KR101702640B1 - X-ray inspecting apparatus - Google Patents

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Abstract

엑스레이 검사장치가 개시된다. 개시된 엑스레이 검사장치는 엑스레이를 차폐하는 캐비닛; 상기 캐비닛의 내부에 배치되며, 피검사 대상물이 장착되고, X축 및 Y축을 따라 이동 가능한 피검사 대상물 배치부; 상기 피검사 대상물의 일측에 배치되며, 상기 피검사 대상물 배치부를 향해 엑스레이를 조사하기 위한 주사구를 구비하는 엑스레이 발생장치; 상기 피검사 대상물 배치부의 타측에 배치되며, 상기 피검사 대상물을 투과한 엑스레이를 검출하기 위해 상기 피검사 대상물 배치부의 이동에 대응하여 이동 가능한 디텍터; 및 상기 엑스레이 발생장치와 상기 피검사 대상물 배치부 사이에 배치되며, 상기 피검사 대상물 배치부를 향해 조사되는 엑스레이의 일부를 차폐하는 콜리메이터;를 포함하며, 상기 콜리메이터는 상기 주사구의 중심축을 중심으로 회전 가능하며, X축 및 Y축을 따라 이동 가능하다.An x-ray inspection apparatus is disclosed. The disclosed x-ray inspection apparatus includes a cabinet for shielding x-rays; An object to be inspected arranged inside the cabinet, the object to be inspected being mounted and movable along the X and Y axes; An X-ray generating device disposed at one side of the object to be inspected and having an injection port for irradiating an X-ray toward the object to be inspected; A detector disposed on the other side of the object to be inspected and movable in correspondence to the movement of the object to be inspected to detect X-rays transmitted through the object to be inspected; And a collimator disposed between the x-ray generator and the object to be inspected to shield a part of the x-ray irradiated toward the object to be inspected, wherein the collimator is rotatable about a central axis of the sphere, And is movable along the X axis and the Y axis.

Description

엑스레이 검사장치{X-ray inspecting apparatus}[0001] X-ray inspecting apparatus [0002]

본 발명은 엑스레이 검사장치에 관한 것으로, 특히 엑스레이에 노출되는 피검사 대상물의 검사부분을 조절할 수 있는 엑스레이 검사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an x-ray inspection apparatus, and more particularly to an x-ray inspection apparatus capable of controlling an inspection portion of an object to be inspected exposed to an x-ray.

엑스레이 검사장치는 종래에는 의료분야에서만 사용되었으나, 최근에는 산업분야에서 부품의 내부의 미세한 결함을 찾아 불량을 예방하기 위한 용도로 널리 사용되고 있다.Although the X-ray inspection apparatus has been conventionally used only in the medical field, it has recently been widely used in industry to find defects inside the parts and to prevent defects.

이러한 엑스레이 검사장치는 피검사 대상물 배치부가 엑스레이 발생장치의 주사구의 중심축상에 배치되는 콘빔(conebeam) 타입의 엑스레이 검사장치와 피검사 대상물 배치부가 엑스레이 발생장치의 주사구의 중심축에 대해 소정 각도 경사지게 배치된 오블리크(Oblique) 타입의 엑스레이 검사장치가 있다. 이때, 오블리크 타입의 엑스레이 검사장치는 플라나(Planar) 타입 또는 토모신데시스(tomosysthesis) 타입으로도 불린다. 이하에서는 편의상 오블리크 타입의 엑스레이 검사장치라고 부른다.Such an X-ray inspection apparatus includes a conebeam-type x-ray inspection apparatus in which a subject to be inspected is disposed on the central axis of a sphere of a x-ray generator, and a subject arrangement unit is arranged at a predetermined angle to the central axis of the sphere of the x- Oblique type x-ray inspection device. At this time, the oblique type x-ray inspection apparatus is also referred to as a planar type or a tomosysthesis type. Hereinafter, it is referred to as an oblique type x-ray inspection apparatus for the sake of convenience.

상술한 두 가지 타입의 엑스레이 검사장치 중 오블리크 타입의 엑스레이 검사장치를 사용하여 부품을 검사하는 경우, 사용자는 반도체 소자와 같이 다층박막으로 형성되어 있으며 인쇄회로기판(Printed circuit board)에 패키징(Packaging) 되어 있는 복잡한 부품의 외관검사만으로는 확인할 수 없는 미세한 결함까지 확인할 수 있다.When inspecting parts using an oblique type x-ray inspection apparatus among the above-described two types of x-ray inspection apparatuses, a user is formed of a multilayer thin film like a semiconductor element and is provided with a printed circuit board ) Can be confirmed only by the appearance inspection of complex parts.

하지만, 이러한 부품은 엑스레이 검사장치에 의해 검사되는 과정에서 필연적으로 엑스레이에 노출되었다. 이때, 부품을 통과하는 엑스레이 중 일부는 부품을 통과하는 과정에서 부품 내부에 흡수되었으며, 이는 부품에 손상을 입히고 부품의 물성을 변화시키는 문제를 발생시켰다.However, these parts were inevitably exposed to x-rays during the process of being inspected by the x-ray inspection apparatus. At this time, some of the x-rays passing through the parts were absorbed into the parts during the passage of the parts, which caused damage to the parts and changed the properties of the parts.

