KR101688197B1 - Apparatus and method for detecting particulate matter using electromagnetic induction - Google Patents
Apparatus and method for detecting particulate matter using electromagnetic induction Download PDFInfo
- Publication number
- KR101688197B1 KR101688197B1 KR1020140185862A KR20140185862A KR101688197B1 KR 101688197 B1 KR101688197 B1 KR 101688197B1 KR 1020140185862 A KR1020140185862 A KR 1020140185862A KR 20140185862 A KR20140185862 A KR 20140185862A KR 101688197 B1 KR101688197 B1 KR 101688197B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- electrode
- magnetic field
- measuring
- exhaust gas
- power
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 title description 17
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 title 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims abstract description 61
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 54
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 7
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 claims description 2
- 239000004071 soot Substances 0.000 abstract description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 28
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N Nitric oxide Chemical compound O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 3
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01N—GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR INTERNAL COMBUSTION ENGINES
- F01N11/00—Monitoring or diagnostic devices for exhaust-gas treatment apparatus, e.g. for catalytic activity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/20008—Constructional details of analysers, e.g. characterised by X-ray source, detector or optical system; Accessories therefor; Preparing specimens therefor
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
- Y02T10/00—Road transport of goods or passengers
- Y02T10/10—Internal combustion engine [ICE] based vehicles
- Y02T10/40—Engine management systems
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Immunology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
Abstract
본 발명은 자동차 배기 가스 내 함유된 매연과 같은 입자를 검출하는 센서에 관한 것으로서, 구체적으로 배기가스와 접촉하는 평판형 전극과 맴돌이 전류를 유도하도록 이격 배치된 자기장 유도전극을 구비하여 입자가 축적됨에 따라 변하는 소비전력을 측정하여 입자의 농도를 측정하는 센서에 관한 것이다.[0001] The present invention relates to a sensor for detecting particles such as soot contained in automobile exhaust gas, and more particularly to a flat-plate type electrode contacting with exhaust gas and a magnetic field induction electrode spaced apart to induce an eddy current, And a sensor for measuring the concentration of particles by measuring the power consumption which varies depending on the temperature.
Description
본 발명은 자동차 배기 가스 내 함유된 매연과 같은 입자를 검출하는 센서에 관한 것으로서, 구체적으로 배기가스와 접촉하는 평판형 전극과 맴돌이 전류를 유도하도록 이격 배치된 자기장 유도전극을 구비하여 입자가 축적됨에 따라 변하는 소비전력을 측정하여 입자의 농도를 측정하는 센서에 관한 것이다.[0001] The present invention relates to a sensor for detecting particles such as soot contained in automobile exhaust gas, and more particularly to a flat-plate type electrode contacting with exhaust gas and a magnetic field induction electrode spaced apart to induce an eddy current, And a sensor for measuring the concentration of particles by measuring the power consumption which varies depending on the temperature.
자동차 배기가스의 규제가 강화됨에 따라 유해성분 배출을 줄이거나 정화하기 위한 장치에 대해 관심이 높아지고 있다. 유해성분 중 특히 입자상 물질(Particular Matter; PM)에 대한 규제가 엄격해지고 있으며, 산화촉매, 질소산화물 촉매 및 매연 여과장치를 이용하여 여과하는 배기가스 저감장치가 개발되고 있다.As regulations for automobile exhaust gas are strengthened, attention is increasing to devices for reducing or purifying harmful component emissions. Particularly, particulate matter (PM) among the harmful components has been strictly regulated, and an exhaust gas reduction apparatus for filtering by using an oxidation catalyst, a nitrogen oxide catalyst and a soot filtering apparatus is being developed.
이러한 배기가스 저감장치의 고장여부를 진단하기 위해 매연입자를 검출하는 센서를 후단측, 즉 배기가스가 필터를 통과하고 배기되는 유로에 배치한다.In order to diagnose the failure of the exhaust gas reduction device, a sensor for detecting soot particles is disposed on the downstream side, that is, a flow path through which the exhaust gas passes through the filter.
종래의 기술로는, 미국공개 특허공보 제2009-0126458호는 저항측정형 입자검출센서를 개시하고 있다. 절연성 엘리먼트의 표면에 서로 이격된 전극이 형성되어 있고 전극 사이에 입자가 누적됨에 따라 각 전극을 서로 연결하면서 전류가 흐르게 된다. 입자는 저항으로 작용하므로 시간이 지남에 따라 점차 저항이 감소하고 전류가 증가하는 원리를 이용하여 입자의 농도를 측정한다.In the prior art, U.S. Patent Application Publication No. 2009-0126458 discloses a resistance measurement type particle detection sensor. Electrodes spaced apart from each other are formed on the surface of the insulating element. As the particles accumulate between the electrodes, current flows while connecting the electrodes. Since the particles act as resistors, the concentration of the particles is measured using the principle that the resistance gradually decreases and the current increases over time.
또한, 일본특허 등록공보 제4898902호는 정전용량측정형 입자검출센서를 개시하고 있다. 절연성 엘리먼트의 내부에 전극을 배치하고 배기가스와 접하는 외부전극을 배치한 센서구조이다. 전극 양단에 인가되는 초기전압과 입자가 외부 전극들 사이에 누적되면서 외부전극의 면적이 변화함에 따라 전극 양단의 전압이 변화하는 원리를 이용하여 입자를 측정한다.Japanese Patent Registration No. 4898902 discloses a capacitance measurement type particle detection sensor. An electrode is disposed inside the insulating element and an external electrode contacting the exhaust gas is disposed. Particles are measured using the principle that the voltage across the electrode varies as the initial voltage applied to both ends of the electrode and the area of the external electrode are accumulated while the particles accumulate between the external electrodes.
