KR101663785B1 - Heat processing apparatus comprising packing member of improved contact reliability - Google Patents

Heat processing apparatus comprising packing member of improved contact reliability Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 밀착 신뢰도가 개선된 패킹부재를 포함하는 열처리 장치는, 열처리장치의 전체 외관을 구성하는 챔버부재와, 상기 챔버부재의 전방에 설치되는 도어부재와, 상기 챔버부재 내부의 압력을 조절하기 위한 압력조절부재와, 상기 챔버부재 내부를 가열하기 위한 가열부재와, 상기 압력인가부재와 도어부재 및 가열부재를 제어하기 위한 제어부를 포함하며, 상기 도어부재를 대면하는 챔버부재 측에는 패킹부재 안착부가 형성되며, 상기 패킹부재안착부에는 패킹부재가 배치되고, 상기 챔버부재에는 상기 패킹부재에 압력을 인가하기 위한 기체유로가 형성되어, 상기 기체유로를 통해 상기 패킹부재의 배면에 압력을 인가하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의해, 패킹부재를 원하는 소정의 위치로 이동시키기 위한 구성들을 열처리장치 내에 효율적으로 설치할 수 있다.
또한, 열처리 장치에 배치되는 패킹부재의 위치가 다소 간 흐트러질 경우에도 충분한 기밀성을 확보할 수 있으며, 패킹부재에 가해지는 압력에 의해 패킹부재를 원활하게 이동시킬 수 있다.A heat treatment apparatus including a packing member with improved adhesion reliability according to the present invention includes a chamber member constituting an overall appearance of a heat treatment apparatus, a door member provided in front of the chamber member, And a control member for controlling the pressure applying member, the door member, and the heating member, wherein the chamber member side facing the door member is provided with a packing member seat A gas passage for applying pressure to the packing member is formed in the chamber member to apply pressure to the back surface of the packing member through the gas passage, .
According to the present invention, structures for moving the packing member to a desired predetermined position can be efficiently installed in the heat treatment apparatus.
Further, even when the position of the packing member disposed in the heat treatment apparatus is somewhat disturbed, sufficient airtightness can be ensured and the packing member can be smoothly moved by the pressure applied to the packing member.

Description

밀착 신뢰도가 개선된 패킹부재를 포함하는 열처리장치{HEAT PROCESSING APPARATUS COMPRISING PACKING MEMBER OF IMPROVED CONTACT RELIABILITY}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a heat treatment apparatus including a packing member having improved packing reliability,

본 발명은 열처리 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 패킹부재에 압력을 작용시키기 위한 구성들을 컴팩트하게 설치할 수 있으며, 패킹부재의 위치에 다소간의 흐트러짐이 발생되는 경우에도 신뢰성 있는 기밀 유지가 가능하고, 작용되는 압력에 의해 의도된 방향으로 용이하게 이동이 가능하도록 구성되는 밀착 신뢰도가 개선된 패킹부재를 포함하는 열처리장치에 관한 발명이다. The present invention relates to a heat treatment apparatus, and more particularly to a heat treatment apparatus capable of compactly arranging components for applying pressure to a packing member, capable of maintaining a reliable airtightness even when a slight disturbance occurs at a position of the packing member, And a packing member having an improved adhesion reliability which is configured to be easily movable in an intended direction by an applied pressure.

최근 컴퓨터 또는 TV 와 같은 전기전자기기의 급속한 발달 및 보급에 따라 디스플레이 패널 기술 역시 비약적으로 발전하고 있다.2. Description of the Related Art [0002] Recently, display panel technology has been dramatically developed due to the rapid development and spread of electric and electronic devices such as a computer or a TV.

이러한 디스플레이 패널의 대형화 고해상도화가 급속히 진행되고 있는 오늘날의 실정에 비추어, 그 제조 장치가 담당하는 역할은 한층 더 중요시되고 있다.In view of the fact that such a display panel is rapidly becoming larger in size and higher in resolution, the role of the manufacturing apparatus is becoming more important.

일반적으로, 디스플레이 패널을 제조하기 위해서는 패널에 패턴을 형성하기 위해 포토레지스터를 도포하고, 상기 포토레지스터 막의 경화를 위해 디스플레이 패널을 가열하게 된다.Generally, in order to manufacture a display panel, a photoresist is applied to form a pattern on a panel, and the display panel is heated to cure the photoresist film.

이때, 디스플레이 패널에 정밀한 패턴을 형성하기 위해서는 디스플레이 패널의 전체 영역에 대해 균일하게 온도를 상승시키는 작업이 요구된다.At this time, in order to form a precise pattern on the display panel, an operation of raising the temperature uniformly over the entire area of the display panel is required.

만약, 디스플레이 패널의 전체 영역에 대해 균일한 온도 상승이 이루어지지 않을 경우에는, 패턴에 온도 편차가 발생되거나 디스플레이 패널 자체에 발생되는 열적 불균형으로 인해 패널의 국부적 수축 또는 팽창이 발생 되며, 이러한 열적 불균형은 디스플레이 패널에 균일한 패턴을 형성하는 데에 장애가 되는 요인이 된다.If a uniform temperature rise is not achieved over the entire area of the display panel, a temperature deviation occurs in the pattern or a thermal imbalance occurs in the display panel itself, resulting in local shrinkage or expansion of the panel. Is an obstacle to forming a uniform pattern on the display panel.

