KR101645279B1 - 두께 및 높이 측정장치 및 이를 이용한 측정방법 - Google Patents

두께 및 높이 측정장치 및 이를 이용한 측정방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101645279B1
KR101645279B1 KR1020150031935A KR20150031935A KR101645279B1 KR 101645279 B1 KR101645279 B1 KR 101645279B1 KR 1020150031935 A KR1020150031935 A KR 1020150031935A KR 20150031935 A KR20150031935 A KR 20150031935A KR 101645279 B1 KR101645279 B1 KR 101645279B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
sidewall
unit
side wall
illumination
imaging
Prior art date
Application number
KR1020150031935A
Other languages
English (en)
Inventor
이상윤
강민구
이현민
Original Assignee
(주) 인텍플러스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주) 인텍플러스 filed Critical (주) 인텍플러스
Priority to KR1020150031935A priority Critical patent/KR101645279B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101645279B1 publication Critical patent/KR101645279B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0608Height gauges
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

본 발명은 x축 방향으로 상호 나란하게 배치되는 제1측벽과 제2측벽 및 상기 제1측벽과 제2측벽의 양측 단부를 연결하도록 y축 방향으로 배치되는 제3측벽 및 제4측벽을 포함하는 피검체의 두께 및 높이를 측정하기 위한 측정장치 및 이를 이용한 측정방법이 개시된다.
본 발명은 두 쌍의 조명부와 결상부를 피검체의 상부에 배치하는 간단한 구성만으로 피검체의 두께 및 높이를 정확하게 측정할 수 있으며, 피검체가 라운드지게 형성되거나, 피검체가 직각방향으로 배치된 경우라도 피검체의 형상에 관계없이 한번 세팅된 장비를 이용하여 피검체의 두께 및 높이를 측정할 수 있는 두께 및 높이 측정장치 및 이를 이용한 측정방법에 관한 것이다.

Description

두께 및 높이 측정장치 및 이를 이용한 측정방법{Thickness and height measuring apparatus and measuring method using thereof}
본 발명은 두께 및 높이 측정장치 및 이를 이용한 측정방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 x축 방향으로 상호 나란하게 배치되는 제1측벽과 제2측벽 및 상기 제1측벽과 제2측벽의 양측 단부를 연결하도록 y축 방향으로 배치되는 제3측벽 및 제4측벽을 포함하는 피검체의 두께 및 높이를 측정하기 위한 측정장치 및 이를 이용한 측정방법에 관한 것이다.
기판, 휴대폰 배면커버 등의 측정 대상물의 두께 및 높이를 비롯한 형상을 측정하기 위한 종래의 방식에는 광 간섭 방식, 광 삼각 방식 등이 있다.
광 간섭 방식은 측정 대상물의 표면에 간섭광을 투영시켰을 때, 측정 대상물의 형상에 따라 구분되어 나타나는 모아레 패턴의 간섭 무늬의 밝기 차이를 이용하여 측정 대상물의 형상을 측정하는 방법이다.
그러나 광 간섭 방식은 측정 대상물에 의해 반사되는 빛의 반사율의 분포 변화가 큰 경우에는 간섭 무늬의 밝기 차이에 의한 농담(濃淡) 인식이 어려우며, 측정 대상물의 경사면의 경사가 큰 경우에도 간섭 무늬의 간격이 극히 좁아져 정확한 높이 측정이 어려운 문제점이 있다.
한편, 광 삼각 방식은 레이저를 이용하여 슬릿광을 측정 대상물의 표면에 투영시켜 그 측정 대상물의 형상, 높이에 상응하여 반사됨으로써 변형된 슬릿광을 획득하고, 이를 기초로 그 기하학적 관계로부터 측정 대상물의 형상에 관한 삼차원 좌표를 산출하는 방법이다.
이러한 광 삼각 방식은 앞서 설명한 광 간섭 방식과 같이 간섭 무늬의 밝기 차이를 이용하는 것이 아니므로 반사율 분포 변화에 강한 특징을 가지고 있기는 하나, 측정 대상물의 모서리가 라운드지게 형성된 경우 정밀한 측정이 어렵고, 측정 대상물이 x축과 y축으로 배치된 경우, 각각의 배치 방향에 따라 별도의 장비를 구비해야 하는 단점이 있다.
