KR101653139B1

KR101653139B1 - Mounting head for handling electrical or electronic components

Info

Publication number: KR101653139B1
Application number: KR1020127011684A
Authority: KR
Inventors: 미하엘 무트; 게오르그 슬로타
Original assignee: 에어로라스 게엠베하, 에어로슈타티쉐 라거- 레이저테크닉
Priority date: 2009-10-06
Filing date: 2009-10-06
Publication date: 2016-09-01
Also published as: JP5500402B2; JP2013507010A; DE112009005306A5; WO2011042034A1; DE112009005306B4; KR20120093927A

Abstract

본 발명은 삽입 및 고정될 전기 또는 전자 부품(8)에 흡입 효과를 제공하기 위해 흡입 노즐(7)을 구비한 핸들링 요소(6); 상기 핸들링 요소(6)를 위한 리테이너(4; 204) 및 상기 리테이너(4; 204)를 제1축(Z)을 따라 병진 운동(translational motion) 시키기 위한 하나 이상의 구동 장치를 구비하며; 상기 리테이너(4; 204)는 제1축(Z)에 대해 동축으로 뻗어 있는 실린더 보어(50; 250)를 갖는 실린더(5; 205)를 구비하고, 상기 핸들링 요소(6)는 유체 베어링으로서 형성된 하나 이상의 레이디얼 베어링(68', 69'; 268', 269')을 통해 실린더(5; 205)에서 제1축(Z)을 따라 이동 가능하게 설치되어 있는 피스톤(60; 260)을 구비하며, 상기 실린더(5; 205)에 압력 챔버(9; 209)가 형성되어 있고, 상기 피스톤(60; 206)에 상기 압력 챔버(9, 209)에서 작용하는 유체 압축력(F; F'; F'')이 축방향으로 가해져서 상기 피스톤은 리테이너(4; 204)의 정지부(52; 252)에 대하여 상기 실린더(5; 205)로부터 나오는 방향으로 선응력을 받는 전기 또는 전자 부품을 핸들링하기 위한 마운팅 헤드에 관한 것이며, 상기 마운팅 헤드는 유체 압축력(F; F'; F'')을 생성하기 위한 유체 압력은 레이디얼 베어링(68', 69'; 268', 269')에 유입된 액체에 의해 발생 되는 것을 특징으로 한다. The invention comprises a handling element (6) with a suction nozzle (7) for providing a suction effect on the electric or electronic part (8) to be inserted and fixed; A retainer (4; 204) for said handling element (6) and at least one drive device for translational motion of said retainer (4; 204) along a first axis (Z); The retainer (4; 204) has a cylinder (5; 205) having a cylinder bore (50; 250) coaxially extending with respect to a first axis (Z), the handling element (6) being formed as a fluid bearing (60; 260) movably mounted along the first axis (Z) at the cylinder (5; 205) through at least one radial bearing (68 ', 69'; 268 ', 269' (F; F '; F') acting in the pressure chambers (9, 209) on the piston (60; 206) are formed in the cylinder (5, 205) Is applied in the axial direction so that the piston can be used to handle electrical or electronic components that are subjected to stresses exerted in the direction exiting from the cylinder (5; 205) relative to the stop (52; 252) of the retainer Wherein the mounting head has a radial bearing 68 ', 69'; 268 ', a radial bearing for generating a fluid compressive force F (F'; F '') 269 '. < / RTI >

Description

TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a mounting head for handling electric or electronic parts,

본 발명은 청구항 제1항의 전제부에 따른 전기 또는 전자 부품을 핸들링하기 위한 마운팅 헤드에 관한 것이다.The present invention relates to a mounting head for handling electric or electronic components according to the preamble of claim 1.

예를 들어, 이러한 마운팅 헤드는, 제1 위치, 예를 들어 부품 저장소에 고속 및 높은 정밀도를 갖는 마이크로 전자 부품을 삽입하며, 두 번째 장소, 예를 들어 보드로 운반로 운반하고, 이곳에서 장착 위치에 정확하게 위치시키고 세팅하게 위해 사용된다. For example, such a mounting head inserts a microelectronic component having a high speed and high precision into a first location, e.g., a part store, and transports it to a second location, e.g., a board, To be precisely positioned and set.

전기 또는 전자 부품을 핸들링 하위 위한 마운팅 헤드는 예를 들어 EP 1 075 174 A1에 공지되어 있다. 공지된 이러한 마운팅 헤드에는 흡입 노즐(suction nozzle)이 핸들링 부품과 단단하게 연결되어 있고, 상기 핸들링 부품은 피스톤 블록(piston block)을 구비하며, 상기 피스톤 블록은 하우징의 실린더 보어에서 이동할 수 있도록 삽입되어 있다. 상기 실린더 보어에 의해 한정된 실린더의 내부 압력 챔버는 흡입 노즐을 구비한 핸들링 요소를 전방 및 후방으로 이동하도록 하기 위해 선택적으로 과중 압력 또는 저압에 놓이게 된다. 피스톤은 방사상 방향으로 영향을 주는 두 개의 가스 압력 베어링을 통해 실린더에 설치되어 있다. 상기 전자 부품을 고정하고 세팅하기 위해 상기 압력 챔버는 실린더에서 압력 상태에 놓이게 되고, 상기 핸들링 부품은 상기 흡입 노즐과 함께 아래쪽으로 이동된다. 또한, 상기 흡입 노즐의 뾰족한 끝은 가스 압력에 의해 상기 피스톤에 가해지는 힘으로 인해 항상 상기 전자 부품의 표면에 닿게 된다. 보드 마운팅의 경우 높은 생산 속도에 대한 요구를 달성하기 위해, 상기 핸들링 부품에 의해 실시되어야 하는 가속도가 매우 높기 때문에, 상기 전자 부품을 삽입할 때와 세팅할 때 높은 가속 및 힘의 제약을 받는 펄스(pulse)가 상기 부품에 영향을 준다. A mounting head for handling electrical or electronic components is known, for example, from EP 1 075 174 A1. In this known mounting head, a suction nozzle is rigidly connected to the handling part, and the handling part has a piston block, which is inserted in the cylinder bore of the housing so as to be movable have. The internal pressure chamber of the cylinder defined by the cylinder bore is selectively placed under overpressure or low pressure to move the handling element with the suction nozzle forward and backward. The piston is installed in the cylinder through two gas pressure bearings that affect the radial direction. In order to fix and set the electronic component, the pressure chamber is placed in a pressure state in the cylinder, and the handling part is moved downward with the suction nozzle. Further, the pointed end of the suction nozzle always touches the surface of the electronic component due to the force applied to the piston by the gas pressure. In order to achieve a high production rate requirement in the case of board mounting, the acceleration to be performed by the handling component is very high, so that a pulse which is subject to high acceleration and force when inserting and setting the electronic component pulse affects the part.

이러한 종류의 마운팅은 공압식으로 작동되지 않고, 전자 메커니즘으로 작동되며 상기 마운팅은 DE 10 2005 008 A1에 공지되어 있다. 공지된 이러한 마운팅은 홀더를 구비하며, 상기 홀더는 하단부에 동축의 실린더 보어가 제공되어 있고, 상기 흡입 노즐을 구비하고 있는 핸들링 부품의 피스톤은 종 방향으로 이동될 수 있도록 상기 실린더 보어에 삽입되어 있다. 상기 실린더 보어에 의해 한정된 실린더는 상기 피스톤의 상부에서 실린더 챔버를 감싸고 있으며, 상기 실린더 챔버는 압력을 제어할 수 있는 공압 라인에 연결되어 있다. 실린더 챔버에서 압력이 제어됨으로써 상기 흡입 노즐의 서로 다른 접촉력이 조절될 수 있다. This kind of mounting is not operated pneumatically, but is operated by an electronic mechanism and the mounting is known from DE 10 2005 008 A1. This known mounting has a holder which is provided with a coaxial cylinder bore at its lower end and the piston of the handling part with the suction nozzle is inserted into the cylinder bore so that it can be moved in the longitudinal direction . A cylinder defined by the cylinder bore surrounds the cylinder chamber at the top of the piston, and the cylinder chamber is connected to a pneumatic line that can control the pressure. By controlling the pressure in the cylinder chamber, the different contact forces of the suction nozzles can be adjusted.

본 발명의 목적은 현저하게 제조 비용이 절감되는 마운팅을 제공하는 것이다. It is an object of the present invention to provide a mounting that significantly reduces manufacturing costs.

본 발명의 상기 목적은 본 발명의 마운팅에 대한 청구항 제1항의 특징부를 통해 해결된다. The above object of the present invention is solved by the features of claim 1 of the mounting of the present invention.

