KR101649945B1 - Rotating apparatus of irradiation rig for neutron transmutation doping - Google Patents

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Abstract

예시적인 실시예들에 따른 조사체 회전 장치는 조사를 받는 조사체를 지지하고 축방향을 중심으로 회전할 수 있는 회전유닛 몸체와 회전유닛 몸체의 가장자리에 배치되는 복수의 회전날개들을 포함하는 회전유닛, 및 회전유닛을 수용하고 회전유닛을 회전시키기 위해 회전날개들을 향하여 유체를 분사하도록 이루어지는 노즐모듈을 구비하는 수용유닛을 포함한다. 조사체 회전 장치에 의하면, 단순한 구조를 가지기 때문에 공간 효율성이 뛰어나며, 결함 가능성을 크게 낮출 수 있어 생산성을 크게 높일 수 있다. 또한, 조사체 회전 장치는 조사체를 냉각시키는 유체흐름을 발생시킬 수 있으므로 조사체에 대한 우수한 냉각 효과를 가질 수 있다.The irradiation body rotating apparatus according to the exemplary embodiments includes a rotating unit body that supports the irradiated body to be irradiated and can rotate about the axial direction and a plurality of rotating blades disposed at the edge of the rotating unit body, And a receiving module including a nozzle module adapted to receive the rotating unit and to inject fluid toward the rotating blades to rotate the rotating unit. According to the irradiating body rotating device, since it has a simple structure, the space efficiency is excellent, and the possibility of defects can be greatly reduced, and the productivity can be greatly increased. Further, the irradiating body rotating device can generate a fluid flow for cooling the irradiated body, so that it can have an excellent cooling effect on the irradiated body.

Description

중성자 핵변환 도핑을 위한 조사체 회전 장치{ROTATING APPARATUS OF IRRADIATION RIG FOR NEUTRON TRANSMUTATION DOPING}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a rotating apparatus for neutron nuclear transformation doping,

본 발명은 중성자 핵변환 도핑을 위한 조사체 회전 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an irradiation body rotating device for neutron nuclear transformation doping.

중성자 핵변환 도핑(Neutron Transmutation Doping, NTD) 공정은 단결정의 순수한 실리콘(Si)에 중성자를 조사하여 핵변환에 의해 상기 실리콘을 인(P)으로 변환하는 기술이다.The Neutron Transmutation Doping (NTD) process is a technique for converting neutrons into pure silicon (Si) of single crystals and converting the silicon to phosphorus (P) by nuclear transformation.

상기 중성자 핵변환 도핑 공정을 수행하면, 실리콘에 인을 직접 투입하는 일반적인 화학공정보다 인이 균일하게 분포되므로 고속전철, 하이브리드 자동차의 인버터 등과 같은 고급 대전력 소자나 센서에 사용될 수 있는 고품질의 실리콘 반도체를 생산할 수 있다.Since the phosphor is uniformly distributed rather than a general chemical process in which phosphorus is directly injected into silicon when the neutron transformation dope process is performed, high-quality silicon semiconductors can be used for advanced high power devices such as high-speed electric trains, inverters of hybrid vehicles, Can be produced.

특히, 상기 중성자 핵변환 도핑 기술에 있어서, 중성자를 방출하는 원자로와 같은 중성자원에 인접하여 단결정의 실리콘을 배치하고, 상기 중성자에 의해 상기 실리콘이 핵변환되어 생성되는 인을 균일하게 분포시키도록 상기 실리콘을 포함하는 조사체를 회전시켜야 한다.Particularly, in the above-mentioned neutron transformation dope technique, a single crystal silicon is disposed adjacent to a neutron source such as a reactor that emits a neutron, and a single crystal silicon is disposed adjacent to a neutron source, The irradiated body containing silicon must be rotated.

또한, 상기 중성자의 조사를 받는 상기 실리콘은 온도가 상승하고, 상기 실리콘의 온도 상승에 의해 상기 실리콘의 표면에 비등이 발생하여 상기 실리콘의 상기 표면에 조사되는 중성자속이 균일하지 않는 문제를 줄이기 위해 상기 조사체를 냉각시켜야 한다.Further, in order to reduce the problem that the temperature of the silicon to be irradiated with the neutrons is raised, boiling occurs on the surface of the silicon due to the temperature rise of the silicon, and the neutron flux irradiated to the surface of the silicon is not uniform, The irradiated body should be cooled.

기계적으로 모터에 피동되어 회전하는 조사체 회전 장치는 기계적 결함 가능성이 높으며, 유지 및 보수를 위해 상기 원자로의 가동을 중지 및 재가동하는데 오랜 시간이 소요되므로 생산성이 떨어지는 문제가 있다. 따라서, 결함 가능성을 낮추면서 상기 조사체를 회전시키고 나아가 상기 조사체를 냉각시킬 수 있는 장치가 필요한 실정이다.There is a high possibility of mechanical failure, and it takes a long time to stop and restart the operation of the reactor for maintenance and repair, resulting in a problem of low productivity. Therefore, there is a need for a device capable of rotating the irradiation body while cooling the irradiation body while reducing the possibility of defects.

이에 본 발명의 기술적 과제는 결함 가능성이 낮은 조사체 회전 장치를 제공하는데 있다. 특히, 본 발명의 기술적 과제는 수력을 이용하여 조사체를 회전시키고 동시에 냉각시킬 수 있는 조사체 회전 장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, In particular, the technical problem of the present invention is to provide an irradiation body rotating device capable of rotating and simultaneously cooling an irradiation body by using a hydraulic force.

