KR101639154B1 - Apparatus for laser direct image process of module case - Google Patents

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KR101639154B1 KR1020150035199A KR20150035199A KR101639154B1 KR 101639154 B1 KR101639154 B1 KR 101639154B1 KR 1020150035199 A KR1020150035199 A KR 1020150035199A KR 20150035199 A KR20150035199 A KR 20150035199A KR 101639154 B1 KR101639154 B1 KR 101639154B1
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최현호
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Abstract

The present invention relates to a laser module box for a LDI exposure device comprising: a case which is placed on a profile configured in a main body; and a cassette which is withdrawn a certain height away from the case and in which is installed a circuit board of a laser module or other components, wherein, by providing a laser module box which enables the cassette of a particular portion to be withdrawn a certain height away to enable maintenance work when maintenance of the laser module is required, the efficiency of the maintenance work may be improved. For this purpose, the present invention comprises: at least one case (110) placed on a profile configured in a main body (2) and configured so as to be open on both ends; a cassette having a circuit board of a laser module in an LDI exposure device fixed to the inside and configured to be withdrawn a certain height away from the case (110) to enable convenient maintenance of the circuit board; and a cover (130) which covers both open ends of the case (110).

Description

LDI 노광장치의 레이저모듈박스{APPARATUS FOR LASER DIRECT IMAGE PROCESS OF MODULE CASE}Technical Field [0001] The present invention relates to a laser module box for an LDI exposure apparatus,

본 발명은 LDI 노광장치의 레이저모듈박스에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 본체에 구성되는 프로파일 상에 안착되는 케이스와, 상기 케이스에서 일정높이 인출되고 내측에 레이저모듈의 회로기판 또는 기타 부품들이 장착되는 카세트로 구성되어, 레이저모듈의 유지보수작업이 요할 경우 특정부분의 카세트를 일정높이 인출시켜 유지보수작업이 가능하도록 하는 레이저모듈박스를 제공함으로써, 유지보수작업의 효율성이 향상되도록 하는 LDI 노광장치의 레이저모듈박스에 관한 것이다.
The present invention relates to a laser module box of an LDI exposure apparatus, and more particularly, to a laser module box of an LDI exposure apparatus, which comprises a case which is seated on a profile formed on a main body, A laser module box is provided which is capable of performing a maintenance operation by drawing a cassette of a specific portion at a certain height when maintenance work of the laser module is required, To a laser module box.

일반적으로, 인쇄회로기판(Printed Circuit Board, PCB)은 여러 전자제품 소자들을 일정한 틀에 따라 간편하게 연결시켜 주는 역할을 하며, 디지털 TV, 유,무선 전화기 등의 가전제품부터 첨단 통신기기까지 모든 전자제품에 광범위하게 사용되는 부품이다. 또한 용도에 따라 범용 PCB, 모듈용 PCB, 패키지용 PCB 등으로 분류된다.In general, a printed circuit board (PCB) is a device that easily connects various electronic devices according to a certain frame, and is used for all electronic products, such as digital TVs, wired and wireless telephones, Is a widely used component. Also, it can be divided into general purpose PCB, module PCB, and package PCB depending on the application.

즉, 회로기판은 페놀수지 절연판 또는 에폭시수지 절연판 등의 일측면에 구리 등의 박판을 부착시킨 다음 회로의 배선패턴에 따라 식각(선상의 회로만 남기고 부식시켜서 제거하는 공정)하여 필요한 회로를 구성하고, 부품들을 부착, 탑재시키기 위한 구멍을 뚫어 형성한 것으로서, 배선 회로면의 수에 따라 단면기판, 양면기판, 다층기판 등으로 분류되며 층수가 많을수록 부품의 실장력이 우수하여 고정밀 제품에 채용된다. 최근에는 전자산업의 발전으로 초박판의 인쇄회로기판(0.04 ~ 0.2mm)이 널리 사용되고 있다. 양면에 회로를 형성시키고 스루홀(through hole)을 통하여 상호 연결시킨 양면기판 또는 이를 양면뿐만 아니라 복수의 층으로 확대시킨 다층기판의 사용이 증가하고 있다.That is, the circuit board is formed by attaching a thin plate of copper or the like to one side of a phenol resin insulating plate or an epoxy resin insulating plate or the like and then etching (a step of etching and leaving only a circuit on the line) , Double-sided boards, multi-layer boards and the like depending on the number of wiring circuit surfaces. The higher the number of layers, the better the mounting force of components and the higher the precision of the products. In recent years, ultra-thin printed circuit boards (0.04 to 0.2 mm) have been widely used in the electronics industry. There has been an increase in the use of a double-sided substrate in which circuits are formed on both sides and interconnected through holes, or a multi-layer substrate on which both sides thereof are expanded as well as a plurality of layers.

