KR101700875B1 - 전자파 전력 감지 장치 및 그것을 포함한 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 전자파 전력 감지 장치에 관한 것이다. 본 발명의 전자파 전력 감지 장치는 전자파 전력이 입사되는 도파관, 전자파 전력이 입사되는 도파관의 종단에 위치하여 전면을 통해 입사되는 전자파 전력을 흡수하는 전자파 흡수체, 전자파 흡수체의 후면 방향으로 위치하고, 도파관의 중심선을 기준으로 상하에 배치된 평행판, 도파관과 전자파 흡수체를 고정시키고, 평행판이 위치하는 도파관 가이드, 전자파 전력을 감지하는 전기광학 소자, 전기광학 소자가 결합되는 전기광학 소자 고정기, 및 전기광학 소자 고정기에 결합되고, 전자파 전력 감지를 위해 도파관 가이드 내부와 도파관 내부로의 전기광학 소자의 이동을 조절하는 이동 가이드를 포함한다.

Description

전자파 전력 감지 장치 및 그것을 포함한 시스템{ELECTORMAGNETIC WAVE POWER SENSING APPARATUS AND SYSTEM COMPRISING THEREOF}
본 발명은 전자파 전력 측정 시스템에 관한 것으로서, 특히 넓은 주파수 대역에서 전자파 전력 측정을 가능하게 하는 전기광학 소자를 이용한 전자파 전력 감지 장치 및 그것을 포함한 시스템에 관한 것이다.
전자파 전력은 대부분의 전자파 측정에 직접 또는 간접적으로 영향을 주는 중요한 기본 측정량으로 통신 분야 및 반도체 분야의 측정에 필수적으로 활용된다.
최근에는 차량충돌 방지 레이더 및 5세대 이동통신의 활성화로 밀리미터파 대역에서 전자파 전력의 측정 수요가 증가하고 있다.
최근까지 전자파 전력을 감지하기 위해 서미스터 마운트(thermistor mount)를 이용하여 왔지만, 서미스터 제작 기술의 한계 및 생산 중단 등으로 인해 제한된 주파수 대역에 대해서만 활용이 가능하다. 이를 대체하기 위하여 열전 소자 또는 다이오드 소자를 이용하여 전자파 전력을 감지하는 방법이 제안되고 있다. 하지만, 열전 소자를 이용한 전자파 전력 감지는 주파수 대역의 한계가 있고, 다이오드 소자를 이용한 전자파 전력 감지는 다이오드의 비선형성으로 인해 정확한 측정이 어렵다.
이로 인해, 밀리미터파 대역을 포함한 넓은 주파수 대역에서도 전자파 전력을 감지하고, 전자파 전력 감지의 선형성을 확보할 수 있는 전자파 전력 감지 장치에 대한 필요성이 있었다.
본 발명의 목적은 넓은 주파수 대역에서 전자파 전력을 측정할 수 있는 전자파 전력 감지 장치 및 그것을 포함한 시스템을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 선형성을 확보하여 전자파 전력을 측정할 수 있는 전자파 전력 감지 장치를 제공함에 있다.
본 발명에 따른 전자파 전력 감지 장치는 전자파 전력이 입사되는 도파관, 상기 전자파 전력이 입사되는 도파관의 종단에 위치하여 전면을 통해 입사되는 전자파 전력을 흡수하는 전자파 흡수체, 상기 전자파 흡수체의 후면 방향으로 위치하고, 상기 도파관의 중심선을 기준으로 상하에 배치된 평행판, 상기 도파관과 상기 전자파 흡수체를 고정시키고, 상기 평행판이 위치하는 도파관 가이드, 상기 전자파 전력을 감지하는 전기광학 소자, 상기 전기광학 소자가 결합되는 전기광학 소자 고정기, 및 상기 전기광학 소자 고정기에 결합되고, 전자파 전력 감지를 위해 상기 도파관 가이드 내부와 상기 도파관 내부로의 상기 전기광학 소자의 이동을 조절하는 이동 가이드를 포함한다.