한국 공개특허 10-2009-0091157호 '높이 차이를 측정하기 위한 방법 및 장치'
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 간단한 방법으로 피검체의 두께 및 높이를 정확하게 측정할 수 있는 두께 및 높이 측정장치 및 이를 이용한 측정방법을 제공함에 있다.
또한, 피검체가 라운드지게 형성되거나, 피검체가 직각방향으로 배치된 경우라도 피검체의 형상에 관계없이 한번 세팅된 장비를 이용하여 피검체의 두께 및 높이를 측정할 수 있는 두께 및 높이 측정장치 및 이를 이용한 측정방법을 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 수단으로서, x축 방향으로 상호 나란하게 배치되는 제1측벽과 제2측벽 및 상기 제1측벽과 제2측벽의 양측 단부를 연결하도록 y축 방향으로 배치되는 제3측벽 및 제4측벽을 포함하는 피검체의 일측 후방 상부에서 상기 피검체를 향해 경사진 라인빔을 조사는 제1조명부와, 상기 피검체의 타측 전방 상부에서 상기 피검체를 향해 경사진 라인빔을 조사하는 제2조명부와, 상기 피검체의 일측 전방 상부에 배치되고, 상기 제1조명부 또는 제2조명부에서 출력되고 상기 피검체에서 반사된 이미지가 결상되는 제1결상부와, 상기 피검체의 타측 후방 상부에 배치되고, 상기 제1조명부 또는 제2조명부에서 출력되고 상기 피검체에서 반사된 이미지가 결상되는 제2결상부를 포함하는 두께 및 높이 측정장치를 제공한다.
또한, 상기 제1조명부와 제2조명부 및 제1결상부와 제2결상부는 각각 상기 피검체를 향해 45도 경사지게 배치되는 두께 및 높이 측정장치를 제공한다.
또한, 전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 다른 수단으로서, 상기 제1조명부에서 제1측벽 또는 제2측벽으로 조명을 조사하는 단계와, 상기 제1측벽 또는 제2측벽에서 반사된 이미지를 제2결상부에서 획득하는 단계와, 상기 제2조명부에서 제1측벽 또는 제2측벽으로 조명을 조사하는 단계와, 상기 제1측벽 또는 제2측벽에서 반사된 이미지를 제1결상부에서 획득하는 단계와, 상기 제1결상부와 제2결상부에서 획득한 이미지를 중첩하는 단계를 포함하는 두께 및 높이 측정방법을 제공한다.
또한, 상기 제1조명부에서 제3측벽 또는 제4측벽으로 조명을 조사하는 단계와, 상기 제3측벽 또는 제4측벽에서 반사된 이미지를 제1결상부에서 획득하는 단계와, 상기 제2조명부에서 제3측벽 또는 제4측벽으로 조명을 조사하는 단계와, 상기 제3측벽 또는 제4측벽에서 반사된 이미지를 제2결상부에서 획득하는 단계와, 상기 제1결상부와 제2결상부에서 획득한 이미지를 중첩하는 단계를 포함하는 두께 및 높이 측정방법을 제공한다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따르면, 두 쌍의 조명부와 결상부를 피검체의 상부에 배치하는 간단한 구성만으로 피검체의 두께 및 높이를 정확하게 측정할 수 있으며, 피검체가 라운드지게 형성되거나, 피검체가 직각방향으로 배치된 경우라도 피검체의 형상에 관계없이 한번 세팅된 장비를 이용하여 피검체의 두께 및 높이를 측정할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 두께 및 높이 측정장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면,
도 2는 제1조명부에서 조사된 빛이 피검체의 제3측벽에서 반사되어 제1결상부로 입사되는 모습을 보인 사시도,
도 3은 제2조명부에서 조사된 빛이 피검체의 제3측벽에서 반사되어 제2결상부로 입사되는 모습을 보인 사시도,
도 4는 제2조명부에서 조사된 빛이 피검체의 제1측벽에서 반사되어 제1결상부로 입사되는 모습을 보인 사시도,
도 5는 제1조명부에서 조사된 빛이 피검체의 제1측벽에서 반사되어 제2결상부로 입사되는 모습을 보인 사시도이다.