삽입 및 고정될 전기 또는 전자 부품에 흡입 효과를 제공하기 위해 흡입 노즐; 상기 핸들링 요소를 위한 리테이너 및 상기 리테이너를 제1축을 따라 병진 운동(translational motion) 시키기 위해 하나 이상의 구동 장치를 갖는 핸들링 요소를 구비하며, 상기 리테이너는 제1축에 대해 동축으로 뻗어 있는 실린더 보어를 갖는 실린더를 구비하고; 상기 핸들링 요소는 유체 베어링으로서 형성된 하나 이상의 레이디얼 베어링을 통해 실린더에서 제1축을 따라 이동 가능하게 설치되어 있는 피스톤을 구비하며, 상기 실린더에 압력 챔버가 형성되어 있고, 상기 피스톤에 상기 압력 챔버에서 작용하는 유체 압축력이 축방향으로 가해져서 상기 피스톤은 리테이너의 정지부(stop)에 대하여 상기 실린더로부터 나오는 방향으로 선응력을 받는 전기 또는 전자 부품을 핸들링하기 위한 본 발명에 따른 이러한 마운팅 헤드에 있어서, 유체 압축력을 생성하기 위한 유체 압력은 레이디얼 베어링에 유입된 액체에 의해 발생 되는 것을 특징으로 한다.A suction nozzle for providing a suction effect on an electric or electronic part to be inserted and fixed; A retaining member for the handling element and a handling element having at least one drive device for translational motion of the retainer along a first axis, the retainer having a cylinder bore extending coaxially with respect to the first axis A cylinder; Wherein the handling element comprises a piston movably mounted along a first axis in the cylinder via at least one radial bearing formed as a fluid bearing, the pressure chamber being formed in the cylinder, In which the piston is subjected to axial compressive force and the piston is subjected to a stress in a direction exiting the cylinder with respect to a stop of the retainer, characterized in that in the mounting head according to the invention, And the fluid pressure for generating the compressive force is generated by the liquid introduced into the radial bearing.

상기 레이디얼 베어링에 유입된 액체에 의해 유체 압축력을 생성하기 위한 유체 압력의 발생은 선행 기술에 제공되어 있는 압력을 제어할 수 있는 공압 라인이 포기될 수 있는 장점을 갖는다. 이것은 상기 마운팅 헤드의 구성을 단순화시키고, 이로써 상기 마운팅 헤드의 제조 과정 및 제조 비용을 절감시킨다. The generation of the fluid pressure for generating the fluid compression force by the liquid introduced into the radial bearing has the advantage that the pneumatic line capable of controlling the pressure provided in the prior art can be abandoned. This simplifies the construction of the mounting head, thereby reducing the manufacturing process and manufacturing cost of the mounting head.

특히 바람직하게는, 유체 압축력을 생성하기 위해 상기 레이디얼 베어링에 공급된 유체 압력이 추가로 상기 압력 챔버에 전달되는 경우이다. Particularly preferably, the fluid pressure supplied to the radial bearing for generating a fluid compression force is further transmitted to the pressure chamber.

바람직하게는, 압력 챔버 채널이 제공되는 것이며, 바람직하게는 상기 압력 챔버 채널을 통해 상기 유체 압력이 전달된다. 상기 압력 챔버 채널에 스로틀(throttle)이 제공되며, 상기 스로틀 또한 조절 가능하게 형성될 수 있다. 상기 레이디얼 베어링을 위해 제공된 유체 압력을 추가로 상기 압력 챔버에 공급함으로써 본 발명의 구성 또한 단순화되며, 그 이유는 상기 레이디얼 베어링 쪽으로 상기 유체 압력의 공급은 상기 압력 챔버에 유체 압력이 동시에 공급되기 때문이다. Preferably, a pressure chamber channel is provided, and preferably the fluid pressure is delivered through the pressure chamber channel. A throttle is provided in the pressure chamber channel, and the throttle can also be regulated. The configuration of the present invention is also simplified by feeding the fluid pressure additionally provided for the radial bearing to the pressure chamber because the supply of the fluid pressure toward the radial bearing is achieved by simultaneously supplying fluid pressure to the pressure chamber Because.

바람직하게는, 상기 피스톤은 축 방향으로 서로 간격을 두고 있으며 서로 다른 외부 지름을 갖는 적어도 두 개의 원통형 피스톤 부품을 구비하며, 상기 피스톤의 외부 지름은 상기 액체 압축력의 작용 방향으로 증가하고, 상기 압력 챔버는 두 피스톤 부품 사이의 전이 영역에 있는 실린더에 형성되어 있다. 이러한 변형은 상기 유체 압력이 피스톤 전면부 전체에 영향을 주는 것이 아니라, 서로 다른 크기의 두 외부 지름 사이의 편차 표면에만 영향을 주는 장점을 갖는다. 이러한 방식으로 레이디얼 베어링에 압력을 공급하기 위해 필요한 유체 압력에 따른 표면 구성을 통해 상기 피스톤에 영향을 주는 유체 압력이 조절될 수 있다. Preferably, the piston comprises at least two cylindrical piston parts spaced apart from each other in the axial direction and having different outer diameters, the outer diameter of the piston increasing in the direction of action of the liquid compression force, Is formed in the cylinder in the transition region between the two piston parts. This deformation has the advantage that the fluid pressure does not affect the entire piston front, but only the deviation surface between two outer diameters of different sizes. In this way, the fluid pressure affecting the piston can be controlled through the surface configuration according to the fluid pressure required to supply the pressure to the radial bearing.

바람직하게는, 두 개의 피스톤 부품 사이의 전이 영역에 있는 피스톤의 외주는 적어도 구간별로 원추형으로 형성되어 있다. Preferably, the outer circumference of the piston in the transition region between the two piston parts is formed at least conically in each section.

상기 두 개의 피스톤 부품 사이의 전이 영역에 있는 피스톤의 외부 지름은 계단 형태로 증가할 수도 있으며, 보다 작은 외부 지름을 갖는 피스톤 부품과 보다 큰 외부 지름을 갖는 피스톤 부품 사이에 상기 유체 압축력에 반대로 작용하는 링 형태의 지지면이 형성되어 있다. The outer diameter of the piston in the transition region between the two piston parts may increase in a stepped fashion and may be increased in a stepped manner between a piston component having a smaller outer diameter and a piston component having a larger outer diameter, And a ring-shaped support surface is formed.

상기 유체 압력에 노출된 상기 링 형태의 지지면은 원추형으로 뻗어 있을 수 있고, 이와 함께 두 개의 피스톤 블록 사이의 점차적인 전이가 형성될 수 있거나, 또는 계단 형태, 예를 들어 링 표면을 형성할 수 있으며, 상기 링 표면은 피스톤 축에 대해 경사각 또는 직각으로 형성된 표면에 위치한다. The ring-shaped support surface exposed to the fluid pressure may conically extend, and gradual transition between the two piston blocks may be formed therewith, or it may be formed in a stepped form, for example a ring surface And the ring surface is located at a surface formed at a tilt angle or a right angle with respect to the piston axis.

바람직하게는, 상기 링 형태의 지지면은 상기 압력 챔버를 위한 축 방향 경계 벽의 적어도 일 부분을 형성하는 경우이다. Preferably, the ring-shaped support surface forms at least a portion of the axial boundary wall for the pressure chamber.

특히 바람직한 실시형태에서, 상기 실린더 벽에는 하나 이상의 액체 배출구가 제공되어 있으며, 상기 액체 배출구를 통해 액체가 상기 실린더로부터 배출될 수 있다. In a particularly preferred embodiment, the cylinder wall is provided with one or more liquid outlets through which liquid can be discharged from the cylinder.

특히 바람직하게는, 상기 액체 배출구에 조절 가능한 스로틀이 제공되는 경우이다. 이와 함께 상기 액체 배출구의 가능한 횡단면 선택으로 인해 상기 스로틀의 배출구 횡단면 구성 또는 변경을 통한 압력 챔버 및/또는 상기 레이디얼 베어링의 지지력 압력이 조절될 수 있다. Particularly preferably, the liquid outlet is provided with an adjustable throttle. In addition, due to the possible cross-sectional selection of the liquid outlet, the pressure of the pressure chamber and / or the bearing force of the radial bearing through the outlet cross-sectional configuration or change of the throttle can be adjusted.

특히 바람직한 실시형태에서, 상기 실린더의 내주 벽에는 바람직하게는 내주 위에 균일하게 분포되어 있고, 바람직하게는 원주 방향으로 배열된 복수의 액체 배출구가 제공되어 있으며, 상기 액체 배출구는 하나 이상의 레이디얼 베어링을 형성하고 있다. In a particularly preferred embodiment, the inner circumferential wall of the cylinder is provided with a plurality of liquid outlets uniformly distributed on the inner periphery, preferably arranged in the circumferential direction, and the liquid outlets are provided with one or more radial bearings .

