KR101613558B1 - Method for doping graphene layer - Google Patents

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Abstract

본 발명은 그래핀에 관한 것으로 특히, 그래핀 층의 도핑 방법 및 그 도핑된 그래핀에 관한 것이다. 이와 같은 본 발명은, 촉매 금속 층 상에 그래핀 층을 형성하는 단계; 상기 그래핀 층 상에 도펀트를 포함하는 지지층을 위치시키는 단계; 상기 촉매 금속 층을 제거하는 단계; 상기 그래핀 층에 도펀트를 가하여 상기 그래핀 층을 도핑하는 단계; 상기 도핑된 그래핀 층 상에 기판을 위치시키는 단계; 및 상기 지지층을 제거하는 단계를 포함하여 구성된다.The present invention relates to graphenes and, more particularly, to a doping method for graphene layers and doped graphenes. The present invention provides a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: forming a graphene layer on a catalytic metal layer; Positioning a support layer comprising a dopant on the graphene layer; Removing the catalytic metal layer; Doping the graphene layer with a dopant; Positioning the substrate on the doped graphene layer; And removing the support layer.

Description

그래핀의 도핑 방법 {Method for doping graphene layer}Method for doping graphene layer < RTI ID = 0.0 >

본 발명은 그래핀에 관한 것으로 특히, 그래핀의 도핑 방법 및 그 도핑된 그래핀에 관한 것이다.The present invention relates to graphenes and, more particularly, to graphene doping methods and doped graphenes.

탄소 원자들로 구성된 물질로는 풀러렌(fullerene), 탄소나노튜브(Carbon Nanotube), 그래핀(graphene), 흑연(Graphite) 등이 존재한다. 이 중에서 그래핀은 탄소 원자들이 2 차원 평면상으로 원자 한 층으로 이루어지는 구조이다.As materials composed of carbon atoms, fullerene, carbon nanotube, graphene, graphite and the like exist. Among them, graphene is a structure in which carbon atoms are composed of one layer on a two-dimensional plane.

특히, 그래핀은 전기적, 기계적, 화학적인 특성이 매우 안정적이고 뛰어날 뿐 아니라 우수한 전도성 물질로서 실리콘보다 매우 빠르게 전자를 이동시키며 구리보다도 매우 큰 전류를 흐르게 할 수 있는데, 이는 2004년 흑연으로부터 그래핀을 분리하는 방법이 발견되면서 실험을 통하여 증명되었으며 현재까지 많은 연구가 진행이 되고 있다.In particular, graphene is not only very stable and excellent in electrical, mechanical and chemical properties, but it is also a good conductive material that can move electrons much faster than silicon and can carry much larger currents than copper, It has been proved through experiments that a method of separation has been discovered.

이러한 그래핀은 대면적으로 형성할 수 있으며, 전기적, 기계적, 화학적인 안정성을 가지고 있을 뿐만 아니라 뛰어난 도전성의 성질을 가지므로, 전자 회로의 기초 소재로 관심을 받고 있다.Such graphene can be formed in a large area and has electrical, mechanical and chemical stability as well as excellent conductivity, and thus is attracting attention as a basic material for electronic circuits.

또한, 그래핀은 일반적으로 주어진 두께의 그래핀의 결정 방향성에 따라 전기적 특성이 변화할 수 있으므로 사용자가 선택 방향으로의 전기적 특성을 발현시킬 수 있고 이에 따라 쉽게 소자를 디자인할 수 있다. 따라서 그래핀은 탄소계 전기 또는 전자기 소자 등에 효과적으로 이용될 수 있다.In addition, since graphenes generally have electrical characteristics that vary depending on the crystal orientation of graphene of a given thickness, the user can express the electrical characteristics in the selected direction and thus design the device easily. Therefore, graphene can be effectively used for carbon-based electric or electromagnetic devices.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 그래핀의 전도성을 향상시킬 수 있고, 전도성 향상 효과가 지속될 수 있는 그래핀의 도핑 방법을 제공하고자 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a doping method of graphene which can improve the conductivity of graphene and maintain the conductivity improving effect.

상기 기술적 과제를 이루기 위하여, 촉매 금속 층 상에 그래핀 층을 형성하는 단계; 상기 그래핀 층 상에 도펀트를 포함하는 지지층을 위치시키는 단계; 상기 촉매 금속 층을 제거하는 단계; 상기 그래핀 층에 도펀트를 가하여 상기 그래핀 층을 도핑하는 단계; 상기 도핑된 그래핀 층 상에 기판을 위치시키는 단계; 및 상기 지지층을 제거하는 단계를 포함하여 구성된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: forming a graphene layer on a catalytic metal layer; Positioning a support layer comprising a dopant on the graphene layer; Removing the catalytic metal layer; Doping the graphene layer with a dopant; Positioning the substrate on the doped graphene layer; And removing the support layer.

여기서, 도핑된 그래핀 층 상에 기판을 위치시키는 단계는, 도펀트가 기판에 접촉하도록 위치시킬 수 있다.Wherein the step of positioning the substrate on the doped graphene layer may be such that the dopant is in contact with the substrate.

또한, 도펀트의 적어도 일부는, 기판과 그래핀 층 사이에 위치하여, 그래핀 층이 도펀트의 보호층으로 작용할 수 있다.Also, at least a portion of the dopant is located between the substrate and the graphene layer, and the graphene layer can act as a protective layer of the dopant.

여기서, 도핑된 그래핀 층 상에 기판을 위치시키는 단계는, 적어도 한 층 이상의 도핑된 그래핀 층이 적층된 기판 상에 도핑된 그래핀 층을 위치시킬 수 있다.Here, the step of positioning the substrate on the doped graphene layer may place the doped graphene layer on a substrate on which at least one layer of the doped graphene layer is laminated.

