KR101661839B1 - Management method of manufacturing process for solar cell - Google Patents
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Abstract
솔라셀 제조 공정 관리 방법이 제공된다. 솔라셀 제조 공정 관리 방법은 잉크젯 프린터를 이용하여 로트 단위로 웨이퍼에 사전 마킹하는 단계; 사전 마킹된 웨이퍼의 특성값을 측정하는 단계; 측정된 웨이퍼의 특성값에 따라 정규분포를 만족하는 웨이퍼를 선별하는 단계; 선별된 웨이퍼의 특성값에 따른 선별적인 공정 조건을 결정하고, 상기 웨이퍼를 이용하여 결정된 조건에 따라 솔라셀을 제조하는 단계; 잉크젯 프린터를 이용하여 로트 단위로 제조된 솔라셀에 사후 마킹하는 단계; 사후 마킹된 솔라셀의 특성값을 측정하는 단계; 사전 마킹 및 사후 마킹 정보에 따라 상기 측정된 웨이퍼 특성값 및 솔라셀 특성값을 매칭하는 단계; 및 매칭된 특성값에 대한 통계 데이터를 산출하여 통계 데이터의 정규분포에 따른 최적 공정 조건을 결정하는 단계를 포함한다.A method of managing a solar cell manufacturing process is provided. A method of managing a solar cell manufacturing process includes: pre-marking a wafer in units of lots using an inkjet printer; Measuring a characteristic value of the pre-marked wafer; Selecting wafers satisfying the normal distribution according to the measured characteristic values of the wafers; Determining selective process conditions according to the characteristic values of the selected wafers, and manufacturing the solar cells according to the conditions determined using the wafers; Post-marking the solar cell manufactured on a lot-by-lot basis using an ink-jet printer; Measuring the characteristic value of the post-marked solar cell; Matching the measured wafer characteristic value and the solar cell characteristic value according to pre-marking and post-marking information; And calculating statistical data on the matched characteristic values to determine optimal process conditions according to the normal distribution of the statistical data.
Description
본 발명은 솔라셀 제조 공정 관리 방법에 관한 것으로, 특히, 웨이퍼 및 솔라셀에 마킹을 통해 솔라셀의 인과성을 추적할 수 있는 솔라셀 제조 공정 관리 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a solar cell manufacturing process management method, and more particularly, to a solar cell manufacturing process management method capable of tracking causality of a solar cell through marking on a wafer and a solar cell.
최근 대체 에너지에 대한 관심이 높아지면서 태양에너지 산업이 주목받고 있다. 일본, 미국, 독일이 세계 시장의 중심이 되어 태양전지 연구가 활발히 이루어지고 있으며 세계시장 규모도 매년 40% 이상의 고도의 성장률을 유지하고 있다. 국내의 태양전지 분야의 회사에서도 기술에 대한 투자가 이루어지고 있으며 기술력이 높게 평가되고 있지만, 생산 규모가 작고 가격 경쟁력이 열위에 있어서 큰 수익을 내지는 못하고 있다.The solar energy industry is attracting attention as interest in alternative energy has increased recently. Japan, the United States and Germany are becoming the center of the world market, and solar cell research is being actively carried out, and the global market size maintains a high growth rate of more than 40% every year. Domestic companies in the field of solar cell are investing in technology, and although their technology is highly evaluated, their production scale is small and their price competitiveness is not making a great profit due to their inferiority.
태양전지용 솔라셀은 규사에서 Si원소만을 고순도로 정제한 폴리실리콘을 원재료로 하여 6N~11N까지 정제된 실리콘을 잉곳으로 성장 및 소결 후 단결정 및 다결정 웨이퍼로 성장 후에 제조 공정을 거쳐 생산된다. 웨이퍼로부터 태양전지를 제조하는 과정은 반도체 공정보다 정밀성이 요구되는 공정이며, 측정 변수들이 많고 공정 변수들 간에 다층 구조를 형성하고 있는 경우 관리의 어려움이 가중된다.Solar cell solar cells are produced by growing silicon single crystals up to 6N ~ 11N and growing and sintering single crystals and polycrystalline wafers using polysilicon, which is refined with high purity only Si elements in silica sand. The process of manufacturing solar cells from wafers is a process that requires more precision than a semiconductor process, and the difficulty of management increases when there are many measurement variables and a multi-layer structure is formed between process variables.
