KR101671902B1 - 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 및 그의 제조 장치 및 방법 - Google Patents

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강호주
김정훈
하태권
배근득
장경수
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부산대학교 산학협력단
(주)서영
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Abstract

본 발명은 미세 패턴을 연속적으로 형성하는 롤투롤(Roll to Roll) 방식과 라미네이션(Lamination) 방식을 결합하여 광회로를 고밀도,고집적으로 균일하게 대량 생산할 수 있도록 한 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 및 그의 제조 장치 및 방법에 관한 것으로, 웹 필름상에 클래드 용액의 도포 이후에 서브 롤러가 메인 롤러에 가압되는 롤투롤 공정에 의해 형성되는 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름;라미네이션 공정으로 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름에 코어 용액을 도포하여 하부 클래드 홈에 형성되는 코어; 및 코어 용액의 도포 이후에 서브롤러 2개에 의해 가압되어 형성되는 상부 클래드 필름;을 포함하는 것이다.

Description

롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 및 그의 제조 장치 및 방법{Planar Lightwave Circuit using Combined Process with Roll to Roll and Lamination and Apparatus and Method for Manufacturing the same}
본 발명은 평면형 광회로 소자의 제조에 관한 것으로, 구체적으로 미세 패턴을 연속적으로 형성하는 롤투롤(Roll to Roll) 방식과 라미네이션(Lamination) 방식을 결합하여 광회로를 고밀도,고집적으로 균일하게 대량 생산할 수 있도록 한 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, MEMS, 바이오 및 광학 소자 등의 제조 기술은 광학 리소그래피를 통해 이루어지나, 이는 복잡한 공정 단계와 높은 초기 투자비용으로 인하여 많은 문제점을 지니고 있다.
또한, 평면형 광회로 소자(Planar Lightwave Circuit;PLC)는 대용량 정보의 고속 처리를 위하여 활발한 연구가 이루어지고 있다. 이러한 연구는 저가격, 고효율의 관점에서 고분자를 이용한 소자 제작 기술이 각광받고 있다.
따라서, 최근에는 고분자의 변형을 통한 임프린트 패터닝 기술이 많은 각광을 받고 있다.
이는 동일한 성형물을 반복적으로 성형할 수 있다는 장점이 있으며, 또한, 고분자 광학 소자의 제작은 실리콘 기반의 광학 소자 제작에 비하여 공정이 단순하며, 공정시간이 짧고, 공정비용이 저렴하여 대량 생산이 가능하다는 점에서 다른 제작 공정에 비해 상당한 장점을 가지고 있다.
이러한 고분자 광학 소자는 임프린트 공정에 의해 형성된 패턴에 정밀한 광회로 형성이 요구되는데, 특히 정밀한 치수정밀도 및 적층, 그리고 광학 소자의 우수한 특성을 위해서는 광회로의 미소 잔류층 제어가 중요하다.
임프린트 패터닝 기술은 미세 구조물을 가진 금형을 폴리머와 물리적으로 접촉시켜 미세 패턴을 직접 전사시키는 기법으로 단순한 공정, 짧은 공정시간 및 저렴한 공정비용으로 마이크로/나노(micro/nano) 패터닝 기술에서 차세대 공정기술로 부각되고 있다.
그러나 이와 같은 임프린트 패터닝 기술의 장점에도 불구하고 평면형 광회로 소자를 고밀도, 고집적으로 균일하게 대량 생산할 수 있는 새로운 제조 방법에 대한 요구가 계속되고 있다.
한국공개특허번호 10-2013-1343010호 한국공개특허번호 10-2010-0012954호
본 발명은 이와 같은 종래 기술의 평면형 광회로 소자 제조 방법의 문제를 해결하기 위한 것으로, 평면형 광회로 소자를 고밀도, 고집적으로 균일하게 대량 생산할 수 있도록 한 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 및 그의 제조 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 미세 패턴을 연속적으로 형성하는 롤투롤(Roll to Roll) 방식과 라미네이션(Lamination) 방식을 결합하여 광회로를 고밀도,고집적으로 균일하게 대량 생산할 수 있도록 한 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 및 그의 제조 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 필름의 상부에 하부 클래드 홈을 형성하는 단계에서 클래드 용액의 도포 이후 서브 롤러 1개가 메인 롤러 1개에 가압되어 용액의 도포 균일성을 확보할 수 있도록 한 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 및 그의 제조 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 필름의 상부에 하부 클래드 홈을 형성하는 단계에서 서브 롤러 1개를 배치하여 경화 이후에 발생 가능한 파손을 방지할 수 있도록 한 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 및 그의 제조 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 평면형 광회로 소자가 직선 패턴을 포함하여, 광학 소자 정렬 문제를 해결하고, 검사 장치를 포함하여 하부 클래드 구조의 정밀도를 높일 수 있도록 한 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 및 그의 제조 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 하부 클래드가 형성된 필름에 코어 용액을 도포하고 서브롤러 2개를 이용하여 가압하여 코어용액의 도포 균일성을 높일 수 있도록 한 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 및 그의 제조 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자는 웹 필름상에 클래드 용액의 도포 이후에 서브 롤러가 메인 롤러에 가압되는 롤투롤 공정에 의해 형성되는 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름;라미네이션 공정으로 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름에 코어 용액을 도포하여 하부 클래드 홈에 형성되는 코어; 및 코어 용액의 도포 이후에 서브롤러 2개에 의해 가압되어 형성되는 상부 클래드 필름;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 평면형 광회로 소자는 직선 형태의 광섬유 정렬 패턴을 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고 평면형 광회로 소자의 입출력단에 상기 광섬유 정렬 패턴과 동일한 크기의 U자 형태의 홈을 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고 평면형 광회로 소자의 하부 클래드 홈과 입출력단에 형성된 U자 형태의 홈의 중심축이 일치하는 것을 특징으로 한다.