이러한 도펀트는, 아민 화합물을 포함하는 고분자 또는 유기물 물질을 포함하는 n-형 도펀트를 포함할 수 있다.Such a dopant may comprise an n-type dopant comprising a polymeric or organic material comprising an amine compound.

이러한 n-형 도펀트는, 폴리에틸렌아민(PolyEthylene Amine)), 히드라진(N2H4), 피리딘(C5H5N), 피롤(C4H5N), 아세토니트릴(CH3CN), 트리에타놀아민(TriEthanolAmine), 아닐린(Aniline), 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다.The n- type dopant, polyethylene amine (Amine PolyEthylene)), hydrazine (N 2 H 4), pyridine (C 5 H 5 N), pyrrole (C 4 H 5 N), acetonitrile (CH 3 CN), tree Triethanolamine, aniline, or a combination thereof.

또한, 도펀트는, 플루오르계 폴리머(fluoropolymer)를 포함하는 p-형 도펀트를 포함할 수 있다.In addition, the dopant may comprise a p-type dopant comprising a fluoropolymer.

이러한 p-형 도펀트는, TFSA, 폴리퍼플루오르부테닐비닐에테르(polyperfluorobutenylvinylether), 아몰퍼스 플루오로폴리머(amorphous fluoropolymer), CYTOP, 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다.Such p-type dopants may include TFSA, polyperfluorobutenyl vinyl ether, amorphous fluoropolymer, CYTOP, or a combination thereof.

여기서, 기판은, 반도체 기판 또는 PET를 포함하는 투명 기판을 포함할 수 있다.Here, the substrate may include a semiconductor substrate or a transparent substrate including PET.

또한, 위에서 설명한 제조 방법으로 얻어지는 도핑된 그래핀을 제공할 수 있다.In addition, doped graphene obtained by the above-described manufacturing method can be provided.

본 발명은 다음과 같은 효과가 있다.The present invention has the following effects.

먼저, 본 발명의 도펀트는 그래핀 층과 기판 사이에 위치하게 되므로, 도펀트가 공기 중에 직접 노출되지 않게 되어 도핑 효과가 지속될 수 있다. 즉, 그래핀 층이 도펀트의 보호층으로 작용할 수 있는 것이다.First, since the dopant of the present invention is positioned between the graphene layer and the substrate, the dopant is not directly exposed to the air, and the doping effect can be maintained. That is, the graphene layer can act as a protective layer of the dopant.

또한, 이와 같이 그래핀 층이 도펀트의 보호층으로 작용함으로써, 그래핀 층의 도핑의 효과가 지속되어 전도성이 저하되지 않으므로 적은 수의 그래핀 층을 가지는 경우에도 디바이스에 충분히 이용될 수 있는 효과가 있는 것이다.In addition, since the graphene layer functions as a protective layer of the dopant, the doping effect of the graphene layer is maintained and the conductivity is not lowered. Therefore, even if the graphene layer has a small number of graphene layers, It is.

도 1은 촉매 금속 층 상에 그래핀 층이 형성된 상태를 나타내는 단면도이다.
도 2는 그래핀 층을 형성하기 위한 장치의 일례를 나타내는 개략도이다.
도 3은 촉매 금속 층의 일면에 그래핀 층이 형성된 상태를 나타내는 단면도이다.
도 4는 그래핀 층 상에 지지층을 위치시킨 일례를 나타내는 단면도이다.
도 5는 촉매 금속 층을 제거하는 과정을 나타내는 개략도이다.
도 6은 촉매 금속 층을 제거한 상태를 나타내는 단면도이다.
도 7은 그래핀 층을 도핑하는 과정의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 8은 도핑된 그래핀 층 상에 기판을 위치시키는 단계의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 9는 지지층을 분리시킨 상태의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 10은 도핑된 그래핀 층 상에 기판을 위치시킨 다른 예를 나타내는 단면도이다.
도 11은 지지층을 분리시켜 두 층의 도핑된 그래핀 층을 가지는 상태를 나타내는 단면도이다.
도 12는 네 층의 도핑된 그래핀 층을 가지는 상태를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a state where a graphene layer is formed on a catalyst metal layer.
2 is a schematic view showing an example of a device for forming a graphene layer.
3 is a cross-sectional view showing a state in which a graphene layer is formed on one surface of the catalyst metal layer.
4 is a cross-sectional view showing an example in which a support layer is placed on a graphene layer.
5 is a schematic view showing a process of removing the catalytic metal layer.
6 is a cross-sectional view showing a state in which the catalyst metal layer is removed.
7 is a cross-sectional view showing an example of the process of doping the graphene layer.
8 is a cross-sectional view showing an example of a step of positioning a substrate on a doped graphene layer.
9 is a cross-sectional view showing an example of a state in which the support layer is separated.
10 is a cross-sectional view showing another example in which the substrate is placed on the doped graphene layer.
11 is a cross-sectional view showing a state in which the support layer is separated and has two layers of doped graphene layers.
12 is a cross-sectional view showing a state of having four layers of doped graphene layers.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 의한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명이 여러 가지 수정 및 변형을 허용하면서도, 그 특정 실시예들이 도면들로 예시되어 나타내어지며, 이하에서 상세히 설명될 것이다. 그러나 본 발명을 개시된 특별한 형태로 한정하려는 의도는 아니며, 오히려 본 발명은 청구항들에 의해 정의된 본 발명의 사상과 합치되는 모든 수정, 균등 및 대용을 포함한다. While the invention is susceptible to various modifications and alternative forms, specific embodiments thereof are shown by way of example in the drawings and will herein be described in detail. Rather, the intention is not to limit the invention to the particular forms disclosed, but rather, the invention includes all modifications, equivalents and substitutions that are consistent with the spirit of the invention as defined by the claims.