종래에는 부품이 엑스레이에 노출되는 시간이 상대적으로 짧았기 때문에 부품의 손상 정도나 부품의 물성 변화에 따른 영향이 미비하였으나, 최근에는 반도체 소자와 같은 부품들의 밀접도가 매우 높고 다수의 반도체가 스태킹(stacking)되어 있기 때문에 내부 결함을 검사하기 위해 엑스레이에 노출되어야 하는 시간이 길어져 부품의 손상 정도나 부품이 물성 변화에 따른 영향이 커지게 되었다. 즉, 반도체 소자와 같은 부품들을 검사하기 위한 촬영시간이 증가함에 따라 반도체 소자와 같은 부품들의 손상이나 부품들의 물성 변화 문제가 더욱 심해지는 문제가 있었다. 아울러, 부품의 크기가 작아질수록 엑스레이에 의한 영향을 더 크게 받기 때문에 반도체 소자와 같이 미세한 부품일수록 엑스레이에 의한 손상 정도나 물성변화 정도가 더욱 커졌다.Conventionally, since the exposure time of the component to the X-ray was relatively short, the influence of the degree of damage of the component or the physical properties of the component was insignificant. However, recently, the parts such as the semiconductor element are very close to each other, ), The time required to expose the x-ray to examine the internal defect was prolonged, and the degree of damage to the part and the influence of the change in the physical properties of the part became large. That is, as the photographing time for inspecting components such as semiconductor devices increases, problems such as damage to components such as semiconductor elements and changes in physical properties of parts become more serious. In addition, as the size of the component becomes smaller, the influence of the x-ray becomes larger. Therefore, the smaller the component such as the semiconductor device, the greater the degree of damage or property change by the x-ray.

또한, 사용자가 부품의 일부만을 검사하고자 하는 경우, 검사를 원하는 부품의 부분 이외의 부분까지 불필요하게 엑스레이에 노출되어야 하였으므로, 검사가 불필요한 부분까지 손상을 입히는 문제가 있었다. 이를 위해, 콘빔 타입의 엑스레이 검사장치의 경우에는 콜리메이터를 사용하여 이러한 문제를 해결할 수 있었으나, 오블리크 타입의 엑스레이 검사장치의 경우에는 엑스레이 발생장치의 주사구의 중심축을 중심으로 회전하거나 주사구의 중심축과 직교하는 평면상에서 이동하며 부품의 검사를 실시하여야 하므로 일반적인 콜리메이터를 적용할 수 없는 문제점이 있었다.In addition, when the user intends to inspect only a part of the part, unnecessary parts other than the part of the part to be inspected are unnecessarily exposed to the X-ray, so that there is a problem that the unnecessary part is damaged. For this purpose, in the case of the cone-beam type x-ray inspection apparatus, such a problem could be solved by using a collimator, but in the case of the oblique type x- ray inspection apparatus, the rotation of the x- It is necessary to perform inspection of the parts while moving on an orthogonal plane, so that there is a problem that a general collimator can not be applied.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 엑스레이에 노출되는 피검사 대상물의 부분을 조절할 수 있는 오블리크 타입의 엑스레이 검사장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide an oblique-type x-ray inspection apparatus capable of adjusting a portion of an object to be inspected exposed to an X-ray.

본 발명의 다른 목적은 엑스레이에 노출됨에 따라 발생하는 피검사 대상물의 손상을 감소시킬 수 있는 엑스레이 검사장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide an x-ray inspection apparatus capable of reducing the damage of an object to be inspected which is caused by exposure to an x-ray.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 엑스레이를 차폐하는 캐비닛; 상기 캐비닛의 내부에 배치되며, 피검사 대상물이 장착되고, X축 및 Y축을 따라 이동 가능한 피검사 대상물 배치부; 상기 피검사 대상물의 일측에 배치되며, 상기 피검사 대상물 배치부를 향해 엑스레이를 조사하기 위한 주사구를 구비하는 엑스레이 발생장치; 상기 피검사 대상물 배치부의 타측에 배치되며, 상기 피검사 대상물을 투과한 엑스레이를 검출하기 위해 상기 피검사 대상물 배치부의 이동에 대응하여 이동 가능한 디텍터; 및 상기 엑스레이 발생장치와 상기 피검사 대상물 배치부 사이에 배치되며, 상기 피검사 대상물 배치부를 향해 조사되는 엑스레이의 일부를 차폐하는 콜리메이터;를 포함하며, 상기 콜리메이터는 상기 주사구의 중심축을 중심으로 회전 가능하며, X축 및 Y축을 따라 이동 가능한 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a radiographic apparatus comprising: a cabinet for shielding x-rays; An object to be inspected arranged inside the cabinet, the object to be inspected being mounted and movable along the X and Y axes; An X-ray generating device disposed at one side of the object to be inspected and having an injection port for irradiating an X-ray toward the object to be inspected; A detector disposed on the other side of the object to be inspected and movable in correspondence to the movement of the object to be inspected to detect X-rays transmitted through the object to be inspected; And a collimator disposed between the x-ray generator and the object to be inspected to shield a part of the x-ray irradiated toward the object to be inspected, wherein the collimator is rotatable about a central axis of the sphere, And is movable along the X-axis and the Y-axis.

여기서, 상기 콜리메이터는 상기 피검사 대상물의 촬상시, 엑스레이에 노출되는 상기 피검사 대상물의 부분이 일정하도록 상기 피검사 대상물 배치부의 이동에 대응하여 이동할 수 있다.Here, the collimator can move in correspondence with the movement of the inspection subject arranging portion such that the portion of the inspection subject exposed to the X-ray is constant at the time of imaging the inspection subject.

더욱이, 상기 피검사 대상물 배치부가 X축 및 Y축을 포함하는 평면상에 형성되며 상기 주사구의 중심축을 중심으로 하는 가상의 원의 둘레를 따라 이동하는 경우, 상기 콜리메이터는 상기 주사구의 중심축을 중심으로 회전할 수 있다.Further, when the inspected object arrangement part is formed on a plane including the X-axis and the Y-axis and moves along the circumference of a virtual circle centered on the central axis of the scanning aperture, the collimator rotates about the central axis of the scanning aperture can do.