이 실시예에 있어서, 상기 이동 가이드는 기준 신호 측정을 위해 상기 평행판 사이에 상기 전기광학 소자를 위치하도록 제어하고, 전자파 전력 감지 신호 측정을 위해 상기 전자파 흡수체의 전면에 위치한 도파관 내부에 상기 전기광학 소자를 위치하도록 조절할 수 있다.
이 실시예에 있어서, 상기 평행판은 직류 전압과 저주파 전압 중 하나의 전압을 기준 전압으로 인가받는다.
이 실시예에 있어서, 상기 평행판은 양극판과 음극판을 포함하고, 상기 양극판과 음극판은 상기 도파관 가이드 상에서 상호 간에 평행하게 배치된다.
이 실시예에 있어서, 상기 도파관 가이드는 상기 양극판의 삽입을 위한 양극판 삽입 홈과 상기 음극판의 삽입을 위한 음극판 삽입 홈이 형성된다.
이 실시예에 있어서, 상기 도파관 가이드는 상기 도파관 중심선을 기준으로 내부에 상기 전기광학 소자가 이동하기 위한 홀이 형성된다.
이 실시예에 있어서, 상기 전기광학 소자 고정기는 상기 이동 가이드 상에서 회전할 수 있는 구조를 통해 상기 전기광학 소자를 회전시킬 수 있다.
이 실시예에 있어서, 상기 전자파 흡수체의 전면의 일부는 상기 도파관 중심선을 기준으로 미리 결정된 기울기를 갖는 경사면을 형성한다.
이 실시예에 있어서, 상기 전자파 흡수체는 상기 도파관 상에 상기 전기광학 소자의 전기광학소자결정이 후면으로부터 전면으로 이동하기 위한 홀이 형성된다.
이 실시예에 있어서, 상기 전기광학 소자 고정기는 상기 전기광학 소자로부터 최적의 응답 특성을 획득하기 위해 상기 이동 가이드 상에서 회전하는 구조를 갖는다.
본 발명에 따른 시스템은 전기광학 소자를 통해 기준 신호와 전자파 전력 신호의 감지에 따른 감지 신호를 출력하는 전자파 전력 감지 장치, 및 상기 기준 신호와 상기 감지 신호를 수신하여 전자파 전력을 측정하는 측정 장치를 포함하고, 상기 전자파 전력 감지 장치는 상기 전자파 전력이 입사되는 도파관, 상기 전자파 전력이 입사되는 도파관의 종단에 위치하여 전면을 통해 입사되는 전자파 전력을 흡수하는 전자파 흡수체, 상기 전자파 흡수체의 후면 방향으로 위치하고, 상기 도파관의 중심선을 기준으로 상하에 배치된 평행판, 상기 도파관과 상기 전자파 흡수체를 고정시키고, 상기 평행판이 위치하는 도파관 가이드, 상기 전자파 전력을 감지하는 전기광학 소자, 상기 전기광학 소자가 결합되는 전기광학 소자 고정기, 및 상기 전기광학 소자 고정기에 결합되어 상기 기준 신호의 출력을 위해 상기 전기광학 소자를 상기 평행판 사이에 위치시키고, 상기 감지 신호의 출력을 위해 상기 전기광학 소자를 상기 도파관 가이드 내부에 위치시키도록 조절하는 이동 가이드를 포함한다.
이 실시예에 있어서, 상기 측정 장치의 제어를 통해 상기 전자파 전력 감지 장치로 다양한 주파수 대역에 따른 전자파 전력 신호를 출력하는 전자파 전력 발생기를 더 포함한다.
이 실시예에 있어서, 상기 평행판은 상기 도파관 가이드 상에 서 상호 간에 평행하게 배치된 양극판과 음극판을 포함하고, 상기 양극판과 상기 음극판에 직류 전압과 저주파 전압 중 하나의 전압을 기준 전압으로 인가받는다.
