KR101702106B1 - Electrowetting display device - Google Patents

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삼성디스플레이 주식회사
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    • G02B26/005Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on a displacement or a deformation of a fluid based on electrowetting

Abstract

본 발명은 반사율을 향상시키고, 다양한 색상을 구현할 수 있으며, 휘도를 높일 수 있는 전기 습윤 표시 장치에 관한 것으로, 본 발명에 의한 전기 습윤 표시 장치는 제1 기판; 상기 제1 기판 위에 형성되어 있는 게이트선 및 게이트 전극; 상기 게이트선 및 상기 게이트 전극 위에 형성되어 있는 게이트 절연막; 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 반도체층; 상기 게이트선과 교차하는 데이터선, 소스 전극, 및 드레인 전극; 상기 데이터선, 소스 전극, 및 드레인 전극 위에 형성되어 있는 보호막; 상기 보호막 위에 형성되며 상기 드레인 전극과 연결되는 화소 전극; 상기 제1 기판과 대향하는 제2 기판; 상기 제2 기판 위에 형성되어 있는 공통 전극; 및, 상기 화소 전극과 상기 공통 전극 사이에 형성되어 있는 전기 광학층을 포함하고, 상기 드레인 전극은 상기 화소 전극과 중첩되고, 상부 드레인 전극 및 하부 드레인 전극을 포함하고, 상기 상부 드레인 전극은 반사 물질로 이루어진다.The present invention relates to an electrowetting display device capable of improving reflectance, capable of realizing various colors, and capable of increasing brightness, and an electrowetting display device according to the present invention includes a first substrate; A gate line and a gate electrode formed on the first substrate; A gate insulating film formed on the gate line and the gate electrode; A semiconductor layer formed on the gate insulating film; A data line, a source electrode, and a drain electrode crossing the gate line; A protective film formed on the data line, the source electrode, and the drain electrode; A pixel electrode formed on the passivation layer and connected to the drain electrode; A second substrate facing the first substrate; A common electrode formed on the second substrate; And an electro-optical layer formed between the pixel electrode and the common electrode, wherein the drain electrode overlaps with the pixel electrode, and includes an upper drain electrode and a lower drain electrode, .

Description

전기 습윤 표시 장치{ELECTROWETTING DISPLAY DEVICE}ELECTROWATTING DISPLAY DEVICE [0001]

본 발명은 전기 습윤 표시 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반사율을 향상시키고, 다양한 색상을 구현할 수 있으며, 휘도를 높일 수 있는 전기 습윤 표시 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrowetting display device, and more particularly, to an electrowetting display device capable of improving reflectance, various colors, and brightness.

현재 알려져 있는 평판 표시 장치에는 액정 표시 장치(liquid crystal display: LCD), 플라스마 표시 장치(plasma display panel: PDP), 유기 전계 발광 표시 장치(organic light emitting display: OLED), 전계 효과 표시 장치(field effect display: FED), 전기 영동 표시 장치(eletrophoretic display: EPD), 전기 습윤 표시 장치(electrowetting display: EWD) 등이 있다. Currently known flat panel display devices include a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), an organic light emitting display (OLED), a field effect display display: FED, an electrophoretic display (EPD), and an electrowetting display (EWD).

이들 중 전기 습윤 표시 장치는 전해질인 수성 유동체(aqueous liquid)에 전압을 걸어줌으로서 액체의 표면장력을 변화시켜 외부에서 들어오는 빛을 반사시킴으로써 화면을 표시하는 방식으로 구동된다.Among these, an electrowetting display device is driven in such a manner that a screen is displayed by reflecting a light coming from the outside by changing a surface tension of a liquid by applying a voltage to an aqueous liquid which is an electrolyte.

이러한 전기 습윤 표시 장치로 입사되는 빛은 내부의 다른 층에 일부 흡수되고 남은 빛만이 반사되어 화면을 표시하게 되므로 반사율이 떨어진다는 문제점이 있다.The light incident on the electrowetting display device is partially absorbed by the other layers in the interior, and only the remaining light is reflected to display the screen, which causes a problem of low reflectance.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 전기 습윤 표시 장치의 반사율을 향상시킬 수 있는 전기 습윤 표시 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an electrowetting display device capable of improving the reflectance of an electrowetting display device.

또한, 다양한 색상을 구현하고, 휘도를 높일 수 있으며, 종이처럼 휘어질 수 있는 표시 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.It is also an object of the present invention to provide a display device capable of realizing various colors, increasing brightness, and being warped like paper.

상기와 같은 목적에 따른 본 발명에 의한 평판 표시 장치는 박막 트랜지스터 영역과 표시 영역을 포함하는 복수의 화소 영역이 정의되어 있는 제1 기판; 상기 제1 기판 위에 형성되어 있는 게이트선 및 게이트 전극; 상기 게이트선 및 상기 게이트 전극 위에 형성되어 있는 게이트 절연막; 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 반도체층; 상기 게이트선과 교차하는 데이터선, 소스 전극, 및 드레인 전극; 상기 데이터선, 소스 전극, 및 드레인 전극 위에 형성되어 있는 보호막; 상기 보호막 위에 형성되며 상기 드레인 전극과 연결되는 화소 전극; 상기 제1 기판과 대향하는 제2 기판; 상기 제2 기판 위에 형성되어 있는 공통 전극; 및, 상기 화소 전극과 상기 공통 전극 사이에 형성되어 있는 전기 광학층을 포함하고, 상기 드레인 전극은 상기 박막 트랜지스터 영역 및 상기 표시 영역에 상기 화소 전극과 중첩되도록 형성되고, 상부 드레인 전극 및 하부 드레인 전극을 포함하고,According to another aspect of the present invention, there is provided a flat panel display comprising: a first substrate having a plurality of pixel regions defined therein including a thin film transistor region and a display region; A gate line and a gate electrode formed on the first substrate; A gate insulating film formed on the gate line and the gate electrode; A semiconductor layer formed on the gate insulating film; A data line, a source electrode, and a drain electrode crossing the gate line; A protective film formed on the data line, the source electrode, and the drain electrode; A pixel electrode formed on the passivation layer and connected to the drain electrode; A second substrate facing the first substrate; A common electrode formed on the second substrate; And an electro-optical layer formed between the pixel electrode and the common electrode, wherein the drain electrode is formed to overlap the pixel electrode in the thin film transistor region and the display region, and the upper drain electrode and the lower drain electrode / RTI >

상기 상부 드레인 전극은 반사 물질로 이루어진다.The upper drain electrode is made of a reflective material.

상기 전기 광학층은 상기 화소 전극 위에 형성되어 있는 소수성 절연층; 상기 소수성 절연층 위에 위치하며 개구부를 가지는 격벽; 및, 상기 개구부에 위치하는 흑색 오일층을 포함할 수 있다.Wherein the electro-optical layer comprises: a hydrophobic insulating layer formed on the pixel electrode; A barrier disposed over the hydrophobic insulating layer and having an opening; And a black oil layer located in the opening.

상기 상부 드레인 전극은 알루미늄을 포함하는 금속으로 이루어질 수 있다.The upper drain electrode may be formed of a metal including aluminum.