또한, 상기와 같은 디스플레이 패널에 대한 열처리 과정에서는 패널의 표면에 부착된 편광필름과 패널 사이에 기포가 발생되는 것을 방지하기 위해 열처리 과정 동안 패널을 가압하게 된다.In addition, in the heat treatment process for the display panel, the panel is pressed during the heat treatment process to prevent the generation of air bubbles between the polarizing film attached to the surface of the panel and the panel.

따라서, 디스플레이 패널의 열처리 수율을 향상시키고, 열처리 장치 내에 배치되는 전체 디스플레이 패널들을 고루 가열하여 불량률을 감소시키기 위해서는, 열처리 장치의 도어부를 통해 손실되는 열과 압력을 감소시키도록 열처리 장치 내부가 밀폐되어야 한다.Accordingly, in order to improve the heat treatment yield of the display panel and to reduce the defective rate by uniformly heating all the display panels disposed in the heat treatment apparatus, the interior of the heat treatment apparatus must be sealed so as to reduce heat and pressure lost through the door unit of the heat treatment apparatus .

상기와 같이 열처리 장치 내부를 밀폐시키기 위해 열처리장치에는 패킹부재가 설치되는데, 상기 패킹부재는 열처리장치의 도어를 개방하거나 폐쇄함에 따라 소정의 위치로 이동되어야 한다.In order to seal the interior of the heat treatment apparatus, the heat treatment apparatus is provided with a packing member, which must be moved to a predetermined position as the door of the heat treatment apparatus is opened or closed.

따라서, 도어의 개방 여부에 따라 패킹부재를 이동시키고 패킹부재에 압력을 인가할 수 있는 구성들이 열처리장치에 설치되어야 한다.Accordingly, arrangements for moving the packing member and applying pressure to the packing member depending on whether the door is opened or not are to be installed in the heat treatment apparatus.

그런데, 패킹부재가 이동되는 과정이 수없이 반복되는 과정에서 패킹부재의 설치 위치가 다소간 흐트러지는 경우가 발생되며, 종래의 패킹부재 구성에서는 이러한 경우에 충분한 기밀성을 확보하지 못하는 문제가 발생된다.However, the installation position of the packing member may be somewhat disturbed in the process of repeatedly moving the packing member. In the conventional packing member structure, sufficient airtightness can not be ensured in such a case.

한편, 도어의 개폐 여부에 따라 이동되어야 하는 패킹부재는 이에 가해지는 압력에 의해 원활하게 소정의 위치로 이동될 수 있도록 구성되어야 하며, 패킹부재가 설치되는 부분의 표면과 패킹부재 표면 간의 마찰력이 클 경우에는 패킹부재가 의도된 위치로 원활히 이동되지 못하는 문제가 발생된다.On the other hand, the packing member to be moved according to whether the door is opened or closed should be configured to be smoothly moved to a predetermined position by the pressure applied thereto, and the frictional force between the surface of the portion where the packing member is installed and the packing member surface is large There arises a problem that the packing member can not be smoothly moved to the intended position.

본 발명의 목적은, 패킹부재를 원하는 소정의 위치로 이동시키기 위한 구성들을 효율적으로 설치한 밀착 신뢰도가 개선된 패킹부재를 포함하는 열처리장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a heat treatment apparatus including a packing member with improved adhesion reliability in which structures for moving a packing member to a desired predetermined position are efficiently installed.

본 발명의 또 다른 목적은, 패킹부재의 위치에 다소간의 흐트러짐이 발생되는 경우에도 신뢰성 있는 기밀성 유지가 가능하도록 구성되는 밀착 신뢰도가 개선된 패킹부재를 포함하는 열처리 장치를 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a heat treatment apparatus including a packing member with improved reliability of adhesion, which is configured to enable reliable airtightness to be maintained even when some disturbance occurs in the position of the packing member.

본 발명의 또 다른 목적은, 작용되는 압력에 의해 의도된 방향으로 원활히 이동 가능하도록 구성되는 밀착 신뢰도가 개선된 패킹부재를 포함하는 열처리 장치를 제공하는 것이다.Yet another object of the present invention is to provide a heat treatment apparatus including a packing member with improved adhesion reliability which is configured to be smoothly movable in an intended direction by an applied pressure.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 밀착 신뢰도가 개선된 패킹부재를 포함하는 열처리 장치는, 열처리장치의 전체 외관을 구성하는 챔버부재와, 상기 챔버부재의 전방에 설치되는 도어부재와, 상기 챔버부재 내부의 압력을 조절하기 위한 압력조절부재와, 상기 챔버부재 내부를 가열하기 위한 가열부재와, 상기 압력조절부재와 도어부재 및 가열부재를 제어하기 위한 제어부를 포함하며, 상기 도어부재를 대면하는 챔버부재 측에는 패킹부재안착부가 형성되며, 상기 패킹부재안착부에는 패킹부재가 배치되고, 상기 챔버부재에는 상기 패킹부재에 압력을 인가하기 위한 기체유로가 형성되어, 상기 기체유로를 통해 상기 패킹부재의 배면에 압력을 인가하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a heat treatment apparatus including a packing member having improved packing reliability, including a chamber member forming an overall appearance of a heat treatment apparatus, a door member provided in front of the chamber member, A pressure regulating member for regulating a pressure inside the member; a heating member for heating the inside of the chamber member; and a control unit for controlling the pressure regulating member, the door member, and the heating member, And a gas passage for applying pressure to the packing member is formed in the chamber member, and a gas passage for applying pressure to the packing member is formed on the chamber member side, And a pressure is applied to the back surface.

