KR101702185B1 - 진공 도어 잠금 및 실링 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 진공 장비에서 도어 부분을 열고 닫을때 보다 편리하고 안전하게 사용하기 위한 것으로 미숙련자가 사용해도 문제 없도록 동일한 압력으로 균등하게 밀착하며, 밀착과 동시에 잠금 작용도 같이 발생하므로 안정성이 뛰어 나다. 또한 작업자가 일일이 잠그는 일 없이 한번의 핸들 동작으로 실링과 도어 잠금이 이루어 지므로 작업 시간을 단축할 수 있다.

Description

진공 도어 잠금 및 실링 장치 {Vacuum door locking and sealing device}

본 발명은 진공장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대기압과 진공압의 경계가 되는 도어를 열고 닫을때 잠금 기능과 밀폐 기능을 동시에 할 수 있는 장치에 관한 것이다.

진공 장치는 대기압과 진공압의 경계가 있어야 하고 이 경계물에 해당하는 것이 도어 이다. 진공 장치 챔버는 챔버 플랜지면과 도어면 사이에 특정한 밀폐용 재료인 오링을 삽입하고 밀착이 되어야만 필폐가 되어 진공을 유지할 수 있다.

이와같이 챔버 플랜지면과 도어가 밀착되기 위해서는 별도의 외력이 필요한데 일반적으로 볼트 조립, 클램프 조립, 에어 실리더 압력, 구동 모터 회전력에 의해 챔버 플랜지면과 도어를 밀착하는데 있어서, 볼트와 클램프 구조를 일반적으로 사용한다. 볼트와 클램프 구조는 간단하지만 수동으로 조립하기 때문에 작업 시간이 많이 걸리는 단점이 있다. 또한 에어 실린더, 구동 모터를 사용하기도 한다. 이러한 에어 실린더, 구동 모터 구조는 작업 시간이 짧지만 구조가 복작하고 설치 구성이 까다로운 단점이 있다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 구조는 간단하면서 도어 잠금 기능과 밀폐 기능을 동시에 하는 장치를 제공하려는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명의 메카니즘은 쐐기 기능을 이용하여 도어 회전 방향의 이동력을 도어의 노말한 방향 압력으로 이용하여 챔버 플랜지면과 도어면을 밀착하는데 있다. 도어 회전 방향의 이동력은 도어를 회전 시켜서 얻고, 도어의 노말한 방향 즉, 쳄버 플랜지 방향으로 압력은 쐐기 형태의 기구물을 부착해서 도어가 회전하면서 쐐기 기능에 의해서 챔버면에 밀착하게 하는 것이다.전하면서 쇄기 기능에 의해서 챔버면에 밀착하게 하는 것이다.

본 발명에 따른 진공 도어 잠금 장치는, 가단한 구성으로 도어 잠금 기능과 밀폐 기능을 동시에 할수 있고, 그로 인해 구조물 원가 절감, 구조 단순화, 작업 시간을 단축하는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 진공 도어 잠금 장치가 설치된 진공 챔버의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 진공 도어 잠금 장치의 기구물 사시도이다.
도 3은 본 발명의 진공 도어 잠금 및 실링 장치 기능을 설명한 구성도이다.