하지만, 종래의 저항측정방식의 입자검출센서는 전기전도성을 가지는 입자가 전극사이에 부착되는 경우 신호의 왜곡이 발생할 수 있고, 입자가 히팅과정을 통해 소멸되지 않음으로써 고장이 발생할 수 있다. 또 정전용량 측정방식의 입자검출센서도 외부들 사이에 입자가 히팅에 의해 소멸되지 않는 경우 성능의 급격한 저하가 발생되며 전기전도성을 가지는 입자가 부착되는 경우 정전용량의 변화에 따른 왜곡이 발생할 수 있는 한계점이 있었다.However, in the conventional particle detection sensor of the resistance measuring method, when particles having electrical conductivity are attached between the electrodes, signal distortion may occur, and failures may occur due to the particles not being destroyed through the heating process. In addition, the particle detection sensor of the capacitance measurement type also shows a sudden drop in performance when particles are not destroyed by heating, and when particles having electrical conductivity are attached, distortion due to the change in capacitance may occur There was a limit.
종래의 측정방식의 한계를 극복함과 동시에, 내구성 및 측정의 신뢰성이 개선된 방식의 입자센서에 대한 수요가 증대되고 있는 실정이다.There is a growing demand for a particle sensor that overcomes the limitations of conventional measurement methods and has improved durability and reliability of measurement.
본 발명의 목적은, 자동차 배기 가스 내 함유된 매연과 같은 입자를 검출하는 센서에 관한 것으로서 배기가스와 접촉하는 평판형 전극과 맴돌이 전류를 유도하도록 이격 배치된 자기장 유도전극을 구비하여 입자가 축적됨에 따라 변하는 소비전력을 측정하여 입자의 농도를 측정하는 센서를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a sensor for detecting particles such as soot contained in automobile exhaust gas, comprising a plate-like electrode in contact with an exhaust gas and a magnetic field induction electrode spaced apart to induce an eddy current, And to provide a sensor for measuring the concentration of particles by measuring the power consumption which varies accordingly.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 전류유도 방식의 입자 검출센서는 한쌍의 대향면을 구비하는 절연성 기체; 상기 한쌍의 대향면 중 일면에 배치되어 배기가스와 접촉하는 평판형 전극; 및 상기 한쌍의 대향면 중 타면 또는 상기 절연성 기체의 내부에 형성된 자기장 유도전극을 구비한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a current-induced particle detection sensor comprising: an insulating substrate having a pair of opposed surfaces; A planar electrode disposed on one surface of the pair of opposing surfaces and in contact with the exhaust gas; And a magnetic field induction electrode formed on the other of the pair of opposing surfaces or inside the insulating base.
이 때, 상기 자기장 유도전극은 교류전원이 인가되어 유도자기장을 생성하고, 상기 평판형 전극은 상기 유도자기장에 의해 맴돌이 전류가 생성된다.At this time, the magnetic field induction electrode generates an induced magnetic field by applying AC power, and eddy current is generated by the induced magnetic field in the planar electrode.
이 때, 상기 유도자기장은 [수학식 1]에 의해 산출되고, 상기 맴돌이 전류로 인하여 상기 평판형 전극에서 소비되는 소비전력은 [수학식 2]에 의해 산출될 수 있다.In this case, the induced magnetic field is calculated according to Equation (1), and the power consumption consumed by the flat plate-shaped electrode due to the eddy current can be calculated by Equation (2).
[수학식 1][Equation 1]
(여기서, B는 자기장(T)의 세기, k는 2π·10- 7 인 상수(T·m/A), I는 전류의 세기(A), r은 원의 반지름(m))
(Wherein, B is the strength of the magnetic field (T), k is 2π · 10 - 7, a constant (T · m / A), I is the intensity of electric current (A), r is the radius (m) of a circle)
[수학식 2]&Quot; (2) "
(여기서, P는 단위 질량당 소비전력(W/kg), Bp는 최대 자기장 세기(T), d는 평판형 전극의 두께(m), f는 주파수(Hz), k는 1인 상수, ρ는 평판형 전극의 저항(Ω·m), D는 평판형 전극의 밀도(kg/m3))(Wherein, P is 1, a constant consumption power (W / kg), B p per unit mass is the maximum field strength (T), d is the thickness (m of the plate-like electrode), f is the frequency (H z), k , ρ is the resistance (Ω · m) of the flat plate type electrode, and D is the density (kg / m 3 ) of the flat plate type electrode)
이 때, 상기 자기장 유도전극과 상기 평판형 전극은 서로 평행하고 배치되고, 상기 자기장 유도전극은 전원공급부와 전기적으로 연결되고, 상기 평판형 전극은 측정장치와 전기적으로 연결될 수 있다.At this time, the magnetic field induction electrode and the plate-like electrode are arranged in parallel to each other, the magnetic field induction electrode is electrically connected to the power supply unit, and the plate-like electrode can be electrically connected to the measurement device.
