KR101636066B1

KR101636066B1 - Apparatus for manufacturing flexible touch panel

Info

Publication number: KR101636066B1
Application number: KR1020140112578A
Authority: KR
Inventors: 최인규; 신명동
Original assignee: 유주티엔씨(주); (주)에이테크 글로벌; 주식회사 미뉴타텍; (주)뉴옵틱스
Priority date: 2014-08-27
Filing date: 2014-08-27
Publication date: 2016-07-20
Also published as: KR20160025384A

Abstract

본 발명은, 플렉서블(Flexible)한 베이스 기판 상에 투명 전극이 형성되는 플렉서블 터치 패널을 제조하기 위한 장치로, 플렉서블하고 투명한 재질로 형성되며, 도전성 물질이 내부에 충전될 수 있는 트렌치가 형성된 베이스 기판을 이동시키는 제1 롤을 포함하는 제1 기판 전달부, 상기 제1 기판 전달부에 의해 전달되는 상기 베이스 기판의 상기 트렌치의 내부에, 상기 도전성 물질을 충전시켜 투명 전극용 회로 패턴을 형성하는 도전성 물질 충전부 및 상기 도전성 물질이 충전된 상기 베이스 기판을 이동시키는 제2 롤을 포함하는 제2 기판 전달부를 포함하며, 상기 도전성 물질 충전부는, 상기 트렌치 내부의 이물을 제거하고, 상기 트렌치에 상기 도전성 물질이 충전되면서 형성되는 기포를 제거하기 위하여, 상기 베이스 기판의 표면에 일시적으로 부착되어 상기 트렌치에 부압을 제공하는 부압 발생 유닛, 상기 도전성 물질을 상기 트렌치 내부에 공급하는 도전성 물질 공급 유닛 및 상기 도전성 물질이 상기 트렌치 내부에 충전되는 동안, 기포의 발생을 방지하고 상기 도전성 물질의 충전을 보조하기 위한 파동을 발생시키는 파동 발생 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. The present invention relates to an apparatus for manufacturing a flexible touch panel in which a transparent electrode is formed on a flexible base substrate and includes a base substrate on which a trench capable of being filled with a conductive material is formed, The first substrate transferring part including a first roll for transferring a conductive pattern to the first substrate transfer part, and a second roll for transferring the conductive material to form a circuit pattern for a transparent electrode, the conductive material being filled in the trench of the base substrate, And a second substrate transfer part including a second roll for moving the base substrate filled with the conductive material. The conductive material filling part removes foreign matter from the trench and exposes the conductive material to the trench, Is temporarily attached to the surface of the base substrate to remove bubbles formed as it is being charged A negative pressure generating unit for providing a negative pressure to the trench; a conductive material supply unit for supplying the conductive material to the inside of the trench; and a control unit for preventing generation of bubbles while charging the conductive material, And a wave generating unit for generating a wave for assisting the magnetic field generating unit.

Description

[0001] APPARATUS FOR MANUFACTURING FLEXIBLE TOUCH PANEL [0002]

본 발명은 플렉서블 터치 패널을 제조하기 위한 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an apparatus for manufacturing a flexible touch panel.

최근 스마트폰, 태블릿 pc와 같은 소형 전자기기들의 발전이 가속화되면서, 터치가 가능한 투명 전극 기판의 수요 역시 급격히 증가되고 있다. Recently, as the development of small electronic devices such as smart phones and tablet PCs is accelerating, the demand for touchable transparent electrode substrates is also rapidly increasing.

터치가 가능한 투명 전극 기판을 구현하기 위해서는, 우선 투명한 재질의 기판에 광투과도가 높은 회로 패턴을 형성하는 것이 중요하다. 따라서 종래에는 광투과도가 높으면서 전기 저항이 충분히 낮아 디스플레이로서의 전기적 특성을 갖춘 ITO(Indium Tin Oxide)와 같은 물질로 형성된 투명 전극을 포함하는 투명 전극 기판이 사용되어 왔다. In order to realize a touchable transparent electrode substrate, it is important to first form a circuit pattern having high light transmittance on a substrate made of a transparent material. Therefore, conventionally, a transparent electrode substrate including a transparent electrode formed of a material such as ITO (Indium Tin Oxide) having electrical characteristics as a display has been used because of its high light transmittance and sufficiently low electric resistance.

그러나, ITO와 같은 물질은 산화물의 일종으로 깨지기 쉬운 성질을 가지고 있기 때문에, 플렉서블 디스플레이(flexible display) 또는 폴더블 디스플레이(foldable display)와 같이 점차 증대되는 기술 발달의 추세에 부응하지 못하고 있다. However, since materials such as ITO are fragile as a kind of oxide, they are not able to meet the trend of increasingly developing technology such as a flexible display or a foldable display.

또한, ITO는 인듐(indium)과 같은 희토류 금속을 사용하기 때문에, 수요에 대한 공급이 불충분하며 생산 원가 역시 증대되는 주요한 원인이 되어 왔다. In addition, since ITO uses a rare earth metal such as indium, supply to demand has been insufficient and production cost has also become a major cause.

따라서, 플렉서블 디스플레이 또는 폴더블 디스플레이에 적합하면서도, 생산 단가를 절감시킬 수 있는 ITO의 대체 기술의 필요성 역시 나날이 증대되고 있다. 그 중에서, 플렉서블 디스플레이 또는 폴더블 디스플레이에 적합하며, 투명 전극 기판을 구현할 수 있는 ITO의 대체 기술 중 하나로, 금속 페이스트를 이용하여 메탈 메쉬 형식의 회로 패턴을 형성하는 기술이 주목받고 있다. Accordingly, there is a need for an alternative technology for ITO that can reduce the production cost while being suitable for a flexible display or a foldable display. Of these, as a substitute for ITO that is suitable for a flexible display or a foldable display and capable of realizing a transparent electrode substrate, a technique of forming a metal mesh type circuit pattern by using a metal paste is attracting attention.