이 실시예에 있어서, 상기 도파관 가이드는 상기 양극판의 삽입을 위한 양극판 삽입 홈과 상기 음극판의 삽입을 위한 음극판 삽입 홈이 형성된다.
이 실시예에 있어서, 상기 도파관 가이드는 상기 도파관 중심선을 기준으로 내부에 상기 전기광학 소자가 이동하기 위한 홀이 형성된다.
이 실시예에 있어서, 상기 전기광학 소자 고정기는 상기 이동 가이드 상에서 회전할 수 있는 구조를 통해 상기 전기광학 소자를 회전시킬 수 있다.
이 실시예에 있어서, 상기 전자파 흡수체의 전면의 일부는 상기 도파관 중심선을 기준으로 미리 결정된 기울기를 갖는 경사면을 형성한다.
이 실시예에 있어서, 상기 전자파 흡수체는 상기 도파관 상에 상기 전기광학 소자의 전기광학소자결정이 후면으로부터 전면으로 이동하기 위한 홀이 형성된다.
이 실시예에 있어서, 상기 전기광학 소자 고정기는 상기 전기광학 소자로부터 최적의 응답 특성을 획득하기 위해 상기 이동 가이드 상에서 회전하는 구조를 갖는다.
본 발명의 전자파 전력 감지 장치는 전기광학 소자를 활용하여 전자파 전력을 측정함으로써, 넓은 대역의 주파수에서 전자파 전력을 측정할 수 있다. 또한, 전자파 전력 감지 장치는 비선형적인 다이오드와 같은 소자를 활용하지 않음으로써, 전자파 전력 감지의 선형성 확보를 통해 정확한 전자파 전력 감지를 할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 전자파 전력 감지 장치를 예시적으로 도시한 도면,
도 2는 도 1에 도시된 전자파 전력 감지 장치의 이동을 도시한 도면,
도 3은 도 1에 도시된 전기광학 소자를 예시적으로 도시한 도면,
도 4는 도 1에 도시된 전자파 전력 감지 장치에서 전기광학 소자가 평행판 사이에 위치하는 측단면을 예시적으로 도시한 도면,
도 5는 도 1에 도시된 전자파 전력 감지 장치에서 전기광학 소자가 도파관 내부에 위치하는 측단면을 예시적으로 도시한 도면,
도 6은 도 1에 도시된 전자파 전력 감지 장치를 이용한 전자파 전력 측정 시스템을 예시적으로 도시한 도면, 및
도 7은 도 6에 도시된 측정 장치를 예시적으로 도시한 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 하기의 설명에서는 본 발명에 따른 동작을 이해하는데 필요한 부분만이 설명되며 그 이외 부분의 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않도록 하기 위해 생략될 것이라는 것을 유의하여야 한다.
본 발명은 전자파 전력 감지를 위해 전기광학(EO: electro-optic) 소자를 이용하여 구현된 전자파 전력 감지 장치를 제공한다.
도 1은 본 발명에 따른 전자파 전력 감지 장치를 예시적으로 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 전자파 전력 감지 장치(10)는 도파관부(100)와 전기광학 소자부(200)를 포함한다. 전기광학 소자(210)는 전기광학 소자부(200)에 결합되어 도파관부(100)를 통해 유입된 전자파 전력을 감지한다.
우선, 도파관부(100)는 도파관(110), 전자파 흡수체(120), 도파관 가이드(130), 및 평행판(140)을 포함한다.
도파관(110)은 전자파 전력이 입사되는 경로로서 전자파 전력을 입사 방향으로 제공한다. 도파관(110)을 통해 전자파 전력이 입사되는 방향(30)을 기준으로 도파관 중심선(20)이 형성된다.
전자파 흡수체(120)는 도파관(110)의 종단에 결합된다. 전자파 흡수체(120)는 전자파 전력의 정확한 측정을 위해 도파관(110)으로부터 제공되는 전자파 전력을 흡수하여 반사가 일어나지 않도록 한다. 이때, 전자파 흡수체(120)는 도파관(110) 내부로 전기광학 소자(210)가 통과할 수 있는 홀을 내부에 형성한다.
