KR101653043B1 - 유효 조사영역을 표시하는 자외선 조사 장치 - Google Patents

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Abstract

유효 조사영역을 표시하는 자외선 조사 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 자외선 조사 장치는, 적어도 하나의 자외선 광원을 구비하고, 스테이지를 향해 자외선을 조사하는 자외선 조사부; 및 상기 스테이지 상에 자외선이 조사되는 영역 중 실질적으로 유효한 자외선 조도를 가지는 유효 조사영역의 경계 중 적어도 일부분을 가시광 패턴으로 표시하는 경계 표시부;를 포함한다. 상기 유효 조사영역의 경계는 상기 스테이지 표면을 기준으로 한 자외선 조도가 상기 유효 조사영역 내부의 자외선 조도 최대값의 10% 이상인 범위에서 선택된 값을 나타내는 가상의 선일 수 있다.

Description

유효 조사영역을 표시하는 자외선 조사 장치{UV Radiation Device Indicating Effective Radiation Area}
본 발명은 자외선 광원을 이용하는 것으로, 자외선 경화 또는 자외선 노광에 의한 패터닝 등을 수행하기 위한, 자외선 조사 장치에 관한 것이다.
자외선 조사 장치는 산업계에서 광경화성 수지의 경화 공정에 사용되는 자외선 경화기, 포토리소그래피 공정에 사용되는 노광기, 자외선의 살균효과를 이용하는 자외선 살균기 등 여러 가지 용도로 활용되고 있다. 특히, 자외선 경화 공정은 열경화성 수지나 잉크에 비해 공해 문제가 없다는 점에서 도장, 도료, 인쇄 등의 여러 산업에서 사용될 뿐만 아니라, 경화 후의 접착 강도, 광택, 내마모성 등 어려가지 우수한 특성으로 인해 표면 코팅, 박막 생성, 오버 층(over layer) 형성, 벌크 성형 등 다양한 용도로 활용되고 있다. 노광기의 경우는 주로 인쇄회로기판이나 평판 디스플레이 또는 반도체 소자의 제조 등에 활용되고 있다.
이와 같이 자외선 조사를 수반하는 공정에 있어서, 자외선 조사영역에 대한 자외선 조도(광속밀도)의 균일성과 일정한 출력의 유지는 생산 제품의 품질과 직결되는 중요한 요소이다. 특히 자외선 경화의 경우 공정 중의 제품에 적정한 수준의 자외선이 균일하게 조사될 필요가 있다. 자외선 노광의 경우에도 조사되는 자외선 광선의 평행성이 요구됨과 아울러 조사 영역에 대한 고른 자외선 조사가 필수적이다.
그런데, 생산 현장에서는 생산 공정 중인 제품의 일부가 적정한 자외선 조도가 유지되는 영역을 벗어나 제품에 불량이 생기더라도 생산 공정이 완료되어 완성품을 검사하기 전에는 문제를 발견하기 어렵다는 문제가 있다. 또한, 자외선 램프 또는 자외선 LED를 이용하는 자외선 조사 장치에 있어서, 과열 또는 과냉각으로 인해 자외선 출력의 변화가 발생하더라도 제품에 이상이 생기기 전까지 이를 발견하기 어렵다는 문제가 있다.
본 발명은 전술한 문제점을 개선하기 위해 제안된 것으로, 생산 공정 중에 제품의 전부 또는 일부가 자외선 조사 장치의 유효 조사영역을 벗어나는지 여부를 육안 또는 카메라 등으로 쉽게 확인할 수 있도록 한 자외선 조사 장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다. 또한, 자외선 조사 장치에 의한 자외선 출력에 변화가 생겨 유효 조사영역에 변동이 생긴 경우에도 이를 가시적으로 표시하고, 즉각적으로 해결할 수 있도록 한 자외선 조사 장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.
전술한 과제의 해결을 위하여 본 발명에 따른 자외선 조사 장치는, 적어도 하나의 자외선 광원을 구비하고, 스테이지를 향해 자외선을 조사하는 자외선 조사부; 및 상기 스테이지 상에 자외선이 조사되는 영역 중 실질적으로 유효한 자외선 조도를 가지는 유효 조사영역의 경계 중 적어도 일부분을 가시광 패턴으로 표시하는 경계 표시부;를 포함한다.