이와 같은 본 발명의 과제를 달성하기 위한 일 실시예에 따른 조사체 회전 장치는 조사를 받는 조사체를 지지하고 축방향을 중심으로 회전할 수 있는 회전유닛 몸체와 상기 회전유닛 몸체의 가장자리에 배치되는 복수의 회전날개들을 포함하는 회전유닛, 및 상기 회전유닛을 수용하고 상기 회전유닛을 회전시키기 위해 상기 회전날개들을 향하여 유체를 분사하도록 이루어지는 노즐모듈을 구비하는 수용유닛을 포함한다.According to an embodiment of the present invention, there is provided an irradiation body rotating apparatus including a rotating unit body supporting an irradiated body to be irradiated and rotating about an axial direction, and a rotating unit body disposed at an edge of the rotating unit body A receiving unit including a rotating unit including a plurality of rotating blades and a nozzle module adapted to receive the rotating unit and to inject fluid toward the rotating blades to rotate the rotating unit.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 수용유닛은 상기 회전유닛이 상기 수용유닛으로부터 이격되어 회전할 수 있도록 상기 회전유닛 몸체의 저면에 인접하게 구비되는 부양모듈, 및 상기 회전유닛이 상기 축방향을 중심으로 이탈하지 않고 회전할 수 있도록 상기 회전유닛 몸체의 측면에 인접하게 구비되는 고정모듈을 포함할 수 있다.In exemplary embodiments, the receiving unit includes a float module provided adjacent to a bottom surface of the rotating unit body so that the rotating unit can rotate away from the receiving unit, And a fixing module provided adjacent to a side surface of the rotating unit body so as to be able to rotate without detaching the rotating unit body.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 노즐모듈은 상기 회전날개를 향하여 상기 유체를 분사할 수 있는 다수개의 제1 노즐들을 포함할 수 있다. 상기 부양모듈은 상기 회전유닛 몸체의 상기 저면을 향하여 상기 유체를 분사할 수 있는 다수개의 제2 노즐들을 포함할 수 있다. 상기 고정모듈은 상기 회전유닛 몸체의 상기 측면을 향하여 상기 유체를 분사할 수 있는 다수개의 제3 노즐들을 포함할 수 있다.In exemplary embodiments, the nozzle module may include a plurality of first nozzles capable of jetting the fluid toward the rotating blades. The float module may include a plurality of second nozzles capable of ejecting the fluid toward the bottom surface of the rotatable unit body. The fixation module may include a plurality of third nozzles capable of ejecting the fluid toward the side of the rotation unit body.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 회전유닛은 상기 제1 내지 제3 노즐들에 의해 분사되는 유체를 배수하고 상기 조사체를 향하는 유체 흐름을 발생시켜 상기 조사체를 냉각하며, 상기 제1 내지 제3 노즐들에 의해 상기 회전유닛 몸체의 측면 및 저면에 인접하여 형성되는 압력을 조절하기 위하여, 상기 회전유닛 몸체를 관통하여 구비되는 배수부를 더 포함할 수 있다.In the exemplary embodiments, the rotating unit drains the fluid jetted by the first to third nozzles and generates a fluid flow toward the irradiated body to cool the irradiated body, and the first to the third The nozzle unit may further include a drain unit provided through the rotation unit body to adjust a pressure formed by the nozzles adjacent to the side surface and the bottom surface of the rotation unit body.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 배수부는 상기 회전유닛 몸체의 상면과 저면을 관통하여 상기 축방향을 따라 배치되는 제1 관통홀 및 상기 회전유닛 몸체의 측면들을 관통하여 상기 축방향과 교차하는 방향을 따라 배치되는 제2 관통홀을 포함할 수 있다.In the exemplary embodiments, the drainage unit may include a first through-hole passing through an upper surface and a lower surface of the rotary unit body and disposed along the axial direction, and a second through-hole passing through the side surfaces of the rotary unit body and intersecting with the axial direction And a second through-hole disposed along the first through-hole.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 회전유닛 몸체는 상기 축방향을 따라 연장되는 원기둥 형상을 갖고, 상기 조사체를 지지하는 회전유닛 상부 몸체, 및 상기 회전유닛 상부 몸체보다 작은 크기로 상기 축방향을 따라 상기 회전유닛 상부 몸체로부터 연장되는 회전유닛 하부 몸체를 포함할 수 있다. 상기 제2 노즐들은 상기 회전유닛 상부 몸체의 저면을 향하여 상기 유체를 분사하도록 구비될 수 있다.In the exemplary embodiments, the rotating unit body may have a cylindrical shape extending in the axial direction, and may include a rotating unit upper body supporting the irradiated body, and an upper body having a smaller size than the rotating body upper body, And a rotating unit lower body extending from the upper body of the rotating unit. The second nozzles may be provided to inject the fluid toward the bottom surface of the rotating unit upper body.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제3 노즐들은 상기 회전유닛 하부 몸체의 측면을 향하여 상기 유체를 분사하도록 구비될 수 있다.In exemplary embodiments, the third nozzles may be provided to inject the fluid toward the side of the rotating unit lower body.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 회전날개들은 상기 회전유닛 상부 몸체의 상부 가장자리에 구비될 수 있다.In exemplary embodiments, the rotating blades may be provided at an upper edge of the rotating unit upper body.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 회전날개들의 개수와 상기 제1 노즐들의 개수는 서로소의 관계에 있을 수 있다.In exemplary embodiments, the number of rotatable blades and the number of first nozzles may be in a subtle relationship.

본 발명의 과제를 달성하기 위한 일 실시예에 따른 핵변환 조사 장치는 조사를 받는 조사체, 상기 조사체를 지지하고 회전시킬 수 있는 조사체 회전 장치, 및 상기 조사체 및 상기 조사체 회전 장치를 수용할 수 있는 조사공을 포함한다. 상기 조사체 회전 장치는 상기 조사체를 지지하고 축방향을 중심으로 회전할 수 있는 회전유닛 몸체와 상기 회전유닛 몸체의 가장자리에 배치되는 복수의 회전날개들을 포함하는 회전유닛, 및 상기 회전유닛을 수용하고 상기 회전유닛을 회전시키기 위해 상기 회전날개들을 향하여 유체를 분사하도록 이루어지는 노즐모듈을 구비하는 수용유닛을 포함한다.In order to accomplish the object of the present invention, a nuclear conversion irradiation apparatus according to an embodiment of the present invention includes an irradiated body to be irradiated, an irradiated body rotating device capable of supporting and rotating the irradiated body, It includes an acceptance ball. Wherein the irradiation body rotating device includes a rotating unit body supporting the irradiated body and capable of rotating about an axial direction and a plurality of rotating blades disposed at an edge of the rotating unit body, And a nozzle module configured to inject fluid toward the rotating blades to rotate the rotating unit.

상기와 같은 구성의 본 발명에 의하면, 조사체를 회전시키기 위하여 유체의 압력을 이용하기 때문에, 종래에 상기 조사체를 회전시키기 위해 모터 및 상기 모터에 의해 발생되는 회전력을 상기 조사체에 전달하는 연결체 등이 불필요하여 공간 효율성이 뛰어나다.According to the present invention having the above-described configuration, since the fluid pressure is used to rotate the irradiated body, conventionally, a motor for rotating the irradiated body and a connection for transmitting the rotational force generated by the motor to the irradiated body It does not need a sieve, so it is excellent in space efficiency.