층, 영역 또는 기판과 같은 요소가 다른 구성요소 "상(on)"에 존재하는 것으로 언급될 때, 이것은 직접적으로 다른 요소 상에 존재하거나 또는 그 사이에 중간 요소가 존재할 수도 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. It will be appreciated that when an element such as a layer, region or substrate is referred to as being present on another element "on," it may be directly on the other element or there may be an intermediate element in between .

비록 제1, 제2 등의 용어가 여러 가지 요소들, 성분들, 영역들, 층들 및/또는 지역들을 설명하기 위해 사용될 수 있지만, 이러한 요소들, 성분들, 영역들, 층들 및/또는 지역들은 이러한 용어에 의해 한정되어서는 안 된다는 것을 이해할 것이다.Although the terms first, second, etc. may be used to describe various elements, components, regions, layers and / or regions, such elements, components, regions, layers and / And should not be limited by these terms.

도 1에서 도시하는 바와 같이, 그래핀을 포함하는 전극을 제조하기 위하여, 촉매 금속 층(10) 상에 그래핀 층(20)을 형성한다.As shown in Fig. 1, a graphene layer 20 is formed on the catalytic metal layer 10 to produce an electrode comprising graphene.

촉매 금속 층(10)은 Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr 등의 금속이 이용될 수 있으며, 이들 중 어느 하나의 단일층 또는 이들 중 적어도 둘 이상의 합금으로 이용될 수 있다.The catalyst metal layer 10 may be formed of a metal such as Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, And may be used as a single layer of any one of them, or as an alloy of at least two of them.

그래핀 층(20)을 형성시키는 방법에는 고온 화학 기상 증착법(Thermal-chemical vapor deposition; CVD), 유도 결합 플라즈마 화학 기상 증착법(ICP-CVD), 플라즈마 화학 기상 증착법(PE-CVD), Microwave CVD 등의 화학 기상 증착법이 이용될 수 있으며, 그 외에도 RTA(rapid thermal annealing), ALD(atomic layer deposition), PVD(physical vapor deposition) 등의 다양한 방법이 이용될 수 있다.Methods for forming the graphene layer 20 include thermal-chemical vapor deposition (CVD), inductively coupled plasma chemical vapor deposition (ICP-CVD), plasma chemical vapor deposition (PE-CVD) And various other methods such as rapid thermal annealing (RTA), atomic layer deposition (ALD), and physical vapor deposition (PVD) may be used.

도 2에서는, 촉매 금속 층(10) 상에 화학 기상 증착법(chemical vapor deposition; CVD)을 이용하여 그래핀 층(20)을 형성하는 예를 나타내고 있다.2 shows an example in which the graphene layer 20 is formed on the catalyst metal layer 10 by chemical vapor deposition (CVD).

이러한 화학 기상 증착법은, 챔버(200) 내에 촉매 금속 층(10)을 위치시키고, 탄소 공급원(carbon source)을 투입하며, 적당한 성장 조건을 제공함으로써 그래핀 층(20)을 성장시키는 방법이다.This chemical vapor deposition method is a method of growing the graphene layer 20 by placing the catalyst metal layer 10 in the chamber 200, introducing a carbon source, and providing suitable growth conditions.

탄소 공급원의 예로는 메탄(CH4), 아세틸렌(C2H2) 등의 가스 형태로 공급이 가능하고, 파우더, 폴리머 등의 고체 형태 및 버블링 알콜(bubbling alcohol) 등의 액체 형태로 공급이 가능하다.Examples of the carbon source include a gas such as methane (CH 4 ), acetylene (C 2 H 2 ), etc., and a solid form such as powder or polymer and a liquid such as bubbling alcohol It is possible.

그 외에도, 에탄, 에틸렌, 에탄올, 아세틸렌, 프로판, 부탄, 부타디엔, 펜탄, 펜텐, 사이클로 펜타디엔, 헥산, 사이클로 헥산, 벤젠, 톨루엔 등과 같은 다양한 탄소 공급원이 이용될 수 있다.In addition, various carbon sources such as ethane, ethylene, ethanol, acetylene, propane, butane, butadiene, pentane, pentene, cyclopentadiene, hexane, cyclohexane, benzene, toluene,

이하, 촉매 금속 층(10)으로서, 구리(Cu)를 이용하고, 탄소 공급원으로는 메탄(CH4)을 이용한 예를 들어 설명한다.Hereinafter, examples in which copper (Cu) is used as the catalyst metal layer 10 and methane (CH 4 ) is used as the carbon source is described.

이러한 촉매 금속 층(10) 상에서 적당한 온도를 유지하면서 수소 분위기 속에서 메탄 가스를 투입하면, 이 수소와 메탄이 반응하여, 촉매 금속 층(10) 상에 그래핀 층(20)이 형성되는 것이다. 이러한 그래핀 층(20)의 형성은 대략 300 내지 1500 ℃의 온도 조건에서 이루어질 수 있다.When methane gas is introduced into the hydrogen atmosphere while maintaining a proper temperature on the catalyst metal layer 10, the hydrogen reacts with methane to form the graphene layer 20 on the catalyst metal layer 10. The formation of the graphene layer 20 may be performed at a temperature of approximately 300 to 1500 ° C.