상기 유효 조사영역의 경계는 상기 스테이지 표면을 기준으로 한 자외선 조도가 상기 유효 조사영역 내부의 자외선 조도 최대값의 10% 이상인 범위에서 선택된 값을 나타내는 가상의 선일 수 있다.
상기 경계 표시부는, 상기 자외선 조사부의 외곽에 상기 스테이지를 향해 배치되고, 상기 스테이지 표면에 선형의 가시광 패턴을 투영하는 것일 수 있다.
한편, 상기 경계 표시부는, 상기 스테이지의 주변부에 배치되고, 상기 스테이지 표면에 선형의 가시광 패턴을 투영하는 것일 수도 있다. 이 경우, 상기 스테이지는 컨베이어 벨트를 포함하고, 상기 경계 표시부는 상기 컨베이어 벨트 주변부에 배치되어, 상기 컨베이어 벨트 상에 그 진행 방향을 기준으로 상기 유효 조사영역의 전단 측 경계 및 후단 측 경계에 선형의 가시광 패턴을 투영하는 것일 수 있다.
상기 경계 표시부는 선형 패턴의 레이저 빔을 투영하는 레이저 표시기를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 한 측면에 따른 자외선 조사 장치는, 적어도 하나의 자외선 광원을 구비하고, 스테이지를 향해 자외선을 조사하는 자외선 조사부; 상기 자외선 조사부로부터 상기 스테이지를 향해 조사된 자외선의 조도를 감지하는 자외선 조도 센서; 상기 자외선 조도 센서로부터 감지된 신호를 수신하고, 그 신호를 반영하여 상기 자외선 조사부의 출력을 조정하는 제어부; 및 상기 스테이지 상에 자외선이 조사되는 영역 중 실질적으로 유효한 자외선 조도를 가지는 유효 조사영역의 경계 중 적어도 일부분을 가시광 패턴으로 표시하는 경계 표시부; 를 포함한다.
상기 자외선 조도 센서는 상기 스테이지에 설치된 것일 수 있고, 상기 자외선 조사부의 외곽으로부터 자외선 조사 방향으로 연장된 센서 지지대에 설치된 것일 수도 있다.
상기 경계 표시부는 상기 가시광 패턴의 위치를 자동 또는 수동으로 조정할 수 있도록 하는 표시위치 조절부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 생산 공정 중에 제품의 전부 또는 일부가 자외선 조사 장치의 유효 조사영역을 벗어나는지 여부를 육안 또는 카메라 등으로 쉽게 확인할 수 있어, 불량의 발생을 예방할 수 있다.
또한, 자외선 조사 장치에 의한 자외선 출력에 변화가 생겨 유효 조사영역에 변동이 생긴 경우에도 이를 가시적으로 표시하여 이를 즉각적으로 해결할 수 있도록 할 뿐만 아니라, 자동적인 자외선 조사부의 출력 조정을 통해 불량의 발생을 예방할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 자외선 조사 장치를 보이는 사시도이다.
도 2는 상기 도 1에서 가상선 Ⅱ-Ⅱ'을 따른 자외선 조도 분포를 보이는 다이어그램이다.
도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른 자외선 조사 장치를 보이는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제3실시예에 따른 자외선 조사 장치를 보이는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제4실시예에 따른 자외선 조사 장치를 보이는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 제5실시예에 따른 자외선 조사 장치를 보이는 사시도이다.
도 7은 본 발명의 제6실시예에 따른 자외선 조사 장치를 보이는 사시도이다.
도 8은 본 발명의 제5 및 제6실시예에 따른 자외선 조사 장치에서 제어 신호의 흐름을 보이는 블럭도이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다. 다음에서 설명되는 실시예들은 여러 가지 다양한 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하의 실시예들에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예들은 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 기술적 사상을 명확히 전달하기 위하여 제공된다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 자외선 조사 장치를 보이는 사시도이고, 도 2는 상기 도 1에서 가상선 Ⅱ-Ⅱ'을 따른 자외선 조도 분포를 보이는 다이어그램이다.
본 실시예에 따른 자외선 조사 장치는, 자외선 조사부(10)와 경계 표시부(11)를 포함한다. 상기 자외선 조사부(10)는 적어도 하나의 자외선 광원을 구비하고, 스테이지(S)를 향해 자외선을 조사하도록 구성된다. 상기 경계 표시부(11)는 상기 자외선 조사부(10)에 의해 상기 스테이지(S) 상에 자외선이 조사되는 영역(R) 중 실질적으로 유효한 자외선 조도를 가지는 유효 조사영역(ER)의 경계 중 적어도 일부분을 가시광 패턴(11M)으로 표시하도록 구성된다.
