KR101675149B1 - 전도성잉크토출유닛 및 이를 이용한 잉크젯 프린팅방법, 디스플레이 리페어장치 - Google Patents

전도성잉크토출유닛 및 이를 이용한 잉크젯 프린팅방법, 디스플레이 리페어장치 Download PDF

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이승조
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Abstract

본 발명은 전도성 잉크와 고주파 펄스를 사용하는 전도성 잉크의 토출기술에 대한 것으로, 대상물에 도전성잉크를 토출하는 노즐을 포함하는 노즐부; 상기 노즐부에 전기적으로 연결되는 전극부; 상기 전극부를 통해 상기 노즐부에 펄스(pulse)를 인가하는 펄스제어부;를 포함하며, 상기 펄스제어부는 "플러스(+)" 파형과 "마이너스(-)" 파형의 펄스를 교차하여 인가하는 것을 특징으로 하는 전도성잉크토출유닛을 제공할 수 있도록 한다.

Description

전도성잉크토출유닛 및 이를 이용한 잉크젯 프린팅방법, 디스플레이 리페어장치{Apparatus for supply of conducive metal ink and Method of printing using the same, and Rapair device usint the same}
본 발명은 전도성 잉크와 고주파 펄스를 사용하는 전도성 잉크의 토출기술에 대한 것이다.
기존에는 전도성 미세 패턴 제작에 사용되고 있는 노광과 식각공정을 기반으로 하는 광학적 패터닝(photolithography) 방법이 주로 사용되고 있으나, 여러 단계의 복잡한 제조 공정을 거치는 에너지 집약적이고 고비용의 생산기술일 뿐만 아니라 노광과 식각 공정 중에 배출되는 가스, 폐수 등 환경오염 발생 가능성으로 대
체 공정 기술 개발이 연구 중이며, 이러한 대체 공정 기술로써 간단하고 친환경적 저비용 공정 기술인 잉크젯프린팅 응용 기술이 활발하게 연구 중이다.
잉크젯 프린팅을 통한 금속 배선 및 전도성 패턴 제작이 가능한 다양한 응용분야 중에는 400 - 800℃ 정도의 고온 열처리가 요구되어 플라스틱 기판 대신 유리 또는 치밀성/다공성 세라믹 기판이 사용되는 분야가 있다. 유리기판을 사용하는 부품 및 소자로는 평판 디스플레이 패널, 태양전지, 센서, 바이오 칩 등이며, 알루미나, 지르코니아, 질화알루미늄 등 치밀성 기판과 테입 캐스팅으로 제조된 소결 전 다공성 세라믹 그린 쉬트 (CeramicGreen Sheet) 등의 세라믹 기판을 사용하는 부품 및 소자로는 다층 인쇄회로 기판, 저온 동시 소성 세라믹스(Low Temperature Cofired Ceramics, LTCC), 적층형 수동부품 등이 있다.
도 1은 이러한 전도성 잉크를 토출하는 구조의 일반적인 구조를 도시한 것이다.
도 1을 참조하면, 기존의 전도성잉크의 토출을 통해 프린팅을 하는 구조는, 스테이지(30) 상에 대상물인 기판(30)을 배치하고, 그 상부에 노즐(10)을 배치하여 내부에 전도성 잉크를 상기 노즐(10)을 통해 상기 기판(30)의 표면에 토출하는 방식을 취하게 된다. 이 경우, 노즐(10) 부분에는 직류전압(+DC)을 가하고, 스테이지(30)에는 전극을 접지하거나, (-) 전하를 가한 상태에서 상하부 전극사이에서 발생하는 전위차를 이용하여 미세한 잉크방울이 노즐을 통해 토출하는 방식을 구현하여 왔다.
그러나, 높은 (+) 전압을 인가하여 전도성 잉크의 토출이 계속되는 경우, 노즐의 내부에 (-) 전하가 쌓여 정밀한 토출제어가 되지 않아 정밀한 토출작업을 구현하지 못하는 문제가 발생하게 된다. 나아가, (+) 전하가 임계점 이상으로 쌓이게 되면, 전도성 잉크가 쏟아지는 현상이 발생하여 치명적인 제품 불량으로 이어지게 된다.
본 발명의 실시예들은 상술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 특히 EHD (Electro-Hydro-Dynamics) 기술을 응용한 잉크젯 프린팅을 하는데 있어서, 상부 노즐 전극에 가해지는 Pulse 제어만으로 미세 선폭을 구현하도록 하는 전도성잉크의 토출장치를 제공할 수 있도록 한다.
