KR101702073B1 - Evaporation furnace for fabricating the OLED - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 증착원을 담을 수 있도록 밑면과 측면으로 이루어진 속이 빈 직사각형 형태의 몸체와; 상기 몸체 내부의 서로 마주하는 한 쌍의 양 측면에 서로 마주하며 상기 증착원이 승화되어 발생된 기체를 특정 위치로 배출시키는 역할을 하는 한 쌍의 방향자와; 상기 방향자 상부로 상기 몸체의 개구를 덮으며 서로 반대 방향으로 회전하는 한 쌍의 롤러와; 상기 몸체의 적어도 서로 마주하는 한 쌍의 측면 외측에 구비된 상기 몸체 가열수단을 포함하는 유기전계 발광소자 제조용 증착장치를 제공한다. According to the present invention, there is provided a plasma display panel comprising: a body having a hollow shape having a bottom surface and a side surface so as to contain an evaporation source; A pair of directors facing each other on opposite sides of the body facing each other and serving to discharge the gas generated by sublimation of the evaporation source to a specific position; A pair of rollers covering the opening of the body and rotating in opposite directions to the upper portion of the director; And body heating means provided on at least a pair of side surfaces facing each other of the body. The present invention also provides a deposition apparatus for fabricating an organic electroluminescent device.

Description

유기전계 발광소자 제조용 증착장치{Evaporation furnace for fabricating the OLED}[0001] The present invention relates to a deposition apparatus for fabricating an organic electroluminescent device,

본 발명은 유기전계 발광소자 제조 시 이용하는 증착장치에 관한 것으로, 특히 대면적 기판에 적용 가능한 유기 발광 물질 등의 진공 열 증착 공정에 이용되는 증착장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a deposition apparatus used in manufacturing an organic electroluminescent device, and more particularly, to a deposition apparatus used in a vacuum thermal deposition process such as an organic light emitting material applicable to a large-area substrate.

일반적으로, 유기전계 발광소자는 전자(electron)를 주입하는 음극(cathode)과 정공(hole)을 주입하는 양극(anode)으로부터 이들 두 전극 사이에 개재된 유기 발광층 내부로 각각 전자와 정공을 주입시켜, 주입된 전자(electron)와 정공(hole)이 결합한 엑시톤(exciton)이 여기상태로부터 기저상태로 떨어질 때 발광하는 것을 이용한 표시소자이다.In general, an organic electroluminescent device is formed by injecting electrons and holes into an organic light emitting layer interposed between a cathode for injecting electrons and an anode for injecting holes, , And emits light when an exciton in which electrons and holes are injected falls from an excited state to a ground state.

이러한 원리에 의해 유기전계 발광소자가 구동되므로 인해 종래의 박막 액정표시소자와는 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 소자의 부피와 무게를 줄일 수 있는 장점이 있으므로 최근 평판표시소자로써 주목받고 있다.Since the organic electroluminescent device is driven by such a principle, a separate light source is not required unlike a conventional thin film liquid crystal display device. Therefore, the organic electroluminescent device is attracting attention as a flat panel display device because it has the advantage of reducing the volume and weight of the device.

통상적으로, 유기전계 발광소자의 유기 발광층은 복수의 기능층(홀 주입층, 홀 전달층, 발광층, 전자 전달층, 전자 주입층 등)을 포함하고, 이러한 기능층의 조합 및 배열 등을 통해 발광 성능을 더욱 발현하게 된다. Typically, the organic light emitting layer of the organic electroluminescence device includes a plurality of functional layers (a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, an electron injection layer, etc.) Performance is further enhanced.

전술한 구성을 갖는 유기전계 발광소자의 제조에 있어, 유기 발광층은 열 진공 증착 프로세스를 이용하여 유기 발광 물질을 기판 상에 증착함으로써 형성하는 것이 일반적이다. In the production of the organic electroluminescent device having the above-described configuration, the organic light emitting layer is generally formed by depositing an organic light emitting material on a substrate using a thermal vacuum deposition process.

종래의 증착수단과 열 진공 증착 공정을 통한 유기 발광층의 형성에 대해 간단히 설명한다.Formation of an organic light emitting layer through a conventional vapor deposition means and a thermal vacuum deposition process will be briefly described.

도 1은 유기 발광 물질 증착 시 이용되는 종래의 증착장치를 배출구로부터 밑면을 향해 수직으로 절단한 부분에 대한 단면도이며, 도 2는 종래의 유기발광 소자 제조용 증착장치를 이용한 진공 열 증착 공정을 진행하여 기판 상에 유기 발광층을 형성하는 단계를 도시한 도면이다. FIG. 1 is a cross-sectional view of a conventional vapor deposition apparatus used for depositing an organic light emitting material, which is vertically cut from a discharge port toward a bottom surface. FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a conventional vacuum vapor deposition process using a vapor deposition apparatus for manufacturing an organic light emitting device And forming an organic light emitting layer on the substrate.

우선, 유기 발광층 형성을 위해 사용되는 종래의 증착장치(10)에 대해 설명하면, 도시한 바와 같이,종래의 증착수단(10)은 크게 증착원(40)을 투입시키고 승화된 증착원 기체가 배출되는 배출구(oa)를 포함하는 제 1 직경을 갖는 배출구부(15)와, 상기 제 1 직경보다 작은 제 2 직경을 갖는 원통 형태의 몸통(20)과, 상기 배출구부(15)와 몸통(20)을 연결하는 연결부(25)로 이루어지고 있다.As shown in FIG. 1, the conventional evaporation device 10 includes an evaporation source 40, which is formed by injecting the evaporation source 40 into the evaporation source 10, A cylindrical body 20 having a second diameter smaller than the first diameter and an outlet port 15 having a first diameter and a body 20 (Not shown).