본 발명에 따른 두께 및 높이 측정장치 및 이를 이용한 측정방법은 x축 방향으로 상호 나란하게 배치되는 제1측벽과 제2측벽 및 상기 제1측벽과 제2측벽의 양측 단부를 연결하도록 y축 방향으로 배치되는 제3측벽 및 제4측벽을 포함하는 피검체의 두께 및 높이를 측정하기 위한 것으로, 그 일 실시예를 도 1 내지 도 5에 나타내 보였다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 두께 및 높이 측정장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 두께 및 높이 측정장치는 제1,2조명부(110,210)와 제1,2결상부(120,220)를 포함한다.
먼저, 상기 피검체(10)는 x축 방향으로 상호 나란하게 배치되는 제1측벽(11)과 제2측벽(12) 및 상기 제1측벽(11)과 제2측벽(12)의 양측 단부를 연결하도록 y축 방향으로 배치되는 제3측벽(13) 및 제4측벽(14)을 포함한다. 상기 피검체(10)는 직사각형의 평단면을 갖고, z축 방향으로 소정의 높이를 갖는다. 한편 상기 각각의 측벽(11,12,13,14)의 모서리는 라운드지게 형성될 수 있으며, 상기 피검체(10)는 휴대폰의 배면 케이스일 수 있다.
제1조명부(110)는 상기 피검체(10)의 일측 후방 상부에서 상기 피검체(10)를 향해 경사진 라인빔을 조사하고, 제2조명부(210)는 상기 피검체(10)의 타측 전방 상부에서 상기 피검체(10)를 향해 경사진 라인빔을 조사한다.
보다 상세하게는 상기 제1조명부(110)와 제2조명부(210)는 각각 상기 피검체(10)의 두께 및 높이의 측정이 진행되는 측정지점의 일측 후방의 상부와, 타측 전방의 상부에 배치될 수 있다.
또한, 제1결상부(120)는 상기 피검체(10)의 일측 전방 상부에 배치되고, 상기 제1조명부(110) 또는 제2조명부(210)에서 출력되고 상기 피검체(10)에서 반사된 이미지가 결상된다. 또한, 제2결상부(220)는 상기 피검체(10)의 타측 후방 상부에 배치되고, 상기 제1조명부(110) 또는 제2조명부(210)에서 출력되고 상기 피검체(10)에서 반사된 이미지가 결상된다.
보다 상세하게는 상기 제1결상부(120)와 제2결상부(220)는 각각 상기 피검체(10)의 두께 및 높이의 측정이 진행되는 측정지점을 기준으로 각각 일측 전방의 상부와, 타측 후방의 상부에 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 제1조명부(110)의 주축과 제2조명부(210)의 주축은 평면에서 바라볼 때 일직선을 이룬다. 또한, 상기 제1결상부(120)와 제2결상부(220)의 주축도 평면에서 바라볼 때 일직선을 이루고, 상기 조명부(110,210)의 주축과 결상부(120,220)의 주축은 평면에서 바라볼 때 서로 직교한다.
상기와 같이 구성된 제1,2조명부(110,210)와, 제1,2결상부(120,220)는 평면에서 바라볼 때 측정이 진행되는 어느 하나의 측벽(11,12,13,14)을 기준으로 'X'자를 이룬다.
상기 제1조명부(110)와 제2조명부(210)에서 출력된 슬릿빔은 측정지점에 동일선상을 이루도록 조사되며, 단지 조사되는 방향만 반대방향일 뿐이다. 또한, 상기 제1조명부(110)와 제2조명부(210)에서 출력된 슬릿빔은 어느 하나의 측벽(11,12,13,14)과도 나란하지 않고, 제1측벽(11)과 제3측벽(13) 또는 제1측벽(11)과 제4측벽(14)에 동시에 조사될 수 있도록 측벽(11,12,13,14)을 기준으로 일측 또는 타측으로 기울어진 형태를 취한다.
상기와 같이 피검체(10)에 일측 또는 타측으로 기울어진 슬릿빔이 조사될 경우, 도 1에 도시한 바와 같이 제1조명부(110)와 제2조명부(210)에서 조사되는 광축 및 결상부(120,220)의 주축을 변경하지 않아도, 피검체(10)를 이송하거나, 조명부(110,210) 및 결상부(120,220)를 측벽(11,12,13,14)을 따라 이송해가면서 제1측벽(11)과 제2측벽(12)은 물론 제3측벽(13)과 제4측벽(14)의 두께 및 높이를 측정할 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 상기 피검체(10)를 탑재하여 x축과 y축 방향으로 이송시키는 직선이송수단을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 상기 제1,2조명부(110,210)와 제1,2결상부(120,220)를 탑재하여 x축과 y축 방향으로 이송시키는 직선이송수단을 포함할 수 있다.