자외선 조사부(10)에서 적어도 하나의 자외선 광원은 자외선 램프 또는 자외선 LED일 수 있다. 일반적으로 자외선 램프는 방사상으로 방출되는 자외선 광속을 한 방향으로 균일하게 분포시켜 주는 미러(mirror) 혹은 콜리메이터(collimator)와 함께 사용되고, 자외선 LED는 다수의 LED를 평면적으로 일정한 간격으로 배치한 어레이(array) 형태로 사용될 수 있다.
상기 자외선 조사부(10)는 자외선 경화 또는 패터닝을 위한 자외선 노광 등의 목적을 달성하기 위해 스테이지(S)를 향해 자외선을 조사하는데, 이러한 경우 스테이지(S) 표면 상의 자외선 조사 영역(R) 내에서는 균일한 조도 분포를 가지는 것이 이상적이나, 현실적으로는 상기 자외선 조사 영역(R) 내에 조도 편차가 존재하며, 그 조도 분포는 도 2에 도시된 다이어그램에 표시된 바와 같다. 상기 자외선 조사 영역(R)의 중심부에는 약간의 편차가 있으나 조도가 대체로 균일한 영역이 형성되고 그 주변부에서는 조도가 감소하는 구간이 나타난다. 여기서 스테이지(S) 상에서의 조도 최대값, 즉 피크값을 Ep라 하면, 예컨대 조도 값이 상기 피크값의 90% 이상인 영역을 유효 조사영역(ER)으로 설정할 수 있다. 다만, 조도 피크값에 대한 경계값의 비율이 이에 한정되는 것은 아니며, 자외선이 조사되는 대상물에 따라서, 일정 조도 이상의 자외선이 조사가 되는 것 만으로도 유효 조사영역이라고도 볼 수 있으며, 광원의 피크값의 성질이나 세기에 따라서 상기 피크값의 10% 이상인 영역이 유효 조사영역(ER)으로 될 수도 있다. 자외선 조도 값에 따라 상이할 수 있으나 적어도 상기 피크값의 10% 이상의 자외선 조도가 조사되어야 실질적으로 유효한 조사영역이라고 볼 수 있으며, 상기 피크값의 10% 미만의 조도로 조사되는 영역은 자외선 조사의 목적하는 효과를 얻기가 어려울 수 있다.
바람직하게는 전술한 바와 같이, 자외선 조도가 실질적으로 균일한 영역을 상기 유효 조사영역(ER)으로 설정할 수 있으며, 여기서 실질적으로 균일하다는 것은 해당 영역의 범위 내에서는 자외선 경화 또는 자외선 노광 등의 목적을 달성하는데 있어서 효과의 차이가 발생하지 않을 정도의 균일성이 확보됨을 의미한다. 따라서, 조도 피크값(Ep)에 대한 유효 조사영역(ER) 경계값의 비율은 자외선 조사의 목적, 자외선 조사 대상 제품의 형태나 성질에 따라 달라질 수 있으며, 이러한 요인들을 고려하여 50% 이상인 범위에서 미리 결정될 수 있다. 도 1의 가상선 Ⅱ-Ⅱ' 상에서의 조도 분포를 상기 도 2를 통해 보건대, 좌측으로는 a0지점에서 우측으로는 a1지점에서부터 조도가 피크값(Ep)의 90%이하로 떨어진다. 따라서, a0 지점과 a1 지점을 지나는 선이 각각 유효 조사영역(ER)의 경계선이 된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 자외선 조사 장치는 상기 자외선 조사부(10)의 외곽에 배치될 수 있다. 상기 경계 표시부(11)는 상기 스테이지(S)에 가시광 패턴(11M)을 표시하도록 구성되는데, 예컨대 선형의 가시광 패턴을 이용하여 유효 조사영역(ER)의 경계 중 일부를 표시하는 레이저 표시기를 포함하여 구성될 수 있다. 다만, 이에 한정되지는 않으며 선형이 아닌 점 또는 다른 기하학적 패턴을 표시하는 것일 수도 있고, 단일 파장의 레이저 빔이 아닌 연속광을 이용하여 표시하는 것이어도 무방하다. 상기 경계 표시부(11)는 상기 자외선 조사부(10) 외곽의 여러 위치에 다수 배치되어 그에 따른 다수의 가시광 패턴(11M)들을 연결함으로써 작업자가 상기 유효 조사영역(ER)의 둘레를 파악할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
자외선 경화 공정의 예를 들면, 작업자가 상기 가시광 패턴(11M)을 육안으로 또는 카메라를 통해 파악하고, 경화 공정 중인 제품의 위치가 스테이지(S) 상에서 상기 가시광 패턴(11M)을 통해 파악되는 유효 조사영역(ER)을 벗어나는지 여부를 감시하는 것으로서, 경화 불량의 발생을 예방할 수 있다.