아울러, 상기 피검사 대상물 배치부가 X축 및 Y축을 따라 직선방향으로 이동하는 경우, 상기 콜리메이터는 X축 및 Y축을 따라 직선방향으로 이동할 수 있다.In addition, when the inspected object placement unit moves in the linear direction along the X axis and the Y axis, the collimator can move in the linear direction along the X axis and the Y axis.

또한, 상기 콜리메이터는 엑스레이를 차폐하는 차폐부 및 엑스레이가 통과 가능하도록 관통 형성되는 관통부를 포함할 수 있다.The collimator may include a shielding portion for shielding the X-ray and a penetrating portion penetratingly formed to allow the X-ray to pass therethrough.

아울러, 상기 관통부는 상기 콜리메이터의 회전축으로부터 이격 배치될 수 있다.In addition, the penetration portion may be disposed apart from the rotation axis of the collimator.

또한, 상기 관통부는 상기 주사구의 중심축에 대해 경사지게 형성될 수 있다.The through-hole may be inclined with respect to the central axis of the injection port.

더욱이, 상기 관통부에는 상기 콜리메이터를 통과하는 엑스레이에 의한 상기 피검사 대상물의 손상을 저감시키기 위한 엑스레이 저감필터가 구비될 수 있다.Furthermore, the penetrating portion may be provided with an x-ray reduction filter for reducing the damage of the object to be inspected by the X-ray passing through the collimator.

또한, 상기 차폐부는 납 또는 텅스텐으로 이루어질 수 있다.In addition, the shield may be made of lead or tungsten.

아울러, 상기 콜리메이터는 Z축을 따라 이동하며 상기 피검사 대상물의 검사부분의 면적을 조절할 수 있다.In addition, the collimator moves along the Z-axis to adjust the area of the inspection portion of the object to be inspected.

더욱이, 상기 콜리메이터는 상기 엑스레이 발생장치에 인접하게 배치될 수 있다.Furthermore, the collimator may be disposed adjacent to the x-ray generator.

또한, 상기 피검사 대상물 배치부는 Z축 방향을 따라 이동 가능할 수 있다.In addition, the object to be inspected may be movable along the Z-axis direction.

상기와 같이 본 발명은 회전 및 이동 가능한 콜리메이터를 구비하고 있으므로, 피검사 대상물의 검사부분 이외의 부분이 엑스레이에 노출되지 않도록 할 수 있어 피검사 대상물의 물성이 변하는 것을 방지할 수 있다.As described above, since the present invention includes the rotatable and movable collimator, it is possible to prevent the portion other than the inspection portion of the inspection subject from being exposed to the X-ray, thereby preventing the physical properties of the inspection subject from being changed.

또한, 본 발명은 콜리메이터에 엑스레이를 저감시키는 엑스레이 저감필터를 구비하므로, 엑스레이에 의한 피검사 대상물의 손상 및 물성의 변화를 저감시킬 수 있다.In addition, since the present invention includes the X-ray reduction filter for reducing the X-rays in the collimator, it is possible to reduce the damage and physical properties of the object to be inspected by the X-ray.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 검사장치를 개략적으로 나타내는 개략도이다.
도 3 및 도 4는 도 1에 도시한 피검사 대상물 배치부의 회전 및 이동을 각각 나타내는 평면도이다.
도 5는 도 1에 표시한 Ⅴ부분을 확대한 확대도이다.
도 6은 도 2에 표시한 Ⅵ부분을 확대한 확대도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 검사장치의 검사방법을 순차적으로 나타내는 순서도이다.1 and 2 are schematic views schematically showing an X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figs. 3 and 4 are plan views respectively showing the rotation and movement of the inspection target arrangement unit shown in Fig. 1. Fig.
5 is an enlarged view of the portion V shown in Fig.
6 is an enlarged view of the portion VI shown in Fig.
FIG. 7 is a flowchart sequentially illustrating an inspection method of an X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 검사장치(1)에 대하여 설명한다. 다만, 이하에서 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성요소에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명 및 구체적인 도시를 생략한다. 또한, 발명의 이해를 돕기 위하여, 첨부된 도면은 실제 축적대로 도시된 것이 아니라 일부 구성요소의 치수가 과장되게 도시될 수 있다.Hereinafter, an X-ray examination apparatus 1 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the following description, well-known functions or components are not described in detail to avoid obscuring the subject matter of the present invention. In addition, to facilitate understanding of the invention, the appended drawings are not necessarily drawn to scale, but the dimensions of some of the components may be exaggerated.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 엑스레이 검사장치(1)는 피검사 대상물을 검사하기 위해 캐비닛(10), 피검사 대상물 배치부(20), 엑스레이 발생장치(30), 디텍터(40), 콜리메이터(50) 및 제어부(60)를 포함한다.1 and 2, an X-ray inspection apparatus 1 according to the present invention includes a cabinet 10, an object to be inspected 20, an X-ray generator 30, a detector (not shown) 40, a collimator 50, and a control unit 60.

캐비닛(10)은 엑스레이 발생장치(30)에서 발생된 엑스레이가 외부로 방출되지 않도록 차폐하며, 적어도 하나의 문(미도시)을 포함한다. 적어도 하나의 문은 피검사 대상물(2)을 피검사 대상물 배치부(20)에 장착하거나, 탈착할 수 있도록 캐비닛(10)을 개방하는 역할을 한다.The cabinet 10 shields the x-rays generated in the x-ray generator 30 from being emitted to the outside, and includes at least one door (not shown). At least one door serves to attach the object 2 to be inspected to the object to be inspected 20 or to open the cabinet 10 so that the object can be removed.

