KR101631981B1 - Tunable wavelength filter and tunable wavelength laser module with embedded thin film metal temperature sensor - Google Patents

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Abstract

본 발명은 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터 및 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈에 관한 것으로, 더욱 상세하게 폴리머로 광 도파로를 제작하는 공정상에서 광 도파로와 온도 분포가 동일한 등고선 상의 위치에 온도에 따른 금속 박막의 저항 변화를 이용한 메탈 온도 센서가 형성되도록 함으로써, 광 도파로의 정확한 온도 측정이 가능하여 파장 안정화를 달성할 수 있는 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터 및 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a tunable wavelength tunable laser module with a built-in metal temperature sensor and an external resonator type tunable laser module. More particularly, the present invention relates to a wavelength tunable laser module having a metal temperature sensor, To a metal temperature sensor built-in tunable wavelength tunable filter and an external resonator-type tunable laser module capable of achieving wavelength stabilization by enabling accurate temperature measurement of an optical waveguide by forming a metal temperature sensor using resistance change of an external resonator.

Description

메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터 및 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈{Tunable wavelength filter and tunable wavelength laser module with embedded thin film metal temperature sensor}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a tunable wavelength laser module and an embedded thin film metal temperature sensor,

본 발명은 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터 및 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈에 관한 것으로, 더욱 상세하게 폴리머로 광 도파로를 제작하는 공정상에서 광 도파로와 온도 분포가 동일한 등온선 상의 위치에 온도에 따른 금속 박막의 저항 변화를 이용한 메탈 온도센서가 형성되도록 함으로써, 광 도파로의 정확한 온도 측정이 가능하여 파장 안정화를 달성할 수 있는 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터 및 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈에 관한 것이다.
The present invention relates to a tunable wavelength tunable laser module having a metal temperature sensor and an external resonator type tunable laser module. More particularly, the present invention relates to a wavelength tunable laser module having a metal temperature sensor, To a metal temperature sensor built-in tunable wavelength tunable filter and an external resonator-type tunable laser module capable of achieving wavelength stabilization by enabling accurate temperature measurement of an optical waveguide by forming a metal temperature sensor using resistance change of an external resonator.

WDM(Wavelength Division Multiplexing) 광통신 기술은 현재 대부분 기간망 및 메트로망에 적용되는 기술로 하나의 광섬유로 구성된 광선로에 파장분할 다중화 하여 다수의 고속신호를 전송하는 기술이다. WDM 방식의 전송망은 광전변환 없이 일부의 광파장을 선별적으로 분기/결합할 수 있고 또 일부는 통과시킬 수 있는 OADM(Optical Add/Drop Multiplexer) 기능이 필수적이다. OADM은 전송선로에 존재하는 중간 노드들 사이를 파장단위로 연결할 수 있도록 함으로써 망의 연결성을 확장하고 효율성을 높일 수 있다. ROADM(Reconfigurable OADM)은 전문 기술자의 투입 없이 원격지에서 노드의 분기/결합 파장을 재구성 할 수 있고 전체 망의 파장연결 상태를 효율적으로 재구성하여 트래픽 상황변화에 유연하게 대처할 수 있게 함으로써 망의 유지/보수비용을 획기적으로 줄일 수 있는 장점을 가진다. WDM (Wavelength Division Multiplexing) optical communication technology is currently applied to backbone and metro networks, and is a technology for transmitting a plurality of high-speed signals by wavelength division multiplexing to an optical fiber composed of one optical fiber. In the WDM transmission network, an Optical Add / Drop Multiplexer (OADM) function capable of selectively branching / combining part of optical wavelengths without passing photoelectric conversion and partially passing the optical wavelengths is essential. The OADM can connect the intermediate nodes existing in the transmission line in wavelength units, thereby enhancing the connectivity of the network and improving the efficiency. ROADM (Reconfigurable OADM) is able to reconfigure the branching / coupling wavelength of nodes at the remote site without the need of specialist technician and efficiently reconfigure the wavelength connection state of the whole network to flexibly cope with traffic situation change, And the cost can be drastically reduced.

ROADM은 크게 스위치 기반의 구조와 Broadcast and select(BS) 방식의 구조로 구분되어 활용되고 있고 최근에는 후자의 방식이 경로의 손실이 적어 다수의 노드를 수용하는데 유리한 특징이 있어 시스템에서 더 선호하는 방식으로 자리잡고 있다. BS 방식의 ROADM 시스템은 광분배기, 파장다중/역다중화기, 광감쇄기(VOA; Variable Optical Attenuator), 파장가변 필터 및 파장가변 레이저 등이 시스템을 구성하는 핵심 부품이다. 특히 파장가변 레이저와 파장가변 필터가 통합된 파장가변 트랜스폰더(tunable transponder)는 원격지에서 파장을 가변시켜 망을 재구성할 수 있는 기능을 제공하기 때문에 망 운영자에게 백업용 광부품의 재고 부담을 줄여주며 망 관리에 소요되는 시간을 줄일 수 있고, add/drop의 파장선택에 있어 임의 파장을 add/drop 할 수 있어 트래픽 상황변화에 효율적으로 대처 할 수 있어 망의 유지/보수 비용을 줄이는 가장 효율적인 ROADM 기술이다. The ROADM is divided into a switch-based structure and a broadcast-and-select (BS) -based structure. Recently, the latter method is advantageous in accommodating a plurality of nodes because of a loss of path, . The BS-based ROADM system is a key component of the system, including an optical splitter, a wavelength multiplexer / demultiplexer, a variable optical attenuator (VOA), a tunable filter, and a tunable laser. In particular, a tunable transponder that incorporates a tunable laser and a wavelength tunable filter can reconfigure the network by changing the wavelength at a remote location, thereby reducing the inventory burden on the optical components for backup to the network operator, It is the most efficient ROADM technology that can reduce the time required for management and add / drop arbitrary wavelengths in the wavelength selection of add / drop, thus reducing network maintenance / .

그러나 파장가변 필터 기술이 성숙되지 않았고, 파장가변 레이저가 매우 고가이기 때문에 파장가변 트랜스폰더 개발에 많은 장애가 되고 있다. However, since the wavelength tunable filter technology is not matured and the wavelength tunable laser is very expensive, it is a hindrance to the development of wavelength variable transponders.

