KR101428146B1 - 태양전지 모듈 및 이의 제조방법 - Google Patents
태양전지 모듈 및 이의 제조방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101428146B1 KR101428146B1 KR1020110132371A KR20110132371A KR101428146B1 KR 101428146 B1 KR101428146 B1 KR 101428146B1 KR 1020110132371 A KR1020110132371 A KR 1020110132371A KR 20110132371 A KR20110132371 A KR 20110132371A KR 101428146 B1 KR101428146 B1 KR 101428146B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- type semiconductor
- semiconductor layer
- solar cell
- solar cells
- solar
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 80
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 28
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 7
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- -1 copper-indium-selenide compound Chemical class 0.000 claims description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 3
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- WUPHOULIZUERAE-UHFFFAOYSA-N 3-(oxolan-2-yl)propanoic acid Chemical compound OC(=O)CCC1CCCO1 WUPHOULIZUERAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052980 cadmium sulfide Inorganic materials 0.000 claims 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 9
- 239000010408 film Substances 0.000 description 6
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 5
- KTSFMFGEAAANTF-UHFFFAOYSA-N [Cu].[Se].[Se].[In] Chemical compound [Cu].[Se].[Se].[In] KTSFMFGEAAANTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 4
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000224 chemical solution deposition Methods 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052951 chalcopyrite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- YNLHHZNOLUDEKQ-UHFFFAOYSA-N copper;selanylidenegallium Chemical compound [Cu].[Se]=[Ga] YNLHHZNOLUDEKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 1
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 1
- 230000005226 mechanical processes and functions Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 238000001552 radio frequency sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/042—PV modules or arrays of single PV cells
- H01L31/05—Electrical interconnection means between PV cells inside the PV module, e.g. series connection of PV cells
- H01L31/0504—Electrical interconnection means between PV cells inside the PV module, e.g. series connection of PV cells specially adapted for series or parallel connection of solar cells in a module
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/02002—Arrangements for conducting electric current to or from the device in operations
- H01L31/02005—Arrangements for conducting electric current to or from the device in operations for device characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02008—Arrangements for conducting electric current to or from the device in operations for device characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells or solar cell modules
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/042—PV modules or arrays of single PV cells
- H01L31/0445—PV modules or arrays of single PV cells including thin film solar cells, e.g. single thin film a-Si, CIS or CdTe solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L31/072—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier the potential barriers being only of the PN heterojunction type
- H01L31/0749—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier the potential barriers being only of the PN heterojunction type including a AIBIIICVI compound, e.g. CdS/CulnSe2 [CIS] heterojunction solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/541—CuInSe2 material PV cells
Abstract
실시예는 태양전지 모듈 및 이의 제조방법을 제공한다. 실시예에 따른 태양전지 모듈은 지지기판 상에 순차적으로 배치되는 제 1 p형 반도체층, 제 1 버퍼층 및 제 1 n형 반도체층을 포함하는 제 1 태양전지 셀들; 상기 지지기판 상에 순차적으로 배치되는 제 2 n형 반도체층, 제 2 버퍼층 및 제 2 p형 반도체층을 포함하는 제 2 태양전지 셀들; 및 상기 제 1 태양전지 셀의 제 1 n형 반도체층과 상기 제 2 태양전지 셀의 제 2 p형 반도체층을 연결하는 연결전극을 포함한다.
Description
실시예는 태양전지 모듈 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
태양전지는 p-n 접합 다이오드에 빛을 쪼이면 전자가 생성 되는 광기전력 효과(photovoltaic effect)를 이용하여 빛 에너지를 전기 에너지로 변환시키는 소자로 정의할 수 있다. 태양전지는 접합 다이오드로 사용되는 물질에 따라, 실리콘 태양전지, I-III-VI족 또는 III-V족 화합물로 대표되는 화합물 반도체 태양전지, 염료감응 태양전지, 유기물 태양전지로 나눌 수 있다.
