KR101701440B1 - 플라즈마 하이브리드 코팅장치를 이용한 식기류 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 많은 사람이 이용하는 식기류에 항균기능을 부여하고 음식물로부터 부식되는 것을 방지하며 식기 세척 시 장기간 사용할 수 있도록 내마모 기능을 부여한 식기류에 관한 것으로 인체에 해를 끼치는 각종 세균들에 대한 항균력을 가지는 기능성 박막을 코팅하면, 코팅된 기능성 박막에 의해 식기류에 각종 세균들이 번식하지 않아 안전하게 음식을 섭취할 수 있게 하는 식기류와 그 제조 방법에 관한 것이다. 아울러 음식물에 존재한 각종 산성물질들에 의해 식기류가 부식되는 현상을 방지하고, 또한 세척 시 사용되는 섬유 수세미에 의해 마모가 발생하지 않도록 하는 복합기능을 갖는 박막이 증착된 것을 특징으로 한다.

Description

플라즈마 하이브리드 코팅장치를 이용한 식기류 제조방법{A method for production of Plasma Hybrid Deposition System}

본 발명은 식기류에 관한 것으로 더욱 상세하게는 식기류에 항균기능을 부여하고 음식물로 인해 부식되는 것을 방지하며 자주 세척하여도 식기를 장기간 사용할 수 있도록 그릇 표면에 내마모성을 부여한 식기류 및 그 제조방법에 관한 것이다.

과거에 가장 널리 이용되어 오던 식기류는 유기(구리-주석합금) 그릇이었다. 이 유기그릇은 무겁고, 계속 사용하다 보면 표면에 오염물질이 빠르게 형성되어 자주 갈아내는 방식으로 세척해야 하는 문제점이 있어, 현대에 와서는 대부분이 유리나 스테인리스 그릇으로 대치되었다. 그러나 유기그릇 (구리-주석합금)은 은수저와 같이 항균력이 있는 재질로 이미 잘 알려졌지만, 최근에 와서는 제조공법 특성상 매우 높은 가격에 팔리고 있어 상기와 같은 장점이 있음에도 일상생활에서는 널리 이용되고 있지 않고 있다.

일반적으로 식기류에 기능성을 부여하기 위한 제조공법으로 스퍼트와 아크이온 플레이팅 공법이 주로 사용되고 있는데 이러한 일반적인 코팅방법으로 코팅된 제품의 경우에는 아무리 고르게 분산 균질처리를 하여도 산·알카리 또는 염분에 의해 부식이 일어나면서 표면에 핀홀(Pin-hole) 형태의 부식패턴이 나타나게 되고, 시간이 지남에 따라 핀홀(Pin-hole)이 점차 넓어지면서 그릇 표면의 마모 발생의 원인을 제공하게 된다.

또한, 종래의 기술로 생산되는 식기류에는 은 나노 입자가 코팅된 그릇이 있기도 하지만, 내식성과 내마모성이 현저히 떨어져 오래 사용할 수 없다는 문제 때문에 시장에서 유통되지 않고 있는 실정이다. 또한, 스테인리스에 유기(구리와 주석합금)를 코팅한 제품도 출시되어 있는데 이 제품의 경우 향균력은 입증되었으나, 은 나노 코팅처럼 이 제품 역시 음식물에 포함된 산·알카리 및 염분에 의해 부식이 쉽게 되고 내마모성이 현격히 떨어져 오래 사용하지 못한다는 단점을 가지고 있어, 그릇 제조 공법으로는 적용되지 못하고 있다.

본 발명은 음식을 담아내는 식기류에 항균기능을 부여하고 음식물로 인해 그릇 표면이 부식되는 것을 방지하며 여러 번 세척을 하여도 장기간 사용할 수 있도록 내마모성을 부여한 식기류를 제조하는 방법을 제공하기 위한 것으로, 인체에 해를 끼치는 각종 세균들에 대한 항균력을 가지는 기능성 박막을 코팅하여, 코팅된 기능성 박막에 의해 식기류에 각종 세균들이 번식하지 않아 안전하게 음식을 섭취할 수 있게 하는 데 그 목적이 있다. 아울러 음식물에 존재하는 각종 소금성분이나 산성물질들에 의해 식기류가 부식되는 현상을 방지하고, 또한 세척 시 사용되는 섬유 수세미에 의해 마모가 발생하지 않도록 하는 복합기능을 갖는 박막을 증착시킬 수 있게 하는 것이다.

