KR101680026B1

KR101680026B1 - 곡면 패널 디스플레이 결함 리페어 장치

Info

Publication number: KR101680026B1
Application number: KR1020160030431A
Authority: KR
Inventors: 박훈; 김용민; 장동식; 이승조
Original assignee: 주식회사 코윈디에스티
Priority date: 2016-03-14
Filing date: 2016-03-14
Publication date: 2016-11-28
Also published as: KR20160034278A

Abstract

커브 디스플레이의 결함을 치유(repair)하기 위하여 레이저 빔을 상기 커브 디스플레이의 제1지점에 조사시키고자 할 때에, 상기 레이저 빔이 상기 제1지점에 수직 입사하도록 상기 검사 스테이지의 자세를 제어하도록 되어 있는 구동부를 포함하는, 스테이지.

Description

곡면 패널 디스플레이 결함 리페어 장치{Appratus for repairing curved panel display defect}

본 발명은 표면에 곡률이 존재하는 디스플레이 패널의 결함을 제거하는 리페어 장치에 관한 기술이다.

기존 LCD 분야에서 사용되던 패널은 평판 패널 디스플레이(Flat panel display)의 종류로써, 현재까지 대형화 및 경박화 위주로 개발되어 왔다. 그러나 근래에는 AMOLED의 등장과 더불어 플렉서블 디스플레이(Flexible Display)의 개발이 이루어지고 있다.

플렉서블 디스플레이는 여러 단계의 기술수준으로 나누어볼 수 있는데, 이 중 초기 단계의 제품은 깨지지 않는 언브레이커블 디스플레이(unbreakable display)이다. 그 다음 단계의 제품은 곡면 디스플레이(Curved display)인데, 곡면 디스플레이 제조 시 발생하는 결함을 해소하는 리페어 기술의 부재로 양산에 적합한 수율을 확보하지 못하고 있다. 따라서 곡면 디스플레이의 양산을 위한 리페어 기술이 필요한 실정이다.

기존 평판 패널 디스플레이에 결함이 존재하는 경우에는, 리페어 장치의 스테이지(stage) 상에 리페어 대상이 되는 평판 패널 디스플레이를 올려놓고, 상기 평판 패널 디스플레이를 단순히 x, y축 방향으로만 이동시키는 간단한 제어를 통해 결함을 보수(repair)할 수 있었다. 또한, 평판 패널 디스플레이의 경우, 결함 해소를 위해 사용되는 광학계의 레이저 헤드(head)부를 구동할 때에 진동 및 빔(Beam)의 형태를 평면 기준으로 제어하더라도 문제가 발생하지 않는다.

그러나 곡면 디스플레이의 경우 그 표면이 평면이 아닌 3차원의 형태적 특성을 갖기 때문에, 곡면 디스플레이를 스테이지 상에 단순히 올려놓았을 때에, 상기 곡면 디스플레이 패널의 센터(center)부만이 스테이지의 표면과 동일한 방향을 향하게 된다. 따라서 이때 결함 해소를 위한 종래의 레이저 기술을 변형 없이 적용하는 경우에, 레이저 빔은 상기 곡면 디스플레이 패널의 센터(center)부에만 정확하게 조사되며, 그 외의 영역에서는 결함 해소가 제대로 이루어질 수 없다는 문제가 있다.

커브 디스플레이로 제작되는 AMOLED 패널의 TFT 기판 단에 존재하는 불량을 수리하기 위해서 선택적 박막 가공 기술을 적용할 수 있다. 수십nm ~ 수백nm 두께의 다층 박막 구조이기 때문에, 정확한 가공이 이루어지지 않는 경우 가공해야 할 가공 대상층 외의 다른 영역에 결함(damage)이 발생할 가능성이 있다. 따라서 결함 가공 시, 가공 대상층 이외의 다른 영역에 결함을 발생시키지 않아야 하기 때문에 레이저 빔의 크기와 파워를 정확하게 제어하는 것이 필수적이다.