파장가변 필터의 경우 현재 광섬유 브래그 격자 기반의 필터가 개발되어 활용되고 있으나 파장가변 응답 시간이 5초로 매우 느리고 가격 또한 높아 상용시스템에 활용도가 낮다. In the case of tunable filters, fiber Bragg grating-based filters have been developed and used, but the wavelength tunable response time is very slow as 5 seconds and the price is also high, so it is not used in commercial systems.

파장가변 레이저 또한 DFB(Distributed Feed Back)구조를 활용한 레이저가 개발되어 활용되고 있어나 DFB 레이저의 파장가변 범위가 10 nm 이하로 좁아 C-밴드(1535 nm ~1565 nm) 내의 모든 파장을 지원하기 위하여 3-4 세트(set)의 파장가변 DFB 레이저 모듈을 사용해야 하는 단점이 있다. 또한 DFB 레이저를 이용한 파장가변 트랜스폰더는 광원이 고가이기 때문에 다채널 트랜스폰더를 백업용으로 구비해야 하기 때문에 망 운영자에게 재고 부담을 줄이는데 효율적인 해결책을 제공하지 못하고 있다.The wavelength tunable laser has also been developed and utilized with a DFB (Distributed Feed Back) structure. However, since the tunable range of the DFB laser is as narrow as 10 nm or less, it supports all wavelengths within the C-band (1535 nm to 1565 nm) There is a drawback in that it is necessary to use 3-4 sets of tunable DFB laser modules. In addition, wavelength tunable transponders using DFB lasers are expensive, so multichannel transponders need to be provided for backup, which is not an effective solution to reduce the inventory burden on network operators.

따라서 효율적이고 경제성이 높은 ROADM 시스템용 파장가변 트랜스폰더를 구현하기 위해, 한 개의 모듈로 필요한 WDM 밴드(예를 들면 C-band)의 모든 파장을 가변할 수 있는 파장가변 필터 및 광대역 파장가변 기능을 제공하는 파장가변 필터를 이용한 외부 공진기형 파장가변 광원 개발이 필요한 실정이다.Therefore, in order to realize an efficient and economical wavelength tunable transponder for a ROADM system, a wavelength tunable filter and a wide-band tunable function that can change all the wavelengths of a necessary WDM band (for example, C-band) It is necessary to develop an external resonator type wavelength tunable light source using a variable tunable filter.

파장가변 필터 기술로 가변 파브리-페로 필터 (Tunable Fabry-Perot Filter), 미세 기계 소자 (Micro Machined Device), 막 젠더 간섭계 (Mach-Zehnder Interferometer), 광섬유 브래그 회절 격자 (Fiber Bragg Gratings), 음향 광학 가변 필터 (Acousto-Optic Tunable Filters), 전기 광학 가변 필터 (Electro-Optic Tunable Filters), 배열 도파로 격자 (Arrayed Waveguide Grating, AWG), 활성 필터 (Active Filter), 링 공진기 가변 필터 (Ring Resonator Tunable Filters) 등이 있다.Tunable Fabry-Perot Filter, Micro Machined Device, Mach-Zehnder Interferometer, Fiber Bragg Gratings, Acousto-optic Variable Filter, acousto-optic tunable filters, electro-optic tunable filters, arrayed waveguide grating (AWG), active filter, ring resonator tunable filters, etc. .

브래그 격자를 이용한 광 도파로형 폴리머 파장가변 필터 기술은 미국등록특허 제6,303,040호(등록일 2001.10.16, 명칭 : Method of fabricating thermooptic tunable wavelength filter)에 개시된 바 있다.An optical waveguide type polymer wavelength variable filter technique using a Bragg grating is disclosed in U.S. Patent No. 6,303,040 (entitled "Method of fabricating a thermooptic tunable wavelength filter").

폴리머 광 도파로 기반의 파장가변 필터 구현을 위한 종래의 기술은 열광학 효과를 이용하여 매질의 굴절률을 변화시켜 필요로 하는 특정 파장의 광을 선택적으로 반사 혹은 투과시키는 기술로, 폴리머 광 도파로(12)의 유효 굴절률을 변화시켜 필터의 동작파장을 가변하기 위해 광 도파로 상단에 국부적으로 열을 발생할 수 있는 발열체(13)(일반적으로 금속 박막)를 이용하였다.(도 5 참고)A conventional technique for implementing a wavelength tunable filter based on a polymer optical waveguide is a technique for selectively reflecting or transmitting light of a specific wavelength required by changing a refractive index of a medium using a thermo-optic effect. In the polymer optical waveguide 12, A heating element 13 (generally a metal thin film) capable of locally generating heat at the upper end of the optical waveguide is used to vary the operating wavelength of the filter by changing the effective refractive index of the filter (see FIG. 5).

그러나 금속 발열체를 이용한 종래 기술은 외부 온도가 변할 때, 금속 발열체에서 발생되는 발열량과 필요로 하는 필터동작 파장 사이의 관계가 외부환경에 따라 변하기 때문에, 외부 환경에 무관하게 항상 일률적인 필터 동작파장을 제공할 수 없는 단점이 있다.However, in the conventional technology using a metal heating element, when the external temperature changes, the relationship between the amount of heat generated by the metal heating element and the required filter operating wavelength varies depending on the external environment. Therefore, There is a disadvantage that it can not be provided.

따라서 외부 환경 변화에 따른 온도를 보상하는 구도를 반드시 사용하여야 한다.Therefore, it is necessary to use the composition to compensate the temperature according to the external environment change.

하지만, 일반적으로 사용하는 온도측정 칩인 써미스터(11)(thermistor)는 특성상 빛이 지나가는 도파로와는 거리가 떨어져 있는 웨이퍼 표면이나, 그 옆에 위치해야 하므로, 실제 온도 변화를 직접 겪는 도파로와 온도 차이가 날 수밖에 없다.However, since a thermistor (thermistor) 11, which is generally used as a temperature measurement chip, is required to be located on the surface of the wafer which is separated from the waveguide passing through the light by nature or near the wafer surface, I have no choice but to fly.

