도에서 사용할 수 있는 코닝(Corning) 유리를 이용하였으나, 제조비용 절감을 위해 사용된 소다라임 유리 기판에 의하여 CIGS 태양전지의 광전 변환효율이 향상되는 현상이 발견된 이후로 소다라임 유리 기판이 필수적으로 사용되고 있다. 이는 소다라임 유리 기판에 포함된 Na가 다양한 작용을 통해 CIGS 태양전지의 효율을 향상시키기 때문이다.
CIGS층을 분리하는 단계에 앞서, CIGS층 위에 상부 버퍼층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있으며, CIGS층을 분리하는 단계에서 CIGS층과 상부 버퍼층을 함께 분리하는 방법으로 상부셀의 광흡수층을 형성할 수도 있다. 이때, 분리된 CIGS층을 부착하는 단계에서 CIGS층과 상부 버퍼층을 함께 하부셀에 부착하며, 상부 버퍼층의 표면에 전면 투명전극층을 형성함으로써 최종적인 탠덤 태양전지를 구성하게 된다.
상부 버퍼층을 형성하는 단계 뒤에 상부 버퍼층 위에 전면 투명전극층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있으며, CIGS층을 분리하는 단계에서 CIGS층과 상부 버퍼층 및 전면 투명전극층을 함께 분리하고, 부착하는 단계에서 이들을 모두 한꺼번에 부착함으로써 최종적인 탠덤 태양전지를 구성하게 된다.
한편, 하부셀의 위에 중간층을 형성하고, 중간층에 하부셀을 부착하는 것이 바람직하다. 다른 구조로서, 하부셀의 위에 하부 전면전극층과 중간층 및 상부 후면전극층을 순차적으로 형성하고, 상부 후면전극층에 하부셀을 부착하는 것도 가능하다.
그리고 하부셀을 형성하는 과정은, 상기 기판 위에 몰리브덴 후면전극을 형성하는 단계; 상기 후면전극 위에 CIGS 재질의 하부 광흡수층을 형성하는 단계; 및 상기 하부 광흡수층 위에 하부 버퍼층을 형성하는 단계를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다. 이때, 기판이 소다라임 유리기판인 것이 좋다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 형태에 의한 탠덤 태양전지의 제조방법은, 기판 위에 하부셀을 형성하고, 상기 하부셀 위에 적어도 1개 이상의 상부셀을 순차적으로 형성하여 탠덤 태양전지를 제조하는 방법으로서, 상기 상부셀을 형성하는 과정에서, 상기 상부셀의 광흡수층을 형성하는 단계가, 별도의 임시기판에 광흡수층을 형성하는 단계; 상기 광흡수층만을 분리하는 단계; 및 상기 분리된 광흡수층을 부착하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 탠덤 태양전지의 제조방법은 상부셀이 CIGS 재질의 광흡수층을 가지는 경우에만 적용되는 것은 아니다. 상부셀에 다른 종류의 화합물 반도체 광흡수층을 적용하는 경우에도 해당 광흡수층이 최대 효율을 나타낼 수 있는 조건에서 광흡수층을 형성한 뒤에 광흡수층만을 분리하여 하부셀 위에 부착하는 방법으로 적용이 가능하다.
본 발명의 다른 형태에 의한 탠덤 태양전지는 이상의 방법으로 제조된 것을 특징으로 한다.
이상의 방법으로 제조된 탠덤 태양전지는, 거시적인 구조면에서는 종래의 일밭적인 탠덤 태양전지와 동일하지만, 광흡수층의 물리적 특성까지 고려한 미시적 관점에서는 종래의 탠덤 태양전지와 차이가 있다.
구체적으로 하부셀의 광흡수층은 상부셀 형성 과정에서 열화되지 않은 물리적 특성을 나타낸다. 또한, 상부셀의 광흡수층은 변환 효율이 최대가 되는 공정조건, 즉 몰리브덴층 위에서 형성되었기 때문에 투명전극층 위에서 형성된 광흡수층과는 내부의 물리적 특성에서 차이가 있다. 하부셀의 광흡수층과 상부셀의 광흡수층에 대하여 형성된 물리적 특성 차이를 특정하여 표현할 수 있는 기준이 없으므로, 본 명세서에서는 제조방법에 따른 차이로서 표현하였다.
상술한 바와 같이 구성된 본 발명은, 탠덤 태양전지의 상부셀의 광흡수층을 별도로 형성한 뒤에 분리하여 하부셀 위에 부착함으로써, 상부셀 형성과정에서 하부셀이 열화되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 상부셀의 변환효율이 최대가 될 수 있는 공정 조건에서 상부셀의 광흡수층을 형성할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 탠덤 태양전지는 하부셀도 열화에 따른 성능 저하가 없고, 상부셀도 변환 효율이 최대가 되도록 제조되었기 때문에, 탠덤 태양전지의 전체적인 효율이 크게 향상되는 효과가 있다.
