KR101632482B1

KR101632482B1 - Polishing apparatus having automatic replacement function of multi polishing member

Info

Publication number: KR101632482B1
Application number: KR1020140042765A
Authority: KR
Inventors: 오세표; 이태오; 한상빈
Original assignee: 주식회사 포스코
Priority date: 2014-04-10
Filing date: 2014-04-10
Publication date: 2016-06-22
Also published as: KR20150117727A

Abstract

본 발명은 다중 연마부재를 구비하여 별도의 연마부재 교체 없이 시편을 연마하며, 사용된 다중 연마부재를 자동으로 교체할 수 있는 다중 연마부재 교체 기능을 갖는 시편 연마장치에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시형태에 따른 다중 연마부재 교체 기능을 갖는 시편 연마장치는 상면에 길이 방향으로 가이드 레일이 형성된 베이스 프레임; 시편을 연마할 수 있도록 상면에 표면 조도가 서로 상이한 복수 개의 연마부재가 상기 베이스 프레임의 폭 방향으로 순차적으로 배치되고, 상기 베이스 프레임 상면에 상기 가이드 레일을 따라 이동 가능하게 설치된 연마 유닛; 순차적으로 배치된 각각의 상기 연마부재에 의해 연마될 수 있도록, 상기 베이스 프레임 상부에 상기 연마부재가 배열된 방향으로 이동되면서 상기 시편이 결합된 몰드를 상기 연마부재 방향으로 승강 가능하게 설치된 이동 유닛; 및 상기 베이스 프레임 일측에 구비되어 상기 몰드와 이동 유닛을 결합시키는 결합 유닛;을 포함한다.The present invention relates to a specimen polishing apparatus having a multiple abrasive member replacement function capable of automatically polishing a plurality of used abrasive members by polishing a specimen without replacing a separate abrasive member with multiple abrasive members, A sample polishing apparatus having a multiple polishing member replacement function includes a base frame having guide rails formed on an upper surface thereof in a longitudinal direction; A polishing unit provided on the upper surface of the base frame so as to be movable along the guide rails, wherein a plurality of polishing members having surface roughnesses different from each other are sequentially arranged in the width direction of the base frame so as to be able to polish the specimen; A movable unit mounted on the base frame so as to be able to be polished by each of the sequentially arranged polishing members so as to be movable in the direction in which the polishing member is arranged and movable up and down in the direction of the polishing member; And a coupling unit provided at one side of the base frame to couple the mold and the mobile unit.

Description

TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a polishing apparatus having a multi-polishing member replacement function,

본 발명은 시편의 단면을 분석하기 위해 시편을 연마하는 연마장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다중 연마부재를 구비하여 별도의 연마부재 교체 없이 시편을 연마하며, 사용된 다중 연마부재를 자동으로 교체할 수 있는 다중 연마부재 교체 기능을 갖는 시편 연마장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polishing apparatus for polishing a specimen for analyzing a cross section of a specimen, and more particularly, to a polishing apparatus for polishing a specimen without using a separate polishing member with multiple polishing members, The present invention relates to a specimen polishing apparatus having a function of replacing multiple abrasive members.

일반적으로, 철강소재를 개발하여 그 성분 및 내부 조직상 등을 분석하기 위해서는 주조 공정 또는 주조 실험시 주조된 소재를 일정한 크길 절단 가공하여 만들어진 시편의 단면이 상부로 향하도록 수직으로 세워 고정하고 이를 연마장치를 이용하여 상기 시편의 표면을 연마한 후 분석을 실시한다.Generally, in order to develop a steel material and analyze its composition and internal structure, it is necessary to vertically set the end face of the specimen, which is made by subjecting the cast material to a certain cutting process during the casting process or casting experiment, The surface of the specimen is polished using the apparatus and analyzed.

상기 시편 연마시 상기 소재를 고정시킬 수 있도록, 플라스틱 소재에 열을 가하여 용융시킨 후 상기 소재 사이사이에 침투시킨 다음 응고시켜 상기 소재를 몰드에 고정시킨다.In order to fix the material during the polishing of the specimen, heat is applied to the plastic material to melt the material, and then the material is infiltrated between the materials and then solidified to fix the material to the mold.

상기 소재와 몰드의 결합이 완료되면, 상기 연마장치의 회전하는 하부 회전판 상면에 연마부재를 장착한 후 상기 소재과 결합된 몰드가 장착된 지그를 회전되는 고정체인 축에 결합시켜 상기 연마부재와 서로 마찰시켜 상기 몰드에 고정된 소재의 표면을 연마한다.After the coupling of the material and the mold is completed, a polishing member is mounted on the upper surface of the rotating lower rotary plate of the polishing apparatus, and the jig having the mold coupled with the material is engaged with the shaft of the rotary shaft. To polish the surface of the workpiece fixed to the mold.

이때, 상기 지그에 결합된 복수 개의 스편을 동시에 연마할 수 있도록, 상기 지그가 회전하면서 이동하여 상기 시편의 표면이 평평하게 연삭되지 않고 중심이 돌출된 볼록한 라운드형으로 연마되어 재가공으로 인한 준비시간이 많이 소요되며, 분석 결과의 신뢰성이 저하되는 문제점을 가지고 있었다.At this time, the jig is rotated and moved so that a plurality of spits coupled to the jig can be polished at the same time, so that the surface of the specimen is not ground flat, but is polished into a convex round shape protruding from the center, And the reliability of the analysis results is deteriorated.

