JP2016217849A - Particulate matter detection sensor - Google Patents

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田村 昌之
Masayuki Tamura
昌之 田村
真宏 山本
Masahiro Yamamoto
真宏 山本
豪 宮川
Go Miyagawa
豪 宮川
友隆 毛利
Tomotaka Mori
友隆 毛利
小池 和彦
Kazuhiko Koike
和彦 小池
弘宣 下川
Hironobu Shimokawa
弘宣 下川
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Soken Inc
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Denso Corp
Nippon Soken Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a particulate matter detection sensor 1 with which it is possible to stably collect particulate matter and improve detection accuracy.SOLUTION: A particulate matter detection sensor 1 includes an element body part 10. A first accumulation part 21 and a second accumulation part 22 are formed as an accumulation part 2 in the element body part 10. At least one pair of first detection electrodes 31 are disposed in the first accumulation part 21, and at least one pair of second detection electrodes 32 are disposed in the second accumulation part 22. The particulate matter detection sensor 1 is configured so that the output of an electric signal is changed in accordance with a change in electrical characteristics between one pair of first detection electrodes 31 and between one pair of second detection electrodes 32 due to the accumulation of particulate matter in the first accumulation part 21 and the second accumulation part 22.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、粒子状物質検出センサに関する。   The present invention relates to a particulate matter detection sensor.

内燃機関の排気管には、排ガスに含まれる粒子状物質(Particulate Matter:PM)を捕集する排ガス浄化装置が設けられている。この排ガス浄化装置は、排ガスに含まれる粒子状物質の量を検出する粒子状物質検出センサを有する粒子状物質検出装置を備えており、この粒子状物質検出装置によって得られた情報を基に、排ガス浄化装置の故障検知が行われている。   An exhaust gas purification apparatus that collects particulate matter (PM) contained in the exhaust gas is provided in an exhaust pipe of the internal combustion engine. This exhaust gas purification device includes a particulate matter detection device having a particulate matter detection sensor that detects the amount of particulate matter contained in the exhaust gas, and based on information obtained by this particulate matter detection device, Failure detection of the exhaust gas purification device is performed.

排ガス浄化装置に用いられる粒子状物質検出センサとしては、例えば、特許文献1に示されたものがある。特許文献1の粒子状物質検出センサは、電気絶縁性を有する基板と、基板の表面に形成された検出電極とを有している。基板上に粒子状物質が堆積することで検出電極間における電気抵抗が変化することを利用して粒子状物質の量を検出している。   As a particulate matter detection sensor used in an exhaust gas purification apparatus, for example, there is one disclosed in Patent Document 1. The particulate matter detection sensor of Patent Document 1 has a substrate having electrical insulation and a detection electrode formed on the surface of the substrate. The amount of the particulate matter is detected by utilizing the fact that the electrical resistance between the detection electrodes is changed by depositing the particulate matter on the substrate.

特開昭59−197847号公報JP 59-197847 A

しかしながら、特許文献1の粒子状物質検出センサには以下の課題がある。
特許文献1の粒子状物質検出センサにおいては、基板における検出電極が形成された面が向く方向と、排気管を流通する排ガスの流通方向との関係により捕集性能が大きく変化する。つまり、基板の検出電極が形成された面に向かって排ガスが流通する場合、捕集効率が高く、ここから基板の検出電極が形成された面が反対側を向くにつれて捕集効率が低下する。また、粒子状物質検出センサは、一般的に、基板や検出電極の損傷を防止するための保護カバーを備えており、保護カバーに形成された導入孔を通じて排ガスが流入する。保護カバー内を流通する排ガスの流れは、排ガスの流量や流速の変化に伴って変化するため、一定にならずバラつきが生じる。したがって、粒子状物質検出センサの検出感度のバラつきも生じやすい。
However, the particulate matter detection sensor of Patent Document 1 has the following problems.
In the particulate matter detection sensor of Patent Document 1, the collection performance varies greatly depending on the relationship between the direction in which the surface of the substrate on which the detection electrode is formed faces and the flow direction of the exhaust gas flowing through the exhaust pipe. That is, when exhaust gas flows toward the surface on which the detection electrode of the substrate is formed, the collection efficiency is high, and the collection efficiency decreases as the surface of the substrate on which the detection electrode is formed faces the opposite side. In addition, the particulate matter detection sensor generally includes a protective cover for preventing damage to the substrate and the detection electrode, and exhaust gas flows through an introduction hole formed in the protective cover. Since the flow of the exhaust gas flowing through the protective cover changes with changes in the flow rate and flow rate of the exhaust gas, it is not constant and varies. Therefore, the detection sensitivity of the particulate matter detection sensor is likely to vary.

本発明は、かかる背景に鑑みてなされたものであり、粒子状物質を安定して捕集し、検出感度を向上することができる粒子状物質検出センサを提供しようとするものである。   The present invention has been made in view of such a background, and an object of the present invention is to provide a particulate matter detection sensor that can stably collect particulate matter and improve detection sensitivity.

本発明の一態様は、内燃機関から排出される排ガスに含まれる粒子状物質の量を検出する素子本体部を備えており、
該素子本体部には、上記粒子状物質の一部を堆積させる被堆積部として、互いに反対側を向いた、第1被堆積部と第2被堆積部とが少なくとも形成されており、
上記第1被堆積部には、少なくとも一対の第1検出電極が配設されており、
上記第2被堆積部には、少なくとも一対の第2検出電極が配設されており、
上記第1被堆積部及び上記第2被堆積部に上記粒子状物質が堆積することによる上記一対の第1検出電極間及び上記一対の第2検出電極間における電気特性の変化に応じて電気信号の出力を変化させるように構成されていることを特徴とする粒子状物質検出センサにある。
One aspect of the present invention includes an element body for detecting the amount of particulate matter contained in exhaust gas discharged from an internal combustion engine,
The element main body portion is formed with at least a first deposition portion and a second deposition portion facing opposite sides as a deposition portion for depositing a part of the particulate matter,
The first deposition portion is provided with at least a pair of first detection electrodes,
At least a pair of second detection electrodes are disposed in the second deposition portion,
An electrical signal corresponding to a change in electrical characteristics between the pair of first detection electrodes and between the pair of second detection electrodes due to the particulate matter being deposited on the first deposition portion and the second deposition portion. The particulate matter detection sensor is configured to change the output of the particulate matter.

上記粒子状物質検出センサにおいて、上記素子本体部は、上記被堆積部として、互いに反対側を向くように配設された上記第1被堆積部と上記第2被堆積部とを少なくとも有している。このように、複数の上記被堆積部を形成することにより、上記粒子状物質検出センサにおける上記粒子状物質の捕集量を増大することができる。また、複数の上記被堆積部において、上記粒子状物質を捕集することで、上記粒子状物質を捕集する際の排ガスの流通方向の影響を低減することができる。すなわち、上記第1被堆積部と上記第2被堆積部のいずれか一方が、上記排ガスの流通方向の下流側を向くように配置されたとしても、他方が上記排ガスの流通方向の上流側を向くように配置される。これにより、上記粒子状物質検出センサにおいて、上記粒子状物質を安定して捕集し、その検出感度を向上することができる。   In the particulate matter detection sensor, the element main body portion includes at least the first deposition portion and the second deposition portion disposed as facing the opposite sides as the deposition portion. Yes. As described above, by forming the plurality of deposited portions, it is possible to increase the collection amount of the particulate matter in the particulate matter detection sensor. In addition, by collecting the particulate matter in a plurality of the deposited portions, it is possible to reduce the influence of the flow direction of the exhaust gas when collecting the particulate matter. That is, even if one of the first depositing portion and the second depositing portion is arranged to face the downstream side in the exhaust gas flow direction, the other is located upstream in the exhaust gas flow direction. It is arranged to face. Thereby, in the said particulate matter detection sensor, the said particulate matter can be collected stably and the detection sensitivity can be improved.

以上のごとく、本発明によれば、粒子状物質を安定して捕集し検出感度を向上することができる粒子状物質検出センサを提供することができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to provide a particulate matter detection sensor that can stably collect particulate matter and improve detection sensitivity.

実施例1における、素子本体部を示す説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram showing an element main body in Example 1. 図1における、II−II矢視断面図。II-II arrow sectional drawing in FIG. 図1における、III−III矢視断面図。III-III arrow sectional drawing in FIG. 実施例1における、素子本体部の構造を示す説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a structure of an element main body in Example 1. 実施例1における、粒子状物質検出センサを示す説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating a particulate matter detection sensor according to the first embodiment. 比較試験1における、試験結果を示すグラフ。The graph which shows the test result in the comparative test 1. FIG. 実施例2における、素子本体部を示す説明図。FIG. 6 is an explanatory diagram showing an element main body in Example 2. 図7における、VIII−VIII矢視断面図。VIII-VIII arrow sectional drawing in FIG. 実施例3における、素子本体部を示す説明図。FIG. 6 is an explanatory diagram showing an element body in Example 3. 実施例4における、素子本体部を示す説明図。FIG. 6 is an explanatory diagram showing an element body in Example 4. 実施例5における、素子本体部を示す説明図。FIG. 10 is an explanatory view showing an element main body in Example 5. 実施例5における、素子本体部の構造を示す説明図。FIG. 10 is an explanatory diagram illustrating a structure of an element main body in Example 5. 実施例6における、素子本体部を示す説明図。FIG. 10 is an explanatory view showing an element body in Example 6. 実施例6における、素子本体部の構造を示す説明図。Explanatory drawing which shows the structure of the element main-body part in Example 6. FIG.