도파관 가이드(130)는 도파관(110)과 전자파 흡수체(120)를 고정시키고, 일측은 전기광학 소자부(200) 내부로 삽입되는 형태를 갖는다. 도파관 가이드(130)는 전기광학 소자부(200)와 결합되는 일측면에 도파관(110)으로 전기광학 소자(210)가 이동하기 위한 내부 경로, 홀을 형성할 수 있다.
평행판(140)은 두 개의 판들, 즉 양극판(141)과 음극판(142)을 포함한다. 평행판(140)은 도파관(110)의 중심축을 기준으로 상하면에 상호 간에 평행하게 배치된다. 평행판(140)은 전자파 흡수체(120)를 기준으로 도파관(110)의 반대면에 위치한다. 이때, 전자파 흡수체(120)에서 전자파 전력이 입사되는 면을 전면으로 가정하면, 평행판(140)은 전자파 흡수체(120)의 후면에 위치한다.
여기서, 평행판(140)은 전기광학 소자를 통한 전자파 전력 측정 시 기준 신호를 획득하도록 한다. 이를 위해, 평행판(140)에는 직류(DC: Direct Current) 전압과 저주파 전압 중 하나의 전압을 기준 전압으로 인가할 수 있다. 기준 전압의 인가를 위해 평행판(140)에 전압 인가를 위한 도선(미도시)이 형성될 수 있다. 이때, 평행판(140)로 인가되는 기준 전압은 일예로, 외부의 기기(미도시) 또는 전자파 전력 감지 장치(100)에 포함된 기준 전압 생성기(미도시) 등을 통해 생성될 수 있다.
다음으로, 전기광학 소자부(200)는 전기광학 소자(210), 전기광학 소자 고정기(220), 및 이동 가이드(230)를 포함한다.
전기광학 소자(210)는 전자파 전력을 감지하기 위한 소자로 전자파 전력의 감지에 따라 전기적 신호를 발생하고, 전기적 신호를 출력한다.
전기광학 소자 고정기(220)는 전기광학 소자(210)를 움직이지 않도록 고정하고, 전기광학 소자(210)를 이동 가이드(230) 상에서 회전시킬 수 있는 형태, 일예로 원통 형태를 갖는다. 그러므로, 전기광학 소자 고정기(220)는 최적의 응답 특성을 획득하기 위한 위치를 가질 수 있도록 전기광학 소자(210)를 회전시킬 수 있다. 이를 위해, 전기광학 소자 고정기(220)는 이동 가이드(230) 상에 고정되지 않고, 회전이 가능하도록 홈, 나사, 탭 등과 같은 다양한 형태로 구현될 수 있다. 또한, 전기광학 소자 고정기(220)는 전기광학 소자(210)를 결합하기 위한 홈, 홀 등이 중심 부근에 형성될 수 있다.
이동 가이드(230)는 일측에서 전기광학 소자 고정기(220)와 결합되고, 타측에서 도파관 가이드(130)를 내부에 인입할 수 있는 형태를 갖는다. 이동 가이드(230)는 도파관 가이드(130) 상에서 이동을 통해서 전기광학 소자(210)의 위치를 조절할 수 있다.
이를 통해, 이동 가이드(230)는 기준 신호를 획득하기 위해서 평행판(140) 사이에 전기광학 소자(210)를 위치시키도록 도파관 가이드(130) 상에서 이동한다. 또한, 이동 가이드(230)는 전자파 전력을 감지하기 위해 도파관(110) 내부에 전기광학 소자(210)를 위치시키도록 도파관 가이드(130) 상에서 이동한다. 여기서, 도파관 중심선(20)을 기준으로 이동 가이드(230)의 이동 방향(40)이 예시적으로 도시된다.