바람직하게는, 상기 도어부재는 상기 챔버부재의 전방을 폐쇄하기 위한 도어본체부와, 상기 도어본체부를 수직 방향으로 슬라이딩시키기 위한 실린더부재를 포함한다.Preferably, the door member includes a door body portion for closing the front of the chamber member, and a cylinder member for sliding the door body portion in the vertical direction.

여기서, 상기 패킹부재는 연성의 고무 또는 합성수지재로 형성되되, 상기 패킹부재의 전방은 볼록한 단면 형상으로 형성되고, 상기 패킹부재의 후방은 오목한 단면 형상으로 형성될 수 있다.Here, the packing member may be formed of a soft rubber or synthetic resin material, the front side of the packing member may be formed in a convex cross-sectional shape, and the rear side of the packing member may be formed in a concave cross-sectional shape.

또한, 상기 패킹부재안착부에는 상기 패킹부재의 측면을 대면하는 측에 오목부가 형성될 수 있다.In addition, the packing member seating portion may be provided with a recess on the side facing the side face of the packing member.

바람직하게는, 상기 패킹부재의 전방은 원호 형상의 볼록한 단면 형상으로 형성된다.Preferably, the front side of the packing member is formed into an arc-shaped convex cross-sectional shape.

또한, 상기 패킹부재의 후방에는 직선으로 형성되는 오목부가 형성될 수 있다.A recess formed in a straight line may be formed in the rear of the packing member.

바람직하게는, 상기 패킹부재의 후방에는 삼각형 형상의 오목부가 형성된다.Preferably, a triangular recess is formed in the rear of the packing member.

또는, 상기 패킹부재의 후방에는 사각형 형상의 오목부가 형성될 수 있다.Alternatively, a rectangular concave portion may be formed on the rear side of the packing member.

본 발명에 의해, 패킹부재를 원하는 소정의 위치로 이동시키기 위한 구성들을 열처리장치 내에 컴팩트하게 설치할 수 있다.According to the present invention, the arrangements for moving the packing member to a desired predetermined position can be compactly installed in the heat treatment apparatus.

또한, 열처리 장치에 배치되는 패킹부재의 위치가 다소 간 흐트러질 경우에도 충분한 기밀성을 확보할 수 있다.In addition, even when the position of the packing member disposed in the heat treatment apparatus is somewhat disturbed, sufficient airtightness can be ensured.

또한, 패킹부재에 가해지는 압력에 의해 패킹부재를 원활하게 이동시킬 수 있다.Further, the packing member can be smoothly moved by the pressure applied to the packing member.

첨부의 하기 도면들은, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 이해시키기 위한 것이므로, 본 발명은 하기 도면에 도시된 사항에 한정 해석되어서는 아니 된다.
도 1 은 본 발명에 따른 열처리장치의 사시도이며,
도 2 는 상기 열처리장치에서 외벽체가 제거된 상태의 사시도이며,
도 3 은 상기 열처리장치에서 도어부가 제거된 상태의 사시도이며,
도 4 는 상기 열처리장치의 내부 사시도이며,
도 5 는 상기 열처리장치에서 패킹부재가 설치된 상태의 사시도이며,
도 6 은 상기 패킹부재의 단면도이며,
도 7 은 상기 패킹부재의 다른 실시예에 따른 단면도이며,
도 8 은 상기 열처리장치의 구성 블럭도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are included to provide a further understanding of the invention and are incorporated in and constitute a part of this application, illustrate embodiments of the invention and, together with the description, serve to explain the principles of the invention.
1 is a perspective view of a heat treatment apparatus according to the present invention,
FIG. 2 is a perspective view of the heat treatment apparatus in which the outer wall body is removed.
3 is a perspective view of the heat treatment apparatus in which the door is removed,
4 is an internal perspective view of the heat treatment apparatus,
5 is a perspective view of the heat treatment apparatus with the packing member installed thereon,
6 is a cross-sectional view of the packing member,
7 is a cross-sectional view according to another embodiment of the packing member,
8 is a structural block diagram of the heat treatment apparatus.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.Prior to this, the terms used in the specification and claims should not be construed in a dictionary sense, and the inventor may, on the principle that the concept of a term can be properly defined in order to explain its invention in the best way And should be construed in light of the meanings and concepts consistent with the technical idea of the present invention.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.Therefore, the embodiments shown in the present specification and the drawings are only exemplary embodiments of the present invention, and not all of the technical ideas of the present invention are presented. Therefore, various equivalents It should be understood that water and variations may exist.

도 1 은 본 발명에 따른 열처리장치의 사시도이며, 도 2 는 상기 열처리장치에서 외벽체가 제거된 상태의 사시도이며, 도 3 은 상기 열처리장치에서 도어부가 제거된 상태의 사시도이며, 도 4 는 상기 열처리장치의 내부 사시도이며, 도 5 는 상기 열처리장치에서 패킹부재가 설치된 상태의 사시도이며, 도 6 은 상기 패킹부재의 단면도이며, 도 7 은 상기 패킹부재의 다른 실시예에 따른 단면도이며, 도 8 은 상기 열처리장치의 구성 블럭도이다.FIG. 1 is a perspective view of a heat treatment apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view of the heat treatment apparatus in which an outer wall body is removed, FIG. 3 is a perspective view of the heat treatment apparatus, FIG. 6 is a cross-sectional view of the packing member, FIG. 7 is a cross-sectional view according to another embodiment of the packing member, and FIG. 8 is a perspective view of the packing member in the heat- Fig. 7 is a structural block diagram of the heat treatment apparatus; Fig.