또한, 본 발명은 상기와 같은 종래의 유기(구리-주석합금)그릇보다 내식성과 내마모성이 뛰어나면서 항균력이 있는 그릇을 제작할 목적으로 발명한 것으로서, 습식법으로 세정한 제품을 장착한 상태에서 진공 배기 후, 상부에서 넓은 면적으로 조사되는 플라즈마 리니어 전자빔을 이용한다. 일반적으로 널리 이용되고 있는 전자빔 방식은 크게 2가지가 있다. 첫째는 텅스텐 필라멘트 같은 열전자 방출금속에 전원을 인가하여 방출되는 열전자를 고전압으로 가속시켜 전자빔을 만드는 방법과 역시 자유전자를 방출하는 방출금속에 높은 전계를 인가하면, 방출금속에서 방출된 자유전자를 고전압으로 가속시켜 전자빔을 만드는 방법이 있으나, 이들 방식은 넓은 면적의 전자빔을 만들기가 매우 어려워 공·자전 하는 크기가 큰 제품에는 적용이 어렵고, 방출금속의 수명이 짧아 잦은 교체가 요구되며, 발생되는 전자빔의 얼라인먼트가 매우 어렵다는 단점을 가지고 있다 본 발명에서는 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 방출금속을 전자 소스로 이용하는 것이 아니라 플라즈마를 발생시키는 가스를 공급하면, 전자빔 소스에 인가된 고전압에 의해 플라즈마가 발생된다. 이렇게 발생된 전자빔 소스 내의 플라즈마는 전리과정에 의해 매우 많은 이온들과 전자들이 형성되게 된다. 이렇게 전자빔 소스 내에 형성된 전자들은 상기에서 언급하였던 전자빔 방식과 달리 전자빔 소스를 대형으로 제작하여도 발생된 플라즈마가 균일하기 때문에 전자들 역시 대면적으로 균일하게 발생된다는 특징을 갖는다. 이러한 특징을 갖는 전자빔 소스는 대면적의 그릇에 적용할 수 있으며, 인가되는 가속 고전압에 의해 충분히 제어 가능한 전자빔이 만들어진다. 본 발명에서는 이러한 대면적 플라즈마 리니어 전자빔을 이용하여 제품표면에 존재하는 이 물질을 완벽하게 세정하고, 세정이 종료되면 Ti, Zr 타겟을 아크 이온 플레이팅시키고, Cu, Sn, Ag 같은 첨가금속 타겟은 스퍼터시키면서 동시에 제품표면에 넓고 긴 리니어 이온빔을 조사시켜 금속입자 크기를 나노크기로 만들고, 코팅되는 박막을지속적으로 균질화시켜 내부식성과 내마모성 및 향균력을 갖는 고기능성 박막(Ti-Cu-N, Zr-Cu-N, Ti-Ag-N, Zr-Ag-N, Ti-Cu-Sn-N, Zr-Cu-Sn-N, Ti-Sn-N, Zr-Sn-N)을 증착 시킬 수 있게 하는 것이다.

또한, 본 발명에서는 항균력과 내부식성 및 내마모성을 유지시키기 위한 최적 조건을 만들기 위해서 타겟으로 사용하는 금속(Cu, Sn, Ag)들의 최적함량을 맞추고 이를 위해 각각의 금속타겟에 가해지는 펄스전원과 직류전원 및 바이어스 고주파 전원의 전력이나 공정시간을 적절하게 조절하는 수단을 제공하기 위한 목적도 가지고 있다.

상기의 과제를 해결하기 위해 본 발명에서는 복합공정 구현이 가능한 진공 플라즈마 Hybrid 코팅장치를 이용하여 고기능성인 항균력과 내식성 및 내마모성을 갖는 금속표면을 갖게 하며, 아울러 플라즈마 공법을 이용하여 스테인레스 그릇 표면에 나노 분산된 질화합금을 증착하는 방법을 제공한다. 본 발명은 기존의 코팅법과 달리 표면에 코팅되는 고기능 박막의 부착력과 균질도를 향상시키기 위해 진공 플라즈마 Hybrid 코팅장비 내에 리니어 이온빔 건과 플라즈마 가스를 전자빔 소스로 이용하는 리니어 전자빔 건을 두어 표면을 완벽하게 세정하고 아울러 이온빔의 피닝(Peening) 효과를 이용하여 코팅 박막의 균질성을 더욱더 향상시킨 진공 플라즈마 Hybrid 코팅방법을 제공한다.