한편, 이러한 플렉서블 디스플레이 또는 폴더블 디스플레이의 증대되는 수요에 발맞춰 생산성을 향상시키기 위해서는 양산화가 중요하다. 롤투롤 방식의 생산 공정이 수행되는 경우에는 생산 속도를 향상시키는 동시에 생산 비용을 절감시킬 수 있기 때문에 양산화에 적합하다 할 것이다. 그러나, 롤투롤 방식의 생산 공정을 수행하기 위해서는 생산되는 제품의 불량 발생률을 감소시킬 수 있는 대책 마련이 시급하다 할 것이다.
On the other hand, mass production is important in order to improve productivity in response to the increasing demand of such flexible displays or foldable displays. In the case of a roll-to-roll production process, the production speed can be improved and the production cost can be reduced, which is suitable for mass production. However, in order to perform the roll-to-roll production process, it is urgent to take measures to reduce the incidence of defective products.

본 발명의 목적은 불량 발생률을 감소시킬 수 있으며, 롤투롤 방식으로 플렉서블 터치 패널을 제조할 수 있는 장치를 제공하는 것이다. An object of the present invention is to provide a device capable of reducing the incidence of defects and capable of manufacturing a flexible touch panel by a roll-to-roll method.

또한, 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are not intended to limit the invention to the precise form disclosed. It can be understood.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 플렉서블(Flexible)하고 투명한 재질로 형성되는 베이스 기판 상에 투명 전극이 형성되는 플렉서블 터치 패널을 제조하기 위한 장치로, 도전성 물질이 내부에 충전될 수 있는 트렌치가 형성된 상기 베이스 기판을 이동시키는 제1 롤을 포함하는 제1 기판 전달부, 상기 제1 기판 전달부에 의해 전달되는 상기 베이스 기판의 상기 트렌치의 내부에, 상기 도전성 물질을 충전시켜 투명 전극용 회로 패턴을 형성하는 도전성 물질 충전부 및 상기 도전성 물질이 충전된 상기 베이스 기판을 이동시키는 제2 롤을 포함하는 제2 기판 전달부를 포함하며, 상기 도전성 물질 충전부는, 상기 트렌치 내부의 이물을 제거하고, 상기 트렌치 내부에 상기 도전성 물질이 충전되면서 형성되는 기포를 제거하기 위하여, 상기 베이스 기판의 표면에 일시적으로 부착되어 상기 트렌치에 부압을 제공하는 부압 발생 유닛, 상기 도전성 물질을 상기 트렌치 내부에 공급하는 도전성 물질 공급 유닛 및 상기 도전성 물질이 상기 트렌치 내부에 충전되는 동안, 기포의 발생을 방지하고 상기 도전성 물질의 충전을 보조하기 위한 파동을 발생시키는 파동 발생 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 터치 패널 제조 장치에 의해 달성된다. According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for manufacturing a flexible touch panel in which a transparent electrode is formed on a base substrate formed of a flexible and transparent material, wherein a trench capable of being filled with a conductive material is formed A first substrate transfer part including a first roll for moving the base substrate, and a second substrate transfer part for transferring a circuit pattern for a transparent electrode into the trench of the base substrate transferred by the first substrate transfer part, And a second substrate transfer part including a conductive material filling part for forming a conductive material and a second roll for moving the base substrate filled with the conductive material, wherein the conductive material filling part removes foreign matter from the trench, To remove bubbles formed while the conductive material is filled, A conductive material supply unit for supplying the conductive material to the inside of the trench, and a conductive material supply unit for preventing generation of bubbles while the conductive material is being filled in the trench, And a wave generating unit for generating a wave for assisting the filling of the material.

상기 파동 발생 유닛은 초음파 발생기일 수 있다. The wave generating unit may be an ultrasonic generator.

상기 파동 발생 유닛은 상기 도전성 물질 공급 유닛에 부착될 수 있다. The wave generating unit may be attached to the conductive material supplying unit.

상기 도전성 물질 충전부는 상기 베이스 기판의 표면에 잔류하는 상기 도전성 물질을 제거하기 위한 스퀴즈 유닛을 더 포함할 수 있으며, 상기 스퀴즈 유닛은, 상기 도전성 물질이 상기 트렌치 내부에 충전되도록 상기 베이스 기판의 표면에 잔류하는 상기 도전성 물질을 상기 트렌치 내부로 이동시키는 제1 스퀴즈 및 상기 베이스 기판의 표면에 잔류하는 상기 도전성 물질을 제거하기 위하여 상기 베이스 기판의 표면을 가압하면서 이동되는 제2 스퀴즈를 포함할 수 있다. The conductive material charging unit may further include a squeeze unit for removing the conductive material remaining on the surface of the base substrate. The squeeze unit may be formed on the surface of the base substrate so that the conductive material is filled in the trench. A first squeeze that moves the remaining conductive material into the trench, and a second squeeze that moves while pressing the surface of the base substrate to remove the conductive material remaining on the surface of the base substrate.

또한, 상기 파동 발생 유닛은 상기 스퀴즈 유닛에 부착될 수 있다. Further, the wave generating unit may be attached to the squeeze unit.

한편, 상기 베이스 기판의 표면에 잔류하는 상기 도전성 물질을 세척하는 기판 세척부를 더 포함할 수 있다. 상기 기판 세척부는, 상기 베이스 기판의 표면에 잔류하는 상기 도전성 물질을 용해시키는 유기 용매를 분사하는 유기 용매 분사 유닛 및 상기 베이스 기판의 표면을 시트지로 세척하는 세척 유닛을 포함할 수 있다. The substrate cleaning unit may further include a substrate cleaning unit for cleaning the conductive material remaining on the surface of the base substrate. The substrate cleaning unit may include an organic solvent ejecting unit for ejecting an organic solvent that dissolves the conductive material remaining on the surface of the base substrate, and a cleaning unit for cleaning the surface of the base substrate with a sheet.