上記粒子状物質検出センサにおいて、上記被堆積部は、上記素子本体部の軸方向に平行な外周側面の全周に形成されていることが好ましい。この場合には、上記粒子状物質検出センサの外周側面の全周において、上記粒子状物質を捕集することができる。そのため、排ガスの流通方向による影響を低減し、捕集効率を向上することができる。   In the particulate matter detection sensor, it is preferable that the portion to be deposited is formed on the entire outer peripheral side surface parallel to the axial direction of the element body portion. In this case, the particulate matter can be collected on the entire circumference of the outer peripheral side surface of the particulate matter detection sensor. Therefore, the influence by the distribution direction of exhaust gas can be reduced and the collection efficiency can be improved.

また、上記素子本体部は、上記軸方向に平行であって、かつ互いに平行な一対の平坦面を有し、該一対の平坦面にそれぞれ上記第1被堆積部及び上記第2被堆積部を有し、上記第1被堆積部における上記第1検出電極の配列方向と、上記第2被堆積部における上記第2検出電極の配列方向とは、同一の配列方向であり、複数の上記第1検出電極及び複数の上記第2検出電極のうち、上記配列方向における同じ側の端部に配列された上記第1検出電極と上記第2検出電極との間には、電位差が生じるよう構成されていることが好ましい。この場合には、上記配列方向の端部に配置された上記第1検出電極と上記第2検出電極との間に電界が形成される。この電界を利用することで、上記粒子状物質を捕集することができる。これにより、上記粒子状物質検出センサにおける捕集性能をより向上することができる。   Further, the element main body has a pair of flat surfaces parallel to the axial direction and parallel to each other, and the first deposition portion and the second deposition portion are respectively provided on the pair of flat surfaces. And the arrangement direction of the first detection electrodes in the first deposition portion and the arrangement direction of the second detection electrodes in the second deposition portion are the same arrangement direction, and a plurality of the first detection electrodes are arranged. Among the plurality of second detection electrodes and the plurality of second detection electrodes, a potential difference is generated between the first detection electrode and the second detection electrode arranged at the same end in the arrangement direction. Preferably it is. In this case, an electric field is formed between the first detection electrode and the second detection electrode arranged at the end in the arrangement direction. By using this electric field, the particulate matter can be collected. Thereby, the collection performance in the particulate matter detection sensor can be further improved.

また、上記第1被堆積部と上記第2被堆積部との並び方向における上記素子本体部の厚さtと、上記素子本体部の軸方向及び上記並び方向の両方と直交する横方向における上記素子本体部の幅wとは、t/w≦0.6の関係を満たすことが好ましい。この場合には、上記第1被堆積部と上記第2被堆積部との間に電界がより生じやすくなる。これにより、上記粒子状物質検出センサの上記横方向に存在する上記粒子状物質をより効率良く捕集し、捕集性能を向上することができる。   Further, the thickness t of the element main body portion in the arrangement direction of the first deposition portion and the second deposition portion, and the lateral direction orthogonal to both the axial direction and the arrangement direction of the element main body portion. It is preferable that the width w of the element body satisfies the relationship t / w ≦ 0.6. In this case, an electric field is more likely to be generated between the first deposition portion and the second deposition portion. Thereby, the said particulate matter which exists in the said horizontal direction of the said particulate matter detection sensor can be collected more efficiently, and the collection performance can be improved.

また、上記素子本体部は、円柱状をなしており、軸方向に平行な外周側面に上記被堆積部が形成されていることが好ましい。この場合には、上記被堆積部の周囲に排ガスが回り込みやすくなり、排ガスと上記素子本体部とを効率良く接触させることができる。これにより、上記粒子状物質検出センサの捕集効率を向上することができる。   In addition, the element main body has a columnar shape, and it is preferable that the deposited portion is formed on the outer peripheral side surface parallel to the axial direction. In this case, the exhaust gas can easily flow around the portion to be deposited, and the exhaust gas and the element main body can be efficiently contacted. Thereby, the collection efficiency of the particulate matter detection sensor can be improved.

(実施例1)
上記粒子状物質検出センサにかかる実施例について、図1〜図5を参照して説明する。
図1及び図5に示すごとく、粒子状物質検出センサ1は、内燃機関から排出される排ガスに含まれる粒子状物質の量を検出する素子本体部10を備えている。素子本体部10には、粒子状物質の一部を堆積させる被堆積部2として、互いに反対側を向いた、第1被堆積部21と第2被堆積部22とが少なくとも形成されている。第1被堆積部21には、少なくとも一対の第1検出電極31が配設されており、第2被堆積部22には、少なくとも一対の第2検出電極32が配設されている。本実施例では、第1被堆積部21は素子本体部10における1つの面である。そして、第2被堆積部22は素子本体部10において、第1被堆積部21とは異なる面である。本実施例において、第2被堆積部22は第1被堆積部21に対して反対の面である。すなわち、第1被堆積部21と第2被堆積部22とは互いに反対側を向いている。
粒子状物質検出センサ1は、第1被堆積部21及び第2被堆積部22に粒子状物質が堆積することによる一対の第1検出電極31間及び一対の第2検出電極32間における電気特性の変化に応じて電気信号の出力を変化させるように構成されている。
Example 1
An embodiment according to the particulate matter detection sensor will be described with reference to FIGS.
As shown in FIGS. 1 and 5, the particulate matter detection sensor 1 includes an element body 10 that detects the amount of particulate matter contained in the exhaust gas discharged from the internal combustion engine. The element body 10 is formed with at least a first depositing portion 21 and a second depositing portion 22 that face opposite sides as the depositing portion 2 for depositing a part of the particulate matter. At least a pair of first detection electrodes 31 is disposed on the first deposition portion 21, and at least a pair of second detection electrodes 32 is disposed on the second deposition portion 22. In the present embodiment, the first deposition target portion 21 is one surface of the element main body portion 10. The second deposition portion 22 is a surface different from the first deposition portion 21 in the element body 10. In the present embodiment, the second deposition portion 22 is the opposite surface to the first deposition portion 21. That is, the first depositing portion 21 and the second depositing portion 22 face opposite to each other.
The particulate matter detection sensor 1 has electrical characteristics between the pair of first detection electrodes 31 and between the pair of second detection electrodes 32 due to the particulate matter being deposited on the first deposition portion 21 and the second deposition portion 22. The output of the electric signal is changed in accordance with the change of the signal.

以下、さらに詳細に説明する。
図5に示すごとく、本例の粒子状物質検出センサ1は、自動車に搭載された内燃機関から、排気管を通じて排出される排ガスに含まれる粒子状物質を検出するためのものである。粒子状物質検出センサ1によって得られた情報を基に、排ガス浄化装置の故障検知を行う。粒子状物質検出センサ1は、排気管の内側に突出するように配設されている。
粒子状物質検出センサ1は、素子本体部10と保護カバー7とこれらを保持するハウジング部材(図示略)とを有している。
This will be described in more detail below.
As shown in FIG. 5, the particulate matter detection sensor 1 of this example is for detecting particulate matter contained in exhaust gas discharged through an exhaust pipe from an internal combustion engine mounted on an automobile. Based on the information obtained by the particulate matter detection sensor 1, failure detection of the exhaust gas purification device is performed. The particulate matter detection sensor 1 is disposed so as to protrude inside the exhaust pipe.
The particulate matter detection sensor 1 includes an element body 10, a protective cover 7, and a housing member (not shown) that holds them.

図2、図4に示すごとく、素子本体部10は、第1被堆積部21が形成された第1検出層41と、第2被堆積部22が形成された第2検出層42と、第1検出層41と第2検出層42との間に配設された中間層43とを積層して形成されている。
第1検出層41は、電気絶縁性を備えた第1基板411と、第1基板411上に形成された第1検出電極31とを有している。第1基板411は、セラミック材料を平板状に形成してなる。本例において、第1基板411を構成するセラミック材料としては、アルミナを用いているが、ジルコニア、マグネシア、ベリリアなどを用いることもできる。第1基板411には、第1検出電極31の接続端部344における裏面側の位置に、一対の第1貫通孔412が貫通形成されている。
As shown in FIGS. 2 and 4, the element body 10 includes a first detection layer 41 in which the first deposition portion 21 is formed, a second detection layer 42 in which the second deposition portion 22 is formed, The intermediate layer 43 disposed between the first detection layer 41 and the second detection layer 42 is laminated.
The first detection layer 41 includes a first substrate 411 having electrical insulation and a first detection electrode 31 formed on the first substrate 411. The first substrate 411 is formed by forming a ceramic material into a flat plate shape. In this example, alumina is used as the ceramic material constituting the first substrate 411, but zirconia, magnesia, beryllia, or the like can also be used. In the first substrate 411, a pair of first through holes 412 are formed penetratingly at positions on the back surface side of the connection end portion 344 of the first detection electrode 31.

第1基板411の表面に形成された一対の第1検出電極31は、スクリーン印刷によって平膜状に形成されている。素子本体部10において、第1基板411における一対の第1検出電極31が形成された面が粒子状物質を堆積させるための第1被堆積部21である。   The pair of first detection electrodes 31 formed on the surface of the first substrate 411 is formed in a flat film shape by screen printing. In the element body 10, the surface on which the pair of first detection electrodes 31 is formed on the first substrate 411 is the first deposition target portion 21 for depositing the particulate matter.