또한, 본 발명에서는 전통적으로 공구에 코팅될 만큼 널리 이용되어 오던 Ti-N, Zr-N 질화물 박막과 Cu, Sn, Ag를 이용하여 항균력도 있으며, 내식성과 내마모성을 갖는 새로운 고기능 박막을 증착하는 방법을 제시하였다. 즉, 내부식성과 내마모성은 질화물이 담당하고 항균력은 공정 중에 같이 코팅되는 Cu, Sn, Ag 금속이 담당하는 기능을 부여하여야 하는 것이다. 이를 위해 코팅박막 내에 나노입자로 분산되는 금속의 함유량에 따른 내마모성, 내부식성 및 향균력에 대한 실험을 수행하였다. 그 결과 박막 전체에서 Cu, Sn, Ag 금속함량이 전체 함량의 10% 이상 증가하면 항균력은 급격히 증가하는 반면 내부식성과 내마모성은 현격히 감소하는 결과가 얻어졌다. 따라서 상기에서 언급한 기능을 부여한 그릇을 개발하기 위해, 본 개발방법에서는 가능한 첨가 금속입자의 사이즈를 80~ 250nm 나노 크기로 작게 하여야 하고, 매우 균일하게 박막 내에 고르게 분산되어야 한다.

이를 위해 진공 플라즈마 Hybrid 코팅장비 내에 리니어 이온빔 건과 플라즈마 리니어 전자빔 건을 장착하여 공정 전 또는 공정 중에 지속적으로 이온빔과 전자빔을 제품표면에 조사하는 방법을 통해 상기에서 언급하였던 나노 사이즈의 입자들을 균일하게 박막 내에 분산되도록 하여 문제점을 해결하였다.

즉, 제품을 장착하고, 진공배기 한 후, 제품을 공·자전시키면서 알곤가스를 주입하면서, 리니어 전자빔을 이용하여 제품표면에 1 ∼ 10분간 쪼여 줌으로서 제품표면에 잔류하는 이 물질(잔류 세척용액, 기름 등)을 1차적으로 완벽히 제거한다. 이 원리는 전자빔이 갖는 열적특성을 이용하는 방법이다. 또한, 이렇게 리니어 전자빔을 이용하여 세정이 종료되면, 질소가스를 부가적으로 공급하면서, 원하는 고기능성 질화박막을 증착하게 되는데, 이때, 장비에 부착된 리니어 이온빔을 1∼30분간 증착된 박막에 쪼여줌으로서 증착되는 고기능성 질화박막이 균질화된다. 그 이유는 고기능성 증착박막 표면에 가속된 이온빔을 쪼여주면, 증착되는 박막표면을 피닝(peening)시키고, 이러한 피닝효과에 의해 80 ∼ 250nm 나노사이즈의 입자들이 고르게 분산되게 하는 것이다.

본 발명의 진공 플라즈마 Hybrid 코팅장치와 제조 방법에 의하면, 스테인리스 그릇(식기류)에 있어서 내식성과 내마모성이 크게 증가하며, 더불어 최소 80% 이상의 항균력을 증진하는 효과를 가지게 된다. 이러한 특징으로 인해 급식용 식기류에 본 발명에 의해 제조된 식기류를 적용하여 사용한다면, 식중독이나 대장균 같은 균들로부터 안전할 수 있을 것으로 기대된다. 특히 군부대, 학교, 병원 같은 공공기관의 식당에 본 발명에 의해 제조된 식기류가 사용된다면, 각종 균들에 의한 안전성이 보장되고 아울러 세척 후, 굳이 열이나 자외선을 이용한 살균 건조과정을 거치지 않아도 되는 단순 건조과정 때문에 안전성이 보장되고 아울러 세척 후, 건조과정이 단순해져 식당 유지비 절감에 큰 도움이 될 것으로 기대된다.