상기 하부 드레인 전극은 몰리브덴 및 티타늄 중 어느 하나 이상을 포함하는 금속으로 이루어질 수 있다.The lower drain electrode may be formed of a metal including at least one of molybdenum and titanium.

상기와 같은 목적에 따른 본 발명에 의한 평판 표시 장치는 상기 하부 드레인 전극을 노출하도록 상기 보호막 및 상기 상부 드레인 전극에 형성되는 접촉 구멍을 더 포함하고, 상기 화소 전극은 상기 접촉 구멍을 통해 상기 하부 드레인 전극과 연결될 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a flat panel display device, including a contact hole formed in the protective film and the upper drain electrode to expose the lower drain electrode, Electrode.

상기 보호막은 하부 보호막 및 상부 보호막을 포함하고, 상기 하부 보호막은 무기 절연 물질로 이루어지고, 상기 상부 보호막은 유기 절연 물질로 이루어질 수 있다.The protective film may include a lower protective film and an upper protective film, the lower protective film may be made of an inorganic insulating material, and the upper protective film may be made of an organic insulating material.

상기와 같은 목적에 따른 본 발명에 의한 평판 표시 장치는 상기 보호막 및 상기 화소 전극 사이에 형성되어 있는 색필터를 더 포함할 수 있다.The flat panel display according to the present invention may further include a color filter formed between the protective layer and the pixel electrode.

상기 색필터는 양자점으로 이루어질 수 있다.The color filter may be formed of quantum dots.

상기 제1 기판 및 상기 제2 기판은 가요성 기판으로 이루어질 수 있다.The first substrate and the second substrate may be flexible substrates.

상기 제1 기판 및 상기 제2 기판은 플라스틱 또는 유리 섬유 강화 플라스틱(FRP, glass fiber reinforced plastic)으로 이루어질 수 있다.The first substrate and the second substrate may be made of plastic or glass fiber reinforced plastic (FRP).

상기와 같은 목적에 따른 본 발명에 의한 평판 표시 장치는 박막 트랜지스터 영역과 표시 영역을 포함하는 복수의 화소 영역이 정의되어 있는 제1 기판; 상기 제1 기판 위에 형성되어 있는 게이트선 및 게이트 전극; 상기 게이트선 및 상기 게이트 전극 위에 형성되어 있는 게이트 절연막; 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 반도체층; 상기 게이트선과 교차하는 데이터선, 소스 전극, 및 드레인 전극; 상기 데이터선, 소스 전극, 및 드레인 전극 위에 형성되어 있는 보호막; 상기 보호막 위에 형성되는 백색 반사막; 상기 백색 반사막 위에 형성되며 상기 드레인 전극과 연결되는 화소 전극; 상기 제1 기판과 대향하는 제2 기판; 상기 제2 기판 위에 형성되어 있는 공통 전극; 및, 상기 화소 전극과 상기 공통 전극 사이에 형성되어 있는 전기 광학층을 포함하고, 상기 드레인 전극은 상기 박막 트랜지스터 영역 및 상기 표시 영역에 상기 화소 전극과 중첩되도록 형성되고, 상부 드레인 전극 및 하부 드레인 전극을 포함하고, 상기 상부 드레인 전극은 반사 물질로 이루어진다.According to another aspect of the present invention, there is provided a flat panel display comprising: a first substrate having a plurality of pixel regions defined therein including a thin film transistor region and a display region; A gate line and a gate electrode formed on the first substrate; A gate insulating film formed on the gate line and the gate electrode; A semiconductor layer formed on the gate insulating film; A data line, a source electrode, and a drain electrode crossing the gate line; A protective film formed on the data line, the source electrode, and the drain electrode; A white reflective film formed on the protective film; A pixel electrode formed on the white reflective layer and connected to the drain electrode; A second substrate facing the first substrate; A common electrode formed on the second substrate; And an electro-optical layer formed between the pixel electrode and the common electrode, wherein the drain electrode is formed to overlap the pixel electrode in the thin film transistor region and the display region, and the upper drain electrode and the lower drain electrode And the upper drain electrode is made of a reflective material.

상기 백색 반사막은 산화 티타늄(TiO2) 및 황산 바륨(BaSO4) 중 어느 하나 이상을 포함하는 물질로 이루어질 수 있다.The white reflective layer may be formed of a material containing at least one of titanium oxide (TiO2) and barium sulfate (BaSO4).

상기 백색 반사막의 산화 티타늄(TiO2)의 함유량은 20 중량 % 내지 80 중량 %일 수 있다.The content of titanium oxide (TiO 2) in the white reflective film may be 20 wt% to 80 wt%.

상기 백색 반사막의 황산 바륨(BaSO4)의 함유량은 20 중량 % 내지 80 중량 %일 수 있다.The content of barium sulfate (BaSO 4) in the white reflective film may be 20 wt% to 80 wt%.

상기 전기 광학층은, 상기 화소 전극 위에 형성되어 있는 소수성 절연층; 상기 소수성 절연층 위에 위치하며 개구부를 가지는 격벽; 및, 상기 개구부에 위치하는 흑색 오일층을 포함할 수 있다.Wherein the electro-optical layer comprises: a hydrophobic insulating layer formed on the pixel electrode; A barrier disposed over the hydrophobic insulating layer and having an opening; And a black oil layer located in the opening.

상기 상부 드레인 전극은 알루미늄을 포함하는 금속으로 이루어질 수 있다.The upper drain electrode may be formed of a metal including aluminum.

상기 하부 드레인 전극은 몰리브덴 및 티타늄 중 어느 하나 이상을 포함하는 금속으로 이루어질 수 있다.The lower drain electrode may be formed of a metal including at least one of molybdenum and titanium.

상기와 같은 목적에 따른 본 발명에 의한 평판 표시 장치는 상기 하부 드레인 전극을 노출하도록 상기 보호막, 상기 상부 드레인 전극, 상기 백색 반사막에 형성되는 접촉 구멍을 더 포함하고, 상기 화소 전극은 상기 접촉 구멍을 통해 상기 하부 드레인 전극과 연결될 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a flat panel display including a contact hole formed in the protective layer, the upper drain electrode, and the white reflective layer to expose the lower drain electrode, To the lower drain electrode.

상기 보호막은 하부 보호막 및 상부 보호막을 포함하고, 상기 하부 보호막은 무기 절연 물질로 이루어지고, 상기 상부 보호막은 유기 절연 물질로 이루어질 수 있다.The protective film may include a lower protective film and an upper protective film, the lower protective film may be made of an inorganic insulating material, and the upper protective film may be made of an organic insulating material.

상기와 같은 목적에 따른 본 발명에 의한 평판 표시 장치는 상기 백색 반사막 및 상기 화소 전극 사이에 형성되어 있는 색필터를 더 포함할 수 있다.The flat panel display according to the present invention may further include a color filter formed between the white reflective layer and the pixel electrode.

상기 색필터는 양자점으로 이루어질 수 있다.The color filter may be formed of quantum dots.

상기 제1 기판 및 상기 제2 기판은 가요성 기판으로 이루어질 수 있다.The first substrate and the second substrate may be flexible substrates.