이 때, 상기 평판형 전극과 상기 자기장 유도전극 사이 또는 상기 평판형 전극으로부터 상기 자기장 유도전극까지 거리보다 더 이격된 위치에 형성된 히터를 구비할 수 있다.At this time, a heater may be provided at a position spaced more than a distance between the planar electrode and the magnetic field induction electrode or between the planar electrode and the magnetic field induction electrode.
또한, 본 발명에 따른 전류유도 방식의 입자 검출방법은 서로 평행하게 이격배치된 평판형 전극 및 자기장 유도전극을 구비하는 센서를 이용한 입자 측정방법에 있어서, 상기 평판형 전극을 배기가스에 노출시키는 단계; 상기 자기장 유도전극에 교류전원를 인가하여 유도자기장을 생성하는 단계; 상기 유도자기장으로 인하여 상기 평판형 전극에 형성되는 소비전력을 측정하는 단계; 및 상기 배기가스에 포함된 입자성 물질의 누적에 따라 변화하는 상기 소비전력의 변화를 측정하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a particle detection method using a sensor including a flat plate-type electrode and a magnetic field induction electrode disposed parallel to and spaced from each other, the method comprising: exposing the flat plate- ; Generating an induced magnetic field by applying an AC power to the magnetic field induction electrode; Measuring power consumption of the planar electrode due to the induced magnetic field; And measuring a change in the power consumption that varies depending on the accumulation of the particulate matter contained in the exhaust gas.
본 발명에 따르면, 히터의 가열로 입자성 물질을 태워 없애버리는 경우에 있어서, 전기전도성의 입자성 물질이 배기가스에 노출된 외부의 전극에 일부 남아있게 되더라도 센서의 영구적인 고장이 발생되지 않는다.According to the present invention, in the case of burning particulate matter by heating the heater, even if the electrically conductive particulate matter remains partially in the external electrode exposed to the exhaust gas, the permanent failure of the sensor does not occur.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 전류유도 방식의 입자 검출센서에 대한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 전류유도 방식의 입자 검출센서에 대한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 전류유도 방식의 입자 검출센서에 대한 평면도이다.
도 4(a) 내지 도 4(c)는 본 발명의 제1 실시예에 따른 전류유도 방식의 입자 검출센서에 대한 배면도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 대한 전류유도 방식의 입자 검출센서의 단면도이다.
도 6(a) 내지 도 6(d)는 본 발명의 제3 내지 제 6실시예에 대한 전류유도 방식의 입자 검출센서의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 대한 전류유도 방식의 입자 검출방식에 대한 순서도이다.1 is a perspective view of a current-induced particle detection sensor according to a first embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view of a current-induced particle detection sensor according to a first embodiment of the present invention.
3 is a plan view of a particle detection sensor of a current induction type according to the first embodiment of the present invention.
4 (a) to 4 (c) are rear views of the current induction type particle detection sensor according to the first embodiment of the present invention.
5 is a sectional view of a current induction type particle detection sensor according to a second embodiment of the present invention.
6 (a) to 6 (d) are cross-sectional views of a current induction type particle detection sensor according to the third to sixth embodiments of the present invention.
7 is a flowchart of a current induction type particle detection method according to an embodiment of the present invention.
본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서, 반복되는 설명, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능, 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 본 발명의 실시형태는 당 업계에서 평균적인 지식을 명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.The present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings. Hereinafter, a repeated description, a known function that may obscure the gist of the present invention, and a detailed description of the configuration will be omitted. Embodiments of the present invention are provided to give average knowledge in the art. Accordingly, the shapes and sizes of the elements in the drawings and the like can be exaggerated for clarity.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1 내지 도 4는 본 발명의 제1 실시예와 관련있는 것으로써, 전류유도 방식의 입자 검출센서에 대한 사시도, 단면도(A-A'), 평면도, 배면도이다. 본 발명의 제1 실시예는 한쌍의 대향면을 구비하는 절연성 기체(1), 한쌍의 대향면 중 일면에 배치되어 배기가스와 접촉하는 평판형 전극(2) 및 한쌍의 대향면 중 타면에 형성된 자기장 유도전극(3)을 구비한다.Figs. 1 to 4 are a perspective view, a cross-sectional view (A-A '), a plan view, and a rear view, respectively, of a current induction type particle detection sensor according to a first embodiment of the present invention. A first embodiment of the present invention is an exhaust gas purifier comprising an insulating base (1) having a pair of opposed faces, a flat electrode (2) arranged on one face of the pair of opposed faces and in contact with the exhaust gas, And a magnetic field induction electrode (3).