또한, 상기 시편을 연마하는 과정에서 상기 연마부재는 작엄 진행 순서에 따라, 작업자가 수작업으로 거칠기가 큰 연마부재에서 미세한 거칠기를 갖는 연마부재로 순차적으로 교체를 실시하고 있어, 고속으로 회전하는 연마장치와의 접촉 등으로 인한 안전사고를 유발하며, 연마부재 교체작업에 장시간 소요되는 문제점을 가지고 있었다.Further, in the course of polishing the specimen, the abrasive member is sequentially replaced with an abrasive member having a fine roughness in an abrasive member having a large roughness by manual operation, and the abrasive member And a long time is required for replacing the abrasive member.

또한, 작업자의 숙련도에 따라 소재의 표면 연마시 차이가 발생되어 분석 결과의 신뢰성이 저하되는 문제점을 가지고 있었다.In addition, there is a problem that the reliability of analysis results deteriorates due to a difference in polishing the surface of the work according to the skill of the operator.

종래, 다중의 연마패드를 구비하여 연마패드 교체작업 없이 연속적으로 연마하는 장치에 대해서는 "다중의 연마패드를 구비한 폴리싱 장치(10-1020122)" 등에서 구체적으로 공지되어 있다.Conventionally, an apparatus for polishing continuously a plurality of polishing pads without a polishing pad replacement operation is specifically known in "a polishing apparatus (10-1020122) equipped with multiple polishing pads ".

그러나, 다수의 시편 안마시 연마패드를 반복하여 사용함에 따라, 시편의 표면을 연마시 연마 정도의 차이가 발생되어 분석 결과의 신뢰성이 저하되는 문제점을 해결하지 못하였다.However, the repeated use of the polishing pad for a large number of sample pads did not solve the problem that the reliability of analysis results deteriorates due to the difference in the degree of polishing during polishing of the surface of the sample.

또한, 연마패드 교체가 용이하지 않아 연마패드 교체시 장시간이 소요되는 문제점을 가지고 있었으며, 시편 교체시 장시간이 소요되는 문제점을 가지고 있었다.
Also, since the replacement of the polishing pad is difficult, it takes a long time to replace the polishing pad, and it takes a long time to replace the sample.

등록특허 10-1020122 (2011. 02. 28.)Patent Document 10-1020122 (Feb. 28, 2011)

본 발명은 연마부재의 교체작업 없이 연마공정을 연속적으로 실시할 수 있어, 연마공정시 소요되는 시간을 단축할 수 있는 다중 연마부재 교체 기능을 갖는 시편 연마장치를 제공한다.The present invention provides a specimen polishing apparatus having a function of replacing multiple abrasive members, which can continuously carry out a polishing process without replacing the abrasive member and can shorten the time required for the polishing process.

또한, 마모된 연마부재를 자동으로 교체함으로써, 분석 결과의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 다중 연마부재 교체 기능을 갖는 시편 연마장치를 제공한다.There is also provided a specimen polishing apparatus having a function of replacing multiple abrasive members capable of improving the reliability of analysis results by automatically replacing worn abrasive members.

또한, 시편이 결합된 몰드의 착탈을 용이하게 실시할 수 있는 다중 연마부재 교체 기능을 갖는 시편 연마장치를 제공한다.The present invention also provides a specimen polishing apparatus having a function of replacing multiple abrasive members, which can easily attach and detach a mold to which a specimen is coupled.

또한, 시편의 표면이 볼록한 라운딩형으로 연삭되는 것을 방지하면서, 정밀하게 연삭할 수 있는 다중 연마부재 교체 기능을 갖는 시편 연마장치를 제공한다.
The present invention also provides a specimen polishing apparatus having a function of replacing multiple abrasive members capable of precisely grinding while preventing the surface of the specimen from being ground in a convex rounding shape.

본 발명의 일 실시형태에 따른 다중 연마부재 교체 기능을 갖는 시편 연마장치는 상면에 길이 방향으로 가이드 레일이 형성된 베이스 프레임; 시편을 연마할 수 있도록 상면에 표면 조도가 서로 상이한 복수 개의 연마부재가 상기 베이스 프레임의 폭 방향으로 순차적으로 배치되고, 상기 베이스 프레임 상면에 상기 가이드 레일을 따라 이동 가능하게 설치된 연마 유닛; 순차적으로 배치된 각각의 상기 연마부재에 의해 연마될 수 있도록, 상기 베이스 프레임 상부에 상기 연마부재가 배열된 방향으로 이동되면서 상기 시편이 결합된 몰드를 상기 연마부재 방향으로 승강 가능하게 설치된 이동 유닛; 및 상기 베이스 프레임 일측에 구비되어 상기 몰드와 이동 유닛을 결합시키는 결합 유닛;을 포함한다.A specimen polishing apparatus having a function of replacing multiple abrasive members according to an embodiment of the present invention includes a base frame having guide rails formed on an upper surface thereof in a longitudinal direction; A polishing unit provided on the upper surface of the base frame so as to be movable along the guide rails, wherein a plurality of polishing members having surface roughnesses different from each other are arranged in the width direction of the base frame so as to be able to polish the sample; A movable unit mounted on the base frame so as to be able to be polished by each of the sequentially arranged polishing members so as to be movable in the direction in which the polishing member is arranged and movable up and down in the direction of the polishing member; And a coupling unit provided at one side of the base frame to couple the mold and the mobile unit.