피검사 대상물 배치부(20)는 캐비닛(10)의 내부에 엑스레이 발생장치(30)와 디텍터(40) 사이에 배치되며, 피검사 대상물(2)을 파지하고 피검사 대상물(2)의 위치를 변화시켜 피검사 대상물(2) 전체 영역에 대해 불량 여부를 검사할 수 있도록 한다. 이를 위해, 피검사 대상물 배치부(20)는 피검사 대상물(2)을 다양한 각도에서 엑스레이에 노출시켜 촬상하기 위해 파지부(21), 동력전달부(22) 및 구동모터(23)를 포함한다.The object to be inspected 20 is disposed in the cabinet 10 between the X-ray generator 30 and the detector 40 and holds the object 2 to be inspected and positions the object 2 to be inspected So that the entire area of the object 2 to be inspected can be inspected for defects. To this end, the inspected object placement section 20 includes a grip section 21, a power transmission section 22, and a drive motor 23 for exposing the object 2 to be inspected at various angles to the X-ray .

구체적으로, 피검사 대상물(2)은 파지부(21)에 고정되며, 파지부(21)는 동력전달부(22)에 의해 구동모터(23)와 연결된다. 이러한 구동모터(23)는 제어부(60)와 연결되어 있으며, 제어부(60)의 제어에 의해 파지부(21)를 X축 및 Y축을 포함하는 평면상에서 이동시키기 위한 동력을 발생시킨다. 이렇게 발생된 동력은 동력전달부(22)에 의해 파지부(21)로 전달된다.More specifically, the object 2 to be inspected is fixed to the grip portion 21, and the grip portion 21 is connected to the drive motor 23 by the power transmission portion 22. The drive motor 23 is connected to the control unit 60 and generates power for moving the grip unit 21 on the plane including the X axis and the Y axis under the control of the control unit 60. [ The generated power is transmitted to the grip portion 21 by the power transmission portion 22.

이에 따라, 도 3 및 도 4를 참조하면, 파지부(21)는 X축 및 Y축을 포함하는 평면상에 형성되며 엑스레이 발생장치(30)의 주사구(31)의 중심축(A)을 중심으로 하는 가상의 원(C)의 둘레를 따라 이동하거나, X축 및 Y축을 따라 직선방향으로 이동하며 피검사 대상물(2)의 다양한 면을 엑스레이에 노출시킬 수 있다. 아울러, 이러한 파지부(21)는 엑스레이 발생장치(30)에서 엑스레이가 방사되는 범위 내에서 이동 가능하도록 할 수 있다. 또한, 피검사 대상물(2)은 인쇄회로기판과 같이 평판 형상일 수 있으며, 피검사 대상물(2)이 X축 및 Y축을 포함하는 평면상에서 이동하며 검사가 진행되므로 피검사 대상물(2)을 엑스레이 발생장치(30)에 근접하도록 이동시킬 수 있어 고배율의 촬상이 가능하다. 이를 위해, 피검사 대상물 배치부(20)는 Z축을 따라 이동할 수도 있다.3 and 4, the grip portion 21 is formed on a plane including the X-axis and the Y-axis, and the central axis A of the scanning hole 31 of the X- Or various lines of the object 2 to be inspected can be exposed to the X-ray. In addition, the gripper 21 can be movable within a range in which the x-ray is emitted from the x-ray generator 30. [ The object to be inspected 2 may be in the form of a flat plate like a printed circuit board. Since the object to be inspected 2 moves on a plane including the X-axis and the Y-axis and is inspected, It is possible to move it closer to the generating device 30, and it is possible to capture images at a high magnification. To this end, the inspected object placement unit 20 may move along the Z axis.

엑스레이 발생장치(30)는 피검사 대상물 배치부(20)에 고정된 피검사 대상물(2)의 하측에 설치되며, 피검사 대상물(2)을 향하여 엑스레이(X-ray)를 조사한다. 엑스레이 발생장치(30)는 캐비닛(10)의 저부에 설치되어 상측으로 엑스레이를 조사할 수 있으며, 이와 달리, 캐비닛(10)의 상부에 설치되어 하측으로 엑스레이를 조사할 수도 있다.The X-ray generating device 30 is provided below the subject 2 to be inspected fixed to the subject to be inspected 20 and irradiates the subject 2 with X-rays. The X-ray generating apparatus 30 may be installed at the bottom of the cabinet 10 to irradiate the X-rays to the upper side. Alternatively, the X-ray generating apparatus 30 may be installed at the upper portion of the cabinet 10 to irradiate the X-

이러한 엑스레이 발생장치(30)는 엑스레이를 발생하기 위해 엑스레이 튜브(X-ray tube)를 포함한다. 엑스레이 발생장치(30)는 엑스레이 주사구(31)에서 일정 각도 범위(θ)로 엑스레이를 방사한다. 본 실시예의 경우에는 엑스레이 발생장치(30)는 대략 120° 범위로 엑스레이를 방사한다. 이러한 엑스레이 발생장치(30)로는 일반적인 엑스레이 발생기를 사용할 수 있으므로 구체적인 설명은 생략한다.The X-ray generating apparatus 30 includes an X-ray tube for generating an X-ray. The x-ray generator 30 emits x-rays at a predetermined angle range? In the x-ray drafting aperture 31. The x- In the case of the present embodiment, the x-ray generator 30 emits x-rays in a range of approximately 120 degrees. Since a general X-ray generator can be used as the X-ray generator 30, a detailed description thereof will be omitted.

