KR101654121B1 - 배관 철거용 고정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 제조 설비의 배관 철거시 수지 튜브 내의 약액이 외부로 유출되는 것을 차단되도록 고정하여 작업의 안정성과 작업의 효율성을 모두 향상시킬 수 있는 배관 철거용 고정장치를 개시한다. 본 발명은 선단에 내측으로 오목하게 수용홈이 형성된 수용부가 설치되고 일정구간에 우회영역이 형성된 몸체부; 상기 몸체부의 내부에 수용되어 전·후진되며, 선단에 상기 우회영역 내에 노출된 압 헤드부가 구비된 가압부; 및 상기 몸체부의 말단에 설치되어 회전되는 것으로 상기 가압부를 전·후진시키는 구동부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

Description

배관 철거용 고정장치{Fixing device for tearing pipe off}
본 발명은 배관 철거용 고정장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 제조 설비 라인에 설치되는 배관을 철거하는데 사용되는 배관 철거용 고정장치에 관한 것이다.
일반적으로, 첨단 소재의 부품을 생산하는 제조시스템, 예를 들면 반도체 소자 제조시스템, 초정밀 전자 및 전기 부품 소자 제조시스템, 우주 항공 부품 소자 제조시스템, 석유 화학 정류 시스템, 화학 플랜트 시스템 등에서는 화학 약품 등이 사용된다.
이때, 화학 약액으로는 예를 들어 초순수 용액, 가스 용액, 정제 원유액 등이 사용되고 있고, 이들 유체들은 연속적으로 끊임없이 생산 시스템으로 공급되기 위해 배관(pipe) 내를 흐르게 된다.
한편, 반도체 제조 시스템에 있어서는 상기와 같은 유체들이 반도체 제조 공정시, 예를 들면 클리닝 공정, 에칭 공정, 포토 공정 등에서 사용되고 있다. 이러한 반도체 제조 공정에서는 다양한 종류의 화학 약액이 사용되고 있어 반도체 제조 공정 중 화학 약액이 필요할 때에 화학 약액이 안전하고 신속하게 공급되도록 하고 있다.
이와 같이, 화학 약액이 적절히 공급됨으로써 반도체의 수율이 향상될 수 있게 된다. 특히, 반도체 제조 시스템에 있어서 중앙 약액 공급시스템(central chemical supply system)은 상기와 같은 화학 약액을 화학 약액 공급시스템의 내부 배관 시스템을 통해 공급하게 된다.
이러한 배관 시스템에서는 경우에 따라 금속관 이외에 수지 튜브(테프론 재질의 튜브)가 적용되고 있다. 이러한 수지 튜브는 가스 또는 물 등의 유체를 공급한다. 따라서, 피팅 과정에서 튜브가 쉽게 빠지거나 누수가 생기면 곤란하다. 이러한 요건은 반면에 배관의 정비와 수리를 위해 피팅에서 튜브를 분리할 때 어려움을 야기한다.
특히 협소한 장소에서 연결이 이루어질 때는 튜브를 피팅에서 분리하기 위해 힘을 주기가 어렵고, 튜브의 규격이 작거나 튜브와 피팅의 재질이 약한 것으로 이루어지는 경우는 튜브를 피팅에서 분리하기 위해 힘을 주거나 펜치(cutting pliers)나 롱노즈 펜치 등의 도구로 잡을 때 튜브와 피팅이 손상되거나 변형되는 현상이 생기기 쉽다. 또한 수지 튜브를 절단하는 경우에는 튜브 내에 잔류하는 약액이 외부로 유출되지 않도록 튜브의 중간을 압착시켜야 하고, 더구나 내부의 약액이 유독성 물질일 경우에는 보다 견고한 차단이 요구된다.
이러한 이유로 피팅을 교체하거나 튜브를 교체하는데 주의가 필요하고, 이를 위해 견고한 고정이 가능한 배관 철거 기기(공구 및 장치)가 요구된다. 특히 훼손된 튜브를 교체하는 경우 미세한 누유가 유발되어 안전사고로 이어지거나, 각종의 설비부분들의 동작을 부정확하게 하고 설비 전체의 수명저하를 초래하는 경향이 있다.
<선행문헌>
대한민국 공개특허 제2001-0002447호(공개일: 2001년 1월 15일)
본 발명은 위와 같은 문제점을 해소하기 위해 창안된 것으로서, 반도체 제조 설비의 배관 철거시 수지 튜브 내의 약액이 외부로 유출되는 것을 차단되도록 고정하여 작업의 안정성과 작업의 효율성을 모두 향상시킬 수 있는 배관 철거용 고정장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일실시 형태에 따르면, 선단에 내측으로 오목하게 수용홈이 형성된 수용부가 설치되고 일정구간에 우회영역이 형성된 몸체부; 상기 몸체부의 내부에 수용되어 전·후진되며, 선단에 상기 우회영역 내에 노출된 가압 헤드부가 구비된 가압부; 및 상기 몸체부의 말단에 설치되어 회전되는 것으로 상기 가압부를 전·후진시키는 구동부를 포함하여 이루어진 배관 철거용 고정장치가 제공된다.