레이저 빔은 가공을 위하여 양자 에너지(Photon energy)를 사용하며, 일반적으로 빔을 포커싱(focusing) 함으로써 강도(Intensity)를 제어한다. 결함 가공 시 레이저 빔이 가공 대상의 표면에 직각으로 입사되어야 정상적인 가공이 가능하지만, 커브 디스플레이의 경우에는 그 기판 자체의 각도로 인하여 레이저 빔의 강도가 커브 디스플레이 내의 위치마다 다르다는 문제가 있다.

커브 디스플레이의 표면에 조사되는 레이저 빔의 강도가 상기 커브 디스플레이의 영역에 따라 불균일하게 분포되는 경우, 조사된 레이저 빔은 가공 목적에 따른 형태, 크기, 분포 모두 만족시킬 수 없는 문제가 발생한다.

본 발명은 곡면 디스플레이의 결함 해소 시 발생할 수 있는 상술한 문제를 해결하기 위한 기술을 제공하고자 한다.

상술한 문제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 관점에 따라 제공되는 장치는 곡면 디스플레이의 곡률 반경에 따라 구동되는 링크 스테이지(Link Stage)를 포함한다. 여기서 '링크'는 커브 디스플레이의 위치와 포지션을 제어하기 위한 구조물이 링크 구조를 포함하고 있음을 의미한다. 이때, 상기 링크 스테이지는 상기 곡면 디스플레이의 결함을 수리하기 위한 레이저 빔과 연동하도록 되어 있을 수 있다.

본 발명의 일 관점에 따라 제공되는 스테이지는, 커브 디스플레이의 결함을 보수(repair)하기 위하여 레이저 빔을 상기 커브 디스플레이의 제1지점에 조사시키고자 할 때에, 상기 레이저 빔이 상기 제1지점에 수직 입사하도록 상기 검사 스테이지의 자세를 제어하도록 되어 있는 구동부를 포함한다.

이때, 상기 구동부는, 제1링크(11); 상기 커브 디스플레이를 장착할 수 있는 제4링크(14); 일단부는 제3 회전 조인트(23)에 의해 상기 제4링크(14)의 제1지점에 결합되고, 타단부는 제1 회전 조인트(21)에 의해 상기 제1링크에 결합되는, 제1 가동 링크부(41); 및 일단부는 제4 회전 조인트(24)에 의해 상기 제4링크의 제2지점에 결합되고 타단부는 상기 제1링크에 결합되는 제2 가동 링크부(42);를 포함할 수 있다.

이때, 상기 제2 가동 링크부의 타단부는 상기 제1링크에 고정결합되어 있을 수 있다.

이때, 상기 스테이지의 자세는, 상기 제1 가동 링크부의 제1 전체길이와 상기 제2 가동 링크부의 제2 전체길이를 제어함으로써 바뀌도록 되어 있을 수 있다.

이때, 상기 제1 가동 링크부는 서로 피스톤 운동이 가능하도록 결합되어 있는 제2링크(12) 및 제3링크(13)를 포함하여 구성되며, 상기 제2링크는 상기 제1 회전 조인트에 연결되고, 상기 제3링크는 상기 제3 회전 조인트에 연결될 수 있다.

이때, 상기 제2링크 또는 상기 제3링크에는 제2 리니어 액추에이터가 구비되어 있으며, 상기 제2 리니어 액추에이터에 의하여 상기 제3링크가 상기 제2링크에 대하여 피스톤 운동을 하도록 되어 있을 수 있다.

이때, 상기 제2 가동 링크부는 상기 제1링크의 일부분(111)과 서로 피스톤 운동이 가능하도록 결합되어 있는 제5링크(15)를 포함하여 구성되며, 상기 제2 가동 링크부의 상기 일단부는 상기 제4 회전 조인트부에 연결될 수 있다.

이때, 상기 제1링크의 상기 일부분 또는 상기 제5링크에는 제1 리니어 액추에이터가 구비되어 있으며, 상기 제1 리니어 액추에이터에 의하여 상기 제5링크가 상기 제1링크의 일부분에 대하여 피스톤 운동을 하도록 되어 있을 수 있다.