I-III-VI족 Chalcopyrite계 화합물 반도체 중 하나인 CIGS(CuInGaSe) 태양전지는 광 흡수가 뛰어나고, 얇은 두께로도 높은 광전 변환효율을 얻을 수 있으며, 전기 광학적 안정성이 매우 우수하여 기존 실리콘 태양전지를 대체할 수 있는 태양전지로 부각되고 있다.
도 1을 참조하면, 일반적인 CIGS 박막 태양전지는 나트륨을 포함하는 기판(10), 후면 전극층(20), 광 흡수층(30), 버퍼층(40), 고저항 버퍼층(50) 및 전면 전극층(60)을 순차적으로 형성시켜 제조된다.
CIGS 박막 태양전지는 Bulk 태양전지와는 다르게 패터닝 공정(P1 내지 P3)에 의해 직렬 또는 병렬로 연결된 다수개의 태양전지 단위 셀들로 구성된다. 또한, 패터닝 공정에서 P1 내지 P3 사이에 갭(G1, G2)이 형성함으로써 태양전지 모듈의 광출력에 기여하지 못하는 불활성 영역(Non-active area; NAA)이 발생한다. 이와 같은 불활성 영역(NAA)은 전체 태양광 출력의 약 5% 내지 약 10%의 손실을 가져오는 문제점이 있다.
실시예는 불활성 영역(NAA)을 최소화 할 수 있는 연결 구조를 가지는 태양전지 모듈 및 이의 제조방법을 제공하고자 한다.
실시예에 따른 태양전지 모듈은 지지기판 상에 순차적으로 배치되는 제 1 p형 반도체층, 제 1 버퍼층 및 제 1 n형 반도체층을 포함하는 제 1 태양전지 셀들; 상기 지지기판 상에 순차적으로 배치되는 제 2 n형 반도체층, 제 2 버퍼층 및 제 2 p형 반도체층을 포함하는 제 2 태양전지 셀들; 및 상기 제 1 태양전지 셀의 제 1 n형 반도체층과 상기 제 2 태양전지 셀의 제 2 p형 반도체층을 연결하는 연결전극을 포함한다.
실시예에 따른 태양전지 모듈의 제조방법은 제 1 지지기판 상에 소정 간격으로 이격되어 있는 제 1 태양전지 셀들을 형성하는 단계; 제 2 지지기판 상에 소정 간격으로 이격되어 있는 제 2 태양전지 셀들을 형성하는 단계; 상기 제 1 태양전지 셀들의 일 측면 및 상기 제 2 태양전지 셀들의 타 측면에 각각 연결 전극 형성 물질을 도포하는 단계; 소정 간격으로 이격된 제 1 태양전지 셀들 사이에 상기 제 2 태양전지 셀들을 삽입하는 단계; 및 상기 연결 전극 형성 물질을 소성하여 연결 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
실시예에 따른 태양전지 모듈은 태양전지 셀들이 상하에 반복 배치된 구조를 가진다. 이와 같은 구조는 비활성 영역(NAA)을 최소화함으로써, 태양광 출력의 손실을 종래 5% 내지 10%에서 0.5% 내지 2.0% 정도로 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 실시예에 따른 태양전지 모듈의 광출력은 증가될 수 있다.
또한, 실시예에 따른 태양전지 모듈은 전자의 이동 경로(path)가 최소화 되는 구조를 가지는 바, 직렬 저항이 감소하고, 단락 전류가 증가되어 광출력이 증가한다.
도 1은 종래 태양전지 모듈의 단면을 도시한 단면도이다.
도 2는 실시예에 따른 태양전지 모듈의 단면을 도시한 단면도이다.
도 3은 실시예에 따른 태양전지 모듈의 전자 이동을 설명하는 단면도이다.
도 4 내지 도 8은 실시예에 따른 태양전지 모듈의 제조방법을 도시한 단면도들이다.
도 2는 실시예에 따른 태양전지 모듈의 단면을 도시한 단면도이다.
도 3은 실시예에 따른 태양전지 모듈의 전자 이동을 설명하는 단면도이다.
도 4 내지 도 8은 실시예에 따른 태양전지 모듈의 제조방법을 도시한 단면도들이다.