상기 수용부의 수용홈은 '〈' 자 형태로 형성되고, 상기 가압 헤드부는 '〈' 자 형태로 형성될 수 있다.
상기 가압 헤드부의 둘레면에는 적어도 하나의 가압 리브가 돌출형성될 수 있다.
상기 가압부의 상기 가압 헤드부와 연결되고, 상기 몸체부의 내부에 설치되며, 내부에 일정간격으로 암나사 구간이 형성된 샤프트, 상기 샤프트의 암나사 구간에 나사체결된 수나사 샤프트, 및 상기 수나사 샤프트의 말단에 연결되고 상기 구동부의 내측에 형성된 연결 격벽과 체결된 연결 샤프트를 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 몸체부의 말단에는 일정간격으로 나사체결구간이 형성되고, 상기 나사체결구간에는 체결부가 장착되며, 상기 체결부에는 상기 연결 샤프트의 일부가 노출되며, 상기 체결부는 상기 연결 샤프트의 회전을 지지하는 것일 수 있다.
본 발명에 따르면, 반도체 제조 설비의 배관 철거시 사용자가 구동부를 회전시켜 가압 헤드부가 안내 블럭 내로 인입됨으로써 튜브를 차단하고, 이를 통해 수지 튜브 내의 약액이 외부로 유출되지 않은 상태로 철거작업이 이루어질 수 있어 작업의 안정성과 작업의 효율성을 개선할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 고정장치를 나타내는 평면도,
도 2는 도 1에서 가압부가 수지 튜브를 고정시킨 상태를 나타내는 평면도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 고정장치의 구동부와 가압부의 연결구성을 보여주는 부분 단면도,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 고정장치의 몸체부에 체결부가 장착된 상태를 보여주는 상태도,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 고정장치의 구동부를 보여주는 사시도,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 고정장치의 칼날부가 칼날 수용영역에 위치된 상태를 보여주는 평면도, 및
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 고정장치의 칼날부가 개방된 상태를 보여주는 상태도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 고정장치를 나타내는 평면도이고, 도 2는 도 1에서 가압부가 수지 튜브를 고정시킨 상태를 나타내는 평면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 고정장치의 구동부와 가압부의 연결구성을 보여주는 부분 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 고정장치의 몸체부에 체결부가 장착된 상태를 보여주는 상태도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 고정장치의 구동부를 보여주는 사시도이며, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 고정장치의 칼날부가 칼날 수용영역에 위치된 상태를 보여주는 평면도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 고정장치의 칼날부가 개방된 상태를 보여주는 상태도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 배관 철거용 고정장치는 몸체부(10), 구동부(20), 수용부(30), 및 가압부(40)로 구성된다.
구체적으로 몸체부(10)는 금속재질로 이루어질 수 있으며, 선단에 만곡된 형태의 우회 영역(12)이 형성된다.
구동부(20)는 몸체부(10)의 말단에 회전가능하게 설치되며, 원통형의 노브 몸체(22)의 외주면에 다수의 돌출리브(21)가 형성된 구성을 갖는다.
수용부(30)는 몸체부(10)의 선단의 선단 고정부(11)에 고정되고, 내측으로 오목하게 형성된 안내블럭(32)이 형성된다. 이때 안내블럭(32)에는 대략 '〈'자 형상으로 수용홈(33)이 형성된다.
가압부(40)는 가압 헤드부(41)에 샤프트(42)가 장착된 구성으로, 샤프트(42)는 몸체부(10) 내에서 전후진이 가능하게 설치된다. 이는 아래에서보다 상세하게 설명하기로 한다.
한편 가압 헤드부(41)는 우회 영역(12)의 사이 공간에 위치하도록 설치된다. 또한 가압 헤드부(41)는 대략 '〈'자 형상으로 이루어지고, 샤프트(42)가 전진되면 안내블럭(32)의 수용홈(33)에 인입된다. 이때 가압 헤드부(41)의 선단면에는 돌출된 리브 형태의 가압리브 라인(41a)이 형성된다.
이에 따라 도 2와 같이 샤프트(42)가 전진되어 가압 헤드부(41)가 안내블럭(32)에 밀착되면 이 사이에 위치한 수지 튜브(Tu)를 밀착시켜 수지 튜브(Tu)의 관로를 차단할 수 있다.
이하, 도 3 내지 도 5를 참조하여 가압부(40)의 작동원리에 대해 보다 구체적으로 설명한다.
도 3을 참조하면, 가압부(40)는 가압 헤드부(41)의 말단에 연결구(43)를 매개로 샤프트(42)가 연결된다. 이때 샤프트(42)는 몸체부(10)의 내부에서 직선이동이 가능할 뿐, 몸체부(10)의 내부에서 회전되지 않게 수용되어 설치된다. 샤프트(42)의 내부에는 일정구간으로 암나사 구간(44)이 형성되고, 이 암나사 구간(44)에는 수나사 샤프트(51)가 나사체결된다.