이때, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 터치 패널 제조 장치는, 빛 또는 열을 이용하여 상기 트렌치 내에 충전된 상기 도전성 물질을 경화시키는 기판 경화부를 더 포함할 수 있다. The flexible touch panel manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a substrate hardening unit for hardening the conductive material filled in the trench using light or heat.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 터치 패널 제조 장치는, 상기 도전성 물질이 충전된 상기 베이스 기판의 불량 발생 여부를 판단하는 상기 기판 검사부를 더 포함할 수 있다. The apparatus for fabricating a flexible touch panel according to an embodiment of the present invention may further include a substrate inspection unit for determining whether a defect of the base substrate filled with the conductive material occurs.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 터치 패널 제조 장치는, 상기 도전성 물질이 충전되기 위한 상기 트렌치를 상기 베이스 기판 상에 형성하는 트렌치 형성부를 더 포함할 수 있다. 상기 트렌치 형성부는, 롤 형상의 금형을 이용하여 임프린트 공정 방식으로 상기 베이스 기판에 상기 트렌치를 형성할 수 있으며, 상기 트렌치 형성부는, 0.1 내지 5.0 ㎛의 선폭을 가지는 상기 트렌치를 형성할 수 있다. The flexible touch panel manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a trench forming unit for forming the trench for filling the conductive material on the base substrate. The trench forming portion may form the trench on the base substrate by an imprint process using a roll-shaped metal mold, and the trench forming portion may form the trench having a line width of 0.1 to 5.0 μm.

상기 도전성 물질 공급 유닛은 일정한 양의 상기 도전성 물질을 토출하는 디스펜서를 포함할 수 있으며, 상기 디스펜서는 복수로 구비될 수 있다.
The conductive material supply unit may include a dispenser for discharging a predetermined amount of the conductive material, and the dispenser may include a plurality of dispensers.

본 발명에 의하면, 롤투롤 방식으로 플렉서블 터치 패널이 제조되기 때문에, 생산 속도를 향상시키는 동시에 생산 비용을 절감시킬 수 있으며, 도전성 물질의 충전 불량으로 인한 불량 발생률이 감소되어 제품의 생산력뿐만 아니라 제품의 성능까지 향상시킬 수 있는 플렉서블 터치 패널 제조 장치를 제공할 수 있게 된다.
According to the present invention, since the flexible touch panel is manufactured by the roll-to-roll method, the production speed can be improved and the production cost can be reduced, and the defective incidence due to the defective filling of the conductive material is reduced, It is possible to provide a flexible touch panel manufacturing apparatus capable of improving performance.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 터치 패널 제조 장치를 개략적으로 도시한 도면이다. 1 is a schematic view of a flexible touch panel manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

이하, 본 발명에 따른 플렉서블 터치 패널 제조 장치(100)의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, an embodiment of a flexible touch panel manufacturing apparatus 100 according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description, the same or corresponding components are denoted by the same reference numerals And redundant explanations thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 터치 패널 제조 장치(100)를 개략적으로 도시한 도면이다. FIG. 1 is a schematic view of an apparatus 100 for manufacturing a flexible touch panel according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따라, 플렉서블하고 투명한 재질로 형성되는 베이스 기판 상에 투명 전극이 형성되는 플렉서블 터치 패널을 제조하기 위한 장치로, 제1 기판 전달부(110), 도전성 물질 충전부(120) 및 제2 기판 전달부(130)를 포함하는 플렉서블 터치 패널 제조 장치(100)가 제공된다. The first substrate transfer unit 110, the conductive material charging unit 120, and the first substrate transfer unit 110 are electrically connected to the first substrate transfer unit 110 and the second substrate transfer unit 110, And a second substrate transfer unit 130 are provided.

제1 기판 전달부(110)는 본 실시예에 따른 플렉서블 터치 패널 제조 장치(100) 내로 투입된 베이스 기판을 이동시키기 위해 제1 롤(112)을 포함한다. 이때, 본 실시예에 따른 제1 롤(112)은 하나 또는 둘 이상으로 마련될 수 있다. 따라서, 본 실시예에 따른 베이스 기판은, 제1 롤(112)을 포함하는 제1 기판 전달부(110)에 의해 이동되기 위하여 플렉서블한 재질로 형성될 수 있다. The first substrate transfer unit 110 includes a first roll 112 for moving a base substrate loaded into the flexible touch panel manufacturing apparatus 100 according to the present embodiment. At this time, the first rolls 112 according to the present embodiment may be provided in one or two or more. Accordingly, the base substrate according to the present embodiment may be formed of a flexible material so as to be moved by the first substrate transfer unit 110 including the first roll 112.

또한 본 실시예에 따른 플렉서블 터치 패널 제조 장치(100)는 제2 기판 전달부(130)를 포함한다. In addition, the flexible touch panel manufacturing apparatus 100 according to the present embodiment includes a second substrate transfer unit 130.

제2 기판 전달부(130) 역시 본 실시예에 따른 플렉서블 터치 패널 제조 장치(100) 내에서 베이스 기판을 이동시키기 위하여 제2 롤(132)을 포함한다. 제2 롤(132) 역시 제1 롤(112)과 마찬가지로 하나 또는 둘 이상으로 마련될 수 있다. The second substrate transfer part 130 also includes a second roll 132 for moving the base substrate in the flexible touch panel manufacturing apparatus 100 according to the present embodiment. The second rolls 132 may also be provided in one or more than two as in the first rolls 112.

제1 기판 전달부(110) 및 제2 기판 전달부(130)는 상기 베이스 기판이 이동되는 경로 중에 배치되어 상기 베이스 기판을 이동시킴으로써, 본 실시예에 따른 플렉서블 터치 패널 제조 장치(100) 내에서 상기 베이스 기판이 여러 공정을 거친 뒤 플렉서블 터치 패널로 제조될 수 있게 한다. The first substrate transfer unit 110 and the second substrate transfer unit 130 are disposed in a path along which the base substrate is moved to move the base substrate so as to move the base substrate in the flexible touch panel manufacturing apparatus 100 according to the present embodiment The base substrate can be manufactured by a flexible touch panel after being subjected to various processes.