실시예의 설명에 있어서, 각 기판, 층, 막 또는 전극 등이 각 기판, 층, 막, 또는 전극 등의 "상(on)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상(on)"과 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 구성요소를 개재하여(indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 구성요소의 상 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다. 도면에서의 각 구성요소들의 크기는 설명을 위하여 과장될 수 있으며, 실제로 적용되는 크기를 의미하는 것은 아니다.
도 2는 실시예에 따른 태양전지 모듈의 단면을 도시한 단면도이다. 도 2를 참조하면, 실시예에 따른 태양전지 모듈은 제 1 태양전지 셀들(C1, C3, C5) 및 제 2 태양전지 셀들(C2, C4), 및 상기 제 1 태양전지 셀들(C1, C3, C5)과 상기 제 2 태양전지 셀들(C2, C4)을 연결하는 연결전극(500)을 포함한다.
상기 제 1 태양전지 셀들(C1, C3, C5)은 소정 간격으로 이격 되어 있다. 또한, 상기 제 2 태양전지 셀들(C2, C4)은 상기 소정 간격으로 이격된 상기 제 1 태양전지 셀들(C1, C3, C5) 사이에 배치된다. 상기 제 1 태양전지 셀들(C1, C3, C5) 간의 간격은 그 사이에 상기 제 2 태양전지 셀들(C2, C4)이 삽입될 수 있을 정도라면 수치적으로 제한되지 않는다.
상기 제 1 태양전지 셀들(C1, C3, C5)과 상기 제 2 태양전지 셀들(C2, C4)은 역상 구조를 가진다. 더 자세하게, 상기 제 1 태양전지 셀들(C1, C3, C5)은 지지기판(100) 상에 순차적으로 배치되는 제 1 p형 반도체층(210), 제 1 버퍼층(310) 및 제 1 n형 반도체층(410)을 포함한다. 또한, 상기 제 2 태양전지 셀들(C2, C4)은 제2 지지기판(110) 상에 순차적으로 배치되는 제 2 p형 반도체층(220), 제 2 버퍼층(320) 및 제 2 n형 반도체층(420)을 포함한다.
상기 제 1 태양전지 셀들(C1, C3, C5)과 상기 제 2 태양전지 셀들(C2, C4)은 역상 구조를 가진다. 더 자세하게, 상기 제 1 태양전지 셀들(C1, C3, C5)은 지지기판(100) 상에 순차적으로 배치되는 제 1 p형 반도체층(210), 제 1 버퍼층(310) 및 제 1 n형 반도체층(410)을 포함한다. 또한, 상기 제 2 태양전지 셀들(C2, C4)은 제2 지지기판(110) 상에 순차적으로 배치되는 제 2 p형 반도체층(220), 제 2 버퍼층(320) 및 제 2 n형 반도체층(420)을 포함한다.
또한, 상기 제 1 태양전지 셀들(C1, C3, C5)과 상기 제 2 태양전지 셀들(C2, C4)은 연결전극(500)에 의하여 전기적으로 연결된다. 예를 들어, 상기 연결전극(500)은 C1 셀의 제 1 n형반도체층(410)의 일 측면과 인접한 C2 셀의 제 2 p형반도체층(220)의 타 측면과 직접 접촉된다. 이에 따라, C1 셀의 제 1 n형반도체층(410)은 인접한 C2 셀의 제 2 p형반도체층(220)과 연결전극(500)에 의해 전기적으로 연결된다. 또한, C2 셀의 제 2 n형반도체층(420)은 인접한 C3 셀의 제 1 p형반도체층(210)과 연결전극(500)에 의해 전기적으로 연결된다.