도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른 자외선 조사 장치를 보이는 사시도이다.
경계 표시부 및 그에 따른 가시광 패턴의 형태를 제외한 본 실시예의 다른 구성은 전술한 제1실시예의 경우와 동일하다. 본 실시예에 따른 경계 표시부(12)는 상기 유효 조사영역(ER)의 경계 중 그 코너 부분에 십자형 가시광 패턴(12M)을 표시할 수 있다. 부분확대도를 참조하면, 십자형 가시광 패턴(12M)에 의해 사분되는 영역들 중 어느 한쪽은 유효 조사영역(ER)에 해당하고, 나머지 세 영역들은 그 밖의 자외선 조사 영역(R)에 해당하도록 표시할 수 있다.
도 4는 본 발명의 제3실시예에 따른 자외선 조사 장치를 보이는 사시도이다.
본 실시예에 따른 자외선 조사 장치에서 자외선 조사부(10L)는 길쭉한 형태의 제품에 자외선을 조사할 수 있도록 한 방향으로 길쭉한 형태를 가지며, 이 경우 그 폭 방향의 양측에 유효 조사영역(ER)의 경계를 나타내는 선형의 가시광 패턴(13M)이 표시되도록 구성될 수 있다.
도 5는 본 발명의 제4실시예에 따른 자외선 조사 장치를 보이는 사시도이다.
본 실시예에 따른 자외선 조사 장치에 있어서, 상기 스테이지는 컨베이어 벨트(21)를 포함하고, 이때 전술한 경계 표시부(22)는 상기 컨베이어 벨트(21)의 주변부에, 예컨대 컨베이어 벨트(21)의 폭 방향 양측에 배치된 프레임(20) 상에 배치되어, 상기 컨베이어 벨트(21) 상에 그 진행 방향을 기준으로 전술한 유효 조사영역(ER)의 전단 측 경계 및 후단 측 경계에 선형의 가시광 패턴(22M)을 투영할 수 있다. 본 실시예를 도시한 상기 도 5는 자외선 조사부(10)가 컨베이어 벨트(21) 상부에 노출되게 설치되고 일종의 지지대(15)를 통해 상기 프레임(20)에 대해 고정된 형태를 나타내고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 자외선 조사부(10)는 상기 컨베이어 벨트(21) 및 그 프레임(20)을 전부 또는 부분적으로 덮는 구조물 내에 배치될 수도 있다.
도 6은 본 발명의 제5실시예에 따른 자외선 조사 장치를 보이는 사시도이다.
본 실시예에 따른 자외선 조사 장치는 자외선 조도를 측정하는 조도 센서(16)를 더 포함할 수 있다. 상기 조도 센서(16)는 자외선 조사부(10)의 외곽으로부터 자외선 조사 방향으로 연장된 센서 지지대(161)에 설치될 수 있다. 상기 조도 센서(16) 및 상기 센서 지지대(161)는 자외선 조사부(10)로부터 스테이지(S) 사이의 광경로와 일부 겹치게 배치될 수 있는데, 바람직하게는 상기 조도 센서(16) 및 상기 센서 지지대(161)로 인한 그림자(161S)가 상기 유효 조사영역(ER)을 벗어나도록 배치될 수 있다. 한편, 상기 센서 지지대(161)를 상기 자외선 조사부(10)에 대해 힌지(162) 결합하는 등의 구성을 통해 상기 조도 센서(16)를 이용한 측정시에만 상기 스테이지(S) 상에 그림자가 발생하고 자외선 경화 또는 노광 등의 작업시에는 그림자가 생기지 않도록 가변적으로 구성될 수도 있다. 상기 조도 센서(16)는 특정 지점에서의 조도 또는 소정 영역에서의 조도 분포를 감지하는 센서일 수 있다.
