KR101610643B1 - An enclosure and a method for carrying glass panel - Google Patents

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Abstract

본 발명은 글래스 패널 이송용 밀폐장치 및 글래스 패널의 이송방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 글래스 패널 이송용 밀폐장치는 글래스 패널을 삽입 또는 인출 가능하도록 하는 개구된 전면부, 밀폐된 좌우측면부, 밀폐된 상면부, 밀폐된 저면부, 및 밀폐된 후면부를 이루어 상기 글래스 패널의 수용 공간이 형성되는 내부를 포함하고, 상기 글래스 패널을 지지하는 지지수단을 포함하는 본체와; 상기 본체의 개구된 전면부를 기밀 가능하게 개폐하는 도어와; 상기 내부의 환경을 제어하는 내부환경 제어요소를 포함한다. 이에 의해, 대면적 기판으로 활용되는 글래스 패널을 수용하여 클린룸 외부에서 클린룸 내부로 상기 글래스 패널을 이송할 수 있다. The present invention relates to a sealing device for transferring a glass panel and a transfer method of the glass panel. The sealing device for glass panel conveying according to the present invention is characterized by comprising an opened front part, a closed left and right side part, a closed top part, a closed bottom part, and a closed rear part for inserting or withdrawing a glass panel, A main body including an interior in which a receiving space is formed, the main body including supporting means for supporting the glass panel; A door hermetically opening and closing an opened front portion of the main body; And an internal environment control element for controlling the internal environment. Thus, the glass panel can be transferred from the outside of the clean room to the inside of the clean room by accommodating the glass panel used as the large-area substrate.

Description

글래스 패널 이송용 밀폐장치 및 글래스 패널 이송방법{An enclosure and a method for carrying glass panel}[0001] The present invention relates to an enclosure for transferring a glass panel,

본 발명은 글래스 패널 이송용 밀폐장치 및 글래스 패널의 이송방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 내부 환경이 제어 가능한 글래스 패널 이송용 밀폐장치 및 글래스 패널의 이송방법에 대한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sealing device for transferring a glass panel and a method of transferring the glass panel, and more particularly, to a sealing device for transferring a glass panel capable of controlling an internal environment and a transfer method of the glass panel.

최근 디스플레이 장치에는 평면 디스플레이(Flat Panel Display)가 주로 이용되며 이러한 평면 디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등 다양한 종류를 포함한다. 이러한 평면 디스플레이용 기판은 보통 글래스(Glass) 재질로 이루어져 외부로부터 가해지는 충격에 매우 취약한 특성을 가지고 있으며, 평면 디스플레이용 기판의 사이즈가 상대적으로 크기 때문에 이송에 있어 각별한 주의가 요구되고 있다. 평면 디스플레이용 기판은 캐리어(carrier) 또는 카세트(cassette)와 같은 장치에 적재되어 운반된다. 2. Description of the Related Art Flat panel displays are mainly used as display devices in recent years. Such flat display devices include various types such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and an organic light emitting diode (OLED). Such a flat panel display substrate is made of a glass material and is very susceptible to impact from the outside. Since the size of a substrate for a flat panel display is relatively large, special care is required in transportation. A substrate for a flat display is loaded and carried on a device such as a carrier or a cassette.

종래 카세트 장치에 대한 특허는 한국등록특허 제10-0580608호에 개시되어 있는 바와 같이, 대면적 기판의 적재 또는 이송용 카세트는 대면적 기판의 적재가 용이한 형태의 프레임 바디로만 이루어져 있다. 대면적 기판의 가공은 클린 환경(습기, 산소, 오염물질로부터 기판의 보호가 가능한 환경)이 유지되는 공간에서 수행되어야 한다. 이에 따라 종래 카세트 장치는 클린룸 내에서만 대면적 기판의 이송을 담당하거나 클린룸 밖에서만 대면적 기판의 이송이 가능하다는 것이다. 즉, 이러한 카세트 장치는 클린룸 밖에서 클린룸 안으로 대면적 기판을 이송할 수 없는 문제점이 존재한다. As disclosed in Korean Patent No. 10-0580608, a cassette for loading or transporting a large-area substrate has only a frame body that is easy to load a large-area substrate. Machining of large area substrates should be performed in a space where a clean environment (humidity, oxygen, environment in which the substrate can be protected from contaminants) is maintained. Accordingly, the conventional cassette device is capable of transferring a large-area substrate only in a clean room or transferring a large-area substrate only outside a clean room. That is, there is a problem that such a cassette device can not transfer the large-area substrate into the clean room from outside the clean room.

클린룸 외부에서 내부로 대면적 기판을 이송할 수 있기 위하여는 대면적 기판용 밀폐된 컨테이너의 내부 역시 클린 환경을 유지할 수 있어야 한다. 그러나 이러한 대면적 기판용 밀폐된 컨테이너의 내부를 오염물질로부터 완벽하게 보호하기 위하여 불활성 가스를 이용한 퍼징(purging)이 컨테이너의 내부 공간 대형화에 따라 결코 용이하지 않으며, 이러한 불활성 가스의 퍼징 및 내부 청정 시간이 과도하게 소요되는 문제점 역시 발생한다.In order to be able to transfer a large area substrate from the outside of the clean room to the inside, the inside of the sealed container for the large area substrate should also be able to maintain a clean environment. However, in order to completely protect the inside of a sealed container for a large-area substrate from contaminants, purging using an inert gas is not easy due to enlargement of the internal space of the container. Such purging of the inert gas and internal cleaning time This excessive problem also occurs.

따라서, 본 발명의 목적은, 대면적 기판으로 활용되는 글래스 패널을 수용하여 클린룸 외부에서 클린룸 내부로 상기 글래스 패널을 이송할 수 있는 글래스 패널 이송용 밀폐장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a sealing apparatus for transferring a glass panel, which is capable of receiving a glass panel used as a large-area substrate and transferring the glass panel from outside the clean room to inside of a clean room.

또한, 불활성 가스 퍼징 및 설정된 내부 청정도 도달이 가능 및/또는 단축된 시간에 도달 가능한 글래스 패널 이송용 밀폐장치를 제공하는 것이다.It is also an object of the present invention to provide a sealing apparatus for glass panel purging and an apparatus for feeding glass panels capable of achieving a set internal cleanness and reaching a shortened and / or shortened time.