도 1 내지 도 3은 2개의 단위셀로 구성된 본 실시예의 탠덤 태양전지를 제조하는 과정을 나타내는 모식도이다.
도 4 내지 도 6은 본 실시예에서 상부셀을 별도로 제작하는 과정을 나타내는 모식도이다.
도 7과 도 8은 별도로 제작된 하부셀의 분리 실험을 수행한 결과를 촬영한 사진이다.
첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 3은 2개의 단위셀로 구성된 본 실시예의 탠덤 태양전지를 제조하는 과정을 나타내는 모식도이다.
먼저 도 1에 도시된 것과 같이, 기판(100) 위에 하부셀(300)을 형성한다.
하부셀(300)은 탠덤 태양전지의 가장 아래에 위치하는 태양전지 단위셀이며, 본 실시예에서는 소다라임 유리기판(100) 표면에 몰리브덴 재질의 금속층으로 후면전극(200)을 형성하고, 그 위에 CIGS 재질의 하부 광흡수층(310)을 형성한 뒤에 하부 버퍼층(320)을 형성한다.
본 실시예에서 후면전극(200)과 하부 광흡수층(310) 및 하부 버퍼층(320)을 형성하는 단계는, 모든 종류의 CIGS 태양전지 제조과정에서 사용되는 모든 공정을 적용할 수 있다.
구체적으로 하부 광흡수층(310)을 형성하는 공정은, 원료물질의 나노입자 전구체, 용액 전구체 혹은 박막 전구체를 이용하는 비진공법(황화, 셀레화 공정도 여기에 포함됨)과 3단계의 동시진공 증발법과 같은 진공법이 모두 가능하다. 하부 버퍼층(320)을 형성하는 공정은, CBD(chemical bath deposition) 공정으로 CdS막을 형성하는 것이 일반적이며, CBD 공정으로 ZnS막 또는 ZnSe막을 형성하거나, 증발법으로 InxSey막 또는 ZnInxSey막을 형성할 수도 있으며, CVD 기반 공정으로 InxSey막 또는 ZnSe막을 형성할 수도 있다.
또한, 소다라임 유리기판(100)에 Mo금속층으로 후면전극(200)을 형성한 경우에 하부셀(300)의 성능이 가장 뛰어나지만, 필요에 따라서 다른 재질의 기판 및 투명재질의 전극층을 형성하는 것도 가능하다.
다음으로 도 2에 도시된 것과 같이, 하부셀(300) 위에 상부셀(500)을 부착한다. 부착과정에서는 전도성폴리머 또는 웨이퍼본딩을 사용하거나, Ag나노파티클을 포함한 페이스트를 이용하는 것이 가능하다.
본 실시예에서는 하부셀(300)의 하부 버퍼층(320) 위에 중간층(400)을 형성하고, 그 위에 CIGS 재질의 상부 광흡수층(510)과 상부 버퍼층(520)으로 구성된 상부셀(500)을 부착한다. 이러한 본 실시예는 상부셀(500)과 하부셀(300)의 전체에 후면전극과 전면전극만을 구성한 2터미널 방식의 탠덤 태양전지에 대한 구조이고, 4터미널 방식의 탠덤 태양전지의 경우는 중간층의 위와 아래에 별도의 전극층을 더 형성한다.
한편, 본 실시예에서 하부셀(300) 위에 형성된 상부셀(500)은 별도로 제작된 것으로서, 본 단계는 중간층(400) 위에 하부셀(300)을 단순 부착하여 수행되며, 이에 대해서는 이후에 도 4 내지 도 6을 통해서 구체적으로 설명하도록 한다.
마지막으로 도 3에 도시된 것과 같이, 상부셀(500)의 위에 전면전극층(600)을 형성한다.
전면전극층(600)은 빛이 입사하는 상부셀(500)의 표면에 위치하는 전극으로서 투명전극 또는 그리드 전극을 형성한다.
도 4 내지 도 6은 본 실시예에서 상부셀을 별도로 제작하는 과정을 나타내는 모식도이다.
먼저 도 4에 도시된 것과 같이, 소다라임 재질의 임시기판(530) 표면에 몰리브덴층(540)을 형성한다.
다음으로 도 5에 도시된 것과 같이, 몰리브덴층(540)의 표면에 CIGS 재질의 상부 광흡수층(510)과 상부 버퍼층(520)을 순차적으로 적층한다.