이때, 촉매 금속 층(10)의 하면에 공간이 없다면, 촉매 금속 층(10)의 상면에만 그래핀 층(20)이 형성될 수 있으나, 촉매 금속 층(10)의 하면에 공간이 있다면, 도 1과 같이, 촉매 금속 층(10)의 양면에 그래핀 층(20)이 형성될 수 있다. At this time, if there is no space on the lower surface of the catalytic metal layer 10, the graphene layer 20 may be formed only on the upper surface of the catalytic metal layer 10. However, if there is a space on the lower surface of the catalytic metal layer 10, 1, a graphene layer 20 may be formed on both sides of the catalytic metal layer 10.

촉매 금속 층(10)으로서 구리는 탄소에 대한 고용도가 낮으므로, 단일층(mono-layer)의 그래핀을 형성하는데 유리할 수 있다. 이러한 그래핀 층(20)은 촉매 금속 층(10) 상에 직접 형성될 수 있다.As the catalytic metal layer 10, copper has a low solubility to carbon, so it may be advantageous to form a mono-layer graphene. This graphene layer 20 may be formed directly on the catalytic metal layer 10.

촉매 금속 층(10)은, 시트(sheet) 형태로 공급될 수 있으나, 도 2에서와 같이, 제 1 롤러(100)에 감겨진 채로 연속적으로 공급될 수 있으며, 대략 10 ㎛ 내지 10 mm 두께의 구리 포일 형태의 촉매 금속 층(10)을 이용할 수 있다.The catalytic metal layer 10 may be supplied in the form of a sheet but may be continuously fed while being wound on the first roller 100 as shown in Figure 2 and may have a thickness of about 10 to 10 mm A catalytic metal layer 10 in the form of a copper foil can be used.

이와 같은 예의 과정에 의하여 형성된 그래핀 층(20)은, 도 1에서와 같이, 양면에 그래핀 층(20)이 형성된다면 촉매 금속 층(10)의 일면에 형성된 그래핀 층(20)을 제거하는 과정을 거칠 수 있다.1, if the graphene layer 20 is formed on both surfaces of the graphene layer 20, the graphene layer 20 formed on one surface of the catalyst metal layer 10 is removed .

이러한 과정에 의하여, 도 3과 같이, 촉매 금속 층(10)의 일면에 그래핀 층(20)이 형성된 상태를 이룰 수 있다.3, a graphene layer 20 may be formed on one surface of the catalytic metal layer 10. As shown in FIG.

이후, 그래핀 층(20) 상에 지지층(30)을 위치시킨다. 이러한 지지층(30)의 예로는 열전사 필름(30)이 이용될 수 있다. 이러한 열전사 필름(30)은 점착층(31)과 기재(32)로 이루어질 수 있으며, 이 점착층(31)이 그래핀 층(20)에 부착되어, 도 4와 같은 상태를 이룰 수 있다.Then, the support layer 30 is placed on the graphene layer 20. As the support layer 30, for example, a thermal transfer film 30 may be used. The thermal transfer film 30 may be composed of an adhesive layer 31 and a base material 32 and the adhesive layer 31 is attached to the graphene layer 20 to achieve the state shown in FIG.

이러한 열전사 필름(30)은 이와 같은 부착 과정이 이루어진 후에 추후 열을 가하게 되면 점착층(31)이 점착력을 잃게 되어 용이하게 분리가 가능한 장점이 있다. The thermal transfer film 30 is advantageous in that when the heat is applied thereto after the adhesion process is performed, the adhesive layer 31 loses adhesion and can be easily separated.

이러한 점착층(31)은 폴리 우레탄 수지, 에폭시 수지, 아크릴 수지, 고분자 수지 등의 각종 고분자 수지, 수계 접착제, 초산 비닐 에멀젼 접착제, 핫멜트 접착제, 가시광 경화형 접착제, 적외선 경화형 접착제, 전자빔 경화형 접착제, PBI(Polybenizimidazole) 접착제, 폴리이미드 접착제, 실리콘 접착제, 이미드 접착제, BMI(Bismaleimide) 접착제 등의 다양한 접착제가 이용될 수 있다.The adhesive layer 31 may be formed of various polymer resins such as a polyurethane resin, an epoxy resin, an acrylic resin and a polymer resin, an aqueous adhesive, a vinyl acetate emulsion adhesive, a hot melt adhesive, a visible light curable adhesive, an infrared curing adhesive, A variety of adhesives such as polybenizimidazole adhesives, polyimide adhesives, silicone adhesives, imide adhesives, and BMI (bismaleimide) adhesives can be used.

또한, 점착층(31)은 재작업성(Rework) 점착제가 이용될 수 있다. 즉, 공정 중 또는 공정 이후에 쉽게 박리가 가능하고, 박리 후에도 잔류 물질을 남기지 않도록 하는 특성을 가질 수 있다.The adhesive layer 31 may be a rework adhesive. That is, it is possible to easily peel off during or after the process, and to retain the residual material even after peeling off.

그리고 기재(32)는 PET와 같은 수지의 투명 필름이 이용될 수 있으며, 투명하지 않은 다양한 재질의 필름이라도 모두 이용될 수 있다.The base material 32 may be a transparent film of a resin such as PET, or may be a film of various materials which are not transparent.

이러한 지지층(30)으로서, 열전사 필름 이외에도 다양한 점착성을 가지는 필름 형태의 재료가 이용될 수 있음은 물론이다.As the support layer 30, it is needless to say that a film type material having various adhesiveness other than the thermal transfer film can be used.