또한, 상기 글래스 패널 이송용 밀폐 장치를 이용하여 글래스 패널을 클린룸 외부에서 클린룸 내부로 이송하는 글래스패널의 이송방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a glass panel transfer method for transferring a glass panel from the outside of a clean room to inside of a clean room by using the sealing device for transferring the glass panel.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 글래스 패널 이송용 밀폐장치로서, 글래스 패널을 삽입 또는 인출 가능하도록 하는 개구된 전면부, 밀폐된 좌우측면부, 밀폐된 상면부, 밀폐된 저면부, 및 밀폐된 후면부를 이루어 상기 글래스 패널의 수용 공간이 형성되는 내부를 포함하고, 상기 글래스 패널을 지지하는 지지수단을 포함하는 본체와; 상기 본체의 개구된 전면부를 기밀 가능하게 개폐하는 도어와; 상기 내부의 환경을 제어하는 내부환경 제어요소를 포함하는 글래스 패널 이송용 밀폐 장치에 의해 달성된다. This object is achieved according to the present invention by providing a sealing device for glass panel conveying, comprising: an opened front part for allowing insertion or withdrawal of a glass panel, a closed left and right side part, a closed top part, a closed bottom part, And a supporting means for supporting the glass panel, the supporting member including an inside of which a receiving space for the glass panel is formed; A door hermetically opening and closing an opened front portion of the main body; And an internal environment control element for controlling the internal environment of the glass panel.

상기 글래스 패널 이송용 밀폐 장치는, 상기 도어가 상기 본체의 개구된 전면부를 폐쇄할 때 상기 도어와 상기 전면부 사이의 기밀을 유지하도록 하는 제1실링부를 더 포함할 수 있다.The glass panel sealing sealing device may further include a first sealing part for keeping the airtightness between the door and the front part when the door closes the opened front part of the main body.

상기 글래스 패널 이송용 밀폐 장치는, 상기 글래스 패널 이송용 밀폐 장치가 외부 장치에 도킹될 때 상기 글래스 패널 이송용 밀폐 장치와 상기 외부장치 사이의 기밀을 유지하도록 하는 제2실링부를 더 포함할 수 있다.The glass panel sealing sealing device may further include a second sealing part for keeping the airtightness between the glass panel sealing sealing device and the external device when the glass panel sealing sealing device is docked to an external device .

상기 제2실링부는 상기 본체의 전면부 및 상기 도어의 전면에 적어도 하나 마련될 수 있다.The second sealing portion may be provided on at least one of a front surface of the main body and a front surface of the door.

상기 본체는, 상기 글래스 패널 이송용 밀폐 장치의 형상을 이루고, 상기 좌우측면부, 상기 상면부, 상기 저면부 및 상기 후면부가 복수의 구획을 갖도록 형성되는 프레임과; 상기 복수의 구획 각각에 대응되도록 형성되어 상기 복수의 구획 각각을 밀폐시키는 복수의 패널부를 포함한다.The main body includes a frame having a shape of the sealing device for feeding the glass panel, the left and right side portions, the upper surface portion, the bottom portion and the rear portion being formed to have a plurality of compartments; And a plurality of panel portions formed to correspond to the plurality of compartments and sealing each of the plurality of compartments.

상기 지지수단은, 상기 좌우측면부에 마련된 프레임으로부터 제1 길이만큼 상기 내부로 연장되는 제1 지지부를 포함한다.The supporting means includes a first supporting portion extending from the frame provided on the right and left side portions to the inside by a first length.

상기 지지수단은, 상기 후면부에 마련된 프레임으로부터 제2 길이만큼 상기 내부로 연장되는 제2지지부를 더 포함할 수 있다.The supporting means may further include a second supporting portion extending from the frame provided on the rear portion to the inside by a second length.

상기 패널부는, 소정의 공간을 형성하도록 내벽과 외벽으로 이루어질 수 있다.The panel unit may include an inner wall and an outer wall to form a predetermined space.

상기 본체의 전면부에 마련되어 상기 도어의 잠금 및 잠금해제 되도록 하는 적어도 하나의 잠금장치를 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 잠금장치는 외부로부터 소정 압력이 가해지면 상기 도어가 잠금 또는 잠금해제되도록 할 수 있다.And at least one locking device provided on a front surface of the main body for locking and unlocking the door, wherein the at least one locking device can lock or unlock the door when a predetermined pressure is applied from the outside have.

상기 도어는, 상기 적어도 하나의 잠금장치에 대응하는 위치에 상기 잠금장치가 출입가능하도록 형성된 적어도 하나의 잠금홈을 더 포함할 수 있다.The door may further include at least one locking groove formed at a position corresponding to the at least one locking device so that the locking device is accessible.

상기 도어는, 상기 외부 장치가 상기 도어를 홀딩하여 상기 본체로부터 분리시킬 수 있는 적어도 하나의 홀딩부를 더 포함할 수 있다.The door may further include at least one holding part that can separate the door from the main body by holding the door.

상기 내부환경 제어요소는, 상기 본체의 좌우측면부 중 어느 일측면부에 마련되어 외부로부터 공급되는 가스가 유입되는 제1가스유입부와; 상기 본체의 좌우측면부 중 타측면부에 마련되어 상기 유입된 가스가 배출되는 제1가스배출부를 포함할 수 있다.Wherein the internal environment control element comprises: a first gas inflow portion provided on one of left and right side portions of the main body and through which gas supplied from the outside flows; And a first gas discharging portion provided on the other side of the left and right side portions of the main body to discharge the introduced gas.

상기 제1가스유입부는, 외부로부터 가스의 공급 또는 공급차단을 위한 밸브가 마련되고 상기 본체의 측면부에 대응하는 길이를 가지고 상기 가스를 상기 패널부의 공간으로 공급하는 가스유로와; 상기 패널부의 내벽에 소정 간격을 두고 형성된 복수의 제1가스유입공을 포함할 수 있다.Wherein the first gas inlet comprises a gas flow passage provided with a valve for supplying or blocking gas from the outside and having a length corresponding to a side portion of the main body and supplying the gas to the space of the panel portion; And a plurality of first gas inflow holes formed on the inner wall of the panel portion at predetermined intervals.

상기 제1가스배출부는, 상기 제1가스유입부와 대향하는 패널부의 내벽에 소정 간격을 두고 형성된 복수의 제1가스배출공을 포함할 수 있다.The first gas discharge unit may include a plurality of first gas discharge holes formed at predetermined intervals on the inner wall of the panel unit facing the first gas discharge unit.

상기 제1가스유입부는, 상기 좌우측면부 중 어느 한 측면부에 마련된 프레임에 소정 간격을 두고 형성된 복수의 제2가스유입공을 포함하고, 상기 제1가스배출부는, 상기 좌우측면부 중 타측면부에 마련된 프레임에 소정 간격을 두고 형성된 복수의 제2가스배출공을 포함할 수 있다.Wherein the first gas inlet includes a plurality of second gas inflow holes formed at a predetermined interval in a frame provided on either side of the right and left side portions and the first gas outlet includes a frame provided on the other side portion of the left and right side portions, And a plurality of second gas discharging holes formed at predetermined intervals.