또는, 상기 구동부는, 커브 디스플레이를 마운트할 수 있도록 되어 있는 장착부(103); 및 상기 커브 디스플레이에 대하여 제공되는 레이저 빔의 광축에 대한 수직방향(y축)을 회전축으로 하여 상기 장착부를 회전시키도록 되어 있는 회전부;를 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면 곡면 디스플레이의 결함 위치에 관계없이 상기 결함을 정확히 수리할 수 있는 리페어 장치를 제공할 수 있다.

도 1의 (a), (b), (c)는 커브 디스플레이의 결함을 해소하기 위하여 커브 디스플레이에 레이저 빔을 조사하는 경우 나타날 수 있는 문제점을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 링크형 스테이지(1)를 설명하기 위한 도면이다.
도 3a 및 도 3b는 도 2에서 설명한 링크형 스테이지에 의해 제공되는 2가지의 포지션의 예를 나타낸 것이다.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 리페어 장치의 구성을 나타낸 것이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 제3실시예에 따른 검사 스테이지(103)를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 도 2에 나타낸 링크형 스테이지에 커브 디스플레이가 장착된 모습을 나타내는 사용상태 사시도이다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 이하에서 사용되는 용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것을 의도하지 않는다. 또한, 이하에서 사용되는 단수 형태들은 문구들이 이와 명백히 반대의 의미를 나타내지 않는 한 복수 형태들도 포함한다.

도 1의 (a), (b), (c)는 커브 디스플레이의 결함을 해소하기 위하여 커브 디스플레이에 레이저 빔을 조사하는 경우 나타날 수 있는 문제점을 설명하기 위한 도면이다.

도 1의 (a)에서, 검사 대상이 되는 커브 디스플레이(2)는 검사 스테이지(50)에 상에 고정된다. 검사 스테이지(50)의 마운트 면은 x-y 평면상에 존재하는 것으로 가정하고 설명한다. 레이저 빔을 조사하기 위한 레이저 광학계(3)는 검사 스테이지(50) 상에 제공되어 레이저 빔(5, 5')을 검사 스테이지(50) 면을 향해 수직방향으로 조사하도록 설치되어 있다. 즉, 레이저 빔(5, 5')는 언제나 z 축 방향을 따라 조사된다.

커브 디스플레이(2) 상의 제1위치(51)에 제1결함이 존재하는 경우 레이저 빔(5)을 상기 제1결함에 조사함으로써 상기 제1결함의 영향을 제거할 수 있다. 만일 커브 디스플레이(2)의 제2위치(51')에 제2결함이 존재하는 경우 레이저 빔(5')을 상기 제2결함에 조사함으로써 상기 제2결함의 영향을 제거할 수 있다.

도 1의 (a)의 예에서, 레이저 빔(5, 5')이 검사 스테이지(50) 표면에 대해 언제나 수직으로 조사되도록 레이저 광학계(3)이 설치되어 있다. 따라서 레이저 빔의 조사위치를 제1위치(51)에서 제2위치(51')로 이동하기 위해서는 레이저 광학계(3)가 수평방향, 즉 x, y 평면을 따라 위치(31)에서 위치(31')로 이동하거나, 또는 검사 스테이지(50) 자체가 커브 디스플레이(2)와 함께 수평방향으로 움직이거나, 혹은 커브 디스플레이(2)가 검사 스테이지(50) 상에서 수평방향으로 움직여야 한다.

도 1의 (b) 및 (c)는 각각, 커브 디스플레이(2)의 제1위치(51) 및 제2위치(51')의 표면에 조사되는 빔 강도의 분포에 관한 프로파일(profile)을 나타낸다. 도 1의 (b) 및 (c)에서 가로축 및 세로축은 각각 x과 y축을 나타낸다.

도 1의 (b)에서는 x축과 y축 방향을 따라 레이저 빔(5)의 강도가 가우시안 분포를 따르는 것으로 측정되지만, 도 1의 (c)에서는 레이저 빔(5')의 강도가 불균일한 것으로 나타난다. 도 1의 (c)와 같은 레이저 빔 강도의 공간 불균일성은, 제2위치(51')에서의 커브 디스플레이(2) 표면에 대한 제2접선(91')과 레이저 빔(5')의 각도(θ')가 90˚를 이루지 않기 때문에 발생한다. 이에 비하여 도 1의 (b)와 같은 레이저 빔 강도의 x, y 축 대칭성은, 제1위치(51)에서의 커브 디스플레이(2) 표면에 대한 제1접선(91)과 레이저 빔(5)의 각도(θ')가 90˚를 이루기 때문에 유지될 수 있다.