이로 인해, 상기 실린더의 원주 위에 균일한 베어링 하중이 상기 피스톤에 제공되므로, 실린더에서 상기 피스톤이 최적으로 중앙에 고정될 수 있다. As a result, a uniform bearing load is provided on the piston over the circumference of the cylinder, so that the piston can be optimally centered in the cylinder.

또한, 바람직하게는 실린더 벽의 축 방향 연장부를 따라 상기 실린더의 내주 벽 위 및 바람직하게는 원주 방향으로 배열된 일련의 복수의 액체 배출구가 제공되어 있다. 이로 인해, 축 방향으로 서로 간격을 두고 있는 베어링 지지 섹션을 갖는 레이디얼 베어링이 제공되며, 경우에 따라 이로 인해 상기 피스톤에 영향을 주는 틸팅력(tilting force)이 효과적으로 지지 될 수 있다. Also, a plurality of liquid outlets, preferably arranged in series along the axial extension of the cylinder wall, are arranged on the inner circumferential wall of the cylinder and preferably in the circumferential direction. This provides a radial bearing with a bearing support section spaced apart from one another in the axial direction, whereby a tilting force which affects the piston can be effectively supported.

실린더 벽에 상기 레이디얼 베어링 액체 배출구 배열을 위해 하나 이상의 레이디얼 베어링의 액체 배출구가 상기 피스톤의 외주 벽에 선택적으로 형성될 수 있다. 이를 위해, 도면에 상세하게 설명되어 있는 것처럼 유체 압력이 상기 피스톤으로 유입되어야 한다. 또한, 이러한 배열에서 상기 피스톤의 외주 벽에 바람직하게는 균일하게 외주 위 및 바람직하게는 원주 방향으로 배열된 복수의 액체 배출구가 제공되는 것이 바람직하며, 상기 액체 배출구는 레이디얼 베어링을 형성하고 있다. 또한, 원주 위에 상기 액체 배출구의 균일한 배열을 통해 상기 피스톤이 실린더에서 최적으로 중앙에 고정될 수 있다. A liquid outlet of one or more radial bearings for the radial bearing liquid outlet arrangement on the cylinder wall may be selectively formed in the outer peripheral wall of the piston. To this end, fluid pressure must be introduced into the piston as detailed in the figure. It is also preferred in this arrangement that a plurality of liquid outlets, preferably arranged uniformly circumferentially and preferably circumferentially, are provided on the outer peripheral wall of the piston, the liquid outlets forming a radial bearing. In addition, the piston can be optimally centered in the cylinder through a uniform array of liquid outlets over the circumference.

또한, 바람직하게는 실린더 벽의 축 방향 연장부를 따라 상기 피스톤의 외주 벽 위 및 바람직하게는 원주 방향으로 배열된 복수의 액체 배출구가 제공되는 것이다. 또한, 이러한 조치는 바깥쪽으로부터 상기 피스톤에 영향을 주는 틸팅력이 효과적으로 상기 레이디얼 베어링에 의해 지지 될 수 있다. In addition, preferably, a plurality of liquid outlets are provided along the axial extension of the cylinder wall and arranged on the outer circumferential wall of the piston, and preferably in the circumferential direction. In addition, such a measure can effectively support the tilting force exerted on the piston from the outside by the radial bearing.

축 방향으로 서로 간격을 두고 있는 적어도 두 개의 레이디얼 베어링이 제공될 경우, 바람직하게는 각각의 상기 레이디어 베어링은 유체 압력 공급부 및 원주 방향으로 베어링 표면에 분포되어 배열된 복수의 액체 배출구를 포함한다. If at least two radial bearings spaced apart from each other in the axial direction are provided, preferably each said radial bearing comprises a fluid pressure supply and a plurality of liquid outlets arranged in a circumferential direction on the bearing surface .

특히 바람직하게는, 유체 베어링으로서 형성된 각각의 레이디얼 베어링은 가스 압력 베어링, 특히 공기 베어링(air bearing)일 경우이다. 상기 액체 배출구가 고 에너지 광선, 예를 들어 레이저 광선에 의해 생성된 마이크로 홀에 의해 형성될 경우 매우 정확한 설치가 가능하다. 이러한 마이크로 홀의 지름은 바람직하게는 20㎛ 내지 60㎛ 범위, 특히 바람직하게는 25㎛ 내지 40㎛ 범위이다. 이로 인해 상기 피스톤 외주와 실린더 내주 사이에 아주 작은 틈(gap)이 있더라도 상기 실린더에 피스톤을 매우 정확하게 설치할 수 있다. 이러한 틈의 방사상 방향 치수는 바람직하게는 5㎛ 내지 10㎛ 범위이다. Particularly preferably, each radial bearing formed as a fluid bearing is a gas pressure bearing, in particular an air bearing. Very precise installation is possible if the liquid outlet is formed by a high energy beam, for example a microhole generated by a laser beam. The diameter of such a microhole is preferably in the range of 20 탆 to 60 탆, particularly preferably in the range of 25 탆 to 40 탆. Therefore, even if there is a very small gap between the outer periphery of the piston and the inner periphery of the cylinder, the piston can be installed very accurately on the cylinder. The radial direction dimension of such a gap is preferably in the range of 5 mu m to 10 mu m.

본 발명의 특히 바람직한 실시형태에서, 상기 압력 챔버는 두 레이디얼 베어링 사이에서 축 방향으로 제공된다. 이로 인해, 상기 레이디얼 베어링의 액체 배출구로부터 베어링 틈으로 유입된 액체를 압력 챔버의 압력 형성을 위해 사용하는 것이 가능하므로, 추가 액체 채널, 예를 들어 분리된 압력 챔버 채널 제공이 불필요하다. In a particularly preferred embodiment of the invention, the pressure chamber is provided axially between the two radial bearings. Thereby, it is possible to use the liquid introduced into the bearing gap from the liquid discharge port of the radial bearing for the pressure formation of the pressure chamber, so that the provision of an additional liquid channel, for example an isolated pressure chamber channel, is unnecessary.

본 발명은 도면의 예를 통해 아래와 같이 상세하게 설명된다:
도 1은 본 발명에 따른 두 개의 마운팅 헤드로 구성된 유닛의 사시도를 도시하고 있고;
도 2는 본 발명의 마운팅 헤드에 따른 제1 실시형태의 부분적으로 절단된 단면을 도시하고 있고;
도 3은 본 발명의 마운팅 헤드에 따른 제2 실시형태의 부분적으로 절단된 단면을 도시하고 있고;
도 4는 본 발명의 마운팅 헤드에 따른 제3 실시형태의 부분적으로 절단된 단면을 도시하고 있다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The invention is described in detail in the following by way of example in the drawings:
1 shows a perspective view of a unit consisting of two mounting heads according to the invention;
Figure 2 shows a partially cut-away section of a first embodiment according to the mounting head of the invention;
Figure 3 shows a partially cut-away section of a second embodiment according to the mounting head of the present invention;
Figure 4 shows a partially cut-away section of a third embodiment according to the mounting head of the invention.

도 1은 본 발명에 따른 두 개의 마운팅 헤드(1, 1')로 구성된 유닛의 사시도를 도시하고 있다. 상기 두 개의 마운팅 헤드(1, 1')는 공통 외부 하우징(A)에 삽입되어 있다. 상기 외부 하우징(A)의 상부 및 상기 하우징과 간격을 두고 회전 구동 블록(B)이 마운팅 헤드(1, 1')의 개별 회전 구동을 위해 제공되어 있다. Fig. 1 shows a perspective view of a unit consisting of two mounting heads 1, 1 'according to the invention. The two mounting heads (1, 1 ') are inserted into a common outer housing (A). A rotary drive block B is provided for the separate rotation drive of the mounting heads 1, 1 ', above the outer housing A and spaced from the housing.

각각의 마운팅 헤드(1, 1')의 기본 구성은 DE 10 2005 008 584 A1에 도시 및 기재되어 있고, 상기 문서의 공개 내용은 본 출원의 것과 관련하여 완벽하게 대응한다. The basic construction of each mounting head 1, 1 'is shown and described in DE 10 2005 008 584 A1, the disclosure contents of which fully correspond with the present application.