이와 같이, 본 발명에서 제안된 전자파 전력 감지 장치(10)는 전기광학 소자(210)를 활용하여 전자파 전력을 감지함에 따라 전자파 전력을 측정을 위한 주파수 대역을 확장시킬 수 있으며, 선형성을 확보할 수 있다. 즉, 본 발명에서 제안된 전자파 전력 감지 장치(10)는 주파수 대역의 한계를 갖는 소자들 또는 비선형성을 갖는 소자들을 전자파 전력 감지에 활용하지 않고도, 전자파 전력을 측정할 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 전자파 전력 감지 장치의 이동을 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 전자파 전력 감지 장치(100)에서 도파관부(100)는 도파관 가이드(130)를 통해 전기광학 소자부(200)에 결합된다.
실제 전자파의 입사(30)에 따른 전자파 전력 측정 시에는 전기광학 소자(210)(특히, 전기광학 소자(210)의 끝(전기광학소자결정) 부분)가 도파관(110) 내부, 즉, 도파관(110) 내부의 전자파 흡수체(120) 전면에 위치하여야 한다.
이를 위해, 이동 가이드(230)는 도파관 가이드(130)를 내부에 인입하는 방향(즉, 전자파 전력이 입사되는 방향)으로 이동하면, 전기광학 소자는 도파관(110) 내부로 위치하게 된다.
이때, 전기광학 소자(210)는 도파관을 통해 입사되는 전자파 전력을 측정하고, 측정값을 출력한다.
도 3은 도 1에 도시된 전기광학 소자를 예시적으로 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 전기광학 소자(210)는 전기광학소자결정(211)과 광선로(212)로 구성될 수 있다. 여기서, 설명의 편의를 위하여 전기광학소자결정(211)과 광선로(212)를 하나의 전기광학 소자로 간주하여 설명하지만, 전기광학소자결정(211)만을 전기광학 소자로 간주할 수도 있다.
전기광학소자결정(211)은 전면을 통해 입사되는 전자파 전력에 따른 전기광학적으로 변조된 신호를 발생시킨다. 전기광학소자결정(211)은 전기광학적으로 변조된 신호를 광선로(212)로 전달한다.
광선로(212)는 전기광학적으로 변조된 신호를 측정 검출기 등으로 출력함으로서, 감지된 전자파 전력에 대응되는 전기적 신호를 측정 검출기 등으로 제공할 수 있다.
도 4는 도 1에 도시된 전자파 전력 감지 장치에서 전기광학 소자가 평행판(140) 사이에 위치하는 측단면을 예시적으로 도시한 도면이다.
도 4를 참조하면, 전기광학 소자(210)가 도파관부(100)의 평행판(140) 사이에 위치할 때, 평행판(140)의 양극판(141)과 음극판(142)에는 전기광학 소자(210)의 기준 신호(V_eo_ref)를 획득하기 위한 기준 전압, 직류(DC) 전압 또는 저주파 전압이 인가된다. 이때, 전기광학 소자(210)는 인가되는 직류 전압 또는 저주파 전압에 비례하여 전기 신호, 즉 기준 신호(V_eo_ref)를 출력한다.
한편, 평행판(140) 사이의 전기장은 양극판(141)과 음극판(142) 사이의 거리(d)와 평행판(140)에 인가된 전압(V)으로부터 유도된다. 전기광학 소자(210)는 전기장의 방향에 따라 응답 신호의 크기가 변화한다. 그러므로, 전기광학 소자 고정기(220)는 전기장이 생성된 평행판 사이에 위치한 전기광학 소자(210)를 회전시켜, 전기광학 소자(210)의 출력이 최대가 되는 지점에 위치하도록 조절할 수 있다.
기준 신호를 획득한 이후, 전기광학 소자(210)는 전자파 전력을 감지하기 위해 이동 가이드(230)를 통해 하기의 도 5와 같이 위치를 이동한다.
도 5는 도 1에 도시된 전자파 전력 감지 장치에서 전기광학 소자가 도파관 내부에 위치하는 측단면을 예시적으로 도시한 도면이다.