본 실시예에서 몰리브덴층(540)과 상부 광흡수층(510) 및 상부 버퍼층(520)을 형성하는 단계는, 모든 종류의 CIGS 태양전지 제조과정에서 사용되는 모든 공정을 적용할 수 있다.
구체적으로 상부 광흡수층(510)을 형성하는 공정은, 원료물질의 나노입자 전구체, 용액 전구체, 혹은 전구체 박막을 이용하는 비진공법과 3단계의 동시진공 증발법과 같은 진공법이 모두 가능하지만 광전변환 효율이 더 뛰어난 3단계의 동시진공 증발법을 적용하는 것이 좋다. 상부 버퍼층(520)을 형성하는 공정은, CBD(chemical bath deposition) 공정으로 CdS막을 형성하는 것이 일반적이며, CBD 공정으로 ZnS막 또는 ZnSe막을 형성하거나, 증발법으로 InxSey막 또는 ZnInxSey막을 형성할 수도 있으며, CVD 기반 공정으로 InxSey막 또는 ZnSe막을 형성할 수도 있다.
그리고 도 6에 도시된 것과 같이, 몰리브덴층(540)과 상부 광흡수층(510) 및 상부 버퍼층(520)을 분리한다.
몰리브덴층(540)과 상부 광흡수층(510)의 계면을 분리하는 방법은 다양하겠으나, 상부 버퍼층(520)의 표면에 접착제를 이용하여 분리용 판을 접착한 뒤에 물리적 힘을 가하는 경우에 몰리브덴층(540)과 상부 광흡수층(510)이 서로 분리된다. 이는 적층된 각 층 사이의 결합력의 차이에 의한 것으로서, 몰리브덴층(540)과 상부 광흡수층(510) 사이의 결합력이 가장 약하기 때문에 물리적인 힘을 가하는 것만으로 분리가 가능하다.
분리에 사용되는 접착제는 일반적인 강력접착체 (록타이트)나 에폭시 접착제가 가능하며, 접착제가 도포된 테이프를 사용하는 것도 가능하다.
이상에서는, 상부셀의 상부 광흡수층(510)과 상부 버퍼층(520)을 별도로 형성한 뒤에, 분리 및 부착하는 실시예에 대하여 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다.
상부 광흡수층(510)의 효율이 최적화될 수 있는 조건인 소다라임 임시기판(530)에 형성된 몰리브덴층(540)의 표면에 상부 광흡수층(510)을 형성하는 것은 필수적이나, 상부 광흡수층(510)만을 별도로 형성 및 분리하여 부착한 뒤에 상부 버퍼층(520)과 전면전극(600)을 순차로 형성하는 것도 가능하다.
반대로, 소다라임 임시기판(530)에 형성된 몰리브덴층(540)의 표면에 상부 광흡수층(510)과 상부 버퍼층(520) 및 전면전극(600)을 모두 형성한 뒤에, 몰리브덴층(540)과 상부 광흡수층(510)을 분리하여, 상부 광흡수층(510)과 상부 버퍼층(520) 및 전면전극(600)을 한꺼번에 중간층(400) 위에 부착하는 것도 가능하다.
도 7과 도 8은 별도로 제작된 상부 광흡수층의 분리 실험을 수행한 결과를 촬영한 사진이다.
소다라임 유리 기판의 표면에 몰리브덴층을 형성하고, 그 표면에 진공증발공정으로 전구체박막을 형성한 뒤에 셀렌화/황화 공정을 수행하여 CIGS층을 형성하였다. 그 뒤에 CIGS층의 일부에만 접착제를 도포하여 몰리브덴층과 CIGS층을 분리하였다.
도 7에서 아래쪽에 상대적으로 회색에 가깝게 보이는 부분이 잔류된 CIGS층이고, 오른쪽 위쪽에 화살표로 표시되고 상대적으로 검은색에 가까운 부분이 CIGS가 제거되어 몰리브덴층이 노출된 부분이다. 도 8은 CIGS층이 분리된 모습을 촬영한 것이며, 화살표로 표시된 부분에 CIGS가 분리된 것을 확인할 수 있다.
이상의 결과에서 몰리브덴층으로부터 상부 광흡수층을 쉽게 분리할 수 있는 것을 확인할 수 있다.
이상의 과정을 통해서, 별도의 임시기판 위에서 제조된 뒤에 분리된 상부 광흡수층과 상부 버퍼층을 도 2에 도시된 것과 같이 하부셀 위에 형성된 중간층에 부착한다. 그 결과, 상부 광흡수층을 형성하는 과정에서 하부셀이 열화되는 문제를 해결함과 동시에 상부 광흡수층을 몰리브덴층 위에 증착하여 상부 광흡수층이 최고의 효율을 나타낼 수 있는 효과가 있다.