상기 제1 기판 및 상기 제2 기판은 플라스틱 또는 유리 섬유 강화 플라스틱(FRP, glass fiber reinforced plastic)으로 이루어질 수 있다.The first substrate and the second substrate may be made of plastic or glass fiber reinforced plastic (FRP).

상기한 바와 같은 본 발명에 의한 평판 표시 장치는 다음과 같은 효과가 있다.The flat panel display according to the present invention as described above has the following effects.

본 발명에 의한 평판 표시 장치는 반사 금속으로 상부 드레인 전극을 형성함으로써 평판 표시 장치의 반사율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.The flat panel display according to the present invention has an effect of improving the reflectance of the flat panel display by forming the upper drain electrode as the reflective metal.

또한, 백색 반사막, 유기 절연막을 추가로 형성함으로써 평판 표시 장치의 반사율을 더욱 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Further, by further forming a white reflective film and an organic insulating film, the reflectance of the flat panel display device can be further improved.

또한, 색필터를 양자점을 이용하여 형성함으로써 다양한 색상을 구현하고, 휘도를 높일 수 있는 효과가 있다.Further, by forming the color filter using quantum dots, it is possible to realize various colors and increase the luminance.

또한, 제1 및 제2 기판을 가요성 기판으로 형성함으로써 종이처럼 휘어질 수 있는 표시 장치를 구현할 수 있는 효과가 있다.In addition, by forming the first and second substrates as flexible substrates, it is possible to realize a display device which can be bent like a paper.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 의한 평판 표시 장치를 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 의한 평판 표시 장치를 나타낸 단면도이다.
도 3는 본 발명의 제3 실시예에 의한 평판 표시 장치를 나타낸 단면도이다.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 일 실시예에 의한 평판 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 공정 평면도이다.
1 is a cross-sectional view of a flat panel display according to a first embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view illustrating a flat panel display according to a second embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of a flat panel display according to a third embodiment of the present invention.
4A to 4E are process plan views illustrating a method of manufacturing a flat panel display device according to an embodiment of the present invention.

이하에서 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분의 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분의 "바로 위에" 있는 경우 뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.In the drawings, the thickness is enlarged to clearly represent the layers and regions. Like parts are designated with like reference numerals throughout the specification. It will be understood that when an element such as a layer, film, region, plate, or the like is referred to as being "on" another, it includes not only the element directly over another element, Conversely, when a part is "directly over" another part, it means that there is no other part in the middle.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 표시 장치에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a flat panel display according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 의한 평판 표시 장치를 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a flat panel display according to a first embodiment of the present invention.

도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 표시 장치는 반사형 전기 습윤 표시 장치로서, 화소 전극(190)이 형성되어 있는 하부 기판(110), 하부 기판(110)과 대향하며 공통 전극(270)이 형성되어 있는 상부 기판(210), 하부 기판(110)과 상부 기판(210) 사이에 위치하는 전기 광학층(310, 350)을 포함하며, 전기 광학층(310, 350)은 복수의 개구부(355)를 가지는 격벽(350), 개구부(355) 내부에 배치되어 있는 흑색 오일층(310)을 포함한다.1, a flat panel display device according to a first embodiment of the present invention is a reflective electroless wet display device that includes a lower substrate 110, a lower substrate 110, And an electro-optical layer (310, 350) disposed between the lower substrate (110) and the upper substrate (210). The electro-optical layer (310, 350 includes a partition wall 350 having a plurality of openings 355 and a black oil layer 310 disposed inside the openings 355.

하부 기판(110) 및 상부 기판(210)은 유리 기판이거나, 플라스틱 또는 유리 섬유 강화 플라스틱(FRP, glass fiber reinforced plastic)으로 이루어지는 가요성(flexible) 기판일 수 있다. 하부 기판(110)은 게이트선(도시하지 않음)과 데이터선(도시하지 않음)이 교차하여 화소 영역(PD)을 정의하고, 화소 영역(PD)은 박막 트랜지스터 영역(TD)과 표시 영역(PD)을 포함한다. 박막 트랜지스터 영역(TD)은 게이트선과 데이터선의 교차부에 박막 트랜지스터가 형성되는 영역이고, 표시 영역(PD)은 박막 트랜지스터 영역(TD)을 제외한 화소 영역(PD) 부분이다.The lower substrate 110 and the upper substrate 210 may be a glass substrate or a flexible substrate made of plastic or glass fiber reinforced plastic (FRP). The lower substrate 110 defines a pixel region PD by intersecting a gate line (not shown) and a data line (not shown), and the pixel region PD includes a thin film transistor region TD and a display region PD ). The thin film transistor region TD is a region where a thin film transistor is formed at the intersection of the gate line and the data line and the display region PD is a portion of the pixel region PD excluding the thin film transistor region TD.

하부 기판(110) 위에 주로 가로 방향으로 뻗어 있는 복수의 게이트선에 연결된 게이트 전극(124)이 형성되어 있다. 게이트선 및 게이트 전극(124) 위에는 질화 규소(SiNx) 따위로 이루어진 게이트 절연막(140)이 형성되어 있다.A gate electrode 124 connected to a plurality of gate lines extending mainly in a lateral direction is formed on the lower substrate 110. A gate insulating film 140 made of silicon nitride (SiNx) or the like is formed on the gate line and the gate electrode 124.

게이트 절연막(140) 위에는 수소화 비정질 규소(hydrogenated amorphous silicon) 따위로 이루어진 반도체층(154)이 형성되어 있다. 반도체층(154)은 박막 트랜지스터의 채널을 이룬다. 게이트 절연막(140) 및 반도체층(154) 위에는 데이터선과 드레인 전극(175)이 형성되어 있다. 데이터선은 주로 세로 방향으로 뻗어 게이트선과 교차하며 각 데이터선에서 뻗은 가지는 소스 전극(173)을 이룬다. 한 쌍의 소스 전극(173)과 드레인 전극(175)은 각각 반도체층(154)의 위에 적어도 일부분 위치하고, 서로 분리되어 있으며 게이트 전극(124)에 대하여 서로 반대쪽에 위치한다.A semiconductor layer 154 made of hydrogenated amorphous silicon or the like is formed on the gate insulating layer 140. The semiconductor layer 154 forms a channel of the thin film transistor. A data line and a drain electrode 175 are formed on the gate insulating layer 140 and the semiconductor layer 154. The data lines extend mainly in the vertical direction and intersect with the gate lines, and the branches extending from the respective data lines form the source electrodes 173. A pair of the source electrode 173 and the drain electrode 175 are located at least partially on the semiconductor layer 154 and are separated from each other and opposite to each other with respect to the gate electrode 124.

드레인 전극(175)은 박막 트랜지스터 영역(TD)과 표시 영역(DD)에 화소 전극(190)과 중첩되도록 형성된다. 즉, 드레인 전극(175)이 박막 트랜지스터 영역(TD)뿐만 아니라 표시 영역(DD)까지 확장되어 형성되어 화소 전극(190)으로 입사하는 빛을 반사시킬 수 있다.The drain electrode 175 is formed to overlap the pixel electrode 190 in the thin film transistor region TD and the display region DD. That is, the drain electrode 175 may extend to the display region DD as well as the thin film transistor region TD to reflect light incident on the pixel electrode 190.