다음에, 촉매 금속 층(10)을 제거하는 과정이 이루어진다. 이러한 과정은 식각의 방법으로 이루어질 수 있다. 도 5에서는 위에서 설명한, 지지층(30)이 그래핀 층(20)에 부착된 상태에서, 식각 용액(33)에 촉매 금속 층(10)이 잠긴 상태로 촉매 금속 층(10)을 식각하는 과정을 도시하고 있다.Next, a process of removing the catalytic metal layer 10 is performed. This process can be done by etching. 5 illustrates a process of etching the catalytic metal layer 10 in a state where the catalytic metal layer 10 is immersed in the etching solution 33 while the support layer 30 is attached to the graphene layer 20 Respectively.

이때, 촉매 금속 층(10)은 식각 용액(33)에 잠기고 그래핀 층(20) 이상부터는 식각 용액(33)에 잠기지 않도록 할 수 있다.At this time, the catalytic metal layer 10 is immersed in the etching solution 33 and can not be immersed in the etching solution 33 from the graphene layer 20 or more.

이러한 과정에 의하여 촉매 금속 층(10)을 제거하면 지지층(30)에 그래핀 층(20)이 부착된 상태가 되어, 도 6과 같은 상태를 이루게 된다.When the catalyst metal layer 10 is removed by this process, the graphene layer 20 is attached to the support layer 30, and the state shown in FIG. 6 is obtained.

다음에는 촉매 금속 층(10)이 제거하여 드러난 그래핀 층(20)을 도핑하는 과정이 이루어진다. 이러한 도핑 과정에 의하여, 도 7에서와 같이, 그래핀 층(20) 상에 도펀트(40)가 위치하는 상태가 이루어질 수 있다.Next, a process of doping the exposed graphene layer 20 is performed. By this doping process, the dopant 40 may be positioned on the graphene layer 20 as shown in FIG.

이와 같은 도핑 과정에 의하여, 그래핀 층(20)은 전도성이 향상될 수 있다. 즉, 촉매 금속 층(10)에 의한 결정 결함(금속의 결정면 사이의 경계(grane boundary) 등에 의한 결함)에 의하여 그래핀 층(20)은 전도성이 낮아질 수 있는데, 도펀트 물질과 그래핀 층(20)의 물질이 치환되면서 전하(carrier)가 발생할 수 있으며, 따라서 전하 밀도(carrier density)가 증가할 수 있는 것이다.By such a doping process, the graphene layer 20 can be improved in conductivity. That is, the graphene layer 20 may have low conductivity due to crystal defects (such as a defect due to a boundary between the crystal faces of the metal) due to the catalytic metal layer 10, ) May be substituted for carriers, which may increase the carrier density.

이러한 도펀트(40)는, 유기계 도펀트, 무기계 도펀트, 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다. 그 일례로서, 질산 및 질산이 포함된 물질의 증기 또는 용액을 이용할 수 있다. The dopant 40 may comprise an organic dopant, an inorganic dopant, or a combination thereof. As an example, a vapor or a solution of a substance containing nitric acid and nitric acid can be used.

또한, 이러한 도펀트(40)는, 그 구체적인 예로서, NO2BF4, NOBF4, NO2SbF6, HCl, H2PO4, CH3COOH, H2SO4, HNO3, PVDF, 나피온(Nafion), AuCl3, SOCl2, Br2, CH3NO2, 디클로로디시아노퀴논, 옥손, 디미리스토일포스파티딜이노시톨 및 트리플루오로메탄술폰이미드 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다.The dopant 40 may include at least one selected from the group consisting of NO 2 BF 4 , NOBF 4 , NO 2 SbF 6 , HCl, H 2 PO 4 , CH 3 COOH, H 2 SO 4 , HNO 3 , PVDF, (Nafion), AuCl 3 , SOCl 2 , Br 2 , CH 3 NO 2 , dichlorodicyanoquinone, oxone, dimyristoylphosphatidylinositol, and trifluoromethanesulfonimide.

한편, 도펀트(40)는 n-형 도펀트 또는 p-형 도펀트를 포함할 수 있다. On the other hand, the dopant 40 may include an n-type dopant or a p-type dopant.

먼저, 아민 화합물을 포함하는 고분자 또는 유기물 물질을 포함하는 n-형 도펀트를 포함할 수 있다.First, an n-type dopant including a polymer or an organic material containing an amine compound may be included.

이러한 n-형 도펀트는, 폴리에틸렌아민(PolyEthylene Amine)), 히드라진(N2H4), 피리딘(C5H5N), 피롤(C4H5N), 아세토니트릴(CH3CN), 트리에타놀아민(TriEthanolAmine), 아닐린(Aniline), 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다.The n- type dopant, polyethylene amine (Amine PolyEthylene)), hydrazine (N 2 H 4), pyridine (C 5 H 5 N), pyrrole (C 4 H 5 N), acetonitrile (CH 3 CN), tree Triethanolamine, aniline, or a combination thereof.

또한, 도펀트(40)는, 플루오르계 폴리머(fluoropolymer)를 포함하는 p-형 도펀트를 포함할 수 있다.In addition, the dopant 40 may comprise a p-type dopant comprising a fluoropolymer.

이러한 p-형 도펀트는, TFSA(trifluoromethanesulfonic acid), 폴리퍼플루오르부테닐비닐에테르(polyperfluorobutenylvinylether), CYTOP(cyclic transparent optical polymer)를 포함하는 아몰퍼스 플루오로폴리머(amorphous fluoropolymer), 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다.Such p-type dopants include amorphous fluoropolymers including TFSA (trifluoromethanesulfonic acid), polyperfluorobutenyl vinyl ether, CYTOP (cyclic transparent optical polymer), or combinations thereof .