현재 인쇄회로기판을 제작하는데에는 사진전사에 의해 패턴을 형성하는 사진공정(photo lithography)이 범용적으로 사용되고 있다. 특히, 배선밀도의 고밀도화에 대응 가능한 세미어디티브법이 많이 사용되고 있다. 상기 세미어디티브법을 이용한 인쇄회로기판의 제조방법은, 시드층 형성공정, 전처리 공정, 드라이 필름(dry film)적층공정, 노광공정, 현상공정, 전해 동 도금공정, 드라이필름 박리공정, 플레쉬 에칭(flash etching)공정으로 이루어진다. 이 중 노광공정은 아트워크 필름을 사용하여 회로패턴을 형성하기 때문에, 아트워크 필름이 손상되기 쉽고 수정이 어려운 단점이 있다. 이에 따라, 포토마스크를 사용하지 않고 레이저 다이오드(laser diode)를 광원으로 사용하여 기판 위의 피노광층을 직접 노광하는 레이저 다이렉트 이미징(Laser Direct Imaging, LDI) 노광장치가 제공되고 있다.Currently, photo lithography, which forms a pattern by photographic transfer, has been widely used for manufacturing a printed circuit board. Particularly, a semi-analytical method capable of coping with high density of wiring density is widely used. The method for manufacturing a printed circuit board using the semimaritive method includes a seed layer forming step, a pre-treatment step, a dry film laminating step, an exposure step, a development step, an electrolytic copper plating step, a dry film peeling step, (flash etching) process. Among them, since the circuit pattern is formed by using the artwork film, the artwork film is liable to be damaged and its correction is difficult. Accordingly, there is provided a laser direct imaging (LDI) exposure apparatus for directly exposing a layer to be exposed on a substrate using a laser diode as a light source without using a photomask.

즉, PCB, Rigid, FPCB 패턴을 인쇄하기 위하여 UV광을 필름 마스크에 통과하여 원하는 패턴을 형성하였으나, 최근에는 UV광을 UV레이저로 대체하여, 이 레이저를 직접 필름 위에 조사함으로써, 필름 마스크가 불필요하고 신속하게 필름보다 더욱 정밀한 패턴을 쉽게 형성하도록 하는 LDI 노광장치가 사용되고 있다.That is, in order to print the PCB, Rigid, and FPCB patterns, UV light is passed through a film mask to form a desired pattern. Recently, by replacing UV light with a UV laser and irradiating the laser directly onto the film, And an LDI exposure apparatus which makes it possible to quickly form a more precise pattern than a film is used.

또한, LDI 노광장치는, 레이저 광원을 폴리곤미러를 통해 스캔하여 이미지를 형성하거나 또는 DMD(Digital Micro Device) 칩을 사용하는 방식을 채택하고 있다.In addition, the LDI exposure apparatus adopts a method of forming an image by scanning a laser light source through a polygon mirror or using a DMD (Digital Micro Device) chip.

한편, 상기 레이저광원을 패턴에 맞춰 조사하기 위해 다발의 광섬유를 고정하는 어레이 블록이 사용된다.On the other hand, an array block for fixing a bundle of optical fibers to irradiate the laser light source to the pattern is used.

상기 어레이 블록은 실리콘재질로서, 고유 습식 식각 공정을 통해서 제작되며, 광섬유와 광소자 간의 광결합을 위한 광부품으로 PLC(planar lightwave circuit) 소자 패키징, 광스위치 및 스플리터, 다중화기 등에 널리 사용되고 있다.The array block is made of silicon and is manufactured through an intrinsic wet etching process and is widely used for PLC (planar lightwave circuit) device packaging, optical switch, splitter, and multiplexer as an optical component for optical coupling between an optical fiber and an optical device.

또한, 상기 어레이 블록은 입력단 및 출력단에 광섬유를 안정되게 접속시키기 위해서 이용되며, 단심광섬유 또는 다심광섬유 리본의 단부 외피가 제거된 각각의 광섬유들을 V-그루브(groove)에 정렬시키고 에폭시 등의 접착제로 고정시킨다.The array block is used for stably connecting an optical fiber to an input end and an output end, and each optical fiber from which the end shell of the single-core optical fiber or the multi-core optical fiber ribbon is removed is aligned in a V- groove, .

또한, 상기 어레이 블록의 제조공정은, 1. 실리콘이나 석영, 유리 등의 재질로 만들어진 광섬유 고정기판(110)의 상부면에 형성되며, 폭, 두께 및 간격이 일정한 광섬유 고정부(130), 즉, 다수의 V-그루브에 광섬유열을 안착시킨다. 이때, 광섬유열은 리본 광섬유 일부의 피복을 제거하여 얻어지는 것이 일반적이다.The array block is fabricated by: 1. forming an optical fiber fixing part 130, which is formed on the upper surface of the optical fiber fixing board 110 made of a material such as silicon, quartz, glass or the like and has a constant width, , And seats the optical fiber heat in a plurality of V-grooves. At this time, the optical fiber heat is generally obtained by removing the coating of a part of the ribbon optical fiber.

2. 폭, 두께 및 간격이 일정한 다수의 V-그루브의 상부면에 글래스(120)를 덮는다. 상기 글래스는 상기 광섬유열을 고정하며, 외부 환경으로부터 상기 광섬유열을 보호하는 역할을 한다.2. The glass 120 is covered on the upper surface of a plurality of V-grooves having a constant width, thickness and spacing. The glass fixes the optical fiber heat and protects the optical fiber heat from the external environment.