그리고 광섬유 정렬 패턴과 U자 형태의 홈의 크기는 120 ~ 130㎛인 것을 특징으로 한다.
그리고 직선 형태의 광섬유 정렬 패턴은 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름 형성 이후에 검사 장치에 의한 광학 소자 정렬 검사에 이용되는 것을 특징으로 한다.
그리고 상부 클래드 필름 상부에 평면형 광회로 소자의 보호를 위한 보호 필름이 더 형성되는 것을 특징으로 한다.
다른 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 장치는 필름의 상부에 하부 클래드 홈을 형성하는 롤투롤 모듈;하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름을 검사하는 검사 모듈;상기 하부 클래드 홈에 형성되는 코어와 상부 클래드를 형성하는 라미네이션 모듈;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 필름의 상부에 하부 클래드 홈을 형성하는 롤투롤 모듈은, 필름의 상부에 하부 클래드 홈을 형성하는 단계에서 클래드 용액의 도포 이후 서브 롤러 1개가 메인 롤러 1개에 가압되도록 구성되고, 가압 단계 이후에 다시 서브 롤러 1개를 배치하여 경화 이후에 발생하는 파손을 방지하는 것을 특징으로 한다.
그리고 메인 롤러 1개에 가압되도록 구성되는 서브 롤러 1개는, 메인 롤러 1개의 중심축 전면에 배치되어 메인 롤러를 통과하여 흘러가는 필름의 각도가 20 ~ 50도를 이루도록 하는 것을 특징으로 한다.
그리고 코어와 상부 클래드를 형성하기 이전 단계에 하부 클래드 필름을 검사하는 검사 모듈이 위치하는 것을 특징으로 한다.
그리고 코어와 상부 클래드를 형성하는 라미네이션 모듈은, 하부 클래드가 형성된 필름에 코어 용액을 도포하고 서브롤러 2개를 이용하여 가압되도록 구성되어 상부 클래드 필름을 부착하는 것을 특징으로 한다.
또 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 장치는 공급되는 웹 필름상에 하부 클래드 코팅을 하는 하부 클래드 코팅부;하부 클래드 코팅이 이루어진 웹 필름을 가압하여 롤투롤 공정으로 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름을 형성하는 제 1 서브 롤러 및 메인 롤러;제 1 서브 롤러 및 메인 롤러에 의한 가압 단계 이후에 하부 클래드 필름이 수평을 유지하도록 하는 제 2 서브 롤러;제 2 서브 롤러를 지난 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름의 광학 소자 정렬 검사를 하는 검사 모듈;광학 소자 정렬 검사가 이루어진 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름상에 코어 물질을 코팅하는 코어 코팅부;코어물질이 코팅된 하부 클래드 필름과 상부 클래드 필름 롤에서 공급되는 상부 클래드 필름을 라미네이션 공정으로 합착하는 라미네이션 롤러 및 제 3 서브 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 제 1 서브 롤러 및 메인 롤러에 의해 가압되어 하부 클래드 필름이 형성되면 UV 경화를 하는 제 1 UV 경화 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고 라미네이션 공정 단계 이후에 UV 경화를 하는 제 2 UV 경화 장치와,제 2 UV 경화 장치를 지난 필름이 일정 각도를 유지하도록 하는 제 4 서브 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 장치는 공급되는 웹 필름상에 하부 클래드 코팅을 하는 하부 클래드 코팅부;하부 클래드 코팅이 이루어진 웹 필름을 가압하여 롤투롤 공정으로 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름을 형성하는 제 1 서브 롤러 및 메인 롤러;제 1 서브 롤러 및 메인 롤러에 의한 가압 단계 이후에 하부 클래드 필름이 수평을 유지하도록 하는 제 2 서브 롤러;제 2 서브 롤러를 지난 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름의 광학 소자 정렬 검사를 하는 검사 모듈;광학 소자 정렬 검사가 이루어진 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름상에 코어 물질을 