또한, 모터 등이 갖는 기계적 결함으로 인하여 중성자 핵변환 도핑 공정이 중단되는 경우에, 원자로를 중지하고 재가동하는데 오랜 시간이 필요하므로 생산성이 크게 떨어지는 문제가 있으나, 예시적인 실시예들에 따른 조사체 회전 장치에 의하면 결함 가능성을 크게 낮출 수 있어 고품질의 반도체에 대한 생산성을 크게 높일 수 있다.In addition, when the neutron conversion dope process is stopped due to a mechanical defect of a motor or the like, there is a problem that the productivity is greatly reduced because a long time is required to stop and restart the reactor. However, According to the device, the possibility of defects can be greatly reduced, which can greatly enhance the productivity of high-quality semiconductors.

특히, 노즐이 분사하는 유체는 상기 조사체를 회전시킬 뿐만 아니라, 상기 조사체를 냉각시키므로 별도의 냉각 장치가 필요하지 않고 상기 조사체에 대한 우수한 냉각 효과를 갖는 장점이 있다.Particularly, since the fluid injected by the nozzle not only rotates the irradiated body but also cools the irradiated body, there is no need for a separate cooling device and it is advantageous to have an excellent cooling effect on the irradiated body.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 조사체 회전 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1의 조사체 회전 장치를 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 1의 수용유닛을 나타내는 단면도이다.
도 4는 도 3의 A 영역의 확대도이다.
도 5는 도 3의 B 영역의 확대도이다.
도 6은 도 1의 회전유닛을 나타내는 단면도이다.
도 7은 도 1의 회전유닛을 나타내는 평면도이다.
도 8은 도 1의 회전유닛에 따라 흐르는 유체 흐름을 설명하기 위한 단면도이다.
도 9는 예시적인 실시예들에 따른 핵변환 조사 장치를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing an irradiation body rotating device according to exemplary embodiments;
Fig. 2 is a plan view showing the irradiation body rotating device of Fig. 1; Fig.
3 is a cross-sectional view showing the receiving unit of Fig.
4 is an enlarged view of the area A in Fig.
5 is an enlarged view of the area B in Fig.
Fig. 6 is a cross-sectional view showing the rotating unit of Fig. 1;
7 is a plan view showing the rotating unit of Fig.
8 is a cross-sectional view for explaining the flow of fluid flowing along the rotating unit of FIG.
9 is a cross-sectional view showing a nuclear conversion irradiating apparatus according to exemplary embodiments.

이하, 본 발명과 관련된 조사체 회전 장치에 관하여 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. 본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일하거나 유사한 구성에 대해서는 동일하거나 유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다. 본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.Hereinafter, the irradiation body rotating device related to the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. In the present specification, the same or similar reference numerals are given to the same or similar components in different embodiments, and the description thereof is replaced with the first explanation. As used herein, the singular forms "a", "an" and "the" include plural referents unless the context clearly dictates otherwise.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 조사체 회전 장치를 나타내는 단면도이다. 도 2는 도 1의 조사체 회전 장치를 나타내는 평면도이다. 도 3은 도 1의 수용유닛을 나타내는 단면도이다. 도 4는 도 3의 A 영역의 확대도이다. 도 5는 도 3의 B 영역의 확대도이다. 도 6은 도 1의 회전유닛을 나타내는 단면도이다. 도 7은 도 1의 회전유닛을 나타내는 평면도이다. 도 8은 도 1의 회전유닛에 따라 흐르는 유체 흐름을 설명하기 위한 단면도이다. 도 9는 예시적인 실시예들에 따른 핵변환 조사 장치를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing an irradiation body rotating device according to exemplary embodiments; Fig. 2 is a plan view showing the irradiation body rotating device of Fig. 1; Fig. 3 is a cross-sectional view showing the receiving unit of Fig. 4 is an enlarged view of the area A in Fig. 5 is an enlarged view of the area B in Fig. Fig. 6 is a cross-sectional view showing the rotating unit of Fig. 1; 7 is a plan view showing the rotating unit of Fig. 8 is a cross-sectional view for explaining the flow of fluid flowing along the rotating unit of FIG. 9 is a cross-sectional view showing a nuclear conversion irradiating apparatus according to exemplary embodiments.

도 1 내지 도 9를 참조하면, 조사체 회전 장치(1000)는 조사를 받는 조사체(100)를 지지하고 회전시킬 수 있는 회전유닛(200), 회전유닛(200)을 수용하는 수용유닛(300)을 포함한다.1 to 9, an irradiating body rotating apparatus 1000 includes a rotating unit 200 capable of supporting and rotating an irradiated body 100 to be irradiated, a receiving unit 300 (not shown) for receiving the rotating unit 200, ).

조사체(100)는 단결정의 실리콘(Si)을 포함할 수 있다. 조사체(100)의 일단은 회전유닛(200)에 의해 지지될 수 있으며, 조사체(100)의 상기 일단 및 타단은 균일한 중성자 도핑을 위하여 반사체를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 반사체는 흑연(Graphite)을 포함할 수 있다.The irradiation body 100 may include single crystal silicon (Si). One end of the irradiation body 100 may be supported by the rotation unit 200 and the one end and the other end of the irradiation body 100 may include a reflector for uniform neutron doping. For example, the reflector may include graphite.

상기 실리콘은 중성자 조사에 의하여 인(P)으로 핵변환될 수 있다. 균일한 핵변환을 위하여 조사체(100)는 회전된다. 또한, 중성자 조사에 의하여 상기 실리콘의 표면에 비등이 발생하는 경우에, 상기 실리콘의 상기 표면에 대한 중성자속(Neutron flux)이 일정하지 않게 되므로 조사체(100)는 냉각된다.The silicon can be nuclear converted to phosphorus (P) by neutron irradiation. The irradiation body 100 is rotated for uniform nuclear transformation. Further, when boiling occurs on the surface of the silicon due to neutron irradiation, the neutron flux to the surface of the silicon is not constant, so that the irradiated body 100 is cooled.

또한, 조사체(100)는 커플링 장치(110, 도 9 참조)를 통하여 회전유닛(200)에 의하여 지지될 수 있다. 커플링 장치(110)는 조사체(100)가 균일하게 핵변환되도록 조사체(100)를 임의의 높이에 위치하도록 조사체(100)를 승하강시킬 수 있다.Further, the irradiation body 100 can be supported by the rotation unit 200 through the coupling device 110 (see Fig. 9). The coupling device 110 can move the irradiated body 100 up and down so that the irradiated body 100 is positioned at an arbitrary height so that the irradiated body 100 is uniformly nuclear-transformed.