상기 내부환경 제어요소는, 상기 본체의 후면부로부터 제3길이만큼 상기 내부로 연장되어 외부로부터 공급되는 가스가 유입되는 제2가스유입부와; 상기 본체의 좌우측면부 중 적어도 한 일측면부에 마련되어 상기 유입된 가스가 배출되는 제2가스배출부를 포함할 수 있다.Wherein the internal environment control element includes: a second gas inlet portion extending from the rear portion of the main body to the inside of the main body by a third length, into which gas supplied from outside flows; And a second gas discharging portion provided on at least one side portion of the left and right side portions of the main body to discharge the introduced gas.

상기 제2가스유입부는, 상기 제2지지부에 소정 간격을 두고 형성된 복수의 제3가스유입공을 포함하고, 상기 복수의 제3가스유입공을 통하여 상기 제2지지부의 좌우 방향으로 상기 내부를 향하여 상기 가스가 공급될 수 있다.Wherein the second gas inlet includes a plurality of third gas inlet holes formed at a predetermined interval in the second support portion and extends toward the inside in the lateral direction of the second support portion through the plurality of third gas inlet holes The gas can be supplied.

상기 글래스 패널 이송용 밀폐장치는, 상기 내부의 환경을 감지할 수 있는 감지부를 더 포함할 수 있다.The sealing device for transferring the glass panel may further include a sensing unit capable of sensing the internal environment.

상기 글래스 패널 이송용 밀폐장치는, 상기 감지부의 감지 결과 상기 내부의 환경이 소정의 조건에 부합하지 않는 경우 이를 알림하는 알림부를 더 포함할 수 있다.The glass panel sealing sealing apparatus may further include a notification unit for notifying the internal environment of the glass panel when the detection unit detects that the environment does not meet a predetermined condition.

상기 글래스 패널 이송용 밀폐장치는, 상기 잠금장치에 인접한 위치에 마련되어, 상기 잠금장치가 손상되는 경우 상기 잠금장치를 해체할 수 있는 수리구를 더 포함할 수 있다.The glass panel sealing sealing device may further include a repairing unit provided at a position adjacent to the locking device and capable of disassembling the locking device when the locking device is damaged.

한편, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 글래스 패널 이송방법에 있어서, 글래스 패널이 수용되고 상기 글래스 패널을 삽입 또는 인출가능하도록 개구된 전면부를 가지는 본체와, 상기 개구된 전면부를 기밀 가능하게 개폐하는 도어와, 상기 본체의 내부의 환경을 제어하는 내부환경 제어요소를 포함하는 글래스 패널 이송용 밀폐장치가 상기 글래스 패널 이송용 밀폐장치의 운반을 위한 운반장치에 의하여 상기 도어에 대응하는 출입부가 마련되고 클린 환경 하에서 상기 글래스 패널을 가공하는 가공장치로 운반되어 상기 출입부에 상기 글래스 패널 이송용 밀폐장치가 도킹되는 단계와; 상기 가공장치에 마련된 가스공급부로부터 소정의 가스가 상기 내부환경 제어요소로 공급되어 상기 본체 내부 환경이 제어되는 단계와; 상기 가공장치의 출입부에 마련된 도어 작동부의 작동에 의하여 상기 도어가 상기 본체로부터 분리되는 단계와; 상기 가공장치에 마련된 글래스 패널 수거부에 의하여 상기 본체 내에 수용된 글래스 패널이 상기 가공장치 내로 인출되는 단계를 포함하는 글래스 패널 이송방법에 의해 달성될 수 있다. According to another aspect of the present invention, there is provided a method of transporting a glass panel, comprising the steps of: providing a main body having a front panel that accommodates a glass panel and is opened to allow insertion or withdrawal of the glass panel; A glass panel sealing device including a door and an internal environment control element for controlling an environment inside the main body is provided with a door corresponding to the door by means of a conveying device for conveying the glass panel sealing device The method comprising the steps of: transferring the glass panel sealing device to a processing device for processing the glass panel under a clean environment; A predetermined gas is supplied to the internal environment control element from a gas supply unit provided in the processing apparatus to control the internal environment of the main body; The door being separated from the main body by operation of a door operating portion provided at an entrance of the processing apparatus; And the glass panel accommodated in the main body is withdrawn into the processing apparatus by the glass panel rejection provided in the processing apparatus.

상기 방법은, 상기 글래스 패널 이송용 밀폐 장치와 상기 가공장치 사이의 기밀을 유지하도록 하는 제2실링부를 통하여, 상기 도킹 단계 이후 상기 글래스 패널 이송용 밀폐 장치와 상기 가공장치 사이에 기밀이 유지되는 단계를 더 포함할 수 있다.The method comprising the steps of: maintaining a hermetic seal between the sealing device for transferring the glass panel and the processing device after the docking step, through a second sealing part for maintaining airtightness between the sealing device for transferring the glass panel and the processing device As shown in FIG.

상기 도어 분리단계는, 상기 본체의 전면부에 마련되어 상기 도어의 잠금 및 잠금해제 되도록 하는 적어도 하나의 잠금장치에 상기 도어 작동부가 소정의 압력을 가하여 상기 잠금장치를 잠금해제시키는 단계와; 상기 잠금해제된 도어를 상기 본체로부터 분리하여 이탈시키는 단계를 포함한다.The door separating step may include a step of unlocking the locking device by applying a predetermined pressure to at least one locking device provided on a front portion of the main body so as to lock and unlock the door; And detaching the unlocked door from the main body.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 대면적 기판으로 활용되는 글래스 패널을 수용하여 클린룸 외부에서 클린룸 내부로 상기 글래스 패널을 이송할 수 있는 글래스 패널 이송용 밀폐장치가 제공된다.As described above, according to the present invention, there is provided a sealing apparatus for feeding a glass panel, which can receive the glass panel utilized as a large-area substrate and transfer the glass panel from the outside of the clean room into the clean room.

또한, 불활성 가스 퍼징 및 설정된 내부 청정도 도달이 가능 및/또는 단축된 시간에 도달 가능한 글래스 패널 이송용 밀폐장치가 제공된다.There is also provided a closing device for glass panel feeding capable of reaching an inert gas purging and set internal cleanness reachable and / or shortened time.

또한, 상기 글래스 패널 이송용 밀폐 장치를 이용하여 글래스 패널을 클린룸 외부에서 클린룸 내부로 이송하는 글래스패널의 이송방법이 제공된다.There is also provided a method of transferring a glass panel from the outside of a clean room to inside of a clean room using the sealing device for transferring the glass panel.