상기 외부 하우징(A) 및 회전 구동 블록(B)은 수평 구동 장치(도시되어 있지 않음)와 연결되어 있으며, 상기 수평 구동 장치는 상기 두 개의 마운팅 헤드(1, 1')가 상기 외부 하우징(A)과 상기 회전 구동 블록(B)과 함께 수평인 x-y 평면에서 이동하고 상기 평면 내에 정확하게 위치하도록 형성되어 있다. 상기 두 개의 마운팅 헤드(1, 1')의 각각의 헤드에 수직 구동 장치(도시되어 있지 않음)가 배열되어 있으며, 상기 수직 구동 장치는 배열된 각각의 마운팅 헤드(1, 1') 및 대응하는 부품을 수직 방향(Z)에서 상하로 움직일 수 있다. 전술한 것에 대응하여 도 1에서 하나의 마운팅 헤드(1)는 아랫부분, 그리고 다른 마운팅 헤드(1')는 윗부분에 도시하고 있다.The outer housing A and the rotary driving block B are connected to a horizontal driving device which is connected to the outer housing A ) And the rotary drive block (B) in a horizontal xy plane and are formed to be precisely positioned in the plane. A vertical drive device (not shown) is arranged in each head of the two mounting heads 1, 1 ', and the vertical drive device comprises a respective mounting head 1, 1' The part can be moved up and down in the vertical direction (Z). Corresponding to the above, one mounting head 1 in FIG. 1 is shown at the bottom, and the other mounting head 1 'is shown at the top.

상기 두 개의 마운팅 헤드(1, 1')는 구성적으로 동일하기 때문에 아래에서는 마운팅 헤드(1)만 설명하며, 상기 마운팅 헤드의 설명은 동일하게 다른 마운팅 헤드(1')에도 해당된다.Since the two mounting heads 1 and 1 'are structurally the same, only the mounting head 1 is described below, and the description of the mounting head also applies to the other mounting head 1'.

상기 마운팅 헤드(1)는 원통형 하우징(2)을 구비하며, 상기 하우징은 상기 외부 하우징(A)의 대응하는 보어에 삽입되어 있고, 상기 외부 하우징과 단단하게 연결되어 있다. 상기 하우징(2)에는 리테이너(4)를 지지하기 위해 원통형 하우징(2)에 대해 동축 방향 중앙 보어(3)가 제공되어 있다.The mounting head 1 has a cylindrical housing 2, which is inserted in the corresponding bore of the outer housing A and is rigidly connected to the outer housing. The housing 2 is provided with a coaxial central bore 3 with respect to the cylindrical housing 2 for supporting the retainer 4.

상기 리테이너(4)의 하단부에는 실린더(5)를 형성하고 있는 실린더 보어(50)가 제공되어 있으며, 하단 도 2 내지 4와 관련하여 도시되어 있는 것처럼 상기 실린더 보어에 피스톤(60)을 포함한 핸들링 요소(6)가 삽입되어 있다. 상기 핸들링 요소(6)의 하단에는 흡입 노즐(7)이 제공되어 있으며, 상기 흡입 노즐은 삽입 및 고정될 전기 또는 전자 부품(8)에 부착될 수 있고, 상기 부품에 흡입 작용이 발생할 수 있으며, 상기 흡입 작용을 통해 부품(8)이 상기 핸들링 요소(6)에 단단하게 고정될 수 있다.The lower end of the retainer 4 is provided with a cylinder bore 50 forming a cylinder 5 and a handling element including a piston 60 in the cylinder bore, (6) is inserted. A suction nozzle 7 is provided at the lower end of the handling element 6 and the suction nozzle can be attached to the electric or electronic part 8 to be inserted and fixed and suction action can take place on the part, Through the inhalation action, the part 8 can be securely fixed to the handling element 6.

상기 하우징(2)에 있는 보어(3)는 x-y-평면에 대해 수직으로 z-방향으로 뻗어 있고, 상기 보어(3)에서 축 방향으로 이동할 수 있도록 z-방향으로 상기 리테이너(4)를 가이드 한다. 또한, 상기 리테이너(4)는 상기 보어(3)에서 회전할 수 있도록 설치되어 있고, 이를 위해 DE 10 2005 008 584 A1에 공지되어 있는 것처럼 회전 구동 블록(B)에 있는 회전 구동 장치(도시되어 있지 않음)에 의해 회전될 수 있다. 상기 리테이너(4)는 상기 보어(3)에서 자체로 공지된 방식에 따라 기체 정역학적 베어링(aerostatic bearing)에 의해 설치되어 있으므로, 상기 리테이너는 마찰 없이 회전 운동 및 축 방향 운동을 할 수 있다.The bore 3 in the housing 2 extends in the z-direction perpendicular to the xy-plane and guides the retainer 4 in the z-direction so that it can move axially in the bore 3 . The retainer 4 is provided so as to be rotatable in the bore 3. For this purpose, as described in DE 10 2005 008 584 A1, a rotation drive device (not shown in the drawing) Not shown). Since the retainer 4 is installed by an aerostatic bearing in a manner known per se in the bore 3, the retainer can perform rotational and axial movement without friction.

도 2는 제1 실시형태에 따라 하우징(2)으로부터 아래쪽으로 나와 있는 리테이너(4)의 하단 영역을 부분 단면도로 도시하고 있다.Fig. 2 shows, in partial cross-sectional view, the lower end region of the retainer 4, which protrudes downward from the housing 2 according to the first embodiment.

상기 리테이너(4)에는 저압 채널 시스템(40)과 과압 채널 시스템(44)이 제공되어 있으며, 상기 시스템은 각각 압력 싱크(pressure sink) 또는 압력 발생원과 연결되어 있다. 상기 저압 채널 시스템(40)은 상기 실린더 보어(50)에 형성된 저압 링 너트(42)를 구비하며, 상기 저압 링 너트에 저압 채널(41)이 연결되어 있고, 상기 저압 채널은 압력 싱크, 예를 들어 진공 펌프와 연결되어 있다.The retainer (4) is provided with a low pressure channel system (40) and an overpressure channel system (44), each of which is connected to a pressure sink or pressure source. The low pressure channel system 40 includes a low pressure ring nut 42 formed in the cylinder bore 50 and a low pressure channel 41 connected to the low pressure ring nut, It is connected to a vacuum pump.

상기 과압 채널 시스템(44)은 상기 실린더 보어(50)에 있는 상기 저압 링 너트(42)의 상부에 형성된 과압 링 너트(46) 및 상기 과압 링 너트와 연결된 과압 채널(45)을 구비하며, 상기 과압 채널은 압력 발생원과 유체 연결되어 있다.The overpressure channel system 44 includes an overpressure ring nut 46 formed on the upper portion of the low pressure ring nut 42 in the cylinder bore 50 and an overpressure channel 45 connected to the overpressure ring nut, The overpressure channel is in fluid connection with the pressure source.

상기 핸들링 요소(6)의 피스톤(60)은 상기 리테이너(4)에 있는 실린더(5)의 실린더 보어(50)에서 축 방향으로 이동할 수 있도록 설치되어 있다. 상기 핸들링 요소(6)의 피스톤(60)이 상기 실린더(5)로부터 아래쪽으로 빠져나오는 것을 억제하기 위해 상기 실린더 보어(50)는 상기 실린더 보어의 연결 영역에 링 너트가 제공되어 있으며, 상기 링 너트에 스프레더 링(spreader ring)(52))이 삽입되어 있고, 상기 스프레더 링은 상기 피스톤(60)을 위한 정지부를 형성하고 있고, 상기 정지부가 실린더 보어(50)로부터 빠져나오는 것을 억제한다.The piston 60 of the handling element 6 is provided so as to be axially movable in the cylinder bore 50 of the cylinder 5 in the retainer 4. The cylinder bore (50) is provided with a ring nut on the connecting area of the cylinder bore (5) so as to prevent the piston (60) of the handling element (6) from escaping downward from the cylinder And the spreader ring forms a stopper for the piston 60 to prevent the stopper portion from coming out of the cylinder bore 50. [

상기 핸들링 요소(6)에는 피스톤(60)의 아래쪽으로 연결된 흡입관 섹션(62)이 제공되어 있으며, 상기 흡입관 섹션의 지름은 피스톤(60)의 지름보다 작기 때문에 링 형태의 숄더 면(61)이 피스톤의 아래쪽 단부에 형성되어 있으며, 상기 숄더 면은 핸들링 요소(6)가 아래쪽에 위치할 경우 상기 스프레더 링(52)에 대하여 설치된다.The handling element 6 is provided with a suction pipe section 62 connected to the lower side of the piston 60. Since the diameter of the suction pipe section is smaller than the diameter of the piston 60, And the shoulder surface is provided with respect to the spreader ring 52 when the handling element 6 is located at the bottom.