본 실시예에 따라 플렉서블 터치 패널 제조 장치(100)에 투입되는 베이스 기판은 투명 전극이 형성되기 위한 것으로, 완성된 플렉서블 터치 패널의 시인성을 향상시키기 위해 투명한 재질로 형성될 수 있다. 일 예로, 폴리이미드와 같이 투명하면서도 플렉서블한 합성 수지 재질로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 전술한 것과 같이 플렉서블하면서도 투명한 재질로 이루어지는 베이스 기판이라면 본 발명의 실시범위에 포함될 수 있을 것이다. According to the present embodiment, the base substrate to be inserted into the flexible touch panel manufacturing apparatus 100 is formed of a transparent material for the purpose of forming a transparent electrode and improving the visibility of the completed flexible touch panel. For example, it may be made of a transparent and flexible synthetic resin material such as polyimide. However, the present invention is not limited thereto, and a base substrate made of a flexible and transparent material as described above may be included in the scope of the present invention.

상기 베이스 기판에는 이후 공정에서 도전성 물질이 내부에 충전될 수 있는 트렌치가 형성될 수 있다. 상기 트렌치는 완성된 플렉서블 터치 패널의 시인성을 향상시키기 위하여, 메탈 메쉬 형상의 회로 패턴에 대응되는 형상으로 형성될 수 있으며, 0.1 내지 5.0 ㎛의 선폭을 가지도록 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. The base substrate may be formed with a trench through which a conductive material can be filled in a subsequent step. In order to improve the visibility of the completed flexible touch panel, the trench may be formed in a shape corresponding to a circuit pattern of a metal mesh, and may be formed to have a line width of 0.1 to 5.0 μm, but the present invention is not limited thereto .

따라서, 본 실시예에 따른 플렉서블 터치 패널 제조 장치(100)는 트렌치 형성부를 더 포함할 수 있다. Accordingly, the flexible touch panel manufacturing apparatus 100 according to the present embodiment may further include a trench forming unit.

트렌치 형성부는 도전성 물질이 충전되기 위한 트렌치를 베이스 기판 상에 형성하기 위한 것으로, 본 실시예에 따른 트렌치 형성부는, 일 예로 롤 형상의 금형을 이용하여 임프린트 공정 방식으로 베이스 기판에 트렌치를 형성할 수 있다. The trench forming portion is for forming a trench for filling a conductive material on a base substrate. The trench forming portion according to the present embodiment can form a trench in a base substrate by an imprint process using, for example, a roll- have.

다만 이는 일 예에 불과하며, 이 외에도 다양한 변형이 가능하다. 또한, 본 발명의 변형예에 따르면, 트렌치 형성부가 본 실시예에 따른 플렉서블 터치 패널 제조 장치(100)의 외부에 마련되어, 트렌치가 미리 형성된 베이스 기판을 사용할 수도 있을 것이다. However, this is merely an example, and various other modifications are possible. In addition, according to a modification of the present invention, the trench forming portion may be provided outside the flexible touch panel manufacturing apparatus 100 according to the present embodiment, and a base substrate on which a trench has been formed may be used.

한편, 트렌치가 형성된 상기 베이스 기판은 도전성 물질이 트렌치 내부에 충전될 수 있도록 제1 기판 전달부(110)에 의해 도전성 물질 충전부(120)로 이동될 수 있다. Meanwhile, the base substrate on which the trench is formed may be moved to the conductive material charging unit 120 by the first substrate transfer unit 110 so that the conductive material may be filled in the trench.

도전성 물질 충전부(120)는 앞서 설명한 것과 같이, 베이스 기판에 형성된 트렌치 내부에 도전성 물질을 충전시켜 투명 전극용 회로 패턴을 형성하는 부분이다. As described above, the conductive material charging portion 120 is a portion for forming a circuit pattern for a transparent electrode by filling a conductive material into a trench formed in a base substrate.

이때 본 실시예에 따른 도전성 물질 충전부(120)는 부압 발생 유닛(122), 도전성 물질 공급 유닛(124) 및 파동 발생 유닛(126)을 포함한다. The conductive material charging unit 120 includes a negative pressure generating unit 122, a conductive material supplying unit 124, and a wave generating unit 126.

부압 발생 유닛(122)은 트렌치 내부의 이물을 제거하고, 트렌치 내부에 도전성 물질이 충전되면서 형성될 수 있는 기포를 제거하기 위하여 베이스 기판의 표면에 일시적으로 부착되어 트렌치 및 트렌치를 포함하는 베이스 기판에 일시적으로 부압을 제공하는 부분이다. The negative pressure generating unit 122 is temporarily attached to the surface of the base substrate to remove foreign substances in the trench and remove bubbles that may be formed while the conductive material is filled in the trench, It is a part that temporarily provides negative pressure.

따라서 도면에 도시되지는 않았지만, 부압 발생 유닛(122)과 베이스 기판이 접촉하는 경계를 따라, 상기 부압 발생 유닛(122)이 베이스 기판으로 부착되고 부압을 형성하는 것을 보조하기 위하여 실리콘, 고무 등과 같은 탄성 재질로 이루어지는 밀폐부재가 형성될 수 있다. 또한, 밀폐부재에 의해 밀폐된 내부에 부압을 발생시키기 위하여, 중공을 가지는 하우징 및 상기 하우징 내부에 부압을 형성하는 흡입부재가 포함될 수 있을 것이다. Therefore, although not shown in the drawing, the negative pressure generating unit 122 may be attached to the base substrate along the boundary between the negative pressure generating unit 122 and the base substrate, such as silicon, rubber or the like A sealing member made of an elastic material can be formed. In addition, in order to generate a negative pressure in the sealed interior by the sealing member, a suction member which forms a negative pressure inside the housing and a housing having a hollow may be included.