상기 연마 유닛은, 상면이 개방되고 내부공간이 형성된 연마 바디; 상기 내부공간에 상기 베이스 프레임의 길이 방향으로 이격되어 설치되어 복수 개의 상기 연마부재가 권취되는 한 쌍의 권취롤; 일측 권취롤에 권취된 상기 연마부재를 타측 권취롤 방향으로 이동시킬 수 있도록 상기 권취롤을 회전시키는 제1 모터; 및 상기 가이드 레일을 따라 상기 연마 바디가 이동될 수 있도록 일단이 상기 연마 바디에 고정되고, 상기 베이스 프레임의 길이 방향으로 신장되는 제1 실린더;를 포함한다.The polishing unit comprises: an abrasive body having an upper surface opened and an inner space formed; A pair of winding rolls installed in the inner space in the longitudinal direction of the base frame to wind a plurality of the polishing members; A first motor that rotates the take-up roll so that the abrasive member wound on the one-side take-up roll can be moved in the other take-up roll direction; And a first cylinder having one end fixed to the polishing body and extending in the longitudinal direction of the base frame so that the polishing body can be moved along the guide rail.

상기 연마 유닛은, 한 쌍의 상기 권취롤 사이에 배치되어 상기 연마부재를 흡착시켜 고정하는 흡착판;을 더 포함한다.The polishing unit further includes an adsorption plate disposed between the pair of the winding rolls to adsorb and fix the polishing member.

상기 이동 유닛은, 상기 몰드가 삽입될 수 있도록 저면에 상기 몰드의 외주면에 대응하는 장착홈이 형성된 고정 바디; 상기 고정 바디를 상기 베이스 프레임의 폭 방향으로 이동시킬 수 있도록 상기 베이스 프레임 상부에 폭 방향으로 설치되고 저면에 상기 고정 바디가 이동 가능하게 설치된 이동부; 및 상기 고정 바디를 상기 연마 유닛 방향으로 승강시킬 수 있도록 상기 이동부의 양 단에 결합된 한 쌍의 제2 실린더;를 포함한다.The movable unit includes: a fixed body having a mounting groove corresponding to an outer circumferential surface of the mold on a bottom surface thereof so that the mold can be inserted; A moving unit installed in a width direction on the base frame to move the fixed body in the width direction of the base frame and having the fixed body movably installed on the bottom surface thereof; And a pair of second cylinders coupled to both ends of the moving unit so as to move the fixed body in the direction of the polishing unit.

상기 이동부는, 양단이 상기 제2 실린더의 로드와 결합되어 상기 베이스 프레임의 폭 방향으로 배치되고 외주면에 나사산이 형성된 회전축; 상기 회전축을 따라 상기 베이스 프레임의 폭 방향으로 이동가능하게 설치되고, 저면에 상기 고정 바디가 결합된 이동 플레이트; 및 상기 회전축을 회전시키는 제2 모터;를 포함한다.Wherein the moving unit includes: a rotating shaft having both ends thereof coupled to the rod of the second cylinder and disposed in the width direction of the base frame and having threads on the outer circumferential surface; A moving plate installed to be movable in the width direction of the base frame along the rotation axis and having the fixed body coupled to a bottom surface thereof; And a second motor for rotating the rotation shaft.

상기 고정 바디는 길이 방향으로 절개된 복수 개의 삽입 홈이 방사형으로 형성되며, 수평방향의 단면이 하방향으로 갈수록 증가되는 것을 특징으로 하고, 상기 이동 유닛은, 상기 고정 바디의 외면을 감싸면서 승강 가능하게 설치된 고정링을 더 포함한다.Wherein the fixed body is formed with a plurality of insertion grooves cut in the longitudinal direction in a radial direction and a cross section in the horizontal direction is increased in a downward direction, wherein the movable unit includes: As shown in Fig.

상기 결합 유닛은, 상기 몰드가 결합된 상기 고정 바디가 삽입될 수 있도록 상면이 개방된 결합 바디; 스프링을 매개로 상기 결합 바디 저면에 결합되어 상기 몰드와 접촉되는 접촉판; 및 상기 결합 바디를 관통하여 내부방향으로 신장되는 복수 개의 제3 실린더를 포함한다.The coupling unit includes: a coupling body having an upper surface opened to allow insertion of the fixed body to which the mold is coupled; A contact plate coupled to a bottom surface of the coupling body via a spring to be in contact with the mold; And a plurality of third cylinders extending inwardly through the mating body.

바람직하게, 본 발명의 일 실시형태에 따른 다중 연마부재 교체 기능을 갖는 시편 연마장치는 복수 개의 몰드가 거치될 수 있도록 상면에 상기 몰드가 삽입되는 거치 홈이 형성되고, 상기 베이스 프레임의 폭 방향으로 상기 이동 유닛 하부에 배치된 몰드 거치대;를 더 포함한다.
Preferably, in the specimen polishing apparatus having the function of replacing multiple abrasive members according to an embodiment of the present invention, a mounting groove into which the mold is inserted is formed so that a plurality of molds can be mounted, And a mold stand disposed below the mobile unit.

본 발명의 실시예에 따르면, 시편 연마시 사용되는 서로 다른 표면조도를 갖는 복수 개의 연마부재를 가공 순서에 따라 순차적으로 배치함으로써, 연마공정을 연속적으로 실시할 수 있어 작업시간을 단축하고, 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.According to the embodiment of the present invention, a plurality of polishing members having different surface roughnesses used in specimen polishing are sequentially arranged in accordance with the machining order, so that the polishing process can be continuously performed, shortening the working time, There is an effect that can be improved.

또한, 마모된 연마부재 교체 및 시편이 결합된 몰드의 착탈 작업을 자동으로 실시함으로써, 연마공정에 소요되는 작업시간을 단축시키고 작업자의 안전사고를 예방할 수 있는 효과가 있다.In addition, by automatically carrying out the replacement of the worn polishing member and the attachment / detachment of the mold with the specimen coupled thereto, it is possible to shorten the working time required for the polishing process and prevent a safety accident of the worker.