이와 같이, 그래핀 층(20) 상에 도펀트(40)가 위치하거나 그래핀 층(20)에 함유된 상태로, 도 8에서와 같이, 기판(50)에 위치시킨다. 즉, 도펀트(40)가 그 위에 위치한 그래핀 층(20) 상에 기판(50)을 부착 또는 형성한다.Thus, the dopant 40 is located on the graphene layer 20 or the graphene layer 20 is contained in the graphene layer 20, as shown in FIG. That is, the dopant 40 adheres or forms the substrate 50 on the graphene layer 20 located thereon.

이러한 기판(50)은 그래핀 층(20)과 함께 그대로 디바이스에 결합될 수 있는 층을 의미할 수 있다.Such a substrate 50 may refer to a layer that can be bonded directly to the device along with the graphene layer 20.

즉, 각종 디스플레이 디바이스에 직접 이용될 수 있는 투명 및 불투명 기판일 수 있고, 터치 패널과 같은 디바이스에 직접 이용될 수 있는 기재가 될 수도 있다.That is, it may be a transparent and opaque substrate that can be directly used for various display devices, and may be a substrate that can be used directly in a device such as a touch panel.

이러한 기판(50)은, PET(polyethylen terephthalate), TAC(triacetyl cellulose), 및 PC(poly carbonate)와 같은 재료가 이용될 수 있고, 실리콘(Si)과 같은 반도체 웨이퍼가 이용될 수도 있다. 그 외에, 투명 및 불투명의 필름 형태의 부재라면 어느 것이나 이용될 수 있다.As the substrate 50, a material such as PET (polyethylen terephthalate), TAC (triacetyl cellulose), and PC (poly carbonate) may be used and a semiconductor wafer such as silicon (Si) may be used. In addition, any member in the form of a transparent or opaque film can be used.

다음에, 지지층(30)을 제거하면 도 9에서 도시하는 바와 같이, 기판(50) 상에 도펀트(40)가 위치하고, 이 도펀트(40)에 의하여 전도성이 향상된 그래핀 층(20)이 위치하게 된다.Next, when the support layer 30 is removed, the dopant 40 is positioned on the substrate 50 as shown in FIG. 9, and the graphene layer 20 having improved conductivity is located thereon do.

지지층(30)을 제거하는 과정은 열을 가함으로써 점착층(31)이 점착성을 잃도록 함으로써 제거할 수 있다.The process of removing the support layer 30 can be removed by causing the adhesive layer 31 to lose adhesiveness by applying heat.

이와 같은 과정에 의하여, 그래핀 층(20)이 기판(50) 상에 위치하여, 각종 디바이스에서 이용될 수 있도록 제작하는 과정에서 그래핀 층(20)을 도핑하여 전도성을 크게 향상시킬 수 있다.Through the above process, the graphene layer 20 is positioned on the substrate 50, and the graphene layer 20 is doped in the process of manufacturing the device so that it can be used in various devices.

이때, 상술한 바와 같이, 도펀트(40)는 그래핀 층(20)과 기판(50) 사이에 위치하게 되므로, 도펀트(40)가 공기 중에 직접 노출되지 않게 되어 도핑 효과가 지속될 수 있다.As described above, since the dopant 40 is positioned between the graphene layer 20 and the substrate 50, the dopant 40 is not directly exposed to the air, and the doping effect can be maintained.

즉, 그래핀을 질산과 같은 물질로 도핑하는 경우, 도펀트가 그래핀 층(20) 외부로 노출되게 되면, 도핑의 효과가 시간이 지남에 따라 감소되어 다시 면저항이 증가할 수 있으나, 위에서 설명한 바와 같이, 도 9와 같은 상태로 제조된 상태는, 도펀트(40)가 기판(50)과 그래핀 층(20) 사이에 위치하게 되어, 그래핀 층(20)이 도펀트(40)의 보호층으로 작용할 수 있는 것이다.That is, when graphene is doped with a material such as nitric acid, if the dopant is exposed to the outside of the graphene layer 20, the effect of doping may decrease over time and increase the sheet resistance again, 9, the dopant 40 is positioned between the substrate 50 and the graphene layer 20 so that the graphene layer 20 is formed as a protective layer of the dopant 40 It can work.

한편, 경우에 따라, 둘 이상의 도핑된 그래핀 층(20)이 기판(50) 상에 위치하도록 제조할 수 있다. 이와 같이, 다층 구조를 가지는 그래핀 층(20)의 전도성은 단일 층의 그래핀 층(20)보다 향상될 수 있다.On the other hand, in some cases, two or more doped graphene layers 20 may be fabricated to be located on the substrate 50. As such, the conductivity of the graphene layer 20 having a multi-layer structure can be improved compared to the graphene layer 20 of a single layer.

이러한 다층 구조를 가지는 그래핀 층(20)이 기판(50) 상에 위치하도록 하기 위해서는, 도 10에서 도시하는 바와 같이, 적어도 하나 이상의 도핑된 그래핀 층(21)과 도펀트(41)를 포함하는 기판(50) 상에, 도 7과 같이 제조된, 지지층(30) 상에 그래핀 층(20) 및 도펀트(40)가 위치하는 상태를 결합하는 과정에 의하여 이루어질 수 있다.In order to allow the graphene layer 20 having such a multi-layer structure to be positioned on the substrate 50, as shown in FIG. 10, a layer containing at least one doped graphene layer 21 and a dopant 41 A process of bonding the graphene layer 20 and the dopant 40 on the support layer 30 manufactured as shown in FIG. 7 may be performed on the substrate 50.