여기서 수나사 샤프트(51)는 말단에 연결 샤프트(52)가 연결되고, 이 연결 샤프트(52)의 말단에는 체결 포스트(52a)가 형성되고, 이 체결 포스트(52a)가 구동부(20)의 연결 격벽(23)에 형성된 체결공(23a)에 끼워짐으로써 원통형의 구동부(20)가 몸체부(10)에서 회전 가능하게 되고, 또한 구동부(20)의 회전에 의해 연결 샤프트(52)가 회전되고, 이를 통해 가압 헤드부(41)의 전후진이 가능하게 된다.
구체적으로, 구동부(20)에 연결된 연결 샤프트(52)는 구동부(20)가 회전되면 그 회전력에 의해 수나사 샤프트(51)가 몸체부(10) 내에서 회전되어 샤프트(44)의 암나사 구간(44)의 나사산을 따라 샤프트(42)를 전후진시키게 된다. 즉 구동부(20)를 회전시키면 수나사 샤프트(51)가 회전되고, 이 회전력은 샤프트(42) 내의 암나사 구간(44)의 나사산을 따라 샤프트(42)를 전후진 시키게 된다. 이러한 작동을 위해 샤프트(42)는 몸체부(10)에서 축방향으로 회전되지 않게 몸체부(10)에 삽입된다.
이때 체결 포스트(52a)는 구동부(20)의 체결공(23a)에 끼워진 상태에서 장착판(22a)을 끼우고 체결 볼트(21)로 고정될 수 있다.
한편 연결 샤프트(52)는 체결부(55)를 통해 몸체부(10)에서 회전가능하게 장착될 수 있다. 즉, 몸체부(10)의 말단에는 나사산으로 이루어진 체결구간(15)이 형성되고, 이 체결구간(15)에 체결부(55)가 나사체결된다. 또한 이 체결부(55)의 전방에는 관통공이 형성되고, 이 관통공에 연결 샤프트(52)가 위치되어 체결부(55)의 관통공을 기점으로 연결 샤프트(52)가 회전될 수 있다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 배관 철거용 고정장치는 우회 영역(12)의 일부에 칼날 수용 영역(64)이 형성되고, 이 칼날 수용 영역(64) 내에 칼날부(60)가 선회축(65)을 기점으로 선회되도록 설치될 수 있다. 이에 따라 경우에 따라 수지 튜브(Tu) 등을 절단하는데 이용될 수 있다.
이와 같이 본 발명은 반도체 제조 설비의 배관 철거시 사용자가 구동부(20)를 회전시켜 가압 헤드부(41)가 안내 블럭(32) 내로 인입됨으로써 수지 튜브(Tu)의 관로를 차단(도 2 참조)하고, 이를 통해 수지 튜브(Tu) 내의 약액이 외부로 유출되지 않은 상태로 철거작업이 이루어질 수 있어 작업의 안정성과 작업의 효율성을 개선할 수 있다.
이상에서는 본 발명을 특정의 실시예에 대해서 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 얼마든지 다양하게 변경하여 실시할 수 있을 것이다.
10: 몸체부
11: 선단 고정부
12: 우회영역
15: 체결구간
20: 구동부
21: 돌출리브
22: 노브 몸체
30: 수용부
32: 안내 블럭
33: 수용홈
40: 가압부
41: 가압 헤드부
41a: 가압 리브 라인
42: 샤프트
43: 연결구
44: 암나사 구간
65: 선회축
51: 수나사 샤프트
52: 연결 샤프트
55: 체결부

Claims (5)

  1. 선단에 내측으로 오목하게 수용홈이 형성된 수용부가 설치되고 일정구간에 우회영역이 형성된 몸체부;
    상기 몸체부의 내부에 수용되어 전·후진되며 내부에 일정길이로 암나사 구간이 형성된 샤프트;
    상기 샤프트의 선단에 연결구를 통해 연결된 가압 헤드부;
    상기 샤프트의 암나사 구간에 나사결합되어 회전에 의해 상기 샤프트를 전·후진 시키는 수나사 샤프트;
    상기 수나사 샤프트의 말단에서 연장된 연결 샤프트; 및
    상기 연결 샤프트의 말단이 결합되며 상기 몸체부의 말단에 회전가능하게 장착된 원통형의 구동부를 포함하고,
    상기 수용부의 수용홈은 '〈' 자 형태로 형성되고, 상기 가압 헤드부는 '〈' 자 형태로 형성되며,
    상기 가압 헤드부의 둘레면에는 적어도 하나의 가압 리브 라인이 돌출형성되고,
    상기 몸체부의 상기 우회영역에는 칼날 수용 영역이 형성되고, 상기 칼날 수용 영역에는 선회축을 기준으로 일정방향으로 회전되는 칼날부가 형성된 것을 특징으로 하는 배관 철거용 고정장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 몸체부의 말단에는 일정간격으로 나사체결구간이 형성되고,
    상기 나사체결구간에는 체결부가 장착되며,
    상기 체결부에는 상기 연결 샤프트의 일부가 노출되며, 상기 체결부는 상기 연결 샤프트의 회전을 지지하는 것을 특징으로 하는 배관 철거용 고정장치.
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