도 5는 본 발명의 제2 실시예와 관련있는 것으로써, 전류유도 방식의 입자 검출센서의 단면도이다. 본 발명의 제2 실시예는 한쌍의 대향면을 구비하는 절연성 기체(1), 한쌍의 대향면 중 일면에 배치되어 배기가스와 접촉하는 평판형 전극(2) 및 절연성 기체(1)의 내부에 형성된 자기장 유도전극(3)을 구비한다.5 is a cross-sectional view of a current induction type particle detection sensor according to a second embodiment of the present invention. A second embodiment of the present invention is an
도 6(a)은 본 발명의 제3 실시예와 관련있는 것으로써, 전류유도 방식의 입자 검출센서의 단면도이다. 본 발명의 제3 실시예는 한쌍의 대향면을 구비하는 절연성 기체(1), 한쌍의 대향면 중 일면에 배치되어 배기가스와 접촉하는 평판형 전극(2), 한쌍의 대향면 중 타면에 형성된 자기장 유도전극(3) 및 절연성 기체(1)의 내부에 형성된 히터(4)를 구비한다.6 (a) is a cross-sectional view of a current induction type particle detection sensor in connection with a third embodiment of the present invention. A third embodiment of the present invention is an exhaust gas purifying apparatus comprising an
도 6(b)는 본 발명의 제4 실시예와 관련있는 것으로써, 전류유도 방식의 입자 검출센서의 단면도이다. 본 발명의 제4 실시예는 한쌍의 대향면을 구비하는 절연성 기체(1), 한쌍의 대향면 중 일면에 배치되어 배기가스와 접촉하는 평판형 전극(2), 절연성 기체(1)의 내부에 형성된 자기장 유도전극(3) 및 한쌍의 대향면 중 타면에 배치되는 히터(4)를 구비한다.6 (b) is a cross-sectional view of a current induction type particle detection sensor according to a fourth embodiment of the present invention. In a fourth embodiment of the present invention, an
도 6(c)는 본 발명의 제5 실시예와 관련있는 것으로써, 전류유도 방식의 입자 검출센서의 단면도이다. 본 발명의 제5 실시예는 한쌍의 대향면을 구비하는 절연성 기체(1), 한쌍의 대향면 중 일면에 배치되어 배기가스와 접촉하는 평판형 전극(2), 절연성 기체(1)의 내부에 형성된 히터(4) 및 평판형 전극(2)과 히터(4) 사이에 배치된 자기장 유도전극(3)를 구비한다.6 (c) is a cross-sectional view of a current induction type particle detection sensor according to a fifth embodiment of the present invention. A fifth embodiment of the present invention relates to an
도 6(d)는 본 발명의 제6 실시예와 관련있는 것으로써, 전류유도 방식의 입자 검출센서의 단면도이다. 본 발명의 제6 실시예는 한쌍의 대향면을 구비하는 절연성 기체(1), 한쌍의 대향면 중 일면에 배치되어 배기가스와 접촉하는 평판형 전극(2), 절연성 기체(1)의 내부에 형성된 자기장 유도전극(3) 및 평판형 전극(2)과 자기장 유도전극(3) 사이에 배치된 히터(4)를 구비한다.FIG. 6 (d) is a cross-sectional view of a current induction type particle detection sensor according to a sixth embodiment of the present invention. FIG. A sixth embodiment of the present invention is a semiconductor device comprising an insulative base body (1) having a pair of opposing faces, a planar electrode (2) arranged on one surface of the pair of opposing faces and in contact with the exhaust gas, And a
도 7은 본 발명의 실시예에 대한 전류유도 방식의 입자 검출방법에 대한 순서도로써, 도 1에 도시된 전류유도 방식의 입자 검출센서의 평판형 전극이 배기가스에 노출되도록 배치하고(S10), 자기장 유도전극으로 교류전원을 인가하며(S20), 평판형 전극의 전력을 측정하고(S30), 변화되는 전력을 기반으로 입자성 물질을 감지 또는 농도를 산출한다.FIG. 7 is a flow chart of a current induction type particle detection method according to an embodiment of the present invention, in which the flat electrode of the current induction type particle detection sensor shown in FIG. 1 is exposed to exhaust gas (S10) The AC power is applied to the magnetic field induction electrode (S20), the power of the plate electrode is measured (S30), and the particulate matter is detected or the concentration is calculated based on the changed electric power.
이하에서는 본 발명의 입자 검출장치에 형성된 절연성 기체에 대하여 설명한다.Hereinafter, an insulating substrate formed in the particle detecting device of the present invention will be described.
본 발명의 절연성 기체(1)는 적어도 한쌍의 대향면을 가지는 절연성 재질로 구성된 기판을 의미한다. 종래의 기판인 탄화규소, 산화지르코늄, 이산화티타늄, 알루미나 또는 실리카 세라믹 등의 재질로 구성될 수 있다. 기체의 형상은 제한되지 않으나 설명의 편의상 직육면체를 가정하여 설명한다. 절연성 기체(1)는 복수의 층이 적층되어 하나의 절연층을 형성할 수도 있다. 또한, 대향되는 양면을 가지면 족하며 배기가스의 유동과 마주하는 면을 일면으로 평판형 전극(2)을 배설할 수 있는 면적을 구비한다. 일면과 마주하는 타면은 자기장 유도전극(3) 또는 히터(4)가 형성될 수 있다.The
이하에서는 본 발명의 입자 검출장치에 형성된 평판형 전극에 대해 설명한다.Hereinafter, a flat electrode formed in the particle detecting device of the present invention will be described.