이를 위해, 전도성 잉크에 가해지는 펄스 제어로 잉크의 유동을 생성하고, 유동중 잉크 분자의 탈출 전압까지 구동하도록 전압을 가하여 탈출하는 잉크 분자를 일정 주기를 갖는 연속 구동으로 연결하여 미세 선폭을 구현할 수 있도록 한다.
상술한 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 본 발명의 실시예에서는, 일정 주기를 갖는 펄스 제어를 하는데 있어서, 1주기를 안정상태, (+) 전하상태, (-)전하상태, 안정상태로 각각 구분하여 제어하는 방법으로, 노즐 내부의 전도성 잉크에 (+)나 (-)의 특정 전하가 쌓이는 것을 방지하여, 1주기 간격으로 전도성 잉크가 지속적인 안정상태를 유지함으로써, 미세선폭의 제어가 가능한 전도성 잉크의 토출장치를 제공할 수 있도록 한다.
이를 위해, 본 발명의 실시예에서는, 대상물에 도전성잉크를 토출하는 노즐을 포함하는 노즐부; 상기 노즐부에 전기적으로 연결되는 전극부; 상기 전극부를 통해 상기 노즐부에 펄스(pulse)를 인가하는 펄스제어부;를 포함하며, 상기 펄스제어부는 "플러스(+)" 파형과 "마이너스(-)" 파형의 펄스를 교차하여 인가하는 것을 특징으로 하는 전도성잉크토출유닛을 제공할 수 있도록 한다.
또한, 상기 펄스제어부는, "플러스(+)" 파형과 "마이너스(-)" 파형의 펄스를 교번하여 포함하는 1주기의 단위펄스를 구현하며, 상기 단위펄스는, 상기 노즐 내부의 전하가 평형을 이루는 평형구간;과 상기 평형구간에 연속되어 상기 노즐부 내부에 "플러스(+)" 펄스를 인가하여 "플러스(+)" 전하를 상승시키고 도전성잉크를 도출하는 토출구간; 상기 토출구간 이후에 "마이너스(-)" 펄스를 인가하여 상기 노즐부 내부에 "마이너스(-)" 전하를 상승시켜 전하의 평형을 구현하는 평형구간; 상기 노즐부 내부의 전하가 평형상태를 유지하는 안정구간;을 구현하도록 형성되는 전도성잉크토출유닛을 제공할 수 있도록 한다.
나아가, 상기 펄스제어부에서 인가하는 상기 펄스의 형상이 기울기를 가지는 다각형 형상인 전도성잉크토출유닛을 제공할 수 있도록 한다.
또한, 상기 펄스의 형상은 측면부에 기울기가 구현되는 사다리꼴 또는 삼각형 형상인 전도성잉크토출유닛을 제공할 수 있도록 한다.
나아가, 상기 단위펄스에 포함되는 "플러스(+)" 파형과 "마이너스(-)" 파형의 형상이 동일하게 구현할 수 있도록 한다.
나아가, 상기 토출구간에 인가되는 "플러스(+)" 펄스에 대응되는 "마이너스(-)" 펄스 구간을 설정하여 제어하는 전도성잉크토출유닛을 구현할 수 있다.
상술한 본 발명의 실시예에서는, 상기 대상물에는 전극이 형성되지 않는 비전극구조로 형성할 수 있도록 한다.
상술한 본 발명의 실시예에 따른 전도성잉크토출유닛은, 대상물을 전극을 접지하지 않는 상태로 어라인하는 1단계; 상기 대상물에 노즐을 포함하는 노즐부를 인접하게 이동하여 전도성잉크를 토출하는 2단계;를 포함하되, 상기 2단계는, 상기 노즐부에 연결되는 전극부를 통해 인가되는 펄스의 파형을 전도성잉크의 토출구간에 인가되는 "플러스(+)" 펄스에 대응되는 "마이너스(-)" 펄스 구간을 설정하여 제어하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅방법을 제공할 수 있도록 한다.