디텍터(40)는 피검사 대상물 배치부(20)의 상측에 배치되며, 피검사 대상물(2)을 투과한 엑스레이를 검출하여 피검사 대상물(2)의 영상을 촬상한다. 또한, 디텍터(40)는 피검사 대상물 배치부(20)의 X축 이동에 대응하여 이동할 수 있도록 동력전달부(42) 및 구동모터(43)를 포함한다.The detector 40 is disposed on the upper side of the inspected object placement unit 20 and detects the X-ray transmitted through the inspected object 2 and picks up an image of the inspected object 2. [ The detector 40 includes a power transmitting portion 42 and a driving motor 43 so that the detector 40 can move in correspondence with the X axis movement of the inspected object placing portion 20.

구체적으로, 구동모터(43)는 디텍터(40)를 X축 방향으로 이동시키기 위한 동력을 발생시킨다. 이러한 동력은 동력전달부(42)에 의해 디텍터(40)로 전달되며, 이에 따라, 디텍터(40)는 피검사 대상물 배치부(20)의 X축 이동에 대응하여 이동할 수 있다.Specifically, the drive motor 43 generates power for moving the detector 40 in the X-axis direction. This power is transmitted to the detector 40 by the power transmission unit 42 so that the detector 40 can move in correspondence with the movement of the inspected object placement unit 20 in the X axis.

다만, 디텍터(40)는 피검사 대상물 배치부(20)의 Y축 방향의 이동에 대응하여서는 이동할 필요가 없도록 Y축 방향을 따라 충분한 길이를 가지도록 형성되므로 피검사 대상물 배치부(20)가 Y축을 따라 이동하더라도 디텍터(40)는 Y축 방향으로는 이동할 필요가 없다.However, since the detector 40 is formed to have a sufficient length along the Y-axis direction so as not to move in correspondence with the movement in the Y-axis direction of the inspected object placement unit 20, The detector 40 does not have to move in the Y-axis direction even when moving along the axis.

도 5 및 도 6을 참조하면, 콜리메이터(50)는 엑스레이에 노출되는 피검사 대상물(2)의 부분을 조절할 수 있도록 차폐부(51), 관통부(52) 및 엑스레이 저감필터(53)를 포함한다. 도 5 및 도 6에서 음영으로 표시한 부분은 엑스레이가 조사되는 부분이며, 음영으로 표시되지 않은 부분은 엑스레이가 조사되지 않거나 차폐되는 부분이다.5 and 6, the collimator 50 includes a shielding portion 51, a penetration portion 52, and an X-ray reduction filter 53 so as to adjust a portion of the object 2 to be inspected exposed to the X- do. In Figs. 5 and 6, shaded portions are portions irradiated with x-rays, and portions not shaded are portions where x-rays are not irradiated or shielded.

차폐부(51)는 엑스레이가 통과할 수 없는 부분으로 피검사 대상물(2)에서 검사를 원하는 부분(2a) 이외의 부분(도 5 및 도 6에서 음영으로 표시되지 않은 부분)으로 엑스레이가 조사되지 않도록 한다. 이를 위해 차폐부(51)는 납 또는 텅스텐으로 이루어질 수 있으나 이에 제한되지는 않으며 엑스레이를 차폐할 수 있는 물질이라면 어떠한 것이라도 가능하다.The shielding part 51 is a part that the X-ray can not pass through, and the X-ray is not irradiated to the part other than the part 2a to be inspected in the object 2 to be inspected (a part not shown as shaded in FIG. 5 and FIG. 6) . For this, the shielding portion 51 may be made of lead or tungsten, but not limited thereto, and any material that can shield the x-ray is possible.

관통부(52)는 콜리메이터(50)의 회전축으로부터 소정 거리 이격된 위치에 관통 형성되며, 이에 따라, 도 5 및 도 6에서 음영으로 표시한 바와 같이 엑스레이가 통과한다. 이러한 관통부(52)는 단면이 원형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 타원형 및 다각형으로 형성되는 것도 가능하다. 아울러, 관통부(52)는 주사구(31)의 중심축(A)과 평행하게 형성될 수도 있으며, 주사구(31)의 중심축(A)에 대해 경사지게 형성될 수도 있다. 이는 피검사 대상물(2)의 검사를 원하는 부분(2a)을 고려하여 형성하는 것이 바람직하다.The penetrating portion 52 is formed at a position spaced from the rotation axis of the collimator 50 by a predetermined distance so that the X-ray passes through as shown by shading in FIGS. 5 and 6. The penetrating portion 52 may have a circular cross section, but it is not limited thereto and may be formed in an elliptical shape or a polygonal shape. The penetrating portion 52 may be formed parallel to the center axis A of the injection port 31 or may be inclined with respect to the center axis A of the injection port 31. [ It is preferable that this is formed in consideration of the portion 2a desired to be inspected of the object 2 to be inspected.

또한, 도시하지는 않았으나, 관통부(52)는 크기가 조절될 수 있도록 형성되는 것도 가능하다. 이에 대한 내용은 공지의 사항인바 그 상세한 설명은 생략한다.Also, though not shown, the penetration portion 52 may be formed to be adjustable in size. The contents thereof are publicly known, and a detailed description thereof will be omitted.

엑스레이 저감필터(53)는 관통부(52)의 엑스레이가 통과하는 위치에 배치되며, 피검사 대상물(2)이 엑스레이에 의해 입는 손상을 저감시키기 위해 엑스레이의 특정 에너지 영역대를 필터링한다.The X-ray reduction filter 53 is disposed at a position through which the X-rays of the penetrating portion 52 pass, and filters the specific energy region band of the X-ray to reduce the damage of the object 2 to be inspected by the X-ray.

아울러, 콜리메이터(50)는 피검사 대상물(2)의 검사를 원하는 부분(2a)을 따라 회전 또는 이동할 수 있도록 동력전달부(55) 및 구동모터(56)를 포함한다.The collimator 50 includes a power transmitting portion 55 and a driving motor 56 so that the collimator 50 can rotate or move along the portion 2a desired to be inspected of the object 2 to be inspected.