드레인 전극(175)은 하부 드레인 전극(175a)과 상부 드레인 전극(175b)을 포함한다.The drain electrode 175 includes a lower drain electrode 175a and an upper drain electrode 175b.

하부 드레인 전극(175a)은 전도성이 좋은 물질로 형성할 수 있으며, 예를 들면 몰리브덴, 티타늄 등과 같은 금속을 이용하여 형성할 수 있다.The lower drain electrode 175a may be formed of a material having good conductivity, for example, a metal such as molybdenum, titanium, or the like.

상부 드레인 전극(175b)는 반사율이 높은 물질로 형성할 수 있으며, 예를 들면 알루미늄 등과 같은 금속을 이용하여 형성할 수 있다. 외부에서 본 발명에 의한 반사형 전기 습윤 표시 장치로 입사된 빛이 반사율 높은 금속으로 이루어진 상부 드레인 전극(175b)에 의해 효과적으로 반사될 수 있다.The upper drain electrode 175b may be formed of a material having a high reflectivity, and may be formed using a metal such as aluminum. Light incident from the outside to the reflection type electrowetting display device according to the present invention can be effectively reflected by the upper drain electrode 175b made of a metal having high reflectivity.

이때, 데이터선, 소스 전극(173), 드레인 전극(175)은 동일한 층에 형성되므로, 드레인 전극(175)뿐만 아니라 데이터선, 소스 전극(173)도 이중층으로 이루어질 수 있다.Since the data line, the source electrode 173 and the drain electrode 175 are formed on the same layer, the data line and the source electrode 173 as well as the drain electrode 175 can be formed as a double layer.

또한, 화소 전극(190)이 드레인 전극(175)뿐만 아니라 소스 전극(173) 상부까지 연장되어 형성되고, 소스 전극(173)이 이중층으로 이루어지며 상부층이 반사율 높은 금속으로 이루어짐으로써, 박막 트랜지스터 영역(TD)에서도 외부에서 입사된 빛이 효과적으로 반사될 수 있다.The pixel electrode 190 is formed to extend not only to the drain electrode 175 but also to the source electrode 173 and the source electrode 173 is formed of a double layer and the upper layer is made of a metal having a high reflectivity. TD), the light incident from the outside can be effectively reflected.

반도체층(154)과 소스 전극(173) 및 드레인 전극(175) 사이에는 저항성 접촉 부재가 위치하여 이들 사이의 접촉 저항을 낮추어 줄 수 있다.A resistive contact member may be disposed between the semiconductor layer 154 and the source electrode 173 and the drain electrode 175 to reduce contact resistance therebetween.

소스 전극(173), 드레인 전극(173), 반도체층(154) 및 게이트 절연막(140) 위에는 드러난 반도체층(154)의 일부를 덮는 산화 규소 또는 질화 규소 등의 절연 물질로 이루어진 보호막(180)이 형성되어 있다.A protective film 180 made of an insulating material such as silicon oxide or silicon nitride covering a part of the exposed semiconductor layer 154 is formed on the source electrode 173, the drain electrode 173, the semiconductor layer 154 and the gate insulating film 140 Respectively.

보호막(180) 위에는 색필터(230)가 형성될 수도 있다. 색필터(230)는 양자점(quantum dot, semiconductor nanocrystal)으로 형성될 수도 있다. 양자점은 수 나노 크기의 결정 구조를 가진 반도체 물질로서, 수백에서 수천 개 정도의 원자로 구성되어 있고, 크기가 매우 작기 때문에 단위 부피당 표면적이 넓고, 양자 구속(quantum confinement) 효과 등을 나타낸다. 따라서 반도체 물질 자체의 고유한 특성과는 다른 독특한 물리화학적 특성을 나타낸다. 현재 이러한 우수한 특성과 다양한 응용 가능성을 가진 양자점은 크기, 구조, 균일도 등을 조절하여 여러 가지 합성 기술들이 개발되고 있다.A color filter 230 may be formed on the passivation layer 180. The color filter 230 may be formed of a quantum dot (semiconductor nanocrystal). A quantum dot is a semiconductor material having a crystal structure of a few nanometers in size, which is composed of several hundreds to thousands of atoms and has a very small surface area per unit volume and a quantum confinement effect. Thus, it exhibits unique physico-chemical properties that are different from those inherent to the semiconductor material itself. At present, various synthesis techniques are being developed by controlling the size, structure and uniformity of quantum dots having such superior characteristics and various application possibilities.

색필터(230) 위에는 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide) 따위의 투명한 도전 물질로 만들어지는 화소 전극(190)이 형성되어 있다. On the color filter 230, a pixel electrode 190 made of a transparent conductive material such as ITO (Indium Tin Oxide) or IZO (Indium Zinc Oxide) is formed.

색필터(230), 보호막(180) 및 상부 드레인 전극(175b)에는 하부 드레인 전극(175a)를 노출하도록 접촉 구멍(185)이 형성되어 있다. 화소 전극(190)은 접촉 구멍(185)을 통하여 하부 드레인 전극(175a)과 물리적, 전기적으로 연결되어 있다.A contact hole 185 is formed in the color filter 230, the protective film 180 and the upper drain electrode 175b to expose the lower drain electrode 175a. The pixel electrode 190 is physically and electrically connected to the lower drain electrode 175a through the contact hole 185. [

접촉 구멍(185)을 형성하기 위한 식각 공정에서 상부 드레인 전극(175b)을 관통하고 나아가 하부 드레인 전극(175b)까지 식각되는 경우를 대비하여 하부 드레인 전극(175b)의 두께를 충분히 두껍게 형성할 수 있다.The thickness of the lower drain electrode 175b can be made sufficiently thick in the etching process for forming the contact hole 185 as compared with the case where the lower drain electrode 175b is etched through the upper drain electrode 175b and further to the lower drain electrode 175b .

화소 전극(190) 위에는 소수성 절연층(90)이 형성되어 있으며, 소수성 절연층(90) 위에는 격벽(350)이 형성되어 있다. 격벽(350)은 개구부(355)를 가지는 매트릭스 형태로 형성되어 화소를 정의하며, 블랙 색소를 함유하는 유기막으로 형성되어 있다. 개구부(355)에는 흑색 오일층(310)이 형성되어 있다. 격벽(350) 및 흑색 오일층(310)과 공통 전극(270) 사이에는 수용액층(320)이 형성되어 있다.A hydrophobic insulating layer 90 is formed on the pixel electrode 190 and a barrier 350 is formed on the hydrophobic insulating layer 90. The barrier ribs 350 are formed in the form of a matrix having openings 355 to define pixels and are formed of an organic film containing black pigment. A black oil layer 310 is formed in the opening 355. An aqueous solution layer 320 is formed between the barrier rib 350 and the black oil layer 310 and the common electrode 270.