一対の第1検出電極31は、正極と負極とからなり、第1被堆積部21における長手方向と平行に形成された電極基部341と、電極基部341から長手方向と直交して延設された屈曲部342と、屈曲部342から延設された複数の櫛歯部343とをそれぞれ有している。尚、電極基部341において、屈曲部342が形成された側と反対側の端部には、幅が拡大された接続端部344が形成されている。正極及び負極における電極基部341及び屈曲部342は、それぞれ互いに向かい合うように配置されると共に、正極における櫛歯部343の間に、負極における櫛歯部343が入り込むように配置されている。   The pair of first detection electrodes 31 includes a positive electrode and a negative electrode. The electrode base 341 is formed in parallel with the longitudinal direction of the first deposition target portion 21, and extends from the electrode base 341 perpendicular to the longitudinal direction. Each has a bent portion 342 and a plurality of comb teeth portions 343 extending from the bent portion 342. In the electrode base 341, a connection end 344 having an enlarged width is formed at the end opposite to the side where the bent portion 342 is formed. The electrode base portion 341 and the bent portion 342 in the positive electrode and the negative electrode are disposed so as to face each other, and the comb tooth portions 343 in the negative electrode are disposed between the comb tooth portions 343 in the positive electrode.

第2検出層42は、電気絶縁性を備えた第2基板421と、第2基板421上に形成された第2検出電極32とを有している。尚、第2基板421及び第2検出電極32は、第1基板411及び第1検出電極31と同様の形状に形成されている。つまり、第2検出層42は、第1検出層41と同形状である。第1検出層41と第2検出層42とは、第1被堆積部21と第2被堆積部22とが互いに反対側を向くように、中間層43を挟んで配設されている。   The second detection layer 42 includes a second substrate 421 having electrical insulation and a second detection electrode 32 formed on the second substrate 421. The second substrate 421 and the second detection electrode 32 are formed in the same shape as the first substrate 411 and the first detection electrode 31. That is, the second detection layer 42 has the same shape as the first detection layer 41. The first detection layer 41 and the second detection layer 42 are disposed with the intermediate layer 43 interposed therebetween so that the first deposited portion 21 and the second deposited portion 22 face opposite sides.

図1〜図3に示すごとく、素子本体部10は、軸方向Xに平行であって、かつ互いに平行な一対の平坦面12を有し、該一対の平坦面12にそれぞれ第1被堆積部21及び第2被堆積部22を有する。第1被堆積部21における第1検出電極31の配列方向と、第2被堆積部22における第2検出電極32の配列方向とは、同一の配列方向である。本例においては、この配列方向が、素子本体部10の軸方向X及び並び方向Zの両方と直交する横方向Yと一致する。   As shown in FIGS. 1 to 3, the element body 10 has a pair of flat surfaces 12 that are parallel to the axial direction X and parallel to each other, and the first deposition target portions are respectively provided on the pair of flat surfaces 12. 21 and a second deposition portion 22. The arrangement direction of the first detection electrodes 31 in the first deposition portion 21 and the arrangement direction of the second detection electrodes 32 in the second deposition portion 22 are the same arrangement direction. In this example, the arrangement direction coincides with the lateral direction Y orthogonal to both the axial direction X and the arrangement direction Z of the element main body 10.

本例においては、複数の櫛歯部343間における電気抵抗を検出しており、複数の櫛歯部343の並んだ方向が配列方向となる。図3に示すごとく、配列方向(横方向Y)における同じ側の端部に配列した第1検出電極31と第2検出電極32とは、一方が正極31p、32p(高電位)となり、他方が負極32n、31n(低電位)となるように配設されている。つまり、配列方向における同じ側の端部に配列した第1検出電極31と第2検出電極32との間には、電位差が生じるよう構成されており、両者の間には電界が形成される。   In this example, the electrical resistance between the plurality of comb teeth 343 is detected, and the direction in which the plurality of comb teeth 343 are arranged is the arrangement direction. As shown in FIG. 3, one of the first detection electrode 31 and the second detection electrode 32 arranged at the end on the same side in the arrangement direction (lateral direction Y) is a positive electrode 31p, 32p (high potential), and the other is It arrange | positions so that it may become the negative electrodes 32n and 31n (low potential). That is, a potential difference is generated between the first detection electrode 31 and the second detection electrode 32 arranged at the end on the same side in the arrangement direction, and an electric field is formed between the two.

中間層43は、電気絶縁性を備えた中間構造体431と、中間構造体431の内部に内蔵された部品433とを備えている。中間構造体431は、セラミック材料からなり、内部に部品433を内包したブロック状をなしている。本例において、第1基板411を構成するセラミック材料としては、アルミナを用いているが、ジルコニア、マグネシア、ベリリアなどを用いることもできる。また、中間構造体431には、第1被堆積部21と第2被堆積部22との並び方向Zにおいて貫通形成された一対の中間貫通孔432が形成されている。中間貫通孔432は、並び方向Zから見たとき、第1貫通孔412及び第2貫通孔422よりも横方向Yにおける内側の位置であって、部品433を避けた位置に形成されている。本例において、中間層43に内蔵された部品433は、第1被堆積部21及び第2被堆積部22を加熱するためのヒーターである。   The intermediate layer 43 includes an intermediate structure 431 having electrical insulation and a component 433 built in the intermediate structure 431. The intermediate structure 431 is made of a ceramic material and has a block shape in which a part 433 is included. In this example, alumina is used as the ceramic material constituting the first substrate 411, but zirconia, magnesia, beryllia, or the like can also be used. In addition, the intermediate structure 431 is formed with a pair of intermediate through holes 432 that are formed so as to penetrate in the alignment direction Z of the first deposition portion 21 and the second deposition portion 22. The intermediate through-hole 432 is formed at a position inside the lateral direction Y from the first through-hole 412 and the second through-hole 422 when viewed from the arrangement direction Z and at a position avoiding the component 433. In this example, the component 433 incorporated in the intermediate layer 43 is a heater for heating the first deposition target portion 21 and the second deposition target portion 22.

図2に示すごとく、第1検出電極31と第2検出電極32とは、リード部材6によって電気的に接続されている。リード部材6は、一端が第1検出電極31と電気的に接続された第1リード部61と、一端が第2検出電極32と電気的に接続された第2リード部62と、第1リード部61の他端と第2リード部62の他端とを電気的に接続する中間リード部63とを有している。   As shown in FIG. 2, the first detection electrode 31 and the second detection electrode 32 are electrically connected by the lead member 6. The lead member 6 includes a first lead 61 having one end electrically connected to the first detection electrode 31, a second lead 62 having one end electrically connected to the second detection electrode 32, and a first lead. An intermediate lead portion 63 that electrically connects the other end of the portion 61 and the other end of the second lead portion 62 is provided.

第1リード部61は、一対の第1検出電極31における接続端部344とそれぞれ電気的に接続されると共に、第1貫通孔412に挿通配置されている。
第2リード部62は、一対の第2検出電極32における接続端部344とそれぞれ電気的に接続されると共に、第2貫通孔422に挿通配置されている。
The first lead portion 61 is electrically connected to the connection end portion 344 of each of the pair of first detection electrodes 31, and is inserted into the first through hole 412.
The second lead portions 62 are electrically connected to the connection end portions 344 of the pair of second detection electrodes 32, respectively, and are inserted into the second through holes 422.

中間リード部63は、第1リード部61と接続された第1接続部631と、第2リード部62と接続された第2接続部632と、第1接続部631と第2接続部632とを接続する中間接続部633とを有している。第1接続部631は、第1検出層41と中間層43との間に、第1貫通孔412から中間貫通孔432に向かうように配設されている。第2接続部632は、第2検出層42と中間層43との間に、第2貫通孔422から中間貫通孔432に向かうように配設されている。中間接続部633は、中間貫通孔432に挿通配置されており、第1接続部631と第2接続部632とを電気的に接続している。   The intermediate lead part 63 includes a first connection part 631 connected to the first lead part 61, a second connection part 632 connected to the second lead part 62, a first connection part 631, and a second connection part 632. And an intermediate connection portion 633 for connecting the two. The first connection portion 631 is disposed between the first detection layer 41 and the intermediate layer 43 so as to go from the first through hole 412 to the intermediate through hole 432. The second connection portion 632 is disposed between the second detection layer 42 and the intermediate layer 43 so as to go from the second through hole 422 to the intermediate through hole 432. The intermediate connection portion 633 is inserted and disposed in the intermediate through hole 432 and electrically connects the first connection portion 631 and the second connection portion 632.

上述のように、第1検出層41と中間層43と第2検出層42を積層して素子本体部10が構成されている。第1被堆積部21と第2被堆積部22との並び方向Zにおける素子本体部10の厚さtと、素子本体部10の軸方向X及び並び方向Zの両方と直交する横方向Yにおける素子本体部10の幅wとは、t/w≦0.6の関係を満たすことが好ましい。また、振動等の外力に対する素子本体部10の強度担保の観点から、t/w≧0.2であることが好ましい。本例においては、t/w=0.4である。   As described above, the element main body 10 is configured by laminating the first detection layer 41, the intermediate layer 43, and the second detection layer 42. The thickness t of the element body 10 in the arrangement direction Z of the first deposition portion 21 and the second deposition portion 22 and the lateral direction Y orthogonal to both the axial direction X and the arrangement direction Z of the element body 10. The width w of the element body 10 preferably satisfies the relationship t / w ≦ 0.6. Moreover, it is preferable that t / w ≧ 0.2 from the viewpoint of ensuring the strength of the element body 10 against external force such as vibration. In this example, t / w = 0.4.