이러한 종래의 증착수단(10)의 몸통(20)은 그 측면과 밑면이 모두 이중층 구조로 내벽과 외벽으로 구성되고 있으며, 상기 내벽과 외벽 사이에는 열선 히터 등의 가열수단(30)이 구비되고 있다. 이때, 증착원(40)이 위치하는 몸통(20)은 속이 빈 원통 형태를 이루고 있다. The body 20 of the conventional evaporation means 10 is composed of an inner wall and an outer wall in a double layer structure on the side and the bottom, and a heating means 30 such as a hot wire heater is provided between the inner wall and the outer wall . At this time, the body 20 where the evaporation source 40 is located has a hollow cylindrical shape.

전술한 구성을 갖는 종래의 증착장치(10)를 이용한 유기 발광층의 형성 과정을 살펴보면, 유기 발광층을 이루는 유기 발광 물질은 밑면 및 측면에 몸통 전체를 가열할 수 있는 가열수단(30)을 포함하는 몸통(20)의 내부에 분말 상태로 위치하며, 진공이 유지되는 챔버(미도시) 내부에서 상기 증착장치(10)에 구비된 가열수단(30)이 가동하여 상기 증착장치(10)의 몸통(20)을 가열하게 되면, 상기 몸통(20) 내부에 위치하는 유기 발광 물질로 이루어진 증착원(40)에 열이 전도되며, 이렇게 전도되는 열에 의해 상기 분말 상태의 증착원(40)이 가열됨으로써 승화되며, 이렇게 승화된 유기 발광 물질 기체는 상기 증착수단(10)의 배출구(oa)를 통해 배출되며, 상기 증착수단(10)의 배출구(oa) 상부에 위치하는 다수의 개구를 갖는 쉐도우 마스크(미도시)를 통해 선택적으로 기판(80) 상에 증착됨으로서 유기 발광층(82)이 상기 기판(80) 상에 형성되는 것이다.The organic light emitting layer forming the organic light emitting layer using the conventional evaporation apparatus 10 having the above-described structure will be described. The organic light emitting material includes a body 30 including a heating means 30 capable of heating the entire body on the bottom surface and side surfaces thereof. The heating means 30 provided in the deposition apparatus 10 is operated in a chamber (not shown) in a state of powder in the inside of the deposition chamber 20 and the chamber 20 The heat is conducted to the evaporation source 40 made of the organic light emitting material located inside the body 20 and the evaporation source 40 in the powder state is heated by the heat to be sublimated The organic light emitting material vapor is discharged through a discharge port oa of the deposition means 10 and a shadow mask having a plurality of openings located above the discharge port oa of the deposition means 10 Lt; RTI ID = 0.0 > The organic light-emitting layer 82 by being deposited on the 80 is to be formed on the substrate 80.

이때, 상기 기판(80)의 크기에 따라 하나의 증착장치가 이용될 수도 있으며, 또는 기판(80)이 대면적인 경우 도 3(종래의 2개 이상의 증착장치를 이용한 진공 열 증착 공정을 진행하여 대면적 기판 상에 유기 발광층을 형성하는 단계를 도시한 도면)에 도시한 바와 같이, 2개 이상 다수개의 증착장치(10a, 10b)가 이용되고 있다.In this case, one deposition apparatus may be used depending on the size of the substrate 80, or in the case where the substrate 80 is a large-size substrate, a vacuum thermal deposition process using two or more conventional deposition apparatuses may be performed. A plurality of evaporation apparatuses 10a and 10b are used as shown in the drawing showing the step of forming the organic light emitting layer on the area substrate).

하지만, 전술한 구성을 갖는 증착장치(10a, 10b)를 복수개 이용하여 대면적의 기판(80)에 유기 발광층(82)을 형성하는 경우, 상기 각 증착장치(10a, 10b)에서 승화되어 배출구부(15)로 나오는 기체가 일부 중첩되도록 즉, 각 증착장치(10a, 10b)의 배출구(oa)로부터의 기체의 배출 각도가 중첩되도록 상기 증착장치(10a, 10b)을 배치하여야 한다. 이 경우 승화된 유기 발광 물질 기체가 중첩된 부분과 중첩되지 않은 부분과의 증착량이 달라지게 되어 최종적으로 대면적 기판(80)에 증착된 유기 발광층(82)의 위치별 두께차가 발생하게 된다. However, when the organic luminescent layer 82 is formed on the large-area substrate 80 by using a plurality of evaporation apparatuses 10a and 10b having the above-described configuration, the organic EL layers 82 are sublimated in the evaporation apparatuses 10a and 10b, The deposition apparatuses 10a and 10b should be disposed such that the gas emitted from the deposition apparatuses 15 is partially overlapped with each other, that is, the discharge angles of the substrates from the discharge ports oa of the deposition apparatuses 10a and 10b are overlapped. In this case, the amount of deposition of the sublimated organic luminescent material is different from that of the overlapped portion, resulting in a thickness difference of the organic luminescent layer 82 deposited on the large-area substrate 80.