이때, 온도변화를 직접 겪어 레이저의 파장에 영향을 주는 도파로의 온도와 써미스터의 온도 차이는 파장의 안정화에 상당한 악영향을 주게 된다는 문제점이 있다.
At this time, there is a problem that the difference between the temperature of the waveguide and the temperature of the thermistor, which directly affect the temperature of the laser, affects the stabilization of the wavelength considerably.

미국등록특허 제6,303,040호(등록일 2001.10.16, 명칭 : Method of fabricating thermooptic tunable wavelength filter)U.S. Patent No. 6,303,040 (entitled "Method of fabricating thermooptic tunable wavelength filter"

본 발명은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 폴리머로 광 도파로를 제작하는 공정상에서 광 도파로와 온도 분포가 동일한 등온선 상의 위치에 온도에 따른 금속 박막의 저항 변화를 이용한 메탈 온도센서가 형성되도록 함으로써, 광 도파로의 정확한 온도 측정이 가능하여 파장 안정화를 달성할 수 있는 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the problems of the prior art as described above, and it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing an optical waveguide by polymerizing a metal thin film And a metal temperature sensor using a resistance change is formed so that accurate temperature measurement of the optical waveguide is possible and wavelength stabilization can be achieved.

또한, 본 발명의 목적은 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터를 사용하여, 양산시 생산성이 높고, 열적ㆍ전기적ㆍ기계적 안정성을 확보할 수 있는 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈을 제공하는 것이다.
It is also an object of the present invention to provide an external resonator type tunable laser module which is capable of achieving high productivity at the time of mass production and securing thermal, electrical, and mechanical stability by using a wavelength tunable filter with a built-in metal temperature sensor.

본 발명에 따른 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터는 광 도파로(100); 상기 광 도파로(100) 상에 형성된 하나 이상의 브래그 격자(200); 상기 브래그 격자(200)가 구비된 광 도파로(100) 상부에 형성된 파장가변용 박막 히터(300); 상기 광 도파로(100) 상부에 형성되되, 상기 브래그 격자(200)와 길이방향으로 일정거리 이격된 위치에 형성된 위상 조절용 박막 히터(400); 및 상기 광 도파로(100) 상부에 형성되며, 상기 파장가변용 박막 히터(300)와 너비방향으로 일정거리 이격된 위치에 형성되는 메탈 온도센서(500); 상기 광 도파로(100) 및 브래그 격자(200)가 상측에 형성되는 기판(20)의 하측면에 배치되는 열전냉각기(600);를 포함하여 이루어지며, 상기 메탈 온도센서(500)를 통해 측정된 온도를 바탕으로 외부 환경과 무관하게 상기 브래그 격자(200)의 반사 대역이 조절될 수 있다.The metal temperature sensor built-in type tunable filter according to the present invention comprises an optical waveguide 100; At least one Bragg grating 200 formed on the optical waveguide 100; A wavelength-shifting thin film heater 300 formed on the optical waveguide 100 provided with the Bragg grating 200; A phase adjusting thin film heater 400 formed on the optical waveguide 100 and spaced apart from the Bragg grating 200 by a predetermined distance in the longitudinal direction; And a metal temperature sensor 500 formed on the optical waveguide 100 and formed at a position spaced apart from the wavelength-shifting thin-film heater 300 by a predetermined distance in the width direction. And a thermoelectric cooler 600 disposed on a lower surface of the substrate 20 on which the optical waveguide 100 and the Bragg grating 200 are formed. The reflection band of the Bragg grating 200 can be adjusted independently of the external environment based on the temperature.

상기 메탈 온도센서(500)는 상기 광 도파로(100)의 코어(130)와 온도 분포가 동일한 등온선 상에 위치할 수 있다.The metal temperature sensor 500 may be positioned on an isothermal line having the same temperature distribution as the core 130 of the optical waveguide 100.

이 때, 상기 메탈 온도센서(500)는 상기 파장가변용 박막 히터(300)의 너비방향으로 양측에 각각 형성될 수 있으며, 상기 파장가변용 박막 히터(300)와 동일 재질의 메탈로 제조될 수 있다.At this time, the metal temperature sensor 500 may be formed on both sides in the width direction of the wavelength-shifting thin-film heater 300, and may be made of the same material as the wavelength-shifting thin-film heater 300.

또, 상기 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터(10)는 상기 파장가변용 박막 히터(300) 제조 공정 시 동일 공정을 이용하여 상기 메탈 온도센서(500)가 제조될 수 있다.In addition, the metal temperature sensor 500 with the metal temperature sensor built-in type tunable filter 10 may be fabricated using the same process in the manufacturing process of the wavelength tunable thin film heater 300.

아울러, 본 발명에 따른 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈은 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터(10)를 포함하여 형성될 수 있으며, 연속적으로 파장가변이 가능할 수 있다.
In addition, the external resonator type tunable laser module according to the present invention may include a wavelength tunable filter 10 with a built-in metal temperature sensor, and the wavelength tunable laser module may be continuously variable.

본 발명에 따른 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터는 폴리머로 광 도파로를 제작하는 공정상에서 광 도파로와 온도 분포가 동일한 등온선 상의 위치에 온도에 따른 금속 박막의 저항 변화를 이용한 메탈 온도 센서가 형성되도록 함으로써, 광 도파로의 정확한 온도 측정이 가능하여 파장 안정화를 달성할 수 있다는 장점이 있다.The metal temperature sensor with built-in metal temperature sensor according to the present invention can form a metal temperature sensor using the change in resistance of the metal thin film at a position on the isothermally equal temperature distribution with the optical waveguide in the process of fabricating the optical waveguide with polymer, It is possible to accurately measure the temperature of the optical waveguide, thereby achieving the wavelength stabilization.

또한, 본 발명은 메탈 온도센서와 위상 조절용 박막 히터, 파장가변용 박막 히터의 재질이 동일하도록 함으로써, 추가 공정 없이 기존의 박막 히터 공정을 이용하여 간편하게 제조가 가능하다는 장점이 있다.In addition, the present invention is advantageous in that the metal temperature sensor, the phase adjusting thin film heater, and the wavelength changing thin film heater are made of the same material so that the conventional thin film heater process can be easily manufactured without additional process.