다만, 상술한 내용은 본 발명의 일 실시예에 불과하며, 이 외에도 베이스 기판에 일시적으로 부착되어 트렌치 내부에 부압을 제공할 수 있는 다양한 구조의 부압 발생 유닛(122)이 사용될 수 있을 것이다. However, the above description is only an embodiment of the present invention, and a negative pressure generating unit 122 having various structures which can be temporarily attached to the base substrate to provide a negative pressure inside the trench may be used.

도전성 물질 공급 유닛(124)은 외부로부터 공급되거나 혹은 별도의 저장 공간에 마련된 도전성 물질을 베이스 기판의 트렌치로 공급하는 부분이다. The conductive material supply unit 124 is a portion for supplying a conductive material supplied from the outside or provided in a separate storage space to the trench of the base substrate.

이때 본 실시예에 따른 도전성 물질 공급 유닛(124)은 일정한 양의 도전성 물질이 연속적 또는 주기적으로 토출되는 디스펜서를 포함할 수 있다. 또한 본 실시예에 따라 제공되는 디스펜서는 하나일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 복수로 구비될 수 있음은 물론이다. At this time, the conductive material supply unit 124 according to the present embodiment may include a dispenser in which a certain amount of conductive material is continuously or periodically discharged. Also, the dispenser provided according to the present embodiment may be one, but it is not limited thereto and a plurality of dispensers may be provided.

본 실시예에 따라 도전성 물질 공급 유닛(124)에 의해 공급되는 도전성 물질은, 일예로 메탈 메쉬로 투명 전극을 형성하기 위하여 은 입자를 포함하는 페이스트 형태일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. The conductive material supplied by the conductive material supply unit 124 according to the present embodiment may be in the form of a paste containing silver particles to form a transparent electrode with a metal mesh, but is not limited thereto.

파동 발생 유닛(126)은 도전성 물질이 트렌치 내부에 충전되는 동안, 기포의 발생을 방지하고 도전성 물질의 충전을 보조하기 위한 파동을 발생시키기 위한 것이다. The wave generating unit 126 is for generating a wave to prevent the generation of bubbles and assisting the filling of the conductive material while the conductive material is filled in the trench.

본 실시예에 따른 파동 발생 유닛(126)은 메가헤르츠(MHz) 단위의 진동수를 가지는 초음파를 발생시키는 초음파 발생기일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 400Hz 이내의 진동수를 가지는 저주파를 발생시키는 저주파 발생기 또는 킬로헤르츠(kHz) 단위의 진동수를 가지는 고주파를 발생시키는 고주파 발생기일 수 있다. 또는 이 외에도 도전성 물질이 트렌치 내부에 충전되는 것을 보조하기 위한 다양한 형태의 파동을 발생시키는 장치가 사용될 수 있으며, 파동의 형태가 변형됨에 따라 본 발명의 실시범위가 제한되는 것은 아니다. The wave generating unit 126 according to the present embodiment may be an ultrasonic generator for generating ultrasonic waves having a frequency in the unit of megahertz (MHz), but the present invention is not limited thereto, and a low frequency generator Or a high frequency generator that generates a high frequency having a frequency in the kilohertz (kHz) unit. Or a device for generating various types of waves for assisting the filling of the conductive material into the trench may be used, and the shape of the wave is not limited to the scope of the present invention.

한편, 본 실시예에 따른 파동 발생 유닛(126)은 도전성 물질 공급 유닛(124)에 부착되어 도전성 물질이 토출되는 토출구에 파동을 전달할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 따라서 파동 발생 유닛(126)이 베이스 기판에 파동을 전달하기 위하여, 도전성 물질 공급 유닛(124)에 베이스 기판이 배치되는 플레이트나 지그 상에 파동 발생 유닛(126)이 부착될 수 있을 것이다. 또한, 이후 설명하는 스퀴즈 유닛(128)에도 파동 발생 유닛(126)이 부착될 수 있다. 이 외에도 다양한 실시예의 변형이 가능하며, 본 발명의 실시범위는 파동 발생 유닛(126)의 부착 위치에 의해 제한되지 않는다. Meanwhile, the wave generating unit 126 according to the present embodiment may transmit a wave to a discharge port through which the conductive material is discharged by being attached to the conductive material supply unit 124, but is not limited thereto. Therefore, in order for the wave generating unit 126 to transmit the wave to the base substrate, the wave generating unit 126 may be attached on a plate or a jig on which the base substrate is disposed in the conductive material supplying unit 124. [ Further, a wave generating unit 126 may be attached to the squeeze unit 128 described later. Various modifications of the embodiment are possible, and the scope of the present invention is not limited by the attachment position of the wave generating unit 126.

본 실시예와 같이 파동 발생 유닛(126)을 포함하게 되면, 도전성 물질이 트렌치에 보다 원활하게 충전될 수 있다. 구체적으로 설명하자면, 발생된 파동이 베이스 기판 또는 도전성 공급 유닛에 미세한 진동을 발생시킬 수 있으므로, 도전성 물질이 트렌치 내부로 보다 용이하게 이동될 수 있으며, 충전 시 발생되는 기포로 인한 불량 발생률 역시 감소될 수 있다. When the wave generating unit 126 is included as in the present embodiment, the conductive material can be more smoothly filled in the trench. Specifically, since the generated waves can generate minute vibrations in the base substrate or the conductive supply unit, the conductive material can be more easily moved into the trench, and the occurrence rate of defects due to bubbles generated upon charging is also reduced .

본 실시예에 따른 플렉서블 터치 패널 제조 장치(100)는 스퀴즈 유닛(128)을 더 포함할 수 있다. The flexible touch panel manufacturing apparatus 100 according to the present embodiment may further include a squeeze unit 128.

스퀴즈 유닛(128)은 베이스 기판의 표면에 잔류하는 도전성 물질을 제거하여 완성된 플렉서블 터치 패널 제조 장치(100)의 불량 발생을 방지하기 위한 것으로, 본 실시예에 따른 스퀴즈 유닛(128)은 제1 스퀴즈(128a) 및 제2 스퀴즈(128b)를 포함할 수 있다. The squeeze unit 128 is for removing the conductive material remaining on the surface of the base substrate to prevent a defect in the completed flexible touch panel manufacturing apparatus 100. The squeeze unit 128 according to the present embodiment includes a first A squeeze 128a and a second squeeze 128b.