도 1은 본 발명에 따른 항균기능과 내부식성 및 내마모성 박막을 증착하는 진공 플라즈마 Hybrid 코팅장치를 개략적으로 나타낸 구성도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 고기능성 박막을 코팅 중인 사진이다.
도 3은 본 발명에 따른 진공 플라즈마 Hybrid 코팅장치에 의해 스테인리스 그릇에 항균기능과 내부식성 및 내마모성 기능을 갖는 박막이 코팅된 식기류(그릇) 사진들이다.
도 4는 본 발명에 따른 코팅된 Ti-Cu-Sn-N 박막 내의 Cu-Sn 함량에 따른 항균력의 변화 측정결과를 나타내는 그래프이다.
도 5는 본 발명에 따른 고기능성 박막을 코팅 증착한 시편에서의 24시간 동안 균을 배양증식 결과를 보여주는 사진이다.
도 6은 본 발명에 따른 고기능성 박막을 코팅 증착한 시편에 소금과 소금물을 넣고, 건조시키는 과정을 75시간 동안 진행한 결과를 보여주는 사진이다.
도 7은 본 발명에 따른 고기능성 박막을 코팅 증착한 시편을 가정에서 사용하는 섬유 수세미로 내마모 시험을 진행한 결과를 보여주는 사진이다.

본 발명에서 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하면서 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어들을 선택하였으나, 이는 당 분야에 종사하는 기술자의 의도 또는 판례, 새로운 기술의 출현 등에 따라 달라질 수 있다.

또한, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있으며, 이 경우 해당되는 발명의 설명 부분에서 상세히 그 의미를 기재할 것이다. 따라서 본 발명에서 사용되는 용어는 단순한 용어의 명칭이 아닌, 그 용어가 가지는 의미와 본 발명의 전반에 걸친 내용을 토대로 정의되어야 한다.

명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 “포함”한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다. 또한, 명세서에 기재된 “...부”등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어 또는 소프트웨어로 구현되거나 하드웨어와 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.

본 발명에 의한 진공 플라즈마 Hybrid 코팅장치는 플라즈마를 발생시키는 전원(펄스전원과 직류전원); 제품 표면을 최종적으로 세정하는데 이용되는 플라즈마 가스를 전자빔 소스로 이용하는 플라즈마 리니어 전자빔 건과 전원; 코팅되는 박막의 균질화와 나노크기의 금속입자를 분산시키는데 이용되는 리니어 이온빔 건과 전원 및 바이어스 전원; 제품 표면에 균일하게 박막이 증착되게 하는 공·자전 기구로 이루어져 있다.

또한, 본 발명은 항균기능을 갖는 식기류로 가장 널리 이용되는 스텐레스 식기류에 항균력과 내부식성 및 내마모성을 갖는 기능성 박막(Ti-Cu-N, Zr-Cu-N, Ti-Ag-N, Zr-Ag-N, Ti-Cu-Sn-N, Zr-Cu-Sn-N)의 구조를 갖는 것을 특징으로 한다.

이러한 항균력 내부식성 및 내마모성을 갖는 기능성 박막을 코팅하는 제조방법은 건식 플라즈마의 일종인 스퍼터(2), 아크 이온 플레이팅(3), 플라즈마 화학증착(10) 방법을 단독공정 또는 복합공정으로 진행할 수 있는 진공 플라즈마 Hybrid 코팅장비(1)를 이용하여 제작된다. 이때, 기능성 박막이 제품에 가장 단단하게 부착되도록 하기 위해 즉, 기능성 박막을 코팅하기 전에 최종 세정공정인 플라즈마 세정공정을 이용하여 제품 표면을 세정하거나, 코팅 중에 기능성 박막의 균일성을 향상시키기 위해 길이 750mm, 폭 50mm를 갖는 선형 이온 건(Linear Ion Gun)(13)과 길이 450mm, 폭 120mm를 갖는 플라즈마 선형 전자빔 건(Linear Electron Beam Gun)(15)이 장착되어 있는 복합코팅용 진공 플라즈마 Hybrid 코팅장비(5)를 특징으로 한다. 상기에서 언급한 항균력과 내부식성 및 내마모성을 갖는 기능성 박막에는 여러 가지 있을 수 있는데, 본 개발에서 채택한 기능성 박막은 Ti, Zr, Cu, Sn, Ag 금속이 2 ∼ 3개 이상 함유된 나노분산 질화 화합물이다. 대표적으로는 Ti-Cu-N, Zr-Cu-N, Ti-Ag-N, Zr-Ag-N, Ti-Cu-Sn-N, Zr-Cu-Sn-N 등의 질화 화합물이다.