한편 본 실시예에 있어서, 경계 표시부(11A)는 상기 자외선 조사부(10)의 외곽에 배치되되 자동 또는 수동으로 그 몸체에 대하여 소정의 범위에서 움직일 수 있도록 배치될 수 있다. 예컨대 상기 경계 표시부(11A)와 상기 자외선 조사부(10) 사이에 수동 조정 가능한 나사 또는 제어부에 의해 자동으로 제어되는 소형 액츄에이터(actuator) 등을 포함하는 표시위치 조절부(AC)를 게재함으로써 전술한 가시광 패턴(11M)의 위치를 변경시킬 수 있도록 구성될 수 있다. 본 도면에서 상기 가시광 패턴(11M)은 상기 제1실시예의 경우와 동일한 것으로 도시되었으나 이에 한정되는 것은 아니다.
도 7은 본 발명의 제6실시예에 따른 자외선 조사 장치를 보이는 사시도이다.
본 실시예에 따르면, 스테이지(S)의 유효 조사영역(ER) 내에 자외선 조도를 감지하는 조도 센서(26)를 배치할 수도 있다. 상기 조도 센서(26)는 상기 스테이지(S) 표면이 투명한 판으로 이루어진 경우 그 아래에 배치될 수 있고, 상기 스테이지(S)가 컨베이어 벨트를 포함하는 경우 그물과 같이 자외선이 투과될 수 있는 소재로 이루어진 컨베이어 벨트의 하부에 배치될 수도 있다. 여기서, 경계 표시부(12A)와 자외선 조사부(10)의 연결 구조는 상기 제5실시예와 동일하게 구성될 수 있으며, 본 도면에서 가시광 패턴(12M)은 상기 제2실시예의 경우와 동일한 것으로 도시되었으나 역시 이에 한정되지 않는다.
상기 제5 및 제6실시예에 있어서 제1 또는 제2실시예와 공통된 구성에 대해서는 설명을 생략하였으나, 제1 또는 제2실시예의 대응되는 구성요소에 대한 설명이 동일하게 적용될 수 있다.
도 8은 본 발명의 제5 및 제6실시예에 따른 자외선 조사 장치에서 제어 신호의 흐름을 보이는 블럭도이다. 도 6 및 도 7에 각각 도시된 제5실시예와 제6실시예에는 조도 센서(16,26)가 포함된다. 상기 조도 센서(16, 26)는 자외선 조사부(10)로부터 조사된 자외선 광속의 밀도를 감지하여 그에 따른 전기적인 신호를 제어부(10C)로 피드백(feed-back)한다. 자외선 조사부(10)의 출력은 경화 또는 노광 등의 목적물에 따라 알맞게 설정되나 공정 중의 발열 및 냉각 정도, 광원의 수명 등의 요인에 따라 스테이지(S)에 도달하는 실제 출력에 변화가 생길 수 있다. 이러한 변화를 상기 조도 센서(16,26)를 통해 감지하고, 제어부(10C)에서 그 신호를 이용하여 자외선 조사부(10)의 출력을 조정함으로써, 유효 조사영역(ER) 내부의 자외선 조도가 안정적인 작업이 가능한 수준으로 유지되도록 할 수 있다.
상기 제5실시예에 있어서, 상기 조도 센서(16)는 그 그림자가 작업에 영향을 미치지 않도록 하기 위해 상기 유효 조사영역(ER) 바깥의 조도를 측정하게 되나 도 2에 도시된 바와 같이 상기 자외선 조사부(10)에 의한 조도 분포의 특성을 미리 알고 있으므로, 유효 조사영역(ER) 외부의 조도 감지 신호를 이용하여 그 내부 조도와 상기 유효 조사영역(ER) 경계의 위치를 유추할 수 있다. 상기 제6실시예에 있어서의 상기 조도 센서(26)는 유효 조사영역(ER) 내부의 스테이지(S) 상에 배치되는데, 이 경우 유효 조사영역(ER) 내부의 조도를 직접적으로 확인할 수 있고, 그 감지 신호와 미리 알고 있는 조도 분포 특성을 이용하여 상기 유효 조사영역(ER) 경계의 위치도 유추할 수 있다.