그리고, 솔라셀 웨이퍼는 입력특성, 각 공정에서의 특성, 세팅값, 최종 출력 특성까지 개별로 측정하고 있으나 이력 추적은 전혀 되고 있지 않아 솔라셀이 각 공정을 거치면서 웨이퍼가 어떠한 영향을 받는지 알 수 없다. 더욱이, 솔라셀의 인과성이 확보되지 못하여 타 공정과의 상관분석, 인과분석 또는 층별을 통한 선행적 관리 또한 불가능하다. 따라서, 솔라셀의 인과성 확립 체계가 구축되지 않아 통계 분석 등을 이용한 공정 관리나 개선이 곤란하다.In addition, the solar cell wafer measures input characteristics, characteristics in each process, setting values, and final output characteristics individually, but since traceability is not performed at all, it is possible to know the influence of the wafer none. Furthermore, because the causality of the solar cell is not ensured, it is impossible to perform correlation analysis with other processes, causal analysis, or proactive management through stratification. Therefore, the causality establishment system of the solar cell is not established and it is difficult to manage and improve the process using the statistical analysis.
또한, 기존의 태양전지의 제조 공정은 주로 솔라셀의 인과성을 추적하기 위해 레이저 또는 특수잉크를 이용한 마킹 공정이 실시되고 있지만, 이러한 마킹 공정은 많은 비용이 소요되고, 솔라셀 공정에서의 물질 도포, 화학적인 부식 또는 고온에서의 소성 조건들 때문에 마킹이 쉽게 소실되는 문제점이 있다. 특히, 마킹이 소실되면 솔라셀의 인과성 추적이 곤란해지고, 결국, 제조 공정이 솔라셀 특성에 미치는 영향을 알아내는 것이 곤란해진다.In addition, the conventional solar cell manufacturing process is mainly performed with a laser or a special ink to track the causality of the solar cell. However, such a marking process requires a lot of cost, There is a problem that the marking is easily lost due to chemical corrosion or firing conditions at a high temperature. Particularly, when the marking is lost, it is difficult to track the causality of the solar cell, and it becomes difficult to determine the effect of the manufacturing process on the solar cell characteristics.
이와 같은 점을 감안하여 웨이퍼 및 솔라셀 공정에 경제적이고 효율적인 마킹 방법 및 솔라셀의 인과성을 추적할 수 있도록 하는 방안이 요구되고 있다.In view of the above, there is a demand for an economical and efficient marking method for wafer and solar cell processes and a method for tracking the causality of the solar cell.
상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해, 본 발명의 일 실시예는 마킹 비용을 감소시켜 경제적이면서도 솔라셀 생산 공정의 공정 간 인과성을 추적할 수 있는 솔라셀 제조 공정 관리 방법을 제공하고자 한다.In order to solve the problems of the related art as described above, an embodiment of the present invention provides a method of managing a solar cell manufacturing process which can reduce cost of marking and track the causality between processes in a solar cell production process.