또한, 대면적 기판(80)의 폭을 기준으로 최외측에 위치하는 증착장치(10a)는 유기 발광 물질 기체의 기판(80)상의 증착 두께 편차를 줄이기 위해 상기 최외각 증착장치(10a)의 배출구(oa)로부터의 기체 배출 각도 내부에 상기 기판(80)의 끝단이 위치될 수 있도록 배치되어야 하며, 안정적인 증착을 위해 상기 기판(80)의 끝단과 최외각 증착장치(10a)의 배출구부(15)의 끝단이 일치하는 정도로 상기 증착장치(10a)를 배치하게 되므로 기판(80)의 외측으로 휘산되는 기체 량도 많게 됨으로써 재료비 손실이 심해 유기전계 발광소자의 제조 비용을 상승시키는 요인이 되고 있다.
The evaporation apparatus 10a positioned at the outermost position with respect to the width of the large-area substrate 80 is provided with a discharge port 10a of the outermost evaporation apparatus 10a for reducing the deviation in the deposition thickness on the substrate 80 of the organic light- and the end of the substrate 80 can be positioned within the gas discharge angle from the discharge port oa of the outermost deposition apparatus 10a, and the end of the substrate 80 and the discharge port 15a of the outermost deposition apparatus 10a Since the evaporation apparatus 10a is disposed at such a degree that the ends of the substrate 80 are aligned with each other, the amount of gas to be evaporated toward the outside of the substrate 80 is increased, which leads to a serious loss of material cost, which increases the manufacturing cost of the organic electroluminescent device.

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 대면적 기판에 대해서도 위치별 증착 두께 편차가 발생하지 않고 안정적으로 증착이 가능하며, 증량되는 기체의 소실을 저감시킬 수 있는 유기전계 발광 소자용 증착 수단을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and it is an object of the present invention to provide an organic electroluminescent device capable of stably depositing a large area substrate, And an object of the present invention is to provide a deposition means.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계 발광소자용 증착 장치는, 증착원을 담을 수 있도록 밑면과 측면으로 이루어진 속이 빈 직사각형 형태의 몸체와; 상기 몸체 내부의 서로 마주하는 한 쌍의 양 측면에 서로 마주하며 상기 증착원이 승화되어 발생된 기체를 특정 위치로 배출시키는 역할을 하는 한 쌍의 방향자와; 상기 방향자 상부로 상기 몸체의 개구를 덮으며 서로 반대 방향으로 회전하는 한 쌍의 회전 롤러와; 상기 몸체의 적어도 서로 마주하는 한 쌍의 측면 외측에 구비된 상기 몸체 가열수단을 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a deposition apparatus for an organic electroluminescent device, including: a body having a hollow shape having a bottom surface and a side surface so as to contain an evaporation source; A pair of directors facing each other on opposite sides of the body facing each other and serving to discharge the gas generated by sublimation of the evaporation source to a specific position; A pair of rotating rollers covering the opening of the body and rotating in opposite directions to the upper portion of the director; And body heating means provided on at least a pair of side surfaces facing each other of the body.

이때, 상기 한 쌍의 방향자는 상기 몸체의 넓은 면적을 갖는 측면에 서로 마주하도록 구비되며, 상기 내측면 내에서 상하로 수직 이동이 가능하며, 상기 한 쌍의 방향자는 각각 상기 몸체의 내측면과 접촉하는 끝단을 고정축으로 하여 상하로 움직임으로써 서로 마주하는 끝단 간의 이격간격을 조절할 수 있는 것이 특징이다. At this time, the pair of directors are provided so as to face each other on a side having a large area of the body, and are vertically movable up and down within the inner side, and the pair of directors are respectively contacted with the inner side of the body And the distance between the opposed ends can be adjusted by moving the upper end and the lower end as the fixed axis.

또한, 상기 한 쌍의 롤러는 각각 수평 이동이 가능함으로써 상기 롤 사이의 이격간격을 조절할 수 있는 것이 특징이다. In addition, the pair of rollers are each horizontally movable, so that the spacing between the rolls can be adjusted.

또한, 상기 한 쌍의 방향자 간의 이격영역은 상기 한 쌍의 롤러 사이의 이격영역에 대응되도록 위치하는 것이 특징이다. Further, the spacing region between the pair of directors is positioned to correspond to the spacing region between the pair of rollers.

또한, 상기 한 쌍의 롤러 내부에는 상기 롤러 가열수단이 구비되며, 상기 몸체 가열수단은 서로 마주하는 각각의 측면에 하나의 블록으로 일체형으로 형성되거나, 또는 상기 각각의 측면에 다수의 블록으로 이루어지며, 상기 각 블록별로 온(on)/오프(off) 가능하도록 구성되며, 이때, 상기 몸체 가열수단은 열선 히터인 것이 특징이다.
In addition, the roller heating means is provided in the pair of rollers, and the body heating means is formed integrally with one block on each side facing each other or a plurality of blocks on each side , And each of the blocks can be turned on / off. In this case, the body heating means is a hot wire heater.

본 발명에 따른 유기전계 발광 소자 제조에 이용되는 증착수단은 기판의 폭에 대해 라인 형태로 승화된 기체의 배출구를 가지며, 대면적을 갖는 기판 전면에 안정적으로 일정한 증착 두께를 갖는 물질층 형성이 가능한 장점이 있다.The deposition means used in the fabrication of the organic electroluminescent device according to the present invention has a discharge port of a gas sublimated in a line form with respect to the width of the substrate and is capable of forming a material layer having a stable deposition thickness on the entire surface of the substrate having a large area There are advantages.

나아가 배출구 상부에 회전 롤러를 구비하여 배출되는 기체의 량을 조절할 수 있으며, 기판의 폭 방향으로 일체형으로 이루어짐으로써 종래와 같이 복수개를 승화되는 기체가 중첩되도록 배치할 필요가 없으므로 기체가 기판 외부로 휘산되는 것을 최소화하여 재료비를 저감시키는 효과가 있다. Further, since the rotating roller is provided on the upper portion of the discharge port, the amount of discharged gas can be adjusted and it is integrated in the width direction of the substrate, so that it is not necessary to arrange the plurality of sublimated substrates to overlap each other, So that the material cost can be reduced.