이하, 본 발명의 진공 플라즈마 Hybrid 코팅장치 및 코팅방법을 첨부된 도면에 의거 상세하게 설명하고자 한다.

도 1은 본 발명에 따른 진공 플라즈마 Hybrid 코팅장치를 개략적으로 나타낸 도면이다. 진공 플라즈마 Hybrid 코팅장치(1)는 습식방법으로 세정된 제품을 공·자전지그(20)에 장착한 상태에서 10-5 Torr까지 진공 배기한 후, 플라즈마 가스가 공급된 상태에서 제품을 공·자전 지그(20)를 회전시키면서 넓은 조사면적을 갖는 플라즈마 리니어 전자 건(15)을 이용하여 제품 표면을 1~10분간 충분히 완벽하게 세정한다.

이러한 세정 공정이 종료되면, 역시 플라즈마 가스가 공급된 상태에서 금속타겟(Ti, Zr)이 장착된 아크이온 플레이팅 건(3)에 펄스 또는 직류전원을 인가하고, 역시 금속타겟(Cu, Sn, Ag 또는 CuSn 합금)이 장착된 스퍼터 건(2)에 펄스 또는 직류전원을 인가하면, 제품표면에 원하는 입자의 코팅 박막이 증착되게 된다. 이때, 코팅박막의 균질화와 나노크기 입자를 분산시키기 위해 진공 플라즈마 Hybrid 코팅 장치(1) 내부에 횡으로 설치된 리니어 이온 건(13)에 전원을 인가하여 발생되는 이온빔을 1~ 30 분간 제품표면에 균일하게 조사되도록 한다또한, 바이어스 고주파 전원(10)을 제품이 장착되어 있는 공·자전 지그(20)에 인가하여 코팅되는 박막을 균질화 및 나노크기의 금속입자들이 분산되도록 인가되는 전력과 시간 등을 조절한다.

도 2는 본 발명에 의해 개발된 진공 플라즈마 Hybrid 코팅장치로 식기류를 코팅 중인 진공 챔버 내부 사진으로 코팅 전의 모습과 코팅작업이 진행중인 상태를 보여 주고 있다.

본 발명에 나타난 공법은 아래에서 설명하는 바와 같은 다양한 실시 예들을 가지고 있으며 기재의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 아래에 개시된 방법들은 한정적인 관점이 아닌 설명적 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 발명의 상세한 설명이 아닌 특허청구 범위에 나타나며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

본 발명의 진공 플라즈마 Hybrid 코팅장치(도 1)를 이용하여 제품에 Ti-Cu-Sn-N 코팅박막을 증착한 제품을 도 3에 나타내었다. 또한, 상기에서 얻어진 시편을 이용하여 Cu-Sn 함량에 따른 항균력을 측정한 결과는 도 4에 나타내었다. 도 4를 통해 알 수 있는 것은 Cu-Sn 함량이 10% 이상으로 증가하면 항균력을 나타내는 Ant-bacterial Effect가 거의 90%로 증가하였다. 그러나 Cu-Sn 함량이 10% 이상이 되면, Anti-bacterial Effect는 거의 98%로 증가하는 반면, 오히려 내식성과 내마모성이 현격히 저하되는 것을 알 수 있었다. 따라서, 본 발명에서는 앞에서도 언급하였듯이 항균력과 내부식, 내마모성을 동시에 갖는 그릇특성을 얻기 위해서는 이들 특성을 적정한 수준으로 갖게하여야 한다. 다시말하면 Cu-Sn 함량을 높이면 항균력이 증가하나 상대적으로 내부식과 내마모성이 저하되기 때문에, 최적으로 공정변수를 조절하여 나노입자가 분산된 Ti-Cu-Sn-N 질화박막 내에는 Cu-Sn 함량이 5 ∼ 10% 범위 내에서 첨가되도록 하는 공법을 적용하였고 Ti-Cu-N, Zr-Cu-N,Ti-Sn-N, Zr-Cu-N, Ti-Cu-Sn-N, Zr-Cu-Sn-N, Ti-Ag-N, Zr-Ag-N 박막도 이에 해당한다.