粒子状物質検出センサ1の被堆積部2において、検出電極(第1検出電極31、第2検出電極32)に捕集電圧を印加すると、検出電極の周囲に電界が形成され、粒子状物質が検出電極へと引き寄せられる。検出電極に付着した粒子状物質は、検出電極の表面を移動し、一対の検出電極の間に堆積する。そして、被堆積部2に堆積した粒子状物質によって、被堆積部2に露出した一対の検出電極が導通し、一対の検出電極の間における電気抵抗値が低下する。検出電極間の電気抵抗値の変化に伴い、検出電極間を流れる電気信号としての電流量が変化する。これにより、粒子状物質検出センサ1から出力される電流値が変化する。つまり、粒子状物質検出センサ1から出力される電流値は、被堆積部2における粒子状物質の堆積量に応じて変化するものであり、粒子状物質の堆積量に関する情報を有するものである。この電流値を用いることで被堆積部2における粒子状物質の堆積量を検出することができる。本例において、粒子量検出手段において検出された電流は、シャント抵抗を備えたコントロールユニットへと出力され、コントロールユニットは、電流値とシャント抵抗の積で算出される電圧を出力する。この電圧が粒子状物質検出センサ1の出力となる。   When a collection voltage is applied to the detection electrodes (the first detection electrode 31 and the second detection electrode 32) in the deposition portion 2 of the particulate matter detection sensor 1, an electric field is formed around the detection electrodes, and the particulate matter is It is attracted to the detection electrode. Particulate matter adhering to the detection electrode moves on the surface of the detection electrode and is deposited between the pair of detection electrodes. Then, the particulate matter deposited on the portion to be deposited 2 conducts the pair of detection electrodes exposed to the portion to be deposited 2, and the electrical resistance value between the pair of detection electrodes decreases. As the electrical resistance value between the detection electrodes changes, the amount of current as an electrical signal flowing between the detection electrodes changes. Thereby, the current value output from the particulate matter detection sensor 1 changes. That is, the current value output from the particulate matter detection sensor 1 changes according to the amount of particulate matter deposited in the deposition target portion 2 and has information on the amount of particulate matter deposited. By using this current value, it is possible to detect the amount of particulate matter deposited in the portion 2 to be deposited. In this example, the current detected by the particle amount detection means is output to a control unit having a shunt resistance, and the control unit outputs a voltage calculated by the product of the current value and the shunt resistance. This voltage becomes the output of the particulate matter detection sensor 1.

図5に示すごとく、保護カバー7は、内側カバー71と、内側カバー71の外周側に配設された外側カバー72とを有している。
内側カバー71は、素子本体部10を囲む円筒状の内側壁部711と、内側壁部711の先端に形成された内側底部712とを有している。内側カバー71は、ハウジング部材(図示略)の先端部にかしめて固定されている。
As shown in FIG. 5, the protective cover 7 includes an inner cover 71 and an outer cover 72 disposed on the outer peripheral side of the inner cover 71.
The inner cover 71 has a cylindrical inner wall portion 711 that surrounds the element body 10 and an inner bottom portion 712 formed at the tip of the inner wall portion 711. The inner cover 71 is caulked and fixed to the tip of a housing member (not shown).

内側壁部711には、内側導入孔713が複数個形成されている。内側導入孔713は円形をなしている。軸方向Xから見たとき、複数の内側導入孔713は、内側壁部711の周方向に等間隔となるように形成されている。また、内側導入孔713は、素子本体部10の第1被堆積部21及び第2被堆積部22と対向した位置に形成されている。
内側底部712の中心には、軸方向Xに貫通形成された内側排出孔714が形成されている。
A plurality of inner introduction holes 713 are formed in the inner wall portion 711. The inner introduction hole 713 has a circular shape. When viewed from the axial direction X, the plurality of inner introduction holes 713 are formed at equal intervals in the circumferential direction of the inner wall portion 711. Further, the inner introduction hole 713 is formed at a position facing the first deposition portion 21 and the second deposition portion 22 of the element body 10.
An inner discharge hole 714 that penetrates in the axial direction X is formed at the center of the inner bottom portion 712.

外側カバー72は、内側カバー71を外周から囲む円筒状の外側壁部721と、外側壁部721の先端に形成された外側底部722とを有している。外側カバー72は、ハウジング部材(図示略)の先端部に内側カバー71と共にかしめて固定されている。   The outer cover 72 has a cylindrical outer wall portion 721 that surrounds the inner cover 71 from the outer periphery, and an outer bottom portion 722 formed at the tip of the outer wall portion 721. The outer cover 72 is caulked and fixed together with the inner cover 71 to the distal end portion of a housing member (not shown).

外側壁部721には、外側導入孔723が複数個形成されている。外側導入孔723は円形をなしている。軸方向Xから見たとき、複数の外側導入孔723は、外側壁部721の周方向に等間隔となるように形成されると共に、各外側導入孔723と各内側導入孔713とは、周方向の同じ位置に形成されている。また、外側導入孔723は、内側導入孔713よりも先端側の位置に形成されている。
外側底部722の中心には、軸方向Xに貫通形成された外側排出孔724が形成されている。
本例の粒子状物質検出センサ1においては、複数の外側導入孔723から導入された排ガスGは、内側導入孔713から内側カバー71の内側に導入されるよう構成されている。
A plurality of outer introduction holes 723 are formed in the outer side wall portion 721. The outer introduction hole 723 has a circular shape. When viewed from the axial direction X, the plurality of outer introduction holes 723 are formed at equal intervals in the circumferential direction of the outer wall portion 721, and each outer introduction hole 723 and each inner introduction hole 713 has a circumferential shape. It is formed at the same position in the direction. The outer introduction hole 723 is formed at a position closer to the tip than the inner introduction hole 713.
An outer discharge hole 724 penetratingly formed in the axial direction X is formed at the center of the outer bottom portion 722.
In the particulate matter detection sensor 1 of this example, the exhaust gas G introduced from the plurality of outer introduction holes 723 is configured to be introduced from the inner introduction hole 713 to the inner side of the inner cover 71.

次に、本例の作用効果について説明する。
粒子状物質検出センサ1において、素子本体部10は、被堆積部2として、互いに反対側を向くように配設された第1被堆積部21と第2被堆積部22とを少なくとも有している。このように、複数の被堆積部2を形成することにより、粒子状物質検出センサ1における粒子状物質の捕集量を増大することができる。また、複数の被堆積部2において、粒子状物質を捕集することで、粒子状物質を捕集する際の排ガスの流通方向の影響を低減することができる。すなわち、第1被堆積部21と第2被堆積部22のいずれか一方が、排ガスの流通方向と同方向に配置されたとしても、他方が排ガスの流通方向と対向して配置される。これにより、粒子状物質検出センサ1において、粒子状物質を安定して捕集し、その検出感度を向上することができる。
Next, the function and effect of this example will be described.
In the particulate matter detection sensor 1, the element main body 10 includes at least a first deposition target portion 21 and a second deposition target portion 22 that are disposed to face opposite sides as the deposition target portion 2. Yes. In this way, by forming the plurality of deposited portions 2, the amount of collected particulate matter in the particulate matter detection sensor 1 can be increased. In addition, by collecting the particulate matter in the plurality of deposited portions 2, it is possible to reduce the influence of the flow direction of the exhaust gas when collecting the particulate matter. That is, even if one of the first depositing part 21 and the second depositing part 22 is arranged in the same direction as the exhaust gas flow direction, the other is arranged facing the exhaust gas flow direction. Thereby, in the particulate matter detection sensor 1, particulate matter can be collected stably, and its detection sensitivity can be improved.

また、素子本体部10は、軸方向Xに平行であって、かつ互いに平行な一対の平坦面12を有し、該一対の平坦面12にそれぞれ第1被堆積部21及び第2被堆積部22を有する。第1被堆積部21における第1検出電極31の配列方向と、第2被堆積部22における第2検出電極32の配列方向とは、同一の配列方向であり、複数の第1検出電極31及び複数の第2検出電極32のうち、配列方向における同じ側の端部に配列された第1検出電極31と第2検出電極32との間には、電位差が生じるよう構成されている。そのため、配列方向の端部に配置された第1検出電極31と第2検出電極32との間に電界が形成される。この電界を利用することで、粒子状物質を捕集することができる。これにより、粒子状物質検出センサ1における捕集性能をより向上することができる。   The element main body 10 has a pair of flat surfaces 12 that are parallel to the axial direction X and parallel to each other, and the first deposition target portion 21 and the second deposition target portion are respectively formed on the pair of flat surfaces 12. 22. The arrangement direction of the first detection electrodes 31 in the first deposition portion 21 and the arrangement direction of the second detection electrodes 32 in the second deposition portion 22 are the same arrangement direction, and the plurality of first detection electrodes 31 and Among the plurality of second detection electrodes 32, a potential difference is generated between the first detection electrode 31 and the second detection electrode 32 arranged at the end on the same side in the arrangement direction. Therefore, an electric field is formed between the first detection electrode 31 and the second detection electrode 32 disposed at the end in the arrangement direction. By using this electric field, particulate matter can be collected. Thereby, the collection performance in the particulate matter detection sensor 1 can be further improved.

また、素子本体部10の厚さtと幅wとは、t/w≦0.6の関係を満たす。そのため、第1被堆積部21と第2被堆積部22との間に電界がより生じやすくなる。これにより、粒子状物質検出センサの横方向Yに存在する粒子状物質をより効率良く捕集し、捕集性能を向上することができる。   Further, the thickness t and the width w of the element body 10 satisfy the relationship of t / w ≦ 0.6. Therefore, an electric field is more likely to be generated between the first deposition portion 21 and the second deposition portion 22. Thereby, the particulate matter existing in the lateral direction Y of the particulate matter detection sensor can be collected more efficiently, and the collection performance can be improved.