본 발명의 평판형 전극(2)은 절연성 기체(1)의 일면에 형성되며 전기가 통하는 판 형상의 전극을 의미한다. 평판형 전극(2)은 배기가스와 마주하도록 절연성 기체(1)의 외부면에 배설된다. 평판형 전극은 변화되는 전력 또는 전기적 특성을 측정하기 위해 측정장치(미도시)와 전기적으로 연결되어 있다.The planar electrode (2) of the present invention means a plate-shaped electrode formed on one surface of an insulating substrate (1) and electrically conductive. The plate-
형상의 특별한 한정은 없으나, 도 3과 같이 사각형의 평판형일 수 있고, 원형(미도시)일 수 있으며 그 외 맴돌이 전류가 형성될 수 있는 다른 평탄면을 가지는 전극으로 대체될 수 있다.Although there is no particular limitation on the shape, it may be a rectangular flat plate shape as shown in FIG. 3, may be circular (not shown), and may be replaced with an electrode having another flat surface on which other eddy currents can be formed.
평판형 전극(2)은 측정 대상인 입자상 물질이 부착되며, 유도되는 전류의 변화 또는 전력의 변화를 이용하여 입자의 농도를 측정한다. 평판형 전극(2)은 자기장 유도전극(3)과 이격배치되고, 자기장 변화에 따라 유도된 전류(Ieddy)가 평판형 전극(2) 내부를 순환한다. 다시 말해, 외부의 자기장 변화에 의해 전극 내부에 폐회로를 구성하여 흐르는 유도전류를 맴돌이 전류 또는 와전류(eddy current, Ieddy)라 하며, 입자상 물질의 부착에 따라 변화하는 소비전력을 측정하여 입자상 물질의 농도를 측정한다.The
측정대상은 전력일 수 있으며, 전압일 수도 있다. 입자성 물질의 부착에 따라 변화되는 전기적 특성을 가지는 다른 물성 역시 측정대상이 될 수 있다. 평판형 전극(2)은 특별히 한정되지 않으나, 맴돌이 전류가 유도되는데 유리하도록 금속 재질로 구성됨이 바람직하다.The measurement object may be a power or a voltage. Other physical properties that have electrical properties that vary with the attachment of particulate matter can also be measured. The plate-
이하에서는 본 발명의 입자 검출장치에 형성된 자기장 유도전극에 관하여 설명한다.Hereinafter, the magnetic field induction electrode formed in the particle detector of the present invention will be described.
본 발명의 자기장 유도전극(3)은 적어도 한쌍의 대향면 중 타면 또는 절연성 기체(1)의 내부에 형성되며 전기가 통하는 전극을 의미한다. 즉, 자기장 유도전극(3)은 평판형 전극(2)과 대향되게 배치되며, 자기장이 형성될 수 있도록 배설된다. 형상에 있어서 한정되지는 않으나, 도 4(a)와 같이 원형으로 배선될 수 있고, 도 4(b) 또는 도 4(c)와 같이 코일형일 수 있다. 자기장을 유도하여 평판형 전극에 맴돌이 전류를 형성할 수 있는 다른 형상으로 대체할 수 있다. 자기장 유도전극은 외부로부터 교류전원을 인가받을 수 있도록 전원공급부(미도시)와 전기적으로 연결되어 있다.The magnetic
자기장 유도전극의 양단은 전기가 흐르도록 회로가 배설되며, 주기를 가지는 교류전원이 인가된다. 여기서 교류전원으로는 정현파, 구현파, 펄스파 등 교류전류 또는 교류전압이며 도 2와 같이 자기장 유도전극(3) 주변으로 자기장(B)의 변화를 형성한다. 전기가 잘 흐를 수 있도록 금속성 재질로 구성됨이 바람직하다.Both ends of the magnetic field induction electrode are provided with a circuit so that electricity flows, and alternating current power having a period is applied. Here, an AC power source is an alternating current or alternating voltage such as a sinusoidal wave, an implementation wave or a pulse wave, and forms a change of the magnetic field B around the magnetic
도 4에 도시된 바와 같이 자기장 유도전극(3)은 절연층 기체(1)에 직접 배설될 수 있지만, 절연층 기체(1)와 독립적인 별도의 자기장 유도층(30)에 동심원을 중심으로 권취 형성될 수 있다. 즉, 자기장 유도전극(3)은 한쌍의 대향면을 가지는 자기장 유도층에 배설되며, 일단과 타단이 서로 다른 면에 마주보도록 형성될 수 있다. 일단과 타단은 터미널과 전기적으로 연결되어 외부로부터 교류전원을 인가받는다.The magnetic
도 5에 도시된 바와 같이 자기장 유도전극(3)은 절연성 기체(1) 내부에 배설될 수 있다. 절연성 기체(1)의 내부에 배치되는 경우, 외부의 영향을 감소시켜 측정값의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.As shown in Fig. 5, the magnetic
이하에서는 본 발명의 입자 검출장치에 형성되는 히터에 대해 설명한다.Hereinafter, the heater formed in the particle detecting apparatus of the present invention will be described.
본 발명의 히터(4)는 절연성 기체(1)의 내부 또는 타면에 형성되며 외부의 전력을 인가받아 발열하는 열선을 의미한다. 히터(4)는 종래의 입자상 센서에서 배설된 열선배치가 적용될 수 있으며, 기타 제어방식에 의해 전력을 공급받을 수 있다. 히터(4)는 발열로 절연성 기체(1) 또는 평판형 전극(2)에 부착된 입자를 태우며 이를 버닝(burning)이라 한다. 히터(4)는 전기가 통함으로써 발열이 가능한 면적층 또는 저항을 가진 열선으로 구성될 수 있다.The
히터는 도 6과 같이 절연성 기체(1)의 내부에 배치되거나, 외부에 배치될 수 있다. 평판형 전극(2)과 자기장 유도전극(3) 사이에 배치될 수도 있으며, 자기장 유도전극(3)을 중심으로 평판형 전극(2)과 대향되게 배치될 수도 있다.The heater may be disposed inside the insulating
이하에서는, 본 발명의 전류유도 방식의 입자검출 센서를 이용하여 입자를 측정하는 검출방법에 대해 설명한다.Hereinafter, a detection method for measuring particles using the current induced particle detection sensor of the present invention will be described.