또한, 본 발명에 따른 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈은 상술한 바와 같은 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터를 사용함으로써, 양산시 생산성이 높고, 열적ㆍ전기적ㆍ기계적 안정성을 확보할 수 있다는 장점이 있다.
In addition, the external resonator type tunable laser module according to the present invention has advantages of high productivity at the time of mass production and securing thermal, electrical, and mechanical stability by using the wavelength tunable filter with a built-in metal temperature sensor as described above.

도 1은 본 발명에 따른 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터를 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈을 나타낸 평면도.
도 3은 본 발명에 따른 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈을 나타낸 측면도.
도 4는 본 발명에 따른 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터의 수직방향 단면에서 온도 분포 등온선을 나타낸 도면.
도 5는 종래의 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈을 나타낸 사시도.1 is a perspective view of a wavelength tunable filter incorporating a metal temperature sensor according to the present invention.
FIG. 2 is a plan view of an external resonator type tunable laser module according to the present invention. FIG.
3 is a side view of an external resonator type tunable laser module according to the present invention.
4 is a diagram showing a temperature distribution isotherm in a vertical section of a wavelength tunable filter with a built-in metal temperature sensor according to the present invention.
5 is a perspective view of a conventional external resonator type tunable laser module.

이하, 본 발명의 기술적 사상을 첨부된 도면을 사용하여 더욱 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the technical idea of the present invention will be described more specifically with reference to the accompanying drawings.

첨부된 도면은 본 발명의 기술적 사상을 더욱 구체적으로 설명하기 위하여 도시한 일예에 불과하므로 본 발명의 기술적 사상이 첨부된 도면의 형태에 한정되는 것은 아니다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are included to provide a further understanding of the technical concept of the present invention, are incorporated in and constitute a part of the specification, and are not intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터를 나타낸 것으로, 도 1에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터(10)는 광 도파로(100), 브래그 격자(200), 파장가변용 박막 히터(300), 위상 조절용 박막 히터(400), 메탈 온도센서(500), 열전냉각기(600)를 포함하여 이루어진다. 1, a metal temperature sensor built-in tunable filter 10 according to the present invention includes an optical waveguide 100, a Bragg grating 200 A wavelength tuning thin film heater 300, a phase adjusting thin film heater 400, a metal temperature sensor 500, and a thermoelectric cooler 600.

상기 광 도파로(100)는 보통 광원에서 출력된 광이 광학 렌즈를 통해 집광되어 입력되는 통로로, 전반사를 유도하는 상부 크래드(110), 하부 크래드(120) 및 광의 전송이 일어나는 코어(130)(도 3 참고)를 포함하여 형성될 수 있다.The optical waveguide 100 is a path through which the light output from the light source is condensed through the optical lens and is inputted to the optical waveguide 100. The optical waveguide 100 includes an upper clad 110, a lower clad 120, (See FIG. 3).

이 때, 상기 광학 렌즈에 의해 집광된 광은 상기 코어(130)로 입력되므로, 레이저를 포함하는 모듈 상태에서, 상기 광 도파로(100)와 대면하는 렌즈 면의 초점은 렌즈에 의해 광이 입력되는 코어(130)의 입력 면에 위치하는 것이 바람직하다.At this time, since the light condensed by the optical lens is input to the core 130, in the module state including the laser, the focal point of the lens surface facing the optical waveguide 100 is such that light is input by the lens It is preferable to be located on the input surface of the core 130.

상기 광 도파로(100)는 물리적 지지를 위한 기판(20) 상에 구비되며, 상기 기판(20)은 실리콘 기판(20), 폴리머 판 또는 유리 판 등이 될 수 있다.The optical waveguide 100 is provided on a substrate 20 for physical support and the substrate 20 may be a silicon substrate 20, a polymer plate, a glass plate, or the like.

상기 브래그 격자(200)는 상기 광 도파로(100) 상에 형성되며, 상기 광 도파로(100)로 입력되는 빛의 파장을 온도 또는 강도와 같은 외부 조건 변화에 따라 달라지도록 한다.The Bragg grating 200 is formed on the optical waveguide 100 and changes the wavelength of light input to the optical waveguide 100 according to changes in external conditions such as temperature or intensity.

본 발명에서는 광 도파로(100)뿐만 아니라, 브래그 격자(200) 또한 물질이 폴리머인 폴리머 브래그 격자(200)이며, 상기 광 도파로(100) 또는 브래그 격자(200)를 형성하는 폴리머는 할로겐 원소를 포함하며, 자외선 또는 열에 의해 경화되는 관능기를 포함할 수 있다.The polymer forming the optical waveguide 100 or the Bragg grating 200 may include a halogen element such as a fluorine compound or a fluorine compound, And may contain a functional group which is cured by ultraviolet rays or heat.

또한, 상기 브래그 격자(200)는 길이방향으로 하나 이상 일정 간격으로 형성되며, 상기 광 도파로(100)의 코어(130) 또는 크래드(110, 120)에 형성될 수 있다.The Bragg grating 200 may be formed at one or more predetermined intervals in the longitudinal direction and may be formed on the core 130 or the clad 110 or 120 of the optical waveguide 100.

이 때, 상기 코어(130)를 구성하는 물질의 굴절률은 상기 크래드(110, 120)를 구성하는 물질의 굴절률 보다 높으며, 상기 브래그 격자(200)를 구성하는 물질의 굴절률은 상기 코어(130)를 구성하는 물질의 굴절률 내지 상기 크래드(110, 120)를 구성하는 물질의 굴절률인 것이 바람직하다.The refractive index of the material constituting the core 130 is higher than the refractive index of the material constituting the clad 110 and 120 and the refractive index of the material constituting the Bragg grating 200 is higher than that of the core 130. [ And the refraction index of the material constituting the clad 110, 120. The refractive index of the material constituting the clad 110,

상기 브래그 격자(200)는 단일한 광 도파로(100)에 주기적으로 다수개가 직렬 연결된 것이며, 상기 브래그 격자(200)의 차수는 서로 독립적으로 1, 3, 5 또는 7차의 차수를 갖는 특징이 있으며, 상기 광 도파로(100)의 기하학적 형태는 립(rib) 구조, 리지(ridge) 구조, 인버티드 립(inverted rib) 구조, 인버티드 리지(inverted ridge)구조 또는 채널 구조일 수 있다.A plurality of Bragg gratings 200 are periodically connected in series to a single optical waveguide 100 and the order of the Bragg gratings 200 is independent of the order of 1, 3, 5, or 7 orders The geometry of the optical waveguide 100 may be a rib structure, a ridge structure, an inverted rib structure, an inverted ridge structure, or a channel structure.