위와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 잉크젯 프린터를 이용하여 로트 단위로 웨이퍼에 사전 마킹하는 단계; 상기 사전 마킹된 웨이퍼의 특성값을 측정하는 단계; 상기 측정된 웨이퍼의 특성값에 따라 동질성 확보를 위한 정규분포를 만족하는 웨이퍼를 선별하는 단계; 상기 선별된 웨이퍼의 특성값에 따른 선별적인 공정 조건(recipe)결정하고, 상기 웨이퍼를 이용하여 상기 결정된 조건에 따라 솔라셀을 제조하는 단계; 상기 잉크젯 프린터를 이용하여 상기 로트 단위로 제조된 솔라셀에 사후 마킹하는 단계; 상기 사후 마킹된 솔라셀의 특성값을 측정하는 단계; 상기 사전 마킹 및 상기 사후 마킹 정보에 따라 상기 측정된 웨이퍼 특성값 및 상기 솔라셀 특성값을 매칭하는 단계; 및 상기 매칭된 특성값에 대한 통계 데이터를 산출하여 상기 통계 데이터의 정규분포에 따른 최적 공정 조건을 결정하는 단계를 포함하는 솔라셀 제조 공정 관리 방법이 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: pre-marking a wafer in units of lots using an inkjet printer; Measuring a characteristic value of the pre-marked wafer; Selecting wafers satisfying a normal distribution for ensuring homogeneity according to the measured characteristic values of the wafers; Determining a selective recipe according to the selected wafer characteristic value, and using the wafer to manufacture a solar cell according to the determined conditions; Post-marking the solar cell manufactured on a lot-by-lot basis using the inkjet printer; Measuring a characteristic value of the postmarked solar cell; Matching the measured wafer characteristic value and the solar cell characteristic value according to the pre-marking and post-marking information; And calculating statistical data on the matched characteristic values to determine optimal process conditions according to a normal distribution of the statistical data.
일 실시예에서, 상기 마킹 정보는 로트 번호, 입고 번호, 입고 날짜 중 적어도 하나의 정보를 포함할 수 있다.In one embodiment, the marking information may include at least one of a lot number, a receipt number, and a receipt date.
일 실시예에서, 상기 사전 및 상기 사후 마킹하는 단계는 상기 해당 로트 단위의 웨이퍼 또는 솔라셀 중 일부를 샘플링하여 마킹할 수 있다.In one embodiment, the pre- and post-marking steps may sample and mark some of the wafers or solar cells in the corresponding lot unit.
일 실시예에서, 상기 통계 데이터는 상기 솔라셀의 평균, 표준 편차, 최소값 또는 최대값에 따른 정규분포를 포함할 수 있다.In one embodiment, the statistical data may include a normal distribution according to an average, a standard deviation, a minimum value, or a maximum value of the solar cell.
일 실시예에서, 상기 솔라셀 제조 공정 관리 방법은 상기 웨이퍼 특성값의 측정 결과를 웨이퍼 제조업체로 통보하여 입고 웨이퍼의 정규 분포를 관리하는 단계를 더 포함할 수 있다.In one embodiment, the solar cell manufacturing process management method may further include notifying the wafer manufacturer of the measurement result of the wafer characteristic value and managing a normal distribution of the wearing wafer.
본 발명의 일 실시예에 따른 솔라셀 제조 공정 관리 방법은 웨이퍼 및 솔라셀에 잉크젯 프린터를 이용한 로트 단위 마킹에 의해 부적합품율의 감소 뿐아니라 상듭급의 솔라셀 생산 비중을 높이므로 제조 공정의 경제성을 향상시키고, 따라서, 생산성을 높일 수 있다.The method of managing the solar cell manufacturing process according to an embodiment of the present invention not only reduces the nonconforming product rate by lot marking using an inkjet printer on the wafer and the solar cell, And thus, the productivity can be increased.
또한, 본 발명의 일 실시예는 웨이퍼 및 솔라셀에 제조 공정의 전후 마킹에 의해 솔라셀의 인과성 추적 관리가 가능하고 따라서, 제조 공정을 효율적으로 관리할 수 있으며, 솔라셀 특성값의 정규분포 관리를 통해 솔라셀의 품질을 향상시킬 수 있다.In addition, one embodiment of the present invention is capable of tracking the causality of the solar cell by marking before and after the manufacturing process on the wafer and the solar cell, thereby efficiently managing the manufacturing process, The quality of the solar cell can be improved.