도 1 내지 8 을 참조하면, 본 발명에 따른 밀착 신뢰도가 개선된 패킹부재를 포함하는 열처리 장치(100)는, 열처리장치(100)의 전체 외관을 구성하는 챔버부재(10)와, 상기 챔버부재(10)의 전방에 설치되는 도어부재(20)와, 상기 챔버부재(10) 내부의 압력을 조절하기 위한 압력조절부재(30)와, 상기 챔버부재(10) 내부를 가열하기 위한 가열부재(40)와, 상기 압력조절부재(30)와 도어부재(20) 및 가열부재(40)를 제어하기 위한 제어부(210)를 포함하며, 상기 도어부재(20)를 대면하는 챔버부재(10) 측(17)에는 패킹부재 안착부(13)가 형성되며, 상기 패킹부재안착부(13)에는 패킹부재(60)가 배치되고, 상기 챔버부재(10)에는 상기 패킹부재(60)에 압력을 인가하기 위한 기체유로(12)가 형성되어, 상기 기체유로(12)를 통해 상기 패킹부재(60)의 배면에 압력을 인가하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.1 to 8, a heat treatment apparatus 100 including a packing member with improved adhesion reliability according to the present invention includes a chamber member 10 constituting an overall appearance of the heat treatment apparatus 100, A door member 20 provided in front of the chamber member 10 and a pressure regulating member 30 for regulating the pressure inside the chamber member 10 and a heating member for heating the inside of the chamber member 10 And a control unit 210 for controlling the pressure regulating member 30, the door member 20 and the heating member 40. The chamber member 10 facing the door member 20 A packing member seating portion 13 is formed in the sealing member 17 and a packing member 60 is disposed in the packing member seating portion 13 and a pressure is applied to the chamber member 10 (12) for applying pressure to the back surface of the packing member (60) through the gas flow path (12) It characterized.

상기 챔버부재(10)는 열처리장치(100)의 외관을 형성하면서 내부에 디스플레이 패널을 수용하여 열처리하기 위한 구성으로서, 전체적으로 원기둥 형상 또는 육면체 형상으로 형성된다.The chamber member 10 is formed in a cylindrical shape or a hexahedral shape as a whole for receiving the display panel therein for heat treatment while forming the outer surface of the heat treatment apparatus 100.

상기 챔버부재(10)는 금속재의 강판 또는 패널과 선재를 이용하여 구성되며, 상기 챔버부재(10)에는 챔버부재(10) 내부의 압력을 조절하도록 공기를 공급(32)하거나 챔버부재(10) 내부의 공기를 배출(34)하기 위한 압력조절부재(30)와 챔버부재(10) 내부 온도를 상승시키기 위한 가열부재(40)가 배치된다.The chamber member 10 is formed of a metal sheet or panel and a wire rod. The chamber member 10 is provided with air supply 32 or chamber member 10 to regulate the pressure inside the chamber member 10, A pressure regulating member 30 for discharging the air inside and a heating member 40 for raising the internal temperature of the chamber member 10 are disposed.

상기 열처리장치(100) 외부에는 금속 패널들로 형성되는 외벽체(200)가 배치되며, 상기 외벽체(200)에는 상기 열처리장치(100)의 제어를 위한 제어반(210)이 설치된다. An outer wall body 200 formed of metal panels is disposed outside the thermal processing apparatus 100 and a control panel 210 for controlling the thermal processing apparatus 100 is installed in the outer wall body 200.

상기 압력조절부재(30)에 포함되는 압력인가부재(32)를 통해 도시되지 않은 압축공기 공급원으로부터 상기 챔버부재(10) 내부로 공기를 공급함으로써, 챔버부재(10) 내부의 압력을 공정처리에 요구되는 압력으로 상승시킨다.The pressure inside the chamber member 10 is supplied to the inside of the chamber member 10 from a compressed air supply source (not shown) via a pressure applying member 32 included in the pressure regulating member 30, Raise to the required pressure.

이때, 상기 챔버부재(10) 내부에는 압력감지센서를 포함하여 구성되는 압력감지부(2)가 설치되어, 챔버부재(10) 내부가 소정의 공정 압력에 도달되었는지의 여부를 감지하도록 구성된다.At this time, a pressure sensing unit 2 including a pressure sensing sensor is installed in the chamber member 10 to detect whether the chamber member 10 has reached a predetermined process pressure.

또한, 열처리 공정이 종료된 때에는 배기부재(34)를 통해 상기 챔버부재(10) 내부의 공기를 배기함으로써, 챔버 내부를 상압 상태로 회복시킨다.Further, when the heat treatment process is completed, air in the chamber member 10 is exhausted through the exhaust member 34, thereby returning the inside of the chamber to the normal pressure state.

한편, 상기 챔버부재(10) 내부에는 온도감지부(4)가 설치되며, 히터 열선을 포함하여 구성되는 상기 가열부재(40)를 통해 상기 챔버부재(10) 내부의 공기를 가열함으로써, 상기 챔버부재(10) 내부를 열처리 공정에 요구되는 소정의 온도로 상승시킬 수 있다.A temperature sensing unit 4 is installed in the chamber member 10 and heats the air inside the chamber member 10 through the heating member 40 including a heater heating line. The inside of the member 10 can be raised to a predetermined temperature required for the heat treatment process.