상기 파장가변용 박막 히터(300)는 상기 브래그 격자(200)가 구비된 광 도파로 상부에 형성되며, 상기 위상 조절용 박막 히터(400)는 광 도파로 상부에 형성되되 브래그 격자(200)와 길이방향으로 일정거리 이격된 위치에 형성된다. The wavelength tuning thin film heater 300 is formed on the optical waveguide provided with the Bragg grating 200. The phase adjusting thin film heater 400 is formed on the optical waveguide and has a constant Are formed at a distance apart from each other.

상기 파장가변용 박막히터(300) 및 위상 조절용 박막 히터(400)는 전력이 인가되어 열이 발생되는 통상적인 금속 박막 히터가 모두 사용가능하나, 바람직하게는 Cr, Ni, Cu, Ag, Au, Pt, Ti, Al 원소들 및 니크롬과 같은 이들의 합금으로 구성된 적층 박막으로 이루어진 군에서 선택되는 박막형의 발열체가 구비된 히터인 것이 바람직하다.The wavelength tuning thin film heater 300 and the phase tuning thin film heater 400 may be made of Cr, Ni, Cu, Ag, Au, Pt, , A laminated thin film composed of Ti, Al elements, and an alloy thereof such as nichrome, is preferably a heater provided with a thin film type heating element.

특히, 본 발명은 상기 파장가변용 박막 히터(300)와 위상 조절용 박막 히터(400)의 주변 온도 변화에 따른 특성 변화를 보상하기 위해 박막 히터(300, 400)와 동일한 높이로 형성되고 파장가변용 박막 히터(300)와 너비방향으로 일정거리 이격된 위치에 형성되는 메탈 온도센서(500)와 광 도파로(100) 및 브래그 격자(200)가 상측에 형성되는 기판(20) 하측면에 배치되는 열전냉각기(600)를 포함하여 이루어진다.Particularly, in order to compensate for the change in characteristics of the wavelength-shifting thin film heater 300 and the phase-adjusting thin film heater 400 according to changes in ambient temperature, the wavelength tuning thin film heater 300 is formed at the same height as the thin film heaters 300 and 400, A metal temperature sensor 500 formed at a position spaced apart from the substrate 300 by a predetermined distance in the width direction and a thermoelectric cooler (not shown) disposed on the lower surface of the substrate 20 on which the optical waveguide 100 and the Bragg grating 200 are formed on the upper side 600).

상기 열전냉각기(600)는 통상적으로 집적 소자 또는 장치의 냉각을 위해 사용되는 냉각기가 모두 사용 가능하나, 바람직하게는 열전소자가 구비된 냉각기인 것이 바람직하다. 열전냉각기(600)는 소정의 전기적 신호에 의해 흡열이 발생함으로써 냉각을 수행한다.Preferably, the thermoelectric cooler 600 is a cooler equipped with a thermoelectric device, though it is possible to use all the coolers used for cooling the integrated device or the device. The thermoelectric cooler 600 performs the cooling by generating heat by a predetermined electrical signal.

상기와 같은 구성으로 이루어진 본 발명은 박막 히터(300, 400)에 의한 열 광학 효과를 이용하여 상기 브래그 격자(200)의 반사 파장 대역이 조절되는데, 이 때, 금속 박막의 저항 변화를 이용하여 온도를 측정하는 메탈 온도센서(500)를 통해 측정된 온도를 바탕으로 파장가변용 박막 히터(300), 위상 조절용 박막 히터(400) 및 열전냉각기(600)의 흡열 및 발열 온도를 조절함으로써, 외부 환경과 무관하게 브래그 격자(200)의 반사 대역이 조절될 수 있다.The reflection wavelength band of the Bragg grating 200 is adjusted using the thermo-optic effect of the thin film heaters 300 and 400. In this case, Temperature controlling thin film heater 400 and the thermoelectric cooler 600 on the basis of the temperature measured through the metal temperature sensor 500 for measuring the temperature of the thermoelectric cooler 600, The reflection band of the Bragg grating 200 can be adjusted irrespective of whether or not the reflection grating 200 is formed.

정리하자면, 본 발명의 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터(10)는 상기 브래그 격자(200)가 형성된 상기 광 도파로(100)의 상부에 상기 파장가변용 박막 히터(300)가 구비되고, 상기 파장가변용 박막 히터(300)의 일측 또는 양측에 메탈 온도센서(500)가 구비되며, 브래그 격자(200)가 형성된 광 도파로(100)의 하부에 열전냉각기(600)가 구비되어 효율적이고 정확한 열 광학 효과가 발생되도록 한다.In summary, the wavelength tunable filter 10 incorporating the metal temperature sensor of the present invention is characterized in that the wavelength-shifting thin film heater 300 is provided on the optical waveguide 100 on which the Bragg grating 200 is formed, A metal temperature sensor 500 is provided on one side or both sides of the heater 300 and a thermoelectric cooler 600 is provided below the optical waveguide 100 on which the Bragg grating 200 is formed to efficiently and accurately generate a thermo-optic effect .