また、素子本体部10は、電気絶縁性を備えた第1基板411上に第1被堆積部21が形成された第1検出層41と、電気絶縁性を備えた第2基板421上に第2被堆積部22が形成された第2検出層42と、第1検出層41と第2検出層42との間に配設され電気絶縁性を備えた中間構造体431の内部に部品433を内蔵した中間層43とを備える。第1基板411には、第1被堆積部21と第2被堆積部22との並び方向Zにおいて貫通形成された第1貫通孔412が形成されており、第2基板421には、並び方向Zにおいて貫通形成された第2貫通孔422が形成されている。第1検出電極31と第2検出電極32とは、リード部材6によって電気的に接続されている。該リード部材6は、一端が第1検出電極31と電気的に接続され第1貫通孔412に挿通配置される第1リード部61と、一端が第2検出電極32と電気的に接続され第2貫通孔422に挿通配置される第2リード部62と、第1リード部61の他端と第2リード部62の他端とを電気的に接続する中間リード部63とを有している。素子本体部10の角部は、搬送等の際に接触しやすく、ここにリード部材6を配設すると断線するおそれがあり特別な管理が必要となることがある。リード部材6は、第1貫通孔412及び第2貫通孔422に挿通されることで、素子本体部10の内部に配設される部位を有している。したがって、素子本体部10の角部に露出することがなく、第1検出電極31と第2検出電極32とをリード部材6によって電気的に接続することができる。   The element body 10 includes a first detection layer 41 in which a first deposition portion 21 is formed on a first substrate 411 having electrical insulation, and a second substrate 421 having electrical insulation. 2 The component 433 is placed inside the second detection layer 42 in which the deposited portion 22 is formed, and the intermediate structure 431 provided between the first detection layer 41 and the second detection layer 42 and having electrical insulation. And a built-in intermediate layer 43. The first substrate 411 is formed with a first through hole 412 formed through in the alignment direction Z of the first deposition portion 21 and the second deposition portion 22, and the second substrate 421 has an alignment direction. A second through hole 422 penetratingly formed in Z is formed. The first detection electrode 31 and the second detection electrode 32 are electrically connected by the lead member 6. The lead member 6 has one end electrically connected to the first detection electrode 31 and inserted into the first through hole 412, and one end electrically connected to the second detection electrode 32. The second lead portion 62 inserted through the two through holes 422 and the intermediate lead portion 63 that electrically connects the other end of the first lead portion 61 and the other end of the second lead portion 62 are provided. . The corners of the element body 10 are likely to come into contact with each other during transportation or the like, and if the lead member 6 is disposed here, there is a risk of disconnection and special management may be required. The lead member 6 has a portion disposed inside the element body 10 by being inserted through the first through hole 412 and the second through hole 422. Therefore, the first detection electrode 31 and the second detection electrode 32 can be electrically connected by the lead member 6 without being exposed at the corner of the element body 10.

また、第1検出電極31及び第2検出電極32は、被堆積部2の表面に平膜状に形成されている。そのため、スクリーン印刷等によって、第1検出電極31及び第2検出電極32を容易に形成することができる。   The first detection electrode 31 and the second detection electrode 32 are formed in a flat film shape on the surface of the deposition target portion 2. Therefore, the first detection electrode 31 and the second detection electrode 32 can be easily formed by screen printing or the like.

以上のごとく、本例によれば、粒子状物質を安定して捕集し検出感度を向上することができる粒子状物質検出センサ1を提供することができる。   As described above, according to this example, it is possible to provide the particulate matter detection sensor 1 that can stably collect particulate matter and improve the detection sensitivity.

(比較試験1)
本比較試験1においては、素子本体部10における幅wに対する厚さtの比率(t/w)を変化させた際の検出感度について比較を行った。
比較試験1には、比較例1及び供試体1〜供試体5の6つの粒子状物質検出センサを用いた。
比較例1の粒子状物質検出センサは、被堆積部2として、第1被堆積部21のみを有している。つまり、比較例1の粒子状物質検出センサは、実施例1の粒子状物質検出センサにおける第2被堆積部を削除したものである。
(Comparative test 1)
In this comparative test 1, the detection sensitivity when the ratio (t / w) of the thickness t to the width w in the element body 10 was changed was compared.
In Comparative Test 1, six particulate matter detection sensors of Comparative Example 1 and Specimen 1 to Specimen 5 were used.
The particulate matter detection sensor of Comparative Example 1 has only the first deposition target portion 21 as the deposition target portion 2. That is, the particulate matter detection sensor of Comparative Example 1 is obtained by eliminating the second deposition portion in the particulate matter detection sensor of Example 1.

供試体1〜供試体5は、実施例1の粒子状物質検出センサ1と同様に、被堆積部2として、第1被堆積部21と第2被堆積部22とを有しており、厚さtと幅wとの比t/wが異なる。各粒子状物質検出センサ1における比t/wは、供試体1が1.0、供試体2が0.8、供試体3が0.6、供試体4が0.4、供試体5が0.2である。
比較例1及び供試体1〜供試体5において、上述以外の構造は、実施例1と同様である。
Like the particulate matter detection sensor 1 of Example 1, each of the specimen 1 to specimen 5 has a first depositing portion 21 and a second depositing portion 22 as the depositing portion 2, and has a thickness. The ratio t / w between the length t and the width w is different. The ratio t / w in each particulate matter detection sensor 1 is 1.0 for the specimen 1, 0.8 for the specimen 2, 0.6 for the specimen 3, 0.4 for the specimen 4, and 0.4 for the specimen 5. 0.2.
In Comparative Example 1 and Specimen 1 to Specimen 5, the structures other than those described above are the same as in Example 1.

比較試験1における試験条件は、粒子状物質近傍における温度が200℃、粒子状物質濃度が3mg/m3の排ガスを、流速20m/sにて流通させた際の不感質量を計測した。図1に示すごとく、排ガスの流通方向は、並び方向Zにおいて第1被堆積部21と対向する方向を方向A、横方向Y(配列方向)に平行な方向を方向B、方向Aと反対向きの方向を方向Cとした。尚、不感質量は、粒子状物質検出センサ1において、出力信号が変化するまでの間に排出される粒子状物質の総量を示すものである。比較試験1の結果を、表1に示す。 The test conditions in Comparative Test 1 were the insensitive mass when an exhaust gas having a temperature in the vicinity of the particulate matter of 200 ° C. and a particulate matter concentration of 3 mg / m 3 was circulated at a flow rate of 20 m / s. As shown in FIG. 1, the flow direction of the exhaust gas is such that the direction facing the first deposition portion 21 in the arrangement direction Z is the direction A, the direction parallel to the lateral direction Y (arrangement direction) is the direction B, and the opposite direction to the direction A. The direction was designated as direction C. Note that the dead mass indicates the total amount of particulate matter discharged until the output signal changes in the particulate matter detection sensor 1. The results of Comparative Test 1 are shown in Table 1.

Figure 2016217849
Figure 2016217849

表1に示すごとく、比較例1における不感質量は、排ガスの流通方向が方向Aである場合において80mg、方向Bである場合において95mg、方向Cである場合において111mgとなり、第1被堆積部21の向きが排ガスの流通方向と対向した状態からずれるにしたがって、検出感度が低下していることが確認された。   As shown in Table 1, the dead mass in Comparative Example 1 is 80 mg when the flow direction of the exhaust gas is the direction A, 95 mg when the direction of the exhaust gas is B, and 111 mg when the direction of the exhaust gas is the direction C. It was confirmed that the detection sensitivity was lowered as the direction of the position deviated from the state of facing the flow direction of the exhaust gas.

また、供試体1〜供試体5においては、方向A及び方向Cにおける不感質量がほぼ同一となった。また、方向A及び方向Cにおける不感質量と方向Bとの不感質量の差、及び方向A〜方向Cにおける不感質量の平均値のいずれも比較例より小さくなっている。また、t/wが小さくなるにつれて、方向A〜方向Cにおける不感質量の差、及び不感質量の平均値が、いずれも小さくなっていることが確認された。図6に示したグラフは、不感質量の平均値を縦軸とし、比t/wを横軸としたグラフである。図においては、比t/wが0.6〜0.8の間でグラフの傾きが大きくなっており、不感質量の低下量が大きくなっていることがわかる。したがって、比t/wが0.6以下の場合、特に検出感度が向上することが確認された。   Moreover, in the specimen 1 to the specimen 5, the dead mass in the direction A and the direction C was almost the same. Also, the difference between the dead mass in the direction A and the direction C and the dead mass between the direction B and the average value of the dead mass in the directions A to C are smaller than those in the comparative example. Moreover, it was confirmed that the difference of the dead mass in the direction A to the direction C and the average value of the dead mass became smaller as t / w became smaller. The graph shown in FIG. 6 is a graph with the average value of dead mass as the vertical axis and the ratio t / w as the horizontal axis. In the figure, it can be seen that the slope of the graph is large when the ratio t / w is between 0.6 and 0.8, and the amount of decrease in dead mass is large. Therefore, it was confirmed that the detection sensitivity was particularly improved when the ratio t / w was 0.6 or less.