상기 피스톤(60)은 상부가 파이프 형태로 되어 있고, 피스톤 길이의 약 80% 내지 90%가 실린더(5)에 삽입된 피스톤의 섹션(60')에 형성되어 있고, 실린더(5)의 안쪽에 연결된 개구(63)를 구비하고 있다. 상기 피스톤(60)이 흡입관 섹션(62)으로 바뀌는 하단 영역에는 고체로 구성된 핸들링 요소(6)가 형성되어 있고, 중심 축 보어(64)만 제공되어 있으며, 상기 중심 축 보어는 흡입관 섹션(62)의 하단 자유 단부에서 바깥쪽으로 이어져 있고, 상단 단부에서는 상기 피스톤(60)의 파이프 형태의 영역으로까지 뻗어 있다.The upper portion of the piston 60 is in the form of a pipe and about 80% to 90% of the piston length is formed in a section 60 'of the piston inserted into the cylinder 5, And has an opening 63 connected thereto. A solid handling element 6 is formed in the lower end region of the piston 60 to be replaced with a suction tube section 62 and only a central axial bore 64 is provided, And extends at the upper end to a pipe-shaped region of the piston (60).

상기 피스톤(60)의 파이프 형태의 섹션(60') 내부에는 원형 형태의 스토퍼(70)가 삽입되어 있으며, 상기 스토퍼는 스토퍼의 외주에서 피스톤(60)의 내주에 대해 밀봉되어 있다. 이러한 원형 형태의 스토퍼(70)는 아래쪽 방향으로 향해 있는 파이프 형태의 부착 부분(72)을 구비하고 있으며, 상기 부착 부분은 상기 핸들링 요소(6)의 축 방향 보어(64)와 함께 동축으로 배열되어 있고, 피스톤(60)의 파이프 형태의 섹션 내부에 대해 밀봉되어 사이 핸들링 요소(6)의 축 방향 보어(64)와 유체 연결되어 있다. 원형 형태의 스토퍼(70)에는 횡 방향 보어(74)가 제공되어 있으며, 축 방향 보어(74)와 유체 연결되어 있는 파이프 형태의 부착 부분(72)에 형성된 채널(73)은 상기 횡 방향 보어와 연결되어 있다. 상기 스토퍼(70)에 있는 횡 방향 보어(74)는 피스톤의 파이프 형태의 섹션에 있는 피스톤(60)의 벽(66)에 형성된 저압 보어(65, 65')를 통해 저압 링 너트(42)와 유체 연결되어 있기 때문에, 저압 채널 시스템(40)에서 작용하는 저압은 상기 흡입관 섹션(62)의 축 방향 보어(64)에까지 영향을 준다.A circular stopper 70 is inserted into the pipe-shaped section 60 'of the piston 60, and the stopper is sealed from the outer periphery of the stopper to the inner periphery of the piston 60. This circular-shaped stopper 70 has a downwardly directed pipe-shaped attachment portion 72 which is arranged coaxially with the axial bore 64 of the handling element 6 And is sealed against the interior of the pipe-shaped section of the piston 60 to fluidly connect with the axial bore 64 of the interposing element 6. [ A circular shaped stopper 70 is provided with a transverse bore 74 and a channel 73 formed in the attachment portion 72 in the form of a pipe in fluid communication with the axial bore 74, It is connected. The transverse bore 74 in the stopper 70 is connected to the low pressure ring nut 42 through low pressure bores 65 and 65 'formed in the wall 66 of the piston 60 in the pipe- Because of the fluid connection, the low pressure acting on the low pressure channel system 40 affects the axial bore 64 of the suction tube section 62.

상기 핸들링 요소(6)의 하단 자유 단부에는 흡입 노즐(7)이 상기 흡입관 섹션(62) 위에 배열되어 있고, 상기 흡입 노즐의 흡입 개구(7')는 상기 축 방향 보어(64)와 유체 연결되어 있기 때문에, 상기 저압 채널 시스템(40)에서 존재하는 저압이 흡입 개구(7')에서 흡입 작용을 유발한다.At the lower free end of the handling element 6 a suction nozzle 7 is arranged above the suction tube section 62 and the suction opening 7 'of the suction nozzle is in fluid communication with the axial bore 64 The low pressure present in the low pressure channel system 40 causes a suction action at the suction opening 7 '.

이러한 흡입 작용을 통해, 부품(8)이 상기 흡입 노즐(7)의 하단 전면부(7'')로 흡입될 수 있다.Through this suction action, the part 8 can be sucked into the lower front part 7 " of the suction nozzle 7.

상기 피스톤(60)의 벽(66)은 상기 피스톤의 파이프 형태의 섹션(60')에 있는 과압 링 너트(46) 영역에 두 개 또는 그 이상의 가압 방사상 방향 보어(67, 67')를 구비하며, 상기 과압 방사상 방향 보어는 과압 링 너트(46)와 상기 피스톤의 파이프 형태의 섹션(60')에 있는 피스톤(60)의 내부 사이에서 유체 연결되어 있다. 따라서, 과압 채널(45)을 통해 상기 과압 링 너트(46)로 유입된 압력 액체가 상기 과압 방사상 방향 보어(67, 67')를 통해 상기 피스톤(60)의 파이프 형태의 섹션(60')의 내부로 유동 되기 때문에 과압이 발생한다.The wall 66 of the piston 60 has two or more pressure radial direction bores 67, 67 'in the region of the overpressure ring nut 46 in the pipe-shaped section 60' of the piston , The overdrive radial bore is fluidly connected between the overpressure ring nut 46 and the interior of the piston 60 in the tubular section 60 'of the piston. Thus, the pressure liquid introduced into the over-pressure ring nut 46 through the over-pressure channel 45 passes through the over-pressure radial bore 67, 67 'of the pipe-shaped section 60' of the piston 60 Overflow occurs due to the flow into the inside.

상기 피스톤(60)의 상부 영역에서 뿐 아니라, 상기 피스톤(60)의 하부 영역에서도 원주 위에 균일하게 분포된 일련의 마이크로 홀(68, 69)이 제공되어 있으며, 상기 마이크로 홀은 각각 상기 피스톤(60)의 벽(66)을 관통하고, 상기 마이크로 홀을 통해 상기 피스톤(60)의 파이프 형태의 섹션 내부로 유입된 압력 액체가 피스톤(60)의 외주와 실린더 보어(50) 사이에 형성된 베어링 유간(bearing gap)으로 유입될 수 있으며, 이로 인해 방사상 방향으로 작용하는 상하 유체 압력 베어링(68', 69')은 실린더(5)에 피스톤(60)을 설치하기 위해 형성되어 있다. 도시된 실 예에서, 압력 액체는 바람직하게는 압축 공기이므로 이러한 유체 베어링은 공기 베어링이다. 상기 피스톤(60)을 위한 하단 레이디얼 베어링(radial bearing)을 형성하고 있는 마이크로 홀(69)에 상기 피스톤(60) 내부의 스토퍼(70) 상부에 포함된 압력 액체를 제공하기 위해 상기 스토퍼(70)에는 z-방향으로 뻗어 있는 축 방향에 대해 평행한 관통 보어(76)가 제공되어 있다.A series of microholes 68 and 69 uniformly distributed on the circumference are provided not only in the upper region of the piston 60 but also in the lower region of the piston 60, Pressure fluid introduced into the pipe-shaped section of the piston (60) through the microhole passes through the wall (66) of the piston (60) and the upper and lower fluid pressure bearings 68 'and 69' acting in the radial direction are formed to install the piston 60 in the cylinder 5. In the illustrated example, this fluid bearing is an air bearing, since the pressure liquid is preferably compressed air. (70) to provide pressure liquid contained in the upper portion of the stopper (70) inside the piston (60) to a microhole (69) forming a lower radial bearing for the piston Is provided with a through bore 76 which is parallel to the axial direction extending in the z-direction.

상기 피스톤(60)의 파이프 형태의 섹션(60')의 상단부에 있는 내부 개구(63)는 상기 피스톤(60)에 삽입된 밀폐 마개(90)를 통해 폐쇄되어 있다. 상기 실린더(5)의 내부에는 상기 피스톤(60) 상부에 압력 챔버(9)가 형성되어 있다. 상기 밀폐 마개(90)는 상기 밀폐 마개의 전면 벽에 하나 이상의 관통 보어(92)를 구비하며, 상기 관통 보어는 상기 압력 챔버(9)를 피스톤(6)의 파이프 형태의 섹션(60')과 연결한다. 이로 인해, 과압 채널(45) 및 과압 링 너트(46)를 통해 상기 피스톤(60)으로 유입된 압력 액체 또한 상기 압력 챔버(9)로 유동하며, 상기 관통 보어(92)는 스로틀(throttle)을 형성하고, 상기 스로틀을 통해 상기 압력 챔버(9)의 압력이 파이프 형태의 섹션(60')의 내부 압력에 대해 서로 다르게 조절될 수 있다.An internal opening 63 at the upper end of the pipe-shaped section 60 'of the piston 60 is closed through a sealing cap 90 inserted in the piston 60. A pressure chamber (9) is formed in the cylinder (5) on the piston (60). The sealing cap 90 has at least one through bore 92 in the front wall of the sealing cap which defines the pressure chamber 9 in the form of a pipe-shaped section 60 'of the piston 6 Connect. The pressure liquid flowing into the piston 60 through the overpressure channel 45 and the overpressure ring nut 46 also flows into the pressure chamber 9 and the through bore 92 is throttled And the pressure of the pressure chamber 9 through the throttle can be adjusted differently with respect to the internal pressure of the pipe-shaped section 60 '.