이 때, 상기 광 도파로(100) 상부에 형성된 메탈 온도센서(500)는 상기 광 도파로(100)의 코어(130)와 온도 분포가 동일한 등온선 상에 위치하도록 하는 것이 바람직하다(도 5참고). 이를 통해 종래의 온도를 측정하는 위치와 광 도파로(100)와의 위치가 상이하여 오차가 발생되는 해결하여 상기 광 도파로(100)와의 온도 차이를 최소화 할 수 있으며, 상기 광 도파로(100)의 코어(130) 온도 변화를 정확히 모니터링 할 수 있다.It is preferable that the metal temperature sensor 500 formed on the optical waveguide 100 is located on the same isotherm with the core 130 of the optical waveguide 100 (see FIG. 5). This makes it possible to minimize the temperature difference between the optical waveguide 100 and the position where the conventional temperature is measured and the position of the optical waveguide 100 with respect to the position of the optical waveguide 100, 130) Temperature change can be monitored accurately.

또한, 상기 메탈 온도센서(500)는 상기 광 도파로(100)의 코어(130)와 온도 분포가 같은 등온선에 위치하는 두 지점, 즉, 상기 파장가변용 박막 히터(300)의 너비방향으로 양측에 각각 위치함으로써 정확도를 향상시킬 수 있다.The metal temperature sensor 500 is disposed on both sides of the core 130 of the optical waveguide 100 in the width direction of the wavelength-variable thin film heater 300, By positioning, accuracy can be improved.

아울러, 상기 메탈 온도센서(500)는 상기 파장가변용 박막 히터(300)와 동일 재질의 메탈로 제조됨으로써, 추가 공정 없이 기존의 박막 히터 공정에서 동시에 제조가 가능하며, 추가적인 써미스터(themistor) 및 써미스터 스템(지지층) 없이 저가로 온도 조절이 가능하다.In addition, since the metal temperature sensor 500 is made of the same metal as that of the wavelength-shifting thin film heater 300, the metal temperature sensor 500 can be manufactured simultaneously in a conventional thin film heater process without additional process, (Support layer) without temperature control is possible at low cost.

즉, 본 발명은 광 도파로(100)의 코어(130)와 같은 온도 분포 등온선 상에 위치하도록 제작된 메탈 온도센서(500)를 이용하여 안정적으로 폴리머 브래그 격자(200)의 온도 조절을 한다. 메탈 온도센서(500)의 저항 변화를 통해 온도를 측정하며, 측정된 온도를 바탕으로 파장가변용 박막 히터(300), 위상 조절용 박막 히터(400) 및 열전냉각기(600)의 전류 값을 조절함으로써 파장의 안정성을 극대화시킬 수 있다.
That is, the present invention stably adjusts the temperature of the polymer Bragg grating 200 using the metal temperature sensor 500, which is designed to be positioned on the same temperature distribution isotherm as the core 130 of the optical waveguide 100. The temperature is measured through the resistance change of the metal temperature sensor 500 and the current value of the wavelength-shifting thin film heater 300, the phase adjusting thin film heater 400 and the thermoelectric cooler 600 is adjusted based on the measured temperature, Can be maximized.

도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈을 나타낸 것이다.FIG. 2 and FIG. 3 show an external resonator type tunable laser module according to the present invention.

상술한 바와 같은 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터(10)를 적용한 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈(1)은 반도체 레이저 칩(700), 또는 집광 렌즈가 구비된 티오-캔 패키지식 광대역 광원과, 상기 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터(10)를 output coupler로 사용하며, 파장가변용 박막 히터(300), 위상 조절용 박막 히터(400), 메탈 온도센서(500) 및 열전냉각기(600)를 동시에 사용하여, 필터 동작에 있어서 반사 대역의 중심 파장을 외부 환경에 독립적으로 가변 할 수 있다.The outer resonator type tunable laser module 1 employing the metal temperature sensor built-in tunable wavelength filter 10 as described above includes a semiconductor laser chip 700 or a thio-can packaged broadband light source provided with a condenser lens, The tunable thin film heater 300, the phase control thin film heater 400, the metal temperature sensor 500, and the thermoelectric cooler 600 are used at the same time by using the wavelength tunable filter 10 with a metal temperature sensor as an output coupler, The center wavelength of the reflection band in the filter operation can be varied independently of the external environment.

본 발명에 따른 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈(1)의 작동과정을 상세히 설명하면, 본 발명의 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈(1)은 상기 광 도파로(100)의 열 광학 효과를 이용하여 브래그 격자(200)에서 반사되는 파장을 조절함으로써 레이저 출력 파장을 조절하는 방법을 사용하는 것으로, 더욱 구체적으로는, 광원에서 출사된 광대역 광은 광 결합에 의해 광 도파로(100)의 코어(130)에 입력되고, 상기 광 도파로(100)에 형성된 브래그 격자(200)에서 반사되는 파장의 광이 상기 광원의 출사면으로 재입력되는 공진에 의해 상기 브래그 격자(200)의 반사 대역의 중심파장을 갖는 발진 파장을 얻게 된다.The operation of the external resonator type tunable laser module 1 according to the present invention will now be described in detail. The external resonator type tunable laser module 1 of the present invention is configured such that the Bragg The broadband light emitted from the light source is modulated by the optical coupling to the core 130 of the optical waveguide 100 by using a method of controlling the laser output wavelength by adjusting the wavelength reflected by the grating 200. More specifically, And an oscillation having a central wavelength of the reflection band of the Bragg grating 200 is generated by resonance in which light of a wavelength reflected by the Bragg grating 200 formed on the optical waveguide 100 is re- The wavelength is obtained.

파장가변은 광 도파로 상부 클래드(110) 위에 설치된 파장가변용 박막 히터(300)에서 발생되는 열에 따라 광 도파로(100)의 유효 굴절률이 변하기 때문에 필터 동작의 중심파장이 가변된다.Since the effective refractive index of the optical waveguide 100 changes depending on the heat generated in the wavelength-shifting thin film heater 300 provided on the optical waveguide upper clad 110, the central wavelength of the filter operation is variable.

다음, 별도의 제어부(미도시)가 상기 파장가변용 박막 히터(300), 메탈 온도센서(500) 및 열전냉각기(600)와 전기적으로 연결되며, 메탈 온도센서(500)로부터 입력되는 온도를 기반으로 파장가변용 박막 히터(300) 및 열전냉각기(600)의 발열 및 흡열을 조절함으로써, 외부 환경과 독립적으로 발진되는 레이저의 중심 파장을 가변 할 수 있다.Next, a separate control unit (not shown) is electrically connected to the wavelength-shifting thin film heater 300, the metal temperature sensor 500, and the thermoelectric cooler 600, and based on the temperature input from the metal temperature sensor 500 By adjusting the heat generation and the heat absorption of the thin film heater 300 and the thermoelectric cooler 600, the central wavelength of the laser oscillated independently of the external environment can be varied.