도 2를 참조하면, 실시예에 따른 태양전지 모듈은 연결 전극(500)이 형성된 영역에만 비활성 영역(Non-active area; NAA)이 형성된다. 즉, 종래 태양전지 모듈의 제조를 위한 패터닝 공정에서 형성되는 갭(도 1의 참조부호 G1, G2)을 최소화함으로써 태양광 출력의 손실을 종래 약 5% 내지 약 10% 에서 약 0.5% 내지 약 2.0% 정도로 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 실시예에 따른 태양전지 모듈의 광출력은 증가될 수 있다. 또한, 도 3을 참조하면, 실시예에 따른 태양전지 모듈은 종래 태양전지 모듈과 달리 전자의 이동 경로(path)가 최소화 될 수 있다. 이에 따라, 실시예에 따른 태양전지 모듈은 직렬 저항이 감소하고, 단락 전류가 증가되어 광출력이 증가할 수 있다.
상기 지지기판(100, 110)은 플레이트 형상을 가지며, 상기 제 1 태양전지 셀들 (C1, C3, C5) 및 상기 제 2 태양전지 셀들(C2, C4)을 지지한다. 상기 지지기판(100, 110)은 절연체일 수 있다. 상기 지지기판(100, 110)은 유리기판, 플라스틱기판 또는 금속기판일 수 있다. 더 자세하게, 상기 지지기판(100, 110)은 소다 라임 글래스(soda lime glass) 기판일 수 있다. 상기 지지기판(100, 110)은 투명할 수 있다. 상기 지지기판(100, 110)은 리지드하거나 플렉서블할 수 있다.
상기 제 1 p형 반도체층(210) 및 상기 제 2 p형 반도체층(220)은 태양전지 모듈로 입사되는 태양광으로부터 전자 및 정공을 생성하는 광 흡수층이다. 상기 제 1 p형 반도체층(210) 및 상기 제 2 p형 반도체층(220)은 각각 구리-인듐-갈륨-셀레나이드계(Cu(In,Ga)Se2;CIGS계) 결정 구조, 구리-인듐-셀레나이드계 또는 구리-갈륨-셀레나이드계 결정 구조를 가질 수 있다.
상기 제 1 n형 반도체층(410) 및 상기 제 2 n형 반도체층(420)은 각각 징크 옥사이드(zinc oxide), 인듐 틴 옥사이드(induim tin oxide;ITO) 또는 인듐 징크 옥사이드(induim zinc oxide;IZO) 등을 포함할 수 있다. 더 자세하게, 상기 제 1 n형 반도체층(410) 및 상기 제 2 n형 반도체층(420)은 각각 알루미늄이 도핑된 징크 옥사이드(Al doped zinc oxide; AZO)로 제조될 수 있다.
상기 제 1 n형 반도체층(410) 및 상기 제 2 n형 반도체층(420)은 n 형 반도체의 특성을 가진다. 즉, 상기 제 1 n형 반도체층(410) 및 상기 제 2 n형 반도체층(420)은 n 형 반도체층을 형성하고, 각각 상기 제 1 p형 반도체층(210) 및 상기 제 2 p형 반도체층(220)과 pn 접합을 형성할 수 있다.
상기 제 1 버퍼층(310)은 상기 제 1 p형 반도체층(210) 및 상기 제 1 n형 반도체층(410) 사이에 배치된다. 또한, 상기 제 2 버퍼층(320)은 상기 제 2 p형 반도체층(220) 및 상기 제 2 n형 반도체층(420) 사이에 배치된다. p형 반도체들(210, 220)과 n형 반도체들(410, 420)은 격자상수와 밴드갭 에너지의 차이가 크기 때문에 양호한 접합을 형성하기 위해서는 밴드갭이 두 물질의 중간에 위치하는 버퍼층이 필요하다.
상기 제 1 버퍼층(310) 및 상기 제 2 버퍼층(320) 각각은 황화 카드뮴(CdS), ZnS, InXSY 및 InXSeYZn(O,OH) 등을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
한편, 도면에는 도시하지 않았으나, 상기 제 1 버퍼층(310) 및 상기 제 2 버퍼층(320) 상에는 고저항 버퍼층(미도시)이 추가로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 고저항 버퍼층은 은 불순물이 도핑되지 않은 징크 옥사이드(i-ZnO)를 포함할 수 있다.