코팅하는 코어 코팅부;코어물질이 코팅된 하부 클래드 필름을 가압하여 라미네이션 공정으로 성형하는 라미네이션 롤러 및 제 3 서브 롤러;코어가 형성된 필름상에 상부 클래드 물질을 코팅하는 상부 클래드 코팅부;상부 클래드 물질이 코팅된 필름과 보호 필름 롤에서 공급되는 보호 필름을 가압하는 제 5,6 서브 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 제 1 서브 롤러 및 메인 롤러에 의해 가압되어 하부 클래드 필름이 형성되면 UV 경화를 하는 제 1 UV 경화 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고 라미네이션 공정 이후에 UV 경화를 하는 제 2 UV 경화 장치와, 제 2 UV 경화 장치를 지난 필름이 일정 각도를 유지하도록 하는 제 4 서브 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 방법은 롤투롤 모듈로 공급되는 웹 필름상에 하부 클래드 코팅을 하는 단계;하부 클래드 코팅이 이루어진 웹 필름을 가압하여 롤투롤 공정으로 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름을 형성하는 단계;하부 클래드 필름이 형성되면 UV 경화를 하고, 하부 클래드 필름이 수평을 유지하도록 하여 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름을 검사하는 단계;하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름상에 코어 물질을 코팅하는 단계;코어물질이 코팅된 하부 클래드 필름과 상부 클래드 필름 롤에서 공급되는 상부 클래드 필름을 라미네이션 공정으로 합착하는 단계;라미네이션 공정 단계 이후에 UV 경화하는 단계;를 포함하고, 평면형 광회로 소자를 제조하는 것을 특징으로 한다.
또 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 방법은 롤투롤 모듈로 공급되는 웹 필름상에 하부 클래드 코팅을 하는 단계;하부 클래드 코팅이 이루어진 웹 필름을 가압하여 롤투롤 공정으로 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름을 형성하는 단계;하부 클래드 필름이 형성되면 UV 경화를 하고, 하부 클래드 필름이 수평을 유지하도록 하여 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름을 검사하는 단계;하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름상에 코어 물질을 코팅하는 단계;코어물질이 코팅된 하부 클래드 필름을 가압하여 라미네이션 공정으로 성형하고, UV 경화하는 단계;코어가 형성된 필름상에 상부 클래드 물질을 코팅하는 단계;상부 클래드 물질이 코팅된 필름과 보호 필름 롤에서 공급되는 보호 필름을 가압하는 단계;를 포함하고, 평면형 광회로 소자를 제조하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 평면형 광회로 소자는 직선 형태의 광섬유 정렬 패턴이 형성되는 것을 특징으로 한다.
그리고 평면형 광회로 소자는 광섬유 정렬 패턴을 포함하고, 입출력단에 광섬유 정렬 패턴과 동일한 크기의 U자 형태의 홈을 형성하는 것을 특징으로 한다.
그리고 평면형 광회로 소자는 하부 클래드 홈과 입출력단에 형성되는 U자 형태의 홈의 중심축이 일치하도록 형성하는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 장치 및 방법은 다음과 같은 효과를 갖는다.
첫째, 평면형 광회로 소자를 고밀도, 고집적으로 균일하게 대량 생산할 수 있도록 한다.
둘째, 미세 패턴을 연속적으로 형성하는 롤투롤(Roll to Roll) 방식과 라미네이션(Lamination) 방식을 결합하여 고밀도의 균일한 광회로를 효율적으로 제조할 수 있다.
셋째, 필름의 상부에 하부 클래드 홈을 형성하는 단계에서 클래드 용액의 도포 이후 서브 롤러 1개가 메인 롤러 1개에 가압되어 용액의 도포 균일성을 확보할 수 있다.
넷째, 필름의 상부에 하부 클래드 홈을 형성하는 단계에서 서브 롤러 1개를 배치하여 경화 이후에 발생 가능한 파손을 방지할 수 있다.
다섯째, 평면형 광회로 소자가 직선 패턴을 포함하여, 광학 소자 정렬 문제를 해결하고, 검사 장치를 포함하여 하부 클래드 구조의 정밀도를 높일 수 있다.