이하, 본 발명 진공 도어 잠금 장치의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 진공 도어 잠금 장치가 설치된 진공 챔버의 사시도로 진공 챔버(10)와, 진공과 대기압의 경계가 되는 진공 도어(20)에 있어서, 진공 도어를 회전하기 위해 필요한 도어 회전 중심축(30), 도어 회전용 핸들 유니트(40), 도어 잠금 및 실링 유니트(50)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
도 2는 본 발명의 진공 도어 잠금 장치의 기구물 사시도로 도어를 쉽게 돌려서 개폐 할 수 있는 핸들(41)과 상기 핸들을 고정하는 핸들 고정 하우징(42)과 이때, 상기 핸들(41)은 핸들 고정 하우징(42)에 일렬로 연결된 축에 결합되어 있고, 연결축 끝단에 직교하는 한쌍의 베벨기어(43)가 연결되어 있고, 핸들과 직교하는 베벨기어는 노말한 방향으로 축과 웜기어 유니트(44)가 연결되어 있다. 이때, 상기 웜기어 유니트(44)는 웜휠과 웜기어로 구성되며 웜기어는 도어프레임(21)에 결합되어 있고, 웜휠은 진공도어(20)에 결합되어 구성된 것을 특징으로 한다. 이하 도2에 의한 진공도어(20)의 작동을 다음과 같이 설명한다.
핸들(41)을 돌리게 되면 이 핸들 회전력은 핸들 고정 하우징(42)을 통해서 베벨기어(43)로 전달되고 이 베벨기어는 핸들 회전력을 핸들축 직각 방향으로 변환하여 웜기어 유니트(44)로 전달하게 된다. 이때, 직교된 베벨기어(43)의 회전에 따라 도어프레임(21)에 부착된 웜기어가 회전하면 진공도어(20)에 부착된 웜휠은 감속비가 큰 기어로 작은 회전력으로도 큰힘을 얻을 수 있으므로 작은 힘으로 핸들(41)을 돌려도 무거운 진공 도어(20)를 회전시킬 수 있다. 웜기어유니트(44)가 회전하게 되면 웜휠과 도어가 고정되어 있으므로 도어 회전 중심축(30)을 기준으로 도어가 회전하게 되고 도어가 회전하면 도어에 조립되어 있는 도어 장금장치 실링 유니트(50)도 같이 회전하여 쐐기 작용으로 챔버 플랜지(11)와 진공도어(20)가 밀착하게 된다.
이때, 상기 핸들(41)의 구동은 수동으로 작동하기도 하고, 모타 또는 에어실린더 또는 엑추에이터를 이용하여 구동하는 것을 더 포함한다.
도 3은 본 발명의 진공 도어 잠금 및 실링 장치 기능을 설명한 구성도로 도어(20)와 도어 쐐기(51)와 실링 소재인 오링(52)과 쐐기를 지지하는 쐐기 밀착판(53)과 구멍 형상으로 된 쐐기 밀착판 도어 홀(54)과 챔버 플랜지(11)로 구성되는 것을 특징으로 하고 있다.
이하 도3에 의한 진공 도어 잠금 및 실링 장치 기능을 다음과 같이 설명한다.
도어 열림 상태에서는 도어(20) 부분의 구멍 형상으로 된 쐐기 밀착판 도어 홀(54)을 통해서 쐐기 밀착판(53)이 들어올수도 있고 나갈수도 있게 되어서 도어 열고 닫기가 가능하다. 도3 처럼 도어 열림 상태는 열려 있는 도어(20)를 쐐기 밀착판 도어 홀(54)을 통해 챔버 플랜지(11)에 붙이면 도어 열림 상태처럼 된다. 이 상태에서 핸들(21)을 회전시키면 도어가 회전하게 되고 도어 쐐기(51)가 도어 쐐기 밀착판(53)으로 이동하게 되는데 도어 잠김 및 실링 상태처럼 되어서 쐐기(51)가 쐐기 밀착판(53) 밑으로 들어가게 되고 쐐기 작용에 의해서 도어(20)는 챔버 플랜지(11) 방향으로 수직 이동하게 되고 도어(20)와 챔버 플랜지(11)를 밀착하게 된다. 도어(20)와 챔버 플랜지(11) 사이에 실링 소재인 오링(52)이 있기 때문에 오링이 탄성 변형되면서 도어와 챔버 플랜지(11) 사이의 슬라이딩 이동 공간(55)을 메꿔서 밀폐가 된다.
도어 잠금은 쐐기 밀착판(53)이 구멍 형상의 쐐기 밀착판 도어 홀(54)의 둥근 부분을 지나서 장공 형상으로 이동 하였기 때문에 도어 쐐기(51)와 쐐기 밀착판(53)이 서로 밀고 있기 때문에 도어를 열수 없게 된다. 도어를 열기 위해서는 도어를 역회전 해서 쐐기 밀착판(53)이 쐐기 밀착판 도어 홀(54) 부분의 둥근 부분까지 이동해야만 도어를 열수 있다.
본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.

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10: 진공쳄버 11: 챔버 플랜지
20: 진공도어 21: 핸들
30: 회전 중심 축
40: 핸들 유니트 41: 핸들 42: 핸들 고정 하우징 43: 베벨기어
44: 웜기어 유니트
50: 잠금 및 실링 유니트 51: 도어 쐐기 52: 오링 53: 쐐기 밀착판
54: 쐐기 밀착판 도어 홀 55: 슬라이딩 이동 공간

Claims (5)

1. 대기압과 진공압의 경계가 되는 도어를 열고 닫을 때 잠금 기능과 밀폐 기능을 동시에 할 수 있는 진공 도어 잠금 및 실링 장치에 있어서,
   진공 챔버(10)와;
   진공과 대기압의 경계가 되는 진공 도어(20)와,
   진공 도어를 회전하기 위해 필요한 도어 회전 중심축(30)과,
   도어 회전용 핸들 유니트(40)와; 상기 도어 회전용 핸들 유니트(40)는 도어를 쉽게 돌려서 개폐 할 수 있는 핸들(41)과 상기 핸들을 고정하는 핸들 고정 하우징(42)과 상기 핸들(41)은 핸들 고정 하우징(42)에 일렬로 연결된 축에 결합되어 있고, 연결축 끝단에 직교하는 한쌍의 베벨기어(43)가 연결되어 있고, 핸들과 직교하는 베벨기어는 노말한 방향으로 축과 웜기어 유니트(44)가 연결되어 있고, 상기 웜기어 유니트(44)는 웜휠과 웜기어로 구성되며 웜기어는 도어프레임(21)에 웜휠은 진공도어(20)에 결합되어 구성되고
   도어 잠금 및 실링 유니트(50)와; 상기 도어 잠금 및 실링 유니트(50)는
   도어(20)와 도어 쐐기(51)와 실링 소재인 오링(52)과 쐐기를 지지하는 쐐기 밀착판(53)과 구멍 형상으로 된 쐐기 밀착판 도어 홀(54)과 챔버 플랜지(11)로
   구성된 것을 특징으로 하는 진공 도어 잠금 및 실링 장치.
   
   
   
   
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 제 1항에 있어서,
   상기 핸들(41)의 구동은 모터 또는 에어실린더 또는 엑추에이터를 이용하여 구동하는 것을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 진공 도어 잠금 및 실링 장치.
   

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