본 발명의 전류유도 방식의 입자 검출센서는 우선, 배기가스에 평판형 전극(2)을 노출시킨다(S10). 자기장 유도전극(3)이 아닌 평판형 전극(2)에 입자성 물질(PM)이 부착될 수 있도록 도 1과 같이 배기가스의 유동방향과 수직하게 배치될 수 있거나, 배기가스의 유동방향과 평행하도록 유동파이프의 일면에 배치될 수도 있다.The current induced particle detection sensor of the present invention first exposes the
단계(S10)이후, 자기장 유도전극(3)으로 교류전원을 인가한다(S20). 이 때, 인가되는 교류전원은 자기장(B)을 유도생성할 수 있는 것으로써, 일정 주파수를 가진 교류전류 또는 교류전압이다. 교류전원은 외부에서 인가되는 주기를 가진 전원으로써 직류전원과 구별되는 개념이다. 교류전원을 인가함으로써 자기장 유도전극(3)에 유도되는 자기장을 변화시킬 수 있기에, 반드시 교류전원을 인가해야 한다. 정현파, 사각파, 삼각파 등의 다양한 신호로 대체 가능하며 자기장을 유도할 수 있는 신호면 적용가능하다. 교류신호로 인하여 유도되는 자기장도 주파수를 가진다.After step S10, AC power is applied to the magnetic field induction electrode 3 (S20). At this time, the applied AC power source is an AC current or an AC voltage having a constant frequency, which can induce the magnetic field (B). The AC power source is a power source having an externally applied period and is a concept distinguished from a DC power source. Since the magnetic field induced in the magnetic
자기장 유도전극(3)은 발명의 이해를 위해 도 4와 같이 원형 도선임을 가정하여 설명하며, 다른 형태의 도선일 경우 자기장의 크기 역시 다른 형태로 유도된다. 유도되는 자기장의 세기는 [수학식 1]로 산출할 수 있다. 자기장 유도전극(3)에 교류전류가 인가되므로 유도되는 자기장 역시 교류신호로 생성된다.For the understanding of the invention, the magnetic
[수학식 1][Equation 1]
여기서, B는 자기장(T)이고, k는 2π·10- 7 인 상수(T·m/A)이고, I는 전류의 세기(A)이고, r은 원의 반지름(m)이다.Here, B is the magnetic field (T), k is 2π · 10 - 7 and the constant (T · m / A), I is the intensity (A) of current, r is a radius (m) of the circle.
단계(S20)이후, 평판형 전극(2)의 소비전력을 측정한다(S30). 평판형 전극(2)과 자기장 유도전극(3)에서 유도된 자기장이 서로 수직하여 평판형 전극(2)의 내부에서 폐회로를 형성하여 전류가 흐르는 맴돌이 전류가 형성된다. 평판형 전극(2) 내부에 유도자기장으로 인하여 맴돌이 전류가 발생되고, 평판형 전극(2) 내에서 전력의 소비가 발생한다. 이 때, 소비되는 전력은 [수학식 2]로 산출할 수 있다.After step S20, the power consumption of the plate-
[수학식 2]&Quot; (2) "
여기서, P는 단위 질량당 소비전력(W/kg)이고, Bp는 최대 자기장 세기(T)이고, d는 평판형 전극의 두께(m)이고, f는 주파수(Hz)이고, k는 1인 상수이고, ρ는 평판형 전극의 저항(Ωm)이고, D는 평판형 전극의 밀도(kg/m3)이다.Where p is the power consumption per unit mass (W / kg), Bp is the maximum field strength (T), d is the thickness (m) of the plate electrode, f is the frequency in Hz, Ρ is the resistance (Ωm) of the plate-like electrode, and D is the density (kg / m3) of the plate-like electrode.
단계(30) 이후, 평판형 전극(2) 상으로 입자상 물질이 축척됨에 따라 변화하는 소비전력을 측정하여 입자의 농도를 감지한다(S40). 구체적으로, 입자상 물질이 축적됨에 따라 저항값 ρ가 증가하게되고, 평판형 전극(2)의 소비전력이 감소한다.After step 30, the concentration of particulate matter is measured by measuring the power consumption that varies as the particulate matter is accumulated on the flat electrode 2 (S40). Specifically, as the particulate matter accumulates, the resistance value r increases, and the power consumption of the
평판형 전극(2)에 누적된 입자상 물질이 히터의 버닝(burning)으로 모두 없어지지 않거나 전기전도성 입자가 남아서 평판형 전극(2)의 면적이 증가하도록 남아 있는 경우에도, 면적증가는 전력에 큰 영향을 주지 않기에 미비한 오차만 발생하게 된다. 따라서, 본 발명은 종래의 저항형 측정방식의 문제점인 전기전도성 입자가 남아있는 경우 센서의 영구적인 고장이 발생하는 것, 캐패시턴스 측정방식의 문제점인 성능이 크게 저하되는 현상을 개선하였다.Even if the accumulated particulate matter accumulated in the flat plate-
본 발명의 측정방법은 자기장 유도전극으로 교류전원을 인가하여(S10) 평판형 전극의 전력을 우선 측정하고(S20) 이후, 배기가스에 평판형 전극을 노출(S30)시켜 전력의 변화를 측정(S40)할 수도 있다.In the measuring method of the present invention, AC power is applied to the magnetic field induction electrode (S10) and the electric power of the flat electrode is first measured (S20). Then, the plate electrode is exposed to the exhaust gas (S30) S40).