3. 에폭시 수지와 같은 접착제를 이용하여 블록, 광섬유열 및 글래스를 고정한다.3. Block, fiber optic heat and glass are fixed with adhesive such as epoxy resin.

4. 상기 어레이 블록의 단면을 폴리싱한다.4. Polishing the cross section of the array block.

종래의 LDI 노광장치를 살펴보면, 도 1에 도시된 바와 같이, 다채널의 레이저를 발생하는 레이저발생수단(10)과, 상기 레이저발생수단(10)으로부터 다채널의 레이저를 수광하여 레이저의 균일성이 유지되도록 하는 광섬유수단(20)과, 상기 광섬유수단(20)으로부터 수광되는 다채널의 레이저를 피노광층인 기판(1)에 조사하는 레이저조사수단(30)과, 상기 레이저조사수단(30)을 이동시켜 기판(1)에 회로패턴이 형성되도록 구동시키는 구동수단(40), 및 상기한 각 구성을 제어하는 제어부(50)로 구성된다.As shown in FIG. 1, a conventional LDI exposure apparatus is provided with a laser generating means 10 for generating a multi-channel laser beam, a laser beam generating means 10 for receiving multi-channel laser beams from the laser generating means 10, A laser irradiating means 30 for irradiating a multi-channel laser beam received from the optical fiber means 20 onto a substrate 1 to be a target layer; (40) for moving the substrate (1) to form a circuit pattern on the substrate (1), and a control unit (50) for controlling each of the above configurations.

또한, 상기 광섬유수단(20)에는 다채널의 광섬유들 및 레이저 출력을 제어하는 제어부들을 포함하는 레이저모듈이 장착된 다수의 모듈박스가 구성된다.In addition, the optical fiber unit 20 includes a plurality of module boxes each having a laser module including multi-channel optical fibers and control units for controlling laser output.

그러나, 종래의 레이저모듈박스가 LDI 노광장치에 고정식으로 구성되어 있음으로써, 어느 하나의 광섬유를 교체하고자 할 경우 전체의 레이저모듈박스를 해체하여야 하는 사용의 불편성을 가지는 문제점이 있다.
However, since the conventional laser module box is fixedly mounted on the LDI exposure apparatus, there is a problem in that it is inconvenient to dismantle the entire laser module box when one optical fiber is exchanged.

대한민국 공개특허공보 제2002-95866호(2002.12.28. 공개)Korean Patent Publication No. 2002-95866 (published on December 28, 2002) 대한민국 공개특허공보 제2004-48581호(2004.06.10. 공개)Korean Patent Publication No. 2004-48581 (published on Jun. 10, 2004)

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 제안하는 것으로서, 본 발명의 목적은, 본체에 구성되는 프로파일 상에 안착되는 케이스와, 상기 케이스에서 일정높이 인출되고 내측에 레이저모듈의 회로기판 또는 기타 부품들이 장착되는 카세트로 구성되어, 레이저모듈의 유지보수작업이 요할 경우 특정부분의 카세트를 일정높이 인출시켜 유지보수작업이 가능하도록 하는 레이저모듈박스를 제공함으로써, 유지보수작업의 효율성이 향상되도록 하는 LDI 노광장치의 레이저모듈박스를 제공하는 데 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a laser module which is mounted on a profile formed on a main body and a circuit board or other parts of the laser module which are drawn out at a certain height from the case, And a laser module box which is made of a cassette and which allows the maintenance work to be carried out by withdrawing a cassette of a specific portion to a certain height when the maintenance work of the laser module is required is provided so that the efficiency of the maintenance work can be improved. And to provide a laser module box.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 본체에 구성되는 프로파일 상에 안착되고 양단이 개방되도록 구성되는 적어도 하나 이상의 케이스와; 내측에 LDI 노광장치의 레이저모듈의 회로기판이 고정되고 상기 케이스에서 일정높이 인출되도록 구성되어 상기 회로기판의 용이한 유지보수작업이 가능하도록 하는 카세트; 및 상기 케이스의 개방된 양단을 덮도록 하는 덮개;를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an electronic device comprising: at least one case seated on a profile formed in a main body and configured to open at both ends; A cassette for fixing the circuit board of the laser module of the LDI exposure apparatus to the inside of the case and drawing out a predetermined height from the case to enable easy maintenance of the circuit board; And a lid to cover both open ends of the case.

본 발명에 있어서, 케이스의 양측에는, 일정길이를 가지어, 한 조의 프로파일 각각의 측면 외주에 밀착됨에 따라 안정적인 안착이 유지되도록 하는 걸림편;을 포함하는 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that both sides of the case have a predetermined length, and the retaining piece is provided so as to maintain stable seating as it is in close contact with the outer periphery of each side of the pair of profiles.