화소 전극(190)과 공통 전극(270) 사이에 전압이 인가되지 않는 화소(B)에는 수용액층(320)의 표면 장력이 변화되지 않으므로 흑색 오일층(310)은 해당 화소(B) 전체를 덮고 있다. 따라서, 개구부에 입사하는 광(P2)은 상부 드레인 전극(175b)에 이르기 전에 흑색 오일층(310)에 흡수되어 화소(B)는 흑색을 표시하게 된다.The surface tension of the aqueous solution layer 320 is not changed in the pixel B where no voltage is applied between the pixel electrode 190 and the common electrode 270. The black oil layer 310 covers the entire pixel B have. Therefore, the light P2 incident on the opening portion is absorbed by the black oil layer 310 before reaching the upper drain electrode 175b, and the pixel B displays black.

반면, 화소 전극(190)과 공통 전극(270) 사이에 전압이 인가되는 화소(A)에는 수용액층(320)의 표면 장력이 변화되므로 흑색 오일층(310)을 압축시켜 해당 화소(A)를 개방시킬 수 있다. 따라서, 개구부에 입사하는 광(P1a)은 상부 드레인 전극(175b)에서 반사되고, 화소(A)는 색필터(230)에 따른 색상을 표시하게 된다. On the other hand, since the surface tension of the aqueous solution layer 320 is changed in the pixel A to which the voltage is applied between the pixel electrode 190 and the common electrode 270, the black oil layer 310 is compressed, Can be opened. Accordingly, the light P1a incident on the opening portion is reflected by the upper drain electrode 175b, and the pixel A displays the color corresponding to the color filter 230. [

색필터(230)는 생략할 수 있으며, 본 발명에 의한 평판 표시 장치가 색필터(230)를 포함하지 않는 경우 화소(A)는 백색을 표시하게 되고, 따라서 흑백 표시 장치로 이용될 수 있다.
The color filter 230 may be omitted, and when the flat panel display device according to the present invention does not include the color filter 230, the pixel A displays a white color and thus can be used as a monochrome display device.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판 표시 장치에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a flat panel display according to a second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 제2 실시예에 의한 평판 표시 장치를 나타낸 단면도이다.2 is a cross-sectional view illustrating a flat panel display according to a second embodiment of the present invention.

제2 실시예는 제1 실시예와 비교하여 백색 반사막(80)이 더 추가된 것을 제외하고는 실질적으로 동일한바 반복되는 설명은 생략한다.The second embodiment is substantially the same as the first embodiment except that a white reflective film 80 is further added, and repeated description is omitted.

도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판 표시 장치에서는 보호막(180)과 화소 전극(190) 사이에 백색 반사막(80)이 형성되어 있다. 이러한 백색 반사막(80)은 산화 티타늄(TiO2)과 수지(resin)을 포함할 수 있으며, 황산 바륨(BaSO4)과 수지를 포함하여 형성할 수도 있다. 백색 반사막(80)의 산화 티타늄(TiO2) 함유량은 20 중량% 내지 80 중량%이거나, 백색 반사막(80)의 황산 바륨(BaSO4) 함유량은 20 중량% 내지 80 중량%인 것이 바람직하다. 2, in the flat panel display device according to the second embodiment of the present invention, a white reflective film 80 is formed between the protective film 180 and the pixel electrode 190. The white reflective layer 80 may include titanium oxide (TiO 2) and a resin, and may include barium sulfate (BaSO 4) and a resin. The content of titanium oxide (TiO 2) in the white reflecting film 80 is preferably 20 wt% to 80 wt%, or the content of barium sulfate (BaSO 4) in the white reflecting film 80 is preferably 20 wt% to 80 wt%.

산화 티타늄(TiO2) 또는 황산 바륨(BaSO4)의 함유량이 20 중량% 이하인 경우에는 반사율이 저하되며, 산화 티타늄(TiO2) 또는 황산 바륨(BaSO4)의 함유량은 80 중량% 이상인 경우에는 패터닝하기 어려워진다.When the content of titanium oxide (TiO 2) or barium sulfate (BaSO 4) is 20 wt% or less, the reflectance is decreased. When the content of titanium oxide (TiO 2) or barium sulfate (BaSO 4) is 80 wt% or more, patterning becomes difficult.

이러한 백색 반사막(80) 아래에 보조 반사막(177)이 형성되어 있으므로 백색 반사막(80)의 두께(d)는 2㎛ 이하로 형성하여도 반사율은 저하되지 않는다. 따라서, 백색 반사막(80)의 두께를 2㎛ 이하로 얇게 형성하여 백색 반사막(80)에 접촉 구멍(185)을 용이하게 형성할 수 있다.Since the auxiliary reflective film 177 is formed under the white reflective film 80, the reflectance does not decrease even if the thickness d of the white reflective film 80 is set to 2 탆 or less. Therefore, the thickness of the white reflecting film 80 can be made as thin as 2 탆 or less, and the contact hole 185 can be easily formed in the white reflecting film 80.

아래 표 1에는 백색 반사막(80) 아래에 알루미늄으로 보조 반사막(177)을 형성한 경우 백색 반사막(80)의 두께에 따른 반사율을 나타내었다. Table 1 below shows the reflectance depending on the thickness of the white reflective layer 80 when the auxiliary reflective layer 177 is formed of aluminum under the white reflective layer 80.

Figure 112010049548487-pat00001
Figure 112010049548487-pat00001

표 1에 도시한 바와 같이, 백색 반사막(80)의 두께가 2㎛이어도 반사율은 크게 저하되지 않음을 알 수 있다.
As shown in Table 1, even if the thickness of the white reflecting film 80 is 2 탆, the reflectance does not largely decrease.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 평판 표시 장치에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a flat panel display according to a third embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 제3 실시예에 의한 평판 표시 장치를 나타낸 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating a flat panel display according to a third embodiment of the present invention.

제3 실시예는 제2 실시예와 비교하여 보호막(180)이 하부 보호막(180p)과 상부 보호막(180q)으로 이루어진다는 것을 제외하고는 실질적으로 동일한바 반복되는 설명은 생략한다.The third embodiment is substantially the same as the second embodiment except that the protective film 180 is composed of the lower protective film 180p and the upper protective film 180q.

도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 평판 표시 장치에서는 보호막(180)은 하부 보호막(180p)과 상부 보호막(180q)을 포함한다.3, in the flat panel display device according to the third embodiment of the present invention, the passivation layer 180 includes a lower passivation layer 180p and an upper passivation layer 180q.

하부 보호막(180p)은 소스 전극(173), 드레인 전극(173), 반도체층(154) 및 게이트 절연막(140) 위에는 드러난 반도체층(154)의 일부를 덮는 산화 규소 또는 질화 규소 등의 무기 절연 물질로 이루어져 있다.The lower protective film 180p is formed on the source electrode 173, the drain electrode 173, the semiconductor layer 154 and the gate insulating film 140 with an inorganic insulating material such as silicon oxide or silicon nitride covering a part of the exposed semiconductor layer 154 Lt; / RTI >

상부 보호막(180q)은 하부 보호막(180p) 위에 형성되고, 평탄화 특성이 우수한 유기 절연 물질로 이루어져 있다.The upper protective film 180q is formed on the lower protective film 180p and is made of an organic insulating material having excellent planarization characteristics.