도 1a는 본 발명의 일실시예에 따른 글래스 패널 이송용 밀폐장치의 분해 사시도이고,
도 1b는 도 1a의 글래스 패널 이송용 밀폐장치의 단면도이고,
도 2a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 글래스 패널 이송용 밀폐장치의 분해 사시도이고,
도 2b는 도 2a의 글래스 패널 이송용 밀폐장치의 단면도이고,
도 3a 및 도 3b는 도 1a 및 도 2a의 글래스 패널 이송용 밀폐장치의 패널부의 일 실시예이고,
도 4a 및 도 4b는 도 1a 및 도 2a의 글래스 패널 이송용 밀폐장치의 잠금장치의 일 실시예이고,
도 5a 및 도 5b는 도 1a 및 도 2a의 글래스 패널 이송용 밀폐장치의 내부환경 제어의 제1실시예의 개략도이고,
도 5c는 도 1a 및 도 2a의 글래스 패널 이송용 밀폐장치의 내부환경 제어의 제2실시예의 개략도이고,
도 6a 및 도 6b는 도 1a 및 도 2a의 글래스 패널 이송용 밀폐장치의 내부환경 제어의 제3실시예의 개략도이고,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스 패널의 이송방법의 개략도이다.FIG. 1A is an exploded perspective view of a sealing apparatus for feeding a glass panel according to an embodiment of the present invention,
1B is a cross-sectional view of the sealing device for glass panel transfer of FIG. 1A,
FIG. 2A is an exploded perspective view of a sealing apparatus for feeding a glass panel according to another embodiment of the present invention,
FIG. 2B is a cross-sectional view of the sealing device for glass panel transfer of FIG. 2A,
FIGS. 3A and 3B show an embodiment of the panel part of the sealing apparatus for transferring the glass panel of FIGS. 1A and 2A,
Figs. 4A and 4B show an embodiment of the locking device for the sealing device for conveying the glass panel of Figs. 1A and 2A,
Figs. 5A and 5B are schematic views of a first embodiment of the internal environment control of the sealing apparatus for feeding glass panels of Figs. 1A and 2A,
Fig. 5c is a schematic view of a second embodiment of the internal environment control of the glass panel transport hermetic device of Figs. 1a and 2a,
Figs. 6A and 6B are schematic views of a third embodiment of the internal environment control of the sealing apparatus for transferring glass panels of Figs. 1A and 2A,
7 is a schematic view of a method of transferring a glass panel according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다. 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙이도록 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

도 1a 및 도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스 패널 이송용 밀페장치(1, 1’)의 분해 사시도이고, 도 1b 및 도 2b는 각각 도 1a 및 도 2a의 글래스 패널 이송용 밀페장치(1, 1’)의 정면도이다. 글래스 패널 이송용 밀페장치는 글래스 패널의 크기에 따라, 글래스 패널의 수용 개수에 따라 다양한 크기로 제작될 수 있는 바, 도 1a와 도 1b의 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1)는 가로 길이보다 세로 길이가 더 긴 글래스 패널을 수용할 수 있으며, 도 2a와 도 2b의 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1’)는 가로길이가 세로길이보다 더 긴 글래스 패널을 수용할 수 있다. 하기에서는 주로 도 1a 및 도 1b를 참조하여 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1)의 구성요소에 대하여 설명하지만, 이는 모두 도 2a와 도 2b의 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1’)에도 적용된다.FIGS. 1A and 2A are exploded perspective views of a glass panel feeding milling device 1, 1 'according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 1B and 2B are respectively an exploded perspective view of the glass panel feeding milling device 1, (1, 1 '). The glass panel transfer-use airtight device 1 of FIGS. 1A and 1B has a length larger than the width of the glass panel, that is, A glass panel having a longer length can be accommodated, and the sealing device 1 'for transferring the glass panel of FIGS. 2A and 2B can accommodate a glass panel having a width longer than the vertical length. Hereinafter, the components of the sealing apparatus 1 for transferring the glass panel will be mainly described with reference to Figs. 1A and 1B, but these also apply to the sealing apparatus 1 'for transferring the glass panel in Figs. 2A and 2B.

도 1a 내지 도 2b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스 패널 이송용 밀페장치(1, 1’)는 본체(10, 10’), 도어(20, 20’), 내부환경 제어요소를 포함한다.Referring to FIGS. 1A and 2B, a glass panel transfer milling device 1, 1 'according to an embodiment of the present invention includes a main body 10, 10', doors 20, 20 ' .

글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)는 글래스 패널을 수용(또는 적재)되어 이송할 수 있는 밀폐장치로서, 상기 글래스 패널은 평판 디스플레이용 기판으로서 특히 대면적 평판 디스플레이용 기판을 포함한다. 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1)는 상기 글래스 패널이 수용되는 공간인 내부의 환경이 글래스 패널의 사용 용도에 따라 적절하게 제어될 수 있다. 이에 따라, 상기 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1)를 이용하여 글래스 패널을 습도, 산소, 파티클(또는 오염물질)이 제어되지 않은 환경에서 상기 요소들이 제어된 클린 환경으로 이송할 수 있다. The sealing apparatus for transporting a glass panel (1, 1 ') is an airtight sealing apparatus capable of receiving (or carrying) a glass panel, and the glass panel includes a substrate for a flat panel display, in particular, a substrate for a large area flat panel display. The enclosure 1 for transferring the glass panel can appropriately control the internal environment, which is the space in which the glass panel is accommodated, according to the intended use of the glass panel. Accordingly, it is possible to transfer the glass panel to the clean environment in which the elements are controlled in an environment in which humidity, oxygen, particles (or contaminants) are not controlled by using the sealing apparatus 1 for transferring the glass panel.

글래스 패널 이송용 밀페장치(1, 1’)는 육면체의 형상으로 형성되어, 글래스 패널을 삽입 또는 인출 가능하도록 하는 개구된 전면부(3, 3’)가 형성되고, 밀폐된 좌우측면부, 밀폐된 상면부, 밀폐된 저면부, 및 밀폐된 후면부를 이루어 상기 글래스 패널의 수용공간이 형성되는 내부(30, 30’)가 형성되어 있고, 상기 글래스 패널을 지지하는 지지수단을 포함하는 본체(10, 10’)와, 상기 개구된 전면부(3, 3’)를 기밀 가능하게 개폐하는 도어(20, 20’)와, 상기 내부(30, 30’)의 환경을 제어하는 내부환경 제어요소를 포함한다.The glass panel feeding milling device 1, 1 'is formed in the shape of a hexahedron so that an opened front portion 3, 3' for inserting or withdrawing the glass panel is formed and the closed left and right side portions, (30, 30 ') having an upper surface portion, a closed bottom surface portion, and a closed rear surface portion for forming a space for accommodating the glass panel, and a supporting means for supporting the glass panel, A door 20 and 20 'for hermetically opening and closing the opened front part 3 and 3' and an internal environment control element for controlling the environment of the inside 30 and 30 ' do.