<제1실시예>

이하, 본 발명의 제1실시예에 따른 링크형 스테이지(1)를 설명한다.

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 링크형 스테이지(1)를 설명하기 위한 도면이다.

도 2에 나타낸 링크형 스테이지(1)는 2개의 가동 링크부(41, 42)를 갖는 2축 링크형(link type) 스테이지이다. 이 링크형 스테이지(1)를 적용하여 커브 디스플레이 상의 어떤 위치에서라도 레이저 광학계의 광축과 커브 디스플레이 상의 레이저 조사 지점의 표면 사이의 각도를 수직으로 일정하게 유지시킬 수 있다. 따라서 커브 디스플레이 상의 어떤 위치에서라도 레이저 빔의 프로파일(Profile)을 일정하게 조사할 수 있다. 도 2에 나타낸 링크형 스테이지(1)는 특히 실리더형 곡면을 갖는 커브 디스플레이를 위해 사용될 수 있다.

링크형 스테이지(1)는 크게 5개의 링크부(11~15)와 5개의 조인트부(21~25)를 포함하여 구성될 수 있다. 5개의 링크부(11~15)는 제1링크(11), 제2링크(12), 제3링크(13), 제4링크(14), 및 제5링크(15)를 포함하고, 5개의 조인트부(21~25)는 제1조인트(21), 제2조인트(22), 제3조인트(23), 제4조인트(24), 및 제5조인트(25)를 포함할 수 있다.

제1링크(11)는 베이스(base)이고, 제4링크(14)는 커브 디스플레이를 장착할 수 있는 지그 유닛(Jig Unit)(69)이 형성되거나 부착될 수 있는 장착부이다.

제1조인트(21)는 제1링크(11)와 제2링크(12) 사이에 형성되어 제공되고, 제2조인트(22)는 제2링크(12)와 제3링크(13) 사이에 형성되어 제공되고, 제3조인트(23)는 제3링크(13)와 제4링크(14) 사이에 형성되어 제공되고, 제4조인트(24)는 제4링크(14)와 제5링크(15) 사이에 형성되어 제공되고, 그리고 제5조인트(25)는 제5링크(15)와 제1링크(11) 사이에 형성되어 제공된다.

제1조인트(21), 제3조인트(23), 및 제4조인트(24)는 회전 조인트이고, 제2조인트(22), 및 제5조인트(25)는 슬라이딩 조인트일 수 있다.

제1링크(11, 111) 및/또는 제5링크(15)에는 제1 리니어 액추에이터가 구비될 수 있다. 제5링크(15)는 상기 제1 리니어 액추에이터의 제1가동부에 연결되어 제1링크(11, 111)에 대하여 슬라이딩 운동 또는 피스톤 운동을 할 수 있다.

제2링크(12) 및/또는 제3링크(13)에는 제2 리니어 액추에이터가 구비될 수 있다. 제3링크(13)는 상기 제2 리니어 액추에이터의 제2가동부에 연결되어 제2링크(12)에 대하여 슬라이딩 운동 또는 피스톤 운동을 할 수 있다.

이때, 제2링크(12)와 제3링크(13)가 형성하는 축을 제1축(41) 또는 제1 가동 링크부(41)라고 정의하고, 제5링크(15) (및 제1링크(11, 111))가 형성하는 축을 제2축(42) 또는 제2 가동 링크부(42)라고 정의할 수 있다.

도 2에 도시한 2축 링크형 스테이지는 제1축(41)과 제2축(42)이 서로 반대 방향으로 이동하여 지그 유닛에 경사면을 형성할 수 있다. 즉, 제1축(41)의 전체 길이가 늘어나도록 제어하면서 제2축(42)의 전체 길이가 줄어들도록 제어하여 제1방향의 경사면을 형성하거나, 제1축(41)의 전체 길이가 줄어들도록 제어하면서 제2축(42)의 전체 길이가 늘어나도록 제어함으로써 제1방향의 반대방향인 제2방향의 경사면을 형성할 수 있다.