여섯째, 하부 클래드가 형성된 필름에 코어 용액을 도포하고 서브롤러 2개를 이용하여 가압하여 코어용액의 도포 균일성을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 장치의 구성도
도 2a와 도 2b는 본 발명의 제 1,2 실시 예에 따른 평면형 광회로 소자 제조 장치의 공정 흐름을 나타낸 구성도
도 3은 본 발명에 따른 롤투롤 공정 단계의 상세 구성도
도 4a와 도 4b는 본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의해 제조된 평면형 광회로 소자의 구성도
도 5a와 도 5b는 본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조를 위한 플로우 차트
이하, 본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 및 그의 제조 장치 및 방법의 바람직한 실시 예에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 및 그의 제조 장치 및 방법의 특징 및 이점들은 이하에서의 각 실시 예에 대한 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 장치의 구성도이다.
본 발명은 미세 패턴을 연속적으로 형성하는 롤투롤(Roll to Roll) 방식과 라미네이션(Lamination) 방식을 결합하여 광회로를 고밀도,고집적으로 균일하게 대량 생산할 수 있도록 한 것이다.
이를 위한 본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 장치는 도 1에서와 같이, 크게 필름의 상부에 하부 클래드 홈을 형성하는 롤투롤 모듈과, 하부 클래드 필름을 검사하는 검사 모듈과, 코어와 상부 클래드를 형성하는 라미네이션 모듈을 포함한다.
여기서, 필름의 상부에 하부 클래드 홈을 형성하는 롤투롤 모듈은, 필름의 상부에 하부 클래드 홈을 형성하는 단계에서 클래드 용액의 도포 이후 서브 롤러 1개가 메인 롤러 1개에 가압되도록 구성되어 도포 균일성을 확보하고, 가압 단계 이후에 다시 서브 롤러 1개를 배치하여 경화 이후에 발생 가능한 파손을 방지한다.
메인 롤러 1개에 가압되도록 구성되는 서브 롤러 1개는 메인 롤러 1개의 중심축 전면에 배치되어 메인 롤러를 통과하여 흘러가는 필름의 각도가 20 ~ 50도를 이루도록 하여 하부 클래드 홈의 정확한 형성이 가능하도록 한다.
그리고 코어와 상부 클래드를 형성하기 이전에 하부 클래드 필름을 검사하는 검사 모듈이 위치하여 패턴의 정밀성을 확보한다.
그리고 코어와 상부 클래드를 형성하는 라미네이션 모듈은, 하부 클래드가 형성된 필름에 코어 용액을 도포하고 서브롤러 2개를 이용하여 가압되도록 구성되어 코어용액의 도포 균일성을 높이며, 상부 클래드 필름을 부착하는 공정의 효율성을 확보한다.
이와 같은 본 발명에 따른 본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 장치의 상세 구성은 다음과 같다.
도 2a와 도 2b는 본 발명의 제 1,2 실시 예에 따른 평면형 광회로 소자 제조 장치의 공정 흐름을 나타낸 구성도이다.
먼저, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 평면형 광회로 소자 제조 장치는 도 2a에서와 같이, 롤투롤 모듈로 공급되는 웹 필름(20)상에 하부 클래드 코팅을 하는 하부 클래드 코팅부(21)와, 하부 클래드 코팅이 이루어진 웹 필름(20)을 가압하여 롤투롤 공정으로 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름을 형성하는 제 1 서브 롤러(22) 및 메인 롤러(23)와, 제 1 서브 롤러(22) 및 메인 롤러(23)에 의해 가압되어 하부 클래드 필름이 형성되면 UV 경화를 하는 제 1 UV 경화 장치(24)와, 제 1 서브 롤러(22) 및 메인 롤러(23)에 의한 가압 단계 및 UV 경화 단계 이후에 하부 클래드 필름이 수평을 유지하도록 하는 제 2 서브 롤러(25)와, 제 2 서브 롤러(25)를 지난 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름의 광학 소자 정렬 검사를 하는 검사 모듈(26)과, 광학 소자 정렬 검사가 이루어진 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름상에 코어 물질을 코팅하는 코어 코팅부(27)와, 코어물질이 코팅된 하부 클래드 필름과 상부 클래드 필름 롤(28)에서 공급되는 상부 클래드 필름을 라미네이션 공정으로 합착하는 라미네이션 롤러(30) 및 제 3 서브 롤러(29)와, 라미네이션 공정 단계 이후에 UV 경화를 하는 제 2 UV 경화 장치(31)와, 제 2 UV 경화 장치(31)를 지난 필름이 일정 각도를 유지하도록 하는 제 4 서브 롤러(32)를 포함한다.