제1 스퀴즈(128a)와 제2 스퀴즈(128b)는 서로 나란하게 배치될 수 있으며, 탄성 재질로 이루어질 수 있다. 일 예로, 우레탄, 실리콘과 같은 재질일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. The first squeeze 128a and the second squeeze 128b may be arranged in parallel with each other and may be made of an elastic material. For example, it may be a material such as urethane or silicone, but is not limited thereto.

제1 스퀴즈(128a)는 제2 스퀴즈(128b)보다 먼저 베이스 기판 위를 지나면서, 도전성 물질이 트렌치 내부에 충전되도록 베이스 기판의 표면에 잔류하는 도전성 물질을 트렌치 내부로 밀어 넣어 이동시킨다. The first squeeze 128a passes over the base substrate before the second squeeze 128b and pushes the conductive material remaining on the surface of the base substrate into the trench so that the conductive material is filled in the trench.

제2 스퀴즈(128b)는 제1 스퀴즈(128a)가 지나간 위치를 다시 한 번 지나면서, 제1 스퀴즈(128a)보다 강한 압력으로 베이스 기판의 표면을 가압하면서, 트렌치에 충전되지 못하고 베이스 기판의 표면에 잔류하는 도전성 물질을 제거하며 이동된다. The second squeeze 128b passes the position of the first squeeze 128a once again and presses the surface of the base substrate with a pressure higher than that of the first squeeze 128a so that the second squeeze 128b can not be filled in the trench, So that the conductive material remains.

따라서 본 실시예에 따른 스퀴즈 유닛(128)은 제1 스퀴즈(128a)와 제2 스퀴즈(128b)를 포함하기 때문에, 트렌치 내에 도전성 물질이 보다 원활하게 충전될 수 있도록 하며, 기판 표면에 잔류하는 도전성 물질을 보다 효과적으로 제거할 수 있기 때문에 이후 완성된 플렉서블 터치 패널의 불량 발생률을 감소시킬 수 있다. Therefore, since the squeeze unit 128 according to the present embodiment includes the first squeeze 128a and the second squeeze 128b, it is possible to more smoothly fill the conductive material in the trench, Since the material can be removed more effectively, the incidence of defects in the completed flexible touch panel can be reduced.

한편, 전술한 것과 같이 본 발명의 다른 변형예에 따르면, 상기 파동 발생 유닛(126)은 스퀴즈 유닛(128)에 부착될 수도 있다. 파동 발생 유닛(126)이 스퀴즈 유닛(128)에 부착되는 경우에는, 발생된 파동이 스퀴즈 유닛(128)에 미세한 진동을 전달하여 도전성 물질이 스퀴즈 되면서 트렌치에 충전되는 동안, 충전이 보다 원활하게 진행될 수 있도록 하며, 기포의 발생도 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 베이스 기판 표면에 잔류하는 도전성 물질의 제거 역시 보다 효과적으로 진행될 수 있다. On the other hand, according to another modification of the present invention, as described above, the wave generating unit 126 may be attached to the squeeze unit 128. In the case where the wave generating unit 126 is attached to the squeeze unit 128, charging occurs more smoothly while the generated waves are transmitted to the squeeze unit 128 so that the conductive material is squeezed and charged into the trench Not only can the occurrence of bubbles be reduced, but also the removal of the conductive material remaining on the surface of the base substrate can be performed more effectively.

본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 터치 패널 제조 장치(100)는 기판 세척부(140)를 더 포함할 수 있다. The flexible touch panel manufacturing apparatus 100 according to an exemplary embodiment of the present invention may further include a substrate cleaning unit 140.

기판 세척부(140)는 베이스 기판 표면에 잔류하는 도전성 물질을 세척하기 위한 것으로, 효과적인 세척을 위하여 유기 용매 분사 유닛(142) 및 세척 유닛(144)을 포함한다. The substrate cleaning unit 140 is for cleaning the conductive material remaining on the surface of the base substrate and includes an organic solvent injection unit 142 and a cleaning unit 144 for effective cleaning.

유기 용매 분사 유닛(142)은 베이스 기판의 표면에 잔류하는 도전성 물질을 보다 원활하게 제거하기 위하여, 상기 도전성 물질을 용해시킬 수 있는 유기 용매를 베이스 기판의 표면에 분사한다. The organic solvent ejection unit 142 ejects an organic solvent capable of dissolving the conductive material onto the surface of the base substrate in order to more smoothly remove the conductive material remaining on the surface of the base substrate.

도전성 물질이 베이스 기판의 표면에서 건조된 경우에는 스퀴즈 유닛(128)에 의해서도 제거가 어려울 수 있으며, 무리하게 제거하는 경우에는 베이스 기판 표면에 스크래치를 발생시키는 것과 같은 문제점이 발생된다. 베이스 기판의 표면에 도전성 물질이 잔류하거나 혹은 베이스 기판의 표면으로부터 건조된 도전성 물질을 무리하게 제거하여 스크래치가 발생된 경우에는, 이후 완성된 플렉서블 터치 패널의 시인성을 저하시키는 요인이 될 수 있다. If the conductive material is dried on the surface of the base substrate, it may be difficult to remove the conductive substance by the squeeze unit 128, and if it is forcibly removed, scratches may be generated on the surface of the base substrate. If the conductive material remains on the surface of the base substrate or if the conductive material dried from the surface of the base substrate is forcibly removed and scratches are generated, then the visibility of the completed flexible touch panel may be lowered.

따라서 본 실시예에 따라, 기판 세척부(140)를 포함하는 플렉서블 터치 패널 제조 장치(100)는, 건조된 도전성 물질을 용해시킬 수 있는 유기 용매를 베이스 기판의 표면에 분사하여 용해시킨 뒤, 이를 제거할 수 있다. Therefore, according to the present embodiment, the flexible touch panel manufacturing apparatus 100 including the substrate cleaning unit 140 ejects and dissolves an organic solvent capable of dissolving the dried conductive material on the surface of the base substrate, Can be removed.