상기와 같은 직선이송수단의 작용으로 상기 피검체(10)와 제1,2조명부(110,210) 및 제1,2결상부(120,220)는 x축과 y축 방향으로 상대적인 직선이동을 하게 되고, 따라서, 상기 피검체(10)의 전영역에 대해 두께 및 높이를 측정할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 피검체(10)는 고정된 상태이고, 제1,2조명부(110,210) 및 제1,2결상부(120,220)는 x축과 y축 방향으로 직선이동하면서, 구간별로 피검체(10)의 두께 및 높이를 측정한다.
본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 상기 제1조명부(110)와 제2조명부(210) 및 제1결상부(120)와 제2결상부(220)는 각각 상기 피검체(10)를 향해 45도 경사지게 배치된다.
전술한 실시 예의 경우, 상기 제1조명부(110)의 주축과 제1결상부(120)의 주축은 수직 교차하며, 제2조명부(210)의 주축과 제2결상부(220)의 주축도 수직교차한다. 또한, 상기 제1조명부(110)의 주축과 제2결상부(220)의 주축도 수직 교차하고, 제2조명부(210)의 주축과 제1결상부(120)의 주축 역시 수직 교차한다.
또, 제1조명부(110)와 제2결상부(220)는 y축을 기준으로 대칭하고, 각각의 주축은 수직 교차하며, 제1결상부(120)와 제2조명부(210)는 y축을 기분으로 대칭하고, 각각의 주축은 수직 교차한다. 그리고, 제1조명부(110)와 제1결상부(120)는 x축을 기준으로 대칭하고, 각각의 주축은 수직 교차하며, 제2조명부(210)와 제2결상부(220)는 x축을 기분으로 대칭하고, 각각의 주축은 수직 교차한다.
전술한 바와 같이 상기 제1조명부(110)와 제2조명부(210) 및 제1결상부(120)와 제2결상부(220)는 각각 상기 피검체(10)를 향해 45도 경사지게 배치된다. 전술한 경우, 상기 라인빔은 측벽(11,12,13,14)을 기준으로 45도 경사지게 조사된다.
상기와 같은 본 발명의 일 실시 예에 따른 두께 및 높이 측정장치를 이용하여 피검체의 두께 및 높이 측정을 위한 이미지를 획득하는 과정을 설명하면 다음과 같다.
본 실시 예에서는, 먼저, 제3측벽(13) 또는 제4측벽(14)의 이미지를 복수 획득하고, 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)의 이미지를 복수 획득한다.
제3측벽(13) 또는 제4측벽(14)의 이미지 획득을 위해 조명부(110,210) 및 결상부(120,220)를 제3측벽(13) 또는 제4측벽(14)의 상부로 이송한다. 이후, 제1조명부(110)에서 경사진 슬릿빔을 제3측벽(13) 또는 제4측벽(14)으로 조사하고, 제1결상부(120)에서는 제3측벽(13) 또는 제4측벽(14)에서 반사된 이미지를 획득한다. 이후, 제2조명부(210)에서 제3측벽(13) 또는 제4측벽(14)으로 경사진 슬릿빔을 조사하고, 제2결상부(220)에서는 제3측벽(13) 또는 제4측벽(14)에서 반사된 이미지를 획득한다. 위와 같은 두 번의 이미지 획득 과정을 제3측벽(13) 또는 제4측벽(14)을 따라 조명부(110,210) 및 결상부(120,220)를 이송하면서 적어도 2번 이상 위치를 옮겨 가며 실시하여 제3측벽(13) 또는 제4측벽(14)의 두께 및 높이 측정을 위한 이미지를 획득한다.
또한, 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)의 이미지 획득을 위해 조명부(110,210) 및 결상부(120,220)를 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)의 상부로 이송한다. 이후, 제1조명부(110)에서 경사진 슬릿빔을 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)으로 조사하고, 제2결상부(220)에서는 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)에서 반사된 이미지를 획득한다. 이때, 상기 제1결상부(120)에서는 제1조명부(110)에서 조사되고 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)에서 반사된 이미지를 획득할 수 없기 때문에 제2결상부(220)에서 획득한다. 이후, 제2조명부(210)에서 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)으로 경사진 슬릿빔을 조사하고, 제1결상부(120)에서는 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)에서 반사된 이미지를 획득한다. 마찬가지로, 상기 제2결상부(220)에서는 제2조명부(210)에서 조사되고 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)에서 반사된 이미지를 획득할 수 없기 때문에 제1결상부(120)에서 획득한다. 위와 같은 두 번의 이미지 획득 과정을 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)을 따라 조명부(110,210) 및 결상부(120,220)를 이송하면서 적어도 2번 이상 위치를 옮겨 가며 실시하여 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)의 두께 및 높이 측정을 위한 이미지를 획득한다.