도 5를 참조하면, 전기광학 소자(210)가 도파관(110)의 내부에 위치하며, 전자파 흡수체(120)에 형성된 홀을 통과하여 도파관(110)의 내부로 이동한다. 도파관(110)으로 입사된 전자파 전력은 전자파 흡수체(120)에 전달되면, 전자파 전력이 열에너지로 변환되어 사라지므로, 전기광학 소자(210)에는 입사되는 전자파 전력만이 인가된다.
이때, 전자파 흡수체(120)는 전자파 전력이 입사되는 방향에 위치한 전면의 일부, 즉 도파관 내부에 인접한 부분은 전자파 전력의 입사 방향을 기준으로 미리 결정된 각도(X)만큼 기울어진 형태를 갖는다. 이와 같은 구조를 통해, 전자파 흡수체(120)에 도달한 전자파 전력을 열에너지로 변환하는 효율이 향상될 수 있다.
또한, 전기광학 소자(210)는 전자파 전력의 입사에 따른 전기적 신호, 감지 신호(V_eo_rf)를 출력한다.
도 6은 도 1에 도시된 전자파 전력 감지 장치를 이용한 전자파 전력 측정 시스템을 예시적으로 도시한 도면이다.
도 6을 참조하면, 전자파 전력 측정 시스템(300)은 전자파 전력 감지 장치(10)와 측정 장치(310)를 포함한다. 이때, 측정 장치(310)는 전자파 전력 감지 장치(10)로부터 출력된 기준 신호(V_eo_ref)와 감지 신호(V_eo_rf)를 수신할 수 있다.
측정 장치(310)는 전자파 전력 감지 장치(10)의 평행판(140) 사이의 제 1 위치에 전기광학 소자(210)가 위치할 때, 전기광학 소자(210)의 광선로(212)를 통해 기준 신호(V_eo_ref)를 수신할 수 있다.
이후, 측정 장치(310)는 전자파 전력 감지 장치(10)의 도파관(110) 내의 제 2 위치에 전기광학 소자(210)가 위치할 때, 전기광학 소자(210)의 광선로(212)를 통해 감지 신호(V_eo_rf)를 수신할 수 있다.
측정 장치(310)는 기준 신호(V_eo_ref)와 감지 신호(V_eo_rf)를 수신하고, 두 개의 신호들 간의 비교를 통해 수신된 전자파 전력을 측정할 수 있다.
한편, 측정 시스템(300)은 전자파 전력 발생기(320)를 추가로 구비할 수도 있다. 이때, 전자파 전력 발생기(320)는 다양한 주파수 대역에 따른 전자파 전력을 발생시킨다.
측정 장치(310)는 전기광학 소자(210)를 통해 기준 신호(V_eo_ref)를 수신하고, 전자파 전력 발생기(320)에서 다양한 주파수 대역의 전자파 전력을 출력하도록 전자파 전력 발생기(320)를 제어한다. 이때, 측정 장치(310)는 다양한 주파수 대역의 감지 신호(V_eo_rf)를 수신하면, 기준 신호(V_eo_ref)와의 비교를 통해 전기광학 소자(210)의 특성 및 교정을 제공할 수 있다.
전자파 전력 감지 장치(10)에서 전기광학 소자(210)를 다른 전기광학 소자로 교체하여 다수의 전기광학 소자들 각각의 특성 및 교정을 할 수 있다.
도 7은 도 6에 도시된 측정 장치를 예시적으로 도시한 도면이다.
도 7을 참조하면, 측정 장치(310)는 전자파 전력 측정부(311), 입력부(312), 제어부(313), 및 출력부(314)를 포함한다.
이때, 전자파 전력 측정부(311)는 전기광학 소자(210)의 광선로를 통해 입력되는 전기적 신호를 측정한다. 전자파 전력 측정부(311)는 기준 신호(V_eo_ref)와 감지 신호(V_eo_rf)의 전기적 신호를 측정하고, 측정값을 출력부(314)로 출력한다.