본체(10, 10’)는 상기 글래스 패널 이송용 밀폐장치의 전체 형상을 이루고 (바람직하게는 육면체의 형상), 상기 좌우측면부, 상기 상면부, 상기 저면부 및 상기 후면부가 복수의 구획을 갖도록 형성되는 프레임(110, 110’)과, 상기 복수의 구획 각각에 대응되도록 형성되어 상기 복수의 구획 각각을 밀폐시키는 복수의 패널부(120, 120’)를 포함한다. 이하 설명은 도 1a 및 도 1b를 중심으로 설명하나, 동일 구성요소가 도 2a 및 도 2b의 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1’)에도 동일하게 적용된다.The main body 10 and 10 'are formed to have an overall shape (preferably, a hexahedron shape) of the sealing device for conveying the glass panel, and the left and right side portions, the upper surface portion, the bottom portion and the rear portion are formed to have a plurality of sections And a plurality of panel sections 120 and 120 'formed to correspond to the plurality of sections and sealing each of the plurality of sections. The following description will be made with reference to Figs. 1A and 1B, but the same components are equally applied to the glass panel transfer closing device 1 'of Figs. 2A and 2B.

프레임(110)은 상부 프레임(111), 하부 프레임(112), 좌측 프레임(113), 우측 프레임(114) 및 후면 프레임(115)을 포함한다. 상부 프레임(111)과 하부 프레임(112)은 소정의 높이를 형성하도록 상/하에 위치하며 글래스 패널에 대응하는 형상, 예를 들어 사각형 형상을 가지되, 이러한 형상에 복수의 구획이 형성되도록 마련된다. 좌측 프레임(113), 우측 프레임(114), 및 후면 프레임(115)은 상기 상부 프레임(111)과 상기 하부 프레임(112)을 연결하되 복수의 구획이 형성되도록 마련된다. 이러한 프레임(110)은 대면적을 가지는 글래스 패널을 복수 개 수용하여 이송하는데 적절한 정도로 강성이 유지될 수 있는 소재로 제작될 수 있으며, 예를 들어 강화 플라스틱 소재, 알루미늄과 같은 경량의 금속 소재 등으로 제작될 수 있다.The frame 110 includes an upper frame 111, a lower frame 112, a left frame 113, a right frame 114 and a rear frame 115. The upper frame 111 and the lower frame 112 are located up / down to form a predetermined height and have a shape corresponding to the glass panel, for example, a rectangular shape, and a plurality of sections are formed in this shape . The left frame 113, the right frame 114 and the rear frame 115 are connected to the upper frame 111 and the lower frame 112 so as to form a plurality of compartments. The frame 110 may be made of a material capable of maintaining a sufficient rigidity to accommodate and transport a plurality of glass panels having a large area. For example, the frame 110 may be made of a reinforced plastic material, a lightweight metal material such as aluminum Can be produced.

또한 상기 본체(10, 10’)는 상기 글래스 패널을 지지하는 지지수단을 포함한다. 본 발명의 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)는 그 내부(30, 30’)에 글래스 패널이 수용되는데, 복수의 글래스 패널이 상하 방향으로 상호 이격 간격을 두고 수용될 수 있도록 글래스 패널 지지용 지지수단을 포함한다. 상기 지지수단은 상기 좌측 프레임(113)과 상기 우측 프레임(114)으로부터 제1길이만큼 상기 내부(30, 30’)로 연장되는 제1지지부(130, 130’)를 포함한다. 상기 제1지지부(130, 130’)는 상기 좌측 프레임(113) 및 상기 우측 프레임(114)에 대하여 수직 방향을 이루게 되며, 소정의 간격을 두고 복수 개 마련될 수 있다. 이는 대면적의 글래스 패널을 지지하기 위한 구조로서 상기 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1)에 수용될 수 있는 글래스 패널의 개수만큼 상기 제1지지부(130, 130’)가 마련될 수 있다. The body 10, 10 'also includes support means for supporting the glass panel. The glass panel transfer sealing device 1 or 1 'according to the present invention has a glass panel accommodated in the inside 30 and 30' of the glass panel transfer sealing device 1, And a supporting support means. The support means includes a first support 130, 130 'extending from the left frame 113 and the right frame 114 to the interior 30, 30' by a first length. The first supporting portions 130 and 130 'are perpendicular to the left frame 113 and the right frame 114, and a plurality of the first supporting portions 130 and 130' may be provided at predetermined intervals. This is a structure for supporting a large-sized glass panel, and the first supporting portions 130 and 130 'may be provided by the number of glass panels that can be accommodated in the sealing device 1 for transferring the glass panel.

또한, 상기 글래스 패널은 대면적이기에 상기 제1지지부(130, 130’)를 통하여 지지될 경우 상기 글래스 패널의 중앙 영역이 처질 수 있기에 이를 방지하기 위하여 상기 후면 프레임(115)으로부터 제2길이만큼 상기 내부(30, 30’)로 연장되는 제2지지부(150’)를 더 포함할 수 있다. 상기 제2지지부(150’) 역시 상기 후면 프레임(115)에 대하여 수직 방향을 이루게 되며 소정의 간격을 두고 복수 개 마련될 수 있으며, 후면 프레임(115)의 중앙 영역에 위치하여 대면적 글래스 패널의 중앙 영역의 처짐을 방지하는 기능을 수행한다. 상기 제2지지부(150’)는 도 2a 및 도 2b에만 도시되어 있으나, 필요시 도 1a 및 도 1b의 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1)에도 마련될 수 있다.In addition, the glass panel may be formed of a material having a predetermined length from the rear frame 115 in order to prevent the central region of the glass panel from being sagged when the glass panel is supported through the first support portions 130 and 130 ' And a second support 150 'extending to the interior 30, 30'. A plurality of second supporting portions 150 'may be provided at predetermined intervals so as to be perpendicular to the rear frame 115. The second supporting portions 150' may be disposed at a central region of the rear frame 115, And functions to prevent deflection of the central region. Although the second support part 150 'is shown only in FIGS. 2A and 2B, it can also be provided in the sealing device 1 for transferring the glass panel of FIGS. 1A and 1B, if necessary.

또한 상기 본체(10, 10’)는 전면부(3, 3’)에 도어(20, 20’)의 잠금 및 잠금해제 되도록 하는 적어도 하나의 잠금장치(140, 140’)를 포함한다. 상기 적어도 하나의 잠금장치(140, 140’)는 외부로부터 소정 압력이 가해지면 상기 도어(20, 20’)가 잠금 또는 잠금해제되도록 한다. 상기 잠금장치(140, 140’)는 상기 본체(10, 10’)의 크기에 따라 다양한 개수로 마련될 수 있으며, 예를 들면, 도 1a 및 도 1b에서 같이 전면부(3)의 좌우측에 각 3개씩, 상하측에 각 1개씩 마련될 수 있거나, 도 2a 및 도 2b와 같이 전면부(3’)의 좌우측에 각 2개씩, 상하측에 각 4개씩 마련될 수 있다. 이러한 잠금장치(140, 140’)의 동작은 하기에서 도 4a 및 도 4b를 참조하여 더욱 상세히 설명하도록 한다.The body 10, 10 'also includes at least one locking device 140, 140' for locking and unlocking the door 20, 20 'to the front portion 3, 3'. The at least one locking device (140, 140 ') allows the door (20, 20') to be locked or unlocked when a predetermined pressure is applied from the outside. The locking devices 140 and 140 'may be provided in various numbers depending on the sizes of the main bodies 10 and 10'. For example, as shown in FIGS. 1A and 1B, Three each, and one each on the upper and lower sides, or two each on the right and left sides of the front portion 3 'as shown in Figs. 2A and 2B, and four each on the upper and lower sides. The operation of this locking device 140, 140 'will now be described in more detail with reference to Figures 4A and 4B.