이하, 도 2 내지 도 5를 참조하여 전술한 다양한 실시예에 따른 두께 및 높이 측정장치를 이용한 두께 및 높이 측정방법에 대해 설명한다.
도 2는 제1조명부에서 조사된 빛이 피검체의 제3측벽에서 반사되어 제1결상부로 입사되는 모습을 보인 사시도이고, 도 3은 제2조명부에서 조사된 빛이 피검체의 제3측벽에서 반사되어 제2결상부로 입사되는 모습을 보인 사시도이며, 도 4는 제2조명부에서 조사된 빛이 피검체의 제1측벽에서 반사되어 제1결상부로 입사되는 모습을 보인 사시도이고, 도 5는 제1조명부에서 조사된 빛이 피검체의 제1측벽에서 반사되어 제2결상부로 입사되는 모습을 보인 사시도이다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 두께 및 높이 측정방법은 x축 방향으로 배치된 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)의 두께 및 높이를 측정하기 위한 것으로, 상기 제1조명부(110)에서 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)으로 조명을 조사하는 단계와, 상기 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)에서 반사된 이미지를 제2결상부(220)에서 획득하는 단계와, 상기 제2조명부(210)에서 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)으로 조명을 조사하는 단계와, 상기 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)에서 반사된 이미지를 제1결상부(120)에서 획득하는 단계와, 상기 제1결상부(120)와 제2결상부(220)에서 획득한 이미지를 중첩하는 단계를 포함한다.
이때, 상기 제1조명부(110)와 제2결상부(220)는 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)의 일측 상부에 배치되고, 제2조명부(210)와 제1결상부(120)는 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)의 타측 상부에 배치된다.
제1조명부(110)와 제1결상부(120)를 이용해서 획득한 이미지 또는 제2조명부(210)와 제2결상부(220)를 이용해서 획득한 이미지만으로는 피검체(10)의 두께 및 높이를 측정할 수 없다. 특히 피검체(10)의 모서리가 라운드지게 형성된 경우라면 더욱 그렇다.
따라서, 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)의 양측에 배치된 제1조명부(110)와 제2조명부(210)에 의해 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)의 양측에서 순차적으로 조명이 조사되고 양측으로 반사된 이미지를 양측에 배치된 제1결상부(120)와 제2결상부(220)에서 순차적으로 획득하여 두 장의 이미지를 중첩함으로써, 제1측벽(11) 또는 제2측벽(12)의 두께 및 높이를 측정할 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 두께 및 높이 측정방법은 y축 방향으로 배치된 제3측벽(13) 또는 제4측벽(14)의 두께 및 높이를 측정하기 위한 것으로, 상기 제1조명부(110)에서 제3측벽(13) 또는 제4측벽(14)으로 조명을 조사하는 단계와, 상기 제3측벽(13) 또는 제4측벽(14)에서 반사된 이미지를 제1결상부(120)에서 획득하는 단계와, 상기 제2조명부(210)에서 제3측벽(13) 또는 제4측벽(14)으로 조명을 조사하는 단계와, 상기 제3측벽(13) 또는 제4측벽(14)에서 반사된 이미지를 제2결상부(220)에서 획득하는 단계 및 상기 제1결상부(120)와 제2결상부(220)에서 획득한 이미지를 중첩하는 단계를 포함한다.
이때, 상기 제1조명부(110)와 제1결상부(120)는 제3측벽(13) 또는 제4측벽(14)의 일측 상부에 배치되고, 제2조명부(210)와 제2결상부(220)는 제3측벽(13) 또는 제4측벽(14)의 타측 상부에 배치된다.
제1조명부(110)와 제1결상부(120)를 이용해서 획득한 이미지 또는 제2조명부(210)와 제2결상부(220)를 이용해서 획득한 이미지만으로는 피검체(10)의 두께 및 높이를 측정할 수 없다. 특히 피검체(10)의 모서리가 라운드지게 형성된 경우라면 더욱 그렇다.
따라서, 제3측벽(13) 또는 제4측벽(14)의 양측에 배치된 제1조명부(110)와 제2조명부(210)에 의해 제3측벽(13) 또는 제4측벽(14)의 양측에서 순차적으로 조명이 조사되고 양측으로 반사된 이미지를 양측에 배치된 제1결상부(120)와 제2결상부(220)에서 순차적으로 획득하여 두 장의 이미지를 중첩함으로써, 피검체(10)의 두께 및 높이를 측정할 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따르면, 두 쌍의 조명부(110,210)와 결상부(120,220)를 피검체(10)의 상부에 배치하는 간단한 구성만으로 피검체(10)의 두께 및 높이를 정확하게 측정할 수 있으며, 피검체(10)가 라운드지게 형성되거나, 피검체(10)가 직각방향으로 배치된 경우라도 피검체(10)의 두께 및 높이를 측정할 수 있는 장점이 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
10 : 피검체
11 : 제1측벽
12 : 제2측벽
13 : 제3측벽
14 : 제4측벽
110 : 제1조명부
120 : 제1결상부
210 : 제2조명부
220 : 제2결상부

Claims (4)

  1. x축 방향으로 상호 나란하게 배치되는 제1측벽과 제2측벽 및 상기 제1측벽과 제2측벽의 양측 단부를 연결하도록 y축 방향으로 배치되는 제3측벽 및 제4측벽을 포함하여 피검체의 두께 및 높이를 측정하는 장치로서, 상기 피검체의 일측 후방 상부에서 상기 피검체를 향해 경사진 라인빔을 조사는 제1조명부와, 상기 피검체의 타측 전방 상부에서 상기 피검체를 향해 경사진 라인빔을 조사하는 제2조명부와, 상기 피검체의 일측 전방 상부에 배치되고, 상기 제1조명부 또는 제2조명부에서 출력되고 상기 피검체에서 반사된 이미지가 결상되는 제1결상부와, 상기 피검체의 타측 후방 상부에 배치되고, 상기 제1조명부 또는 제2조명부에서 출력되고 상기 피검체에서 반사된 이미지가 결상되는 제2결상부;를 포함하는 장치를 이용한 피검체의 두께 및 높이 측정 방법에 있어서,
    상기 제1조명부에서 제1측벽 또는 제2측벽으로 조명을 조사하는 단계;
    상기 제1측벽 또는 제2측벽에서 반사된 이미지를 제2결상부에서 획득하는 단계;
    상기 제2조명부에서 제1측벽 또는 제2측벽으로 조명을 조사하는 단계;
    상기 제1측벽 또는 제2측벽에서 반사된 이미지를 제1결상부에서 획득하는 단계; 및
    상기 제1결상부와 제2결상부에서 획득한 이미지를 중첩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 및 높이 측정방법.
  2. x축 방향으로 상호 나란하게 배치되는 제1측벽과 제2측벽 및 상기 제1측벽과 제2측벽의 양측 단부를 연결하도록 y축 방향으로 배치되는 제3측벽 및 제4측벽을 포함하여 피검체의 두께 및 높이를 측정하는 장치로서, 상기 피검체의 일측 후방 상부에서 상기 피검체를 향해 경사진 라인빔을 조사는 제1조명부와, 상기 피검체의 타측 전방 상부에서 상기 피검체를 향해 경사진 라인빔을 조사하는 제2조명부와, 상기 피검체의 일측 전방 상부에 배치되고, 상기 제1조명부 또는 제2조명부에서 출력되고 상기 피검체에서 반사된 이미지가 결상되는 제1결상부와, 상기 피검체의 타측 후방 상부에 배치되고, 상기 제1조명부 또는 제2조명부에서 출력되고 상기 피검체에서 반사된 이미지가 결상되는 제2결상부;를 포함하는 장치를 이용한 피검체의 두께 및 높이 측정 방법에 있어서,
    상기 제1조명부에서 제3측벽 또는 제4측벽으로 조명을 조사하는 단계;
    상기 제3측벽 또는 제4측벽에서 반사된 이미지를 제1결상부에서 획득하는 단계;
    상기 제2조명부에서 제3측벽 또는 제4측벽으로 조명을 조사하는 단계;
    상기 제3측벽 또는 제4측벽에서 반사된 이미지를 제2결상부에서 획득하는 단계; 및
    상기 제1결상부와 제2결상부에서 획득한 이미지를 중첩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 및 높이 측정방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1조명부와 제2조명부 및 제1결상부와 제2결상부는 각각 상기 피검체를 향해 45도 경사지게 배치된 것을 특징으로 하는 두께 및 높이 측정방법.
  4. 삭제
KR1020150031935A 2015-03-06 2015-03-06 두께 및 높이 측정장치 및 이를 이용한 측정방법 KR101645279B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150031935A KR101645279B1 (ko) 2015-03-06 2015-03-06 두께 및 높이 측정장치 및 이를 이용한 측정방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150031935A KR101645279B1 (ko) 2015-03-06 2015-03-06 두께 및 높이 측정장치 및 이를 이용한 측정방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101645279B1 true KR101645279B1 (ko) 2016-08-04

Family

ID=56709546

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150031935A KR101645279B1 (ko) 2015-03-06 2015-03-06 두께 및 높이 측정장치 및 이를 이용한 측정방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101645279B1 (ko)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06241014A (ja) * 1993-02-15 1994-08-30 Suzuki Motor Corp エンジンのオイル戻し通路
JP3678870B2 (ja) * 1997-03-21 2005-08-03 大日本印刷株式会社 スリットタイプのシャドウマスクの検査装置および検査方法
KR20090091157A (ko) 2006-12-07 2009-08-26 에섹 에스에이 높이 차이를 측정하기 위한 방법 및 장치
KR20110125906A (ko) * 2010-05-14 2011-11-22 주식회사 힘스 레티클 검사장치
KR20130130565A (ko) * 2012-05-22 2013-12-02 주식회사 고영테크놀러지 3차원 형상 측정장치

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06241014A (ja) * 1993-02-15 1994-08-30 Suzuki Motor Corp エンジンのオイル戻し通路
JP3678870B2 (ja) * 1997-03-21 2005-08-03 大日本印刷株式会社 スリットタイプのシャドウマスクの検査装置および検査方法
KR20090091157A (ko) 2006-12-07 2009-08-26 에섹 에스에이 높이 차이를 측정하기 위한 방법 및 장치
KR20110125906A (ko) * 2010-05-14 2011-11-22 주식회사 힘스 레티클 검사장치
KR20130130565A (ko) * 2012-05-22 2013-12-02 주식회사 고영테크놀러지 3차원 형상 측정장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101273094B1 (ko) 광삼각법을 이용한 3차원 형상 측정기를 사용하여 pcb 범프 높이 측정 방법
CN108362220A (zh) 用于印制线路板的三维形貌测量及缺陷检测的方法
US10841561B2 (en) Apparatus and method for three-dimensional inspection
US20090123060A1 (en) inspection system
JP6382074B2 (ja) 外観検査装置、外観検査システム、及び外観検査方法
US9594028B2 (en) Method and apparatus for determining coplanarity in integrated circuit packages
TW201315965A (zh) 發光二極體元件的三維視覺檢查方法及三維視覺檢查裝置
JP2009145072A (ja) 測定方法及び検査方法並びに測定装置及び検査装置
KR101875467B1 (ko) 3차원 형상 측정 장치 및 측정 방법
KR20110016770A (ko) 3차원 형상 측정장치
JP4864734B2 (ja) 光変位センサー及びそれを用いた変位測定装置
KR101645279B1 (ko) 두께 및 높이 측정장치 및 이를 이용한 측정방법
KR20180053125A (ko) 3차원 형상 측정 장치 및 측정 방법
US10715790B2 (en) System and method for lead foot angle inspection using multiview stereo vision
KR101833055B1 (ko) 3차원 측정 장치
JP2015081894A (ja) 表面形状測定装置及び表面形状測定方法
TWI645158B (zh) 三維量測裝置
JP2006349351A (ja) 3次元微細形状測定方法
KR101846949B1 (ko) 다중 광학계를 이용한 복합 검사장치
TW201502465A (zh) 使用機器視覺測量窄下凹特徵部之方法
CN110296666B (zh) 三维量测器件
US11906289B2 (en) Triangulation-based optical profilometry system
JP3645340B2 (ja) フラットパッケージのピン曲がりの検出装置
JPS62291512A (ja) 距離測定装置
KR20230126751A (ko) 다파장 조명광을 이용한 미니 엘이디 3차원 측정 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right