또한, 시편과 접촉된 연마부재를 일방향으로 왕복 이동되면서 시편을 연마함에 따라, 시편의 표면이 볼록한 라운딩형으로 연삭되는 것을 방지하고, 정밀하게 연삭함으로써, 분석 결과의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
Further, the effect of improving the reliability of the analysis result by preventing the surface of the specimen from being ground in a convex rounded shape by grinding the specimen while reciprocating the polishing member in contact with the specimen in one direction have.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 다중 연마부재 교체 기능을 갖는 시편 연마장치를 보여주는 사시도이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 연마유닛과 베이스 프레임을 설명하기 위한 단면도이며,
도 3은 일반적인 시편과 몰드의 결합을 설명하기 위한 도면이고,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 고정 바디를 설명하기 위한 사시도이며,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 결합 유닛을 이용한 몰드 결합을 설명하기 위한 단면도이다.1 is a perspective view showing a specimen polishing apparatus having a function of replacing multiple abrasive members according to an embodiment of the present invention,
2 is a cross-sectional view illustrating a polishing unit and a base frame according to an embodiment of the present invention,
3 is a view for explaining a combination of a general test piece and a mold,
4 is a perspective view illustrating a fixed body according to an embodiment of the present invention,
5 is a cross-sectional view illustrating a mold coupling using a coupling unit according to an embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시 예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 참고로, 본 설명에서 동일한 번호는 실질적으로 동일한 요소를 지칭하며, 이러한 규칙 하에서 다른 도면에 기재된 내용을 인용하여 설명할 수 있고, 당업자에게 자명하다고 판단되거나 반복되는 내용은 생략될 수 있다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments. For reference, the same numbers in this description refer to substantially the same elements and can be described with reference to the contents described in the other drawings under these rules, and the contents which are judged to be obvious to the person skilled in the art or repeated can be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 다중 연마부재 교체 기능을 갖는 시편 연마장치를 보여주는 사시도이다.1 is a perspective view showing a specimen polishing apparatus having a function of replacing multiple abrasive members according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 다중 연마부재 교체 기능을 갖는 시편 연마장치는 베이스 프레임(100)과 표면 조도가 서로 상이한 복수 개의 연마부재(210)가 상기 베이스 프레임(100)의 폭 방향으로 순차적으로 배치되고, 상기 베이스 프레임(100) 상면에 이동가능하게 설치된 연마 유닛(200)과 시편(S)이 결합된 몰드(M)를 상기 연마부재(210) 방향으로 이동시키는 이동 유닛(300) 및 상기 몰드(M)와 상기 이동 유닛(300)을 결합시키는 결합 유닛(400)을 포함한다.1, a sample polishing apparatus having a multiple polishing member replacement function according to an embodiment of the present invention includes a plurality of polishing members 210 having different surface roughnesses from the base frame 100, 100 and a mold M coupled with the specimen S is moved in the direction of the abrasive member 210 so as to be movable in the direction of the abrasive member 210, And a coupling unit (400) for coupling the mold (M) and the mobile unit (300).

상기 베이스 프레임(100)은 상기 시편(S) 연마하기 위해 이동되는 상기 연마 유닛(200)의 이동을 가이드할 수 있도록, 상면에 길이 방향으로 하나 이상의 가이드 레일(110)이 형성되고, 상기 연마 유닛(200)은 상기 가이드 레일(110)을 따라 왕복운동하면서 상기 연마부재(210)와 접촉된 시편(S)을 연마한다.The base frame 100 is formed with at least one guide rail 110 on its upper surface in the longitudinal direction so as to guide movement of the polishing unit 200 moved to polish the specimen S, (200) reciprocates along the guide rails (110) to polish the specimen (S) in contact with the polishing member (210).

상기 연마 유닛(200)은 작업순서에 따라, 서로 상이한 표면 조도를 갖는 복수 개의 상기 연마부재(210)가 순차적으로 배치되는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 다중 연마부재로 형성함으로써 상기 시편(S) 연마시 연마공정에 따라 연마부재의 교체 작업을 생략할 수 있어 연마공정에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있으며, 이에 따라, 연마부재(210) 교체시 작업자의 안전사고를 예방할 수 있는 효과가 있다.The polishing unit 200 preferably has a plurality of polishing members 210 having different surface roughnesses sequentially arranged in accordance with an operation sequence. This is because, by forming a plurality of polishing members, it is possible to omit the replacement operation of the polishing member according to the polishing process during the polishing of the specimen S, thereby shortening the time required for the polishing process, There is an effect of preventing the safety accident of the city workers.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 연마유닛과 베이스 프레임을 설명하기 위한 단면도이다.2 is a cross-sectional view illustrating a polishing unit and a base frame according to an embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기 연마 유닛(200)은 상기 가이드 레일(110)을 따라 상기 베이스 프레임(100) 상면에 이동가능하게 설치된 연마 바디(220)와 상기 연마 바디(220) 내부에 수용되고 복수 개의 상기 연마부재(210)의 양단이 표면조도에 따라 순차적으로 각각 결합되어 상기 연마부재(210)가 권취되는 한 쌍의 권취롤(230) 및 상기 권취롤(230)을 회전시키는 제1 모터(240) 및 일측은 상기 베이스 프레임(100)에 고정되고 타측은 상기 연마 바디(220)에 고정되어 상기 베이스 프레임(100)의 길이 방향으로 신장되는 제1 실린더(250)를 포함한다.2, the polishing unit 200 includes a polishing body 220 movably installed on the upper surface of the base frame 100 along the guide rails 110, A pair of take-up rolls 230 for winding the abrasive member 210 and a pair of take-up rolls 230 for rotating the take-up rolls 230, respectively, wherein both ends of the plurality of the abrasive members 210 are sequentially coupled in accordance with surface roughness, The motor 240 includes a first cylinder 250 having one side fixed to the base frame 100 and the other side fixed to the polishing body 220 and extending in the longitudinal direction of the base frame 100.