본 발명에 있어서, 프로파일은 일정깊이를 가지는 삽입홈이 형성되고; 상기 케이스의 걸림편에는 제2체결공이 형성되며; 상기 프로파일의 삽입홈에 삽입되는 압착편이 구성되어; 상기 삽입홈에 압착편을 삽입하고, 상기 프로파일에 안착된 케이스의 걸림편에 형성된 제2체결공을 통해 체결볼트를 삽입시켜 상기 압착편이 체결됨에 따라 상기 걸림편와 압착편의 상호 압착력에 의해 상기 프로파일에 케이스가 확고하게 고정;되도록 하는 것이 바람직하다.In the present invention, the profile is formed with an insertion groove having a predetermined depth; A second fastening hole is formed in the fastening piece of the case; A pressing piece inserted into the insertion groove of the profile is formed; And the fastening bolt is inserted through the second fastening hole formed in the fastening piece of the case which is seated in the profile, so that the fastening piece and the pressing piece are fastened to each other by the pressing force, It is desirable to ensure that the case is firmly fixed.

본 발명에 있어서, 케이스에 안내공이 형성되고 상기 안내공의 하방에 제1체결공이 형성되며; 상기 카세트는 상기 안내공에 안내되고, 하단에 상기 케이스의 내측으로 삽입되는 제2걸림편이 형성되어; 상기 케이스에 카세트를 삽입시켜 상기 제1체결공을 통해 체결볼트를 삽입시켜 상기 제2걸림편을 체결시켜 고정하고; 유지보수작업을 요할 경우에는 체결볼트를 풀어 상기 카세트가 상기 케이스의 안내공을 따라 일정높이 인출;되도록 구성하는 것이 바람직하다.
In the present invention, a guide hole is formed in the case and a first fastening hole is formed below the guide hole; The cassette is guided by the guide hole and the second latching piece is inserted into the case at the lower end thereof; Inserting a cassette into the case and inserting a fastening bolt through the first fastening hole to fasten and fix the second fastening piece; When the maintenance work is required, it is preferable that the fastening bolt is loosened so that the cassette is drawn out to a certain height along the guide hole of the case.

본 발명에 의하면, 본체에 구성되는 프로파일 상에 안착되는 케이스와, 상기 케이스에서 일정높이 인출되고 내측에 레이저모듈의 회로기판 또는 기타 부품들이 장착되는 카세트로 구성되어, 레이저모듈의 유지보수작업이 요할 경우 특정부분의 카세트를 일정높이 인출시켜 유지보수작업이 가능하도록 하는 레이저모듈 보관박스를 제공함으로써, 유지보수작업의 효율성이 향상되도록 하는 효과가 있다.
According to the present invention, there is provided a laser module, comprising: a case which is seated on a profile formed on a main body; and a cassette which is drawn out at a certain height from the case and on which a circuit board or other parts of the laser module are mounted. There is an effect that the efficiency of the maintenance work can be improved by providing the laser module storage box that allows the maintenance work to be performed by withdrawing the cassette of a specific portion to a certain height.

도 1은 일반적인 LDI 노광장치의 개략적인 도면.
도 2는 본 발명에 따른 LDI 노광장치의 개략적인 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 LDI 노광장치의 개략적인 측면도.
도 4는 본 발명에 따른 모듈박스의 개략적인 분리 사시도.
도 5는 본 발명에 따른 모듈박스의 개략적인 설치상태 단면도로서,
5a는 케이스에 카세트가 결합된 상태이고, 5b는 케이스에서 카세트가 일정길이 인출된 상태이다.
1 is a schematic view of a general LDI exposure apparatus;
2 is a schematic perspective view of an LDI exposure apparatus according to the present invention;
3 is a schematic side view of an LDI exposure apparatus according to the present invention.
4 is a schematic exploded perspective view of a module box according to the present invention;
5 is a schematic sectional view of the module box according to the present invention,
5a is a state in which the cassette is coupled to the case, and 5b is a state in which the cassette is drawn out by a certain length from the case.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다(종래와 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다).DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings (the same reference numerals are used for the same components as the conventional ones, and a detailed description thereof will be omitted).

본 발명의 레이저모듈박스(100)는 LDI 노광장치의 본체(2) 내에 구성된 프로파일(200) 상에 장착되어 레이저의 출력 등을 제어하는 회로기판 및 광섬유 등이 장착됨으로써, 안정적으로 레이저의 조사가 원활하게 이루어지도록 제어하는 수단이다.The laser module box 100 of the present invention is mounted on the profile 200 constructed in the main body 2 of the LDI exposure apparatus and mounted with a circuit board and an optical fiber for controlling the output of the laser etc., It is a means for controlling to be performed smoothly.

상기 레이저모듈박스(100)는 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 케이스(110)와, 상기 케이스(110)의 상단에서 인출가능하게 구성되는 카세트(120), 및 상기 케이스(110)의 양단을 마감하는 덮개(130)로 구성된다.2 to 5, the laser module box 100 includes a case 110, a cassette 120 configured to be pulled out from the upper end of the case 110, And a cover 130 closing both ends.