회전유닛(200)은 조사체(100)를 지지하고 축방향을 중심으로 회전할 수 있는 회전유닛 몸체와 상기 회전유닛 몸체의 가장자리에 배치되는 복수의 회전날개들(220)을 포함한다.The rotating unit 200 includes a rotating unit body that supports the irradiated body 100 and is rotatable about an axial direction, and a plurality of rotating blades 220 disposed at an edge of the rotating unit body.

상기 회전유닛 몸체는 상기 축방향을 따라 연장되는 원기둥 형상을 갖고 조사체(100)를 지지하는 회전유닛 상부 몸체(240), 및 회전유닛 상부 몸체(240)보다 작은 크기로 상기 축방향을 따라 회전유닛 상부 몸체(240)로부터 연장되는 회전유닛 하부 몸체(260)를 포함한다.The rotating unit body includes a rotating unit upper body 240 having a cylindrical shape extending along the axial direction and supporting the irradiated body 100, and a rotating unit upper body 240 having a smaller size than the rotating unit upper body 240 And a rotating unit lower body 260 extending from the unit upper body 240.

회전날개들(220)은 회전유닛 상부 몸체(240)의 상부 가장자리에 구비되어, 후술하는 복수의 제1 노즐들(320)이 회전날개들(220)을 향하여 분사하는 유체에 의해 발생하는 회전력을 회전유닛 상부 몸체(240)로 전달할 수 있다.The rotating blades 220 are provided on the upper edge of the rotating unit upper body 240 so that the rotating force generated by the fluid ejected toward the rotating blades 220 by the plurality of first nozzles 320 To the rotating unit upper body (240).

또한, 회전날개들(220)은 회전유닛 상부 몸체(240)로부터 상기 축방향을 따라 돌출되며 소정의 거리만큼 서로 이격되어 구비될 수 있다. 회전날개들(220)은 회전유닛 상부 몸체(240)의 측부에서부터 중심부를 향하여 각각 연장될 수 있다.In addition, the rotary vanes 220 may protrude from the upper body 240 of the rotary unit along the axial direction and be spaced apart from each other by a predetermined distance. The rotating blades 220 may extend from the side of the rotating unit upper body 240 toward the center.

예시적인 실시예들에 있어서, 회전유닛 상부 몸체(240)의 측부 상에 구비되는 회전날개들(220)의 일단들(222)은 서로 이격되고, 회전유닛 상부 몸체(240)의 중심부를 향하여 연장되는 회전날개들(220)의 타단들(224)은 서로 연결될 수 있다.In the exemplary embodiments, the ends 222 of the rotating blades 220 provided on the sides of the rotating unit upper body 240 are spaced from each other and extend toward the center of the rotating unit upper body 240 The other ends 224 of the rotating blades 220 may be connected to each other.

이와는 달리, 회전날개들(220)의 일단들(222)은 소정의 거리만큼 서로 이격되고, 회전날개들(220)의 타단들(224)도 소정의 거리만큼 서로 이격될 수 있다.Alternatively, one ends 222 of the rotating blades 220 may be spaced apart from each other by a predetermined distance, and the other ends 224 of the rotating blades 220 may be spaced apart from each other by a predetermined distance.

예시적인 실시예들에 있어서, 각각의 회전날개(220)는 반경반향을 따라 연장될 수 있다. 후술하는 각각의 제1 노즐(320)은 유체가 상기 반경반향으로부터 소정의 각도를 가지고 분사되도록 배치될 수 있다.In the exemplary embodiments, each of the rotating blades 220 may extend along a radial echo. Each of the first nozzles 320 described below may be arranged so that fluid is jetted at a predetermined angle from the radial echo.

이와는 달리, 각각의 회전날개(220)는 상기 반경반향으로부터 소정의 각도를 갖도록 연장될 수 있다. 또한, 제1 노즐(320)은 상기 유체가 상기 반경방향을 따라 분사되도록 배치될 수 있다.Alternatively, each of the rotary vanes 220 may extend to have a predetermined angle from the radial eccentricity. Also, the first nozzle 320 may be arranged such that the fluid is jetted along the radial direction.

회전유닛 상부 몸체(240)는 상기 축방향을 따라 연장되는 원기둥 형상을 갖고 조사체(100)를 지지한다. 상술한 회전날개들(220)은 회전유닛 상부 몸체(240)의 상부 가장자리에 구비될 수 있다.The rotating unit upper body 240 has a cylindrical shape extending along the axial direction and supports the irradiation body 100. The above-described rotating blades 220 may be provided on the upper edge of the rotating unit upper body 240.

회전유닛 하부 몸체(260)는 회전유닛 상부 몸체(240)보다 작은 크기로 상기 축방향을 따라 회전유닛 상부 몸체(240)로부터 연장된다.The rotating unit lower body 260 extends from the rotating unit upper body 240 along the axial direction to a size smaller than the rotating unit upper body 240.

예를 들어, 회전유닛 상부 몸체(240)는 제1 반경으로 상기 축방향을 따라 연장되며, 회전유닛 하부 몸체(260)는 상기 제1 반경보다 작은 제2 반경으로 상기 회전유닛 상부 몸체(240)로부터 상기 축방향을 따라 연장될 수 있다.For example, the rotating unit upper body 240 extends along the axial direction with a first radius, and the rotating unit lower body 260 has a second radius smaller than the first radius, In the axial direction.

이에 따라, 상기 회전유닛 몸체의 단면 형상은 T 형상일 수 있다. 이는 상기 회전유닛 몸체의 단면 형상이 사각형 형상인 경우에 비하여, 상기 회전유닛 몸체는 작은 하중을 가질 수 있으므로 후술하는 부양모듈에 의해 회전유닛(200)을 수용유닛(300)으로부터 이격시키기 용이한 장점이 있다.Accordingly, the cross-sectional shape of the rotating unit body may be T-shaped. This is because the rotatable unit body can have a small load as compared with the case where the cross-sectional shape of the rotatable unit body is rectangular, so that it is easy to separate the rotatable unit 200 from the receiving unit 300 .

회전유닛(200)은 상기 회전유닛 몸체를 관통하여 구비되는 배수부를 더 포함할 수 있다. 상기 배수부는 상기 회전유닛 몸체의 상면과 저면을 관통하여 상기 축방향을 따라 배치되는 제1 관통홀(280) 및 상기 회전유닛 몸체의 측면들을 관통하여 상기 축방향과 교차하는 방향을 따라 배치되는 제2 관통홀(282)을 포함할 수 있다.The rotating unit 200 may further include a drain unit provided through the rotating unit body. The drainage unit includes a first through hole (280) passing through an upper surface and a lower surface of the rotary unit body and disposed along the axial direction, and a second through hole (280) passing through the side surfaces of the rotary unit body Two through holes 282. [

제1 관통홀(280) 및 제2 관통홀(282)은 후술하는 제2 및 제3 노즐들(340, 360)에 의하여 분사되는 유체를 배수할 수 있다.The first through hole 280 and the second through hole 282 can drain the fluid injected by the second and third nozzles 340 and 360 described later.