구체적으로, 사용자가 피검사 대상물(2)의 검사를 원하는 부분(2a)에 맞추어 콜리메이터(50)의 위치를 설정한 후 엑스레이를 조사하여 피검사 대상물(2)의 검사를 시작하면, 상술한 바와 같이 피검사 대상물 배치부(20)는 X축 및 Y축을 포함하는 평면상에서 가상의 원(C)의 둘레를 따라 이동하거나, X축 및 Y축을 따라 직선방향으로 이동을 하며 피검사 대상물(2)의 다양한 부분들이 엑스레이에 노출되도록 한다. 따라서, 피검사 대상물(2)의 엑스레이에 노출되는 검사를 원하는 부분(2a)을 일정하게 유지하게 위해서는 콜리메이터(50)도 피검사 대상물 배치부(20)의 동작에 대응하는 동작을 하여야 한다. 즉, 콜리메이터(50)는 피검사 대상물 배치부(20)의 동작과 동기화된다.Specifically, when the user sets the position of the collimator 50 in accordance with the portion 2a desired to be inspected by the inspected object 2 and then starts the inspection of the inspected object 2 by irradiating the X-ray, The inspected object placement unit 20 moves along the circumference of the virtual circle C on the plane including the X axis and the Y axis or moves in the linear direction along the X axis and the Y axis, To expose the various parts of the x-ray. Therefore, in order to keep the portion 2a desired to be inspected exposed to the X-ray of the object 2 to be inspected 2 constant, the collimator 50 must also perform an operation corresponding to the operation of the object to be inspected 20. That is, the collimator 50 is synchronized with the operation of the inspected object placement unit 20.

구체적으로, 도 5 및 도 6을 참조하면, 피검사 대상물 배치부(20)가 가상의 원(C)의 둘레를 따라 이동하는 경우 콜리메이터(50)는 주사구(31)의 중심축(A)을 중심으로 회전하여야 하며, 피검사 대상물 배치부(20)가 X축 및 Y축을 따라 직선방향으로 이동하는 경우 콜리메이터(50)는 X축 및 Y축을 따라 직선방향으로 이동하여야 한다.5 and 6, when the inspected object placement unit 20 moves along the circumference of the imaginary circle C, the collimator 50 moves along the center axis A of the injection port 31, The collimator 50 should be moved in a linear direction along the X axis and the Y axis when the inspected object placement unit 20 moves in the linear direction along the X axis and the Y axis.

이러한 콜리메이터(50)에 의해 사용자는 피검사 대상물(2)의 검사를 원하는 부분(2a)에만 다양한 각도로 엑스레이를 노출시켜 검사를 원하는 부분(2a)의 결함 여부를 확인할 수 있다. 또한, 피검사 대상물(2)의 검사를 원하지 않는 부분에는 엑스레이가 노출되지 않도록 하므로, 피검사 대상물(2)의 전체가 엑스레이에 의해 손상을 입거나 물성의 변화가 생기는 것을 방지할 수 있다.With the collimator 50, the user can expose the x-ray at various angles only to the portion 2a desired to be inspected 2 to check whether or not the portion 2a to be inspected is defective. In addition, since the X-ray is not exposed to the portion where the inspection object 2 is not desired to be inspected, it is possible to prevent the entire inspection object 2 from being damaged by the X-ray or changing the physical properties.

아울러, 콜리메이터(50)는 엑스레이에 노출되는 피검사 대상물(2)의 검사부분(2a)의 면적을 조절하기 위해 Z축을 따라 이동하는 것도 가능하다. 구체적으로, 피검사 대상물(2)의 검사부분(2a)의 면적을 넓게 하고자 한다면 콜리메이터(50)를 Z축을 따라 엑스레이 발생장치(30)에 근접하도록 이동시킬 수 있으며, 피검사 대상물(2)의 검사부분(2a)의 면적을 좁게 하고자 한다면 콜리메이터(50)를 Z축을 따라 엑스레이 발생장치(30)에서 멀어지도록 이동시킬 수 있다. 콜리메이터(50)의 이러한 이동은 콜리메이터(50)의 초기 위치 설정시 수행될 것이다.In addition, the collimator 50 may move along the Z-axis to adjust the area of the inspection portion 2a of the inspected object 2 exposed to the X-ray. More specifically, if the area of the inspection portion 2a of the inspection subject 2 is to be widened, the collimator 50 can be moved along the Z axis so as to be close to the x-ray generator 30, If the area of the inspection portion 2a is to be narrowed, the collimator 50 can be moved away from the x-ray generator 30 along the Z-axis. This movement of the collimator 50 will be performed upon initial positioning of the collimator 50.

제어부(60)는 피검사 대상물 배치부(20), 엑스레이 발생장치(30), 디텍터(40) 및 콜리메이터(50)를 제어하여 피검사 대상물을 촬상하고, 촬상된 영상을 이용하여 피검사 대상물의 불량 여부를 판단한다. 이를 위해 제어부(60)는 사용자가 명령을 입력할 수 있는 입력부(61)와 검사 결과를 출력할 수 있는 출력부(62)를 포함할 수 있다. 입력부(61)는 키보드, 마우스, 터치 패드 등이 사용될 수 있다. 또한, 출력부(62)는 액정 디스플레이와 같은 디스플레이 장치를 사용할 수 있다.The control unit 60 controls the inspected object placement unit 20, the x-ray generator 30, the detector 40 and the collimator 50 to capture an image of the object to be inspected, Judge whether it is bad or not. For this, the control unit 60 may include an input unit 61 through which a user can input a command and an output unit 62 that can output a result of the inspection. The input unit 61 may be a keyboard, a mouse, a touch pad, or the like. Also, the output unit 62 can use a display device such as a liquid crystal display.