본 실시예에 따라 분사되는 유기 용매는 알코올류 이외에도 다양한 유기 용매가 사용될 수 있으며, 유기 용매의 종류가 변형된다 하더라도 본 발명의 실시범위가 제한되는 것은 아니다. The organic solvent to be sprayed according to this embodiment may include various organic solvents in addition to alcohols, and the scope of the present invention is not limited to the modified types of organic solvents.

세척 유닛(144)은, 유기 용매 분사 유닛(142)으로부터 분사된 유기 용매에 의해 용해된 도전성 물질을 닦아 내기 위한 시트지를 포함한다. 본 실시예에 따른 시트지는 베이스 기판 및 충전된 도전성 물질을 보호하기 위하여, 극세사 시트로 이루어질 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니며, 베이스 기판 및 충전된 도전성 물질을 보호할 수 있으면서도 완성된 플렉서블 터치 패널의 제품 성능을 저해하지 않을 수 있는 시트지라면 본 발명의 실시범위에 포함될 수 있을 것이다. The cleaning unit 144 includes a sheet for wiping the conductive material dissolved by the organic solvent ejected from the organic solvent ejection unit 142. In order to protect the base substrate and the filled conductive material, the sheet according to the present embodiment may be formed of a microfiber sheet but is not limited thereto and may be a product of a flexible touch panel that can protect the base substrate and the filled conductive material, A sheet that may not deteriorate the performance may be included in the scope of the present invention.

또한 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 터치 패널 제조 장치(100)는 기판 경화부(150)를 더 포함할 수 있다. The flexible touch panel manufacturing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may further include a substrate hardening unit 150.

기판 경화부(150)는 트렌치 내에 충전된 도전성 물질을 빛 또는 열에 의해 경화시키는 부분이다. The substrate hardening portion 150 is a portion for hardening the conductive material filled in the trench by light or heat.

전술한 것과 같이 본 실시예에 따른 플렉서블 터치 패널 제조 장치(100) 내에서 이동되는 베이스 기판은 제1 롤(112)을 포함하는 제1 기판 전달부(110) 및 제2 롤(132)을 포함하는 제2 기판 전달부(130)에 의해 이동되기 때문에, 트렌치 내에 도전성 물질이 충전된 채 경화되지 않고 이동되는 경우에는, 도전성 물질이 트렌치 외부로 이탈되거나 외부에 묻어날 수 있기 때문에 완성된 플렉서블 터치 패널 제품의 성능을 저하시키는 요인이 될 수 있다. As described above, the base substrate moved in the flexible touch panel manufacturing apparatus 100 according to the present embodiment includes the first substrate transfer unit 110 including the first rolls 112 and the second rolls 132 When the conductive material is filled in the trench and is not cured while being filled with the conductive material, the conductive material may be released to the outside of the trench or may be burnt to the outside. Therefore, the completed flexible touch panel Which may deteriorate the performance of the product.

따라서, 도전성 물질이 충전되고 난 이후, 베이스 기판의 원활한 이동을 위하여 트렌치 내에 충전된 도전성 물질을 경화시킬 수 있다. 본 실시예에 따른 기판 경화부(150)의 경화의 정도는 반드시 완전한 경화일 필요는 없으며, 제공되는 빛 또는 열의 세기를 조절하여 도전성 물질이 외부로 흘러나오지 않을 정도의 반 경화 상태까지로도 경화시킬 수 있을 것이다. Therefore, after the conductive material is filled, the conductive material filled in the trench can be cured for smooth movement of the base substrate. The degree of curing of the substrate curing unit 150 according to the present embodiment does not necessarily have to be completely cured, and the degree of curing of the substrate curing unit 150 according to the present embodiment may be controlled by adjusting the intensity of the provided light or heat, .

도 1에는 본 실시예에 따라, 베이스 기판의 손상을 방지하고자, 가경화 및 본경화에 걸쳐 두 번의 경화를 실시할 수 있도록 두 개의 기판 경화부(150)를 포함하는 플렉서블 터치 패널 제조 장치(100)가 도시되어 있다. 다만, 이는 일 예에 불과하며, 도시된 도면 외에도 다양한 변형예가 실시될 수 있을 것이다. 1 illustrates a flexible touch panel manufacturing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, which includes two substrate hardening units 150 for preventing hardening of the base substrate, Are shown. However, this is merely an example, and various modifications may be made in addition to those shown in the drawings.

또한 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 터치 패널 제조 장치(100)는 기판 검사부(160)를 더 포함할 수 있다. The flexible touch panel manufacturing apparatus 100 according to an exemplary embodiment of the present invention may further include a substrate inspection unit 160.

기판 검사부(160)는, 전술한 도전성 물질 충전부(120), 기판 세척부(140) 및 기판 경화부(150)를 통과하여, 베이스 기판의 트렌치 내에 도전성 물질이 충전되고 세척되며 경화까지 이루어진 후, 불량이 발생되었는지 여부를 판단하는 부분이다. The substrate inspection unit 160 passes through the conductive material charging unit 120, the substrate cleaning unit 140 and the substrate hardening unit 150 to fill the conductive material in the trenches of the base substrate, It is a part for judging whether or not a defect has occurred.

본 실시예에 따른 기판 검사부(160)는, 일 예로, 터치 패널의 시인성을 확인하기 위해 빛 투과도를 검사할 수 있으며, 혹은 전기적 성능을 확인하기 위하여 통전 및 저항 측정 검사를 할 수 있을 것이다. 다만, 이는 본 발명의 일 실시예에 불과하며, 제조된 플렉서블 터치 패널의 성능을 확인할 수 있는 검사를 수행한다면 본 발명의 실시범위에 포함될 수 있을 것이다. For example, the board inspecting unit 160 according to the present embodiment may check the light transmittance to confirm the visibility of the touch panel, or may perform the energization and resistance measurement tests to check the electrical performance. However, this is only an embodiment of the present invention, and if the inspection is performed to confirm the performance of the manufactured flexible touch panel, it can be included in the scope of the present invention.