즉, 도 7과 같이 제조된, 지지층(30) 상에 도핑된 그래핀 층(20)을, 도 9와 같이 기 제조된 도핑된 그래핀 층(20)을 포함하는 기판(50) 상에 위치시키는 것이다.That is, the graphene layer 20 doped on the support layer 30, which is manufactured as shown in Fig. 7, is placed on the substrate 50 including the doped graphene layer 20 prepared as shown in Fig. 9 I will.

도 10에서, 기판(50) 상에 위치하는 도펀트(41)와 그래핀 층(21)은 이전의 과정에서 제작된 것이고, 그 위에 위치하는 도펀트(40)와 그래핀 층(20)은 지지층(30)과 함께 제공된 것이다.10, the dopant 41 and the graphene layer 21 located on the substrate 50 are manufactured in the previous process, and the dopant 40 and the graphene layer 20 located thereon are formed on the support layer 30).

이후, 지지층(30)을 제거하면 도 11과 같은 상태가 된다. 즉, 기판(50) 상에 도펀트(41), 그래핀 층(21), 도펀트(40) 및 그래핀 층(20)이 순차적으로 위치하는 상태가 된다. Thereafter, when the support layer 30 is removed, the state shown in FIG. 11 is obtained. That is, the dopant 41, the graphene layer 21, the dopant 40, and the graphene layer 20 are sequentially positioned on the substrate 50.

이러한 경우에도 가장 외측에 위치하는 그래핀 층(20)은 그 내측에 위치하는 도펀트(40)를 보호하는 보호층으로 작용할 수 있다.Even in this case, the outermost graphene layer 20 can act as a protective layer for protecting the dopant 40 located inside.

경우에 따라서는, 이러한 과정이 반복되어 이루어짐으로써, 다층의 도핑된 그래핀 층을 제조할 수 있다.In some cases, this process is repeated so that a multi-layered doped graphene layer can be produced.

즉, 도 12에서 도시하는 바와 같이, 기판(50) 상에 네 층의 그래핀 층(23, 22, 21, 20)이 구비될 수 있으며, 이러한 그래핀 층(23, 22, 21, 20) 사이에는 도펀트(43, 42, 41, 40)가 위치하게 된다. 경우에 따라 그 이상의 층을 가지는 상태로 제조될 수도 있음은 물론이다.As shown in FIG. 12, four graphene layers 23, 22, 21, and 20 may be provided on the substrate 50, and the graphene layers 23, 22, 21, The dopants 43, 42, 41, It is of course also possible to manufacture them in a state having a layer higher than that.

이때도 가장 상측에는 그래핀 층(20)이 위치하여, 그 하측에 위치하는 도펀트(40)를 보호하는 보호층으로 작용하게 된다.At this time, the graphene layer 20 is located on the uppermost side, and acts as a protective layer for protecting the dopant 40 located below the graphene layer 20.

이와 같은, 기판(50) 상에 위치하는 그래핀 층(20)은 각종 디스플레이 디바이스와 같은 디바이스에서 보조 전극으로 이용될 수 있다.As such, the graphene layer 20 located on the substrate 50 can be used as an auxiliary electrode in a device such as various display devices.

또는 터치 패널 디스플레이와 같은 디바이스에서 투명 전극으로 이용될 수 있고, 보조 전극으로도 이용할 수 있는 등, 다양하게 활용될 수 있다.Or as a transparent electrode in a device such as a touch panel display, or as an auxiliary electrode, or the like.

위에서 설명한 도펀트에 의하여 도핑된 그래핀 층(20)은 전도성이 크게 향상될 수 있으며, 적어도 50% 이상 향상될 수 있다.The dopant-doped graphene layer 20 described above can be greatly improved in conductivity and can be improved by at least 50% or more.

그래핀 층(20)이 도핑되기 이전의 면저항은 대략 500 Ω/㎠ 정도를 가질 수 있으며, 통상 500 내지 650 Ω/㎠를 가질 수 있다.The sheet resistance prior to the doping of the graphene layer 20 may have a thickness on the order of 500 Ω / cm 2, and may generally be 500 to 650 Ω / cm 2.

이러한 그래핀 층(20)이 위에서 설명한 방법으로 도핑된 경우에는 면저항이 절반 또는 그 이상으로 감소할 수 있다. 즉, 250 내지 320 Ω/㎠의 면저항을 가질 수 있으며, 경우에 따라 100 내지 300 Ω/㎠의 면저항을 가지는 고 전도성의 그래핀을 제공할 수 있는 것이다.If this graphene layer 20 is doped by the method described above, the sheet resistance can be reduced to half or more. That is, it can have a sheet resistance of 250 to 320 Ω / cm 2, and in some cases, can provide a highly conductive graphene having a sheet resistance of 100 to 300 Ω / cm 2.

또한, 위에서 설명한 바와 같이, 그래핀 층(20)이 도펀트(40)의 보호층으로 작용할 수 있으므로, 도핑의 효과가 시간이 지남에 따라 감소하는 현상을 개선할 수 있다.Further, as described above, since the graphene layer 20 can act as a protective layer of the dopant 40, it is possible to improve the phenomenon that the effect of the doping decreases over time.

이와 같이, 도핑의 효과가 지속되어 전도성이 저하되지 않으므로 적은 수의 그래핀 층을 가지는 경우에도 디바이스에 충분히 이용될 수 있다. 즉, 단일 층의 그래핀 층을 가지는 경우에도 충분한 전도성을 가질 수도 있다. 그러나 그 이상의 그래핀 층을 가지는 경우에 더 큰 효과를 발휘할 수도 있음은 물론이다.
As described above, since the doping effect is maintained and the conductivity is not lowered, even a small number of graphene layers can be sufficiently used in a device. That is, even if a single-layer graphene layer is provided, it may have sufficient conductivity. However, it is of course possible to exert a greater effect in the case of having a graphene layer higher than that.