입력부(312)는 측정 장치(310)의 동작을 위한 사용자 제어 신호 등을 수신할 수 있다. 입력부(312)는 사용자 제어 신호를 제어부(313)로 출력할 수 있다. 이를 위해, 입력부(312)는 마우스, 키보드, 터치패드, 전자펜 등과 같은 다양한 형태의 입력 기기들를 통해 사용자 제어 신호를 입력받을 수 있다.
제어부(313)는 측정 장치(310)의 전반적인 동작을 제어한다. 제어부(313)는 전자파 전력 측정부를 통해 수신된 측정값을 분석하고, 분석된 전자파 전력을 출력부(314)를 통해 출력하도록 제어할 수 있다. 또한, 제어부(313)는 전자파 전력 발생기(320)가 존재할 경우, 전자파 전력 제어부(320)에서 특정 주파수 대역에서 전자파 전력을 출력하도록 전자파 전력 발생기(320)를 제어할 수도 있다.
출력부(314)는 제어부(313)를 통해 출력되는 전자파 전력을 디스플레이부와 같은 출력 기기를 통해 출력할 수 있다.
이와 같이, 본 발명에서 제안된 전자파 전력 감지 장치는 미소열량계와 같은 정밀전자파 전력 측정 장치에 장착되어 기준 표준기로 활용될 수도 있다.
한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 본 발명의 범위는 상술한 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 발명의 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
10: 전자파 전력 감지 장치 100: 도파관부
110: 도파관 120: 전자파 흡수체
130: 도파관 가이드 140(141, 142): 평행판
200: 전기광학 소자부 210: 전기광학 소자
211: 전기광학소자결정 212: 광선로
220: 전기광학 소자 고정기 230: 이동 가이드
300: 전자파 전력 측정 시스템 310: 측정 장치
311: 전자파 전력 측정부 312: 입력부
313: 제어부 314: 출력부
320: 전자파 전력 발생기

Claims (19)

  1. 삭제
  2. 전자파 전력이 입사되는 도파관;
    상기 도파관의 종단에 위치하여 전면을 통해 입사되는 전자파 전력을 흡수하는 전자파 흡수체;
    상기 전자파 흡수체의 후면 방향으로 위치하고, 상기 도파관의 중심선을 기준으로 상하에 배치된 평행판;
    상기 도파관과 상기 전자파 흡수체를 고정시키고, 상기 평행판이 위치하는 도파관 가이드;
    상기 전자파 전력을 감지하는 전기광학 소자;
    상기 전기광학 소자가 결합되는 전기광학 소자 고정기; 및
    상기 전기광학 소자 고정기에 결합되고, 전자파 전력 감지를 위해 상기 도파관 가이드 내부와 상기 도파관 내부로의 상기 전기광학 소자의 이동을 조절하는 이동 가이드를 포함하고,
    상기 이동 가이드는 기준 신호 측정을 위해 상기 평행판 사이에 상기 전기광학 소자를 위치하도록 조절하고, 전자파 전력 감지 신호 측정을 위해 상기 전자파 흡수체의 전면에 위치한 도파관 내부에 상기 전기광학 소자를 위치하도록 조절할 수 있는 전자파 전력 감지 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 평행판은 직류 전압과 저주파 전압 중 하나의 전압을 기준 전압으로 인가받는 전자파 전력 감지 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 평행판은 양극판과 음극판을 포함하고,
    상기 양극판과 음극판은 상기 도파관 가이드 상에서 상호 간에 평행하게 배치되는 전자파 전력 감지 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 도파관 가이드는 상기 양극판의 삽입을 위한 양극판 삽입 홈과 상기 음극판의 삽입을 위한 음극판 삽입 홈이 형성되는 전자파 전력 감지 장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 도파관 가이드는 상기 도파관 중심선을 기준으로 내부에 상기 전기광학 소자가 이동하기 위한 홀이 형성되는 전자파 전력 감지 장치.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 전기광학 소자 고정기는 상기 이동 가이드 상에서 회전할 수 있는 구조를 통해 상기 전기광학 소자를 회전시킬 수 있는 전자파 전력 감지 장치.