또한, 제1 관통홀(280) 및 제2 관통홀(282)은 조사체(100)를 향하는 유체 흐름을 발생시켜 조사체(100)를 냉각할 수 있으며, 제1 관통홀(280) 및 제2 관통홀(282)은 제2 및 제3 노즐들(340, 360)에 의해 형성되는 압력을 조절할 수 있다.The first through hole 280 and the second through hole 282 can generate a fluid flow toward the irradiated body 100 to cool the irradiated body 100. The first through hole 280 and the 2 through-hole 282 can regulate the pressure formed by the second and third nozzles 340, 360.

수용유닛(300)은 회전유닛(200)을 수용하고, 회전유닛(200)을 회전시키기 위해 회전날개들(220)을 향하여 유체를 분사하도록 이루어지는 노즐모듈을 구비한다.The receiving unit 300 includes a nozzle module configured to receive the rotating unit 200 and jet the fluid toward the rotating blades 220 to rotate the rotating unit 200.

또한, 수용유닛(300)은 회전유닛(200)이 수용유닛(300)으로부터 이격되어 회전할 수 있도록 상기 회전유닛 몸체의 저면에 인접하게 구비되는 부양모듈, 및 회전유닛(200)이 상기 축방향을 중심으로 이탈하지 않고 회전할 수 있도록 상기 회전유닛 몸체의 측면에 인접하게 구비되는 고정모듈을 포함할 수 있다.The receiving unit 300 also includes a floating module provided adjacent to the bottom surface of the rotating unit body so that the rotating unit 200 can rotate away from the receiving unit 300, And a fixing module provided adjacent to a side surface of the rotary unit body so as to be able to rotate without detaching from the center.

상기 노즐모듈은 회전날개(220)를 향하여 상기 유체를 분사할 수 있는 복수의 제1 노즐들(320)을 포함하고, 상기 부양모듈은 상기 회전유닛 몸체의 상기 저면을 향하여 상기 유체를 분사할 수 있는 복수의 제2 노즐들(340)을 포함하고, 상기 고정모듈은 상기 회전유닛 몸체의 상기 측면을 향하여 상기 유체를 분사할 수 있는 복수의 제3 노즐들(360)을 포함할 수 있다.The nozzle module includes a plurality of first nozzles (320) capable of jetting the fluid toward the rotatable vanes (220), the float module being capable of jetting the fluid toward the bottom of the rotatable unit body And a plurality of third nozzles (360) capable of ejecting the fluid toward the side of the rotating unit body.

예시적인 실시예들에 있어서, 제2 노즐들(340)은 회전유닛 상부 몸체(240)의 저면을 향하여 상기 유체를 분사하도록 구비되며, 제3 노즐들(360)은 회전유닛 하부 몸체(260)의 측면을 향하여 상기 유체를 분사하도록 구비될 수 있다.In the exemplary embodiments, the second nozzles 340 are provided to inject the fluid toward the bottom of the rotating unit upper body 240, and the third nozzles 360 are provided to rotate the lower unit 260 of the rotating unit, As shown in FIG.

예시적인 실시예들에 있어서, 제1 노즐들(320)의 개수는 회전날개들(220)의 개수와 서로소(relatively prime)의 관계에 있을 수 있다. 제1 노즐들(320)의 개수와 회전날개들(220)의 개수가 서로소의 관계가 아닌 경우에, 제1 노즐들(320)이 회전날개들(220)을 향하여 유체를 분사하는 것이 아니라, 제1 노즐들(320)이 회전날개 타단들(224)의 측면들을 따라 각각 유체를 분사할 수 있다.In the exemplary embodiments, the number of first nozzles 320 may be in a relatively prime relationship with the number of rotatable blades 220. When the number of the first nozzles 320 and the number of the rotating blades 220 do not have a small relation with each other, the first nozzles 320 do not spray the fluid toward the rotating blades 220, The first nozzles 320 can jet the fluid along the sides of the rotary vane tips 224, respectively.

제1 노즐들(320)이 회전날개 타단들(224)의 측면들을 따라 각각 유체를 분사하면 회전유닛(200)이 초기에 회전할 수 없는 문제가 발생할 수 있으므로, 제1 노즐들(320)의 개수와 회전날개들(220)의 개수는 서로소의 관계에 있는 것이 바람직하다.When the first nozzles 320 eject the fluid along the sides of the other ends of the rotary vane 224, the rotary unit 200 may not rotate at the initial stage. It is preferable that the number and the number of the rotating blades 220 are in a small relationship with each other.

도 4에 도시된 바와 같이, 예시적인 실시예들에 있어서, 각각의 제2 노즐(340)은 리세스 영역(342)을 포함할 수 있다. 리세스 영역(342)은 회전유닛(200)이 수용유닛(300)으로부터 안정적으로 이격될 수 있도록 할 수 있다.As shown in FIG. 4, in the exemplary embodiments, each second nozzle 340 may include a recessed region 342. The recessed region 342 can allow the rotating unit 200 to be stably spaced from the receiving unit 300.

예를 들어, 제2 노즐(340)의 리세스 영역(342)에 의하여 제2 노즐(340)은 회전유닛 상부 몸체(240)의 저면에 인접하여 균일하게 분포되는 압력을 형성할 수 있다.For example, the second nozzle 340 can form a uniformly distributed pressure adjacent the bottom surface of the rotating unit upper body 240 by the recessed region 342 of the second nozzle 340.

도 5에 도시된 바와 같이, 예시적인 실시예들에 있어서, 각각의 제3 노즐(360)은 리세스 영역(362)을 포함할 수 있다. 리세스 영역(362)은 상기 축방향을 중심으로 이탈하지 않고 안정적으로 회전할 수 있도록 할 수 있다.As shown in FIG. 5, in the exemplary embodiments, each third nozzle 360 may include a recessed region 362. The recessed region 362 can be stably rotated without departing from the axial direction.