이하, 도 7을 참조하여, 상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 검사장치(1)의 작용에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the x-ray inspection apparatus 1 according to the embodiment of the present invention constructed as described above will be described with reference to Fig.

우선, 사용자는 피검사 대상물(2)을 피검사 대상물 배치부(20)에 고정한다(S10).First, the user fixes the object 2 to be inspected to the object to be inspected 20 (S10).

이어서, 사용자는 피검사 대상물(2)의 검사를 원하는 부분(2a)에 맞추어 콜리메이터(50)의 초기 위치를 설정한다(S20). 구체적으로, 사용자는 피검사 대상물(2)의 검사를 원하는 부분(2a)의 위치 및 면적을 고려하여, 피검사 대상물(2)의 검사 중 콜리메이터(50)가 피검사 대상물(2)의 검사를 원하는 부분(2a)에 엑스레이를 계속해서 일정하게 조사하도록 X축, Y축 및 Z축을 따라 적절한 초기위치를 설정한다.Next, the user sets the initial position of the collimator 50 in accordance with the portion 2a desired to be inspected by the inspected object 2 (S20). Concretely, the user considers the position and the area of the portion 2a desired to be inspected by the collimator 50 during the inspection of the inspection subject 2 to check the inspection subject 2 The appropriate initial position along the X-axis, Y-axis and Z-axis is set so that the desired portion 2a is continuously irradiated with the X-rays continuously.

콜리메이터(50)의 초기 위치가 설정되면, 사용자는 입력부(61)를 통해 엑스레이 발생장치(30)가 엑스레이를 조사(S30)하도록 하여 피검사 대상물(2)의 검사를 시작한다.When the initial position of the collimator 50 is set, the user causes the X-ray generator 30 to irradiate the X-ray through the input unit 61 (S30) to start the inspection of the object 2 to be inspected.

검사 과정에서 피검사 대상물(2)은 피검사 대상물 배치부(20)에 고정된 채로 가상의 원(C)의 둘레를 따라 이동하거나 및/또는 X축과 Y축을 따라 직선방향으로 이동한다. 이에 따라, 콜리메이터(50)도 피검사 대상물 배치부(20)의 동작에 대응하는 동작을 수행한다(S40). 구체적으로, 콜리메이터(50)는 피검사 대상물 배치부(20)가 가상의 원(C)의 둘레를 따라 이동하는 경우 피검사 대상물 배치부(20)의 주사구(31)의 중심축(A)에 대한 각속도와 동일한 각속도로 회전하며, 피검사 대상물 배치부(20)가 X축 및 Y축을 따라 직선방향으로 이동하는 경우 피검사 대상물 배치부(20)의 이동속도와 대응하는 속도로 이동한다. 이에 따라, 본 발명에 따른 엑스레이 검사장치(1)는 피검사 대상물(2)의 검사를 원하는 부분(2a)만 엑스레이에 노출시키며 피검사 대상물(2)을 검사할 수 있다. 따라서, 피검사 대상물(2)의 손상 및 물성변화를 최소화할 수 있다.The inspected object 2 moves along the circumference of the virtual circle C and / or moves in the linear direction along the X-axis and the Y-axis while being fixed to the inspected object placement unit 20 in the inspection process. Accordingly, the collimator 50 also performs an operation corresponding to the operation of the inspected object placement unit 20 (S40). More specifically, the collimator 50 moves the center axis A of the scanning hole 31 of the inspected object placement unit 20 when the inspected object placement unit 20 moves along the virtual circle C, And moves at a speed corresponding to the moving speed of the inspected object placement unit 20 when the inspected object placement unit 20 moves in the linear direction along the X axis and the Y axis. Accordingly, the X-ray examination apparatus 1 according to the present invention can inspect the object 2 to be inspected by exposing only the portion 2a desired to be inspected of the object 2 to be inspected to the X-ray. Therefore, it is possible to minimize damage and change in physical properties of the object 2 to be inspected.

디텍터(40)를 통해 피검사 대상물(2)을 다양한 각도에서 촬상한 후, 제어부(60)는 촬상한 2D 영상들을 취합하여 3D 영상을 만든 후 사용자에게 제공한다(S50). 이에 따라, 검사과정은 종료된다.After capturing the subject 2 at various angles through the detector 40, the control unit 60 collects the 2D images captured and creates a 3D image and provides the 3D image to the user (S50). Thus, the inspection process is terminated.

이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 가능함은 물론이다.While the present invention has been described with reference to the exemplary embodiments and the drawings, it is to be understood that the present invention is not limited thereto and that various changes and modifications will be apparent to those skilled in the art. It is to be understood that various changes and modifications may be made without departing from the scope of the appended claims.