이하에서는 표 2를 참고하여, 유기 절연 물질로 이루어진 상부 보호막(180q)을 추가로 형성할 경우 반사율에 미치는 영향을 살펴본다.Hereinafter, with reference to Table 2, the influence of the upper protective layer 180q made of an organic insulating material on the reflectance is further examined.

표 2는 유기막이 없는 경우와 유기막이 있는 경우의 반사율을 나타낸 표이다.Table 2 is a table showing the reflectance in the case where there is no organic film and the case where there is an organic film.

유기막이 없는 경우When there is no organic film 유기막이 있는 경우When organic film is present 상부 드레인 전극(175b)The upper drain electrode 175b, 알루미늄 0.1umAluminum 0.1um 알루미늄 0.1umAluminum 0.1um 보호막(180)Shielding (180) 하부 보호막(180p)The lower protective film 180p, 실리콘 질화물 0.2umSilicon nitride 0.2um 실리콘 질화물 0.2umSilicon nitride 0.2um 상부 보호막(180q)The upper protective film 180q 유기 절연물질 2umOrganic insulating material 2um 백색 반사막(80)The white reflective film 80 3um3um 3um3um 반사율reflectivity 66/6566/65 70/6870/68

제2 실시예에서와 같이 무기 절연 물질을 이용하여 단일층의 보호막으로 이루어진 경우의 반사율은 65-66으로 측정된 반면에, 제3 실시예에서와 같이 유기 절연 물질을 이용한 보호막을 추가로 형성한 경우의 반사율은 68-70으로 측정되었다. 즉, 유기 절연 물질을 이용한 보호막을 추가로 형성함으로써 반사율을 더욱 향상시킬 수 있음을 확인할 수 있다.
As in the second embodiment, the reflectance of a single-layer protective film made of an inorganic insulating material was measured to be 65-66, while a protective film using an organic insulating material was further formed as in the third embodiment The reflectance of the case was measured to be 68-70. That is, it can be confirmed that the reflectance can be further improved by further forming a protective film using an organic insulating material.

본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 표시 장치에서는 드레인 전극(175)을 하부 드레인 전극(175a)과 상부 드레인 전극(175b)으로 형성하고, 상부 드레인 전극(175b)을 알루미늄과 같은 반사 물질로 형성하여 반사율을 향상시킨다.In the flat panel display device according to the first embodiment of the present invention, the drain electrode 175 is formed as a lower drain electrode 175a and the upper drain electrode 175b, and the upper drain electrode 175b is formed using a reflective material such as aluminum Thereby improving the reflectance.

이어, 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판 표시 장치에서는 산화 티타늄(TiO2) 또는 황산 바륨(BaSO4)을 포함하는 백색 반사막(80)을 추가로 형성함으로써, 상부 드레인 전극(175b) 및 백색 반사막(80)에 의해 반사율을 더 향상시킬 수 있다.In the flat panel display device according to the second embodiment of the present invention, a white reflective film 80 including titanium oxide (TiO 2) or barium sulfate (BaSO 4) is additionally formed to form the upper drain electrode 175b and the white reflective film 80) can further improve the reflectance.

나아가, 본 발명의 제3 실시예에 따른 평판 표시 장치에서는 보호막(180)을 하부 보호막(180a)과 상부 보호막(180b)으로 형성하고, 하부 보호막(180a)은 무기 절연 물질로 상부 보호막(180b)은 유기 절연 물질로 형성함으로써, 상부 드레인 전극(175b), 백색 반사막(80), 및 상부 보호막(180b)에 의해 반사율을 더욱 향상시킬 수 있다.In addition, in the flat panel display device according to the third embodiment of the present invention, the passivation layer 180 is formed of the lower passivation layer 180a and the upper passivation layer 180b, and the lower passivation layer 180a is formed of the upper passivation layer 180b, The upper drain electrode 175b, the white reflective film 80, and the upper protective film 180b can further improve the reflectivity.

본 발명의 제3 실시예에 따른 평판 표시 장치와 달리 백색 반사막(80)을 생략할 수도 있으며, 이에 따르면 상부 드레인 전극(175b), 상부 보호막(180b)에 의해 반사가 일어나게 된다.
Unlike the flat panel display device according to the third embodiment of the present invention, the white reflective layer 80 may be omitted, and reflection is caused by the upper drain electrode 175b and the upper protective layer 180b.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 방법에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a method of manufacturing a flat panel display according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 일 실시예에 의한 평판 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 공정 평면도이다.4A to 4E are process plan views illustrating a method of manufacturing a flat panel display device according to an embodiment of the present invention.

먼저 도 4a에 도시된 바와 같이, 기판(도시하지 않음) 위에 도전성 물질을 증착하고 패터닝하여 일방향으로 뻗은 게이트선(121) 및 게이트선(121)으로부터 돌출된 게이트 전극(124)을 형성한다. 이와 동시에 게이트선(121)과 실질적으로 평행한 유지 전극선(131) 및 유지 전극선(131)으로부터 돌출된 유지 전극(133)을 형성한다. First, as shown in FIG. 4A, a conductive material is deposited on a substrate (not shown) and patterned to form a gate electrode 121 and a gate electrode 124 protruding from the gate line 121 extending in one direction. At the same time, the sustain electrodes 133 protruding from the sustain electrode lines 131 and the sustain electrode lines 131 substantially parallel to the gate lines 121 are formed.

도 4b에 도시된 바와 같이, 게이트선(121), 게이트 전극(124), 유지 전극선(131), 및 유지 전극(134)을 포함한 기판 전면에 산화 규소, 질화 규소 등의 절연 물질로 게이트 절연막(140)을 형성한다.The entire surface of the substrate including the gate line 121, the gate electrode 124, the sustain electrode lines 131 and the sustain electrode 134 is covered with a gate insulating film (not shown) using an insulating material such as silicon oxide or silicon nitride 140 are formed.

이어, 게이트 절연막(140) 위에 게이트 전극(124)과 중첩하도록 반도체층(150)을 형성한다.Next, a semiconductor layer 150 is formed on the gate insulating layer 140 so as to overlap with the gate electrode 124.

도 4c에 도시된 바와 같이, 게이트 절연막(140), 반도체층(150) 위에 몰리브덴, 티타늄 등과 같은 도전성 물질과 알루미늄과 같은 반사율이 높은 물질을 적층하고 패터닝하여 게이트선(121)과 교차하는 데이터선(171), 데이터선(171)으로부터 반도체층(150) 위로 돌출되는 소스 전극(173), 소스 전극(173)과 이격되는 드레인 전극(175)을 형성한다.4C, a conductive material such as molybdenum, titanium, or the like and a highly reflective material such as aluminum are stacked and patterned on the gate insulating layer 140 and the semiconductor layer 150, A source electrode 173 projecting from the data line 171 onto the semiconductor layer 150 and a drain electrode 175 spaced apart from the source electrode 173 are formed.

데이터선(171), 소스 전극(173), 및 드레인 전극(175)은 두 가지의 물질을 적층하고 패터닝함으로써, 이중층으로 형성한다.The data line 171, the source electrode 173, and the drain electrode 175 are formed as a double layer by stacking and patterning two materials.