(実施例2)
本例は、図7及び図8に示すごとく、実施例1の粒子状物質検出センサ1における構造を一部変更したものである。
本例の粒子状物質検出センサ1は、素子本体部10における先端面に形成された第3被堆積部23を有している。第3被堆積部23には、一対の第3検出電極33が形成されている。第3検出電極33は、正極と負極とからなり、互いに対向すると共に横方向Y(配列方向)に沿って形成された一対の電極基部331と、各電極基部331から、対向する電極基部331に向かって延設された複数の櫛歯部332とを有している。正極及び負極における電極基部331及び屈曲部342は、それぞれ互いに向かい合うように配置されると共に、正極における櫛歯部332の間に、負極における櫛歯部332が入り込むように配置されている。
(Example 2)
In this example, as shown in FIGS. 7 and 8, the structure of the particulate matter detection sensor 1 of Example 1 is partially changed.
The particulate matter detection sensor 1 of the present example has a third deposition target portion 23 formed on the tip surface of the element body portion 10. A pair of third detection electrodes 33 is formed on the third deposition portion 23. The third detection electrode 33 is composed of a positive electrode and a negative electrode. The third detection electrode 33 is opposed to each other and formed in a pair of electrode bases 331 along the lateral direction Y (arrangement direction), and from each electrode base 331 to the opposing electrode base 331. And a plurality of comb teeth portions 332 extending toward the surface. The electrode base portion 331 and the bent portion 342 in the positive electrode and the negative electrode are disposed so as to face each other, and the comb tooth portions 332 in the negative electrode are disposed between the comb tooth portions 332 in the positive electrode.

一対の第3検出電極33は、素子本体部10における横方向Yに配設された一対の側端面113に形成された接続電極部333によって、リード部材6と接続されている。
本例のリード部材6の中間リード部63において、第1接続部631は、第1検出層41と中間層43との間に、第1貫通孔412から側端面113に向かって配設されている。また、第2接続部632は、第2検出層42と中間層43との間に、第2貫通孔422から側端面113に向かって配設されている。中間接続部633は、側端面113に露出して、第1接続部631と第2接続部632とを電気的に接続している。
その他の構成は実施例1と同様である。尚、本例又は本例に関する図面において用いた符号のうち、実施例1において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り、実施例1と同様の構成要素等を表す。
その他、実施例3と同様の作用効果を得ることができる。
The pair of third detection electrodes 33 is connected to the lead member 6 by connection electrode portions 333 formed on a pair of side end surfaces 113 arranged in the lateral direction Y in the element main body portion 10.
In the intermediate lead portion 63 of the lead member 6 of this example, the first connection portion 631 is disposed between the first detection layer 41 and the intermediate layer 43 from the first through hole 412 toward the side end face 113. Yes. The second connection portion 632 is disposed between the second detection layer 42 and the intermediate layer 43 from the second through hole 422 toward the side end face 113. The intermediate connection portion 633 is exposed at the side end surface 113 and electrically connects the first connection portion 631 and the second connection portion 632.
Other configurations are the same as those of the first embodiment. Of the reference numerals used in this example or the drawings relating to this example, the same reference numerals as those used in the first embodiment represent the same components as in the first embodiment unless otherwise specified.
In addition, the same effects as those of the third embodiment can be obtained.

(実施例3)
本例は、図9に示すごとく、一対の検出電極3を備えた粒子状物質検出センサ1の例である。
本例の粒子状物質検出センサ1において、素子本体部10は、絶縁性材料からなる基材部101と、基材部101の軸方向Xと平行に形成された外周側面11に形成された被堆積部2とを有している。被堆積部2には、一対の検出電極3が形成されており、一対の検出電極3は、外周側面11の1つである表面111上に形成された電極基部331と、複数の櫛歯部301、302とを有している。電極基部331は、軸方向Xに平行で、かつ互いに平行に配設されており、電極基部331からは複数の櫛歯部301、302が延設されている。
Example 3
This example is an example of the particulate matter detection sensor 1 including a pair of detection electrodes 3 as shown in FIG.
In the particulate matter detection sensor 1 of the present example, the element main body 10 includes a base material portion 101 made of an insulating material and an outer peripheral surface 11 formed in parallel with the axial direction X of the base material portion 101. And a deposition part 2. A pair of detection electrodes 3 is formed on the portion to be deposited 2, and the pair of detection electrodes 3 includes an electrode base 331 formed on the surface 111 that is one of the outer peripheral side surfaces 11 and a plurality of comb teeth portions. 301 and 302. The electrode base portion 331 is arranged in parallel with each other in the axial direction X, and a plurality of comb-tooth portions 301 and 302 are extended from the electrode base portion 331.

複数の櫛歯部301、302は、各電極基部331から、対向する電極基部331に向かって延設された第1櫛歯部301と、第1櫛歯部301と反対側に向かって延設された第2櫛歯部302とを有している。第2櫛歯部302は、電極基部331が配された端面と反対側の裏面112及び表面111と裏面112とを繋ぐ一対の側端面113を介して、表面111へと到達している。つまり、第1櫛歯部301及び第2櫛歯部302が、素子本体部10の軸方向Xに平行な外周側面11の全周に形成されており、外周側面11の全周に被堆積部2が形成されている。本例において、一対の検出電極3は、実施例1における第1検出電極31と第2検出電極32とを兼ねるものである。そして、外周側面11の全周にわたって形成された被堆積部2の一部が、第1被堆積部21及び第2被堆積部22となっている。また、本例の粒子状物質検出センサ1は、実施例1におけるリード部材6を備えていない。   The plurality of comb-tooth portions 301 and 302 are extended from each electrode base portion 331 toward the opposite electrode base portion 331 and toward the opposite side of the first comb-tooth portion 301. The second comb tooth portion 302 is provided. The second comb tooth portion 302 reaches the front surface 111 via the back surface 112 opposite to the end surface on which the electrode base portion 331 is disposed and the pair of side end surfaces 113 connecting the front surface 111 and the back surface 112. In other words, the first comb tooth portion 301 and the second comb tooth portion 302 are formed on the entire circumference of the outer peripheral side surface 11 parallel to the axial direction X of the element main body portion 10, and the deposited portion is formed on the entire circumference of the outer peripheral side surface 11. 2 is formed. In the present example, the pair of detection electrodes 3 serves as both the first detection electrode 31 and the second detection electrode 32 in the first embodiment. A part of the deposition target portion 2 formed over the entire circumference of the outer peripheral side surface 11 is a first deposition target portion 21 and a second deposition target portion 22. Further, the particulate matter detection sensor 1 of this example does not include the lead member 6 in the first embodiment.

その他の構成は実施例1と同様である。尚、本例又は本例に関する図面において用いた符号のうち、実施例1において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り、実施例1と同様の構成要素等を表す。   Other configurations are the same as those of the first embodiment. Of the reference numerals used in this example or the drawings relating to this example, the same reference numerals as those used in the first embodiment represent the same components as in the first embodiment unless otherwise specified.

上述のように、本例の粒子状物質検出センサ1において、被堆積部2は、素子本体部10の軸方向Xに平行な外周側面11の全周に形成されている。これにより、粒子状物質検出センサ1の外周側面11の全周において、粒子状物質を捕集することができる。そのため、排ガスの流通方向による影響を低減し、捕集効率を向上することができる。
その他、実施例1と同様の作用効果を得ることができる。
As described above, in the particulate matter detection sensor 1 of this example, the portion to be deposited 2 is formed on the entire circumference of the outer peripheral side surface 11 parallel to the axial direction X of the element body 10. Thereby, the particulate matter can be collected on the entire circumference of the outer peripheral side surface 11 of the particulate matter detection sensor 1. Therefore, the influence by the distribution direction of exhaust gas can be reduced and the collection efficiency can be improved.
In addition, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.

(実施例4)
本例は、図10に示すごとく、実施例3における粒子状物質検出センサ1の構造を一部変更した例である。
本例の粒子状物質検出センサ1において、素子本体部10は、絶縁性材料からなる円柱状の基材部102における軸方向Xと平行に配設された外周側面11の全周に被堆積部2が形成されている。被堆積部2には、一対の検出電極3が形成されており、一対の検出電極3は、外周側面11に軸方向Xと平行に形成された電極基部331と、複数の第1櫛歯部301及び複数の第2櫛歯部302とを有している。本例においても、外周側面11の全周にわたって形成された被堆積部2の一部が、第1被堆積部21及び第2被堆積部22となっている。
Example 4
In this example, as shown in FIG. 10, the structure of the particulate matter detection sensor 1 in Example 3 is partially changed.
In the particulate matter detection sensor 1 of the present example, the element main body 10 is a portion to be deposited on the entire circumference of the outer peripheral side surface 11 disposed in parallel with the axial direction X in the columnar base member 102 made of an insulating material. 2 is formed. A pair of detection electrodes 3 is formed on the deposition portion 2, and the pair of detection electrodes 3 includes an electrode base portion 331 formed on the outer peripheral side surface 11 in parallel with the axial direction X, and a plurality of first comb teeth portions. 301 and a plurality of second comb teeth 302. Also in this example, a part of the deposition target portion 2 formed over the entire circumference of the outer peripheral side surface 11 is a first deposition target portion 21 and a second deposition target portion 22.

なお、本例においては、図10における左右の輪郭線付近に第1堆積部21と第2堆積部22とがそれぞれ存在するとみなすことができる。この場合、第1堆積部21及び第2堆積部22には、主に複数の第2櫛歯部302が形成されていることとなる。図10は、このような把握の仕方に基づいて、各符号(21、22、Z)を付している。ただし、図10における紙面の表裏に対応する部分に第1堆積部21と第2堆積部22とがそれぞれ存在するとみなすこともできる。この場合、第1堆積部21及び第2堆積部22の中央には、複数の第1櫛歯部301が形成されていることとなる。
その他の構成は実施例3と同様である。尚、本例又は本例に関する図面において用いた符号のうち、実施例3において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り、実施例3と同様の構成要素等を表す。
In this example, it can be considered that the first deposition part 21 and the second deposition part 22 exist in the vicinity of the left and right contour lines in FIG. In this case, a plurality of second comb tooth portions 302 are mainly formed in the first accumulation portion 21 and the second accumulation portion 22. In FIG. 10, the reference numerals (21, 22, Z) are given based on such a grasping method. However, it can also be considered that the first depositing portion 21 and the second depositing portion 22 exist in portions corresponding to the front and back of the paper surface in FIG. In this case, a plurality of first comb teeth portions 301 are formed at the center of the first accumulation portion 21 and the second accumulation portion 22.
Other configurations are the same as those of the third embodiment. Of the reference numerals used in this example or the drawings relating to this example, the same reference numerals as those used in the third embodiment denote the same components as in the third embodiment unless otherwise specified.