  8. 제 2 항에 있어서,
    상기 전자파 흡수체의 전면의 일부는 상기 도파관 중심선을 기준으로 미리 결정된 기울기를 갖는 경사면을 형성하는 전자파 전력 감지 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 전자파 흡수체는 상기 도파관 상에 상기 전기광학 소자의 전기광학소자결정이 후면으로부터 전면으로 이동하기 위한 홀이 형성된 전자파 전력 감지 장치.
  10. 제 2 항에 있어서,
    상기 전기광학 소자 고정기는 상기 전기광학 소자로부터의 출력이 최대가 되는 지점에 상기 전기광학 소자가 위치하도록 상기 전기광학 소자를 회전시키는 전자파 전력 감지 장치.
  11. 전기광학 소자를 통해 기준 신호와 전자파 전력 신호의 감지에 따른 감지 신호를 출력하는 전자파 전력 감지 장치; 및
    상기 기준 신호와 상기 감지 신호를 수신하여 전자파 전력을 측정하는 측정 장치를 포함하고,
    상기 전자파 전력 감지 장치는,
    상기 전자파 전력이 입사되는 도파관;
    상기 도파관의 종단에 위치하여 전면을 통해 입사되는 전자파 전력을 흡수하는 전자파 흡수체;
    상기 전자파 흡수체의 후면 방향으로 위치하고, 상기 도파관의 중심선을 기준으로 상하에 배치된 평행판;
    상기 도파관과 상기 전자파 흡수체를 고정시키고, 상기 평행판이 위치하는 도파관 가이드;
    상기 전자파 전력을 감지하는 전기광학 소자;
    상기 전기광학 소자가 결합되는 전기광학 소자 고정기; 및
    상기 전기광학 소자 고정기에 결합되어 상기 기준 신호의 출력을 위해 상기 전기광학 소자를 상기 평행판 사이에 위치시키고, 상기 감지 신호의 출력을 위해 상기 전기광학 소자를 상기 도파관 가이드 내부에 위치시키도록 조절하는 이동 가이드를 포함하는 시스템.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 측정 장치의 제어를 통해 상기 전자파 전력 감지 장치로 다양한 주파수 대역에 따른 전자파 전력 신호를 출력하는 전자파 전력 발생기를 더 포함하는 시스템.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 평행판은 상기 도파관 가이드 상에 서 상호 간에 평행하게 배치된 양극판과 음극판을 포함하고,
    상기 양극판과 상기 음극판에 직류 전압과 저주파 전압 중 하나의 전압을 기준 전압으로 인가받는 시스템.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 도파관 가이드는 상기 양극판의 삽입을 위한 양극판 삽입 홈과 상기 음극판의 삽입을 위한 음극판 삽입 홈이 형성되는 시스템.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 도파관 가이드는 상기 도파관의 중심선을 기준으로 내부에 상기 전기광학 소자가 이동하기 위한 홀이 형성되는 시스템.
  16. 제 11 항에 있어서,
    상기 전기광학 소자 고정기는 상기 이동 가이드 상에서 회전할 수 있는 구조를 통해 상기 전기광학 소자를 회전시킬 수 있는 시스템.
  17. 제 11 항에 있어서,
    상기 전자파 흡수체의 전면의 일부는 상기 도파관의 중심선을 기준으로 미리 결정된 기울기를 갖는 경사면을 형성하는 시스템.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 전자파 흡수체는 상기 도파관 상에 상기 전기광학 소자의 전기광학소자결정이 후면으로부터 전면으로 이동하기 위한 홀이 형성된 시스템.
  19. 제 11 항에 있어서,
    상기 전기광학 소자 고정기는 상기 전기광학 소자로부터의 출력이 최대가 되는 지점에 상기 전기광학 소자가 위치하도록 상기 전기광학 소자를 회전시키는 시스템.
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