이때, 상기 연마 바디(220)는 표면조도에 따라 순차적으로 복수 개의 상기 연마부재(210)가 권취된 한 쌍의 상기 권취롤(230)이 이격되어 배치될 수 있도록 내부공간이 형성되고, 상기 연마부재(210)가 노출될 수 있도록 그 상면은 개방되어 형성된다.At this time, the inner space is formed in the polishing body 220 so that a pair of the winding rolls 230 on which the plurality of the polishing members 210 are wound can be spaced apart in order according to the surface roughness, The upper surface of which is open so that the member 210 can be exposed.

상기 권취롤(230)은 상기 베이스 프레임(100)의 길이 방향으로 상기 내부공간에 이격되어 설치되고, 상기 제1 모터(240)는 한 쌍의 상기 권취롤(230) 중 어느 하나에 설치되어 상기 권취롤(230)을 일 방향으로 회전시킴으로써, 일측 권취롤(230)에 귄취된 상기 연마부재(210)를 타측 권취롤(230) 방향으로 이동시킴으로써, 상기 연마부재(210) 중 상기 시편(S)을 연마하는 과정에서 마모된 부분을 자동으로 교체한다.The winding rollers 230 are spaced apart from the inner space in the longitudinal direction of the base frame 100. The first motor 240 is installed on one of the pair of the winding rollers 230, By rotating the take-up roll 230 in one direction so that the abrasive member 210 wound around the one take-up roll 230 is moved in the direction of the other take-up roll 230, ), The worn portion is automatically replaced.

이에, 마모된 연마부재 교체에 소요되는 시간을 최소화하면서, 항상 동일한 조건으로 상기 시편(S)을 연마함으로써 분석 결과의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Thus, there is an effect that the reliability of the analysis result can be improved by polishing the specimen S under the same conditions at all times while minimizing the time required for replacing the abraded abrasive members.

상기 제1 실린더(250)는 상면에 복수 개의 상기 연마부재(210)가 순차적으로 노출된 상기 연마 바디(220)를 상기 베이스 프레임(100)의 길이 방향으로 왕복운동시킴으로써, 상기 연마부재(210)와 접촉된 상기 시편(S)을 연마한다.The first cylinder 250 reciprocates in a longitudinal direction of the base frame 100 to expose a plurality of the polishing members 210 sequentially on the upper surface of the first cylinder 250, And the specimen S that is in contact with the wafer W is polished.

이때, 상기 연마 유닛(200)은 상기 시편(S)과 접촉될 수 있도록 상기 연마 바디 상면에 노출된 상기 연마부재(210)를 흡착하여 고정시키는 흡착판(260)을 더 포함하는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 연마공정시 상기 흡착판(260)은 그 상면에 상기 연마부재(210)에 흡착력을 가하여 고정함으로써, 상기 연마부재(210)를 이용하여 상기 시편(S) 연마시 상기 연마부재(210)의 움직임을 방지할 수 있기 때문이다. 이에, 상기 시편(S)의 표면이 라운드형으로 연마되는 것을 방지하고, 상기 시편(S)의 표면을 정밀하게 연마할 수 있는 효과가 있다.The polishing unit 200 may further include a suction plate 260 for sucking and fixing the polishing member 210 exposed on the upper surface of the polishing body 200 so as to be in contact with the specimen S. [ This is because the attraction plate 260 is fixed to the upper surface of the polishing member 210 by applying an attraction force to the polishing member 210 to polish the surface of the polishing member 210 during the polishing of the specimen S using the polishing member 210. [ Because it can prevent movement. Thus, the surface of the specimen S is prevented from being polished in a round shape, and the surface of the specimen S can be precisely polished.

도 3은 일반적인 시편과 몰드의 결합을 설명하기 위한 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 고정 바디를 설명하기 위한 사시도이다.FIG. 3 is a view for explaining a combination of a general test piece and a mold, and FIG. 4 is a perspective view for explaining a fixed body according to an embodiment of the present invention.

도 3 내지 4에 도시된 바와 같이, 상기 이동 유닛(300)은 상기 몰드(M)의 일부가 삽입되어 고정되는 고정 바디(310)와 상기 베이스 프레임(100) 상부에 상기 베이스 프레임(100)의 폭 방향으로 설치되고 저면에 상기 고정 바디(310)가 이동 가능하게 설치된 이동부(320) 및 상기 이동부(320)의 양단에 각각 결합된 한 쌍의 제2 실린더(330)를 포함한다.3 to 4, the mobile unit 300 includes a fixed body 310 to which a part of the mold M is inserted and fixed, and a fixed body 310 on which the base frame 100 is mounted. And a pair of second cylinders 330 coupled to both ends of the moving unit 320. The moving unit 320 includes a fixed body 310 movably installed on a bottom surface thereof.