또한, 본 발명의 일 실시예는 투입되는 솔라셀은 관리되는 특성값의 규격합격(spec-in)뿐아니라 정규분포 관리(동질성 확보, control-in)이 필요하다는 자재투입 방침을 제시함으로, 정규분포 관리가 되고 산포가 공차를 만족하는 경우는 규격에 다소 벗어나는 투입 로트도 후공정의 조정(recipe)에 의해 적합품(양품) 생산이 가능하다.In addition, an embodiment of the present invention proposes a material input policy that requires not only a spec-in specification of a managed characteristic value but also a normal distribution management (homogeneity control) When the distribution is managed and the dispersion satisfies the tolerance, the input lot that deviates slightly from the standard can also produce a suitable product (reconditioned product) by recipe of the post-process.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 솔라셀 제조 공정 관리 방법의 순서도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 솔라셀 제조 공정 관리 방법에 의해 제조된 솔라셀 특성값의 정규분포도를 나타낸 그래프이다.
도 3은 종래의 솔라셀 제조 공정에 따라 제조된 솔라셀 특성값의 정규분포도를 나타낸 그래프이다.1 is a flowchart of a method of managing a solar cell manufacturing process according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a graph showing a normal distribution diagram of solar cell characteristic values manufactured by the solar cell manufacturing process management method according to an embodiment of the present invention.
3 is a graph showing a normal distribution diagram of solar cell characteristic values manufactured according to a conventional solar cell manufacturing process.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.
도 1을 참조하여 본 발명의 실시예에 솔라셀 제조 공정 관리 방법(100)을 보다 상세히 설명하도록 한다. 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 솔라셀 제조 공정 관리 방법을 나타낸 순서도이다.Referring to FIG. 1, a
솔라셀 제조 공정 관리 방법(100)은 로트 단위로 웨이퍼에 사전 마킹하는 단계(S101), 웨이퍼 특성값을 측정하는 단계(S102), 정규 분포를 만족하는 웨이퍼를 선별하여 공정에 투입하는 단계(S103), 웨이퍼 특성값에 따른 공정 조건을 결정하는 단계(S104), 결정된 공정 조건에 따라 솔라셀을 제조하는 단계(S105), 로트 단위로 제조된 솔라셀에 사후 마킹하는 단계(S106), 사후 마킹된 솔라셀의 특성값을 측정하는 단계(S107), 웨이퍼 특성값과 솔라셀 특성값을 매칭하는 단계(S108), 솔라셀 특성값의 정규 분포에 따른 최적의 공정 조건을 결정하는 단계(S109)로 구성된다.The solar cell manufacturing
보다 상세히 설명하면, 솔라셀 제조 공정 관리 방법(100)은 로트 단위로 웨이퍼에 사전 마킹할 수 있다(단계 S101). 예를 들면, 잉크젯 프린터를 포함하는 마킹 장치에서 웨이퍼의 마킹 위치를 감지하면 미리 정해진 영문, 숫자 또는 기호가 조합된 마킹 정보를 웨이퍼에 마킹할 수 있다. 여기서, 마킹 정보는 로트 번호, 입고 번호, 입고 날짜 중 적어도 하나의 정보를 포함할 수 있다. 이와 같이, 잉크젯 프린터를 사용함에 의해, 다양한 폰트를 사용하여 여러가지 문자열을 표현할 수 있고, 마킹 장치의 속도 변화에 신속히 대처하여 솔라셀 제조 공정의 흐름을 준수할 수 있으며, 공정 조건이 변경될 시 잉크 변경을 통해 공정 변화에 대처가 용이할 수 있다. 이때, 샘플링 기법을 이용하여 로트 단위 전체가 아닌 일부에만 마킹을 실시할 수 있으며, 예를 들면, 로트 단위의 웨이퍼 중 일부만을 샘플링하여 마킹함으로써, 마킹에 필요한 웨이퍼 개수를 감소시킬 수 있다.In more detail, the solar cell manufacturing
다음으로, 사전 마킹된 웨이퍼의 특성값을 측정할 수 있다(단계 S102). 이때, 웨이퍼의 특성값은 로트 단위로 수집되며, 특성값은 도 2에 도시된 바와 같이, (a) 단락 전류(short-circuit current), (b) 개방 회로 전압(open-circuit voltage), (c) 효율(efficiency), (d) 충전율(fill factor), (e) 분류 저항(shunt resistance), (f) 직렬 저항(series resistance) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.Next, the property value of the wafer that has been pre-marked can be measured (step S102). At this time, the wafer characteristic values are collected in lot units, and the characteristic values are (a) short-circuit current, (b) open-circuit voltage, (c) an efficiency, (d) a fill factor, (e) a shunt resistance, and (f) a series resistance.