상기 케이스(110)는 본체(2)에 구성되는 프로파일(200)에 안착되어 내측에 수납 또는 구성되는 레이저출력회로 또는 단자들을 보호하는 수단이다.The case 110 is a means for protecting a laser output circuit or terminals that are seated in the profile 200 formed in the main body 2 and housed or configured inside.

상기 케이스(110)는 사각 테두리를 형성하면서 양단이 개방된 형상이다. 이 경우, 상기 케이스(110)의 양단 개방된 개구에 덮개(130)가 체결수단에 의해 결합 또는 분리되도록 구성된다. 이에 따라, 상기 덮개(130)를 상기 케이스(110)에서 분리시켜 상기 케이스(110)의 내측을 개방시킴으로써, 보수 또는 세척 등의 작업등을 수행할 수 있다.The case 110 has a rectangular rim and both ends open. In this case, the lid 130 is configured to be coupled or separated by the fastening means to the openings of both ends of the case 110. Accordingly, by separating the lid 130 from the case 110 and opening the inside of the case 110, it is possible to perform work such as repair or washing.

또한, 상기 케이스(110)에는 카세트(120)의 인출을 안내하는 안내공(112)이 형성된다. 상기 안내공(112)은 상기 케이스(110)의 상단과 상기 상단의 양 측면에서 일정길이를 가지는 위치에 공간이 형성된다. 이에 따라, 상기 안내공(112)에 상기 카세트(120)가 삽입되어 지지된다.Further, a guide hole 112 for guiding the draw of the cassette 120 is formed in the case 110. A space is formed in the guide hole 112 at a position having a predetermined length on both sides of the upper end of the case 110 and the upper end. Accordingly, the cassette 120 is inserted into and supported by the guide hole 112.

또한, 상기 케이스(110)의 양 측면에는 상기 안내공(112)으로 수납된 카세트(120)를 체결수단에 의해 고정되도록 하는 제1체결공(113)이 형성된다.In addition, on both sides of the case 110, a first fastening hole 113 is formed for fastening the cassette 120 received in the guide hole 112 by fastening means.

또한, 상기 케이스(110)의 하단에는 본체(2)의 프로파일(200)에 안착된 상태를 지지하는 걸림편(114)이 구성된다.A hook 114 is formed at the lower end of the case 110 to support the state of the main body 2 in the profile 200.

또한, 상기 걸림편(114)은 체결볼트(117)가 삽입되는 제2체결공(115)이 형성된다.The engaging piece 114 is formed with a second fastening hole 115 into which the fastening bolt 117 is inserted.

이는, 상기 케이스(110)를 프로파일(200)의 상단에 안착시키면, 상기 케이스(110)의 양측면에 형성된 걸림편(114)이 상기 프로파일(200)의 외주 측면에 안착됨으로써, 상기 프로파일(200)의 상단에 상기 케이스(110)가 안착된 상태를 유지한다.When the case 110 is placed on the upper end of the profile 200, the engaging pieces 114 formed on both sides of the case 110 are seated on the outer circumferential side of the profile 200, So that the case 110 is seated on the upper end of the case 110.

또한, 상기 케이스(110)는 상기 프로파일(200)에 안정적으로 고정된 상태를 유지할 수 있도록 상기 프로파일(200)에 삽입되는 압착편(116)이 구성된다.In addition, the case 110 is formed with a compression piece 116 to be inserted into the profile 200 so that the case 200 can be stably fixed to the profile 200.

이 경우, 상기 프로파일(200)에는 상, 하, 좌, 우에 일정깊이를 가지는 삽입홈(202)이 형성된다. 상기 삽입홈(202)은 'T'형 임이 바람직하다.In this case, the profile 200 has insertion grooves 202 having a predetermined depth in the upper, lower, left, and right directions. The insertion groove 202 preferably has a T shape.

즉, 상기 프로파일(200)의 상단에 케이스(110)를 안착하고, 상기 프로파일(200)의 삽입홈(202)에 압착편(116)을 삽입한 후, 상기 케이스(110)의 걸림편(114)에 형성된 제2체결공(115)을 통해 체결볼트(117)를 삽입시켜 상기 압착편(116)을 체결하면, 상기 체결볼트(117)의 체결력에 의해 상기 프로파일(200)의 삽입홈(202) 사이에 걸림편(114) 및 압착편(116)이 상호 압착됨으로써, 상기 프로파일(200)에 케이스(110)가 안정적으로 고정된 상태를 유지한다.That is, after the case 110 is seated on the upper end of the profile 200 and the pressing piece 116 is inserted into the insertion groove 202 of the profile 200, The fastening bolt 117 is inserted through the second fastening hole 115 formed in the lower end of the fastening bolt 117 and the fastening bolt 117 is fastened to the insertion groove 202 The engaging piece 114 and the pressing piece 116 are pressed against each other so that the case 110 is stably fixed to the profile 200.