이 경우, 상기 2단계는, "플러스(+)" 파형과 "마이너스(-)" 파형의 펄스를 교번하여 포함하는 1주기의 단위펄스를 구현하되, 상기 단위펄스는, 상기 노즐 내부의 전하가 평형을 이루는 평형구간과 상기 평형구간에 연속되어 상기 노즐부 내부에 "플러스(+)" 펄스를 인가하여 "플러스(+)" 전하를 상승시키고 도전성잉크를 도출하는 토출구간, 상기 토출구간 이후에 "마이너스(-)" 펄스를 인가하여 상기 노즐부 내부에 "마이너스(-)" 전하를 상승시켜 전하의 평형을 구현하는 평형구간, 상기 노즐부 내부의 전하가 평형상태를 유지하는 안정구간을 구현하도록 하는 잉크젯 프린팅방법을 제공할 수 있도록 한다.
상술한 본 발명의 실시예에 따른 전도성잉크토출유닛은, 리페어 대상이 되는 기판; 상기 기판에 레이저를 조사하여 리페어가 필요한 부위에 배선 또는 패턴을 리페어하는 광학모듈; 및 상기 광학모듈에 인접하여 배치되며, 노즐부의 말단을 대물렌즈와 상기 기판의 사이에 위치시켜 절단된 부위에 전도성 잉크를 토출하는 전도성잉크토출유닛;과 같이 디스플레이 리페어장치에 적용될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 노즐부에 가해지는 펄스를 "플러스(+)" 파형과 "마이너스(-)" 파형의 펄스를 교차하여 인가하여 노즐 내부의 전하의 평형을 구현하는 방식으로 제어를 수행하여 정밀한 전도성잉크의 토출을 구현할 수 있게 된다.
특히, 본 발명의 실시예에 따르면, 노즐부에 가해지는 펄스만을 정밀제어하여 전도성잉크를 토출하기 때문에 장비구성의 단순화를 구현할 수 있으며, 기존 구조와 같이, 노즐과 기판 각각에 전극을 형성하고 대전하여 각각의 전극 사이의 전기장을 이용하는 방식에서 발생하는 전기장으로 인한 디스플레이기판의 전기소자의 손상요인을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 가공 대상 기판과의 간격에 따라서 형성되는 전기장의 크기에 영향을 받는 종래 기술 대비 하부에 전극을 형성하지 않고 상부 노즐 전극에 가해지는 펄스(Pulse)만으로 제어가 되기 때문에, 별도의 관측용 카메라 모듈을 사용하지 않고, 기존 레이저 리페어 장치 광학계의 렌즈와 기판 사이에 노즐이 삽입되는 모듈 형태로 구성이 가능하고, 미세 금속 라인 형성에 적용 가능한 장점이 있다. 이에 따라 본 발명의 실시예에 따른 전도성잉크토출유닛을 기존 레이저 리페어의 라인 절단 기능에 연속하여 절단된 구간 사이를 전도성 잉크를 사용하여 연결하도록 하여 생산성을 향상시키는 장치로 구성하는 것도 가능하다.
도 1은 일반적인 전도성잉크토출 기술의 예시를 든 개념도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 전도성잉크토출유닛의 구성 및 작용상태를 도시한 개념도이다.
도 3은 도 2에서의 단위 펄스의 구조를 도시한 것이다.
도 4는 본 장치에 적용되는 펄스제어부의 기능에 따라 펄스의 형태를 조절하는 실시예를 도시한 것이다.
도 5는 본 장치를 적용하는 디스플레이 리페어장치의 구조를 예시한 것이다.
도 6 내지 도 8은 본 장치의 작용상태 및 작용이미지이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다. 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성요소는 동일한 참조부여를 부여하고, 이에 대한 중복설명은 생략하기로 한다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 전도성잉크토출유닛(이하, '본 장치'라 한다.)의 구성 및 작용상태를 도시한 개념도이다.
도 2를 참조하면, 본 장치는 대상물에 도전성잉크를 토출하는 노즐을 포함하는 노즐부(110)와 상기 노즐부에 전기적으로 연결되는 전극부(120) 및 상기 전극부를 통해 상기 노즐부에 펄스(pulse)를 인가하는 펄스제어부(130)를 포함하여 구성될 수 있다. 특히 이 경우, 상기 펄스제어부(130)는 "플러스(+)" 파형과 "마이너스(-)" 파형의 펄스를 교차하여 인가하는 것을 특징으로 한다. 즉, 전도성 잉크에 가해지는 펄스 제어로 잉크의 유동을 생성하고, 유동중 잉크 분자의 탈출 전압까지 구동하도록 전압을 가하여 탈출하는 잉크 분자를 일정 주기를 갖는 연속 구동으로 연결하여 노즐부 내부에 전하의 균형을 통해 전도성잉크의 토출성을 제어할 수 있도록 하는 것이다.