1: 절연성 기체
2: 평판형 전극
3: 자기장 유도전극
4: 히터
B: 자기장
Ieddy: 맴돌이 전류1: Insulating gas
2: Plate-type electrode
3: magnetic field induction electrode
4: Heater
B: magnetic field
I eddy : eddy current
Claims (7)
상기 한쌍의 대향면 중 일면에 배치되어 배기가스와 접촉하는 평판형 전극;
상기 한쌍의 대향면 중 타면 또는 상기 절연성 기체의 내부에 형성되고, 주기를 가지는 교류전원이 인가되어 유도자기장을 생성함으로써 상기 평판형 전극에 맴돌이 전류가 생성되도록 하는 자기장 유도전극; 및
상기 평판형 전극의 소비전력을 측정하는 측정장치를 구비하고,
상기 배기가스 중의 입자가 상기 평판형 전극에 부착됨으로 인해 발생되는 상기 평판형 전극의 상기 소비전력의 변화를 통해 상기 입자의 농도를 측정하는 전류유도 방식의 입자 검출센서.An insulating substrate having a pair of opposing surfaces;
A planar electrode disposed on one surface of the pair of opposing surfaces and in contact with the exhaust gas;
A magnetic field induction electrode formed on the other surface of the pair of opposing surfaces or inside the insulating substrate to generate an eddy current by generating an induction magnetic field by applying an AC power having a period; And
And a measuring device for measuring the power consumption of the flat-plate type electrode,
Wherein the concentration of the particles is measured through a change in the power consumption of the planar electrode caused by the particles in the exhaust gas adhering to the planar electrode.
상기 유도자기장은 [수학식 1]에 의해 산출되고, 상기 맴돌이 전류에 의해 상기 평판형 전극에서 소비되는 소비전력은 [수학식 2]에 의해 산출되는 것을 특징으로 하는 전류유도 방식의 입자 검출센서.
[수학식 1]
(여기서, B는 자기장(T)의 세기, k는 2π·10-7 인 상수(T·m/A), I는 전류의 세기(A), r은 원의 반지름(m))
[수학식 2]
(여기서, P는 단위 질량당 소비전력(W/kg), Bp는 최대 자기장 세기(T), d는 평판형 전극의 두께(m), f는 주파수(Hz), k는 1인 상수, ρ는 평판형 전극의 저항(Ω·m), D는 평판형 전극의 밀도(kg/m3))The method according to claim 1,
Wherein the induced magnetic field is calculated by Equation (1), and the power consumption consumed by the plate-like electrode by the eddy current is calculated by Equation (2).
[Equation 1]
(Wherein, B is the strength of the magnetic field (T), k is 2π · 10 -7, a constant (T · m / A), I is the intensity of electric current (A), r is the radius (m) of a circle)
&Quot; (2) "
(Wherein, P is 1, a constant consumption power (W / kg), B p per unit mass is the maximum field strength (T), d is the thickness (m of the plate-like electrode), f is the frequency (H z), k , ρ is the resistance (Ω · m) of the flat plate type electrode, and D is the density (kg / m 3 ) of the flat plate type electrode)
상기 자기장 유도전극과 상기 평판형 전극은 서로 평행하게 배치되고, 상기 자기장 유도전극은 전원공급부와 전기적으로 연결되고, 상기 평판형 전극은 상기 측정장치와 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 전류유도 방식의 입자 검출센서.The method of claim 3,
Wherein the magnetic induction electrode and the plate-like electrode are disposed in parallel to each other, the magnetic field induction electrode is electrically connected to the power supply unit, and the plate-like electrode is electrically connected to the measurement device. Detection sensor.
상기 평판형 전극과 상기 자기장 유도전극 사이 또는 상기 평판형 전극으로부터 상기 자기장 유도전극까지 거리보다 더 이격된 위치에 형성된 히터를 구비하는 전류유도 방식의 입자 검출센서.The method of claim 4,
And a heater formed at a position spaced more than a distance between the planar electrode and the magnetic field induction electrode or from the planar electrode to the magnetic field induction electrode.
상기 평판형 전극을 배기가스에 노출시키는 단계;
상기 자기장 유도전극에 주기를 가지는 교류전원를 인가하여 유도자기장을 생성하는 단계;
상기 유도자기장으로 인하여 상기 평판형 전극에 맴돌이 전류가 생성되는 단계;
상기 평판형 전극에서 소비되는 소비전력을 측정하는 단계;
상기 배기가스에 포함된 입자의 누적에 따라 변화하는 상기 소비전력의 변화를 측정하는 단계; 및
상기 소비전력의 변화를 측정하는 것을 통해 상기 입자의 농도를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전류유도 방식의 입자 검출방법.1. A particle measuring method using a sensor having a flat plate-like electrode and a magnetic field induction electrode spaced apart from each other in parallel,
Exposing the planar electrode to an exhaust gas;
Generating an induced magnetic field by applying an AC power having a period to the magnetic field induction electrode;
Generating an eddy current in the planar electrode due to the induced magnetic field;
Measuring power consumption of the flat electrode;
Measuring a change in the power consumption that varies with an accumulation of particles contained in the exhaust gas; And
And measuring the concentration of the particles by measuring a change in the power consumption.