이상에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 터치 패널 제조 장치(100)에 대하여 설명하였다. 본 발명에 따르면, 제1 롤(112)을 포함하는 제1 기판 전달부(110) 및 제2 롤(132)을 포함하는 제2 기판 전달부(130)에 의해 롤투롤 방식으로 이동되는 베이스 기판에 보다 효과적으로 도전성 물질을 충전하여 투명 전극을 형성함으로써 전기적 성능이 뛰어난 플렉서블 터치 패널을 제조할 수 있는 장치가 제공된다. The flexible touch panel manufacturing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention has been described above. According to an embodiment of the present invention, a base substrate 120 is moved in a roll-to-roll manner by a second substrate transfer unit 130 including a first substrate transfer unit 110 including a first roll 112 and a second roll 132, A transparent electrode is formed by filling a conductive material with a conductive material more effectively, thereby providing an apparatus capable of manufacturing a flexible touch panel having excellent electrical performance.

본 발명에 의하면, 롤투롤 방식으로 플렉서블 터치 패널이 제조되기 때문에, 생산 속도를 향상시키는 동시에 생산 비용을 절감시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 의하면, 도전성 물질의 충전을 보조하기 위한 다양한 기술적 특징을 가지고 있기 때문에, 도전성 물질의 충전 불량으로 인한 불량 발생률이 감소되어 제품의 생산력뿐만 아니라 제품의 성능까지 향상시킬 수 있다. According to the present invention, since the flexible touch panel is manufactured by the roll-to-roll method, the production speed can be improved and the production cost can be reduced. In addition, according to the present invention, since there are various technical features for assisting the filling of the conductive material, the defective incidence due to the defective filling of the conductive material is reduced, thereby improving not only the productivity of the product but also the performance of the product.

앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안되며, 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It is obvious to those who have. Accordingly, it should be understood that such modifications or alterations should not be understood individually from the technical spirit and viewpoint of the present invention, and that modified embodiments fall within the scope of the claims of the present invention.

100: 플렉서블 터치 패널 제조 장치
110: 제1 기판 전달부
112: 제1 롤
120: 도전성 물질 충전부
122: 부압 발생 유닛
124: 도전성 물질 공급 유닛
126: 파동 발생 유닛
128: 스퀴즈 유닛
128a: 제1 스퀴즈
128b: 제2 스퀴즈
130: 제2 기판 전달부
132: 제2 롤
140: 기판 세척부
142: 유기 용매 분사 유닛
144: 세척 유닛
150: 기판 경화부
160: 기판 검사부100: Flexible touch panel manufacturing apparatus
110: a first substrate transfer part
112: first roll
120: Conductive material charging part
122: negative pressure generating unit
124: conductive material supply unit
126: wave generating unit
128: Squeeze unit
128a: 1st squeeze
128b: second squeeze
130: a second substrate transfer part
132: second roll
140: Substrate cleaning unit
142: Organic solvent injection unit
144: Cleaning unit
150: substrate hardening part
160: Substrate inspector

Claims

An apparatus for manufacturing a flexible touch panel in which a transparent electrode is formed on a base substrate formed of a flexible and transparent material,
A first substrate transfer part including a first roll for moving the base substrate on which a trench capable of being filled with a conductive material is formed;
A conductive material charging unit for charging the conductive material into the trench of the base substrate transferred by the first substrate transfer unit to form a circuit pattern for a transparent electrode; And
And a second substrate transferring part including a second roll for moving the base substrate filled with the conductive material,
The conductive material-
A negative pressure generating unit temporarily attached to a surface of the base substrate to remove a bubble formed while the conductive material is filled in the trench and to provide a negative pressure to the trench;
A conductive material supply unit for supplying the conductive material into the trench; And
And a wave generating unit for preventing generation of bubbles and generating waves for assisting charging of the conductive material while the conductive material is being filled in the trench,
A unit which is formed integrally with a squeeze unit provided at a lower portion and attached to the conductive material supply unit,
Wherein the trench has a line width of 0.1 to 5.0 mu m.

delete

The method according to claim 1,
The squeeze unit includes:
A first squeeze for moving the conductive material remaining on the surface of the base substrate into the trench so that the conductive material is filled in the trench; And
And a second squeeze moving while pressing the surface of the base substrate to remove the conductive material remaining on the surface of the base substrate.
Flexible touch panel manufacturing apparatus.

delete

The method according to claim 1,
Further comprising a substrate cleaning unit for cleaning the conductive material remaining on the surface of the base substrate.
Flexible touch panel manufacturing apparatus.

8. The method of claim 7,
The substrate cleaning unit includes:
An organic solvent ejecting unit for ejecting an organic solvent that dissolves the conductive material remaining on the surface of the base substrate; And
And a cleaning unit for cleaning the surface of the base substrate with a sheet of paper.
Flexible touch panel manufacturing apparatus.

The method according to claim 1,
Further comprising a substrate hardening portion for hardening the conductive material filled in the trench by using light or heat.
Flexible touch panel manufacturing apparatus.

The method according to claim 1,
Further comprising a substrate inspection unit for determining whether a defect of the base substrate filled with the conductive material has occurred,
Flexible touch panel manufacturing apparatus.

The method according to claim 1,
Further comprising: a trench forming portion for forming the trench for filling the conductive material on the base substrate.
Flexible touch panel manufacturing apparatus.

12. The method of claim 11,
The trench-
Characterized in that the trench is formed on the base substrate by an imprint process using a roll-shaped metal mold,
Flexible touch panel manufacturing apparatus.

delete

The method according to claim 1,
Wherein the conductive material supply unit includes:
And a dispenser for discharging a predetermined amount of the conductive material.
Flexible touch panel manufacturing apparatus.

15. The method of claim 14,
Wherein the dispenser comprises:
And a plurality of optical fibers,
Flexible touch panel manufacturing apparatus.