또한, 롤러의 간격을 조절하고 회전 속도를 조절하여 기판으로 증착되는 기체량을 조절할 수 있으며, 나아가 배출구로부터의 기체의 배출을 온/오프 할 수 있으므로 기판 투입 시 기판 간 이격간격에 대해 기체의 배출을 오프한 상태를 갖도록 함으로서 재료비를 더욱 저감시키는 효과가 있다.
In addition, since the amount of gas deposited on the substrate can be controlled by controlling the interval of the rollers and the rotation speed, and further, the discharge of gas from the discharge port can be turned on / off, So that the material cost can be further reduced.

도 1은 유기 발광 물질 증착 시 이용되는 종래의 증착장치를 배출구로부터 밑면을 향해 수직으로 절단한 부분에 대한 단면도.
도 2는 종래의 유기발광 소자 제조용 증착장치를 이용한 진공 열 증착 공정을 진행하여 기판 상에 유기 발광층을 형성하는 단계를 도시한 도면.
도 3은 종래의 2개 이상의 증착장치를 이용한 진공 열 증착 공정을 진행하여 대면적 기판 상에 유기 발광층을 형성하는 단계를 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조용 증착장치에 대한 사시도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조용 증착장치를 회전 롤러로부터 몸체 밑면까지 수직으로 절단한 부분에 대한 단면도.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조용 증착장치에 대한 사시도.
도 7a와 도 7b는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조용 증착장치를 이용하여 기판상에 유기 발광층을 형성하는 것을 간략히 도시한 공정 사시도 및 동정 단면도. FIG. 1 is a cross-sectional view of a conventional deposition apparatus used for depositing an organic light emitting material, which is vertically cut from a discharge port toward a bottom surface. FIG.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an organic light emitting diode (OLED)
FIG. 3 is a view showing a step of forming an organic light emitting layer on a large-area substrate by performing a vacuum thermal deposition process using two or more conventional vapor deposition apparatuses.
4 is a perspective view of a deposition apparatus for fabricating an organic electroluminescent device according to an embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view of a portion of a deposition apparatus for manufacturing an organic electroluminescent device according to an embodiment of the present invention, which is vertically cut from a rotating roller to a bottom surface of a body.
6A and 6B are perspective views of a deposition apparatus for fabricating an organic electroluminescent device according to another embodiment of the present invention.
FIG. 7A and FIG. 7B are a process perspective view and a symmetrical cross-sectional view schematically showing formation of an organic light emitting layer on a substrate using a deposition apparatus for manufacturing an organic electroluminescent device according to an embodiment of the present invention;

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조용 증착장치에 대한 사시도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조용 증착장치를 회전 롤러로부터 몸체 밑면까지 수직으로 절단한 부분에 대한 단면도이다. FIG. 4 is a perspective view of a deposition apparatus for fabricating an organic electroluminescent device according to an embodiment of the present invention. FIG. 5 is a cross-sectional view of a deposition apparatus for fabricating an organic electroluminescent device according to an embodiment of the present invention, Sectional view of the cut portion.

도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조용 증착장치(100)은 밑면과 측면만으로 이루어져 속이 빈 직육면체 형태의 몸체(120)와, 상기 몸체(120) 외측에 구비된 가열수단(130)을 포함하여 구성되고 있다. 이때, 상기 몸체(120)의 배출구에는 상기 배출구를 가리는 형태로 서로 회전방향을 달리하는 한 쌍의 롤러(124)가 구비되고 있으며, 상기 몸체(120)의 내부에는 서로 마주하며 상하로 움직여 승화되는 기체를 상기 회전 롤러(124)의 서로 맞물리는 부분으로 집중시키는 역할을 하는 한 쌍의 방향자(122)가 구비되고 있다.As shown in the figure, the deposition apparatus 100 for manufacturing an organic electroluminescent device according to the present invention includes a body 120 in the form of a rectangular parallelepiped body having a bottom and a side only, a heating unit 130 provided outside the body 120, As shown in FIG. At this time, the discharge port of the body 120 is provided with a pair of rollers 124 which are rotated in mutually different directions in such a manner as to cover the discharge port. Inside the body 120, And a pair of directors 122 serving to concentrate the gas to the intermeshing portions of the rotating rollers 124 are provided.

상기 한 쌍의 회전 롤러(124)는 상기 회전 롤러(124)를 회전시키는 회전 축(미도시)이 수평적으로 이동하여 회전 롤러(124)간 이격간격을 넓히거나 좁힐 수 있도록 롤러 축이 상기 회전 롤러(124)가 마주하는 방향 및 그 반대 방향으로 왕복 운동하도록 구성되며, 상기 회전 롤러(124) 자체의 단위 시간당 회전수를 조절하도록 이루어지고 있는 것이 특징이다. The pair of rotating rollers 124 are arranged such that a rotation axis (not shown) for rotating the rotating roller 124 horizontally moves to widen or narrow a gap between the rotating rollers 124, And is configured to reciprocate in a direction in which the rollers 124 face each other and in a direction opposite to the direction in which the rollers 124 face each other, and the rotation speed per unit time of the rotation roller 124 itself is adjusted.