아울러, 상기 제어부는 위상 조절용 박막 히터(400)와도 전기적으로 연결되어 위상 조절용 박막 히터(400)의 온도 조절을 통해 파장가변 레이저 공진기 길이를 미세 조절함으로써 발진하는 레이저 모드의 위상을 조절하는 기능을 한다. 이 기능은 주로 파장 가변 레이저의 파장 안정성에 영향을 주는 모드 간 호핑 (laser mode hopping) 효과를 최소화하여 파장 안정성 제고에 사용된다.The control unit is also electrically connected to the phase adjusting thin film heater 400 to control the phase of the oscillating laser mode by finely adjusting the length of the tunable laser resonator through temperature control of the phase adjusting thin film heater 400 . This function is mainly used to improve wavelength stability by minimizing the effect of laser mode hopping which affects the wavelength stability of tunable lasers.

즉, 본 발명의 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈은 모드 간의 호핑(hoping) 없이 연속적으로 파장가변이 가능하다. 일반적으로 레이저는 공진기이므로, 특정 조건에 맞는 일련의 일정한 간격의 불연속적 주파수(또는 파장) 들만 발진된다. 특정 조건에 맞는 파장 또는 주파수를 모드라고 부르며, 이러한 모드들 간의 천이를 호핑이라고 한다. 다시 말해, 레이저가 어떤 한 모드에서 발진한 후 주변의 온도 등 다른 요인에 의해서 인접 모드로 점프하는 현상을 모드 호핑이라고 하는 것이다.That is, the external resonator type tunable laser module of the present invention can continuously change the wavelength without hopping between modes. In general, the laser is a resonator, so that only a series of discrete frequencies (or wavelengths) of a certain interval are oscillated to meet certain conditions. A wavelength or frequency that meets a specific condition is called a mode, and the transition between these modes is called hopping. In other words, the phenomenon that the laser jumps to the adjacent mode due to other factors such as the ambient temperature after oscillating in one mode is referred to as mode hopping.

따라서, 본 발명은 위상조절용 박막 히터(400)를 이용하여 공진기 전체의 길이를 원하는 대로 조절하면, 모드 간의 간격을 조절 할 수 있고 이를 이용하여 호핑을 막을 수도 있으며, 연속적으로 파장을 가변 할 수도 있는 장점이 있다.Accordingly, if the length of the entire resonator is adjusted as desired by using the phase adjusting thin film heater 400, the interval between the modes can be adjusted, hopping can be prevented using the same, and the wavelength can be continuously varied There are advantages.

이 때, 위상 조절용 박막 히터(400)와 파장 가변 기능을 위해 사용하는 파장가변용 박막 히터(300) 간의 거리가 가까워 열적으로 간섭이 생긴다면, 파장 가변 기능과 안정 기능이 서로 영향을 주어 레이저 출력이 불안하게 되므로, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 위상 조절용 박막 히터(400)는 파장가변용 박막 히터(300)와 인접하지 않은 위치에 형성하는 것이 바람직하다.
At this time, if the distance between the phase-adjusting thin film heater 400 and the wavelength-shifting thin film heater 300 used for the tuning function is close and thermally interferes with each other, the wavelength variable function and the stabilization function affect each other, The phase adjusting thin film heater 400 is preferably formed at a position not adjacent to the wavelength converting thin film heater 300 as shown in FIGS.

특히, 본 발명은 도 4에 도시된 것처럼, 메탈 온도센서(500)가 광 도파로(100)의 코어(130)와 온도 분포가 동일한 등온선 상에 일체로 형성됨으로써, 종래의 외부 공진기형 레이저 모듈(1)에서 외부에 써미스터가 구비되는 경우, 써미스터의 온도와 레이저의 파장에 직접 영향을 주는 광 도파로(100)의 온도 차이로 인해 파장이 불안정했던 문제를 개선하여 파장의 안정성을 극대화할 수 있다.
4, the metal temperature sensor 500 is integrally formed on the isotherm having the same temperature distribution as the core 130 of the optical waveguide 100, so that the conventional external resonator type laser module 1, the problem that the wavelength is unstable due to the temperature difference of the optical waveguide 100, which directly affects the temperature of the thermistor and the wavelength of the laser, can be improved and the stability of the wavelength can be maximized.

다시 한 번 정리하면, 본 발명에 따른 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터(10)는 폴리머로 광 도파로(100)를 제작하는 공정상에서 광 도파로(100)와 온도 분포가 동일한 등온선 상의 위치에 온도에 따른 금속 박막의 저항 변화를 이용한 메탈 온도센서(500)가 형성되도록 함으로써, 광 도파로(100)의 정확한 온도 측정이 가능하여 파장 안정화를 달성할 수 있다는 장점이 있다.The wavelength tunable filter 10 with a built-in metal temperature sensor according to the present invention can be fabricated in a process of fabricating the optical waveguide 100 from a polymer, It is possible to accurately measure the temperature of the optical waveguide 100 and to achieve wavelength stabilization by forming the metal temperature sensor 500 using the resistance change of the metal thin film.

또한, 본 발명은 메탈 온도센서(500)와 위상 조절용 박막 히터(400), 파장가변용 박막 히터(300)의 재질이 동일하도록 함으로써, 추가 공정 없이 기존의 박막 히터 공정을 이용하여 간편하게 제조가 가능하다는 장점이 있다.In addition, since the material of the metal temperature sensor 500, the thin film heater 400 for phase control, and the thin film heater 300 for wavelength shifting are the same, it is possible to easily manufacture the thin film heater using the existing thin film heater process without any additional process There are advantages.