특히, 본 장치에서는, 상기 펄스제어부(130)의 기능을 통해, "플러스(+)" 파형과 "마이너스(-)" 파형의 펄스를 교번하여 포함하는 1주기의 단위펄스를 구현할 수 있도록 한다. 즉, 일정한 주기를 갖는 반복펄스 파형을 형성하는 데 있어서, 1 사이클(cycle)을 가지는 단위펄스를 구현하도록 한다.
이러한 단위펄스는, 도 3에 도시된 것과 같이, 상기 노즐 내부의 전하가 평형을 이루는 평형구간(A)과 상기 평형구간에 연속되어 상기 노즐부 내부에 "플러스(+)" 펄스를 인가하여 "플러스(+)" 전하를 상승시키고 도전성잉크를 도출하는 토출구간(B), 그리고 상기 토출구간 이후에 "마이너스(-)" 펄스를 인가하여 상기 노즐부 내부에 "마이너스(-)" 전하를 상승시켜 전하의 평형을 구현하는 평형구간(C), 상기 노즐부 내부의 전하가 평형상태를 유지하는 안정구간(D)을 구현하도록 형성될 수 있도록 한다.
이러한 과정을 도 2 및 도 3을 통해 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
우선, 도 2의 (a)는 초기 상태로 노즐내부의 전하가 평형을 이루는 평형구간(A)를 도시한 것이다. 기본적으로 노즐의 말단부에서는 토출대기중인 전도성잉크(112)가 형성되며, 내부에는 (+) 및 (-) 전하가 평형을 이루고 있다.
이후, 도 2의 (b)에 도시된 것과 같이, 펄스제어부(130)의 제어에 의해 노즐부(110)의 내부로 플러스(+) 펄스가 인가되며, 이로 인해 노즐부(110) 내부의 플러스(+) 전하의 상승으로 전도성잉크의 도출(jetting; 114)이 일어나는 구간이다.
이후, 도 2의 (c)에 도시된 것과 같이, 펄스제어부(130)의 제어에 의해 노즐부(110) 내부로 마이너스(-) 전하가 인가되며, 마이너스 전하의 상승으로 노즐부 내부의 전하가 평형으로 돌아가는 구간이 형성되게 된다.
그리고, 도 2이 (d)와 같이, 전하가 평형을 유지하고 있는 안정상태 구간이 구현되게 된다. 물론, 이 경우, 전극과 전도성잉크의 재료의 구성에 따라 플라스와 마이너스의 파형은 반대로 적용할 수도 있음은 물론이다.
이러한 1 사이클을 단위펄스로 하여 주기적인 진행이 이루어질 수 있게 된다. 즉, 일정 주기를 갖는 펄스 제어를 하는데 있어서, 1주기를 안정상태, + 전하상태, - 전하상태, 안정상태로 각각 구분하여 제어하는 방법으로, 노즐 내부의 전도성 잉크에 (+)나 (-)의 특정 전하가 쌓이는 것을 방지하여, 1주기 간격으로 전도성 잉크가 지속적인 안정상태가 되도록 할 수 있다. 이 경우, 펄스 파형을 구성하는데 있어서 잉크를 토출하는 (+) 펄스 구간에 대응하는 (-) 펄스 구간을 설정하여 잉크 토출 직후 전하의 균형을 이루도록 구성하고, 이어서 일정한 안정 시간을 갖도록 구성할 수 있도록 한다.
이러한 제어과정을 통해, 전도성 잉크에 가해지는 펄스 제어로 잉크의 유동을 생성하고, 유동중 잉크 분자의 탈출 전압까지 구동하도록 전압을 가하여 탈출하는 잉크 분자를 일정 주기를 갖는 연속 구동으로 연결하여 미세 선폭을 구현하여 디스플레이 기판의 불량을 수리하는데 적용할 수 있게 된다. 나아가, 펄스를 제어하는데 있어서 전도성 잉크의 특성과 목표하는 선폭에 따라 펄스의 파형을 선택하여 사용하는 잉크젯 프린팅 기술과 장치에도 적용이 가능하다.
도 4는 본 장치에 적용되는 펄스제어부의 기능에 따라 펄스의 형태를 조절하는 실시예를 도시한 것이다.