그리고 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 평면형 광회로 소자 제조 장치는 도 2b에서와 같이, 롤투롤 모듈로 공급되는 웹 필름(20)상에 하부 클래드 코팅을 하는 하부 클래드 코팅부(21)와, 하부 클래드 코팅이 이루어진 웹 필름(20)을 가압하여 롤투롤 공정으로 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름을 형성하는 제 1 서브 롤러(22) 및 메인 롤러(23)와, 제 1 서브 롤러(22) 및 메인 롤러(23)에 의해 가압되어 하부 클래드 필름이 형성되면 UV 경화를 하는 제 1 UV 경화 장치(24)와, 제 1 서브 롤러(22) 및 메인 롤러(23)에 의한 가압 단계 및 UV 경화 단계 이후에 하부 클래드 필름이 수평을 유지하도록 하는 제 2 서브 롤러(25)와, 제 2 서브 롤러(25)를 지난 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름의 광학 소자 정렬 검사를 하는 검사 모듈(26)과, 광학 소자 정렬 검사가 이루어진 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름상에 코어 물질을 코팅하는 코어 코팅부(27)와, 코어물질이 코팅된 하부 클래드 필름을 가압하여 라미네이션 공정으로 성형하는 라미네이션 롤러(30) 및 제 3 서브 롤러(29)와, 라미네이션 공정 단계 이후에 UV 경화를 하는 제 2 UV 경화 장치(31)와, 제 2 UV 경화 장치(31)를 지난 필름이 일정 각도를 유지하도록 하는 제 4 서브 롤러(32)와, 제 4 서브 롤러(32)를 지난 코어가 형성된 필름상에 상부 클래드 물질을 코팅하는 상부 클래드 코팅부(33)와, 상부 클래드 물질이 코팅된 필름과 보호 필름 롤(34)에서 공급되는 보호 필름을 가압하는 제 5,6 서브 롤러(35)(36)을 포함한다.
그리고 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름의 형성은 도 3에서와 같이, PET 웹 필름(PET Web film)이 공급되면 UV 레진을 공급하는 디스펜서(Dispensing system)에서 UV 레진(UV resin)을 공급하고, 코어 패턴을 갖는 롤 몰드(Roll mold)를 갖는 메인 롤러를 서브 롤러가 가압하면서 성형된 코어 패턴을 UV 경화장치를 이용하여 경화시킨다.
도 3은 본 발명에 따른 롤투롤 공정 단계의 상세 구성도이다.
이와 같은 공정으로 형성된 본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자의 구조는 다음과 같다.
도 4a와 도 4b는 본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의해 제조된 평면형 광회로 소자의 구성도이다.
본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자는 제 1 웹 필름(41)상에 클래드 용액의 도포 이후에 서브 롤러가 메인 롤러에 가압되는 롤투롤 공정에 의해 형성되는 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름(42)과, 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름에 코어 용액을 도포하여 하부 클래드 홈에 형성되는 코어(43)와, 라미네이션 공정으로 코어 용액의 도포 이후에 서브롤러 2개에 의해 가압되어 형성되는 상부 클래드 필름(44)과, 상부 클래드 필름(44)상에 구성되는 제 2 웹 필름(45)을 포함한다.
여기서, 본 발명에 따른 평면형 광회로 소자는 직선 형태의 광섬유 정렬 패턴을 포함한다.
그리고 평면형 광회로 소자의 입출력단에 상기 광섬유 정렬 패턴과 동일한 크기의 U자 형태의 홈을 포함한다.
그리고 평면형 광회로 소자의 하부 클래드 홈과 입출력단에 형성된 U자 형태의 홈의 중심축이 일치하는 구조를 갖는다.
그리고 광섬유 정렬 패턴과 U자 형태의 홈의 크기는 120 ~ 130㎛인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 125㎛이다.
그리고 직선 형태의 광섬유 정렬 패턴은 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름 형성 이후에 검사 장치에 의한 광학 소자 정렬 검사에 이용되는 것이다.
그리고 상부 클래드 필름 상부에 평면형 광회로 소자의 보호를 위한 보호 필름이 더 형성될 수 있다.
이와 같은 본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자의 제조 공정은 다음과 같다.
도 5a와 도 5b는 본 발명의 제 1,2 실시 예에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조를 위한 플로우 차트이다.