상기 고정 바디(310)는 저면에 상기 시편(S)이 결합된 몰드(M)의 일부가 삽입되어 고정될 수 있도록 저면에 장착 홈(311)이 형성된다. 이때, 상기 고정 바디(310)는 길이 방향으로 절개된 복수 개의 삽입 홈(312)이 방사형으로 형성되고, 그 수평 방향의 단면이 하방향으로 갈수록 증가되도록 형성되는 것이 바람직하며, 이때, 상기 이동 유닛(300)은 상기 고정 바디(310)의 외면을 감싸면서 승강 가능하게 설치된 고정링(340)을 더 포함하는 것이 바람직하다. The fixing body 310 has a mounting groove 311 formed on the bottom surface thereof so that a part of the mold M to which the specimen S is coupled can be inserted and fixed on the bottom surface thereof. At this time, it is preferable that a plurality of insertion grooves 312 cut in the longitudinal direction are formed radially and the cross section in the horizontal direction is formed to be increased in a downward direction. In this case, (300) may further include a fixing ring (340) installed to be able to move up and down while covering the outer surface of the fixed body (310).

이에, 상기 장착 홈(311)에 상기 몰드(M)의 삽입을 용이하게 하고, 상기 장착 홈(311) 내부로 상기 몰드(M) 삽입이 완료되면, 상기 고정링(340)을 하강시켜 연마공정시 상기 몰드(M)가 움직이지 않도록 견고하게 고정할 수 있어, 연마 품질을 향상시킬 수 있는 효과가 있기 때문이다.When the insertion of the mold M into the mounting groove 311 is facilitated and the fixing ring 340 is lowered into the mounting groove 311, This is because the mold M can be firmly fixed so as not to move, and the polishing quality can be improved.

상기 제2 실린더(330)는 상기 시편(S)과 연마부재(210)가 접촉하여 연마될 수 있도록 상기 고정 바디(310)가 설치된 상기 이동부(320)의 양단을 동일한 높이로 승강시킨다.The second cylinder 330 lifts both ends of the moving part 320 provided with the fixed body 310 to the same height so that the specimen S and the polishing member 210 can be abraded and polished.

상기 이동부(320)는 양단이 한 쌍의 제2 실린더(330)에 각각 결합되는 회전축(321)과 상기 회전축(321)을 따라 이동가능하게 설치되어 상기 베이스 프레임(100)의 폭 방향, 즉 다중의 상기 연마부재(210)가 순차적으로 배치된 방향으로 이동하는 이동 플레이트(322) 및 상기 회전축(321)을 회전시키는 제2 모터(323)를 포함한다.The moving unit 320 includes a rotating shaft 321 that is coupled to the pair of second cylinders 330 at both ends and a movable shaft 321 that is movable along the rotating shaft 321, A moving plate 322 that moves in a direction in which the plurality of polishing members 210 are sequentially disposed, and a second motor 323 that rotates the rotating shaft 321.

이때 상기 회전축(321)은 상기 이동 플레이트(322)를 관통하여 결합되되 그 외주면에는 일방향으로 나사산이 형성되는 것이 바람직하다. 이에, 상기 제2 모터(323)가 상기 회전축(321)을 회전시키면 상기 이동 플레이트(322)가 상기 나사산에 의해 상기 회전축(321)을 따라 상기 베이스 프레임(100)의 폭 방향으로 이동된다.At this time, the rotating shaft 321 is coupled through the moving plate 322, and a thread is formed on the outer circumferential surface of the rotating shaft 321 in one direction. When the second motor 323 rotates the rotation shaft 321, the moving plate 322 is moved in the width direction of the base frame 100 along the rotation axis 321 by the thread.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 결합 유닛을 이용한 몰드 결합을 설명하기 위한 단면도이다.5 is a cross-sectional view illustrating a mold coupling using a coupling unit according to an embodiment of the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 결합 유닛(400)은 상기 몰드(M)가 상기 장착 홈(311)에 삽입되어 1차 결합이 완료된 상기 고정 바디(310)와 몰드(M)를 상기 고정 바디(310)의 외면을 감싸면서 승강 가능하게 설치된 상기 고정링(340)을 하강시켜 상기 몰드(M)가 이탈되는 것을 방지하도록 상기 고정 바디(310)와 몰드(M)를 2차 결합시킨다.5, the coupling unit 400 according to an embodiment of the present invention includes the fixing body 310 having the mold M inserted into the mounting groove 311 and having completed the primary bonding, The fixed body 310 and the mold M are fixed to the mold body 310 to prevent the mold M from being detached by lowering the fixing ring 340 installed to be movable up and down while the mold M is wrapped around the outer surface of the fixed body 310. [ ).

상기 결합 유닛(400)은 상기 몰드(M)가 결합된 상기 고정 바디(310)가 삽입될 수 있도록 상면이 개방된 결합 바디(410)와 상기 결합 바디(410)의 내부에 스프링(421)을 매개로 설치된 접촉판(420) 및 로드가 상기 결합 바디(410)의 내부 방향으로 신장될 수 있도록 상기 결합 바디(410)를 관통하여 설치된 복수 개의 제3 실린더(430)를 포함한다.The coupling unit 400 includes a coupling body 410 whose upper surface is opened so that the fixed body 310 to which the mold M is coupled and a spring 421 inside the coupling body 410 And a plurality of third cylinders 430 installed through the coupling body 410 so that the rod can be extended in the inner direction of the coupling body 410.