또한, 상기 한 쌍의 회전 롤러(124)는 그 내부에 롤러 가열수단(미도시) 예를들면 열선 히터가 구비되어 롤 자체가 일정한 온도를 유지할 수 있는 것이 특징이다. 이렇게 회전 롤러(124) 자체가 그 내부에 롤러 가열수단(미도시)을 구비하여 회전 롤러(124) 자체가 특정 온도를 갖도록 한 것은, 상기 증착장치(100)의 몸체(120)에서 가열되어 승화된 증착원 기체가 상기 회전 롤러(124)를 통과하며 상기 회전 롤러(124) 표면에서 냉각되어 상기 회전 롤러(124) 표면에 증착되는 것을 방지하기 위함이다. The pair of rotating rollers 124 is provided with roller heating means (not shown), for example, a hot wire heater, so that the roll itself can maintain a constant temperature. The reason why the rotating roller 124 itself is provided with a roller heating means (not shown) in the inside thereof so that the rotating roller 124 itself has a specific temperature can be obtained by heating in the body 120 of the deposition apparatus 100, The evaporation source gas passes through the rotating roller 124 and is cooled on the surface of the rotating roller 124 to be deposited on the surface of the rotating roller 124.

또한, 상기 방향자(22)는 유기 발광 물질 등의 증착원(150)의 용량에 따라 그 위치를 변화시킬 수 있도록 상기 몸체(120) 내부에서 상하로 수직 운동을 하며, 동시에 서로 마주하는 방향자(22)의 이격간격 조절을 위해 상기 몸체(120) 내부에서 수직적으로 그 위치가 정해지면, 상기 몸체(120) 내측면에 고정되며, 상기 몸체(120)의 내측면에 고정된 상태에서 상기 내측면에 고정된 끝단을 고정축으로 다시 상하로 소정각도 회전운동을 하도록 구성된 것이 특징이다. 이때, 상기 방향자(22)의 서로 마주하는 이격간격은 상기 몸체(120) 내부의 중앙부에 위치하게 됨으로써 서로 마주하는 상기 회전 롤러(124)의 이격간격과 대응되는 것이 특징이다. The director 22 is vertically moved upward and downward in the body 120 so as to change its position according to the capacity of the evaporation source 150 such as an organic light emitting material, (120) is fixed to the inner side of the body (120) when the position of the body (120) is vertically determined within the body (120) And the end fixed to the side surface is again rotated upwards and downwards at a predetermined angle by the fixed shaft. At this time, the spacing distance between the directioners 22 is located at the center of the inside of the body 120, so that the spacing distance of the rotating roller 124 facing each other corresponds to each other.

한편, 상기 증착장치(100)의 몸체(120) 외측에 구비된 가열수단(130)은 일례로 열선 히터로 이루어질 수 있다. 이때, 상기 가열수단(130)은 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 몸체(120)의 외측면에서 소정간격 이격하며 분리된 형태로 블록화하여 각각 개별적으로 온(on)/오프(off) 가능하도록 형성될 수도 있으며, 또는 도 6a에 도시한 바와 같이, 상기 몸체(120)의 서로 마주하는 양측면에 각각 하나의 일체화된 블록(BL)으로 이루어질 수도 있다. Meanwhile, the heating means 130 provided outside the body 120 of the deposition apparatus 100 may be a hot-wire heater, for example. 4, the heating unit 130 may be separated from the outer surface of the body 120 by a predetermined distance so that the heating unit 130 can be separately turned on and off Alternatively, as shown in FIG. 6A, the body 120 may be formed as a single integrated block BL on opposite sides of the body 120.

또는, 도 6b에 도시한 바와 같이, 상기 가열수단(130)은 상기 몸체(120)의 측면에 각각 하나의 블록(BL)으로 이루어지지만 그 내부적으로 열선 히터가 마치 블록화 하듯이 복수개로 끊겨 형성됨으로서 각각 개별적으로 온(on)/오프(off) 동작을 실시할 수 있도록 구성된 것이 특징이다.Alternatively, as shown in FIG. 6B, the heating unit 130 is formed as one block BL on the side surface of the body 120, but the heating unit 130 is formed as a plurality of blocks such that the hot- And can be individually turned on / off.

이렇게 가열수단(130)을 각 측면에 대해 블록화하여 각각의 블록단위(BL1, BL2, BL3)로 온(on)/오프(off) 가능하도록 형성한 것은 상기 증착장치(100)의 위치별로 증착원(150)이 승화되는 양이 다를 경우, 상기 몸체(120) 내에서의 상기 증착원(150)이 소모량이 위치별로 달라지게 되며, 이에 의해 증착원(150)의 어느 한 부분에서 완전 소모되고 그 이외의 부분이 남는 경우가 발생되므로, 상기 몸체(120) 내에서의 이러한 증착원(150)의 소모량이 편차를 억제하고, 나아가 증착원(150)의 승화량을 달리함에 의해 기판 상의 위치별 증착 두께를 달리할 수 있으므로 이러한 문제를 해결하고자 블록(BL1, BL2, BL3)별로 서로 다른 온도로 가열하여 위치별 상기 증착원(150)의 승화량을 유사하게 맞추기 위함이다.The reason why the heating means 130 is blocked on each side surface and turned on / off to each of the block units BL1, BL2 and BL3 is that the deposition source The amount of consumption of the evaporation source 150 in the body 120 differs depending on the position, so that the evaporation source 150 is completely consumed in one part of the evaporation source 150, The deposition amount of the evaporation source 150 in the body 120 can be suppressed and the amount of sublimation of the deposition source 150 can be varied. The thicknesses of the evaporation sources 150 may be different from each other. Therefore, in order to solve such a problem, the blocks BL1, BL2, and BL3 are heated to different temperatures so that the sublimation amounts of the evaporation sources 150 are adjusted to be similar to each other.