상기 연결전극(500)은 도전층이다. 상기 연결전극(500)은 몰리브덴(Mo), 금(Au), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 텅스텐(W) 및 구리(Cu) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
도 4 내지 도 8은 실시예에 따른 태양전지 모듈의 제조방법을 도시한 단면도들이다. 본 제조방법에 대한 설명은 상기 언급한 태양전지 모듈에 대한 설명과 본질적으로 결합될 수 있다.
도 4를 참조하면, 제 1 지지기판(100) 상에 제 1 태양전지 셀들(C1, C3, C5)을 형성한다. 먼저, 상기 제 1 지지기판(100) 상에 제 1 p형 반도체층(210)을 형성한다. 상기 제 1 p형 반도체층(210)은 스퍼터링 공정 또는 증발법 등에 의해서 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 p형 반도체층(210)을 형성하기 위해서 구리, 인듐, 갈륨, 셀레늄을 동시 또는 구분하여 증발시키면서 구리-인듐-갈륨-셀레나이드계(Cu(In,Ga)Se2;CIGS계)의 상기 제 1 p형 반도체층(210)을 형성하는 방법과 금속 프리커서 막을 형성시킨 후 셀레니제이션(Selenization) 공정에 의해 형성시키는 방법이 폭넓게 사용되고 있다.
금속 프리커서 막을 형성시킨 후 셀레니제이션 하는 것을 세분화하면, 구리 타겟, 인듐 타겟, 갈륨 타겟을 사용하는 스퍼터링 공정에 의해서, 상기 이면전극(200) 상에 금속 프리커서 막이 형성된다. 이후, 상기 금속 프리커서 막은 셀레이제이션(selenization) 공정에 의해서, 구리-인듐-갈륨-셀레나이드계(Cu(In,Ga)Se2;CIGS계)의 제 1 p형 반도체층(210)이 형성된다.
이와는 다르게, 상기 구리 타겟, 인듐 타겟, 갈륨 타겟을 사용하는 스퍼터링 공정 및 상기 셀레니제이션 공정은 동시에 진행될 수 있다.
이와는 다르게, 구리 타겟 및 인듐 타겟 만을 사용하거나, 구리 타겟 및 갈륨 타겟을 사용하는 스퍼터링 공정 및 셀레니제이션 공정에 의해서, CIS계 또는 CIG계 제 1 p형 반도체층(210)이 형성될 수 있다.
이어서, 상기 제 1 p형 반도체층(210) 상에 제 1 버퍼층(310)을 증착한다. 상기 제 1 버퍼층(310)은 원자층 증착법(atomic layer deposition: ALD), 유기금속화학증착법(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition; MOCVD) 또는 화학 용액 증착법(chemical bath deposition; CBD) 등에 의하여 형성될 수 있다. 더 자세하게, 상기 제 1 버퍼층(310)은 화학 용액 증착법(CBD)에 의하여 형성될 수 있다.
마지막으로, 상기 제 1 버퍼층(310) 상에 제 1 n형 반도체층(410)을 형성한다. 상기 제 1 n형 반도체층(410)은 상기 제 1 버퍼층(310) 상에 투명한 도전물질이 적층됨으로써 제조될 수 있다. 더 자세하게, 상기 제 1 n형 반도체층(410)은 스퍼터링 또는 화학기상증착법(chemical vapor deposition)에 의하여 제조될 수 있다. 더 자세하게, 상기 스퍼터링에 의하여 제 1 n형 반도체층(410)을 형성하기 위하여, RF 스퍼터링방법으로 ZnO 타겟을 사용하여 증착하는 방법과 Zn 타겟을 이용한 반응성 스퍼터링 등이 사용될 수 있다.
이후, 상기 제 1 p형 반도체층(210), 상기 제 1 버퍼층(310) 및 상기 제 1 n형 반도체층(410)을 패터닝하여 다수개의 제 1 태양전지 셀들(C1, C3, C5)을 이격시킨다. 상기 패터닝은 기계적 공정 또는 레이저 공정에 의해 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 패터닝은 스크라이빙 팁 등을 이용하여 기계적으로 층들(210, 310, 410)을 긁어 내거나, 층들(210, 310, 410)에 레이저를 조사함으로써 수행될 수 있다.