지금까지, 2개의 단위셀로 구성된 일반적인 탠덤구조의 태양전지에 대하여 본 발명을 적용한 실시예에 대하여 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 앞서 설명한 것과 같이, 4터미널 구조를 적절히 적용할 수 있고, 기판과 후면전극의 재질을 변경하는 것도 가능하다. 나아가 3개 이상의 단위셀로 구성되는 경우에도 본 발명의 제조방법을 적용할 수 있을 것이다.
또한, 상기한 실시예는 몰리브덴층의 표면에 형성할 때에 특성이 가장 뛰어난 CIGS 광흡수층을 상부셀에 포함하는 구조에 대하여 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. CIGS 광흡수층 이외에 다른 화합물반도체의 경우에도 변환효율이 최적화가 될 수 있는 조건에서 상부셀의 광흡수층을 형성한 뒤에 분리하여 하부셀에 부착하는 방법을 적용할 수 있을 것이다.
이상 본 발명을 바람직한 실시예를 통하여 설명하였는데, 상술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화가 가능함은 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 보호범위는 특정 실시예가 아니라 특허청구범위에 기재된 사항에 의해 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술적 사상도 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 기판 200: 후면전극
300: 하부셀 310: 하부 광흡수층
320: 하부 버퍼층 400: 중간층
500: 상부셀 510: 상부 광흡수층
520: 상부 버퍼층 530: 임시기판
540: 몰리브덴층 600: 전면전극

Claims (12)

  1. 기판 위에 하부셀을 형성하고, 상기 하부셀 위에 적어도 1개 이상의 상부셀을 순차적으로 형성하여 탠덤 태양전지를 제조하는 방법으로서,
    상기 상부셀을 형성하는 과정에서, 상기 상부셀의 광흡수층을 형성하는 단계가,
    별도의 임시기판 위에 몰리브덴층을 형성하는 단계;
    상기 몰리브덴층 위에 CIGS층을 형성하는 단계;
    상기 몰리브덴층과 상기 CIGS층을 분리하는 단계; 및
    상기 분리된 CIGS층을 상기 하부셀 또는 하부셀 표면에 형성된 중간층의 위에 부착하는 단계를 포함하여 구성되며,
    상부셀을 형성하기 위하여 상기 상부셀의 광흡수층 위에 상부 버퍼층과 전면 투명전극층을 형성하는 것을 특징으로 하는 탠덤 태양전지의 제조방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 임시기판이 소다라임 유리기판인 것을 특징으로 하는 탠덤 태양전지의 제조방법.
  3. 기판 위에 하부셀을 형성하고, 상기 하부셀 위에 적어도 1개 이상의 상부셀을 순차적으로 형성하여 탠덤 태양전지를 제조하는 방법으로서,
    상기 상부셀을 형성하는 과정에서, 상기 상부셀의 광흡수층을 형성하는 단계가,
    별도의 임시기판 위에 몰리브덴층을 형성하는 단계;
    상기 몰리브덴층 위에 CIGS층을 형성하는 단계;
    상기 CIGS층 위에 상부 버퍼층을 형성하는 단계;
    상기 몰리브덴층에서 상기 CIGS층과 상기 상부 버퍼층을 함께 분리하는 단계; 및
    상기 분리된 CIGS층을 상기 하부셀 또는 하부셀 표면에 형성된 중간층의 위에 상기 상부 버퍼층과 함께 부착하는 단계를 포함하여 구성되며,
    상부셀을 형성하기 위하여 상기 상부 버퍼층 위에 전면 투명전극층을 형성하는 것을 특징으로 하는 탠덤 태양전지의 제조방법.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 하부셀의 위에 중간층을 형성하고, 상기 중간층 표면에 상기 분리된 CIGS층을 부착하는 것을 특징으로 하는 탠덤 태양전지의 제조방법.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 하부셀의 위에 하부 전면전극층과 중간층 및 상부 후면전극층을 순차적으로 형성하고, 상기 상부 후면전극층 표면에 상기 분리된 CIGS층을 부착하는 것을 특징으로 하는 탠덤 태양전지의 제조방법.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 하부셀을 형성하는 과정이,
    상기 기판 위에 몰리브덴 후면전극을 형성하는 단계;
    상기 후면전극 위에 CIGS 재질의 하부 광흡수층을 형성하는 단계; 및
    상기 하부 광흡수층 위에 하부 버퍼층을 형성하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 탠덤 태양전지의 제조방법.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 기판이 소다라임 유리기판인 것을 특징으로 하는 탠덤 태양전지의 제조방법.
  10. 삭제
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