전술한 구성을 갖는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광 소자 제조용 증착장치(100)는 승화된 증착원(150)이 배출되는 배출구의 형태가 라인 형태를 가지며, 나아가 기판의 폭 방향의 길이에 대응되므로 유기 발광 물질 등을 대면적 기판 상에 증착할 경우 종래의 경우처럼 다수개 사용할 필요가 없다. In the deposition apparatus 100 for fabricating an organic electroluminescent device according to an embodiment of the present invention having the above-described configuration, the shape of the discharge port through which the sublimated evaporation source 150 is discharged has a line shape, and further, It is not necessary to use a plurality of organic light emitting materials or the like on a large area substrate as in the conventional case.

따라서, 종래와 같이 원통 형태의 증착장치(도 2의 10)를 다수개 이용하여 증착을 실시하는 경우 발생하는 기판 위치별 증착 두께 편차가 거의 없는 것이 특징이다. Therefore, it is characterized in that there is almost no variation in deposition thickness for each substrate position, which occurs when deposition is performed by using a plurality of cylindrical deposition apparatuses (10 in Fig. 2) as in the prior art.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조용 증착장치(100)는 몸체(120) 내부에 증착원(150)을 통해 승화되는 기체를 특정 부위 즉, 회전 롤러(124) 사이의 이격영역으로 집중시킬 수 있도록 그 높이 및 이격간격 조절이 가능한 한 쌍의 방향자(22)가 구비됨으로써 상기 증착원(150)의 위치별로 승화량이 달라진다 하더라도 승화되는 기체를 특정 위치로 모아 배출시킬 수 있는 것이 특징이다.The vapor deposition apparatus 100 for fabricating an organic electroluminescent device according to an embodiment of the present invention may be configured such that a gas sublimated through an evaporation source 150 in a body 120 is divided into a specific region, It is possible to collect and discharge the sublimated gas to a specific position even if the sublimation amount is changed according to the position of the deposition source 150 by providing a pair of directors 22 capable of adjusting the height and spacing distance Feature.

또한, 상기 몸체(120)의 최상부에 상기 방향자(22)를 통해 특정부위 즉, 상기 몸체(120)의 중앙부로 집중된 증착원 기체를 다시 한번 서로 마주하는 회전 롤러(124)가 서로 반대 방향으로 회전하면서 외부로 배출시킴으로써 기판상에 위치별 두께 편차가 거의 없이 안정적으로 증착원 기체를 증착시킬 수 있는 것이 특징이다.
The rotating rollers 124 facing the evaporation source body concentrated at the specific portion, that is, the central portion of the body 120, through the director 22 at the uppermost portion of the body 120, So that the deposition source gas can be deposited stably on the substrate with almost no thickness variation in each position.

이후에는 전술한 구성을 갖는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조용 증착장치를 이용하여 기판 상에 유기 발광층을 형성하는 방법에 대해 간단히 설명한다.Hereinafter, a method of forming an organic light emitting layer on a substrate using the deposition apparatus for fabricating an organic electroluminescence device according to an embodiment of the present invention having the above-described structure will be briefly described.

도 7a와 도 7b는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조용 증착장치를 이용하여 기판상에 유기 발광층을 형성하는 것을 간략히 도시한 도면으로, 도 7a는 공정 사시도이며, 도 7b는 공정 단면도이다.FIGS. 7A and 7B are views showing a method of forming an organic light emitting layer on a substrate using a deposition apparatus for manufacturing an organic electroluminescent device according to an embodiment of the present invention. FIG. 7A is a process perspective view, to be.

우선, 증착장치(100)의 몸체(120) 내부에 분말 상태의 증착원(150)을 적정량 구비시킨다. First, an appropriate amount of the powdery evaporation source 150 is provided in the body 120 of the deposition apparatus 100.

이후, 상기 증착원(150)을 몸체(120) 내부에 구비한 상기 증착장치(100)를 챔버 내부에 위치시킨 후, 상기 챔버 내부가 진공의 분위기를 갖도록 한다. Then, the deposition apparatus 100 having the evaporation source 150 inside the body 120 is positioned inside the chamber, and then the inside of the chamber has a vacuum atmosphere.

다음, 상기 증착장치(100)에 구비된 가열수단(130) 더욱 정확히는 상기 증착장치(100)의 몸체(120)에 구비된 가열수단(130) 및 상기 회전 롤러(124) 내부에 구비된 롤러 가열수단(미도시)을 온(on) 상태로 함으로서 상기 몸체(120)와 회전 롤러(124)가 적정 온도가 되도록 가열한다. 이때, 상기 가열수단(130) 및 롤러 가열수단(미도시)을 이용하여 가열됨으로써 상기 몸체(120)와 회전 롤러(124)가 이루는 온도는 상기 증착원(150)을 이루는 물질에 따라 달라질 수 있다. Next, the heating means 130 provided in the deposition apparatus 100, more precisely, the heating means 130 provided in the body 120 of the deposition apparatus 100 and the roller heating provided in the rotation roller 124 (Not shown) is turned on so that the body 120 and the rotary roller 124 are heated to an appropriate temperature. The temperature at which the body 120 and the rotating roller 124 are heated by the heating means 130 and the roller heating means (not shown) may vary depending on the material of the evaporation source 150 .