상기 제5 및 제6실시예에서, 경계 표시부(11A, 12A)는 전술한 바와 같이 자동 또는 수동으로 가시광 패턴(11M, 12M)의 표시위치를 조절할 수 있도록 구비될 수 있다. 자동으로 조절되는 경우를 예로 들면, 제어부(10C)는 미리 알고 있는 자외선 조사부(10)의 조도 분포 특성을 이용하여 상기 조도 센서(16, 26)로부터 입력된 조도 감지 신호에 따라 변화된 유효 조사영역(ER)의 경계의 위치를 산출하고 그에 따라 액츄에이터를 포함하는 표시위치 조절부(AC)를 구동하여 가시광 패턴(11M, 12M)의 위치를 변화시킬 수도 있다.
10: 자외선 조사부
11, 11A, 12, 12A, 22: 경계 표시부
16, 26: 조도 센서 20: 스테이지 프레임
21: 컨베이어 벨트 R: 자외선 조사영역
ER: 유효 조사영역 11M, 12M, 22M: 가시광 패턴

Claims (10)

  1. 적어도 하나의 자외선 광원을 구비하고, 스테이지를 향해 자외선을 조사하는 자외선 조사부;
    상기 자외선 조사부의 외곽의 복수의 위치에 배치되며, 상기 스테이지 상에 자외선이 조사되는 영역 중 실질적으로 유효한 자외선 조도를 가지는 유효 조사영역의 경계 중 적어도 일부분을 가시광 패턴으로 표시하는 경계 표시부;
    상기 자외선 조사부로부터 상기 스테이지를 향해 조사된 자외선의 조도를 감지하는 조도센서;
    기설정된 위치에서 상기 가시광 패턴의 위치를 변경할 수 있는 표시 위치 조절부; 및
    상기 자외선 조사부의 조도 분포 특성을 이용하여 상기 조도센서로부터 입력된 조도 감지 신호에 따라 변화된 상기 유효 조사영역의 경계를 산출하고 표시 위치 조절부를 구동하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    자외선 조사 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 유효 조사영역의 경계는 상기 스테이지 표면을 기준으로 한 자외선 조도가 상기 유효 조사영역 내부의 자외선 조도 최대값의 10% 이상인 범위에서 선택된 값을 나타내는 가상의 선인 것을 특징으로 하는,
    자외선 조사 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 경계 표시부는,
    상기 스테이지를 향해 배치되고, 상기 스테이지 표면에 선형의 가시광 패턴을 투영하는 것을 특징으로 하는,
    자외선 조사 장치.
  4. 삭제
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 스테이지는 컨베이어 벨트를 포함하고,
    상기 경계 표시부는 상기 컨베이어 벨트 주변부에 배치되어, 상기 컨베이어 벨트 상에 그 진행 방향을 기준으로 상기 유효 조사영역의 전단 측 경계 및 후단 측 경계에 선형의 가시광 패턴을 투영하는 것을 특징으로 하는,
    자외선 조사 장치.
  6. 제 3항 또는 제 5항에 있어서,
    상기 경계 표시부는 선형 패턴의 레이저 빔을 투영하는 레이저 표시기를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    자외선 조사 장치.
  7. 삭제
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 자외선 조도 센서는 상기 스테이지에 설치된 것을 특징으로 하는,
    자외선 조사 장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 자외선 조도 센서는 상기 자외선 조사부의 외곽으로부터 자외선 조사 방향으로 연장된 센서 지지대에 설치된 것을 특징으로 하는,
    자외선 조사 장치.
  10. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102396320B1 (ko) * 2022-01-06 2022-05-09 박정진 휴대용 자외선 경화기

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004041843A (ja) * 2002-07-09 2004-02-12 Ushio Inc 紫外線照射装置
JP2005181878A (ja) * 2003-12-22 2005-07-07 Keyence Corp 紫外線照射装置
JP2009074927A (ja) 2007-09-20 2009-04-09 Omron Corp 紫外線照射装置およびそれを備える紫外線照射システム

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050031711A (ko) * 2003-09-30 2005-04-06 삼성전기주식회사 자외선 경화로 광량 자동 측정장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004041843A (ja) * 2002-07-09 2004-02-12 Ushio Inc 紫外線照射装置
JP2005181878A (ja) * 2003-12-22 2005-07-07 Keyence Corp 紫外線照射装置
JP2009074927A (ja) 2007-09-20 2009-04-09 Omron Corp 紫外線照射装置およびそれを備える紫外線照射システム

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP4089379A1 (de) * 2021-05-10 2022-11-16 Robert Bürkle GmbH Uv-bestrahlungsvorrichtung für beschichtungsanlagen sowie verfahren zur qualitätssicherung

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