다음으로, 정규분포를 만족하는 웨이퍼를 선별하여 공정에 투입할 수 있다(단계 S103). 여기서, 웨이퍼 특성값의 측정 결과에 따라 정규분포가 산출되고, 우수한 정규분포를 가진 웨이퍼를 선별하여 솔라셀 제조 공정에 투입할 수 있다. 이와 같이, 정규분포를 벗어나는 웨이퍼를 공정에 투입하지 않음으로써, 자원의 낭비를 방지하고, 따라서, 경제성을 향상시킬 수 있다. 이때, 수집된 웨이퍼의 특성값 측정 결과를 제조업체에 통보하여 입고 웨이퍼 특성값의 정규분포를 관리할 수 있다. 특히, 특성값이 정규분포를 벗어나는 웨이퍼에 대하여 해당 제조업체에 통보하고 웨이퍼의 생산 공정을 조정하게 함으로써, 입고 웨이퍼의 특성값 정규분포를 관리할 수 있다.Next, wafers satisfying the normal distribution can be selected and put into the process (step S103). Here, the normal distribution is calculated according to the measurement result of the wafer characteristic value, and wafers having excellent normal distribution can be selected and put into the solar cell manufacturing process. In this manner, wastes deviating from the normal distribution are not supplied to the process, thereby preventing wasting of resources, thereby improving the economical efficiency. At this time, it is possible to notify the manufacturer of the measurement result of the characteristic value of the collected wafers, and to manage the normal distribution of the wafer characteristic values of the wafers. In particular, it is possible to manage the characteristic value normal distribution of the receiving wafer by informing the manufacturer of the wafer whose characteristic value is out of the normal distribution and adjusting the production process of the wafer.
다음으로, 웨이퍼 특성값에 따른 공정 조건을 결정할 수 있다(단계 S104). 여기서, 선별된 웨이퍼의 제조 공정은 확산 공정, 전극 도포 공정 또는 소성 공정 등을 포함할 수 있다. 또한, 공정 조건은 각 공정에 대한 온도, 기압 또는 기류를 포함할 수 있는데, 이는 측정된 웨이퍼 특성값에 따라 결정할 수 있다.Next, the process condition according to the wafer characteristic value can be determined (step S104). Here, the selected wafer manufacturing process may include a diffusion process, an electrode coating process, or a baking process. In addition, the process conditions may include temperature, air pressure or air flow for each process, which may be determined according to the measured wafer characteristic values.
다음으로, 결정된 공정 조건에 따라 솔라셀을 제조할 수 있다(단계 S105). 즉, 단계 S104에서 결정된 공정 조건에 따라 선별적인 제조 공정을 실시하여 최종적으로 솔라셀을 제조할 수 있다.Next, the solar cell can be manufactured according to the determined process conditions (step S105). That is, a selective manufacturing process may be performed according to the process conditions determined in step S104 to finally manufacture the solar cell.