한편, 본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시 예들은 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시 예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형 예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.It should be noted that the embodiments of the present invention disclosed in the present specification and drawings are only illustrative of specific examples for the purpose of understanding and are not intended to limit the scope of the present invention. It will be apparent to those skilled in the art that other modifications based on the technical idea of the present invention are possible in addition to the embodiments disclosed herein.

10: 촉매 금속 층 20, 21, 22, 23: 그래핀 층
30: 지지층 31: 점착층
32: 기재 40, 41, 42, 43: 도펀트
50: 기판10: catalytic metal layer 20, 21, 22, 23: graphene layer
30: support layer 31: adhesive layer
32: substrate 40, 41, 42, 43: dopant
50: substrate

Claims (10)

촉매 금속 층 상에 그래핀 층을 형성하는 단계;
상기 그래핀 층 상에 도펀트를 포함하는 지지층을 위치시키는 단계;
상기 촉매 금속 층을 제거하는 단계;
상기 그래핀 층에 도펀트를 가하여 상기 그래핀 층을 도핑하는 단계;
상기 도펀트의 적어도 일부가 기판과 상기 그래핀 층 사이에 위치하여, 상기 그래핀 층이 상기 도펀트의 보호층으로 작용하도록 상기 도핑된 그래핀 층 상에 기판을 위치시키는 단계; 및
상기 지지층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 도핑된 그래핀의 제조 방법.Forming a graphene layer on the catalytic metal layer;
Positioning a support layer comprising a dopant on the graphene layer;
Removing the catalytic metal layer;
Doping the graphene layer with a dopant;
Positioning at least a portion of the dopant between the substrate and the graphene layer such that the graphene layer acts as a protective layer of the dopant; And
And removing the support layer. ≪ RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI > 제 1항에 있어서, 상기 도핑된 그래핀 층 상에 기판을 위치시키는 단계는, 상기 도펀트가 상기 기판에 접촉하도록 위치시키는 것을 특징으로 하는 도핑된 그래핀의 제조 방법.2. The method of claim 1, wherein positioning the substrate on the doped graphene layer comprises positioning the dopant in contact with the substrate. 제 1항에 있어서, 상기 기판과 그래핀 층 사이에 위치하는 도펀트는 공기 중에 직접 노출되지 않는 것을 특징으로 하는 도핑된 그래핀의 제조 방법.The method of claim 1, wherein the dopant positioned between the substrate and the graphene layer is not directly exposed to air. 제 1항에 있어서, 상기 도펀트는, 아민 화합물을 포함하는 고분자 또는 유기물 물질을 포함하는 n-형 도펀트를 포함하는 것을 특징으로 하는 도핑된 그래핀의 제조 방법.The method of claim 1, wherein the dopant comprises an n-type dopant comprising an amine compound or a polymer or organic material. 제 4항에 있어서, 상기 n-형 도펀트는, 폴리에틸렌아민(PolyEthylene Amine)), 히드라진(N2H4), 피리딘(C5H5N), 피롤(C4H5N), 아세토니트릴(CH3CN), 트리에타놀아민(TriEthanolAmine), 아닐린(Aniline), 또는 이들의 조합을 포함하는 것을 특징으로 하는 도핑된 그래핀의 제조 방법.The method of claim 4, wherein the n-type dopant is selected from the group consisting of PolyEthylene Amine), hydrazine (N 2 H 4 ), pyridine (C 5 H 5 N), pyrrole (C 4 H 5 N), acetonitrile CH 3 CN), triethanolamine, aniline, or a combination thereof. 제 1항에 있어서, 상기 도펀트는, 플루오르계 폴리머(fluoropolymer)를 포함하는 p-형 도펀트를 포함하는 것을 특징으로 하는 도핑된 그래핀의 제조 방법.The method of claim 1, wherein the dopant comprises a p-type dopant comprising a fluoropolymer. 제 6항에 있어서, 상기 p-형 도펀트는, TFSA(trifluoromethanesulfonic acid), 폴리퍼플루오르부테닐비닐에테르(polyperfluorobutenylvinylether), 아몰퍼스 플루오로폴리머(amorphous fluoropolymer), 또는 이들의 조합을 포함하는 것을 특징으로 하는 도핑된 그래핀의 제조 방법.The method of claim 6, wherein the p-type dopant comprises TFSA, polyperfluorobutenyl vinyl ether, amorphous fluoropolymer, or a combination thereof. A method for producing doped graphene. 제 1항에 있어서, 상기 지지층은, 재작업성 점착제를 포함하는 점착층 및 기재를 포함하는 것을 특징으로 하는 도핑된 그래핀의 제조 방법.The method of producing doped graphene according to claim 1, wherein the support layer comprises a pressure-sensitive adhesive layer comprising a reworkable pressure-sensitive adhesive and a substrate. 제 1항에 있어서, 상기 도핑된 그래핀 층 상에 기판을 위치시키는 단계는, 적어도 한 층 이상의 도핑된 그래핀 층이 적층된 기판 상에 상기 도핑된 그래핀 층을 위치시키는 것을 특징으로 하는 도핑된 그래핀의 제조 방법.2. The method of claim 1 wherein positioning the substrate on the doped graphene layer comprises positioning the doped graphene layer on a substrate on which at least one layer of doped graphene layers is stacked, Of graphene. 삭제delete
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