상기 피스톤(60)이 상기 피스톤의 숄더(61)와 함께 확장 링(52)에 인접해 있을 경우 상기 밀폐 마개(90)와 축 방향으로 간격을 두고 있는 스톱 인서트(54)가 제공되어 있으며, 상기 스톱 인서트는 파이프 단면의 형태로 실린더 보어(50)에 삽입되어 고정된다. 상기 스톱 인서트(54)의 아래 링 표면(55)은 상기 밀폐 마개(90)가 제공된 피스톤(60)을 위한 위쪽 정지부를 형성하고 있으므로, 상기 피스톤(60)은 링 표면(55)을 통해 형성된 위쪽 정지부와 확장 링(52)을 통해 형성된 아래쪽 정지부 사이에서 축 방향(z-방향)으로 상하 운동할 수 있다. 위쪽 전면부(91)에 영향을 주고 아래쪽 방향의 유체 압력(F)이 상기 피스톤(60)에 작용하는 압력 챔버(9)에 존재하는 상기 유체 압력은, 상기 피스톤이 상기 확장 링(52)에 의해 형성된 아래쪽 정지부에 대해 항상 선응력이 형성되도록 제공되어 있다.A stop insert (54) is provided axially spaced apart from the sealing plug (90) when the piston (60) is adjacent the extension ring (52) with the shoulder (61) of the piston The stop insert is inserted and fixed in the cylinder bore 50 in the form of a pipe cross section. The lower ring surface 55 of the stop insert 54 forms an upper stop for the piston 60 provided with the sealing plug 90 so that the piston 60 is in contact with the upper Can move up and down in the axial direction (z-direction) between the stop portion and the lower stop portion formed through the extension ring 52. The fluid pressure exerted on the upper front portion 91 and present in the pressure chamber 9 in which the fluid pressure F in the downward direction acts on the piston 60 is such that the piston moves to the extension ring 52 So that a linear stress is always generated with respect to the lower stopper portion formed by the lower stopper portion.

이로써, 흡입 개구(7')가 제공되어 있는 흡입 노즐(7)의 아래쪽 전면부(7'')는 리테이너(4)가 하강할 때 삽입될 전자 부품과 접촉하게 된다면, 상기 핸들링 요소(6)는 상기 흡입 노즐(7)과 함께 유체 압력(F)의 반대 방향 즉, 실린더(5)의 위쪽으로 비켜가며, 이로 인해 상기 흡입 노즐이 상기 리테이너와 단단하게 연결되어 있을 경우 리테이너(4)가 하강할 때 삽입될 전자 부품(8)에 흡입 노즐(7)이 부딪침으로써 발생할 수 있는 충돌의 우려가 억제된다.Thereby, the lower front surface portion 7 '' of the suction nozzle 7 provided with the suction opening 7 'is brought into contact with the electronic component to be inserted when the retainer 4 descends, Together with the suction nozzle 7, moves away from the cylinder 5 in the direction opposite to the fluid pressure F. This causes the retainer 4 to descend when the suction nozzle is tightly connected to the retainer The possibility of collision which may be caused by collision of the suction nozzle 7 with the electronic component 8 to be inserted is suppressed.

상기 실린더(5)에서 피스톤(6)의 방사상 방향 유체 압력 저장을 위해서도 필요한 압력 액체를 갖는 압력 챔버(9)의 유체 압력 공급은 여기서처럼 과압 채널(45)을 통한 유일한 유체 압력 공급이 제공되는 것이 가능하며, 이로 인해 마운팅 헤드의 구성이 선생 기술에 비해 현저하게 단순화된다.The fluid pressure supply of the pressure chamber 9 with the required pressure liquid for the radial fluid pressure storage of the piston 6 in the cylinder 5 is such that a unique fluid pressure supply through the overpressure channel 45 is provided Which greatly simplifies the configuration of the mounting head compared to the prior art.

도 2에 도시된 마운팅 헤드의 다른 실시형태가 도 3에 도시되어 있다. 도 2의 변형된 형태에 비해 상기에서는 밀폐 마개(190)만 달리 형성되어 있으며, 상기 밀폐 마개는 상기 피스톤(60)의 파이프 형태의 섹션(60')의 위쪽 내부 개구(63)에 삽입되어 있다. 따라서, 다음에서는 상기 밀폐 마개(190)의 변형된 형태와 상기 밀폐 마개의 기능적 영향만 기재된다. 상기 마운팅 헤드의 나머지 부품은 도 2의 실시예에 따른 부품에 대응하므로, 상기 부품의 도면 부호는 도 2의 실시예와 동일하다.Another embodiment of the mounting head shown in Fig. 2 is shown in Fig. In contrast to the variant of FIG. 2, only a sealing plug 190 is formed in this case and the sealing plug is inserted into the upper internal opening 63 of the pipe-shaped section 60 'of the piston 60 . Therefore, in the following, only the deformed shape of the sealing plug 190 and the functional effect of the sealing plug will be described. Since the remaining parts of the mounting head correspond to the parts according to the embodiment of Fig. 2, the reference numerals of the parts are the same as the embodiment of Fig.

상기 밀폐 마개의 하단 영역에서 상기 밀폐 마개(190)는 도 2의 실시예에 따른 밀폐 마개(90)에 본질적으로 대응하지만, 상단 전면부에는 중앙 피스톤 부착 부분(194)이 제공되어 있으며, 상기 부착 부분은 실린더 보어(56)로서 형성된 파이프 형태의 스톱 인서트(54)의 중앙 보어에 피스톤처럼 맞물려 있고, 상기 실린더 보어에서 축 방향으로 이동 가능하게 삽입되어 있다. 상기 피스톤 부착 부분(194) 상단에 있는 스톱 인서트(54) 내부의 실린더 챔버(57)는 (도시되어 있지 않은) 유체 연결을 통해 주변 환경과 연결되므로, 상기 실린더 챔버(57)에서 주변 압력(ambient pressure)이 형성되어 있고, 상기 피스톤 부착 부분(194)의 위쪽 전면부(195)에 영향을 준다. 유체 압력(F') 달성에 영향을 주기 위해 조절된 역압이 상기 실린더 챔버(57)에서 선택적으로 형성될 수 있다.The sealing cap 190 in the lower end region of the sealing cap essentially corresponds to the sealing cap 90 according to the embodiment of FIG. 2, but with a central piston mounting portion 194 provided on the upper front face, Shaped stop insert 54 formed as a cylinder bore 56 and is inserted into the cylinder bore so as to be movable in the axial direction. The cylinder chamber 57 inside the stop insert 54 at the top of the piston attachment portion 194 is connected to the surrounding environment through a fluid connection (not shown), so that the ambient pressure in the cylinder chamber 57 and affects the upper front surface portion 195 of the piston mounting portion 194. As shown in FIG. An adjusted back pressure may be selectively formed in the cylinder chamber 57 to affect the achievement of the fluid pressure F '.