다음으로, 로트 단위로 제조된 솔라셀에 사후 마킹을 실시할 수 있다(단계 S106). 이때, 제조된 솔라셀에서 특수한 제조 공정의 환경으로 인해 마킹 정보가 지워지거나 훼손될 가능성이 존재하며, 또한, 제조 공정이 완료되기 전에 마킹 정보의 손실이 발생하면 솔라셀의 인과성을 추적할 수 없기 때문에 이를 방지하기 위해 잉크젯 프린터를 포함하는 마킹 장치를 이용하여 사후 마킹을 실시할 수 있다. 예를 들면, 제조된 솔라셀의 마킹 위치를 감지하면 사전 마킹 정보와 동일한 마킹 정보를 솔라셀에 사후 마킹할 수 있다. 여기서, 마킹 정보는 로트 번호, 입고 번호, 입고 날짜 중 적어도 하나의 정보를 포함할 수 있다. 이와 같이, 잉크젯 프린터를 사용함에 의해, 다양한 폰트를 사용하여 여러가지 문자열을 표현할 수 있고, 마킹 장치의 속도 변화에 신속히 대처하여 솔라셀 제조 공정의 흐름을 준수할 수 있으며, 공정 조건이 변경될 시 잉크 변경을 통해 공정 변화에 대처가 용이할 수 있다. 이때, 샘플링 기법을 이용하여 로트 단위 전체가 아닌 일부에만 마킹을 실시할 수 있으며, 예를 들면, 로트 단위의 솔라셀 중 일부만을 샘플링하여 마킹함으로써, 마킹에 필요한 솔라셀 개수를 감소시킬 수 있다.Next, post-marking can be performed on the solar cell manufactured in units of lots (step S106). At this time, there is a possibility that marking information is erased or damaged due to a special manufacturing process environment in the manufactured solar cell, and if the marking information is lost before the manufacturing process is completed, causality of the solar cell can not be tracked In order to prevent this, post marking can be carried out using a marking device including an ink jet printer. For example, when the marking position of the manufactured solar cell is sensed, the same marking information as the pre-marking information can be post-marked on the solar cell. Here, the marking information may include at least one of a lot number, a receipt number, and a receipt date. Thus, by using an inkjet printer, it is possible to express various strings using various fonts, cope with the speed change of the marking apparatus quickly and observe the flow of the solar cell manufacturing process, and when the process condition is changed, It is easy to cope with the process change through the change. At this time, it is possible to perform marking only on part of the lot unit, not on the whole lot unit basis. For example, by sampling and marking only a part of the solar cells in lot units, the number of solar cells required for marking can be reduced.
다음으로, 사후 마킹된 솔라셀의 특성값을 측정할 수 있다(단계 S107). 이때, 솔라셀의 특성값은 로트 단위로 수집되며, 예를 들면, 단계 102와 유사하게, 단락 전류, 개방 회로 전압, 효율, 충전율, 분류 저항, 직렬 저항 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.Next, the characteristic value of the post-marked solar cell can be measured (step S107). At this time, the characteristic value of the solar cell is collected in lot units and may include at least one of a short-circuit current, an open-circuit voltage, efficiency, a charge rate, a classification resistance, and a series resistance, for example,
다음으로, 웨이퍼 특성값과 솔라셀 특성값을 매칭할 수 있다(단계 S108). 이때, 웨이퍼에 로트 단위로 사전 마킹된 마킹 정보와, 솔라셀에 로트 단위로 사후 마킹된 마킹 정보를 기준으로 웨이퍼 특성값과 솔라셀 특성값을 매칭할 수 있다. 이와 같이 매칭된 특성값을 이용하여 제조 공정에 따른 웨이퍼 및 솔라셀의 인과성을 추적할 수 있다.Next, the wafer characteristic value and the solar cell characteristic value can be matched (step S108). At this time, the wafer characteristic value and the solar cell characteristic value can be matched based on the marking information pre-marked on a wafer by lot basis and the marking information postmarked on a lot-by-lot basis in the solar cell. Thus, the causality of the wafer and the solar cell according to the manufacturing process can be tracked using the matched characteristic value.