패널부(120, 120’)는 상기 프레임(110, 110’)에 의하여 형성되는 복수의 구획들 각각에 대응되도록 형성되어 상기 복수의 구획들 각각을 밀페시킨다. 이러한 패널부(120)는 상기 상부 프레임(111)에 의하여 형성된 복수의 구획들 각각을 밀폐시키는 복수의 상부 패널부(121), 상기 하부 프레임(112)에 의하여 형성된 복수의 구획들 각각을 밀폐시키는 복수의 하부 패널부(122), 상기 좌측 프레임(113)에 의하여 형성된 복수의 구획들 각각을 밀폐시키는 복수의 좌측 패널부(123), 상기 우측 프레임(114)에 의하여 형성된 복수의 구획들 각각을 밀폐시키는 복수의 우측 패널부(124), 및 상기 후면 프레임(115)에 의하여 형성된 복수의 구획들 각각을 밀폐시키는 복수의 후면 패널부(125)를 포함한다. 상기 상부 프레임(111)과 상기 상부 패널부(121)가 상기 본체(10)의 밀폐된 상면부를 이루고, 상기 하부 프레임(112)와 상기 하부 패널부(122)가 상기 본체(10)의 밀폐된 하면부를 이루고, 상기 좌측 프레임(113)과 상기 좌측 패널부(123)가 상기 본체(10)의 밀폐된 좌측면부를 이루고, 상기 우측 프레임(114)과 상기 우측 패널부(124)가 상기 본체(10)의 밀폐된 우측면부를 이루고, 상기 후면 프레임(115)과 상기 후면 패널부(125)가 상기 본체(10)의 밀폐된 후면부를 이루게 된다.The panel portions 120 and 120 'are formed to correspond to a plurality of sections formed by the frames 110 and 110', respectively, and thereby each of the plurality of sections is squeezed. The panel part 120 includes a plurality of upper panel parts 121 for sealing each of the plurality of compartments formed by the upper frame 111, a plurality of compartments formed by the lower frame 112, A plurality of left panel parts 123 for sealing each of the plurality of compartments formed by the left frame 113, and a plurality of compartments formed by the right frame 114, And a plurality of rear panel portions 125 for sealing each of the plurality of compartments formed by the rear frame 115. The upper frame 111 and the upper panel part 121 constitute a closed upper face part of the main body 10 and the lower frame part 112 and the lower panel part 122 constitute a closed upper face part of the main body 10, And the left frame 113 and the left panel 123 constitute a closed left side surface portion of the main body 10 and the right side frame 114 and the right panel portion 124 are connected to the main body 10. [ 10 and the rear frame 115 and the rear panel part 125 constitute a closed rear part of the main body 10. [

상기 패널부(120, 120’)는 내부 관찰을 용이하게 할 수 있도록 적어도 일면이 투명한 재질로 구비될 수 있다. 또한, 상기 패널부(120)는 한 겹 또는 두 겹 이상의 부재로 구비될 수도 있다. 만약 상기 패널부(120)가 두 겹 이상의 부재로 구비되는 경우, 외측에 마련되는 부재는 강성이 유지될 수 있는 소재로 제작되고, 내측에 마련되는 부재는 강성이 유지되지 않는 소재로 제작될 수 있다. 상기 강성이 필요한 소재는, 예를 들어 강화 플라스틱 소재 등으로 제작될 수 있다. 상기 패널부(120)가 두 겹의 부재로 마련되는 경우는 도 3a 및 도 3b를 통하여 상세히 설명한다. The panel units 120 and 120 'may be formed of at least one transparent material so as to facilitate internal observation. In addition, the panel unit 120 may be formed of one layer or two or more layers. If the panel part 120 is formed of two or more members, the member provided on the outside may be made of a material capable of maintaining rigidity, and the member provided on the inside may be made of a material not maintaining rigidity. have. The material requiring rigidity may be made of, for example, a reinforced plastic material. The case where the panel unit 120 is provided as a two-ply member will be described in detail with reference to FIGS. 3A and 3B.

도 3a는 상기 패널부(120, 120’)가 두 겹의 부재로 구비되는 경우의 사시도이고, 도 3b는 도 3a의 패널부(120, 120’)의 단면도이다. 도 3a 및 도 3b를 참조하면, 상기 패널부(120)는 소정의 공간(128)을 형성하도록 내벽과 외벽으로 이루어질 수 있는데, 상기 내벽은 상기 본체(10)의 내부(30)를 향하는 내측 패널(127)로 이루어지고, 상기 외벽은 외부를 향하는 외측 패널(126)로 이루어진다. 상기 외부 패널(126)은 소정의 곡률을 가지고 외부를 향하여 부풀어져 있는 형상으로서, 다시 말해 반구 또는 타원 반구의 형상으로 마련될 수 있다. 외부 패널(126)의 편평한 가장자리의 외측면이 프레임(110)의 내측면과 결합하여 고정되고, 이 결합부위에는 소정의 실링부재(미도시)가 마련되어 프레임(110)과 패널(120) 사이의 기밀이 유지될 수 있도록 한다. 내부 패널(127)은 강성이 유지되지 않는 소재로, 외부 패널(126)은 강성이 유지되는 소재로 이루어질 수 있으며, 내부 패널(127)은 소정의 간격을 가지고 형성된 복수의 관통구(129)를 포함한다. 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1)는 내부 환경이 불활성 가스 등으로 인하여 클린 환경으로 유지될 필요가 있는데, 이때 내부 압력이 1.5 내지 3 Kpa의 크기를 가질 수 있으며, 프레임(110)과 패널(120)이 일체로 구현되지 않기에 상기 내부 압력의 크기에서 상기 내압을 이기지 못하고 프레임(110)과 패널(120) 사이에 기밀이 유지되지 않을 위험성이 존재한다. 그러나 본 발명과 같은 경우, 불활성 가스를 이용하여 내부 환경이 제어될 때, 내부 패널(127)에 형성된 복수의 관통구(129)를 통하여 가스는 출입이 가능하되, 외부 패널(126)은 강성으로 유지되는 반구 또는 타원 반구의 형상 및 상기 프레임(110)과 패널(120) 사이의 실링 부재(미도시)로 인하여 불활성 가스로 인하여 내부로부터 외부로 압력이 가하여지더라도 프레임(110)과 패널(120) 사이의 기밀이 잘 유지될 수 있다.3A is a perspective view of the panel unit 120 and 120 ', and FIG. 3B is a sectional view of the panel unit 120 and 120' of FIG. 3A. 3A and 3B, the panel unit 120 may include an inner wall and an outer wall to define a predetermined space 128. The inner wall may include an inner panel facing the inner portion 30 of the main body 10, (127), and the outer wall comprises an outer panel (126) facing outward. The outer panel 126 has a predetermined curvature and is bulged toward the outside, that is, it may be provided in the form of a hemisphere or an ellipse hemisphere. The outer edge of the flat edge of the outer panel 126 is fixedly coupled with the inner surface of the frame 110 and a predetermined sealing member (not shown) Ensure confidentiality is maintained. The inner panel 127 may be made of a material that is not rigid and the outer panel 126 may be made of a material that maintains rigidity. The inner panel 127 may include a plurality of through- . The inner pressure of the sealing device 1 for transferring the glass panel needs to be maintained in a clean environment due to an inert gas or the like and the inner pressure may have a size of 1.5 to 3 Kpa and the frame 110 and the panel 120 There is a danger that the airtightness between the frame 110 and the panel 120 may not be maintained because the internal pressure can not be achieved in the magnitude of the internal pressure. However, according to the present invention, when the internal environment is controlled using an inert gas, the gas can flow in and out through the plurality of through-holes 129 formed in the inner panel 127, and the outer panel 126 has rigidity Even if a pressure is applied from the inside to the outside due to the inert gas due to the shape of the hemisphere or ellipse hemisphere to be held and the sealing member (not shown) between the frame 110 and the panel 120, ) Can be maintained well.