예를 들어, 제3 노즐(360)의 리세스 영역(362)에 의하여 제3 노즐(360)은 회전유닛 하부 몸체(260)의 측면에 인접하여 균일하게 분포되는 압력을 형성할 수 있다.For example, the third nozzle 360 by the recessed region 362 of the third nozzle 360 may form a pressure that is uniformly distributed adjacent the side of the rotating unit lower body 260.

수용유닛(300)은 제1 수용유닛(302) 및 제1 수용유닛(302)과 결합하는 제2 수용유닛(304)을 포함할 수 있다. 제1 수용유닛(302)에는 제1 노즐들(320)이 구비될 수 있고, 제2 수용유닛(304)은 제2 노즐들(340) 및 제3 노즐들(360)을 포함할 수 있다.The receiving unit 300 may include a first receiving unit 302 and a second receiving unit 304 that couples with the first receiving unit 302. [ The first receiving unit 302 may be provided with the first nozzles 320 and the second receiving unit 304 may include the second nozzles 340 and the third nozzles 360.

수용유닛(300)이 제1 수용유닛(302) 및 제2 수용유닛(304)으로 나눠져 구성됨으로, 수용유닛(300)을 유지, 보수하기에 용이한 장점이 있다. 또한, 제2 수용유닛(304)이 제1 수용유닛(302)과 결합하면서 구비되는 단일의 고압부(306)를 통하여 제2 노즐들(340) 및 제3 노즐들(360)에 의해 유체가 분사될 수 있다.The receiving unit 300 is divided into the first receiving unit 302 and the second receiving unit 304 so that it is easy to maintain and repair the receiving unit 300. [ The fluid is injected by the second nozzles 340 and the third nozzles 360 through the single high pressure portion 306 provided while the second accommodating unit 304 is engaged with the first accommodating unit 302. [ .

이에 따라, 제2 및 제3 노즐들(340, 360)에 각각 유체를 공급할 필요없이, 단일의 고압부(306)를 통하여 상기 유체를 공급할 수 있으므로 배관 구조를 단순하게 할 수 있다.Accordingly, the fluid can be supplied through the single high-pressure portion 306 without the need to supply the fluid to the second and third nozzles 340 and 360, respectively, thereby simplifying the piping structure.

이하에서는 제1 내지 제3 노즐들(320, 340, 360)에 의해 분사되는 유체에 의한 흐름에 대하여 주로 설명하고자 한다.Hereinafter, the flow caused by the fluid injected by the first to third nozzles 320, 340, and 360 will be mainly described.

도 8을 다시 참조하면, 제1 노즐들(320)은 제1 유체흐름(C)을 생성할 수 있다. 제1 노즐들(320)에 의해 생성되는 제1 유체흐름(C)은 회전날개(220)를 통하여 회전유닛(200)에 회전력을 전달할 수 있다.Referring again to FIG. 8, the first nozzles 320 may generate a first fluid flow C. The first fluid flow C generated by the first nozzles 320 may transmit the rotational force to the rotating unit 200 through the rotating blades 220.

또한, 제1 유체흐름(C)은 회전날개(220)에 부딪히면서 상기 축방향을 따라 흐르는 제2 유체흐름(C1)으로 변환될 수 있다. 제1 유체흐름(C)은 주로 제2 유체흐름(C1)으로 변환되지만, 제1 유체흐름(C)의 일부는 회전유닛 하부 몸체(260)를 향하여 흐를 수도 있다.In addition, the first fluid flow C can be converted into a second fluid flow C1 that flows along the axial direction while striking the rotary vane 220. [ The first fluid flow C is mainly converted to the second fluid flow C1 while a portion of the first fluid flow C may flow toward the rotating unit lower body 260. [

제2 노즐들(340)은 제3 유체흐름(D)을 생성할 수 있다. 제3 유체흐름(D)은 회전유닛 상부 몸체(240)의 저면에 부딪히면서 회전유닛(200)을 수용유닛(300)으로부터 이격시킬 수 있다.And the second nozzles 340 may generate a third fluid flow D. [ The third fluid flow D may impinge on the bottom surface of the rotating unit upper body 240 to separate the rotating unit 200 from the receiving unit 300.

제3 유체흐름(D)은 회전유닛 상부 몸체(240)의 저면에 부딪히면서 제4 유체흐름(D1) 및 제5 유체흐름(D2)으로 변환될 수 있다. 이때 제2 노즐들(340)이 안정적으로 회전유닛(200)을 수용유닛(300)으로부터 이격시키도록 제1 관통홀(280) 및 제2 관통홀(282)은 제4 유체흐름(D1) 및 제5 유체흐름(D2)을 조절할 수 있다.The third fluid flow D may be converted into the fourth fluid flow D1 and the fifth fluid flow D2 while striking the bottom surface of the rotating unit upper body 240. The first through holes 280 and the second through holes 282 are formed in the fourth fluid flow D1 and the second through holes 282 so that the second nozzles 340 can stably separate the rotation unit 200 from the receiving unit 300. [ The fifth fluid flow D2 can be adjusted.

예를 들어, 제1 관통홀(280) 또는 제2 관통홀(282)이 없다면, 제4 유체흐름(D1)의 양과 제5 유체흐름(D2)의 양이 서로 달라, 제2 노즐들(340)은 안정적으로 회전유닛(200)을 수용유닛(300)으로부터 이격시키기 어려운 문제가 발생할 수 있다.For example, if there is no first through hole 280 or second through hole 282, the amount of the fourth fluid flow D1 and the amount of the fifth fluid flow D2 are different from each other, May stably cause the rotating unit 200 to be difficult to be separated from the receiving unit 300. [

또한, 제2 노즐들(340)의 리세스 영역(342)도 제2 노즐들(340)이 안정적으로 회전유닛을(200)을 수용유닛(300)으로부터 이격시키고 제2 노즐들(340)이 회전유닛 상부 몸체(240)의 저면에 인접한 영역에 균일하게 압력을 형성하도록 할 수 있다.The recesses 342 of the second nozzles 340 also allow the second nozzles 340 to stably separate the rotating unit 200 from the receiving unit 300 and the second nozzles 340 It is possible to uniformly form a pressure in a region adjacent to the bottom surface of the rotating unit upper body 240.

제3 노즐들(360)은 제6 유체흐름(E)을 생성할 수 있다. 제6 유체흐름(E)은 회전유닛 하부 몸체(260)의 측면에 부딪히면서 회전유닛(200)이 상기 축방향으로부터 이탈하여 회전하지 않도록 회전유닛(200)을 축방향에 고정할 수 있다.And third nozzles 360 may produce a sixth fluid flow E. The sixth fluid flow E can be fixed to the rotating unit 200 in the axial direction so that the rotating unit 200 hits the side surface of the lower body 260 of the rotating unit 200 so that the rotating unit 200 does not rotate away from the axial direction.