다음으로, 솔라셀 특성값의 정규분포에 따른 최적의 공정 조건을 결정할 수 있다(단계 S109). 즉, 측정된 솔라셀의 특성값에 대하여 평균, 표준 편차, 최소값 또는 최대값에 따른 정규분포도를 포함하는 통계 데이터를 산출할 수 있다. 이와 같이 산출된 특성값의 정규분포에 의해 솔라셀 제조 공정의 최적 조건을 결정할 수 있다.Next, optimal process conditions according to the normal distribution of the solar cell characteristic values can be determined (step S109). That is, the statistical data including the normal distribution corresponding to the average, the standard deviation, the minimum value, or the maximum value of the characteristic values of the measured solar cell can be calculated. The optimum condition of the solar cell manufacturing process can be determined by the normal distribution of the characteristic values thus calculated.
이와 같은 방법에 의해, 본 발명의 일 실시예에 따른 솔라셀 제조 공정 관리 방법은 웨이퍼 및 솔라셀에 잉크젯 프린터를 이용한 로트 단위 마킹에 의해 제조 공정의 경제성을 향상시키고, 따라서, 생산성을 높일 수 있으며, 솔라셀의 인과성의 추적 관리가 가능하고, 따라서, 제조 공정을 효율적으로 관리할 수 있으며 솔라셀 특성값의 정규분포 관리를 통해 품질을 향상시킬 수 있다.According to the method, the method of managing the solar cell manufacturing process according to an embodiment of the present invention improves the economical efficiency of the manufacturing process by lot unit marking using wafers and solar cells using an ink jet printer, It is possible to track and manage the causality of the solar cell, and thus the manufacturing process can be efficiently managed and the quality can be improved through the regular distribution management of the solar cell characteristic value.
이하, 도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 솔라셀 제조 공정 관리 방법에 의해 제조된 솔라셀 특성값의 정규분포도와 종래의 솔라셀 제조 공정에 따라 제조된 솔라셀 특성값의 정규분포도를 비교한다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 솔라셀 제조 공정 관리 방법에 의해 제조된 솔라셀 특성값의 정규분포도를 나타낸 그래프이고, 도 3은 종래의 솔라셀 제조 공정에 따라 제조된 솔라셀 특성값의 솔라셀의 정규분포도를 나타낸 그래프이다.Hereinafter, referring to FIGS. 2 and 3, a normal distribution diagram of the solar cell characteristics produced by the solar cell manufacturing process management method according to an embodiment of the present invention and a solar cell characteristic value prepared according to the conventional solar cell manufacturing process Are compared. FIG. 2 is a graph showing a normal distribution diagram of the solar cell characteristic values manufactured by the solar cell manufacturing process management method according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a graph showing a solar cell characteristic value Of the present invention.
도 2에 도시된 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 솔라셀 제조 공정 관리 방법에 의해 제조된 솔라셀 특성은 평균값을 기준으로 산포가 좁은 정규분포를 나타내는 반면, 도 3에 도시된 바와 같이 종래의 솔라셀 제조 공정에 따라 제조된 솔라셀 특성값은 평균값을 기준으로 산포가 넓은 정규분포를 나타낸다. 여기서, 특성값의 산포가 감소할수록 우수한 품질의 솔라셀의 제조를 보장할 수 있는 것을 고려하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 솔라셀 제조 공정 관리 방법에 의해 제조된 솔라셀은 종래의 제조 공정에 의한 솔라셀에 비하여 우수한 품질의 솔라셀을 제조할 가능성이 향상될 수 있음을 알 수 있다.2, the solar cell characteristics produced by the solar cell manufacturing process management method according to the embodiment of the present invention exhibits a narrow normal distribution with respect to the average value, whereas, as shown in FIG. 3, The solar cell characteristic values prepared according to the solar cell manufacturing process show a wide normal distribution with a spread based on the average value. Here, considering that it is possible to guarantee the production of a high quality solar cell as the dispersion of the characteristic value decreases, the solar cell manufactured by the solar cell manufacturing process management method according to an embodiment of the present invention can be manufactured by a conventional manufacturing process It is possible to improve the possibility of manufacturing a solar cell of superior quality as compared with the solar cell by the above-mentioned method.