상기 본체(10, 10’)는 프레임(110, 110’)과 패널부(120, 120’)가 분해 조립 가능할 수 있으며, 이에 따라 어느 한 부분이 파손되더라도 파손된 부분만 교체 등이 가능할 수 있다. The frames 110 and 110 'and the panel units 120 and 120' can be disassembled and assembled with respect to the main body 10 and 10 ', so that even if any one of them is broken, only the damaged part can be replaced .

도어(20, 20’)는 글래스 패널을 삽입 또는 인출 가능하도록 하는 본체(10, 10’)의 개구된 전면부(3, 3’)를 기밀 가능하게 개폐시키고, 이에 따라 상기 본체(10)의 개구된 전면부(3)에 대응하는 형상을 가진다. 상기 기재한 바와 같이, 상기 본체(10)의 개구된 전면부(3)와 도어(20) 사이의 폐쇄 상태를 잠금 및 잠금해제할 수 있는 적어도 하나의 잠금장치(140)가 상기 전면부(3)에 마련되고, 도어(20)는 상기 적어도 하나의 잠금장치(140)에 대응하는 위치에 상기 적어도 하나의 잠금장치(140)가 출입가능하도록 형성된 적어도 하나의 잠금홈(22)을 포함한다. 이러한 적어도 하나의 잠금홈(22)은 도어(20)의 테두리 부분에 마련된다.The doors 20 and 20 'hermetically open and close the opened front portions 3 and 3' of the bodies 10 and 10 'which allow the glass panel to be inserted or withdrawn, And has a shape corresponding to the opened front portion 3. At least one locking device 140 capable of locking and unlocking the closed state between the opened front part 3 of the main body 10 and the door 20 is provided in the front part 3 And the door 20 includes at least one locking groove 22 formed at a position corresponding to the at least one locking device 140 such that the at least one locking device 140 is accessible. At least one of the lock grooves 22 is provided at a rim portion of the door 20.

도 4a는 상기 잠금장치(140, 140’)의 잠금해제된 상태를, 도 4b는 잠금장치(140, 140’)의 잠금 상태를 개략적으로 도시한 도면이다. 도 4a 및 도 4b를 참조하면, 본체(10)의 전면부(3)에 마련되는 잠금장치(140)는 가압부(141), 탄성부(142), 잠금 걸쇠(143)를 포함한다. 상기 가압부(141)는 잠금 걸쇠(143)가 걸리는 걸쇠 걸림부(144)를 포함한다. 상기 탄성부(142)는 탄성을 가진 부재로서 소정 압력이 가해지면 수축하였다가 소정 압력이 제거되면 이완하는 것으로, 예를 들어 용수철을 포함할 수 있다. 상기 잠금 걸쇠(143)는 소정 길이를 가지는 중앙 지지부, 상기 중앙 지지부의 양 말단에 서로 대향하는 방향으로 소정 길이 만큼 연장된 제1 말단 및 제2말단을 포함하고, 제1말단은 상기 걸쇠 걸림부(144)에 걸릴 수 있도록 돌출된 제1돌출부(143a)를 포함하고, 제2말단은 상기 잠금홈(22)에 삽입되도록 돌출된 제2돌출부(143b)를 포함한다. 상기 걸쇠 걸림부(144)는 상기 제1돌출부(143a)의 크기에 대응하는 굵기로, 상기 제1돌출부(143a)가 이동할 수 있는 이동 경로에 대응하는 길이만큼 관통된 홈으로 형성되어 제1돌출부(143a)의 이동을 가이드할 수 있다. FIG. 4A is a view illustrating the unlocked state of the lock device 140, 140 ', and FIG. 4B is a view schematically showing a locked state of the lock device 140, 140'. 4A and 4B, the locking device 140 provided on the front portion 3 of the main body 10 includes a pressing portion 141, an elastic portion 142, and a locking latch 143. [ The pressing portion 141 includes a latching portion 144 to which the locking latch 143 is caught. The elastic portion 142 is a member having elasticity. The elastic portion 142 may be, for example, a spring that contracts when a predetermined pressure is applied and relaxes when a predetermined pressure is removed. The locking latch 143 includes a central support having a predetermined length, a first end and a second end extending at a predetermined length in opposite directions to each other at opposite ends of the central support, And a second protrusion 143b protruded to be inserted into the lock groove 22. The second protrusion 143b protrudes from the first protrusion 143a to be engaged with the lock groove 144, The latching portion 144 has a thickness corresponding to the size of the first protrusion 143a and is formed as a groove penetrating by a length corresponding to a movement path through which the first protrusion 143a can move, It is possible to guide the movement of the arm 143a.

도 4a와 같이, 잠금장치(140, 140’)의 잠금해제된 상태는, 상기 가압부(141)가 탄성부(142)에 소정 압력을 가하고 있어 탄성부(142)가 수축된 상태이며, 잠금 걸쇠(143)의 제2말단이 잠금홈(22)에 삽입되어 있지 않다.4A, the unlocked state of the locking devices 140 and 140 'is a state in which the pressing portion 141 applies a predetermined pressure to the elastic portion 142 to contract the elastic portion 142, The second end of the latch 143 is not inserted into the lock groove 22.