도 5를 참조하면, 제 2 지지기판(110) 상에 제 2 태양전지 셀들(C2, C4)을 형성한다. 더 자세하게, 상기 제 2 태양전지 셀들(C2, C4)은 상기 제 2 지지기판(110) 상에 제 2 p형 반도체층(220), 제 2 버퍼층(320), 제 2 n형 반도체층(420)을 순차적으로 적층함으로써 제조될 수 있다. 상기 제 2 태양전지 셀들(C2, C4)의 제조에 관한 내용은 상기 언급한 제 1 태양전지 셀들(C1, C3, C5)의 제조에 개시된 내용을 모두 포함할 수 있으며, 편의상 중복 기재를 생략한다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 상기 제 1 p형 반도체층(210) 및 상기 제 2 p형 반도체층(220)의 일 측면에 각각 연결전극 형성 물질을 도포한다. 도 8을 참조하면, 상기 제 1 태양전지 셀들(C1, C3, C5) 사이에 상기 제 2 태양전지 셀들(C2, C4)을 삽입한다. 이 때, 상기 제 2 태양전지 셀들(C2, C4)이 형성된 제 2 지지기판(110)은 상기 제 1 태양전지 셀들(C1, C3, C5)과 상기 제 2 태양전지 셀들(C2, C4)이 대응할 수 있도록 뒤집어 진다. 이에 따라, 상기 제 1 태양전지 셀들(C1, C3, C5)을 구성하는 층들과 상기 제 2 태양전지 셀들(C1, C3, C5)을 구성하는 층들의 순서는 역순으로 배치된다.
이후, 상기 연결전극 형성 물질(500)을 열처리 함으로써 태양전지 모듈의 제조 공정은 종료될 수 있다. 상기 열처리 과정은 태양전지의 전극을 제조하기 위한 통상의 소성 공정이 적용될 수 있다.
이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
또한, 이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
Claims (12)
- 제1 지지기판 상에 순차적으로 배치되는 제 1 p형 반도체층, 제 1 버퍼층 및 제 1 n형 반도체층을 포함하는 제 1 태양전지 셀들;
제2 지지기판 상에 순차적으로 배치되는 제 2 p형 반도체층, 제 2 버퍼층 및 제 2 n형 반도체층 을 포함하는 제 2 태양전지 셀들; 및
상기 제 1 태양전지 셀의 제 1 n형 반도체층과 상기 제 2 태양전지 셀의 제 2 p형 반도체층을 연결하는 연결전극을 포함하며,
상기 제 1 태양전지 셀들은 소정 간격으로 이격되어 있고,
상기 제 2 태양전지 셀들은 상기 소정 간격으로 이격된 상기 제 1 태양전지 셀들 사이에 배치되는 태양전지 모듈.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 연결전극은 상기 제 1 n형 반도체층의 일 측면 및 상기 제 2 p형 반도체층의 타 측면에 직접 접촉되는 태양전지 모듈.
- 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 p형 반도체층 및 상기 제 2 p형 반도체층은 각각 Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ 화합물을 포함하는 태양전지 모듈.
- 제 4 항에 있어서,
상기 Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ 화합물은 구리-인듐-셀레나이드계 화합물 또는 구리-인듐-갈륨-셀레나이드계 화합물을 포함하는 태양전지 모듈.
- 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 버퍼층 및 상기 제 2 버퍼층 각각은 황화카드뮴(CdS)을 포함하는 태양전지 모듈.
- 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 n형 반도체층 및 상기 제 2 n형 반도체층 각각은 알루미늄 도핑된 징크 옥사이드(Al doped zinc oxide;AZO), 징크 옥사이드(zinc oxide), 인듐 틴 옥사이드(induim tin oxide;ITO) 또는 인듐 징크 옥사이드(induim zinc oxide;IZO) 을 포함하는 태양전지 모듈.