그 결과 커브 디스플레이(2)의 휘어 있는 정도를 나타내는 R값에 대한 각도 제어를 가능하게 함으로써 가공면의 표면을 레이저 광학계에 대해 항상 수직을 만들 수 있다.

도 2에 따른 링크형 스테이지의 자유도(DOF, Degree Of Freedom)는 다음 [수학식]과 같이 계산될 수 있다.

[수학식]

DOF=(#Link-1)*3-#Joint*2=(5-1)*3-5*2=12-10=2

따라서 상술한 2축 링크형 스테이지는 2개의 액추에이터에 의해 2축 제어가 가능한 시스템이다. 즉, 도 2에 도시한 2축 링크형 스테이지(1)는 상기 제1 리니어 액추에이터와 제2 리니어 액추에이터만을 제어함으로써 가능한 모든 자세를 만들어낼 수 있다. 상기 제1 리니어 액추에이터와 제2 레이저 액추에이터를 제어하여 제1축(41)과 제2축(42)의 길이를 각각 조절하게 되면, 제1조인트(21), 제3조인트(23), 및 제4조인트(24)는 이에 따라 자연스럽게 회전하게 된다.

상술한 바와 같이, 상술한 2축 링크형 스테이지는 병렬 구조를 구현함으로써, 각 축에서 발생하는 위치 오차가 누적되지 않으므로 제어 정밀도가 매우 높다는 장점이 있다.

도 2에의 구조에 있어서, 제1링크(11)에 대한 제1축(41)의 기울기는 링크형 스테이지(1)의 포지션에 따라 가변적이지만, 제1링크(11)에 대한 제2축(42)의 기울기는 링크형 스테이지(1)의 포지션에 따라 변하지 않을 수 있다.

도 3a 및 도 3b는 도 2에서 설명한 링크형 스테이지에 의해 제공되는 2가지의 포지션의 예를 나타낸 것이다.

도 3a는, 레이저 광학계(3)에 의해 리페어되어야 하는 지점이 커브 디스플레이(2)의 중앙부인 제1위치(51)에 존재하는 경우에 있어서의 링크형 스테이지(1)의 제1 포지션을 나타낸다.

상기 제1 포지션에서 예컨대 제1축(41)과 제2축(42)의 총 길이는 동일할 수 있다. 그리고 커브 디스플레이가 장착되는 장착부 역할을 하는 제4링크(14)의 표면은 광학계(3)에서 조사되는 레이저 빔의 광축과 수직을 이룰 수 있다. 이 실시에서 리페어되어야 하는 제1위치(51)에서의 커브 디스플레이(2)의 표면에 대한 접선(91)은 상기 레이저 빔의 광축과 직교할 수 있기 때문에, 도 1의 (b)와 같이 레이저 빔 강도의 프로파일이 커브 디스플레이(2)의 표면에 바람직한 형태로 제공될 수 있다.

도 3b는, 광학계(3)에 의해 리페어되어야 하는 지점이 커브 디스플레이(2)의 오른쪽 부분인 제2위치(51')에 존재하는 경우에 있어서의 링크형 스테이지(1)의 제2 포지션을 나타낸다.

이때, 상기 제2 포지션에서 제1축(41)의 총 길이가 제2축(42)의 총 길이가 더 길도록 제어될 수 있다. 이를 위하여 상기 제2 리니어 액추에이터에 의해 제3링크(13)가 제2링크(12) 바깥으로 슬라이드하여 빠져나갈 수 있다. 그리고, 또는, 상기 제1 리니어 액추에이터에 의해 제5링크(15)가 제1링크(11, 111)의 안쪽으로 슬라이드하여 들어올 수 있다. 위와 같이 제1 리니어 액추에이터와 제2 리니어 액추에이터를 제어하게 되면 제1조인트(21), 제3조인트(23), 및 제4조인트(24)의 회전상태가 자연스럽게 변화하게 된다.