상기 챔버부재(10)의 내부에는 울파필터(ULPA Filter)를 포함하여 구성되는 필터부재(80)들이 배치되며, 블로우어(50)를 통해 상기 챔버부재(10) 내부의 공기를 순환시키는 과정에서 공기 내에 포함되는 불순물들이 상기 필터부재(80)에 의해 필터링된다.A filter member 80 including an ULPA filter is disposed in the chamber member 10 and the air in the chamber member 10 is circulated through the blower 50 Impurities contained in the air are filtered by the filter member 80.

상기 울파필터는 0.1 내지 0.17 ㎛ 입자에 대해 99.9995 % 이상을 포집할 수 있는 초고성능 필터로서, 주로 클래스 1 내지 100 이하의 클린 룸에 적용되는 필터이다.The ultrafast filter is an ultra high performance filter capable of collecting 99.9995% or more with respect to 0.1 to 0.17 mu m particles, and is mainly applied to a clean room of class 1 to 100 or less.

한편, 상기 챔버부재(10)의 전방에는 도어부재(20)가 배치되며, 상기 도어부재(20)를 오픈 한 상태에서 디스플레이 패널을 상기 챔버부재(10) 내부로 투입 및 배출하도록 구성된다.A door member 20 is disposed in front of the chamber member 10 and the display panel is inserted into and discharged from the chamber member 10 in a state where the door member 20 is opened.

상기 도어부재(20)는 상기 챔버부재(10)의 전방(17)을 폐쇄하기 위한 도어본체부(22)와, 상기 도어본체부(22)를 상기 챔버부재(10)의 전방에서 수직 방향으로 슬라이딩 안내하기 위한 한쌍의 실린더부재(24)를 포함한다.The door member 20 includes a door main body portion 22 for closing the front side 17 of the chamber member 10 and a door main body portion 22 vertically extending from the front side of the chamber member 10 And a pair of cylinder members 24 for sliding guidance.

상기 도어본체부(22)는 사각형의 판재로 형성되며, 표면은 금속재로 구성되되 내부에 단열재를 포함하여 구성될 수 있다.The door main body 22 is formed of a rectangular plate, and the surface of the door main body 22 is made of a metal material, and may include a heat insulating material.

그리하여, 상기 챔버부재(10) 내부의 열이 상기 도어본체부(22)를 통해 외부로 전달되는 것을 방지하도록 구성된다.Thus, the heat inside the chamber member 10 is prevented from being transmitted to the outside through the door main body portion 22.

상기 도어본체부(22)는 상기 실린더부재(24)의 구동에 의해 챔버부재(10) 전방에서 상하방향으로 구동되어, 챔버부재(10)의 전방(17)을 개방 또는 폐쇄하도록 구성된다.The door main body portion 22 is configured to be vertically driven in front of the chamber member 10 by driving the cylinder member 24 to open or close the front 17 of the chamber member 10. [

상기 챔버부재(10)에서 상기 도어본체부(22)를 대면하는 전방측(17)에는 패킹부재(60)를 안착시키기 위한 패킹부재안착부(13)가 형성된다.A packing member seating portion 13 for seating the packing member 60 is formed on the front side 17 of the chamber member 10 facing the door main body portion 22.

상기 패킹부재안착부(13)는 상기 도어본체부(22)를 대면하는 챔버부재의 전방(17) 부분에서 도어본체부(22)의 형상에 대응되도록 전체적으로 사각형의 홈 형태로 형성된다.The packing member seating portion 13 is formed in a generally quadrangular groove shape corresponding to the shape of the door main body portion 22 at the front portion 17 of the chamber member facing the door main body portion 22. [

또한, 상기 패킹부재안착부(13)에는 상기 패킹부재안착부(13)에 공기압을 공급하기 위한 공기유로(12)가 연결 형성되어, 상기 패킹부재안착부(13)에 배치되는 패킹부재(60)에 공기압을 공급할 수 있도록 구성된다.An air passage 12 for supplying air pressure to the packing member seating portion 13 is connected to the packing member seating portion 13 so that the packing member 60 The air pressure can be supplied.

그리고, 상기 패킹부재안착부(13) 내에는 패킹부재(60)가 배치되어, 상기 공기유로(12)를 통해 작용되는 압력에 의해 상기 패킹부재(60)가 도어본체부(22) 쪽으로 이동되거나 도어본체부(22)로부터 멀어지도록 구성된다.A packing member 60 is disposed in the packing member seating portion 13 so that the packing member 60 is moved toward the door main body portion 22 by the pressure acting through the air passage 12 And is configured to move away from the door main body 22.

여기서, 상기 공기유로(12)에는 패킹부재(60)에 양압을 인가하기 위한 패킹양압인가부(16)와 패킹부재(60)에 음압을 인가하기 위한 패킹음압인가부(17)가 연결 설치된다.A packing positive pressure applying part 16 for applying a positive pressure to the packing member 60 and a packing negative pressure applying part 17 for applying a negative pressure to the packing member 60 are connected to the air flow path 12 .

또한, 상기 패킹부재안착부(13)에는 압력감지센서를 포함하는 패킹압력감지부(16) 및 패킹부재안착부(13) 내부의 공기를 배출하기 위한 패킹압력배출부(18)가 설치된다.The packing member seating portion 13 is provided with a packing pressure sensing portion 16 including a pressure sensing sensor and a packing pressure discharging portion 18 for discharging air inside the packing member seating portion 13.