또한, 상기 케이스(110)에는 상기 카세트(120)의 승강을 안내하는 가이드레일(118)이 구성된다. 상기 가이드레일(118)은 찬넬형상으로 형성되나, 이에 한정하는 것은 아니다. 또한, 상기 카세트(120)의 일단에는 상기 가이드레일(118)에 원활하게 승강되는 것을 지지하도록 바퀴등이 구성될 수도 있다.In addition, the case 110 has a guide rail 118 for guiding the lifting and lowering of the cassette 120. The guide rail 118 is formed in a channel shape, but is not limited thereto. Further, a wheel or the like may be formed at one end of the cassette 120 to support the guide rails 118 smoothly lifted and lowered.

이 경우, 상기 가이드레일(118)은 상기 케이스(110)의 내부 일측에 구성됨이 바람직하나, 이에 한정하는 것은 아니며, 상기 카세트(120)의 승강을 안내할 수 있는 위치이면 어느 곳이든 사용 가능하다. 예컨대, 상기 덮개(130)의 일측에 구성할 수도 있다.In this case, the guide rails 118 may be disposed on one side of the case 110, but the present invention is not limited thereto, and any position can be used as long as it can guide the lifting and lowering of the cassette 120 . For example, on one side of the lid 130.

상기 카세트(120)는 내측에 회로기판 등이 고정되어 있고, 상기 케이스(110)에 일정길이 인출될 수 있도록 고정됨으로써, 상기 카세트(120)를 케이스(110)에서 일정길이 인출시켜 회로기판의 유지보수가 용이하게 이루어진다.A circuit board or the like is fixed to the inside of the cassette 120 and is fixed to the case 110 so as to be drawn out to a predetermined length so that the cassette 120 is drawn out from the case 110 by a predetermined length, Maintenance is easily performed.

상기 카세트(120)의 상단에는 인출이 용이하도록 손잡이(122)가 구성된다.A handle 122 is formed at the upper end of the cassette 120 to facilitate drawing.

또한, 상기 카세트(120)의 하단에는 상기 케이스(110)의 안내공(112)에 안내된 후 상기 케이스(110)의 내측에 위치되는 제2걸림편(124)이 형성된다.A second latching piece 124 is formed at the lower end of the cassette 120 and is positioned inside the case 110 after being guided by the guide hole 112 of the case 110.

즉, 상기 카세트(120)를 케이스(110)의 안내공(112)을 따라 삽입하면, 상기 카세트(120)의 하단에 구성된 제2걸림편(124)이 상기 케이스(110)의 내측에 위치되고, 이후 상기 케이스(110)의 제1체결공(113)을 통해 체결볼트를 삽입시켜 상기 제2걸림편(124)을 체결함으로써, 상기 케이스(110)에 카세트(120)가 안정적으로 고정된다.That is, when the cassette 120 is inserted along the guide hole 112 of the case 110, the second latching piece 124 formed at the lower end of the cassette 120 is positioned inside the case 110 The cassette 120 is stably fixed to the case 110 by inserting the fastening bolt through the first fastening hole 113 of the case 110 and fastening the second fastening piece 124.

상기와 같이 구성된 LDI 노광장치의 레이저모듈박스의 조립 및 사용상태를 살펴보면 다음과 같다.The assembly and use of the laser module box of the LDI exposure apparatus configured as described above will be described below.

먼저, 레이저모듈을 구성되는 회로기판을 카세트(120)의 내측에 고정한다.First, the circuit board constituting the laser module is fixed to the inside of the cassette 120.

이어서, 상기 카세트(120)를 케이스(110)의 안내공(112)을 따라 안내시켜 위치시킨 후, 상기 케이스(110)의 제1체결공(113)을 통해 체결볼트를 삽입시킨 후 상기 케이스(110)의 내측에 구비되는 카세트(120)의 제2걸림편(124)을 체결시킴으로써, 상기 케이스(110)에 카세트(120)가 안정적으로 고정된 상태를 유지한다.After the cassette 120 is guided along the guide hole 112 of the case 110 and the fastening bolt is inserted through the first fastening hole 113 of the case 110, The cassette 120 is stably fixed to the case 110 by fastening the second latching piece 124 of the cassette 120 provided at the inside of the case 110. [

그리고, 상기 케이스(110)를 본체(2)의 프로파일(200)에 안착한다. 이 경우, 다채널을 일정크기별 예컨대, 64채널을 하나의 레이저모듈을 형성한 후 이를 하나의 모듈박스에 설치한 다수의 모듈박스(100)가 안착된다. 이 경우, 한 조를 이루는 2개 조의 프로파일(200) 상 각각에 8개의 모듈박스를 설치하면, 하나의 모듈박스에 64채널이 프로파일 상에 16가 구비됨에 따라 '64*16 = 1024채널'을 구현하게 된다. 물론, 이에 한정하는 것은 아니며, 구성하고자 하는 채널의 개수에 따라 모듈박스의 개수를 늘리게 되면, 사용자가 원하는 채널 개수만큼 확장이 가능하게 된다. 이 경우, 상기 모듈박스(100)에 연결되는 광파이버는 다발을 이루고, 이를 하나의 묶음으로 형성함으로써, 본체(2) 내에서 용이한 정렬이 이루어지도록 한다. 또한, 이렇게 광파이버의 묶음으로 이루어진 다수의 다발은 본체(2)의 일측에 구성된 렌즈에 연결된다.Then, the case 110 is seated on the profile 200 of the main body 2. In this case, a plurality of module boxes 100 in which one laser module is formed on a plurality of channels, for example, 64 channels, and then installed in one module box, is seated. In this case, when eight module boxes are provided on each of the two sets of profiles 200 constituting a set, 64 channels are provided in one module box, and '64 * 16 = 1024 channels' . Of course, the present invention is not limited to this, and if the number of module boxes is increased according to the number of channels to be configured, the number of modules can be expanded by the number of channels desired by the user. In this case, the optical fibers connected to the module box 100 are bundled and formed into a bundle, so that the optical fibers can be easily aligned in the main body 2. A plurality of bundles of bundles of optical fibers are connected to the lens formed on one side of the main body 2.