먼저, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 공정은 도 5a에서와 같이, 롤투롤 모듈로 공급되는 웹 필름(20)상에 하부 클래드 코팅을 한다.(S501)
하부 클래드 코팅이 이루어진 웹 필름(20)을 가압하여 롤투롤 공정으로 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름을 형성한다.(S502)
이어, 제 1 서브 롤러(22) 및 메인 롤러(23)에 의해 가압되어 하부 클래드 필름이 형성되면 UV 경화를 한다.(S503)
그리고 제 1 서브 롤러(22) 및 메인 롤러(23)에 의한 가압 단계 및 UV 경화 단계 이후에 하부 클래드 필름이 수평을 유지하도록 하고, 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름의 광학 소자 정렬 검사를 한다.(S504)
이어, 광학 소자 정렬 검사가 이루어진 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름상에 코어 물질을 코팅한다.(S505)
그리고 코어물질이 코팅된 하부 클래드 필름과 상부 클래드 필름 롤(28)에서 공급되는 상부 클래드 필름을 라미네이션 공정으로 합착하고(S506), 라미네이션 공정 단계 이후에 UV 경화를 한다.(S507)
그리고 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 공정은 도 5b에서와 같이, 롤투롤 모듈로 공급되는 웹 필름(20)상에 하부 클래드 코팅을 한다.(S511)
하부 클래드 코팅이 이루어진 웹 필름(20)을 가압하여 롤투롤 공정으로 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름을 형성한다.(S512)
이어, 제 1 서브 롤러(22) 및 메인 롤러(23)에 의해 가압되어 하부 클래드 필름이 형성되면 UV 경화를 한다.(S513)
그리고 제 1 서브 롤러(22) 및 메인 롤러(23)에 의한 가압 단계 및 UV 경화 단계 이후에 하부 클래드 필름이 수평을 유지하도록 하고, 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름의 광학 소자 정렬 검사를 한다.(S514)
이어, 광학 소자 정렬 검사가 이루어진 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름상에 코어 물질을 코팅한다.(S515)
그리고 코어물질이 코팅된 하부 클래드 필름을 가압하여 라미네이션 공정으로 성형하고(S516), UV 경화를 한다.(S517)
이어, 코어가 형성된 필름상에 상부 클래드 물질을 코팅하고(S518), 상부 클래드 물질이 코팅된 필름과 보호 필름 롤(34)에서 공급되는 보호 필름을 가압한다.(S519)
이상에서 설명한 본 발명에 따른 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 및 그의 제조 장치 및 방법은 미세 패턴을 연속적으로 형성하는 롤투롤(Roll to Roll) 방식과 라미네이션(Lamination) 방식을 결합하여 광회로를 고밀도,고집적으로 균일하게 대량 생산할 수 있도록 한 것이다.
이상에서의 설명에서와 같이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 본 발명이 구현되어 있음을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로 명시된 실시 예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 하고, 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구 범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
41. 제 1 웹 필름 42. 하부 클래드 필름
43. 코어 44. 상부 클래드 필름
45. 제 2 웹 필름

Claims (23)

  1. 웹 필름상에 클래드 용액의 도포 이후에 서브 롤러가 메인 롤러에 가압되는 롤투롤 공정에 의해 형성되는 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름;
    라미네이션 공정으로 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름에 코어 용액을 도포하여 하부 클래드 홈에 형성되는 코어; 및
    코어 용액의 도포 이후에 서브롤러 2개에 의해 가압되어 형성되는 상부 클래드 필름;
    상기 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름 형성 이후에 검사 장치에 의한 광학 소자 정렬 검사에 이용되는 직선 형태의 광섬유 정렬 패턴;을 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서, 평면형 광회로 소자의 입출력단에 상기 광섬유 정렬 패턴과 동일한 크기의 U자 형태의 홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자.
  4. 제 3 항에 있어서, 평면형 광회로 소자의 하부 클래드 홈과 입출력단에 형성된 U자 형태의 홈의 중심축이 일치하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자.
  5. 제 3 항에 있어서, 광섬유 정렬 패턴과 U자 형태의 홈의 크기는 120 ~ 130㎛인 것을 특징으로 하는 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자.
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서, 상부 클래드 필름 상부에 평면형 광회로 소자의 보호를 위한 보호 필름이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자.
  8. 필름의 상부에 하부 클래드 홈을 형성하는 롤투롤 모듈;
    하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름을 검사하는 검사 모듈;
    상기 하부 클래드 홈에 형성되는 코어와 상부 클래드를 형성하는 라미네이션 모듈;을 포함하고,
    필름의 상부에 하부 클래드 홈을 형성하는 롤투롤 모듈은,
    필름의 상부에 하부 클래드 홈을 형성하는 단계에서 클래드 용액의 도포 이후 서브 롤러 1개가 메인 롤러 1개에 가압되도록 구성되고, 가압 단계 이후에 다시 서브 롤러 1개를 배치하여 경화 이후에 발생하는 파손을 방지하고,
    메인 롤러 1개에 가압되도록 구성되는 서브 롤러 1개는, 메인 롤러 1개의 중심축 전면에 배치되어 메인 롤러를 통과하여 흘러가는 필름의 각도가 20 ~ 50도를 이루도록 하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 장치.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 제 8 항에 있어서, 코어와 상부 클래드를 형성하기 이전 단계에 하부 클래드 필름을 검사하는 검사 모듈이 위치하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 장치.