게이트선(121)과 데이터선(171)은 서로 교차하여 화소 영역(PD)을 정의하고, 화소 영역(PD)은 박막 트랜지스터 영역(TD)과 표시 영역(DD)을 포함한다. 드레인 전극(175)은 박막 트랜지스터 영역(TD)과 표시 영역(DD) 모두에 형성한다.The gate line 121 and the data line 171 intersect each other to define a pixel region PD and the pixel region PD includes a thin film transistor region TD and a display region DD. The drain electrode 175 is formed in both the thin film transistor region TD and the display region DD.

이어 도시는 생략하였으나, 데이터선(171), 소스 전극(173), 및 드레인 전극(175)을 포함하는 기판 전면에 무기 절연 물질과 유기 절연 물질을 적층하여 보호막(도시하지 않음)을 형성한다. 보호막 위에 산화 티타늄(TiO2)과 수지(resin)을 포함하는 물질 또는 황산 바륨(BaSO4)과 수지를 포함하는 물질을 도포하여 백색 반사막(도시하지 않음)을 형성한다. 백색 반사막 위에 색필터(도시하지 않음)를 형성한다. 이때, 색필터는 양자점으로 형성될 수도 있다.A protective film (not shown) is formed by laminating an inorganic insulating material and an organic insulating material on the entire surface of the substrate including the data line 171, the source electrode 173, and the drain electrode 175. A material including titanium oxide (TiO 2) and resin or a material including barium sulfate (BaSO 4) and a resin is coated on a protective film to form a white reflective film (not shown). A color filter (not shown) is formed on the white reflecting film. At this time, the color filter may be formed as a quantum dot.

도 4d에 도시된 바와 같이, 보호막, 백색 반사막, 색필터가 적층된 상태에서 패터닝하여 접촉 구멍(181)을 형성한다.As shown in FIG. 4D, a contact hole 181 is formed by patterning in a state where a protective film, a white reflective film, and a color filter are laminated.

이어, 기판 전면에 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide)를 증착하고 패터닝하여 접촉 구멍(181)을 통해 드레인 전극(175)과 연결되는 화소 전극(190)을 형성한다.ITO (Indium Tin Oxide) or IZO (Indium Zinc Oxide) is deposited on the entire surface of the substrate and patterned to form a pixel electrode 190 connected to the drain electrode 175 through the contact hole 181.

도 4e에 도시된 바와 같이, 화소 영역의 외곽을 둘러싸도록 격벽(350)을 형성하고, 격벽(350)의 내부 즉, 화소 영역에는 흑색 오일층(310)을 형성한다. 격벽(350)은 화소 영역을 노출하는 개구부를 가지는 매트릭스 형태로 형성하고, 블랙 색소를 함유하는 유기막으로 형성한다.
4E, the barrier 350 is formed to surround the outer periphery of the pixel region, and the black oil layer 310 is formed in the inner portion of the barrier 350, that is, the pixel region. The barrier ribs 350 are formed in the form of a matrix having openings that expose pixel regions, and are formed of an organic film containing black pigment.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, Of the right.

80 : 백색 반사막 90 : 소수성 절연층
175a : 하부 드레인 전극 175b : 상부 드레인 전극
180p : 하부 보호막 180q : 상부 보호막
190 : 화소 전극 270 : 공통 전극
310 : 흑색 오일층 320 : 수용액층
350 : 격벽
80: white reflective film 90: hydrophobic insulating layer
175a: lower drain electrode 175b: upper drain electrode
180p: lower protective film 180q: upper protective film
190: pixel electrode 270: common electrode
310: black oil layer 320: aqueous solution layer
350: partition wall

Claims (19)