제6 유체흐름(E)은 회전유닛 하부 몸체(260)의 측면에 부딪히면서 제7 유체흐름(E1) 및 제8 유체흐름(E2)으로 변환될 수 있다. 이때 제3 노즐들(360)이 안정적으로 회전유닛(200)을 축방향에 고정시키도록 제1 관통홀(280) 및 제2 관통홀(282)은 제7 유체흐름(E1) 및 제8 유체흐름(E2)을 조절할 수 있다.The sixth fluid flow E can be converted into seventh fluid flow E1 and eighth fluid flow E2 while striking the side of the rotating unit lower body 260. The first through holes 280 and the second through holes 282 are formed in the seventh fluid flow E1 and the eighth fluid E2 so that the third nozzles 360 stably fix the rotation unit 200 in the axial direction. The flow E2 can be adjusted.

예를 들어, 제1 관통홀(280) 또는 제2 관통홀(282)이 없다면, 제7 유체흐름(E1)의 양과 제8 유체흐름(E2)의 양이 서로 달라, 제3 노즐들(360)은 안정적으로 회전유닛(200)을 상기 축방향에 고정시키기 어려운 문제가 발생할 수 있다.For example, if there is no first through hole 280 or second through hole 282, the amount of seventh fluid flow E1 and the amount of eighth fluid flow E2 are different, May be difficult to stably fix the rotary unit 200 in the axial direction.

또한, 제3 노즐들(360)의 리세스 영역(362)도 제3 노즐들(360)이 안정적으로 회전유닛을(200)이 상기 축방향에 고정하고 제3 노즐들(360)이 회전유닛 하부 몸체(260)의 측면에 인접한 영역에 균일하게 압력을 형성하도록 할 수 있다.In addition, the recessed areas 362 of the third nozzles 360 and the third nozzles 360 can stably fix the rotary unit 200 in the axial direction, It is possible to uniformly form a pressure in a region adjacent to the side surface of the lower body 260.

도 9를 다시 참조하면, 회전유닛(200)과 수용유닛(300)이 서로 이격된 공간으로 흐르는 제9 유체흐름(F) 및 제1 관통홀(280)과 커플링 장치(110)를 통과하여 흐르는 제10 유체흐름(G)은 합류하여 제11 유체흐름(H)으로 변환된다.9, the rotating unit 200 and the receiving unit 300 pass through the ninth fluid flow F and the first through hole 280 and the coupling device 110, which flow into spaces separated from each other The flowing tenth fluid flow (G) merges and is converted to the eleventh fluid flow (H).

제11 유체흐름(H)은 조사체(100)와 조사체(100) 및 조사체 회전 장치(1000)를 수용할 수 있는 조사공(400) 사이로 흐르면서, 중성자(N)에 의해 조사되어 온도가 상승하는 조사체(100)를 냉각할 수 있다.The eleventh fluid flow H is irradiated by the neutron N while flowing between the irradiation body 100 and the irradiation holes 400 capable of receiving the irradiation body 100 and the irradiation body rotation device 1000, The irradiated body 100 can be cooled.

상기와 같은 구성의 본 발명에 의하면, 조사체(100)를 회전시키기 위하여 유체의 압력을 이용하기 때문에, 종래에 조사체(100)를 회전시키기 위해 모터 및 구동벨트 등이 불필요하여 공간 효율성이 뛰어나다.According to the present invention having the above-described structure, since the fluid pressure is used to rotate the irradiated body 100, a motor, a drive belt, and the like are not required to rotate the irradiated body 100 conventionally, .

또한, 모터 등이 갖는 기계적 결함으로 인하여 중성자 핵변환 도핑 공정이 중단되는 경우에, 원자로를 중지하고 재가동하는데 오랜 시간이 필요하므로 생산성이 크게 떨어지는 문제가 있으나, 예시적인 실시예들에 따른 조사체 회전 장치에 의하면 결함 가능성을 크게 낮출 수 있어 고품질의 반도체에 대한 생산성을 크게 높일 수 있다.In addition, when the neutron conversion dope process is stopped due to a mechanical defect of a motor or the like, there is a problem that the productivity is greatly reduced because a long time is required to stop and restart the reactor. However, According to the device, the possibility of defects can be greatly reduced, which can greatly enhance the productivity of high-quality semiconductors.

특히, 노즐이 분사하는 유체는 조사체(100)를 회전시킬 뿐만 아니라, 조사체(100)를 냉각시키므로 별도의 냉각 장치가 필요없이 조사체(100)에 대한 우수한 냉각 효과를 갖는 장점이 있다.Particularly, since the fluid injected by the nozzle not only rotates the irradiated body 100 but also cools the irradiated body 100, there is an advantage that it has an excellent cooling effect on the irradiated body 100 without requiring a separate cooling device.

상기와 같은 조사체 회전 장치는 위에서 설명된 실시예들의 구성과 방법에 한정되는 것이 아니라, 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수 있다.The irradiation body rotating apparatus as described above is not limited to the configuration and the method of the embodiments described above, but all or a part of the embodiments may be selectively combined so that various modifications may be made to the embodiments.

100 : 조사체 200 : 회전유닛
220 : 회전날개 240 : 회전유닛 상부 몸체
260 : 회전유닛 하부 몸체 280 : 제1 관통홀
282 : 제2 관통홀 300 : 수용유닛
320 : 제1 노즐 340 : 제2 노즐
360 : 제3 노즐 400 : 조사공100: irradiated body 200: rotating unit
220: rotating blade 240: rotating unit upper body
260: rotating unit lower body 280: first through hole
282: second through hole 300: receiving unit
320: first nozzle 340: second nozzle
360: Third Nozzle 400: Irradiation Ball

Claims (11)