즉, 도 4를 참조하면, 본 장치에 적용되는 펄스의 형태는 도 4의 (a)와 같이 형상이 사각형인 펄스 뿐만 아니라, 도 4 (b)와 같이 펄스의 형태가 측면에 일정한 기울기가 구현되는 사다리꼴이나 도 4의 (c)와 같이 펄스의 형태가 삼각형이 되는 구조로 구현할 수 있다. 나아가, 상기 단위펄스에 포함되는 "플러스(+)" 파형과 "마이너스(-)" 파형의 형상이 동일하게 구현할 수 있으며, 그 펄스의 크기 역시 동일하거나 도 4에 도시된 것과 같이 차이를 가지도록 구현할 수 있다.
즉, 본 장치에서는, 펄스의 형태는 전도성잉크의 점도나 표면장력에 따라서, 노즐 끝에서 잉크가 토출될 때 비산(Spray)을 방지하거나, 더 작은 토출사이즈(Drop Size)를 갖도록 하는 목적으로 사각형, 사다리꼴, 삼각형의 형태로 설정할 수 있다.
일예로, 도 4의 (a)와 같은, 사각 펄스 형태는 급격한 전압 상승과 하강을 반복하기 때문에 노즐 끝에서 스프레이 현상을 유발할 수 있다. 물론, 스프레이 현상이 필요한 경우에는 이러한 펄스를 공급할 수 있다.
이에 반해, 도 4의 (b)와 같이, 펄스의 기울기 값을 설정하여 사다리꼴로 형성하면 스프레이 발생을 억제하는 효과를 얻을 수 있다.
나아가, 도 4의 (c)와 같은 삼각형 형상이 펄스는, 전압 최고치를 유지하는 시간이 짧기 때문에, 상대적으로 작은 토출사이즈(Drop Size)를 형성하는데 효과적이다.
도 5는 본 장치를 적용하는 디스플레이 리페어장치의 구조를 예시한 것이다.
본 장치는, 가공 대상 기판과의 간격에 따라서 형성되는 전기장의 크기에 영향을 받는 종래 기술 대비 하부에 전극을 형성하지 않고 상부 노즐 전극에 가해지는 펄스 만으로 제어가 되기 때문에, 별도의 관측용 카메라 모듈을 사용하지 않고, 기존 레이저 리페어 장치 광학계의 렌즈와 기판 사이에 노즐이 삽입되는 모듈 형태로 구성이 가능하고, 미세 금속 라인 형성에 적용 가능한 장점이 있다.
일예로 도 5를 참조하면, 이는 레이저를 이용한 디스플레이 기판의 리페어장치를 도시한 것으로, Zap 레이저 소스(210)를 통해 리페어 대상인 기판(S)의 패턴을 수리하는 경우, 패턴의 수리가 일어나는 부분(X), 즉 기판(S)과 대물렌즈(OL) 사이에 본 장치에 따른 노즐(100)이 삽입되는 구조로 배치될 수 있다. 이 경우, 본 장치의 고주파 펄스제어를 통해 전도성잉크를 미세토출이 가능하게 되는바, 기존 레이저 리페어의 라인 절단 기능에 연속하여 절단된 구간 사이를 전도성 잉크를 사용하여 연결하도록 하여 생산성을 향상시키는 장치로 구성이 가능하다.
도 5에서는 레이저 소스(210)외에도, 소결레이저(sintering laser; 230)나 슬릿조명(230), 투과조명(240), 반사조명(245), 레이저의 경로를 조절하는 다수의 미러부재(미도시), 슬릿(Slit)을 포함하는 광학계가 구현되며, 여기에 오토포커스 모듈(미도시)의 제어모듈이 추가로 구비되는 구조로 구현될 수 있다.
도 6 내지 도 8은 이러한 장치를 이용하는 실제 가공이미지를 도시한 것으로, 도 6은 대물렌즈(220)에 인접하게 배치되는 본 장치의 노즐 팁(101)의 이미지이며, 도 7은 도 6에서의 노즐팁(101) 부분의 확대이미지이다.
도 8은 도 5의 장치를 사용하여 금속 패드 사이에 선폭이 3um 인 금속 라인을 형성하여 연결한 이미지를 나타낸 것이다. 즉, 노즐 끝단을 대물렌즈와 기판 사이에 위치하도록 하여 기존의 레이저 리페어 장치에서 실시하는 금속 배선의 절단 기능에 연결하여 절단된 배선 사이를 전도성 잉크로 연결하는 기능을 수행하도록 구성하여 이를 작용한 상태이미지를 도시한 것이다.