도 3에서 얻어진 제품을 이용하여 실제로 E. Coli 균을 이용하여 균들의 증식결과가 어떻게 변화되는지를 알아보기 위해 실험한 결과를 도 5에 나타내었다. 도 5의 (a)는 아무런 박막도 증착되지 않은 스테인레스 판 시편사진이고, (b)는 스테인레스 판에 Ti-Cu-Sn-N 박막을 증착한 시편 사진이다. 도 5의 (c), (d)는 이들 2개의 시편에 각각 균들을 24시간 배양 증식시킨 후, 배양된 증식 균들의 상태를 나타낸 사진이다. (c)는 아무것도 증착되지 않은 스테인레스 판에 증식된 균들의 상태를 나타낸 사진이고, (d)는 본 발명에 의해 Ti-Cu-Sn-N 코팅박막이 증착된 스테인레스 판에 증식된 균들의 상태를 나타낸 사진이다. 이 두 사진을 비교해 보면, Ti-Cu-Sn-N 박막이 코팅된 시편에서는 동일한 24시간동안 균을 배양 증식한 조건에서 박막이 코팅되지 않은 시편에서 훨씬 더 많은 균들이 증식 배양되었음을 알 수 있다.

도 6(a), (b)는 본 발명에 의한 방법으로 박막이 코팅된 제품 내에 소금물과 소금을 넣어 두고 1시간 유지하고, 버린 후 건조시키고 다시 소금과 소금물을 1시간 동안 넣어두는 과정을 총 75시간 반복 실험을 하는 과정을 나타낸 그림이고, 도 6(c)는 상기 (a), (b)의 과정을 반복한 후 최종적으로 그릇을 건조시킨 상태를 나타낸 사진이다. 도 6(c)를 육안으로 관찰한 결과 핀 홀(Pin-hole)이 전혀 보이지 않는 것을 알 수 있다. 이 결과는 본 발명에 의한 방법으로 증착된 Ti-Cu-Sn-N 코팅박막을 가진 그릇 표면의 내식성이 매우 커진 것에 기인한 결과이다.

도 7은 도 6에서 행한 내식 실험을 거친 시편을 이용하여 가정에서 사용하는 섬유 수세미를 이용하여 하중 2kg을 작용시켜 그릇 바닥을 30회 반복 회전시킨 후, 표면상태를 확인한 것으로 사진에 의하면 그릇의 코팅 박막이 전혀 벗겨지지 않았고, 또한 마모된 흔적이 전혀 없다는 것을 알 수 있는 것이다. 이 실험 결과는 본 발명에 의한 방법으로 증착된 Ti-Cu-Sn-N 코팅박막을 가진 그릇 표면의 내마모성 역시 매우 커진 것에 기인한 결과임을 알 수 있다.

1: 진공 플라즈마 장치 2: 스퍼터 건과 타겟(Ti, Zr)
3. 아크이온플레이팅 건과 타겟(Cu, Sn, Ag) 4: 펄스 전원
5: 직류 전원 10: 바이어스(RF 고주파 전원)
13: 리니어 이온 건과 전원 15: 플라즈마 리니어 전자 건과 전원
20: 공전·자전 기구

Claims (4)

1. 진공 플라즈마 하이브리드 코팅장치(1)를 이용하여 항균력과 내식성 및 내마모성을 갖는 식기류를 제조하는 방법에 있어서,
   진공상태의 코팅장치 내부로 플라즈마 가스를 주입하는 단계;와 플라즈마 리니어 전자빔 건(15)을 사용하여 식기류 표면의 이물질을 제거하는 단계;와 아크이온플레이팅 건(3)과 스퍼터 건(2)에 펄스 또는 직류전원을 인가하여 코팅 박막을 증착하는 단계;와 리니어 이온건(13)을 이용하여 상기 식기류 표면에 이온빔을 조사하는 단계;로 이루어지며,
   상기 박막 내에는 항균력을 위해 나노입자 크기로 분산된 Cu, Sn, Ag 금속의 함량이 최대 10% 이내인 것을 특징으로 하는 플라즈마 하이브리드 코팅장치를 이용한 식기류 제조방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 증착된 코팅 박막층은 Ti-Cu-N, Zr-Cu-N, Ti-Ag-N, Zr-Ag-N, Ti-Cu-Sn-N, Zr-Cu-Sn-N, Ti-Sn-N, Zr-Sn-N 중의 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 하이브리드 코팅장치를 이용한 식기류 제조방법.
3. 삭제
4. 제1항 또는 제2항에 나타난 진공 플라즈마 하이브리드 코팅장치에 의해 제조된 고기능성 코팅박막을 가진 식기류.

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