또한, 본 발명에 따른 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈(1)은 상술한 바와 같은 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터(10)를 사용함으로써, 양산시 생산성이 높고, 열적ㆍ전기적ㆍ기계적 안정성을 확보할 수 있다는 장점이 있다.The outer resonator type tunable laser module 1 according to the present invention uses the wavelength tunable filter 10 with the built-in metal temperature sensor as described above, thereby achieving high productivity at the time of mass production and securing thermal, electrical and mechanical stability .

한편, 미설명된 부호 칩 스템(800)은 반도체 레이저 칩(700)의 지지층 역할을 하는 것이다.On the other hand, the code chip 800, which has not been described, serves as a support layer of the semiconductor laser chip 700.

본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이다. 예를 들면 본 발명에서 주장하는 파장 가변 필터와 같이 열광학 효과를 이용하는, 광 신호의 세기를 감쇄시키는 가변 광 감쇄기(VOA; Variable optical attenuator)에도 이용될 수 있다. 또한, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.
It is needless to say that the present invention is not limited to the above-described embodiment and that the scope of application is various. For example, a variable optical attenuator (VOA) that attenuates the intensity of an optical signal using a thermo-optic effect, such as the wavelength variable filter claimed in the present invention. It goes without saying that various modifications may be made without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims.

1 : 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈
10 : 메탈센서 내장형 파장가변 필터
20 : 기판
100 : 광 도파로
110 : 상부 클래드 120 : 하부 클래드
200 : 브래그 격자
300 : 파장가변용 박막 히터
400 : 위상 조절용 박막 히터
500 : 메탈 온도센서
600 : 열전냉각기
700 : 반도체 레이저 칩
800 : 칩 스템1: External resonator type tunable laser module
10: Variable wavelength filter with built-in metal sensor
20: substrate
100: optical waveguide
110: upper clad 120: lower clad
200: Bragg grating
300: Thin film heater for changing wavelength
400: Thin film heater for phase control
500: Metal temperature sensor
600: thermoelectric cooler
700: semiconductor laser chip
800: Chip stem

Claims (7)

상부 클래드(110), 하부 클래드(120) 및 상기 상부 클래드(110)와 하부 클래드(120) 사이에 배치되어 광의 전송이 일어나는 코어(130)를 포함하는 광 도파로(100);
상기 코어(130) 상에 형성된 하나 이상의 브래그 격자(200);
상기 브래그 격자(200)가 구비된 광 도파로(100) 상부에 형성된 파장가변용 박막 히터(300);
상기 광 도파로(100) 상부에 형성되되, 상기 브래그 격자(200)와 길이방향으로 일정거리 이격된 위치에 형성된 위상 조절용 박막 히터(400);
상기 광 도파로(100) 상부에 형성되며, 상기 파장가변용 박막 히터(300)와 너비방향으로 일정거리 이격된 위치에 형성되는 메탈 온도센서(500); 및
상기 광 도파로(100) 및 브래그 격자(200)가 상측에 형성되는 기판(20)의 하측면에 배치되는 열전냉각기(600);
를 포함하여 이루어지되,
상기 메탈 온도센서(500)는 금속 박막의 저항 변화를 이용하여 온도를 측정하는 센서로, 상기 파장가변용 박막 히터(300)와 동일 재질의 메탈로 이루어져, 상기 파장가변용 박막 히터(300)의 제조 공정에서 동시에 제조되며,
상기 메탈 온도센서(500)가 상기 광 도파로(100)의 코어(130)와 온도 분포가 동일한 등온선 상의 상기 광 도파로(100) 상부에 위치되어, 상기 메탈 온도센서(500)에 의해 측정된 상기 코어(130)의 온도를 바탕으로 파장가변용 박막 히터(300), 위상 조절용 박막 히터(400) 및 열전냉각기(600)의 흡열 및 발열 온도가 조절됨에 따라 외부 환경에 무관하게 상기 브래그 격자(200)의 반사 대역이 조절되는 것을 특징으로 하는 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터.
An optical waveguide (100) comprising an upper clad (110), a lower clad (120) and a core (130) disposed between the upper clad (110) and the lower clad (120) and transmitting light.
At least one Bragg grating 200 formed on the core 130;
A wavelength-shifting thin film heater 300 formed on the optical waveguide 100 provided with the Bragg grating 200;
A phase adjusting thin film heater 400 formed on the optical waveguide 100 and spaced apart from the Bragg grating 200 by a predetermined distance in the longitudinal direction;
A metal temperature sensor 500 formed on the optical waveguide 100 and formed at a position spaced apart from the wavelength-shifting thin-film heater 300 by a predetermined distance in the width direction; And
A thermoelectric cooler 600 disposed on a lower surface of the substrate 20 on which the optical waveguide 100 and the Bragg grating 200 are formed;
, ≪ / RTI >
The metal temperature sensor 500 is a sensor for measuring the temperature using a resistance change of the metal thin film and is made of the same metal as the wavelength variable thin film heater 300, Lt; / RTI >
The metal temperature sensor 500 is positioned above the optical waveguide 100 on the isothermally equal temperature distribution with the core 130 of the optical waveguide 100, Temperature tunable thin film heater 300 and the thermoelectric cooler 600 are controlled based on the temperature of the Bragg grating 200 and the temperature of the Bragg grating 200 regardless of the external environment, And the reflection band of the wavelength tunable filter is adjusted.
삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 메탈 온도센서(500)는
상기 파장가변용 박막 히터(300)의 너비방향으로 양측에 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터.
The method according to claim 1,
The metal temperature sensor (500)
Are formed on both sides in the width direction of the wavelength-shifting thin film heater (300).
삭제delete 삭제delete 제 1항 및 제 3항 중 어느 한 항에 의한 메탈 온도센서 내장형 파장가변 필터(10)를 포함하여 형성된 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈.
An external resonator type tunable laser module comprising a wavelength tunable filter (10) incorporating a metal temperature sensor according to any one of claims 1 to 3.
제 6항에 있어서,
상기 파장가변 레이저 모듈(1)은
연속적으로 파장가변이 가능한 것을 특징으로 하는 외부 공진기형 파장가변 레이저 모듈.The method according to claim 6,
The wavelength tunable laser module 1 comprises:
And the wavelength tunable laser module is continuously variable in wavelength.
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