本例の粒子状物質検出センサ1において、素子本体部10は、円柱状をなしており、軸方向Xに平行な外周側面11に被堆積部2が形成されている。そのため、被堆積部2の周囲に排ガスが回り込みやすくなり、排ガスと素子本体部10とを効率良く接触させることができる。これにより、粒子状物質検出センサ1の捕集効率を向上することができる。
また、本例においても実施例1と同様の作用効果を得ることができる。
In the particulate matter detection sensor 1 of this example, the element main body 10 has a cylindrical shape, and the portion to be deposited 2 is formed on the outer peripheral side surface 11 parallel to the axial direction X. Therefore, the exhaust gas easily flows around the portion 2 to be deposited, and the exhaust gas and the element body 10 can be efficiently contacted. Thereby, the collection efficiency of the particulate matter detection sensor 1 can be improved.
Also in this example, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.

(実施例5)
本例は、図11及び図12に示すごとく、積層構造により形成された粒子状物質検出センサ1の実施例である。
本例の粒子状物質検出センサ1において、素子本体部10は、4つの電極層51と電気絶縁性を有する複数の絶縁部材52とを交互に積層した積層部5を有しており、積層部5の端面に電極層51の端面が露出することによって、積層部5の端面に第1検出電極31及び第2検出電極32を備えた第1被堆積部21及び第2被堆積部22が形成されている。
(Example 5)
This example is an embodiment of the particulate matter detection sensor 1 formed by a laminated structure as shown in FIGS.
In the particulate matter detection sensor 1 of the present example, the element main body 10 has a laminated portion 5 in which four electrode layers 51 and a plurality of insulating members 52 having electrical insulation properties are alternately laminated. As a result, the end face of the electrode layer 51 is exposed at the end face 5, thereby forming the first deposition part 21 and the second deposition part 22 having the first detection electrode 31 and the second detection electrode 32 on the end face of the stacked part 5. Has been.

電極層51は、焼成前の絶縁部材52の一面に銅ペーストや銀ペースト等を用いたスクリーン印刷により形成されている。本例においては、絶縁部材52の長手方向と直交し、積層時に並び方向Zに配置される一対の端面の間の全長に渡って電極層51が形成されている。電極層51が形成された絶縁部材52を積層した後、焼成することにより、絶縁部材52と電極層51とを交互に積層した積層部5が形成される。
その他の構成は実施例1と同様である。尚、本例又は本例に関する図面において用いた符号のうち、実施例1において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り、実施例1と同様の構成要素等を表す。
The electrode layer 51 is formed on one surface of the insulating member 52 before firing by screen printing using a copper paste, a silver paste, or the like. In this example, the electrode layer 51 is formed over the entire length between a pair of end faces that are orthogonal to the longitudinal direction of the insulating member 52 and are arranged in the alignment direction Z when stacked. By laminating the insulating member 52 on which the electrode layer 51 is formed and then firing, the laminated portion 5 in which the insulating member 52 and the electrode layer 51 are alternately laminated is formed.
Other configurations are the same as those of the first embodiment. Of the reference numerals used in this example or the drawings relating to this example, the same reference numerals as those used in the first embodiment represent the same components as in the first embodiment unless otherwise specified.

本例の粒子状物質検出センサ1における素子本体部10は、複数の電極層51と電気絶縁性を有する複数の絶縁部材52とを交互に積層した積層部5を有しており、該積層部5の端面に電極層51の端面が露出することによって、積層部5の端面に第1検出電極31を備えた第1被堆積部21及び第2検出電極32を備えた第2被堆積部22が形成されている。積層部5を形成する積層構造においては、検出電極3間の距離を容易に小さくすることができる。これにより、粒子状物質検出センサ1における検出感度をより向上することができる。
また本例においても実施例1と同様の作用効果を得ることができる。
The element main body 10 in the particulate matter detection sensor 1 of the present example has a laminated portion 5 in which a plurality of electrode layers 51 and a plurality of insulating members 52 having electrical insulation properties are alternately laminated. When the end face of the electrode layer 51 is exposed at the end face 5, the first deposition part 21 having the first detection electrode 31 and the second deposition part 22 having the second detection electrode 32 are provided on the end face of the stacked part 5. Is formed. In the laminated structure forming the laminated part 5, the distance between the detection electrodes 3 can be easily reduced. Thereby, the detection sensitivity in the particulate matter detection sensor 1 can be further improved.
Also in this example, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.

(比較試験2)
比較試験2においては、積層構造を有する粒子状物質検出センサにおける検出感度の比較を行った。
比較試験2には、比較例2及び供試体6の2つの粒子状物質検出センサを用いた。
比較例2の粒子状物質検出センサは、従来用いられている粒子状物質検出センサと同様に、被堆積部2として、第1被堆積部21のみを有している。つまり、比較例2の粒子状物質検出センサは、実施例5の粒子状物質検出センサ1(図11)における第2被堆積部22の構成を削除したものである。その他の構成は実施例5と同様である。
供試体6は、実施例5の粒子状物質検出センサ1である。
(Comparative test 2)
In Comparative Test 2, the detection sensitivity of the particulate matter detection sensor having a laminated structure was compared.
In Comparative Test 2, two particulate matter detection sensors of Comparative Example 2 and Specimen 6 were used.
The particulate matter detection sensor of Comparative Example 2 has only the first deposition portion 21 as the deposition portion 2 as in the conventionally used particulate matter detection sensor. That is, the particulate matter detection sensor of Comparative Example 2 is obtained by deleting the configuration of the second deposited portion 22 in the particulate matter detection sensor 1 (FIG. 11) of Example 5. Other configurations are the same as those of the fifth embodiment.
The specimen 6 is the particulate matter detection sensor 1 of Example 5.

比較試験2における試験条件は、粒子状物質近傍における温度が200℃、粒子状物質濃度が3mg/m3の排ガスを、流速20m/sにて流通させた際の不感質量を計測した。排ガスの流通方向は、図11に示すごとく、並び方向Zにおいて第1被堆積部21と対向する方向を方向A、横方向Y(配列方向)に平行な方向を方向B、方向Aと反対向きの方向を方向Cとした。 The test condition in Comparative Test 2 was that the insensitive mass was measured when an exhaust gas having a temperature near the particulate matter of 200 ° C. and a particulate matter concentration of 3 mg / m 3 was circulated at a flow rate of 20 m / s. As shown in FIG. 11, the flow direction of the exhaust gas is the direction A facing the first deposition portion 21 in the arrangement direction Z, the direction B parallel to the lateral direction Y (arrangement direction), and the opposite direction to the direction A. The direction was designated as direction C.

Figure 2016217849
Figure 2016217849

表2は、比較試験2の結果を示すものである。表2に示すごとく、比較例における不感質量は、排ガスの流通方向が方向Aである場合において28mg、方向Bである場合において32mg、方向Cである場合において39mgとなり、第1被堆積部21の向きが排ガスの上流方向からはずれるにしたがって、検出感度が低下していることが確認された。   Table 2 shows the results of Comparative Test 2. As shown in Table 2, the dead mass in the comparative example is 28 mg when the flow direction of the exhaust gas is the direction A, 32 mg when the direction of the exhaust gas is B, and 39 mg when the direction of the exhaust gas is the direction C. It was confirmed that the detection sensitivity decreased as the direction deviated from the upstream direction of the exhaust gas.

また、供試体6においては、方向A及び方向Cにおける不感質量が同一となった。また、方向A及び方向Cにおける不感質量と方向Bとの不感質量の差、及び方向A〜方向Cにおける不感質量の平均値のいずれも比較例2より小さくなっている。供試体6においては、比較例2よりも検出感度が向上することが確認された。   Moreover, in the specimen 6, the dead mass in the direction A and the direction C was the same. In addition, the difference between the dead mass in the direction A and the direction C and the dead mass between the direction B and the average value of the dead mass in the directions A to C are smaller than those in the comparative example 2. In the specimen 6, it was confirmed that the detection sensitivity was improved as compared with Comparative Example 2.

(実施例6)
本例は、図13及び図14に示すごとく、実施例5における粒子状物質検出センサ1の変形例である。
本例の粒子状物質検出センサ1において、素子本体部10は、円板状に形成された電極層51及び絶縁部材52を交互に積層して形成された円柱状をなしている。電極層51の端面は、素子本体部10の軸方向Xと平行に配設された外周側面11の全周に渡って配置されており、検出電極3は外周側面11の全周に形成されている。したがって、外周側面11の全周に被堆積部2が形成されており、被堆積部2の一部が、第1被堆積部21及び第2被堆積部22となっている。
(Example 6)
This example is a modification of the particulate matter detection sensor 1 according to the fifth embodiment as shown in FIGS. 13 and 14.
In the particulate matter detection sensor 1 of this example, the element body 10 has a cylindrical shape formed by alternately laminating electrode layers 51 and insulating members 52 formed in a disk shape. The end surface of the electrode layer 51 is disposed over the entire circumference of the outer peripheral side surface 11 disposed in parallel with the axial direction X of the element main body 10, and the detection electrode 3 is formed on the entire circumference of the outer peripheral side surface 11. Yes. Therefore, the portion to be deposited 2 is formed on the entire circumference of the outer peripheral side surface 11, and a part of the portion to be deposited 2 is a first portion to be deposited 21 and a second portion to be deposited 22.