- 제 1 지지기판 상에 소정 간격으로 이격되어 있는 제 1 태양전지 셀들을 형성하는 단계;
제 2 지지기판 상에 소정 간격으로 이격되어 있는 제 2 태양전지 셀들을 형성하는 단계;
상기 제 1 태양전지 셀들의 일 측면 및 상기 제 2 태양전지 셀들의 타 측면에 각각 연결 전극 형성 물질을 도포하는 단계;
소정 간격으로 이격된 제 1 태양전지 셀들 사이에 상기 제 2 태양전지 셀들을 삽입하는 단계; 및
상기 연결 전극 형성 물질을 소성하여 연결 전극을 형성하는 단계를 포함하는 태양전지 모듈의 제조방법.
- 제 8 항에 있어서,
상기 제 1 태양전지 셀들을 형성하는 단계는 상기 제 1 지지기판 상에 순차적으로 제 1 p형 반도체층, 제 1 버퍼층 및 제 1 n형 반도체층을 형성하는 것을 포함하는 태양전지 모듈의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,
상기 연결 전극 형성 물질은 상기 제 1 p형 반도체층의 일 측면에 도포되는 태양전지 모듈의 제조방법.
- 제 8 항에 있어서,
상기 제 2 태양전지 셀들을 형성하는 단계는 상기 제 2 지지기판 상에 순차적으로 제 2 p형 반도체층, 제 2 버퍼층 및 제 2 n형 반도체층을 형성하는 것을 포함하는 태양전지 모듈의 제조방법.
- 제 11 항에 있어서,
상기 연결 전극 형성 물질은 상기 제 2 p형 반도체층의 일 측면에 도포되는 태양전지 모듈의 제조방법.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110132371A KR101428146B1 (ko) | 2011-12-09 | 2011-12-09 | 태양전지 모듈 및 이의 제조방법 |
PCT/KR2012/010719 WO2013085372A1 (en) | 2011-12-09 | 2012-12-10 | Solar cell module and method of fabricating the same |
CN201280069497.1A CN104115283B (zh) | 2011-12-09 | 2012-12-10 | 太阳能电池模块及其制造方法 |
US14/364,023 US9379266B2 (en) | 2011-12-09 | 2012-12-10 | Solar cell module and method of fabricating the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110132371A KR101428146B1 (ko) | 2011-12-09 | 2011-12-09 | 태양전지 모듈 및 이의 제조방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20130065490A KR20130065490A (ko) | 2013-06-19 |
KR101428146B1 true KR101428146B1 (ko) | 2014-08-08 |
Family
ID=48574642
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020110132371A KR101428146B1 (ko) | 2011-12-09 | 2011-12-09 | 태양전지 모듈 및 이의 제조방법 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9379266B2 (ko) |
KR (1) | KR101428146B1 (ko) |
CN (1) | CN104115283B (ko) |
WO (1) | WO2013085372A1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11811360B2 (en) * | 2014-03-28 | 2023-11-07 | Maxeon Solar Pte. Ltd. | High voltage solar modules |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101897304B1 (ko) * | 2013-10-21 | 2018-09-10 | 엘지전자 주식회사 | 파워 모듈 |
EP2947702B1 (de) * | 2014-05-21 | 2019-03-20 | AZUR SPACE Solar Power GmbH | Solarzellenstapel |
CN109786481B (zh) * | 2019-01-10 | 2020-11-17 | 成都中建材光电材料有限公司 | 一种CdTe薄膜太阳能电池组件及其制备方法 |
SE2151430A1 (en) * | 2021-11-24 | 2023-05-25 | Epishine Ab | A solar cell module and a solar cell panel |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20090093192A (ko) * | 2008-02-28 | 2009-09-02 | 주식회사 티지솔라 | 태양전지 및 그 제조방법 |
KR20090122728A (ko) * | 2008-05-26 | 2009-12-01 | 삼성전자주식회사 | 비선형 태양전지 모듈 |
KR20100021045A (ko) * | 2008-08-14 | 2010-02-24 | 주성엔지니어링(주) | 박막형 태양전지 및 그 제조방법 |
KR20110108926A (ko) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | 엘지이노텍 주식회사 | 태양전지 및 이의 제조방법 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100186804A1 (en) * | 2009-01-29 | 2010-07-29 | Emcore Solar Power, Inc. | String Interconnection of Inverted Metamorphic Multijunction Solar Cells on Flexible Perforated Carriers |
US8138410B2 (en) * | 2008-10-01 | 2012-03-20 | International Business Machines Corporation | Optical tandem photovoltaic cell panels |