전술한 바와 같은 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였다. 그러나 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 변형이 가능하다. 본 발명의 기술적 사상은 본 발명의 기술한 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
110: 노즐부
120: 전극부
130: 펄스제어부

Claims (10)

  1. 삭제
  2. 대상물에 도전성잉크를 토출하는 노즐을 포함하는 노즐부;
    상기 노즐부에 전기적으로 연결되는 전극부;
    상기 전극부를 통해 상기 노즐부에 펄스(pulse)를 인가하는 펄스제어부;를 포함하며,
    상기 펄스제어부는,
    "플러스(+)" 파형과 "마이너스(-)" 파형의 펄스를 교번하여 포함하는 1주기의 단위펄스를 구현하며,
    상기 단위펄스는,
    상기 노즐 내부의 전하가 평형을 이루는 평형구간;과
    상기 평형구간에 연속되어 상기 노즐부 내부에 "플러스(+)" 펄스를 인가하여 "플러스(+)" 전하를 상승시키고 도전성잉크를 도출하는 토출구간;
    상기 토출구간 이후에 "마이너스(-)" 펄스를 인가하여 상기 노즐부 내부에 "마이너스(-)" 전하를 상승시켜 전하의 평형을 구현하는 평형구간;
    상기 노즐부 내부의 전하가 평형상태를 유지하는 안정구간;
    을 구현하도록 형성되는 전도성잉크토출유닛.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 펄스제어부에서 인가하는 상기 펄스의 형상이 기울기를 가지는 다각형 형상인 전도성잉크토출유닛.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 펄스의 형상은 측면부에 기울기가 구현되는 사다리꼴 또는 삼각형 형상인 전도성잉크토출유닛.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 단위펄스에 포함되는 "플러스(+)" 파형과 "마이너스(-)" 파형의 형상이 대응되는 전도성잉크토출유닛.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 토출구간에 인가되는 "플러스(+)" 펄스에 대응되는 "마이너스(-)" 펄스 구간을 설정하여 제어하는 전도성잉크토출유닛.
  7. 청구항 2 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 대상물에는 전극이 형성되지 않는 비전극구조인 전도성잉크토출유닛.
  8. 삭제
  9. 대상물을 전극을 접지하지 않는 상태로 어라인하는 1단계;
    상기 대상물에 노즐을 포함하는 노즐부를 인접하게 이동하여 전도성잉크를 토출하는 2단계;를 포함하되,
    상기 2단계는,
    "플러스(+)" 파형과 "마이너스(-)" 파형의 펄스를 교번하여 포함하는 1주기의 단위펄스를 구현하되,
    상기 단위펄스는,
    상기 노즐 내부의 전하가 평형을 이루는 평형구간과
    상기 평형구간에 연속되어 상기 노즐부 내부에 "플러스(+)" 펄스를 인가하여 "플러스(+)" 전하를 상승시키고 도전성잉크를 도출하는 토출구간,
    상기 토출구간 이후에 "마이너스(-)" 펄스를 인가하여 상기 노즐부 내부에 "마이너스(-)" 전하를 상승시켜 전하의 평형을 구현하는 평형구간,
    상기 노즐부 내부의 전하가 평형상태를 유지하는 안정구간을 구현하도록 하는 잉크젯 프린팅방법.
  10. 리페어 대상이 되는 기판;
    상기 기판에 레이저를 조사하여 리페어가 필요한 부위에 배선 또는 패턴을 리페어하는 광학모듈; 및
    상기 광학모듈에 인접하여 배치되며, 노즐부의 말단을 대물렌즈와 상기 기판의 사이에 위치시켜 절단된 부위에 전도성 잉크를 토출하는 청구항 2의 전도성잉크토출유닛;
    을 포함하는 전도성잉크토출유닛을 포함하는 디스플레이 리페어장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101133072B1 (ko) * 2008-12-31 2012-04-04 참엔지니어링(주) 컬러 필터의 리페어 방법
KR101466058B1 (ko) * 2013-12-10 2014-12-10 국립대학법인 울산과학기술대학교 산학협력단 전기수력학적현상을 이용하는 프린팅 장치 및 그를 이용한 프린팅 방법

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