検出電極3は、素子本体部10の軸方向Xにおいて、正極3pと負極3nとが並んで形成されており、正極3p同士及び負極3n同士は、それぞれ、素子本体部10の内部に配設されたリード部材6によって電気的に接続されている。
その他の構成は実施例5と同様である。尚、本例又は本例に関する図面において用いた符号のうち、実施例5において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り、実施例5と同様の構成要素等を表す。
本例においては、実施例4の作用効果と実施例5の作用効果とを合わせた作用効果を得ることができる。
The detection electrode 3 is formed with a positive electrode 3p and a negative electrode 3n arranged side by side in the axial direction X of the element main body 10, and the positive electrodes 3p and the negative electrodes 3n are arranged inside the element main body 10, respectively. The lead members 6 are electrically connected.
Other configurations are the same as those of the fifth embodiment. Of the reference numerals used in this example or the drawings relating to this example, the same reference numerals as those used in the fifth embodiment denote the same components as in the fifth embodiment unless otherwise specified.
In this example, it is possible to obtain a combined effect of the operational effect of the fourth embodiment and the operational effect of the fifth embodiment.

1 粒子状物質検出センサ
10 素子本体部
2 被堆積部
21 第1被堆積部
22 第2被堆積部
31 第1検出電極
32 第2検出電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Particulate matter detection sensor 10 Element main-body part 2 Deposited part 21 1st deposited part 22 2nd deposited part 31 1st detection electrode 32 2nd detection electrode

Claims (8)

内燃機関から排出される排ガスに含まれる粒子状物質の量を検出する素子本体部(10)を備えており、
該素子本体部(10)には、上記粒子状物質の一部を堆積させる被堆積部(2)として、互いに反対側を向いた、第1被堆積部(21)と第2被堆積部(22)とが少なくとも形成されており、
上記第1被堆積部(21)には、少なくとも一対の第1検出電極(31)が配設されており、
上記第2被堆積部(22)には、少なくとも一対の第2検出電極(32)が配設されており、
上記第1被堆積部(21)及び上記第2被堆積部(22)に上記粒子状物質が堆積することによる上記一対の第1検出電極(31)間及び上記一対の第2検出電極(32)間における電気特性の変化に応じて電気信号の出力を変化させるように構成されていることを特徴とする粒子状物質検出センサ(1)。
An element body (10) for detecting the amount of particulate matter contained in the exhaust gas discharged from the internal combustion engine;
In the element main body (10), as a portion to be deposited (2) on which a part of the particulate matter is deposited, the first portion to be deposited (21) and the second portion to be deposited ( 22) is formed at least,
At least a pair of first detection electrodes (31) is disposed in the first deposition portion (21),
At least a pair of second detection electrodes (32) is disposed in the second deposition portion (22),
The particulate matter is deposited on the first deposition part (21) and the second deposition part (22), and between the pair of first detection electrodes (31) and the pair of second detection electrodes (32). The particulate matter detection sensor (1) is configured to change the output of an electrical signal in accordance with a change in electrical characteristics between the two).
上記素子本体部(10)は、軸方向(X)に平行であって、かつ互いに平行な一対の平坦面(12)を有し、該一対の平坦面(12)にそれぞれ上記第1被堆積部(21)及び上記第2被堆積部(22)を有し、上記第1被堆積部(21)における上記第1検出電極(31)の配列方向と、上記第2被堆積部(22)における上記第2検出電極(32)の配列方向とは、同一の配列方向であり、複数の上記第1検出電極(31)及び複数の上記第2検出電極(32)のうち、上記配列方向における同じ側の端部に配列された上記第1検出電極(31)と上記第2検出電極(32)との間には、電位差が生じるよう構成されていることを特徴とする請求項1に記載の粒子状物質検出センサ(1)。   The element body (10) has a pair of flat surfaces (12) parallel to the axial direction (X) and parallel to each other, and the first deposition target is formed on the pair of flat surfaces (12), respectively. And an arrangement direction of the first detection electrodes (31) in the first deposition portion (21), and the second deposition portion (22). The arrangement direction of the second detection electrodes (32) is the same arrangement direction, and among the plurality of first detection electrodes (31) and the plurality of second detection electrodes (32), the arrangement direction is the same. 2. The device according to claim 1, wherein a potential difference is generated between the first detection electrode (31) and the second detection electrode (32) arranged at the end on the same side. Particulate matter detection sensor (1). 上記第1被堆積部(21)と上記第2被堆積部(22)との並び方向(Z)における上記素子本体部(10)の厚さtと、上記素子本体部(10)の軸方向(X)及び上記並び方向(Z)の両方と直交する横方向(Y)における上記素子本体部(10)の幅wとは、t/w≦0.6の関係を満たすことを特徴とする請求項1又は2に記載の粒子状物質検出センサ(1)。   The thickness t of the element body (10) in the alignment direction (Z) of the first deposition part (21) and the second deposition part (22), and the axial direction of the element body (10) The width w of the element body (10) in the lateral direction (Y) orthogonal to both (X) and the arrangement direction (Z) satisfies the relationship of t / w ≦ 0.6. The particulate matter detection sensor (1) according to claim 1 or 2. 上記被堆積部(2)は、上記素子本体部(10)の軸方向(X)に平行な外周側面(11)の全周に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の粒子状物質検出センサ(1)。   2. The particle according to claim 1, wherein the portion to be deposited (2) is formed on the entire circumference of the outer peripheral side surface (11) parallel to the axial direction (X) of the element body (10). A substance detection sensor (1). 上記素子本体部(10)は、円柱状をなしており、軸方向(X)に平行な外周側面(11)に上記被堆積部(2)が形成されていることを特徴とする請求項1又は4に記載の粒子状物質検出センサ(1)。   The element body (10) has a cylindrical shape, and the deposition portion (2) is formed on an outer peripheral side surface (11) parallel to the axial direction (X). Or the particulate matter detection sensor (1) of 4. 上記素子本体部(10)は、電気絶縁性を備えた第1基板(411)上に上記第1被堆積部(21)が形成された第1検出層(41)と、電気絶縁性を備えた第2基板(421)上に上記第2被堆積部(22)が形成された第2検出層(42)と、上記第1検出層(41)と上記第2検出層(42)との間に配設され電気絶縁性を備えた中間構造体(431)の内部に部品(433)を内蔵した中間層(43)とを備え、
上記第1基板(411)には、上記第1被堆積部(21)と上記第2被堆積部(22)との並び方向(Z)において貫通形成された第1貫通孔(412)が形成されており、
上記第2基板(421)には、上記並び方向(Z)において貫通形成された第2貫通孔(422)が形成されており、
上記第1検出電極(31)と上記第2検出電極(32)とは、リード部材(6)によって電気的に接続されており、該リード部材(6)は、一端が上記第1検出電極(31)と電気的に接続され上記第1貫通孔(412)に挿通配置される第1リード部(61)と、一端が上記第2検出電極(32)と電気的に接続され上記第2貫通孔(422)に挿通配置される第2リード部(62)と、上記第1リード部(61)の他端と上記第2リード部(62)の他端とを電気的に接続する中間リード部(63)とを有していることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の粒子状物質検出センサ(1)。
The element body (10) has a first detection layer (41) in which the first deposition portion (21) is formed on a first substrate (411) having electrical insulation, and electrical insulation. A second detection layer (42) having the second deposited portion (22) formed on the second substrate (421), and the first detection layer (41) and the second detection layer (42). An intermediate layer (43) in which a component (433) is built inside an intermediate structure (431) disposed between and having electrical insulation;
The first substrate (411) is formed with a first through hole (412) formed through in the alignment direction (Z) of the first deposition portion (21) and the second deposition portion (22). Has been
The second substrate (421) is formed with a second through hole (422) formed so as to penetrate in the arrangement direction (Z).
The first detection electrode (31) and the second detection electrode (32) are electrically connected by a lead member (6), and one end of the lead member (6) is the first detection electrode ( 31) and a first lead portion (61) that is electrically connected to the first through hole (412) and one end thereof is electrically connected to the second detection electrode (32) and the second through hole. A second lead portion (62) inserted through the hole (422), an intermediate lead for electrically connecting the other end of the first lead portion (61) and the other end of the second lead portion (62). It has a part (63), The particulate matter detection sensor (1) as described in any one of Claims 1-5 characterized by the above-mentioned.
複数の電極層(51)と電気絶縁性を有する複数の絶縁部材(52)とを交互に積層した積層部(5)を有しており、該積層部(5)の端面に上記電極層(51)の端面が露出することによって、上記積層部(5)の端面に、上記第1検出電極(31)を備えた上記第1被堆積部(21)及び上記第2検出電極(32)を備えた上記第2被堆積部(22)が形成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の粒子状物質検出センサ(1)。   It has a laminated part (5) in which a plurality of electrode layers (51) and a plurality of insulating members (52) having electrical insulation properties are alternately laminated, and the electrode layer (5) is formed on the end face of the laminated part (5). When the end face of 51) is exposed, the first deposition part (21) and the second detection electrode (32) provided with the first detection electrode (31) are provided on the end face of the stacked part (5). The particulate matter detection sensor (1) according to any one of claims 1 to 6, wherein the second deposition part (22) provided is formed. 第1検出電極(31)及び上記第2検出電極(32)は、上記被堆積部(2)の表面に平膜状に形成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の粒子状物質検出センサ(1)。   The first detection electrode (31) and the second detection electrode (32) are formed in a flat film shape on the surface of the deposition part (2), respectively. Particulate matter detection sensor (1).
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