US20110284051A1 (en) * | 2009-01-29 | 2011-11-24 | Kyocera Corporation | Photoelectric Conversion Cell, Photoelectric Conversion Module, and Method for Manufacturing Photoelectric Conversion Cell |
EP2485265B1 (en) * | 2009-09-29 | 2018-12-26 | Kyocera Corporation | Photoelectric conversion device |
KR101090780B1 (ko) | 2009-09-30 | 2011-12-08 | 주식회사 티지솔라 | 태양전지 및 그 제조방법 |
KR101676368B1 (ko) | 2010-03-05 | 2016-11-15 | 주성엔지니어링(주) | 태양전지 및 그 제조방법 |
CN102299187A (zh) * | 2010-06-25 | 2011-12-28 | 富士迈半导体精密工业(上海)有限公司 | 可挠性太阳能电池装置 |
-
2011
- 2011-12-09 KR KR1020110132371A patent/KR101428146B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2012
- 2012-12-10 US US14/364,023 patent/US9379266B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2012-12-10 CN CN201280069497.1A patent/CN104115283B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2012-12-10 WO PCT/KR2012/010719 patent/WO2013085372A1/en active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20090093192A (ko) * | 2008-02-28 | 2009-09-02 | 주식회사 티지솔라 | 태양전지 및 그 제조방법 |
KR20090122728A (ko) * | 2008-05-26 | 2009-12-01 | 삼성전자주식회사 | 비선형 태양전지 모듈 |
KR20100021045A (ko) * | 2008-08-14 | 2010-02-24 | 주성엔지니어링(주) | 박막형 태양전지 및 그 제조방법 |
KR20110108926A (ko) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | 엘지이노텍 주식회사 | 태양전지 및 이의 제조방법 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11811360B2 (en) * | 2014-03-28 | 2023-11-07 | Maxeon Solar Pte. Ltd. | High voltage solar modules |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104115283A (zh) | 2014-10-22 |
US20140345668A1 (en) | 2014-11-27 |
CN104115283B (zh) | 2017-05-17 |
US9379266B2 (en) | 2016-06-28 |
KR20130065490A (ko) | 2013-06-19 |
WO2013085372A1 (en) | 2013-06-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9812593B2 (en) | Solar cell and preparing method of the same | |
US20120180869A1 (en) | Solar power generation apparatus and manufacturing method thereof | |
JP2012532444A (ja) | 太陽電池及びその製造方法 | |
JP2013510426A (ja) | 太陽電池及びその製造方法 | |
KR101428146B1 (ko) | 태양전지 모듈 및 이의 제조방법 | |
US9705019B2 (en) | Solar cell module and method of fabricating the same | |
KR101283218B1 (ko) | 태양전지 모듈 및 이의 제조방법 | |
KR101081143B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101382898B1 (ko) | 씨스루형 태양전지 모듈 및 이의 제조방법 | |
KR101210046B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR20110080663A (ko) | 태양광 발전장치 | |
JP5624153B2 (ja) | 太陽電池及びその製造方法 | |
US9748424B2 (en) | Solar cell and preparing method of the same | |
KR101327126B1 (ko) | 태양전지 및 이를 이용한 태양전지 모듈 | |
KR101306525B1 (ko) | 태양전지 모듈 및 이의 제조방법 | |
KR101283240B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101326970B1 (ko) | 태양전지 모듈 및 이의 제조방법 | |
KR20120111366A (ko) | 얇은 알루미늄 박막을 이용한 태양전지 모듈 제조방법 | |
KR101327102B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101814814B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101438877B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
US9349901B2 (en) | Solar cell apparatus and method of fabricating the same | |
KR101765922B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101543034B1 (ko) | 팁 및 이를 이용한 태양전지의 제조방법 | |
KR101393743B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170704 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |