KR101643386B1 - substrate loading and unloading apparatus for auto optical inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 자동광학 검사장비용 기판 공급 및 취출장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 바스켓에 수납된 기판의 검사가 이루어지도록 기판을 검사장비로 공급함과 동시에 검사가 완료된 기판을 바스켓에 개수거하는 자동광학 검사장비용 기판 공급 및 취출장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and a method for supplying and removing substrates to and from an automatic optical inspection facility, and more particularly, to an automatic optical inspection apparatus for supplying a substrate to an inspection apparatus such that an inspection of a substrate accommodated in the basket is performed, And to an apparatus for supplying and removing substrates for inspection sites.
일반적으로, 인쇄회로판(이하, PCB; Printed Circuit Board)과 같이, 플렉시블하면서 크기가 작고, 회로의 집적도가 높은 보드인 경우에 한정된 크기의 보드에 회로가 설계되기 때문에 PCB에 형성된 회로의 구조가 매우 복잡하고 선폭이 매우 가늘게 형성된다.In general, since a circuit is designed on a board having a limited size, such as a printed circuit board (hereinafter, referred to as a PCB), which is flexible, small in size, and highly integrated in a circuit, And the line width is formed to be very thin.
따라서, PCB에 부품 소자를 장착하기 전에 PCB에 형성된 패턴의 이상유무를 일일이 확인할 필요가 있기 때문에 PCB 제조 업체에서 제조된 모든 PCB는 이상 유무를 확인한 후에 이상이 없는 보드만 선별하여 이동통신단말기 제조회사에 납품되는 것이 일반적이다.Therefore, it is necessary to confirm the abnormality of the pattern formed on the PCB before mounting the component element on the PCB. Therefore, after checking the abnormality of all the PCBs manufactured by the PCB manufacturer, .
상기와 같이 PCB에 형성된 패턴의 이상 유무를 확인하기 위하여 광학적으로 PCB를 시험하는 장치인 광학검사장비(AOI;Automated Optical Inspection)에 투입해야 하는데, 검사 대상인 PCB의 수가 매우 많기 때문에 이를 수작업으로 처리하기에는 작업 효율성이 크게 떨어지는 문제점을 안고 있다.In order to check whether there is an abnormality in the pattern formed on the PCB as described above, it is necessary to input it into the optical inspection equipment (AOI: Automated Optical Inspection) which optically tests the PCB. Since the number of PCBs to be inspected is very large, There is a problem that the efficiency of the operation is greatly reduced.
또한, 작은 크기의 정밀 전자기기에 사용되는 PCB는 그 두께가 0.06~0.1mm 정도로 매우 얇게 이루어져 있기 때문에 시험을 위하여 이동하면서 파손될 위험이 매우 높았다.In addition, since PCBs used in small-sized precision electronic devices are very thin with a thickness of 0.06 to 0.1 mm, there is a high risk of being broken while moving for testing.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 개발된 장치가 AOI 자동공급취출기( Loader/Unloader)이다.To solve these problems, the developed device is an AOI automatic feeder / unloader.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판이 바스켓의 지정된 위치에 안정적이면서도 정확하게 삽입되게 하고, 바스켓에 낱장의 기판만 삽입되어 수납되는 기판간의 간격을 보다 더 조밀하게 설정할 수 있도록 한 목적 및 바스켓을 공급하고 취출하는 바스켓 공급-취출부를 하나의 라인에 형성하고, 검사가 완료된 기판이 취출된 제자리로 재수납되어 공급부와 취출부의 통합 운용이 가능하고, 장치의 설치면적이 절반 이상 감소될 수 있으며, 바스켓의 운용 수량 또한 절반 이상 감소될 수 있도록 하는 자동광학 검사장비용 기판 공급 및 취출장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a method of inserting a substrate stably and accurately at a specified position of a basket, And a basket supply / take-out unit for feeding and discharging the basket is formed in one line, and the substrate on which inspection is completed is re-housed in the taken-out position, so that the combined operation of the supply unit and the take- And an object of the present invention is to provide an automatic optical inspection station cost substrate supply and dispensing apparatus which can reduce the area by more than half and reduce the operation amount of the basket by more than half.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 복수의 기판이 수직방향으로 세워져 수납된 바스켓을 연달아 탑재하여 전후방향으로 이송시키는 제1이송수단과, 상기 제1이송수단의 상부로 출몰하면서 이송중인 바스켓을 고정시키는 제1고정수단이 형성된 바스켓 공급-취출부와, 상기 바스켓에 수납된 기판의 양측 상단을 파지하는 파지수단과, 상기 파지수단을 상부 및/또는 하부로 이송하는 승강수단이 형성된 기판승강부와, 상기 파지수단에 클램핑된 기판의 양측 상단과 하단에 고정되는 제2고정수단과, 상기 제2고정수단을 전후방향으로 회전시켜 상기 기판을 수평방향으로 눕히는 제1회전수단과, 상기 제2고정수단을 좌우방향으로 이송시키는 제2이송수단이 형성된 기판회전부와, 상기 수평방향으로 눕혀진 기판이 탑재되는 테이블과, 상기 기판을 플로팅하는 부양수단과, 상기 플로팅된 기판을 전후좌우 방향으로 가압하여 정렬하는 푸셔를 형성하는 기판정렬부와, 상기 테이블상의 정렬된 기판의 양측을 적어도 2곳 이상 흡착하는 제1흡착수단과, 상기 제1흡착수단을 검사장비의 검사대로 이송하는 제3이송수단을 형성하는 기판공급부와, 상기 검사장비에서 검사가 완료된 기판의 양측을 적어도 2곳 이상 흡착하는 제2흡착수단과, 상기 제2흡착수단을 상기 기판정렬부의 테이블로 이송하는 제4이송수단을 형성하는 기판 취출부를 포함하되, 상기 기판회전부는, 상기 제2고정수단으로 상기 테이블에 탑재된 기판의 양측 상단과 하단을 고정한 뒤 상기 제1회전수단을 이용하여 기판을 수직상태로 세우고, 상기 기판승강부는 파지수단으로 상기 수직상태로 세워진 기판의 양측상단을 클램핑하고, 상기 승강수단을 이용하여 클램핑된 기판을 상기 바스켓으로 재공급하며, 상기 바스켓의 양측 상단에 상부에서 하부로 간격이 좁아지도록 형성된 슬릿이 상호 마주보게 배치된 한쌍의 가이드수단을 통해 상기 기판의 양측단부를 가이드하면서 검사가 완료된 기판을 바스켓에 삽입하는 자동광학 검사장비용 기판 공급 및 취출장치룰 제공한다.In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a means for solving the above-mentioned problems, comprising: a first conveying means for horizontally conveying a plurality of substrates erected vertically, A first holding means for holding a basket to be conveyed while moving up and down on a first conveying means; a gripping means for gripping both upper ends of the board housed in the basket; A second fixing means fixed to the upper and lower ends of both sides of the substrate clamped by the holding means, and a second fixing means for holding the substrate horizontally by rotating the second fixing means in the forward and backward directions, And a second conveying means for conveying the second fixing means in the left-right direction are formed, and a second rotating means for rotating the second rotating means in the horizontal direction A substrate aligning portion for forming a pusher for pressing and aligning the floated substrate in the front and rear left and right directions; and a substrate aligning portion for aligning both sides of the aligned substrate on the table A substrate feeding part for forming a first conveying device for conveying the first suction device to the inspection table of the inspection equipment and a second conveying device for conveying the first suction device to the inspection table of the inspection equipment; And a substrate take-out unit that forms a fourth transfer means for transferring the second sucking means to the table of the substrate aligning portion, wherein the substrate rotating portion is mounted on the table by the second securing means Wherein the first and second rotating means are used to hold the substrate in a vertical position, A pair of upper and lower slits spaced apart from each other at upper ends of both sides of the basket are arranged opposite to each other, And the inspection substrate is inserted into the basket while guiding both side ends of the substrate through guide means of the optical inspection unit.
상기한 바와 같은 본 발명에 따르면, 기판이 바스켓의 지정된 위치에 안정적이면서도 정확하게 삽입되게 하고, 바스켓에 낱장의 기판만 삽입되어 수납되는 기판간의 간격을 보다 더 조밀하게 설정할 수 있도록 한 목적 및 바스켓을 공급하고 취출하는 바스켓 공급-취출부를 하나의 라인에 형성하고, 검사가 완료된 기판이 취출된 제자리로 재수납되어 공급부와 취출부의 통합 운용이 가능하고, 장치의 설치면적이 절반 이상 감소될 수 있으며, 바스켓의 운용 수량 또한 절반 이상 감소될 수 있는 효과가 있다.According to the present invention as described above, a substrate can be stably and accurately inserted into a specified position of a basket, and a basket and a basket can be provided with a purpose of being able to more densely set a gap between substrates to which a single substrate is inserted, Out port is formed in one line, and the substrate on which the inspection is completed is re-housed in the taken-out position, so that the combined operation of the supply unit and the take-out unit can be performed, the installation area of the apparatus can be reduced by half or more, The number of operation of the apparatus can be reduced by more than half.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 자동광학 검사장비용 기판 공급 및 취출장치의 사시도,
도 2는 도 1에 있어서, 기판승강부가 바스켓에 수납된 기판을 취출하는 상태를 보인 사시도,
도 3은 도 2에 있어서, 기판 회전부가 기판승강부의 기판을 전달받는 상태를 보인 사시도,
도 4는 도 3에 있어서, 기판회전부가 기판을 수평으로 눕혀지게 회전하는 상태를 보인 사시도,
도 5는 도 4에 있어서, 기판회전부가 기판정렬부에 기판을 탑재시킨 상태를 보인 사시도,
도 6은 도 5에 있어서, 기판공급부가 기판정렬부의 기판을 검사장비의 검사대로 공급하는 상태를 보인 사시도,
도 7은 기판취출부가 검사장비의 검사대에 위치한 검사가 완료된 기판을 기판정렬부로 취출하는 상태를 보인 사시도,
도 8은 바스켓 공급-취출부를 통해 바스켓이 공급되는 상태를 보인 단면도,
도 9는 도 8에 있어서, 바스켓이 스토퍼에 고정된 상태를 보인 단면도,
도 10은 도 9에 있어서, 바스켓 승강수단이 상승하면서 바스켓이 상승된 상태를 보인 단면도,
도 11은 기판정렬부가 승강 및 회전하는 상태를 보인 단면도,
도 12는 기판정렬부에 탑재된 기판이 부양된 상태를 보인 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of a substrate supplying and taking-out apparatus for an automatic optical inspection facility according to an embodiment of the present invention;
Fig. 2 is a perspective view of the substrate lifting unit shown in Fig. 1, showing a state in which the substrate accommodated in the basket is taken out;
FIG. 3 is a perspective view of the substrate rotating unit in FIG. 2,
FIG. 4 is a perspective view of the substrate rotating unit shown in FIG. 3,
FIG. 5 is a perspective view of the substrate rotating unit shown in FIG. 4,
FIG. 6 is a perspective view showing a state in which the substrate supply unit supplies the substrate of the substrate alignment unit to the inspection table of the inspection equipment,
FIG. 7 is a perspective view showing a state in which a substrate having been inspected is taken out to a substrate aligning portion,
8 is a sectional view showing a state in which a basket is supplied through a basket supply /
Fig. 9 is a sectional view of the basket shown in Fig. 8,
FIG. 10 is a sectional view showing the basket lifted up by the basket lifting means in FIG. 9,
11 is a cross-sectional view showing a state in which the substrate aligning portion is raised and lowered,
12 is a cross-sectional view showing a state where a substrate mounted on the substrate alignment unit is floated.
본 발명에 따른 자동광학 검사장비용 기판 공급 및 취출장치는, 기판의 검사가 이루어지도록 기판을 검사장비로 공급함과 동시에 검사가 완료된 기판을 수거하는 것으로, 그 일 실시예를 도 1 내지 도 7에 나타내 보였다. The apparatus for supplying and taking out substrates for an optical inspection facility according to the present invention supplies a substrate to an inspection equipment so as to inspect the substrate and simultaneously collects the inspected substrates. It looked.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 자동광학 검사장비용 기판 공급 및 취출장치의 사시도이다.1 is a perspective view of an apparatus for supplying and removing a substrate for an automatic optical inspection facility according to an embodiment of the present invention.
본 발명은 자동광학 검사장비의 검사대(30)에 기판(10,10')을 로딩 또는 언로딩하기 위한 기판 공급 및 취출장치로서, 바스켓 공급-취출부(100)와, 기판승강부(200)와, 기판회전부(300)와, 기판정렬부(400)와, 기판공급부(500)와, 기판취출부(600)와, 가이드수단(700)을 포함한다. The present invention relates to a substrate supplying and taking out apparatus for loading or unloading
먼저, 바스켓 공급-취출부(100)는 복수의 기판(10)이 수직방향으로 세워져 수납된 바스켓(20)을 연달아 탑재하여 전후방향으로 직선 이송시키는 컨베이어와 같은 제1이송수단(110)과, 상기 제1이송수단(110)의 상부로 출몰하면서 이송중인 바스켓(20)이 이동하지 않도록 고정시키는 제1고정수단(120)이 형성되어, 검사가 진행될 기판(10)이 수납된 바스켓(20)을 기판승강부(200)로 공급하고, 기판(10)의 검사가 진행되는 동안 바스켓(20)을 기판승강부(200)의 하부에 머물게 하였다가, 검사가 완료된 기판(10')이 바스켓(20)에 수납되면, 바스켓(20)을 외부로 취출한다. First, the basket supply / take-
기판승강부(200)는 상기 바스켓(20)에 수납된 기판(10) 및 바스켓(20)에 수납될 검사가 완료된 기판(10')의 양측 상단을 파지하는 파지수단(210)과, 상기 파지수단(210)을 상부 및/또는 하부로 이송하는 승강수단(220)이 형성되어, 바스켓(20)에서 기판(10)을 빼낸다. The
또한, 상기 기판승강부(200)는 파지수단(210)으로 상기 기판회전부(300)에 수직상태로 세워진 검사가 완료된 기판(10')의 양측상단을 클램핑하고, 상기 승강수단(220)을 이용하여 클램핑된 기판(10')을 상기 바스켓(20)으로 재공급할 수 있다.The
기판회전부(300)는 상기 파지수단(210)에 클램핑된 기판(10)의 양측 상단과 하단에 고정되는 제2고정수단(310)과, 상기 제2고정수단(310)을 전후방향으로 회전시켜 상기 수직방향으로 세워진 상태의 기판(10)을 수평방향으로 눕히는 제1회전수단(320)과, 상기 제2고정수단(310)을 좌우방향으로 이송시키는 제2이송수단(330)이 형성되어, 상기 기판승강부(200)의 기판(10)을 전달받아 수평방향으로 눕히고 기판정렬부(400)로 이송시킨다.The
또한, 상기 기판회전부(300)는 상기 제2고정수단(310)으로 상기 테이블(410)에 탑재된 검사가 완료된 기판(10')의 양측 상단과 하단을 고정하고 기판승강부(200)로 이송한 뒤, 상기 제1회전수단(320)을 이용하여 기판(10')을 수직상태로 세워, 기판승강부(200)로 공급한다.The
기판정렬부(400)는 상기 수평방향으로 눕혀진 기판(10)이 탑재되는 테이블(410)과, 상기 기판(10)을 플로팅하는 부양수단(420)과, 상기 플로팅된 기판(10)을 전후좌우 방향으로 가압하여 정렬하는 푸셔(430)를 형성한다.The
상기 기판정렬부(400)는, 상기 기판회전부(300) 또는 후술되는 기판취출부(600)를 통해 테이블(410)에 탑재된 기판(10,10')을 상기 부양수단(420)을 이용해서 플로팅시키고, 테이블(410)과 비접촉 상태로 부양된 기판(10,10')을 상기 푸셔(430)를 이용해서 전후좌우 방향으로 가압하여 정렬한다.The
본 발명의 경우 도 12에 도시된 바와 같이 기판(10,10')이 테이블(410)과 비접촉되게 부양된 상태에서 푸셔(430)의 가압이 이루어져 기판(10,10')의 손상이 발생하지 않고, 기판(10,10')을 전후좌우 방향으로 가압하기 때문에 기판(10,10')의 정렬이 전후좌우방향으로 모두 이루어질 수 있다.12, the pressing of the
기판공급부(500)는 상기 테이블(410)에 정렬된 기판(10)의 양측을 적어도 2곳 이상 흡착하는 제1흡착수단(510)과, 상기 제1흡착수단(510)을 검사장비의 검사대(30)로 이송하는 제3이송수단(520)을 형성한다.The
또한, 기판 취출부(600)는 상기 기판공급부(500)와 나란하게 형성되어, 상기 검사장비에서 검사가 완료된 기판(10')의 양측을 적어도 2곳 이상 흡착하는 제2흡착수단(610)과, 상기 제2흡착수단(610)을 상기 기판정렬부(400)의 테이블(410)로 이송하는 제4이송수단(620)을 형성한다.The substrate take-out unit 600 includes a
상기 기판공급부(500) 및 기판취출부(600)는 기판(10,10')을 흡착하기 위한 진공모듈을 포함할 수 있고, 기판(10,10')을 승강시키는 승강수단을 포함할 수 있다.The
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 바스켓(20)의 양측 상단에 상부에서 하부로 간격이 좁아지도록 형성된 슬릿(710)이 상호 마주보게 배치된 한쌍의 가이드수단(700)을 통해 상기 기판(10')의 양측단부를 가이드하면서 검사가 완료된 기판(10')을 바스켓(20)에 삽입한다.According to an embodiment of the present invention, slits 710 formed to be spaced from top to bottom at both upper ends of the
상기와 같은 가이드수단(700)은 바스켓(20)에 삽입되지 않고, 기판(10')만 삽입되게 가이드만 해줄 수 있다. 상기 가이드수단(700)의 작용으로 바스켓(20)의 홈부에 기판(10)을 직선으로 안내하면서 삽입할 수 있어, 기판(10)이 바스켓(20)의 정해진 위치로 안정적이면서도 정확하게 삽입될 수 있다. The guide means 700 may be inserted into the
또한, 슬릿(710)의 상부가 간격이 넓게 형성되고 하부는 좁게 형성되기 때문에 기판(10)의 진입이 용이하고 진입된 기판(10)은 바스켓(20)의 홈부로 정확하게 안내될 수 있다.Since the upper portion of the slit 710 is formed to be wide and the lower portion is narrowly formed, the
이하, 이해를 돕기 위해 상기와 같이 구성된 장치를 이용한 기판의 로딩 및 언로딩 과정을 도면의 순서대로 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the process of loading and unloading the substrate using the apparatus configured as described above will be described in the order of the following drawings.
먼저, 도 1과 같이 검사가 진행될 기판(10)이 탑재된 바스켓(20)이 제1이송수단(110)에 탑재되어 기판승강부(200)의 하부로 이송된다. 이때, 제1고정수단(120)의 작용으로 바스켓(20)은 기판승강부(200)의 하부에 고정된 상태이다.First, as shown in FIG. 1, a
이후, 도 2와 같이 기판승강부(200)가 바스켓(20)의 기판(10)의 양측 상단을 파지하고 상부로 취출한다. 이어서, 도 3과 같이 기판회전부(300)가 기판(10)의 양측 상단과 하단을 파지한 후 도 4와 같이 전후방향으로 회전시켜 세워진 상태의 기판(10)을 수평방향으로 눕히고, 기판 정렬부(400)의 테이블(410)로 이송한다. 이후, 도 5와 같이 기판정렬부(400)에서 기판(10)을 플로팅 상태에서 전후좌우 방향으로 가압하여 정렬이 이루어지고, 도 6과 같이 기판 공급부(500)가 하강하여 테이블(410)에 정렬된 기판(10)의 양측을 흡착하고 상승한 뒤 검사장비의 검사대(30)로 기판(10)을 공급한다. Subsequently, as shown in FIG. 2, the
이후, 검사장비에서 검사가 완료된 기판(10')은 도 7과 같이 기판취출부(600)를 통해 기판정렬부(400)의 테이블(410)로 이송되고, 기판회전부(300)는 테이블(410)에 탑재된 기판(10')의 양측 상단과 하단을 고정한 뒤 기판(10')을 기판승강부(200)로 이송시키고 수직방향으로 세운다. 이어서, 기판 승강부(200)는 수직상태로 세워진 기판(10')의 양측상단을 클램핑하고 가이드수단(700)의 안내를 받으며 기판(10')을 바스켓(20)에 재공급한다.Subsequently, the substrate 10 'inspected in the inspection equipment is transferred to the table 410 of the
도 8은 바스켓 공급-취출부를 통해 바스켓이 공급되는 상태를 보인 단면도이고, 도 9는 도 8에 있어서, 바스켓이 스토퍼에 고정된 상태를 보인 단면도이며, 도 10은 도 9에 있어서, 바스켓 승강수단이 상승하면서 바스켓이 상승된 상태를 보인 단면도이다.8 is a cross-sectional view showing a state in which a basket is fed through a basket feed-out portion, FIG. 9 is a cross-sectional view showing a state in which a basket is fixed to a stopper in FIG. 8, and FIG. 10 is a cross- Is a cross-sectional view showing the basket in an elevated state.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 바스켓 공급-취출부(100)의 제1고정수단(120)은, 상기 제1이송수단(110)의 상부로 출몰하면서 바스켓(20)의 이동을 단속하는 스토퍼(121)와, 상단에 상기 바스켓(20)의 전면과 하면과 후면의 중심부를 지지하는 받침대(122)가 형성되고 상기 제1이송수단(110) 사이에서 상기 제1이송수단(110)과 비접촉 승강하면서 상기 바스켓(20)을 승강시키는 바스켓 승강수단(123)과, 상기 바스켓(20)의 양측면을 클램핑하는 클램핑수단(124)과, 상기 승강수단(123) 및 클램핑수단(124)을 피치(pitch)단위로 전진 또는 후진시키는 피치이송수단(125)을 포함하여, 상기 바스켓(20)의 기판(10)이 검사를 위해 취출되었다가 검사가 완료되면 제자리로 삽입되게 한다.According to an embodiment of the present invention, the first fixing means 120 of the basket supply-take-out
따라서, 도 8과 같이 제1이송수단(110)에 탑재된 바스켓(20)이 기판승강부(200)의 하부로 진입하면 도 9와 같이 스토퍼(121)가 상승하여 바스켓(20)의 이동을 막는다. 이후, 도 10에 도시한 바와 같이 승강수단(123)이 상승하면서 받침대(122)가 바스켓(20)을 들어올리고 피치이송수단(125)에 의해 바스켓(20)은 피치(pitch)단위로 전진 또는 후진을 반복한다. 8, when the
일례로, 상기 피치이송수단(125)은 상기 기판승강부(200)에 의해 n번째 기판(10)이 취출되면, 검사가 완료된 n-1번째 기판(10')이 삽입되게 단위 거리(pitch)만큼 후진하고, n+1번째 기판(10)이 취출되게 단위 거리(pitch)의 두배만큼 전진하는 동작을 반복한다.For example, when the n-
즉, 바스켓(20)의 첫번째 기판(10)이 취출되면, 두번째 기판이 취출되게 피치이송수단(125)은 단위거리만큼 전진한다. 이후, 두번째 기판이 취출되면 검사가 완료된 기판(10')이 재삽입되게 피치이송수단(125)은 단위거리만큼 후진한다. 이후, 세번째 기판이 취출되게 피치이송수단(125)은 단위거리의 두배만큼 전진하고, 검사가 완료된 두번째 기판이 재삽입되게 단위거리만큼 후진한다. 이러한 과정을 반복하다가 마지막 기판이 검사가 완료된 후 재삽입되면 승강수단(123)이 하강하면서 바스켓(20)은 제1이송수단(110)에 탑재되고, 스토퍼(121)가 하강하면서 제1이송수단(110)에 의해 외부로 취출된다.That is, when the
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 기판승강부(200)는, 바스켓(20)에 수납된 기판(10)의 정렬방향에 따라 파지수단(210)에 클램핑된 기판(10)을 일측으로 180도 회전시키고, 상기 기판회전부(300)로부터 전달받은 검사 완료된 기판(10')을 초기위치로 -180도 회전시키는 제2회전수단(230)을 포함한다. According to an embodiment of the present invention, the
즉, 바스켓(20)에 수납된 기판(10)의 검사면이 전방을 향하는지 후방을 향하는지 여부에 따라 기판승강부(200)는 바스켓(20)에서 취출된 기판(10)을 180도 반전회전시킬 수 있다. 또한, 취출된 기판(10)이 반전회전된 경우, 검사가 완료된 기판(10')을 바스켓(20)에 넣을 때에도 -180도 반전회전시킨 후 바스켓(20)에 재공급할 수 있다.That is, depending on whether the inspection surface of the
도 11은 기판정렬부의 단면도이고, 도 12는 도 11에 있어서, 테이블에 탑재된 기판이 부양된 상태를 보인 단면도이다.11 is a cross-sectional view of the substrate aligning portion, and FIG. 12 is a cross-sectional view showing the substrate mounted on the table in a floating state in FIG.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 기판정렬부(400)는, 검사대(30)에 공급되는 기판(10)의 배치 방향에 맞춰 상기 테이블(410)의 상부로 출몰하면서 상기 기판(10)을 일측으로 90도 회전시키고, 상기 기판취출부(600)를 통해 테이블(410)에 탑재된 검사 완료된 기판(10')을 초기위치로 -90도 회전시키는 제3회전수단(440)을 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the
즉, 도 11에 도시된 바와 같이 검사장비의 검사대(30)에 기판(10)이 어떤 방향으로 탑재되는지 여부에 따라 제3회전수단(440)은 테이블(410)에서 출몰하면서 탑재된 기판(10)을 90도 회전시킬 수 있다. 또한, 검사가 완료된 기판(10')은 -90도 회전시킨 후 기판회전부(300)로 전달할 수 있다. 11, depending on whether the
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 기판회전부(300)의 제2고정수단(310)은 기판(10)의 양측 상단과 양측 하단을 파지하는 파지수단으로 구비되고, 상기 기판정렬부(400)의 테이블(410)에는 상기 제2고정수단(310)이 수용되게 내측으로 오목하게 형성된 삽입홈(450)이 형성된다. 따라서, 테이블(410)에 형성된 삽입홈(450)에 제2고정수단(310)을 끼워 테이블(410)에 접하도록 탑재된 상태의 기판(10')을 용이하게 파지할 수 있고, 기판(10)을 테이블(410)에 용이하게 탑재시킬 수도 있어 테이블(410)에 기판(10)을 탑재하는 작업 및 테이블(410)의 기판(10')을 파지하는 작업이 용이하게 진행될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the
본 발명은 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the scope of the invention.
따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.Accordingly, the true scope of protection of the present invention should be determined only by the appended claims.
10,10' : 기판 20 : 바스켓
100 : 바스켓 공급-취출부 110 : 제1이송수단
120 : 제1고정수단 121 : 스토퍼
122 : 받침대 123 : 바스켓 승강수단
124 : 클램핑수단 125 : 피치이송수단
200 : 기판승강부 210 : 파지수단
220 : 승강수단 230 : 제2회전수단
300 : 기판회전부 310 : 제2고정수단
320 : 제1회전수단 330 : 제2이송수단
400 : 기판정렬부 410 : 테이블
420 : 부양수단 430 : 푸셔
440 : 제3회전수단 450 : 삽입홈
500 : 기판공급부 510 : 제1흡착수단
520 : 제3이송수단 600 : 기판취출부
610 : 제2흡착수단 620 : 제4이송수단10, 10 ': substrate 20: basket
100: basket feed-out portion 110: first feeding means
120: first fixing means 121: stopper
122: pedestal 123: basket lifting means
124: clamping means 125: pitch transfer means
200: substrate elevating part 210: holding means
220: elevating means 230: second rotating means
300: substrate rotating part 310: second fixing means
320: first rotating means 330: second conveying means
400: substrate alignment unit 410: table
420: lifting means 430: pusher
440: third rotating means 450: insertion groove
500: substrate supply unit 510: first adsorption means
520: Third conveying means 600: Substrate take-
610: second suction means 620: fourth transfer means
Claims (7)
상기 바스켓에 수납된 기판의 양측 상단을 파지하는 파지수단과, 상기 파지수단을 상부 및/또는 하부로 이송하는 승강수단이 형성된 기판승강부;
상기 파지수단에 클램핑된 기판의 양측 상단과 하단에 고정되는 제2고정수단과, 상기 제2고정수단을 전후방향으로 회전시켜 상기 기판을 수평방향으로 눕히는 제1회전수단과, 상기 제2고정수단을 좌우방향으로 이송시키는 제2이송수단이 형성된 기판회전부;
상기 수평방향으로 눕혀진 기판이 탑재되는 테이블과, 상기 기판을 플로팅하는 부양수단과, 상기 플로팅된 기판을 전후좌우 방향으로 가압하여 정렬하는 푸셔를 형성하는 기판정렬부;
상기 테이블상의 정렬된 기판의 양측을 적어도 2곳 이상 흡착하는 제1흡착수단과, 상기 제1흡착수단을 검사장비의 검사대로 이송하는 제3이송수단을 형성하는 기판공급부;
상기 검사장비에서 검사가 완료된 기판의 양측을 적어도 2곳 이상 흡착하는 제2흡착수단과, 상기 제2흡착수단을 상기 기판정렬부의 테이블로 이송하는 제4이송수단을 형성하는 기판 취출부를 포함하되,
상기 기판회전부는, 상기 제2고정수단으로 상기 테이블에 탑재된 기판의 양측 상단과 하단을 고정한 뒤 상기 제1회전수단을 이용하여 기판을 수직상태로 세우고,
상기 기판승강부는 파지수단으로 상기 수직상태로 세워진 기판의 양측상단을 클램핑하고, 상기 승강수단을 이용하여 클램핑된 기판을 상기 바스켓으로 재공급하며,
상기 바스켓의 양측 상단에 상부에서 하부로 간격이 좁아지도록 형성된 슬릿이 상호 마주보게 배치된 한쌍의 가이드수단을 통해 상기 기판의 양측단부를 가이드하면서 검사가 완료된 기판을 바스켓에 삽입하는 것을 특징으로 하는 자동광학 검사장비용 기판 공급 및 취출장치.
A first conveying means for conveying a plurality of substrates erected in a vertical direction and carrying therein the stored basket successively to transport them in the anteroposterior direction and a basket securing means for securing a basket to be conveyed while moving up and down above the first conveying means, - take-out part;
A grasping means for grasping upper ends on both sides of the substrate housed in the basket; a substrate elevating portion having elevating means for grasping the grasping means up and / or down;
Second fixing means fixed to upper and lower ends of both sides of the substrate clamped by the holding means, first rotating means for rotating the second fixing means in the forward and backward directions to lay the substrate in the horizontal direction, A second rotating means for rotating the substrate rotating means;
A table on which the horizontally laid substrate is mounted; a lifting means for floating the substrate; a substrate aligning unit for forming a pusher for pressing and aligning the floating substrate in the longitudinal and lateral directions;
A first suction unit for sucking at least two sides of the aligned substrate on the table and a third transfer unit for transferring the first suction unit to the inspection unit of the inspection equipment;
A second sucking means for sucking at least two sides of the substrate on which the inspection is completed in the inspection equipment and a fourth transporting means for transporting the second sucking means to the table of the substrate sorting unit,
The substrate rotating unit may be configured such that the upper and lower ends of the substrate mounted on the table are fixed by the second fixing unit, the substrate is vertically set using the first rotating unit,
Wherein the substrate lifting unit clamps both upper ends of the vertically standing substrate by the holding means and supplies the clamped substrate to the basket by using the elevating means,
Wherein the basket is inserted into the basket while guiding both side ends of the substrate through a pair of guide means disposed opposite to each other such that the slits formed so as to narrow the interval from the upper portion to the lower portion on both upper ends of the basket, Optical inspection station cost board supply and takeout device.
바스켓 공급-취출부의 제1고정수단은, 상기 제1이송수단의 상부로 출몰하면서 바스켓의 이동을 단속하는 스토퍼와, 상단에 상기 바스켓의 전면과 하면과 후면의 중심부를 지지하는 받침대가 형성되고 상기 제1이송수단 사이에서 상기 제1이송수단과 비접촉 승강하면서 상기 바스켓을 승강시키는 바스켓 승강수단과, 상기 바스켓의 양측면을 클램핑하는 클램핑수단과, 상기 승강수단 및 클램핑수단을 피치(pitch)단위로 전진 또는 후진시키는 피치이송수단을 포함하여, 상기 바스켓의 기판이 검사를 위해 취출되었다가 검사가 완료되면 제자리로 삽입되게 하는 자동광학 검사장비용 기판 공급 및 취출장치.
The method according to claim 1,
The first fixing means of the basket feeding-taking-out portion includes a stopper for controlling the movement of the basket while protruding and retreating to the upper portion of the first feeding means, and a pedestal for supporting the front, bottom, and rear central portions of the basket, A basket lifting and lowering means for lifting and lowering the basket between the first feeding means and the first feeding means, a clamping means for clamping both sides of the basket, and a lifting means for moving the lifting means and the clamping means forward Wherein the basket of the basket is taken out for inspection and then inserted into the recess when the inspection is completed.
상기 기판승강부는, 바스켓에 수납된 기판의 정렬방향에 따라 파지수단에 클램핑된 기판을 일측으로 180도 회전시키고, 상기 기판회전부로부터 전달받은 검사 완료된 기판을 초기위치로 -180도 회전시키는 제2회전수단을 포함하는 자동광학 검사장비용 기판 공급 및 취출장치.
The method according to claim 1,
Wherein the substrate elevating portion rotates the substrate clamped by the holding means 180 degrees to one side in accordance with the alignment direction of the substrate accommodated in the basket and rotates the inspected substrate transferred from the substrate rotating portion to a second rotation And an automatic optical inspection station cost substrate feed and take-out device.
상기 기판정렬부는, 검사대에 공급되는 기판의 배치 방향에 맞춰 상기 테이블의 상부로 출몰하면서 상기 기판을 일측으로 90도 회전시키고, 상기 기판취출부를 통해 테이블에 탑재된 검사 완료된 기판을 초기위치로 -90도 회전시키는 제3회전수단을 포함하는 자동광학 검사장비용 기판 공급 및 취출장치.
The method according to claim 1,
The substrate aligning portion rotates the substrate 90 degrees to one side while moving up and down to the top of the table in accordance with the arrangement direction of the substrate supplied to the inspection table, and inspects the inspected substrate mounted on the table through the substrate take- And a third rotating means for rotating the first optical system.
상기 기판정렬부는, 상기 기판취출부를 통해 테이블에 탑재된 검사 완료된 기판을 상기 부양수단을 이용해서 플로팅시키고, 상기 푸셔를 이용해서 전후좌우 방향으로 가압하여 정렬하는 것을 특징으로 하는 자동광학 검사장비용 기판 공급 및 취출장치.
The method according to claim 1,
Wherein the substrate alignment unit floats the inspected substrate mounted on the table through the substrate take-out unit using the lifting means and presses the substrates in the front, rear, left, and right directions using the pusher, And a takeout device.
상기 기판회전부의 제2고정수단은 기판의 양측 상단과 양측 하단을 파지하는 파지수단으로 구비되고, 상기 기판정렬부의 테이블에는 상기 제2고정수단이 수용되게 내측으로 오목하게 형성된 삽입홈이 형성된 자동광학 검사장비용 기판 공급 및 취출장치.
The method according to claim 1,
Wherein the second fixing means of the substrate rotating portion is provided with gripping means for gripping both upper and lower ends of the substrate, and the table of the substrate aligning portion is provided with an automatic optical Inspection station cost Substrate supply and extraction device.
상기 바스켓 공급-취출부는 상기 기판승강부에 의해 n번째 기판이 취출되면, 검사가 완료된 n-1번째 기판이 삽입되게 단위 거리(pitch)만큼 후진하고, n+1번째 기판이 취출되게 단위 거리(pitch)의 두배만큼 전진하는 동작을 반복하는 것을 특징으로 자동광학 검사장비용 기판 공급 및 취출장치.
The method according to claim 1,
When the n-th substrate is taken out by the substrate lifting unit, the basket supply / take-out unit moves backward by a unit distance so as to insert the (n-1) pitch of the substrate to be inspected is repeated twice.
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WO2018092960A1 (en) * | 2016-11-21 | 2018-05-24 | 주식회사 수에코신소재 | Jig apparatus for automatic insertion and extraction |
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