일례로 상기 증착원이 유기 발광층을 이루는 유기 발광물질인 경우, 상기 몸체(120) 및 상기 회전 롤러(124)는 그 표면온도가 300℃ 내지 350℃ 정도가 되도록 가열하는 것이 바람직하다.For example, when the evaporation source is an organic light emitting material constituting the organic light emitting layer, it is preferable that the body 120 and the rotating roller 124 are heated so that the surface temperature thereof is about 300 ° C to 350 ° C.

다음, 상기 가열수단(130)에 의해 상기 증착 수단의 몸체(120)가 가열되며, 상기 몸체(120) 내부에 위치하는 분말 상태의 증착원(150)은 진공의 분위기에서 고온에 노출됨으로써 액체상태로 변화하지 않고 고체 상태에서 기체 상태로 상변이 하는 승화 현상이 발생하여 증착원 기체를 발생시키게 된다.Next, the body 120 of the deposition means is heated by the heating means 130, and the powdery deposition source 150 located in the body 120 is exposed to a high temperature in a vacuum atmosphere, And a sublimation phenomenon in which a phase shifts from a solid state to a gaseous state is generated to generate a vapor source gas.

한편, 상기 몸체(120)가 충분히 가열되어 증착원 기체가 발생되기 시작하고, 충분히 연속적으로 기체가 일정량 발생하는 상태가 되면, 상기 증착장치(100)의 상부로 증착 물질이 증착되어야 하는 부분에 개구를 갖는 쉐도우 마스크(190)가 부착된 상태의 기판(180)을 위치시키고, 상기 쉐도우 마스크(190) 및 기판(180)이 상기 증착원 기체가 배출되는 상기 한 쌍의 회전 롤러(124) 사이의 이격영역에 대응하여 일정한 속도를 가지며 이동하도록 한다.On the other hand, when the body 120 is sufficiently heated to start the generation of the evaporation source gas, and when a certain amount of gas is continuously generated, a portion where the evaporation material is deposited on the deposition apparatus 100 And the shadow mask 190 and the substrate 180 are placed between the pair of rotating rollers 124 through which the evaporation source gas is discharged And moves at a constant speed corresponding to the spacing region.

이때, 상기 증착장치(100)는 그 상부로 쉐도우 마스크(190)에 부착된 기판(180)이 통과하는 동안에는 상기 회전 롤러(124)가 회전하며 회전 롤러(124) 간 일정간격을 유지함으로써 상기 회전 롤러(124) 사이의 이격영역으로 증착원 기체가 배출됨으로서 상기 기판(180)상에 증착되도록 하고, 그 상부로 기판(180)이 투입되지 않는 시간동안에는 상기 회전 롤러(124)가 이동하여 서로 맞붙도록 함으로써 상기 몸체(120) 내에 증착원 기체가 머물도록 한다. At this time, while the substrate 180 attached to the shadow mask 190 passes through the deposition apparatus 100, the rotation roller 124 rotates and maintains a constant interval between the rotation rollers 124, And the rollers 124 are moved to be spaced apart from each other so that the deposition source gas is discharged onto the substrate 180. During the time when the substrate 180 is not supplied to the upper portion of the substrate 180, So that the evaporation source gas stays in the body 120.

이후, 다음 증착이 진행되어야 할 쉐도우 마스크(190)가 부착된 기판(180)이 끝단이 상기 회전 롤러(124)에 인접하면 상기 회전 롤러(124)는 다시 일정 이격간격을 갖도록 수평 이동함으로서 몸체(120)에 축적되어 있는 증착원 기체를 배출하여 상기 기판(180) 상에 증착되도록 하고 이러한 과정을 반복함으로써 연속적으로 증착 공정을 진행할 수 있는 것이다.When the substrate 180 on which the shadow mask 190 is to be deposited next is adjacent to the rotation roller 124, the rotation roller 124 is horizontally moved again to have a predetermined interval therebetween, The deposition source gas accumulated in the deposition chamber 120 is discharged and deposited on the substrate 180, and the deposition process can be continuously performed by repeating this process.

전술한 바와 같이 유기 발광 물질 등의 증착 공정을 진행하면, 대면적 기판(180)의 폭에 대응하여 라인 형태의 증착원 기체 배출구(회전 롤러(124) 사이의 이격영역)를 통해 위치별로 거의 편차가 없는 증착원 기체가 배출됨으로써 상기 대면적 기판(180) 전면에 두께 편차가 거의 없는 유기 발광층(182)을 형성할 수 있다. As described above, when the deposition process of the organic luminescent material or the like is performed, almost deviations are generated for each position through the evaporation source gas outlet (line-shaped separation region between the rotation rollers 124) corresponding to the width of the large- The organic light emitting layer 182 having almost no thickness variation can be formed on the entire surface of the large area substrate 180. [

나아가, 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조용 증착장치(100)는 그 구성 특성 상 가열에 의해 승화되어 생성되는 증착원 기체를 특정 부분에 집중적으로 방출시킬 수 있으므로 증착 속도를 향상시킬 수 있는 특성이 있다.Further, the deposition apparatus 100 for manufacturing an organic electroluminescent device according to an embodiment of the present invention can intensively discharge the vaporized source gas generated by sublimation by heating in a specific region, thereby improving the deposition rate There is a characteristic.