또한, 상기 프로파일(200)의 삽입홈(202)에 다수의 압착편(116)을 삽입시켜, 상기 프로파일(200)에 안착된 다수의 케이스(110) 각각에 압착편(116)들이 위치되도록 한다.A plurality of crimping pieces 116 are inserted into the insertion groove 202 of the profile 200 so that the crimping pieces 116 are positioned on each of the plurality of cases 110 seated in the profile 200 .

이어서, 상기 케이스(110)의 걸림편(114)에 형성된 제2체결공(115)을 통해 체결볼트(117)를 삽입시킨 후 프로파일(200)의 삽입홈(202)에 삽입된 압착편(116)을 체결하면, 상기 체결볼트(117)의 체결력에 의해 상기 걸림편(114) 및 압착편(116)의 압착력이 상호 압착됨으로써, 상기 프로파일(200)에 케이스(110)가 안정적으로 고정된 상태를 유지한다.The fastening bolt 117 is inserted through the second fastening hole 115 formed in the fastening piece 114 of the case 110 and then the fastening bolt 117 inserted into the insertion groove 202 of the profile 200 The pressing force of the engaging piece 114 and the pressing piece 116 are pressed against each other by the fastening force of the fastening bolt 117 so that the case 110 is stably fixed to the profile 200 Lt; / RTI >

상기와 같이 프로파일(200)에 모듈박스(100)를 고정한 상태에서 사용 중 레이저모듈의 유지보수를 요할 경우에, 상기 모듈박스(100)의 케이스(110)에 구성된 제1체결공(113)에 체결된 체결볼트를 푼다.When the module box 100 is fixed to the profile 200 as described above and maintenance of the laser module is required during maintenance, the first fastening hole 113 formed in the case 110 of the module box 100 Loosen the tightening bolts.

이에 따라, 상기 제1체결공(113)을 통해 체결볼트에 체결력을 받던 카세트(120)의 제2걸림편(124)이 체결력이 해제됨으로써, 도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 카세트(120)를 케이스(110)에서 일정높이 인출시키게 된다.5B, the second engaging piece 124 of the cassette 120, which has been fastened to the fastening bolt through the first fastening hole 113, releases the fastening force. As a result, A predetermined height from the case 110 is extracted.

이를 통해, 상기 카세트(120) 내에 고정된 회로기판이 케이스(110)에서 일정높이 인출된 만큼 외부로 노출됨으로써, 작업자가 용이하게 회로기판의 보수할 수 있다.As a result, the circuit board fixed in the cassette 120 is exposed to the outside as much as a predetermined height is drawn out from the case 110, so that the operator can easily repair the circuit board.

특히, 종래에는, 특정부분에 이상이 발생할 경우, 프로파일에 고정된 보관박스 전체를 분리시켜 보수작업이 수행하여야 하는 불편함이 있었으나, 본 발명은 특정부분의 카세트만 인출시켜 보수작업이 이루어짐으로써, 작업의 효율성을 향상시킨다.
또한, 종래의 경우, 하나의 박스에 다채널 통상 1,000 ~ 1,500 채널의 레이저 다이오드를 연결하는 구조에 의해 유지보수가 어려웠으나, 일정량씩 즉, 128채널씩 분리하여 다수의 레이저모듈박스로 구성함으로써, 유지보수가 용이하게 이루어지도록 한다.
Particularly, in the related art, when an abnormality occurs in a specific part, there is a problem that the maintenance work must be performed by separating the entire storage box fixed to the profile. However, according to the present invention, Thereby improving the efficiency of the work.
In addition, in the conventional case, maintenance is difficult due to a structure in which 1,000 to 1,500 channels of multi-channel laser diodes are connected to one box. However, since a plurality of laser module boxes are separated by 128 channels, Maintenance should be easy.

이상에서 설명한 것은 LDI 노광장치의 레이저모듈박스를 실시하기 위한 하나의 실시 예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 아니한다. 본 발명에 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변경실시가 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
The above description is only one embodiment for implementing the laser module box of the LDI exposure apparatus, and the present invention is not limited to the above embodiment. It will be understood by those skilled in the art that various changes may be made without departing from the spirit of the invention.