조사를 받는 조사체의 하부를 지지하고 축방향을 중심으로 회전할 수 있는 회전유닛 몸체와 상기 회전유닛 몸체의 가장자리에 배치되는 복수의 회전날개들을 포함하는 회전유닛; 및
상기 회전유닛을 수용하고, 상기 회전유닛을 회전시키기 위해 상기 회전날개들을 향하여 유체를 분사하도록 이루어지는 노즐모듈을 구비하는 수용유닛을 포함하며,
상기 수용유닛은,
상기 회전유닛이 상기 수용유닛으로부터 이격되어 회전할 수 있도록 상기 회전유닛 몸체의 저면에 인접하게 구비되는 부양모듈; 및
상기 회전유닛이 상기 축방향을 중심으로 이탈하지 않고 회전할 수 있도록 상기 회전유닛 몸체의 측면에 인접하게 구비되는 고정모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 조사체 회전 장치.A rotating unit including a rotating unit body supporting a lower portion of the irradiated body to be irradiated and rotating about an axial direction, and a plurality of rotating blades disposed at an edge of the rotating unit body; And
A receiving unit having a nozzle module configured to receive the rotating unit and to inject fluid toward the rotating blades to rotate the rotating unit,
The receiving unit includes:
A float module provided adjacent to a bottom surface of the rotating unit body so that the rotating unit can rotate away from the receiving unit; And
And a fixing module provided adjacent to a side surface of the rotary unit body so that the rotary unit can rotate without being displaced about the axial direction. 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 노즐모듈은 상기 회전날개를 향하여 상기 유체를 분사할 수 있는 다수개의 제1 노즐들을 포함하고,
상기 부양모듈은 상기 회전유닛 몸체의 상기 저면을 향하여 상기 유체를 분사할 수 있는 다수개의 제2 노즐들을 포함하고,
상기 고정모듈은 상기 회전유닛 몸체의 상기 측면을 향하여 상기 유체를 분사할 수 있는 다수개의 제3 노즐들을 포함하는 것을 특징으로 하는 조사체 회전 장치.2. The apparatus of claim 1, wherein the nozzle module includes a plurality of first nozzles capable of jetting the fluid toward the rotating blades,
Wherein the float module includes a plurality of second nozzles capable of jetting the fluid toward the bottom surface of the rotating unit body,
Wherein the fixation module includes a plurality of third nozzles capable of ejecting the fluid toward the side of the rotation unit body. 제 3 항에 있어서, 상기 수용유닛은 제1 수용유닛과 상기 제1 수용유닛과 결합하는 제2 수용유닛을 포함하고,
상기 제1 노즐들은 상기 제1 수용유닛에 구비되고, 상기 제2 및 제3 노즐들은 제2 수용유닛에 구비되며,
상기 제2 및 제3 노즐들은 상기 제1 및 제2 수용유닛들이 결합하면서 구비되는 단일의 고압부를 통하여 상기 유체를 공급받아 분사하는 것을 특징으로 하는 조사체 회전 장치.4. The apparatus according to claim 3, wherein the receiving unit includes a first receiving unit and a second receiving unit for coupling with the first receiving unit,
The first nozzles are provided in the first accommodation unit, the second and third nozzles are provided in the second accommodation unit,
Wherein the second and third nozzles receive and supply the fluid through a single high-pressure portion provided while the first and second receiving units are coupled. 제 3 항에 있어서, 상기 회전유닛은,
상기 제1 내지 제3 노즐들에 의해 분사되는 유체를 배수하고 상기 조사체를 향하는 유체 흐름을 발생시켜 상기 조사체를 냉각하며, 상기 제1 내지 제3 노즐들에 의해 상기 회전유닛 몸체의 측면 및 저면에 인접하여 형성되는 압력을 조절하기 위하여, 상기 회전유닛 몸체를 관통하여 구비되는 배수부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 조사체 회전 장치.The apparatus according to claim 3,
The first nozzle, the second nozzle, and the third nozzle, draining the fluid ejected by the first through third nozzles and generating a fluid flow toward the irradiation body to cool the irradiation body, Further comprising a drain portion provided through the rotation unit body to adjust a pressure formed adjacent to the bottom surface of the irradiation unit body. 제 5 항에 있어서, 상기 배수부는,
상기 회전유닛 몸체의 상면과 저면을 관통하여 상기 축방향을 따라 배치되는 제1 관통홀 및 상기 회전유닛 몸체의 측면들을 관통하여 상기 축방향과 교차하는 방향을 따라 배치되는 제2 관통홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 조사체 회전 장치.6. The apparatus according to claim 5,
A first through-hole passing through an upper surface and a lower surface of the rotating unit body and disposed along the axial direction, and a second through-hole passing through the side surface of the rotating unit body and disposed along a direction intersecting the axial direction Wherein the irradiating body rotates the irradiating body. 제 3 항에 있어서, 상기 회전유닛 몸체는,
상기 축방향을 따라 연장되는 원기둥 형상을 갖고, 상기 조사체를 지지하는 회전유닛 상부 몸체; 및
상기 회전유닛 상부 몸체보다 작은 크기로 상기 축방향을 따라 상기 회전유닛 상부 몸체로부터 연장되는 회전유닛 하부 몸체를 포함하고,
상기 제2 노즐들은 상기 회전유닛 상부 몸체의 저면을 향하여 상기 유체를 분사하도록 구비된 것을 특징으로 하는 조사체 회전 장치.[5] The apparatus of claim 3,
A rotating body upper body having a cylindrical shape extending along the axial direction and supporting the irradiation body; And
And a rotating unit lower body extending from the rotating unit upper body along the axial direction to a size smaller than the rotating unit upper body,
And the second nozzles are arranged to jet the fluid toward the bottom surface of the upper body of the rotation unit. 제 7 항에 있어서, 상기 제3 노즐들은 상기 회전유닛 하부 몸체의 측면을 향하여 상기 유체를 분사하도록 구비된 것을 특징으로 하는 조사체 회전 장치.The irradiation body rotating device according to claim 7, wherein the third nozzles are arranged to jet the fluid toward the side of the lower body of the rotation unit. 제 7 항에 있어서, 상기 회전날개들은 상기 회전유닛 상부 몸체의 상부 가장자리에 구비되는 것을 특징으로 하는 조사체 회전 장치.The irradiating body rotating device according to claim 7, wherein the rotating blades are provided on an upper edge of the upper body of the rotating unit. 제 3 항에 있어서, 상기 회전날개들의 개수와 상기 제1 노즐들의 개수는 서로소의 관계에 있는 것을 특징으로 하는 조사체 회전 장치.The irradiated body rotating device according to claim 3, wherein the number of the rotating blades and the number of the first nozzles are in a small relationship with each other. 조사를 받는 조사체;
상기 조사체를 지지하고 회전시키도록 구성되며, 제1항 및 제3항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따르는 조사체 회전 장치; 및
상기 조사체 및 상기 조사체 회전 장치를 수용하도록 구성되는 조사공을 포함하는 핵변환 조사 장치.An irradiated body to be inspected;
An irradiation body rotating device configured to support and rotate the irradiation body, according to any one of claims 1 and 3 to 10; And
And an irradiation hole configured to receive the irradiation body and the irradiation body rotation device.
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