상기 피스톤 부착 부분(194)의 외부 지름은 실린더 보어(50)에 수용된 밀폐 마개(190)의 최대 외부 지름(d2)보다 작기 때문에, 상기 피스톤 부착 부분(194) 주변에 파이프 형태의 전면부(191)가 형성되어 있으며, 상기 전면부는 압력 챔버(109)를 아래쪽 핸들링 요소(6) 방향으로 제한한다. 이러한 방식으로 상기 압력 챔버(109)는 피스톤 부착 부분(194)의 외주와 실린더 보어(50) 사이에서 파이프 형태의 챔버로서 형성되어 있다. 상기 밀폐 마개(190)의 관통 보어(192)는 -예를 들어, 도 2에 도시된 관통 보어(92)처럼- 전면 벽을 관통하고 있으며, 상기 전면 벽은 피스톤(60)의 파이프 형태의 섹션(60')의 내부를 위쪽으로 폐쇄한다. 상기 관통 보어(192)는 상기 피스톤 부착 부분(194)을 방사상 방향으로 관통하고 있는 횡 방향 보어(196)에 이어져 있으며, 상기 횡 방향 보어는 파이프 형태의 압력 챔버(109)에 이어져 있다. 이러한 방식으로 링 형태의 압력 챔버(109)가 횡 방향 보어(196) 및 관통 보어(192)를 통해 상기 피스톤(60)의 파이프 형태의 섹션(60')의 내부와 유체 연결된다. 도 2의 실시예와 동일한 방식으로 상기 링 형태의 압력 챔버(109)에서 상기 과압 채널(45)을 통해 유입된 액체를 통해 생성된 압력이 만들어 질 수 있다. 상기 압력 챔버(109)에서 이러한 유체 압력은 도 2의 실시예와는 반대로 밀폐 마개 및 피스톤(60)의 전체 횡 단면에 영향을 주는 것이 아니라, 단지 링 형태의 전면(191)에만 영향을 주며, 일반적으로 상기 링 형태의 전면은 도 2의 실시예의 전체 상부 전면(91)보다 작다.Since the outer diameter of the piston attachment portion 194 is smaller than the maximum outer diameter d2 of the seal cap 190 housed in the cylinder bore 50, a pipe-shaped front portion 191 And the front portion restricts the pressure chamber 109 in the direction of the lower handling element 6. In this way, the pressure chamber 109 is formed as a pipe-shaped chamber between the outer periphery of the piston attachment portion 194 and the cylinder bore 50. The through bore 192 of the sealing cap 190 penetrates the front wall-for example, like the through bore 92 shown in FIG. 2, and the front wall is in the form of a pipe- And closes the inside of the opening 60 'upward. The through bore 192 leads to a transverse bore 196 radially penetrating the piston attachment portion 194 and the transverse bore is connected to a pressure chamber 109 in the form of a pipe. In this manner, a ring-shaped pressure chamber 109 is fluidly connected to the interior of the tubular section 60 'of the piston 60 through the transverse bore 196 and through bore 192. Pressure generated through the liquid introduced through the overpressure channel 45 in the ring-shaped pressure chamber 109 can be produced in the same manner as in the embodiment of FIG. This fluid pressure in the pressure chamber 109 does not affect the entire cross-section of the sealing plug and piston 60, as opposed to the embodiment of FIG. 2, but only the ring-shaped front surface 191, In general, the ring-shaped surface is smaller than the entire upper surface 91 of the embodiment of FIG.

도 3의 실시예에서 생성된 유체 압력(F')은 결국 도 2의 실시예에서 생성된 유체 압력(F')보다 작다. 이로써, 도 3의 실시예에서 상기 흡입 노즐(7)을 구비한 핸들링 요소(6)가 동일한 유체 압력에서 도 2의 실시예에서 가능한 것 보다 더욱 용이하고 적은 힘을 들여 상기 실린더(5)에 삽입될 수 있다.The fluid pressure F 'produced in the embodiment of FIG. 3 is eventually smaller than the fluid pressure F' generated in the embodiment of FIG. In this way, in the embodiment of Fig. 3, the handling element 6 with the suction nozzle 7 is inserted into the cylinder 5 with the same fluid pressure, with less effort and less effort than is possible in the embodiment of Fig. .

마찬가지로 유체 압력이 피스톤의 링 표면에만 영향을 주는 본 발명에 따른 마운팅 헤드의 세 번째 실시형태는 도 4에 도시되어 있으며, 도면 부호는 도 2에 대해 200 단위로 격상되어 있다.Similarly, a third embodiment of a mounting head according to the invention in which fluid pressure exerts an influence only on the ring surface of the piston is shown in Fig. 4, the reference numerals being upgraded to 200 units with respect to Fig.

도 4에 도시된 본 발명의 세 번째 실시형태는 상기 리테이너(204)에 제공된 실린더(205) 및 피스톤(206)의 실린더 보어(250)가 계단 형태로 형성됨으로써 처음 두 실시형태와 근본적으로 구분된다. 상기 실린더 보어(250)의 하단부는 지름과 구성에서 처음 두 실시형태의 실린더(50)의 하단 실린더 섹션에 대응한다. 또한, 피스톤(260)의 하단은 구성 및 지름에 있어서 처음 두 실시형태의 피스톤(60)의 하단부에 대응한다. 따라서, 다음에서는 도 2 및 3에 따른 처음 두 실시형태와 비교하여 도 4에 도시된 세 번째 실시형태의 구성의 차이만 기재된다.The third embodiment of the present invention shown in Fig. 4 is fundamentally different from the first two embodiments in that the cylinder 205 provided in the retainer 204 and the cylinder bore 250 of the piston 206 are formed in a stepped shape . The lower end of the cylinder bore 250 corresponds in diameter and configuration to the lower cylinder section of the cylinder 50 of the first two embodiments. The lower end of the piston 260 corresponds to the lower end of the piston 60 of the first two embodiments in configuration and diameter. Therefore, in the following, only the difference of the configuration of the third embodiment shown in Fig. 4 is described in comparison with the first two embodiments of Figs.

상기 실린더 보어(250)는 상단부(251)를 구비하며, 상기 상단부의 지름은 실린더 보어(250)의 하단부의 지름보다 작다. 또한, 이에 대응하여 파이프 형태의 섹션(260')에 있는 피스톤(260)은 피스톤(260)의 하단부(260''')보다 작은 지름을 갖는 상단부(260'')를 구비하며, 상기 상단부는 실린더 보어(250)의 상단부(251)에 있는 내부 지름에 맞게 형성되어 있다. 상기 실린더 보어(250) 지름에서 감소된 부분(251)의 내부에는 두 개의 다른 실시예에서와 마찬가지로 스톱 인서트(254)가 피스톤의 상부에 제공되어 있다.The cylinder bore 250 has an upper end portion 251 and a diameter of the upper end portion is smaller than a diameter of a lower end portion of the cylinder bore 250. Correspondingly, the piston 260 in the pipe-shaped section 260 'has a top portion 260' 'with a smaller diameter than the bottom portion 260' '' of the piston 260, And is formed to fit the inner diameter of the upper end 251 of the cylinder bore 250. Inside the reduced portion 251 in the diameter of the cylinder bore 250, a stop insert 254 is provided at the top of the piston, as in two other embodiments.

마이크로 홀(268)을 구비한 상단 레이디얼 베어링(268')은 상기 피스톤(260)의 상단부(260'')에 제공되어 있다. 마이크로 홀(269)을 구비한 하단 레이디얼 베어링(269')은 처음 두 실시형태에서와 마찬가지로 스토퍼(270) 아래쪽 피스톤(260)의 파이프 형태의 섹션(260') 하단부에 형성되어 있다. 상기 스토퍼(270) 및 전체 진공 시스템은 처음 두 실시예와 같이 형성되어 있다.An upper radial bearing 268 'with a microhole 268 is provided in the upper end 260' 'of the piston 260. The lower radial bearing 269 'with the microhole 269 is formed at the lower end of the pipe-shaped section 260' of the piston 260 below the stopper 270 as in the first two embodiments. The stopper 270 and the entire vacuum system are formed as in the first two embodiments.

처음 두 실시예와 반대로, 피스톤(260)의 파이프 형태의 섹션(260')을 위쪽으로 잠그는 밀폐 마개(290)가 폐쇄되어 형성되고, 다른 두 실시예에 제공된 관통 보어를 구비하지 않는다. 상기 밀폐 마개(290) 상부의 챔버 및 스톱 인서트(254)에 있는 실린더 챔버(257)는 도 3에 따른 두 번째 실시예와 같이 주변부와 유체 연결되므로, 상기에는 주변 압력이 팽배해 있다.Contrary to the first two embodiments, a sealing plug 290, which locks up the pipe-shaped section 260 'of the piston 260, is formed closed and does not have the through bores provided in the other two embodiments. The chamber above the hermetic seal 290 and the cylinder chamber 257 in the stop insert 254 are fluidly connected to the periphery as in the second embodiment according to FIG. 3, so that ambient pressure is prevailing.

상기 실린더 보어(250)는 보다 큰 지름을 갖는 하단부와 감소된 지름을 갖는 상단부(251) 사이에서 링 형태의 내주 너트(248)를 구비하며, 상기 내주 너트의 축 방향 확장부는 동일하거나, 또는 확장 링(252)과 스톱 인서트(254)의 하단 링(255)에 의해 형성된 두 개의 정지부 사이에 있는 피스톤(260)의 자유 허브보다 크다. The cylinder bore 250 has a ring-shaped inner circumferential nut 248 between a lower end portion having a larger diameter and an upper end portion 251 having a reduced diameter, and the axial extending portion of the inner circumferential nut has the same, Is larger than the free hub of the piston (260) between the two stops formed by the ring (252) and the lower ring (255) of the stop insert (254).