100: 레이저모듈박스 110: 케이스
112: 안내공 113: 제1체결공
114: 걸림편 115: 제2체결공
116: 압착편 117: 체결볼트
120: 카세트 122: 손잡이
124: 제2걸림편 130: 덮개
200: 프로파일 202: 삽입홈
100: laser module box 110: case
112: guide ball 113: first fastener
114: latching piece 115: second fastening hole
116: crimping piece 117: fastening bolt
120: cassette 122: handle
124: second latching piece 130: cover
200: profile 202: insertion groove

Claims (4)

다채널의 광섬유가 연결되는 LDI 노광장치의 레이저모듈박스에 있어서,
다채널의 광섬유를 일정량씩 분리하여 연결되도록 복수의 레이저모듈박스(100)를 구성하고;
상기 레이저모듈박스(100)는, 본체(2)에 구성되는 프로파일(200) 상에 안착되고 양단이 개방되도록 구성되는 적어도 하나 이상의 케이스(110)와;
내측에 LDI 노광장치의 레이저모듈의 회로기판이 고정되고 상기 케이스(110)에서 일정높이 인출되도록 구성되어 상기 회로기판의 용이한 유지보수작업이 가능하도록 하는 카세트(120); 및
상기 케이스(110)의 개방된 양단을 덮도록 하는 덮개(130)를 포함하며;
상기 케이스(110)의 양측에는, 일정길이를 가지어, 한 조의 프로파일(200) 각각의 측면 외주에 밀착됨에 따라 안정적인 안착이 유지되도록 하는 걸림편(114)을 포함하고;
상기 프로파일(200)은 일정깊이를 가지는 삽입홈(202)이 형성되며;
상기 케이스(110)의 걸림편(114)에는 제2체결공(115)이 형성되고;
상기 프로파일(200)의 삽입홈(202)에 삽입되는 압착편(116)이 구성되어;
상기 삽입홈(202)에 압착편(116)을 삽입하고, 상기 프로파일(200)에 안착된 케이스(110)의 걸림편(114)에 형성된 제2체결공(115)을 통해 체결볼트(117)를 삽입시켜 상기 압착편(116)이 체결됨에 따라 상기 걸림편(114)와 압착편(116)의 상호 압착력에 의해 상기 프로파일(200)에 케이스(110)가 확고하게 고정;
되도록 하는 것을 특징으로 하는 LDI 노광장치의 레이저모듈박스.
In a laser module box of an LDI exposure apparatus to which a multi-channel optical fiber is connected,
Constructing a plurality of laser module boxes (100) so as to separate and connect optical fibers of multiple channels by a predetermined amount;
The laser module box 100 includes at least one case 110 mounted on a profile 200 formed in the main body 2 and configured to open at both ends thereof;
A cassette 120 for fixing the circuit board of the laser module of the LDI exposure apparatus to the inside of the case 110 and pulling out the case 110 at a predetermined height to enable easy maintenance of the circuit board; And
And a cover (130) covering the opened both ends of the case (110);
And a locking piece 114 having a predetermined length on both sides of the case 110 so as to maintain stable seating as it is in close contact with the outer periphery of each side of the pair of profiles 200;
The profile 200 is formed with an insertion groove 202 having a predetermined depth;
A second fastening hole 115 is formed in the fastening piece 114 of the case 110;
A compression piece (116) inserted into the insertion groove (202) of the profile (200) is formed;
The pressing piece 116 is inserted into the insertion groove 202 and the fastening bolt 117 is inserted through the second fastening hole 115 formed in the fastening piece 114 of the case 110 seated in the profile 200. [ The case 110 is firmly fixed to the profile 200 by the mutual pressing force of the engaging piece 114 and the pressing piece 116 as the pressing piece 116 is fastened.
So that the laser beam is incident on the laser diode module.
삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 케이스(110)에 안내공(112)이 형성되고 상기 안내공(112)의 하방에 제1체결공(113)이 형성되며;
상기 카세트(120)는 상기 안내공(112)에 안내되고, 하단에 상기 케이스(110)의 내측으로 삽입되는 제2걸림편(124)이 형성되어;
상기 케이스(110)에 카세트(120)를 삽입시켜 상기 제1체결공(113)을 통해 체결볼트를 삽입시켜 상기 제2걸림편(124)을 체결시켜 고정하고;
유지보수작업을 요할 경우에는 체결볼트를 풀어 상기 카세트(120)가 상기 케이스(110)의 안내공(112)을 따라 일정높이 인출;
되도록 구성하는 것을 특징으로 하는 LDI 노광장치의 레이저모듈박스.
The method according to claim 1,
A guide hole 112 is formed in the case 110 and a first fastening hole 113 is formed below the guide hole 112;
The cassette 120 is guided by the guide hole 112 and a second latching piece 124 is formed at the lower end of the cassette 120 to be inserted into the case 110;
The cassette 120 is inserted into the case 110 and the fastening bolt is inserted through the first fastening hole 113 to fasten and fix the second fastening piece 124;
When the maintenance work is required, the fastening bolt is loosened to pull the cassette 120 up to a certain height along the guide hole 112 of the case 110;
And the laser diode module is configured so that the laser diode module of the LDI exposure apparatus is constructed.
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