여기서, 상기 패킹부재(60)에 양압을 인가하거나 음압을 인가하기 위한 패킹양압인가부(16)와 패킹음압인가부(17)는 상기 압력조절부(30)에 설치되는 압력관을 이용하여 구성된다.The packing positive pressure application unit 16 and the packing negative pressure application unit 17 for applying a positive pressure or a negative pressure to the packing member 60 are constructed using a pressure pipe installed in the pressure regulation unit 30 .

그리하여, 상기 챔버부재(10) 내부의 압력을 승하강시키기 위한 압력관과 상기 패킹부재(60)에 압력을 인가하기 위한 압력관을 상기 챔버부재(10) 측에 함께 설치할 수 있다.Thus, a pressure pipe for raising and lowering the pressure inside the chamber member 10 and a pressure pipe for applying pressure to the packing member 60 can be provided together on the chamber member 10 side.

만약, 상기 패킹부재(60)가 챔버부재(10)의 전방부분(17)이 아닌 상기 도어본체부(22) 측에 배치되는 경우에는, 상기 챔버부재(10)에 설치되는 압력조절부재(30)로부터의 압력을 상기 패킹부재(60)로 전달하기 위해서는 상기 도어본체부(22)와 챔버부재(10) 간의 연결 부분에 공기유동로를 형성해야 한다.When the packing member 60 is disposed on the side of the door main body 22 rather than the front portion 17 of the chamber member 10, It is necessary to form an air flow path at a connection portion between the door main body portion 22 and the chamber member 10. In order to transmit the pressure from the door body portion 22 to the packing member 60,

상기 도어본체부(22)는 열처리공정의 전후 상기 챔버부재(10) 전방에서 상하 방향으로 이동되어야 하는데, 이러한 상태에서 상기 도어본체부(22) 측에 패킹부재(60)를 설치하기 위해서는, 상기 챔버부재(10)와 도어본체부(22) 간의 연결부분에 별도의 공기유동관을 설치해야만 상기 챔버부재(10) 측에 설치되는 압력조절부(30)로부터 인가되는 압력을 상기 패킹부재(60)로 유도할 수 있다.In order to install the packing member 60 on the side of the door main body 22 in such a state, the door main body 22 should be moved up and down in front of the chamber member 10 before and after the heat treatment process. The pressure applied from the pressure regulating part 30 provided on the chamber member 10 side is set to be lower than the pressure applied to the packing member 60 only by providing a separate air flow pipe at the connection part between the chamber member 10 and the door body part 22. [ Lt; / RTI >

따라서, 패킹부재(60)를 챔버부재(10)의 전방 부분(17)에 설치함으로써, 상기 패킹부재(60)에 압력을 인가하기 위한 압력조절부재를 챔버부재(10) 측에 설치할 수 있으며, 별도의 압력 공기 유도를 위한 관의 설치가 요구되지 않는다. Therefore, by providing the packing member 60 in the front portion 17 of the chamber member 10, a pressure adjusting member for applying pressure to the packing member 60 can be provided on the chamber member 10 side, No installation of pipes for separate pressure air induction is required.

한편, 상기 패킹부재(60)는 연성의 고무 또는 합성수지재로 형성되며, 상기 패킹부재안착부(13)에 배치될 수 있도록 전체적으로 대략 사각형의 형상으로 형성된다.Meanwhile, the packing member 60 is formed of soft rubber or synthetic resin, and is formed in a generally rectangular shape so as to be disposed on the packing member seating portion 13.

또한, 상기 패킹부재(60)는 도 5 내지 7 에 도시되는 바와 같이, 단면 상 그 전방(62)은 볼록한 원호의 단면 형상을 가지며, 후방(64)은 직선으로 형성되는 오목부를 가지도록 형성된다.5 to 7, the front portion 62 of the packing member 60 has a convex circular arc cross-sectional shape, and the rear portion 64 is formed to have a concave portion formed as a straight line .

상기 패킹부재(60)의 전방부분(62)은 상기 공기유로(12)에 양압이 작용될 경우, 도어본체부(22) 쪽으로 이동되어 도어본체부(22)에 밀착되는 부분이다.The front portion 62 of the packing member 60 is a portion which is moved toward the door body portion 22 and is brought into close contact with the door body portion 22 when a positive pressure is applied to the air passage 12. [

상기된 바와 같이, 상기 패킹부재(60)가 연성의 고무 또는 합성수지재로 형성된 상태에서, 상기 패킹부재(60)의 전방부분이 원호의 단면 형상으로 형성됨으로써, 상기 패킹부재(60)가 도어본체부(22) 쪽으로 이동될 경우에, 상기 패킹부재(60)의 전방 부분이 도어본체부(22)에 접촉되면서 일정 정도 변형된다.As described above, since the front portion of the packing member 60 is formed in a circular arc shape in a state in which the packing member 60 is formed of a soft rubber or a synthetic resin material, The front portion of the packing member 60 is deformed to a certain degree while being brought into contact with the door main body portion 22.

만약, 대략 동일한 크기로 형성되는 패킹부재의 전방부분을 직선적으로 형성할 경우(62-1)에는, 상기 패킹부재(60)와 도어본체부(22)의 배면 간 접촉 상태는 단속적으로 그 전체가 접촉이 되거나 또는 접촉되지 않는 두 가지 상태가 될 수 있다.When the front portion of the packing member formed in approximately the same size is formed linearly, the contact state between the packing member 60 and the back surface of the door body portion 22 is intermittently There can be two states of contact or non-contact.