박막 트랜지스터 영역과 표시 영역을 포함하는 복수의 화소 영역이 정의되어 있는 제1 기판;
상기 제1 기판 위에 형성되어 있는 게이트선 및 게이트 전극;
상기 게이트선 및 상기 게이트 전극 위에 형성되어 있는 게이트 절연막;
상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 반도체층;
상기 게이트선과 교차하는 데이터선, 소스 전극, 및 드레인 전극;
상기 데이터선, 소스 전극, 및 드레인 전극 위에 형성되어 있는 보호막;
상기 보호막에 형성되어 있는 접촉 구멍;
상기 보호막 위에 형성되며, 상기 접촉 구멍을 통해 상기 드레인 전극과 연결되는 화소 전극;
상기 제1 기판과 대향하는 제2 기판;
상기 제2 기판 위에 형성되어 있는 공통 전극; 및,
상기 화소 전극과 상기 공통 전극 사이에 형성되어 있는 전기 광학층을 포함하고,
상기 드레인 전극은 상기 박막 트랜지스터 영역 및 상기 표시 영역에 상기 화소 전극과 중첩되도록 형성되고, 상부 드레인 전극 및 하부 드레인 전극을 포함하고,
상기 상부 드레인 전극은 반사 물질로 이루어지고,
상기 전기 광학층은
상기 화소 전극 위에 형성되어 있는 소수성 절연층;
상기 소수성 절연층 위에 위치하며 개구부를 가지는 격벽; 및,
상기 개구부에 위치하는 흑색 오일층을 포함하고,
상기 접촉 구멍은 상기 하부 드레인 전극을 노출하도록 상기 보호막 및 상기 상부 드레인 전극에 형성되어 있고, 상기 화소 전극은 상기 접촉 구멍을 통해 상기 하부 드레인 전극과 연결되어 있는,
전기 습윤 표시 장치.
A first substrate on which a plurality of pixel regions including a thin film transistor region and a display region are defined;
A gate line and a gate electrode formed on the first substrate;
A gate insulating film formed on the gate line and the gate electrode;
A semiconductor layer formed on the gate insulating film;
A data line, a source electrode, and a drain electrode crossing the gate line;
A protective film formed on the data line, the source electrode, and the drain electrode;
A contact hole formed in the protective film;
A pixel electrode formed on the passivation layer and connected to the drain electrode through the contact hole;
A second substrate facing the first substrate;
A common electrode formed on the second substrate; And
And an electro-optical layer formed between the pixel electrode and the common electrode,
Wherein the drain electrode is formed to overlap the pixel electrode in the thin film transistor region and the display region, and includes an upper drain electrode and a lower drain electrode,
Wherein the upper drain electrode is made of a reflective material,
The electro-
A hydrophobic insulating layer formed on the pixel electrode;
A barrier disposed over the hydrophobic insulating layer and having an opening; And
And a black oil layer located in the opening,
Wherein the contact hole is formed in the protection film and the upper drain electrode so as to expose the lower drain electrode and the pixel electrode is connected to the lower drain electrode through the contact hole,
Electropneumatic display device.
삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 상부 드레인 전극은 알루미늄을 포함하는 금속으로 이루어지는,
전기 습윤 표시 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the upper drain electrode is made of a metal containing aluminum,
Electropneumatic display device.
제3 항에 있어서,
상기 하부 드레인 전극은 몰리브덴 및 티타늄 중 어느 하나 이상을 포함하는 금속으로 이루어지는,
전기 습윤 표시 장치.
The method of claim 3,
Wherein the lower drain electrode is made of a metal containing at least one of molybdenum and titanium,
Electropneumatic display device.
삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 보호막은 하부 보호막 및 상부 보호막을 포함하고,
상기 하부 보호막은 무기 절연 물질로 이루어지고,
상기 상부 보호막은 유기 절연 물질로 이루어지는,
전기 습윤 표시 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the protective film comprises a lower protective film and a top protective film,
Wherein the lower protective film is made of an inorganic insulating material,
Wherein the upper protective film is made of an organic insulating material,
Electropneumatic display device.
제1 항에 있어서,
상기 보호막 및 상기 화소 전극 사이에 형성되어 있는 색필터를 더 포함하는,
전기 습윤 표시 장치.
The method according to claim 1,
And a color filter formed between the protective film and the pixel electrode.
Electropneumatic display device.
제7 항에 있어서,
상기 색필터는 양자점으로 이루어지는,
전기 습윤 표시 장치.
8. The method of claim 7,
Wherein the color filter comprises a quantum dot,
Electropneumatic display device.
박막 트랜지스터 영역과 표시 영역을 포함하는 복수의 화소 영역이 정의되어 있는 제1 기판;
상기 제1 기판 위에 형성되어 있는 게이트선 및 게이트 전극;
상기 게이트선 및 상기 게이트 전극 위에 형성되어 있는 게이트 절연막;
상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 반도체층;
상기 게이트선과 교차하는 데이터선, 소스 전극, 및 드레인 전극;
상기 데이터선, 소스 전극, 및 드레인 전극 위에 형성되어 있는 보호막;
상기 보호막 위에 형성되는 백색 반사막;
상기 보호막 및 상기 백색 반사막에 형성되어 있는 접촉 구멍;
상기 백색 반사막 위에 형성되며, 상기 접촉 구멍을 통해 상기 드레인 전극과 연결되는 화소 전극;
상기 제1 기판과 대향하는 제2 기판;
상기 제2 기판 위에 형성되어 있는 공통 전극; 및,
상기 화소 전극과 상기 공통 전극 사이에 형성되어 있는 전기 광학층을 포함하고,
상기 드레인 전극은 상기 박막 트랜지스터 영역 및 상기 표시 영역에 상기 화소 전극과 중첩되도록 형성되고, 상부 드레인 전극 및 하부 드레인 전극을 포함하고,
상기 상부 드레인 전극은 반사 물질로 이루어지고,
상기 전기 광학층은
상기 화소 전극 위에 형성되어 있는 소수성 절연층;
상기 소수성 절연층 위에 위치하며 개구부를 가지는 격벽; 및,
상기 개구부에 위치하는 흑색 오일층을 포함하고,
상기 접촉 구멍은 상기 하부 드레인 전극을 노출하도록 상기 보호막, 상기 상부 드레인 전극, 및 상기 백색 반사막에 형성되어 있고, 상기 화소 전극은 상기 접촉 구멍을 통해 상기 하부 드레인 전극과 연결되어 있는,
전기 습윤 표시 장치.
A first substrate on which a plurality of pixel regions including a thin film transistor region and a display region are defined;
A gate line and a gate electrode formed on the first substrate;
A gate insulating film formed on the gate line and the gate electrode;
A semiconductor layer formed on the gate insulating film;
A data line, a source electrode, and a drain electrode crossing the gate line;
A protective film formed on the data line, the source electrode, and the drain electrode;
A white reflective film formed on the protective film;
A contact hole formed in the protective film and the white reflective film;
A pixel electrode formed on the white reflective film and connected to the drain electrode through the contact hole;
A second substrate facing the first substrate;
A common electrode formed on the second substrate; And
And an electro-optical layer formed between the pixel electrode and the common electrode,
Wherein the drain electrode is formed to overlap the pixel electrode in the thin film transistor region and the display region, and includes an upper drain electrode and a lower drain electrode,
Wherein the upper drain electrode is made of a reflective material,
The electro-
A hydrophobic insulating layer formed on the pixel electrode;
A barrier disposed over the hydrophobic insulating layer and having an opening; And
And a black oil layer located in the opening,
Wherein the contact hole is formed in the protective film, the upper drain electrode, and the white reflective film so as to expose the lower drain electrode, and the pixel electrode is connected to the lower drain electrode through the contact hole,
Electropneumatic display device.
제9 항에 있어서,
상기 백색 반사막은 산화 티타늄(TiO2) 및 황산 바륨(BaSO4) 중 어느 하나 이상을 포함하는 물질로 이루어지는,
전기 습윤 표시 장치.
10. The method of claim 9,
Wherein the white reflective film is made of a material containing at least one of titanium oxide (TiO2) and barium sulfate (BaSO4)
Electropneumatic display device.
제10 항에서,
상기 백색 반사막의 산화 티타늄(TiO2)의 함유량은 20 중량 % 내지 80 중량 %인,
전기 습윤 표시 장치.
11. The method of claim 10,
The content of titanium oxide (TiO 2) in the white reflective film is 20 wt% to 80 wt%
Electropneumatic display device.
제10 항에서,
상기 백색 반사막의 황산 바륨(BaSO4)의 함유량은 20 중량 % 내지 80 중량 %인,
전기 습윤 표시 장치.
11. The method of claim 10,
Wherein the content of barium sulfate (BaSO4) in the white reflective film is 20 wt% to 80 wt%
Electropneumatic display device.
삭제delete 제9 항에 있어서,
상기 상부 드레인 전극은 알루미늄을 포함하는 금속으로 이루어지는,
전기 습윤 표시 장치.
10. The method of claim 9,
Wherein the upper drain electrode is made of a metal containing aluminum,
Electropneumatic display device.
제14 항에 있어서,
상기 하부 드레인 전극은 몰리브덴 및 티타늄 중 어느 하나 이상을 포함하는 금속으로 이루어지는,
전기 습윤 표시 장치.
15. The method of claim 14,
Wherein the lower drain electrode is made of a metal containing at least one of molybdenum and titanium,
Electropneumatic display device.
삭제delete 제9 항에 있어서,
상기 보호막은 하부 보호막 및 상부 보호막을 포함하고,
상기 하부 보호막은 무기 절연 물질로 이루어지고,
상기 상부 보호막은 유기 절연 물질로 이루어지는,
전기 습윤 표시 장치.
10. The method of claim 9,
Wherein the protective film comprises a lower protective film and a top protective film,
Wherein the lower protective film is made of an inorganic insulating material,
Wherein the upper protective film is made of an organic insulating material,
Electropneumatic display device.
제9 항에 있어서,
상기 백색 반사막 및 상기 화소 전극 사이에 형성되어 있는 색필터를 더 포함하는,
전기 습윤 표시 장치.
10. The method of claim 9,
Further comprising a color filter formed between the white reflective film and the pixel electrode,
Electropneumatic display device.
제18 항에 있어서,
상기 색필터는 양자점으로 이루어지는,
전기 습윤 표시 장치.
19. The method of claim 18,
Wherein the color filter comprises a quantum dot,
Electropneumatic display device.
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