나아가 도 4를 참조하면, 몸체(120)의 측면에 구비되는 가열수단(130)을 다수의 블록 단위로 분리 형성한 것을 특징으로 한 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조용 증착장치(100)는 증착원(150)이 부분적으로 승화량을 달리하여 상기 몸체(120) 내에 남아있는 위치별로 그 두께가 달라지는 경우 블록(BL1, BL2, BL3)별로 몸체(120)의 가열 온도를 달리하여 위치별 증착원(150)의 승화량을 조절할 수 있다. Referring to FIG. 4, a heating unit 130 provided on a side surface of the body 120 is divided into a plurality of block units. The deposition unit 130 for forming an organic electroluminescent device according to an embodiment of the present invention The heating temperature of the body 120 is different for each of the blocks BL1, BL2, and BL3 when the thickness of the evaporation source 150 is varied depending on positions where the deposition source 150 is partially sublimated, The sublimation amount of the deposition source 150 can be adjusted by position.

따라서 증착원(150)이 상기 몸체(120) 내에서 고르게 소모되도록 하여 특정 부위의 빠른 소모로 인해 발생되는 증착장치(100) 교체 및 상기 증착장치(100)의 세정 및 증착원(150) 공급 주기를 증가시켜 단위 시간당 생산성을 향상시킬 수 있으며, 증착 공정 완료 후 몸체(120) 내에 남게되어 최종적으로 세정 공정시 제거되는 증착원 잔유물을 최소화 함으로써 재료비를 저감시킬 수 있다.
Accordingly, the deposition source 150 is evenly consumed in the body 120, and the replacement of the deposition apparatus 100, which is caused due to the rapid depletion of a specific site, and the replacement of the cleaning and deposition source 150 of the deposition apparatus 100, And the material cost can be reduced by minimizing the evaporation source residue that is finally removed in the cleaning process since the evaporation process is completed and remains in the body 120. [

100 : 증착수단 120 : 몸체
122 : 방향자 124 : 회전 롤러
130 : 가열수단 150 : 증착원100: deposition means 120: body
122: director 124: rotating roller
130: Heating means 150:

Claims (8)

증착원을 담을 수 있도록 밑면과 측면으로 이루어진 속이 빈 직사각형 형태의 몸체와;
상기 몸체 내부의 서로 마주하는 한 쌍의 양 측면에 서로 마주하며 상기 증착원이 승화되어 발생된 기체를 특정 위치로 배출시키는 역할을 하는 한 쌍의 방향자와;
상기 방향자 상부로 상기 몸체의 개구를 덮으며 서로 반대 방향으로 회전하는 한 쌍의 회전 롤러와;
상기 몸체의 적어도 서로 마주하는 한 쌍의 측면 외측에 구비된 몸체 가열수단
을 포함하는 유기전계 발광소자 제조용 증착장치.
A body having a hollow shape having a bottom surface and a side surface so as to contain an evaporation source;
A pair of directors facing each other on opposite sides of the body facing each other and serving to discharge the gas generated by sublimation of the evaporation source to a specific position;
A pair of rotating rollers covering the opening of the body and rotating in opposite directions to the upper portion of the director;
Wherein at least a pair of side faces of the body facing each other are provided with body heating means
And a second electrode formed on the first electrode.
제 1 항에 있어서,
상기 한 쌍의 방향자는 상기 몸체의 넓은 면적을 갖는 측면에 서로 마주하도록 구비되며,
상기 내측면 내에서 상하로 수직 이동이 가능한 것이 특징인 유기전계 발광소자 제조용 증착장치.
The method according to claim 1,
The pair of directors are provided so as to face each other on a side having a large area of the body,
And vertically moving up and down within the inner surface.
제 2 항에 있어서,
상기 한 쌍의 방향자는 각각 상기 몸체의 내측면과 접촉하는 끝단을 고정축으로 하여 상하로 움직임으로써 서로 마주하는 끝단 간의 이격간격을 조절할 수 있는 것이 특징인 유기전계 발광소자 제조용 증착장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the pair of directional elements are vertically movable with respect to an end of the body that is in contact with an inner surface of the body so as to adjust the spacing between the opposing ends of the body.
제 1 항에 있어서,
상기 한 쌍의 롤러는 각각 수평 이동이 가능함으로써 상기 한 쌍의 롤러 사이의 이격간격을 조절할 수 있는 것이 특징인 유기전계 발광소자 제조용 증착장치.
The method according to claim 1,
Wherein the pair of rollers are horizontally movable, so that a spacing between the pair of rollers can be adjusted.
제 1 항에 있어서,
상기 한 쌍의 방향자 간의 이격영역은 상기 한 쌍의 롤러 사이의 이격영역에 대응되도록 위치하는 것이 특징인 유기전계 발광소자 제조용 증착장치.
The method according to claim 1,
And the spacing region between the pair of directors is positioned to correspond to the spacing region between the pair of rollers.
제 1 항에 있어서,
상기 한 쌍의 롤러 내부에는 롤러 가열수단이 구비된 것이 특징인 유기전계 발광소자 제조용 증착장치.
The method according to claim 1,
And a roller heating means is provided in the pair of rollers.
제 1 항에 있어서,
상기 몸체 가열수단은 서로 마주하는 각각의 측면에 하나의 블록으로 일체형으로 형성되거나, 또는 상기 각각의 측면에 다수의 블록으로 이루어지며, 상기 각 블록별로 온(on)/오프(off) 가능하도록 구성된 것이 특징인 유기전계 발광소자 제조용 증착장치.
The method according to claim 1,
The body heating means may be integrally formed as one block on each side facing each other or may be formed of a plurality of blocks on each side and may be turned on / Wherein the organic electroluminescent device is fabricated by a method comprising:
제 7 항에 있어서,
상기 몸체 가열수단은 열선 히터인 것이 특징인 유기전계 발광소자 제조용 증착장치.8. The method of claim 7,
Wherein the body heating means is a hot wire heater.
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