이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.
Claims (5)
상기 사전 마킹된 웨이퍼의 특성값을 측정하는 단계;
상기 측정된 웨이퍼의 특성값에 따라 정규분포를 만족하는 웨이퍼를 선별하는 단계;
상기 선별된 웨이퍼의 특성값에 따른 선별적인 공정 조건을 결정하고, 상기 웨이퍼를 이용하여 상기 결정된 조건에 따라 솔라셀을 제조하는 단계;
상기 잉크젯 프린터를 이용하여 상기 로트 단위로 제조된 솔라셀에 상기 사전 마킹을 통해 마킹된 정보와 동일한 정보를 사후 마킹하되, 상기 로트 단위의 웨이퍼 또는 솔라셀 중 일부를 샘플링하여 사후 마킹하는 단계;
상기 사후 마킹된 솔라셀의 특성값을 측정하는 단계;
상기 사전 마킹 및 상기 사후 마킹 정보에 따라 상기 측정된 웨이퍼 특성값 및 상기 솔라셀 특성값을 매칭하는 단계; 및
상기 매칭된 특성값에 대한 통계 데이터를 산출하여 상기 통계 데이터의 정규분포에 따라 이후 솔라셀 제조공정의 공정 조건을 결정하는 단계를 포함하는, 솔라셀 제조 공정 관리 방법.Pre-marking the wafer in units of lots using an inkjet printer;
Measuring a characteristic value of the pre-marked wafer;
Selecting wafers satisfying the normal distribution according to the measured characteristic values of the wafers;
Determining selective process conditions according to the characteristic values of the selected wafers, and manufacturing the solar cells according to the determined conditions using the wafers;
Post-marking the same information as the information marked by the pre-marking on the solar cell manufactured in the lot unit by using the inkjet printer, sampling and post-marking a part of the wafer or solar cell in the lot unit;
Measuring a characteristic value of the postmarked solar cell;
Matching the measured wafer characteristic value and the solar cell characteristic value according to the pre-marking and post-marking information; And
Calculating statistical data on the matched characteristic value and determining a process condition of a solar cell manufacturing process according to a normal distribution of the statistical data.
상기 마킹 정보는 로트 번호, 입고 번호, 입고 날짜 중 적어도 하나의 정보를 포함하는, 솔라셀 제조 공정 관리 방법.The method according to claim 1,
Wherein the marking information includes at least one of a lot number, a receipt number, and a receipt date.
상기 통계 데이터는 상기 솔라셀의 평균, 표준 편차, 최소값 또는 최대값에 따른 정규분포를 포함하는, 솔라셀 제조 공정 관리 방법.The method according to claim 1,
Wherein the statistical data includes a normal distribution according to an average, a standard deviation, a minimum value, or a maximum value of the solar cells.
퍼스널 컴퓨터에 연결된 통신망을 통해 상기 웨이퍼 특성값의 측정 결과를 웨이퍼 제조업체로 통보하여 입고 웨이퍼의 정규 분포를 관리하는 단계를 더 포함하는, 솔라셀 제조 공정 관리 방법.The method according to claim 1,
Further comprising the step of informing the wafer manufacturer of the measurement result of the wafer characteristic value through a communication network connected to the personal computer to manage the normal distribution of the wafer to be worn.
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