링크형 스테이지(1)가 상기 제1 포지션에서 상기 제2 포지션으로 변화함에 따라, 광학계(3)의 위치는 오른쪽으로 이동하도록 제어된다. 이때, 광학계(3)은 병진하여 이동할 수 있으며, 이때 광학계(3)로부터 조사되는 레이저 빔의 광축의 방향은 변화하지 않을 수 있다. 상술한 바와 같이 광학계(3)의 위치는 링크형 스테이지(1)의 포지션에 연동하여 변화할 수 있다.

상기 제2 포지션에서, 장착부 역할을 하는 제4링크(14)의 표면은 레이저 광학계(3)에서 조사되는 레이저 빔의 광축과 수직을 이루지 않게 된다. 그러나 리페어되어야 하는 제2위치(51')에서의 커브 디스플레이(2)의 표면에 대한 접선(91')은 상기 레이저 빔의 광축과 직교할 수 있기 때문에 도 1의 (b)와 같이 레이저 빔 강도의 프로파일이 커브 디스플레이(2)의 표면에 바람직한 형태로 제공될 수 있다.

도 3a 및 도 3b에서 링크형 스테이지(1)의 하부에는 외부로부터의 진동을 제거하기 위한 아이솔레이터(71)가 형성되어 있거나 제공될 수 있다. 아이솔레이터(71)는 예컨대 진동필터일 수 있다.

레이저 광학계(3)에는 레이저 광학계(3)를 수평방향으로 병진이동시키기 위한 제1구동장치(미도시)가 결합되어 있을 수 있다. 그리고, 또는, 링크형 스테이지(1)에는 링크형 스테이지(1)를 수평방향으로 병진이동시키지 위한 제2구동장치(미도시)가 결합되어 있거나, 또는 제4링크(14)와 커브 디스플레이(2) 사이에는 커브 디스플레이(2)를 제4링크(14)의 표면에 대하여 이동시키기 위한 제3구동장치(미도시)가 결합되어 있을 수 있다. 이때, 상기 제1구동장치, 제2구동장치, 및/또는 제3구동장치에는 제어장치(85)가 무선/또는 유선으로 이동명령을 내릴 수 있도록 되어 있을 수 있다. 제어장치(85)는, 상기 제1구동장치, 제2구동장치, 및/또는 제3구동장치를 제어함으로써, 커브 디스플레이(2) 상의 결함위치에 따라, (1) 상기 커브 디스플레이의 수평면에 대한 기울기를 변경하도록 상기 스테이지의 자세를 제어하도록 되고, (2) 상기 스테이지에 대한 상기 레이저 광학계의 위치를 변경하도록 제어하도록 되어 있을 수 있다.

<제2실시예>

도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 리페어 장치의 구성을 나타낸 것이다.

도 4에 도시한 리페어 장치는 검사 스테이지(101)와 레이저 광학계(3)을 포함하여 구성될 수 있다. 이때, 검사 스테이지(101)는 기본적으로 x 및 y축 방향으로 이동 가능하도록 되어 있다.

이때, 커브 디스플레이(2) 중 리페어되어야 하는 제1위치(51)가 커브 디스플레이(2)의 중앙부에 있고, 레이저 광학계(3)가 커브 디스플레이(2)의 중앙부 바로 위에 위치한 경우에는, 레이저 광학계(3)가 레이저 빔(5)을 결함부 표면에 대하여 수직 방향으로 조사함으로써 제1위치(51)의 결함의 영향을 제거할 수 있다.

그러나 커브 디스플레이(2) 중 리페어되어야 하는 제2위치(51')가 커브 디스플레이(2)의 상기 중앙부에서 벗어난 경우에는, 레이저 광학계(3)의 광축을 일정 각도(θ2˚-90˚)만큼 회전시켜 레이저 빔(5')를 조사하여야 한다. 이때 만일, 레이저 광학계(3)의 회전축이 커브 디스플레이(2)로부터, 커브 디스플레이(2)의 곡률반경만큼 이격된 경우에는 단순히 레이저 광학계(3)만 회전하면 된다. 그러나 그렇지 않다면, 레이저 광학계(3)가 회전해야 할 뿐만 아니라 검사 스테이지(101)가 z축 방향을 따라 이동되어야만 레이저 빔이 리페어 위치에 수직으로 입사할 수 있다.