이에, 1차 결합된 상기 몰드(M)와 고정 바디(310)가 개방된 상면을 통해 상기 결합 바디(410)의 내부로 삽입되어 상기 몰드(M)와 접촉판(420) 접촉시 상기 스프링(421)이 완충작용을 하여 상기 몰드(M) 및 저면에 부착된 상기 시편(S)이 손상되는 것을 방지하며, 상기 고정 바디(310)에 1차 결합된 상기 몰드(M)가 상기 접촉판(420)과 접촉되면 상기 제3 실린더(430)가 내부로 신장되고, 상기 제2 실린더(330)를 이용하여 상기 이동 유닛(300)을 상부방향으로 상승시키면 상기 고정 바디(310)의 외면을 감싸도록 설치된 상기 고정링(340)이 상기 제3 실린더(430)의 로드에 걸려 상기 고정 바디(310)의 외면을 따라 하강 됨으로써, 상기 몰드(M)와 고정 바디(310)를 2차 결합된다.The mold M and the fixed body 310 are inserted into the interior of the coupling body 410 through the open top surface of the mold M and the fixed body 310 so that when the mold M contacts the contact plate 420, 421 prevent the specimen S adhered to the mold M and the bottom surface from being damaged by the buffering action so that the mold M primarily engaged with the fixed body 310 can be prevented from contacting with the contact plate The third cylinder 430 is extended to the inside when the movable unit 300 is in contact with the fixed body 310 and the movable unit 300 is lifted upward by using the second cylinder 330 to cover the outer surface of the fixed body 310 The fixing ring 340 installed on the third cylinder 430 is caught by the rod of the third cylinder 430 and is lowered along the outer surface of the fixed body 310 so that the mold M and the fixed body 310 are secondarily coupled.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 다중 연마부재 교체 기능을 갖는 시편 연마장치는 복수 개의 몰드(M)를 거치시키도록 상면에 몰드(M)가 삽입되는 복수 개의 거치 홈(510)이 형성되어 상기 베이스 프레임(100)의 폭 방향으로 상기 이동 유닛(300) 하부에 배치된 몰드 거치대(500)를 더 포함하는 것이 바람직하다. 이에, 상기 이동 유닛(300)이 상기 몰드 거치대(500)에 거치된 복수 개의 몰드(M)를 순차적으로 연마시킬 수 있어 무인 작업이 가능한 효과가 있으며, 몰드 교체작업 등으로 인한 작업자의 안전사고를 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.
In the specimen polishing apparatus having the function of replacing multiple abrasive members according to an embodiment of the present invention, a plurality of embossing grooves 510 are formed in which the mold M is inserted to mount the plurality of molds M And a mold mount 500 disposed below the mobile unit 300 in the width direction of the base frame 100. [ Accordingly, the mobile unit 300 can sequentially polish a plurality of molds M mounted on the mold mount 500, thereby enabling an unmanned operation. Also, There is an effect that can be prevented in advance.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시형태에 따른, 다중 연마부재 교체 기능을 갖는 시편 연마장치의 작동관계에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.The operating relationship of the specimen polishing apparatus having the multiple abrasive member replacement function according to the embodiment of the present invention configured as described above will be described with reference to the drawings.

상기 제2 모터(323)를 작동시켜 상기 고정 바디(310)를 상기 몰드 거치대(500) 방향으로 이동시킨 후 , 상기 제2 실린더(330)를 수축시키면 상기 고정 바디(310)가 하강되어 상기 몰드 거치대(500)에 안착된 상기 시편(S)이 장착된 상기 몰드(M)가 상기 장착 홈(311) 내부로 삽입되어 상기 결합 바디(410)와 1차 결합이 완료된다.When the second cylinder 323 is operated to move the fixed body 310 in the direction of the mold rest 500 and then the second cylinder 330 is retracted, the fixed body 310 is lowered, The mold M on which the specimen S mounted on the mounting table 500 is mounted is inserted into the mounting groove 311 to complete the primary bonding with the coupling body 410.

1차 결합이 완료되면, 상기 제2 실린더(330)를 신장시켜 상기 몰드(M)를 상기 몰드 거치대(500)로 부터 분리시킨 다음, 상기 제2 모터(323)를 작동시켜 상기 결합 유닛(400) 상부로 상기 몰드(M)와 결합된 상기 고정 바디(310)를 이동시킨다.When the first coupling is completed, the second cylinder (330) is extended to separate the mold (M) from the mold mount (500), and then the second motor (323) And moves the fixed body 310 coupled with the mold M to the upper portion.

상기 결합 유닛(400) 상부로 이동이 완료되면, 상기 제2 실린더(330)를 수축시켜 상기 몰드(M)와 결합된 상기 고정 바디(310)를 상기 결합 유닛(400) 내부로 이동시키고, 상기 몰드(M)와 상기 접촉판(420)이 접촉되면 상기 제3 실린더(430)를 신장시킨 다음, 상기 제2 실린더(330)를 신장시켜 상기 고정 바디(310)의 외면에 설치된 상기 고정링(340)을 하강시켜 상기 몰드(M)와 고정 바디(310)를 2차 결합시킨다.The second cylinder 330 is retracted to move the fixed body 310 coupled to the mold M to the inside of the coupling unit 400 when the movement to the upper portion of the coupling unit 400 is completed, When the mold M and the contact plate 420 are in contact with each other, the third cylinder 430 is extended and then the second cylinder 330 is extended to move the fixed ring 310 340 are lowered to couple the mold M and the fixed body 310 to each other.

2차 결합이 완료되면 상기 제3 실린더(430)를 수축시키고, 상기 제2 모터(323)를 작동시켜 상기 고정 바디(310)에 완전히 결합된 상기 몰드(M)를 순차적으로 배치된 복수 개의 상기 연마부재(210) 방향으로 이동시킨 다음 상기 시편(S)이 하강하여 상기 연마부재(210) 중 하나와 접촉되도록 상기 제2 실린더(330)를 수축시킨다.When the second coupling is completed, the third cylinder 430 is retracted and the second motor 323 is operated to move the mold M completely engaged with the fixed body 310 to the plurality of And then the specimen S is lowered to shrink the second cylinder 330 so as to be in contact with one of the abrasive members 210.