여기서, 상기 패킹부재(60)의 전방부분이 직선적으로 형성되는 경우(62-1)에는, 상기 패킹부재(60) 전체가 정확히 도어본체부(22) 쪽으로 이동되어 상기 전방부분(62-1) 전체가 도어본체부(22) 표면에 접촉되어야 충분한 기밀성을 확보할 수 있다.When the front portion of the packing member 60 is linearly formed, the entire packing member 60 is accurately moved toward the door main body portion 22 so that the front portion 62-1, So that sufficient airtightness can be ensured if the entire body is in contact with the surface of the door main body portion 22.

만약, 상기 패킹부재(60)의 전방부분이 다소간 기울어져 도어본체부(22) 쪽으로 접촉되는 경우에는, 상기 패킹부재의 전방부분(62-1) 중에서 모서리 부분(63)만이 도어본체부(22)에 접촉되는 불안정한 기밀상태가 된다.In the case where the front portion of the packing member 60 is slightly tilted and brought into contact with the door main body portion 22, only the corner portion 63 of the front portion 62-1 of the packing member is engaged with the door main body 22 In the case of the present invention.

따라서, 이러한 경우에는 상기 챔버부재(10) 내부의 압력을 고압으로 상승시키는 데에 한계요소로 작용되며, 상기 챔버부재(10) 내부를 고압으로 상승시키는 경우에 압력 누설이 발생될 수 있다.Therefore, in this case, the chamber member 10 acts as a limiting factor for raising the pressure inside the chamber member 10 to a high pressure, and pressure leakage may occur when the chamber member 10 is raised to a high pressure.

따라서, 본원발명에서와 같이 상기 패킹부재(60)의 전방부분(62)을 원호의 단면 형상으로 형성함으로써, 상기 패킹부재(60)가 다소간 기울어져 상기 도어본체부(22) 배면에 접촉되는 경우에도, 패킹부재(60) 전방부분(62)과 도어본체부(22) 배면 간 충분한 기밀성을 확보할 수 있다. Therefore, by forming the front portion 62 of the packing member 60 in the shape of a circular arc as in the present invention, when the packing member 60 is slightly inclined and contacts the back surface of the door main body 22 Sufficient airtightness between the front portion 62 of the packing member 60 and the rear surface of the door main body portion 22 can be ensured.

또한, 본원발명에서와 같이 상기 패킹부재(60)의 전방 부분을 원호의 단면 형상으로 형성할 경우, 전체적으로 사각형의 단면 형상으로 형성할 경우(66-1)에 비해, 상기 패킹부재(60)의 단면에서 측면 부분(66)의 길이 역시 짧아진다.In the case where the front portion of the packing member 60 is formed in the shape of a circular arc as in the present invention, compared with the case 66-1 in which the whole is formed into a rectangular cross-sectional shape, The length of the side portion 66 in the cross section is also shortened.

상기 측면 부분(66)의 길이가 짧아질 경우에는 상기 패킹부재(60)가 배치되는 안착부(13)의 표면과 상기 패킹부재(60)의 측면부분(66) 간의 접촉 면적이 감소되어, 상기 패킹부재(60)에 압력을 가할 경우, 상기 패킹부재 안착부(13) 내에서 보다 원활하게 이동될 수 있다.The contact area between the surface of the seating portion 13 where the packing member 60 is disposed and the side portion 66 of the packing member 60 is reduced when the length of the side portion 66 is shortened, When pressure is applied to the packing member 60, it can be moved more smoothly in the packing member seating portion 13.

즉, 패킹부재(60)를 사각 단면의 형상으로 형성할 경우의 측면 길이(66-1)에 비해 본원발명에 따른 패킹부재(60)의 측면 길이(66)가 감소되는 것은 패킹부재(60)의 이동 시 상기 측면에 작용되는 마찰력의 크기 감소를 의미하기 때문이다.That is, the reduction in the side length 66 of the packing member 60 according to the present invention compared with the side length 66-1 in the case of forming the packing member 60 in the shape of a rectangular cross- This means that the frictional force acting on the side surface is reduced.

따라서, 동일한 압력을 가하는 조건에서는 본원발명에 따른 패킹부재(60)가 보다 원활히 도어본체부(22) 쪽으로 이동되어 밀착될 수 있다.Therefore, under the condition that the same pressure is applied, the packing member 60 according to the present invention can be more smoothly moved toward the door main body 22 and can be closely contacted.

상기와 같이, 패킹부재(60)의 측면과 패킹부재 안착부(13) 간의 마찰력을 감소시키기 위해, 상기 패킹부재 안착부(13)에서 패킹부재(60)의 측면에 대면하는 부분에는 오목한 홈(14)이 형성된다.As described above, in order to reduce the frictional force between the side surface of the packing member 60 and the packing member seating portion 13, a portion of the packing member seating portion 13, which faces the side surface of the packing member 60, 14 are formed.

그리하여, 패킹부재 안착부(13)와 패킹부재(60) 측면 간의 접촉 면적을 더욱 감소시키도록 구성된다.Thus, it is configured to further reduce the contact area between the packing member seating portion 13 and the side surface of the packing member 60.

한편, 상기 공기유로(12)를 통해 패킹부재(60)에 공급되는 공기압은 상기 패킹부재(60)의 후방 공간(67)에 작용된다.On the other hand, the air pressure supplied to the packing member 60 through the air passage 12 acts on the rear space 67 of the packing member 60.