따라서 제2실시예에서는 커브 디스플레이(2)의 결합의 위치에 따라, 검사 스테이지(101)를 x, y, z 방향으로 병진이동 제어해야 하고, 레이저 광학계(3)을 회전 제어해야 한다.

이때, 레이저 광학계(3)은 진동과 뒤틀림에 민감하기 때문에 레이저 광학계(3)의 회전 제어는 매우 정교하게 이루어져야 한다.

<제3실시예>

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 제3실시예에 따른 검사 스테이지(103)를 설명하기 위한 도면이다.

검사 스테이지(103)에는 검사 스테이지(103)를 y축을 중심으로 회전하기 위한 회전부(57)가 포함될 수 있다.

도 5a 및 도 5b에 도시한 리페어 장치는 검사 스테이지(103)와 레이저 광학계(3)을 포함하여 구성될 수 있다. 이때, 검사 스테이지(103)는 기본적으로 x 및 y축 방향으로 병진이동 가능하도록 되어 있고, y축을 중심으로 회전 가능하도록 되어 있다.

그러나 커브 디스플레이(2) 중 리페어 되어야 하는 제2위치(51')가 커브 디스플레이(2)의 상기 중앙부에서 벗어난 경우에는, 검사 스테이지(103)를 필요한 각도(θ3˚)만큼 회전시키고. x, y 축을 따라 필요한 만큼 병진이동 시킨 후에 레이저 빔으로 결함 부위에 의한 영향을 제거해야 한다.

도 6은 도 2에 나타낸 링크형 스테이지에 커브 디스플레이가 장착된 모습을 나타내는 사용상태 사시도이다. 도 2 내지 도 5에 나타낸 구성들은 도 6에 나타낸 사시도 중 일부만을 발췌하여 나타낸 것이다.

상술한 본 발명의 실시예들을 이용하여, 본 발명의 기술 분야에 속하는 자들은 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에 다양한 변경 및 수정을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 특허청구범위의 각 청구항의 내용은 본 명세서를 통해 이해할 수 있는 범위 내에서 인용관계가 없는 다른 청구항에 결합될 수 있다.

1: 링크형 스테이지 2: 커브 디스플레이
3: 레이저 광학계 5, 5': 레이저 빔
11~15: 제1링크 ~ 제5링크
21~25: 제1조인트 ~ 제5조인트
41: 제1축, 제1 가동 링크부 42: 제2축, 제2 가동 링크부
51: 제1위치 51': 제2위치
57: 회전부
69: 지그 유닛 71: 아이솔레이터
85: 제어장치
91: 제1접선 91': 제2접선
101: 검사 스테이지 103: 검사 스테이지