상기 시편(S)과 연마부재(210)가 접촉되면 상기 제1 실린더(250)를 작동시켜 상기 연마 유닛(200)을 상기 베이스 프레임(100)의 길이 방향으로 왕복운동시킴으로써, 연마공정을 실시한다. 이때, 상기 흡착판(260)은 상기 연마부재(210)를 그 상면에 밀착시켜 상기 연마부재(210)의 이동을 방지한다.When the specimen S and the polishing member 210 are brought into contact with each other, the first cylinder 250 is operated to reciprocate the polishing unit 200 in the longitudinal direction of the base frame 100 to perform a polishing process . At this time, the attracting plate 260 closely contacts the upper surface of the abrasive member 210 to prevent the abrasive member 210 from moving.

이러한 연마공정은 공정순서에 따라 순차적으로 배치된 각각의 상기 연마부재(210)에 의해 순차적으로 연마되며, 연마공정이 마무리되면 상기 제1 모터(240)를 회전시켜 복수 개의 상기 연마부재(210)에서 사용이 완료된 부분을 일정간격 이동시키고 작업이 종료된다.
When the polishing process is completed, the first motor 240 is rotated to rotate the plurality of polishing members 210. The polishing process is completed by the respective polishing members 210, And the work is terminated.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
Although the present invention has been described with reference to the preferred embodiments thereof, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the following claims. It can be understood that

S: 시편 M: 몰드
100: 베이스 프레임 110: 가이드 레일
200: 연마 유닛 210: 연마부재
220: 연마 바디 230: 권취롤
240: 제1 모터 250: 제1 실린더
260:흡착판 300: 이동 유닛
310: 고정 바디 311: 장착 홈
312: 삽입 홈 320: 이동부
321: 회전축 322: 이동 플레이트
323: 제 2 모터 330: 제2 실린더
340: 고정링 400: 결합 유닛
410: 결합 바디 420: 접촉판
421: 스프링 430: 제3 실린더
500: 몰드 거치대 510: 거치 홈S: Specimen M: Mold
100: base frame 110: guide rail
200: polishing unit 210: polishing member
220: polishing body 230: winding roll
240: first motor 250: first cylinder
260: attracting plate 300: mobile unit
310: fixed body 311: mounting groove
312: insertion groove 320: moving part
321: rotating shaft 322: moving plate
323: second motor 330: second cylinder
340: stationary ring 400: coupling unit
410: coupling body 420: contact plate
421: spring 430: third cylinder
500: Mold holder 510: Mounting groove

Claims

A base frame having a guide rail formed on an upper surface thereof in a longitudinal direction;
A polishing unit provided on the upper surface of the base frame so as to be movable along the guide rails, wherein a plurality of polishing members having surface roughnesses different from each other are arranged in the width direction of the base frame so as to be able to polish the sample;
A movable unit mounted on the base frame so as to be able to be polished by each of the sequentially arranged polishing members so as to be movable in the direction in which the polishing member is arranged and movable up and down in the direction of the polishing member; And
And a coupling unit provided at one side of the base frame for coupling the mold and the mobile unit,
The polishing unit comprises: an abrasive body having an upper surface opened and an inner space formed; A pair of winding rolls installed in the inner space in the longitudinal direction of the base frame to wind a plurality of the polishing members; A first motor that rotates the take-up roll so that the abrasive member wound on the one-side take-up roll can be moved in the other take-up roll direction; And a first cylinder having one end fixed to the polishing body and extending in a longitudinal direction of the base frame so that the polishing body can be moved along the guide rail, .

delete

The method according to claim 1,
The polishing unit includes:
And a suction plate disposed between the pair of the take-up rolls for sucking and fixing the abrasive members.

The method according to claim 1,
The mobile unit includes:
A fixing body having a mounting groove corresponding to an outer circumferential surface of the mold on a bottom surface thereof so that the mold can be inserted;
A moving unit installed in a width direction on the base frame to move the fixed body in the width direction of the base frame and having the fixed body movably installed on the bottom surface thereof; And
And a pair of second cylinders coupled to both ends of the moving unit so as to move the fixed body in the direction of the polishing unit.

The method of claim 4,
The moving unit includes:
A rotating shaft having opposite ends joined to the rod of the second cylinder and arranged in the width direction of the base frame and having threads formed on an outer peripheral surface thereof;
A moving plate installed to be movable in the width direction of the base frame along the rotation axis and having the fixed body coupled to a bottom surface thereof; And
And a second motor for rotating the rotating shaft.

The method of claim 4,
The fixed body has a plurality of insertion grooves cut in the longitudinal direction radially, and a cross section in the horizontal direction is increased in a downward direction.
The mobile unit includes:
Further comprising a fixed ring mounted to be able to move up and down while wrapping the outer surface of the fixed body.

The method of claim 6,
The coupling unit includes:
A coupling body having an upper surface opened so that the fixed body to which the mold is coupled can be inserted;
A contact plate coupled to a bottom surface of the coupling body via a spring to be in contact with the mold; And
And a plurality of third cylinders extending in the inward direction through the coupling body.

The method according to claim 1,
Further comprising: a mold rest having a mounting groove formed on an upper surface thereof to allow a plurality of molds to be mounted thereon and disposed below the moving unit in a width direction of the base frame; Specimen polishing apparatus.