  12. 제 8 항에 있어서, 코어와 상부 클래드를 형성하는 라미네이션 모듈은,
    하부 클래드가 형성된 필름에 코어 용액을 도포하고 서브롤러 2개를 이용하여 가압되도록 구성되어 상부 클래드 필름을 부착하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 장치.
  13. 공급되는 웹 필름상에 하부 클래드 코팅을 하는 하부 클래드 코팅부;
    하부 클래드 코팅이 이루어진 웹 필름을 가압하여 롤투롤 공정으로 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름을 형성하는 제 1 서브 롤러 및 메인 롤러;
    제 1 서브 롤러 및 메인 롤러에 의한 가압 단계 이후에 하부 클래드 필름이 수평을 유지하도록 하는 제 2 서브 롤러;
    제 2 서브 롤러를 지난 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름의 광학 소자 정렬 검사를 하는 검사 모듈;
    광학 소자 정렬 검사가 이루어진 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름상에 코어 물질을 코팅하는 코어 코팅부;
    코어물질이 코팅된 하부 클래드 필름과 상부 클래드 필름 롤에서 공급되는 상부 클래드 필름을 라미네이션 공정으로 합착하는 라미네이션 롤러 및 제 3 서브 롤러;
    라미네이션 공정 단계 이후에 UV 경화를 하는 제 2 UV 경화 장치와, 제 2 UV 경화 장치를 지난 필름이 일정 각도를 유지하도록 하는 제 4 서브 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 장치.
  14. 제 13 항에 있어서, 제 1 서브 롤러 및 메인 롤러에 의해 가압되어 하부 클래드 필름이 형성되면 UV 경화를 하는 제 1 UV 경화 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 장치.
  15. 삭제
  16. 공급되는 웹 필름상에 하부 클래드 코팅을 하는 하부 클래드 코팅부;
    하부 클래드 코팅이 이루어진 웹 필름을 가압하여 롤투롤 공정으로 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름을 형성하는 제 1 서브 롤러 및 메인 롤러;
    제 1 서브 롤러 및 메인 롤러에 의한 가압 단계 이후에 하부 클래드 필름이 수평을 유지하도록 하는 제 2 서브 롤러;
    제 2 서브 롤러를 지난 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름의 광학 소자 정렬 검사를 하는 검사 모듈;
    광학 소자 정렬 검사가 이루어진 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름상에 코어 물질을 코팅하는 코어 코팅부;
    코어물질이 코팅된 하부 클래드 필름을 가압하여 라미네이션 공정으로 성형하는 라미네이션 롤러 및 제 3 서브 롤러;
    코어가 형성된 필름상에 상부 클래드 물질을 코팅하는 상부 클래드 코팅부;
    상부 클래드 물질이 코팅된 필름과 보호 필름 롤에서 공급되는 보호 필름을 가압하는 제 5,6 서브 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 장치.
  17. 제 16 항에 있어서, 제 1 서브 롤러 및 메인 롤러에 의해 가압되어 하부 클래드 필름이 형성되면 UV 경화를 하는 제 1 UV 경화 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 장치.
  18. 제 16 항에 있어서, 라미네이션 공정 이후에 UV 경화를 하는 제 2 UV 경화 장치와,
    제 2 UV 경화 장치를 지난 필름이 일정 각도를 유지하도록 하는 제 4 서브 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 장치.
  19. 롤투롤 모듈로 공급되는 웹 필름상에 하부 클래드 코팅을 하는 단계;
    하부 클래드 코팅이 이루어진 웹 필름을 가압하여 롤투롤 공정으로 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름을 형성하는 단계;
    하부 클래드 필름이 형성되면 UV 경화를 하고, 하부 클래드 필름이 수평을 유지하도록 하여 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름을 검사하는 단계;
    하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름상에 코어 물질을 코팅하는 단계;
    코어물질이 코팅된 하부 클래드 필름과 상부 클래드 필름 롤에서 공급되는 상부 클래드 필름을 라미네이션 공정으로 합착하는 단계;
    라미네이션 공정 단계 이후에 UV 경화하는 단계;를 포함하고, 평면형 광회로 소자를 제조하고,
    상기 평면형 광회로 소자는 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름 형성 이후에 검사 장치에 의한 광학 소자 정렬 검사에 이용되는 직선 형태의 광섬유 정렬 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 방법.