Claims

커브 디스플레이의 결함을 보수(repair)하기 위하여 레이저 빔을 상기 커브 디스플레이의 제1지점에 조사시키고자 할 때에, 상기 레이저 빔이 상기 제1지점에 수직 입사하도록 상기 커브 디스플레이가 장착되는 스테이지로서, 상기 스테이지의 자세를 제어하도록 되어 있는 구동부를 포함하는, 스테이지; 및
상기 스테이지의 자세가 변경되는 동안 상기 레이저 빔의 광축이 항상 일정한 방향을 향하도록 상기 레이저 빔을 조사하는 레이저 광학계
를 포함하며,
상기 구동부는,
제1링크(11);
상기 커브 디스플레이를 장착할 수 있는 제4링크(14);
일단부는 제3 회전 조인트(23)에 의해 상기 제4링크(14)의 제1지점에 결합되고, 타단부는 제1 회전 조인트(21)에 의해 상기 제1링크에 결합되는, 제1 가동 링크부(41); 및
일단부는 제4 회전 조인트(24)에 의해 상기 제4링크의 제2지점에 결합되고 타단부는 상기 제1링크에 결합되는 제2 가동 링크부(42);
를 포함하는,
커브 디스플레이 결함 보수 장치.
제1항에 있어서,
상기 스테이지의 자세는, 상기 제1 가동 링크부의 제1 전체길이와 상기 제2 가동 링크부의 제2 전체길이를 각각 제어함으로써 바뀌도록 되어 있는,
커브 디스플레이 결함 보수 장치.
제2항에 있어서,
상기 제4링크의 기울기는, 상기 제1 전체길이와 상기 제2 전체길이 중 어느 하나는 짧아지도록 제어하고, 다른 하나는 길어지도록 제어함으로써 조절되는 것을 특징으로 하는,
커브 디스플레이 결함 보수 장치.
제1항에 있어서, 상기 제2 가동 링크부의 타단부는 상기 제1링크에 고정결합되어 있는, 커브 디스플레이 결함 보수 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 가동 링크부는 서로 피스톤 운동이 가능하도록 결합되어 있는 제2링크(12) 및 제3링크(13)를 포함하여 구성되며,
상기 제2링크는 상기 제1 회전 조인트에 연결되고, 상기 제3링크는 상기 제3 회전 조인트에 연결되는,
커브 디스플레이 결함 보수 장치.
제5항에 있어서,
상기 제2링크 또는 상기 제3링크에는 제2 리니어 액추에이터가 구비되어 있으며,
상기 제2 리니어 액추에이터에 의하여 상기 제3링크가 상기 제2링크에 대하여 피스톤 운동을 하도록 되어 있는,
커브 디스플레이 결함 보수 장치.
제5항에 있어서,
상기 제2 가동 링크부는 상기 제1링크의 일부분(111)과 서로 피스톤 운동이 가능하도록 결합되어 있는 제5링크(15)를 포함하여 구성되며,
상기 제2 가동 링크부의 일단부는 상기 제4 회전 조인트에 연결되는,
커브 디스플레이 결함 보수 장치.
제7항에 있어서,
상기 제1링크의 일부분 또는 상기 제5링크에는 제1 리니어 액추에이터가 구비되어 있으며,
상기 제1 리니어 액추에이터에 의하여 상기 제5링크가 상기 제1링크의 일부분에 대하여 피스톤 운동을 하도록 되어 있는,
커브 디스플레이 결함 보수 장치.
레이저 광학계(3);
커브 디스플레이가 마운트되는 스테이지(1); 및
제어장치(85);
를 포함하며,
상기 제어장치는, 상기 커브 디스플레이 상의 결함위치에 따라, (1) 상기 커브 디스플레이의 수평면에 대한 기울기를 변경하도록 상기 스테이지의 자세를 제어하도록 되고, (2) 상기 스테이지에 대한 상기 레이저 광학계의 위치를 변경하도록 제어하도록 되어 있고,
상기 스테이지의 자세가 변경되는 동안 상기 레이저 광학계에서 조사되는 레이저 빔의 광축이 항상 일정한 방향을 향하도록 되어 있으며,
상기 스테이지는,
제1링크(11);
상기 커브 디스플레이를 장착할 수 있는 제4링크(14);
일단부는 제3 회전 조인트(23)에 의해 상기 제4링크(14)의 제1지점에 결합되고, 타단부는 제1 회전 조인트(21)에 의해 상기 제1링크에 결합되는, 제1 가동 링크부(41); 및
일단부는 제4 회전 조인트(24)에 의해 상기 제4링크의 제2지점에 결합되고 타단부는 상기 제1링크에 결합되는 제2 가동 링크부(42);
를 포함하는,
커브 디스플레이 결함 보수 장치.
제9항에 있어서,
상기 스테이지의 자세는, 상기 제1 가동 링크부의 제1 전체길이와 상기 제2 가동 링크부의 제2 전체길이를 각각 제어함으로써 바뀌도록 되어 있는,
커브 디스플레이 결함 보수 장치.
제9항에 있어서,
상기 스테이지에 대한 상기 레이저 광학계의 위치를 변경하는 것은, 상기 레이저 광학계를 병진 이동함으로써 이루어지는, 커브 디스플레이 결함 보수 장치.