2; 피검사 대상물
20; 피검사 대상물 배치부
50; 콜리메이터
53; 엑스레이 저감필터2; Object to be inspected
20; The object to be inspected
50; Collimator
53; X-ray reduction filter

Claims (12)

엑스레이를 차폐하는 캐비닛;
상기 캐비닛의 내부에 배치되며, 피검사 대상물이 장착되고, X축 및 Y축을 따라 이동 가능한 피검사 대상물 배치부;
상기 피검사 대상물의 일측에 배치되며, 상기 피검사 대상물 배치부를 향해 엑스레이를 조사하기 위한 주사구를 구비하는 엑스레이 발생장치;
상기 피검사 대상물 배치부의 타측에 배치되며, 상기 피검사 대상물을 투과한 엑스레이를 검출하기 위해 상기 피검사 대상물 배치부의 이동에 대응하여 이동 가능한 디텍터; 및
상기 엑스레이 발생장치와 상기 피검사 대상물 배치부 사이에 배치되며, 상기 피검사 대상물 배치부를 향해 조사되는 엑스레이의 일부를 차폐하는 콜리메이터;를 포함하며,
상기 콜리메이터는 상기 주사구의 중심축을 중심으로 회전 가능하며, X축 및 Y축을 따라 이동 가능하고,
상기 콜리메이터는 상기 피검사 대상물의 촬상시, 엑스레이에 노출되는 상기 피검사 대상물의 부분이 일정하도록 상기 피검사 대상물 배치부의 이동에 대응하여 이동하며,
상기 콜리메이터, 상기 피검사 대상물 배치부 및 상기 디텍터의 동작은 모두 동기화되고,
상기 피검사 대상물 배치부가 X축 및 Y축을 포함하는 평면상에 형성되며 상기 주사구의 중심축을 중심으로 하는 가상의 원의 둘레를 따라 이동하는 경우, 상기 콜리메이터는 상기 주사구의 중심축을 중심으로 자전하는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.Cabinets shielding x-rays;
An object to be inspected arranged inside the cabinet, the object to be inspected being mounted and movable along the X and Y axes;
An X-ray generating device disposed at one side of the object to be inspected and having an injection port for irradiating an X-ray toward the object to be inspected;
A detector disposed on the other side of the object to be inspected and movable in correspondence to the movement of the object to be inspected to detect X-rays transmitted through the object to be inspected; And
And a collimator disposed between the x-ray generator and the object to be inspected to shield a part of the x-rays irradiated toward the object to be inspected,
Wherein the collimator is rotatable about a central axis of the injection port and movable along X and Y axes,
The collimator moves in correspondence with the movement of the inspection target arrangement portion such that the portion of the inspection subject exposed to the X-ray is constant at the time of imaging the inspection subject,
The operations of the collimator, the object to be inspected, and the detector are all synchronized,
When the object to be inspected is formed on a plane including the X-axis and the Y-axis and moves along a virtual circle around the center axis of the scanning object, the collimator rotates around the central axis of the scanning object Features an x-ray inspection device. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 피검사 대상물 배치부가 X축 및 Y축을 따라 직선방향으로 이동하는 경우, 상기 콜리메이터는 X축 Y축 방향을 따라 직선방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.The method according to claim 1,
Wherein the collimator moves in a linear direction along an X-axis Y-axis direction when the object to be inspected arrangement moves in a linear direction along X-axis and Y-axis. 제1항에 있어서,
상기 콜리메이터는 엑스레이를 차폐하는 차폐부 및 엑스레이가 통과 가능하도록 관통 형성되는 관통부를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.The method according to claim 1,
Wherein the collimator includes a shielding portion for shielding the X-ray and a penetrating portion penetratingly formed to allow the X-ray to pass therethrough. 제5항에 있어서,
상기 관통부는 상기 콜리메이터의 회전축으로부터 이격 배치되는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.6. The method of claim 5,
Wherein the penetrating portion is spaced from the rotation axis of the collimator. 제5항에 있어서,
상기 관통부는 상기 주사구의 중심축에 대해 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.6. The method of claim 5,
Wherein the penetrating portion is formed to be inclined with respect to a central axis of the injection port. 제5항에 있어서,
상기 관통부에는 상기 콜리메이터를 통과하는 엑스레이에 의한 상기 피검사 대상물의 손상을 저감시키기 위한 엑스레이 저감필터가 구비되는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.6. The method of claim 5,
And an X-ray reduction filter for reducing the damage of the object to be inspected by the X-ray passing through the collimator is provided in the penetrating portion. 제5항에 있어서,
상기 차폐부는 납 또는 텅스텐으로 이루어진 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.6. The method of claim 5,
Wherein the shield is made of lead or tungsten. 제1항에 있어서,
상기 콜리메이터는 Z축을 따라 이동하며 상기 피검사 대상물의 검사부분의 면적을 조절하는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.The method according to claim 1,
Wherein the collimator moves along the Z axis to adjust the area of the inspection portion of the object to be inspected. 제1항에 있어서,
상기 콜리메이터는 상기 엑스레이 발생장치에 인접하게 배치되는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.The method according to claim 1,
Wherein the collimator is disposed adjacent to the x-ray generator. 제1항에 있어서,
상기 피검사 대상물 배치부는 Z축 방향을 따라 이동 가능한 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.The method according to claim 1,
Wherein the inspection target arrangement unit is movable along a Z-axis direction.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003207467A (en) * 2002-01-16 2003-07-25 Seiko Instruments Inc X-ray analyzer
JP2005131398A (en) * 2003-10-27 2005-05-26 Ge Medical Systems Global Technology Co Llc Method and device for radiographic imaging using energy beam which is adjusted to object to be scanned
KR101239944B1 (en) * 2012-09-05 2013-03-06 유영검사 주식회사 Collimator apparatus for non-destructive testing equipment precisely controllable irradiation direction of radiation source

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150040096A (en) * 2013-10-04 2015-04-14 주식회사 쎄크 X-ray inspecting apparatus

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003207467A (en) * 2002-01-16 2003-07-25 Seiko Instruments Inc X-ray analyzer
JP2005131398A (en) * 2003-10-27 2005-05-26 Ge Medical Systems Global Technology Co Llc Method and device for radiographic imaging using energy beam which is adjusted to object to be scanned
KR101239944B1 (en) * 2012-09-05 2013-03-06 유영검사 주식회사 Collimator apparatus for non-destructive testing equipment precisely controllable irradiation direction of radiation source

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