이때, 상기 패킹부재(60) 후방에 작용되는 공기압의 작용 면적을 넓히기 위해 상기 패킹부재(60)의 후방은 직선의 단면 형상으로 구성되는 오목부(64)를 갖는다.At this time, in order to widen the action area of the air pressure acting behind the packing member 60, the back of the packing member 60 has a concave portion 64 formed in a straight cross-sectional shape.

그리하여, 패킹부재(60)의 후방에 오목부가 형성되지 않는 경우(64-1)에 비해, 상기 패킹부재(60)의 후방과 압력 공기 간의 접촉 면적을 최대한 증대시킴으로써, 상기 패킹부재(60) 후방에 양압 또는 음압이 작용되는 경우 상기 패킹부재(60)가 보다 원활히 의도된 위치로 이동될 수 있도록 구성된다.The area of contact between the back of the packing member 60 and the pressurized air is maximized as compared with the case (64-1) in which the concave portion is not formed on the rear side of the packing member 60, The packing member 60 can be more smoothly moved to the intended position.

상기와 같이, 패킹부재(60)의 후방에 직선의 단면 형상으로 구성되는 오목부(64)를 형성하도록, 도 6 에 도시된 실시예에서는 전체적으로 삼각형 단면의 오목부(67)가 형성된다.As described above, in the embodiment shown in Fig. 6, the concave portion 67 having a triangular cross section is formed so as to form the concave portion 64 having a straight cross-sectional shape at the rear of the packing member 60 as described above.

또한, 도 7 에 도시된 실시예에서는 전체적으로 사각형 단면의 오목부(67)가 형성되며, 변형예로서는 상기 패킹부재(60)의 후방에 사다리꼴 형상의 오목부가 형성될 수도 있다.
In the embodiment shown in FIG. 7, recesses 67 having a rectangular cross section are formed as a whole, and a trapezoidal recess may be formed in the rear of the packing member 60 as a modification.

이상, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이러한 것에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 본 발명의 기술적 사상과 하기 될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 실시가 가능할 것이다.While the present invention has been described with reference to the exemplary embodiments and the drawings, it is to be understood that the technical scope of the present invention is not limited to these embodiments and that various changes and modifications will be apparent to those skilled in the art. Various modifications and variations may be made without departing from the scope of the appended claims.

10: 챔버부재
20: 도어부재
30: 압력조절부재
40: 가열부재
50: 팬
60: 패킹부재
80: 필터부재
210: 제어부10: chamber member
20: Door member
30: Pressure regulating member
40: heating member
50: Fans
60: packing member
80: Filter element
210:

Claims (8)

열처리장치의 전체 외관을 구성하는 챔버부재와
상기 챔버부재의 전방에 설치되는 도어부재와;
상기 챔버부재 내부의 압력을 조절하기 위한 압력조절부재와;
상기 챔버부재 내부를 가열하기 위한 가열부재와;
상기 압력조절부재와 도어부재 및 가열부재를 제어하기 위한 제어부를 포함하며,
상기 도어부재를 대면하는 챔버부재 측에는 패킹부재 안착부가 형성되며,
상기 패킹부재안착부에는 패킹부재가 배치되고,
상기 챔버부재에는 상기 패킹부재에 압력을 인가하기 위한 기체유로가 형성되어,
상기 기체유로를 통해 상기 패킹부재의 배면에 압력을 인가하도록 구성되며,
상기 도어부재는,
상기 챔버부재의 전방을 폐쇄하기 위한 도어본체부와;
상기 도어본체부를 수직 방향으로 슬라이딩시키기 위한 실린더부재를 포함하고,
상기 패킹부재는 연성의 고무 또는 합성수지재로 형성되되,
상기 패킹부재의 전방은 원호의 볼록한 단면 형상으로 형성되고,
상기 패킹부재의 측면은 일직선의 단면 형상으로 형성되며,
상기 패킹부재의 후방은 오목한 단면 형상으로 형성되며,
상기 패킹부재안착부에는 상기 패킹부재의 측면을 대면하는 측에 한 쌍의 오목부가 형성되며,
상기 패킹부재의 후방에는 삼각형 형상 단면의 오목부가 형성되는 것을 특징으로 하는 밀착 신뢰도가 개선된 패킹부재를 포함하는 열처리장치.The chamber member constituting the entire outer surface of the heat treatment apparatus
A door member installed in front of the chamber member;
A pressure regulating member for regulating a pressure inside the chamber member;
A heating member for heating the inside of the chamber member;
And a controller for controlling the pressure regulating member, the door member, and the heating member,
A packing member seating portion is formed on the chamber member side facing the door member,
A packing member is disposed in the packing member seating portion,
Wherein the chamber member is provided with a gas flow path for applying pressure to the packing member,
And to apply pressure to the back surface of the packing member through the gas passage,
The door member
A door main body for closing the front of the chamber member;
And a cylinder member for sliding the door body portion in a vertical direction,
Wherein the packing member is formed of a soft rubber or synthetic resin material,
The front of the packing member is formed into a convex cross-sectional shape of an arc,
The side surface of the packing member is formed into a straight cross-sectional shape,
The rear of the packing member is formed in a concave cross-sectional shape,
Wherein the packing member seating portion is provided with a pair of recesses on a side facing the side surface of the packing member,
And a packing member having an improved adhesion reliability, characterized in that a concave portion having a triangular-shaped cross section is formed at the rear of the packing member. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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