상기 피스톤(260)은 종 축(Z)에 대해 횡 방향, 바람직하게는 직각으로 뻗어 있는 링 형태의 전면부(261')의 형성으로 큰 지름을 갖는 하단부로부터 작은 지름을 갖는 상단부(260'')로 이동한다. 상기 링 형태의 전면부(261')를 갖는 이러한 전이 영역은 상기 실린더(250)의 내주 너트(248)의 내부에 위치한다. The piston 260 is formed by a ring-shaped front portion 261 'extending transversely, preferably at right angles to the longitudinal axis Z, and a top portion 260' 'having a small diameter from a bottom portion having a large diameter. ). This transition region having the ring-shaped front portion 261 'is located inside the inner circumferential nut 248 of the cylinder 250.

상기 내주 너트(248)는 압력 보정 채널(249)을 통해 주변부와 연결되어 있다. 도 4는 상기 리테이너(204)의 부분 단면도를 도시하고 있지만, 도 4에 도시되어 있는 리테이너(204)의 단면처럼 같은 면에 있지 않은 압력 보정 채널(249)은 예를 들어 바깥쪽 방향으로 이어져 있는 레이디얼 보어(249')를 통해 형성되어 있다. 상기 레이디얼 보어(249')의 내부에는 스로틀(249'')이 제공되어 있다. The inner circumferential nut 248 is connected to the peripheral portion through the pressure correction channel 249. Figure 4 shows a partial cross-sectional view of the retainer 204, but a pressure compensating channel 249, which is not on the same side as the cross-section of the retainer 204 shown in Figure 4, And is formed through a radial bore 249 '. A throttle 249 '' is provided inside the radial bore 249 '.

상기 마이크로 홀(268)을 통해 위쪽 피스톤 부분(260'')의 외주와 실린더 보어의 상단부(251) 사이의 상부 레이디얼 베어링(268')의 베어링 틈새로 유입된 유체 압력은 상기 베어링 틈새에서 아래쪽 내주 너트(248) 방향으로 유동하고, 이로부터 상기 스로틀(249'')을 통해 제어되면서 압력 보정 채널(249)를 통해 바깥쪽으로 유동한다. 스로틀(249'')의 스로틀 효과에 따라 상기 내주 너트(248)에 압력이 형성되며, 상기 압력은 피스톤(260)의 파이프 형태의 섹션(260') 내부에 있는 상기 레이디얼 베어링(268', 269')을 위한 베어링 압력보다 작다. 상기 내주 너트(248)에 의해 형성된 압력 챔버(209) 내부에 있는 이러한 압력은 상기 피스톤(260)을 아래쪽으로 선응력을 갖도록 하는 유체 압력(F')을 생성하기 위해 충분히 크다.The fluid pressure introduced into the bearing clearance of the upper radial bearing 268 'between the outer periphery of the upper piston portion 260' 'and the upper end portion 251 of the cylinder bore through the microhole 268, Flows in the direction of the inner circumferential nut 248 and flows outward through the pressure correction channel 249 while being controlled through the throttle 249 ''. A pressure is created in the inner circumferential nut 248 in accordance with the throttle effect of the throttle 249 ", and the pressure is applied to the radial bearings 268 ', 268' within the pipe- 269 '). This pressure inside the pressure chamber 209 formed by the inner circumferential nut 248 is large enough to create a fluid pressure F 'that causes the piston 260 to have a linear stress downward.

본 발명은 단지 본 발명의 핵심적인 사상을 보편적으로 설명하는 것만을 목적으로 하는 전술한 실시예에 의해 제한되지 않는다. 보호 범위의 범주에서 본 발명에 따른 장치는 오히려 전술한 실시형태와 다를 수 있다. 이때, 상기 장치는 청구항의 개별 특징으로 서술되는 특별한 특징을 구비할 수 있다.The present invention is not limited by the above-described embodiments, which are intended to only illustrate the general concept of the present invention. The device according to the present invention in the scope of the protection scope may be rather different from the above-described embodiment. At this time, the device may have the special features described in the individual features of the claims.

청구항의 도면 부호, 발명의 상세한 설명 및 도면은 단지 본 발명을 더욱 구체적으로 이해할 수 있도록 하기 위한 것으로서, 보호 범위를 제한하지는 않는다.The reference numerals of the claims, the detailed description of the invention and the drawings are only for the purpose of enabling a more detailed understanding of the present invention, and do not limit the scope of protection.

Claims

1. A mounting head for handling electrical or electronic components,
- a handling element (6) with a suction nozzle (7) for providing a suction effect on the electrical or electronic part (8) to be inserted and fixed;
- a retainer (4; 204) for said handling element (6); And
- at least one drive device for translating said retainer (4; 204) along a first axis (Z)
- the retainer (4; 204) is provided with a cylinder bore (50; 250) extending coaxially with respect to the first axis (Z) and defining a cylinder (5; 205);
- the handling element 6 is arranged to move along the first axis Z at the cylinder 5 (205) through one or more radial bearings (68 ', 69'; 268 ', 269' And a piston (60;
- a pressure chamber (9; 209) is formed in the cylinder (5; 205)
(F; F ';F'') acting in the pressure chambers (9, 209) is applied to the piston (60; 206) in the axial direction so that the piston (52; 252) of the retainer (4; 204) in the outward direction,
A plurality of liquid outlets (68, 69; 268, 269) are arranged on the outer circumferential wall of the piston (60; 260), and the liquid outlets include one or more radial bearings (68 ', 69'; 268 'Lt; / RTI >
Fluid pressures creating fluid compression forces F, F ', F''are applied to the fluid pressure or radial bearings 68', 69 ',..., Introduced into the radial bearings 68', 69 ';268', 269 '. 268 ', 269 '.< / RTI >

The method according to claim 1,
Wherein a plurality of rows of liquid outlets (68, 69; 268, 269) are arranged on the outer circumferential surface of the piston (60; 260) along the axial direction of the piston wall.

The method according to claim 1,
Characterized in that the liquid outlets (68, 69; 268, 269) are arranged in the circumferential direction.

The method according to claim 1,
The fluid pressure supplied to the radial bearings 68 ', 69'; 268 ', 269' to generate the fluid compression force F (F ';F'') also flows into the pressure chambers 9 Wherein the mounting head is mounted on the mounting head.

The method according to claim 1,
- the piston (260) has at least two cylindrical piston parts (260 '', 260 ''') spaced apart from one another in the axial direction and having different outer diameters, the outer diameter of the piston Increases in the direction of action of the pressure axis F '',
Characterized in that the pressure chamber (209) is formed in the cylinder (205) in the transition region between the two piston parts (260 '', 260 ''').

6. The method of claim 5,
Wherein the outer circumference of the piston in the transition region between the two piston parts is formed at least conically in each section.

6. The method of claim 5,
The outer diameter of the piston 260 in the transition region between the two piston components 260 ", 260 "'increases in a stepped fashion, with a piston component 260 " Characterized in that a ring-shaped support surface (261 ') is formed between the piston component (260''') having a large outer diameter and acting in opposition to the fluid compression force (F '').

8. The method of claim 7,
Characterized in that the ring-shaped support surface (261 ') forms at least part of the axial boundary wall for said pressure chamber (209).

The method according to claim 1,
Characterized in that at least one liquid outlet (249) is provided in the wall of the cylinder (205) and liquid can be discharged from the cylinder (205) through the liquid outlet.

10. The method of claim 9,
Wherein the liquid outlet (249) is provided with a throttle (249 ").

The method according to claim 1,
Wherein a plurality of liquid outlets are arranged in the inner circumferential wall of the cylinder, and the liquid outlets form one or more radial bearings.

10. The method of claim 9,
And a plurality of rows of liquid discharge ports are arranged on the inner peripheral surface of the cylinder along the axial direction of the cylinder wall.

11. The method of claim 10,
Wherein said liquid outlet is arranged in a circumferential direction.

The method according to claim 1,
Each radial bearing is provided with a fluid pressure supply 44 and a radially outer bearing surface 442 in the circumferential direction, And a plurality of liquid outlets (68, 69; 268, 269) arranged in a distributed manner.

The method according to claim 1,
Characterized in that each radial bearing (68 ', 69'; 268 ', 269') formed as a fluid bearing is a gas pressure bearing.

The method according to claim 1,
Wherein the pressure chambers (209) are arranged between two radial bearings.

11. The method of claim 10,
Wherein the throttle (249 ") provided in the liquid outlet (249) is adjustable.

The method according to claim 1,
Characterized in that each radial bearing (68 ', 69'; 268 ', 269') formed as a fluid bearing is an air bearing.