  20. 롤투롤 모듈로 공급되는 웹 필름상에 하부 클래드 코팅을 하는 단계;
    하부 클래드 코팅이 이루어진 웹 필름을 가압하여 롤투롤 공정으로 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름을 형성하는 단계;
    하부 클래드 필름이 형성되면 UV 경화를 하고, 하부 클래드 필름이 수평을 유지하도록 하여 하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름을 검사하는 단계;
    하부 클래드 홈을 갖는 하부 클래드 필름상에 코어 물질을 코팅하는 단계;
    코어물질이 코팅된 하부 클래드 필름을 가압하여 라미네이션 공정으로 성형하고, UV 경화하는 단계;
    코어가 형성된 필름상에 상부 클래드 물질을 코팅하는 단계;
    상부 클래드 물질이 코팅된 필름과 보호 필름 롤에서 공급되는 보호 필름을 가압하는 단계;를 포함하고, 평면형 광회로 소자를 제조하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 방법.
  21. 제 20 항에 있어서, 평면형 광회로 소자는 직선 형태의 광섬유 정렬 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 방법.
  22. 제 19 항 또는 제 20 항에 있어서, 평면형 광회로 소자는 광섬유 정렬 패턴을 포함하고, 입출력단에 광섬유 정렬 패턴과 동일한 크기의 U자 형태의 홈을 형성하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 방법.
  23. 제 19 항 또는 제 20 항에 있어서, 평면형 광회로 소자는 하부 클래드 홈과 입출력단에 형성되는 U자 형태의 홈의 중심축이 일치하도록 형성하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 및 라미네이션 복합 공정에 의한 평면형 광회로 소자 제조 방법.



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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108556460A (zh) * 2018-03-07 2018-09-21 宁波微迅新材料科技有限公司 全自动卷对卷uv纳米压印复合设备
KR101946702B1 (ko) 2017-02-15 2019-02-11 인제대학교 산학협력단 고분자 필름에 잉크를 도포하는 장치
KR20200025234A (ko) 2018-08-29 2020-03-10 부산대학교 산학협력단 이형성을 높인 롤투롤 임프린트 유연 금형 및 이를 이용한 광도파로 제조 방법
CN113501488A (zh) * 2021-06-15 2021-10-15 武汉大学 柔性基片微纳结构成型装置及柔性压力传感器加工系统
KR20230071507A (ko) 2021-11-16 2023-05-23 주식회사 토바 롤투롤라미네이션공정제어방법

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006023376A (ja) * 2004-07-06 2006-01-26 Bridgestone Corp 光デバイスの製造方法
JP2007164011A (ja) * 2005-12-16 2007-06-28 Bridgestone Corp 光導波路の製造方法
JP2008006716A (ja) * 2006-06-29 2008-01-17 Fujifilm Corp 凹凸状シートの製造方法及び装置
KR20100012954A (ko) 2008-07-30 2010-02-09 주식회사 세코닉스 롤투롤 방식을 이용한 도광판 제조방법
KR101022015B1 (ko) * 2010-04-09 2011-03-16 한국기계연구원 열형 롤 임프린팅과 블레이드 코팅을 이용하는 필름제품 제조방법, 이를 이용한 보안 필름 및 필름 일체형 전기 소자

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006023376A (ja) * 2004-07-06 2006-01-26 Bridgestone Corp 光デバイスの製造方法
JP2007164011A (ja) * 2005-12-16 2007-06-28 Bridgestone Corp 光導波路の製造方法
JP2008006716A (ja) * 2006-06-29 2008-01-17 Fujifilm Corp 凹凸状シートの製造方法及び装置
KR20100012954A (ko) 2008-07-30 2010-02-09 주식회사 세코닉스 롤투롤 방식을 이용한 도광판 제조방법
KR101022015B1 (ko) * 2010-04-09 2011-03-16 한국기계연구원 열형 롤 임프린팅과 블레이드 코팅을 이용하는 필름제품 제조방법, 이를 이용한 보안 필름 및 필름 일체형 전기 소자

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101946702B1 (ko) 2017-02-15 2019-02-11 인제대학교 산학협력단 고분자 필름에 잉크를 도포하는 장치
CN108556460A (zh) * 2018-03-07 2018-09-21 宁波微迅新材料科技有限公司 全自动卷对卷uv纳米压印复合设备
KR20200025234A (ko) 2018-08-29 2020-03-10 부산대학교 산학협력단 이형성을 높인 롤투롤 임프린트 유연 금형 및 이를 이용한 광도파로 제조 방법
CN113501488A (zh) * 2021-06-15 2021-10-15 武汉大学 柔性基片微纳结构成型装置及柔性压力传感器加工系统
CN113501488B (zh) * 2021-06-15 2024-01-30 武汉大学 柔性基片微纳结构成型装置及柔性压力传感器加工系统
KR20230071507A (ko) 2021-11-16 2023-05-23 주식회사 토바 롤투롤라미네이션공정제어방법

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