상기 유도자기장은 [수학식 1]에 의해 산출되고, 상기 평판형 전극에서 소비되는 소비전력은 [수학식 2]에 의해 산출되는 것을 특징으로 하는 전류유도 방식의 입자 검출방법.
[수학식 1]
(여기서, B는 자기장(T)의 세기, k는 2π·10- 7 인 상수(T·m/A), I는 전류의 세기(A), r은 원의 반지름(m))
[수학식 2]
(여기서, P는 단위 질량당 소비전력(W/kg), Bp는 최대 자기장 세기(T), d는 평판형 전극의 두께(m), f는 주파수(Hz), k는 1인 상수, ρ는 평판형 전극의 저항(Ω·m), D는 평판형 전극의 밀도(kg/m3))The method of claim 6,
Wherein the induced magnetic field is calculated by the following equation (1), and the power consumption consumed by the flat plate-shaped electrode is calculated by equation (2).
[Equation 1]
(Wherein, B is the strength of the magnetic field (T), k is 2π · 10 - 7, a constant (T · m / A), I is the intensity of electric current (A), r is the radius (m) of a circle)
&Quot; (2) "
(Wherein, P is 1, a constant consumption power (W / kg), B p per unit mass is the maximum field strength (T), d is the thickness (m of the plate-like electrode), f is the frequency (H z), k , ρ is the resistance (Ω · m) of the flat plate type electrode, and D is the density (kg / m 3 ) of the flat plate type electrode)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020140185862A KR101688197B1 (en) | 2014-12-22 | 2014-12-22 | Apparatus and method for detecting particulate matter using electromagnetic induction |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020140185862A KR101688197B1 (en) | 2014-12-22 | 2014-12-22 | Apparatus and method for detecting particulate matter using electromagnetic induction |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20160076109A KR20160076109A (en) | 2016-06-30 |
KR101688197B1 true KR101688197B1 (en) | 2016-12-20 |
Family
ID=56352618
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020140185862A KR101688197B1 (en) | 2014-12-22 | 2014-12-22 | Apparatus and method for detecting particulate matter using electromagnetic induction |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101688197B1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102394808B1 (en) * | 2017-12-22 | 2022-05-04 | 현대자동차주식회사 | Particulate matter sensor |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001027602A2 (en) * | 1999-10-15 | 2001-04-19 | Delphi Technologies, Inc. | Gas sensor design and method for using the same |
KR100551772B1 (en) * | 2003-08-06 | 2006-02-13 | 엘지전자 주식회사 | A gas sensor and the gas detecting method |
KR100631208B1 (en) * | 2004-07-20 | 2006-10-04 | 삼성전자주식회사 | Apparatus for detecting bio-bonding using electromagnetic and detecting method using the same |
KR101305198B1 (en) * | 2011-12-09 | 2013-09-26 | 현대자동차주식회사 | Particulate matters sensor unit |
-
2014
- 2014-12-22 KR KR1020140185862A patent/KR101688197B1/en active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20160076109A (en) | 2016-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11137333B2 (en) | Soot sensor system | |
JP4898902B2 (en) | Particle sensor | |
JP2011247650A (en) | Particulate matter detection sensor, and particulate matter detection sensor unit | |
KR102180483B1 (en) | Electrically heated catalyst device | |
JP6305639B2 (en) | Current detector | |
JP2016080566A (en) | Particulate matter detection sensor | |
KR101688197B1 (en) | Apparatus and method for detecting particulate matter using electromagnetic induction | |
JP5157323B2 (en) | Method and apparatus for measuring position of current-carrying part | |
JP6421617B2 (en) | Particulate matter detection sensor and particulate matter detection device | |
JP6485364B2 (en) | Gas sensor | |
CN110088606B (en) | Sensor for sensing at least one property of a measurement gas | |
JP2003098136A (en) | Granular substance sensor and method for measuring granular substance using the same | |
JP2016212119A (en) | Gas sensor | |
WO2012109949A1 (en) | Piezoelectric current sensor | |
US11450797B2 (en) | Differential thermoelectric device | |
JP6968266B2 (en) | Particle sensor with exposed planar discharge electrode | |
WO2011093313A1 (en) | Particulate matter sensor | |
JP2016217849A (en) | Particulate matter detection sensor | |
JP6678084B2 (en) | Particulate matter detection sensor and particulate matter detection device | |
JP2016085132A (en) | Sensor substrate and sensor device | |
CN110573230A (en) | Air filtration monitoring based on thermoelectric devices | |
JP6134463B2 (en) | Gas sensor | |
JP2004093361A (en) | Co sensor | |
JP2008140680A (en) | Inspection method of planar heating element | |
JP2003098135A (en) | Granular substance sensor and method for measuring granular substance using the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E90F | Notification of reason for final refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right |