도 4b와 같이, 잠금장치(140, 140’)의 잠금 상태는, 상기 잠금장치(140)에 외부로부터 소정 압력이 가하여지면, 상기 가압부(141)는 탄성부(142)를 이완시키고, 이에 의하여 걸쇠 걸림부(144)가 상기 탄성부(142)가 이완된 길이만큼 상승하게 되고, 상기 걸쇠 걸림부(144)에 걸려있는 제1돌출부(143a)가 함께 상승하게 되어 이것에 의하여 잠금 걸쇠(143)의 제2말단에 위치한 제2돌출부(143b)가 도어(20)의 잠금홈(22)에 삽입하게 되어 잠금장치(140)가 잠금 상태가 된다. 상기 잠금장치(140)에 외부에서 소정 압력을 한번 더 가하게 되면, 가압부(141)가 탄성부(142)를 수축시켜 도 4a와 같은 상태가 되어 잠금 해제 상태가 된다. 따라서, 본 발명에 따른 잠금장치(140)는 원터치 방식으로 도어가 잠금 또는 잠금해제 상태가 되도록 할 수 있다.4B, when a predetermined pressure is externally applied to the locking device 140, the locking device 140, 140 'is locked so that the pressing device 141 relaxes the elastic part 142, The latching portion 144 is lifted by the length of the elastic portion 142 so as to be relaxed and the first projection 143a engaged with the latching portion 144 is lifted together with the latching portion 144, 143 are inserted into the locking grooves 22 of the door 20 and the locking device 140 is locked. When a predetermined pressure is externally applied to the locking device 140 again, the pressing part 141 contracts the elastic part 142 to become the state shown in FIG. Accordingly, the locking device 140 according to the present invention can lock / unlock the door in a one-touch manner.

상기 잠금장치(140)가 고장나는 경우에는 상기 도어(20)가 본체(10)의 전면부(3)를 밀폐시켜 잠금된 상태가 유지되도록 설계될 수 있다. 이렇게 잠금장치(140)의 고장 등의 이유로 인하여 도어(20)를 본체(10)로부터 분리시킬 수 없는 경우에는 본체(10)의 프레임(110) 또는 패널부(120)를 분리해야하는 번거로움이 발생할 수 있다. 이를 방지하기 위하여, 본 발명에 따른 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)는 상기 잠금장치에 인접한 위치에 마련되어, 상기 잠금장치가 손상되는 경우 상기 잠금장치를 해체할 수 있는 수리구(미도시)를 더 포함할 수 있다. 수리구(미도시)는 본체(10)의 전면부(3)에 잠금장치(140)로부터 소정 위치 이격되어 마련되거나, 또는 도어(20)의 잠금홈으로부터 소정 위치 이격되어 마련된, 일정 크기의 직경을 가진 관통구로서 평상시에는 상기 관통구에 대응하여 관통구를 막을 수 있는 마개로 막혀있다가, 잠금장치(140)가 고장난 경우 상기 마개를 빼내어 상기 관통구를 이용하여 잠금장치(140)를 해체시킬 수 있다.When the locking device 140 fails, the door 20 may be designed to close the front portion 3 of the main body 10 to maintain the locked state. When the door 20 can not be separated from the main body 10 due to a failure or the like of the locking device 140, it is troublesome to remove the frame 110 or the panel part 120 of the main body 10 . In order to prevent this, the sealing device for conveying the glass panel (1, 1 ') according to the present invention is provided at a position adjacent to the locking device so as to be able to dismantle the locking device Time). (Not shown) may be provided on the front portion 3 of the main body 10 at a predetermined distance from the locking device 140 or may be provided at a predetermined distance from the locking groove of the door 20, The locking device 140 is normally closed when the locking device 140 is broken, and when the locking device 140 is broken, the locking device 140 is dismantled using the through-hole, .

도어(20)는 상기 본체(10)의 개구된 전면부(3)를 폐쇄할 때 상기 도어(20)와 상기 전면부(3) 사이의 기밀을 유지하도록 하는 제1실링부(160)를 더 포함할 수 있다. 제1실링부(160)는 도어(20)의 배면, 즉 도어(20)가 본체(10)를 향하는 면에 상기 잠금홈(22)이 마련되는 위치에 잠금홈(22)의 개수에 대응하는 개수만큼 마련될 수 있다. 또는 상기 제1실링부(160)는 도어(20)의 배면의 가장자리의 둘레방향에 따라 잠금홈(22)의 개수보다 더 많은 개수로 마련될 수도 있다. 이러한 제1실링부(160)는 탄성 부재 또는 실리콘 성형체로 이루질 수 있다.The door 20 further includes a first sealing part 160 for keeping the airtightness between the door 20 and the front part 3 when the opened front part 3 of the main body 10 is closed . The first sealing portion 160 is formed at a position corresponding to the number of the lock grooves 22 at a position where the lock groove 22 is provided on the rear surface of the door 20, that is, the surface of the door 20 facing the main body 10 As shown in FIG. Or the first sealing portion 160 may be provided in a larger number than the number of the lock grooves 22 along the circumferential direction of the edge of the rear surface of the door 20. [ The first sealing portion 160 may be formed of an elastic member or a silicon molding.

본 발명에 따라, 도어(20)가 상기 본체(10)의 전면부(3)를 폐쇄하여 기밀이 유지된다는 표현은 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)의 내부(30)의 압력(내압)과 외부의 압력(외압)이 대기압으로 동일한 경우뿐만 아니라, 상기 내압과 외압이 서로 상이한 경우(예를 들어 내압이 외압보다 더 높은 경우 또는 그 반대의 경우)에도 기밀이 유지될 수 있음을 포함할 수 있다. 이렇게 내압 및 외부의 서로 다른 경우에도 상기 기밀이 유지될 수 있는 것은, 본체(10)의 구조 및 재질, 잠금장치(140) 및/또는 제1실링부(160)를 통하여 구현된다. 내압 및 외압이 서로 다를 경우, 내부(30) 공간을 구성하는 프레임(110), 패널부(120) 및 도어(20)에는 큰 힘이 가하여지게 되므로, 이러한 내압 및/또는 외압에 견딜 수 있는 강도를 가지도록 구비될 수 있다.The expression that the door 20 is kept airtight by closing the front portion 3 of the main body 10 is not limited to the pressure of the inside 30 of the sealing device 1 or 1 ' (Internal pressure) and the external pressure (external pressure) are equal to the atmospheric pressure, but also when the internal pressure and the external pressure are different from each other (for example, when the internal pressure is higher than the external pressure or vice versa) . It is realized through the structure and material of the body 10, the locking device 140 and / or the first sealing portion 160 that the airtightness can be maintained even in different cases of the internal pressure and the external. When the internal pressure and the external pressure are different from each other, a large force is applied to the frame 110, the panel portion 120 and the door 20 constituting the space of the inside space 30. Therefore, the strength to withstand such internal pressure and / As shown in FIG.

도어(20, 20’)는 외부 장치가 상기 도어(20, 20’)를 홀딩하여 상기 본체(10, 10’)로부터 분리시킬 수 있는 적어도 하나의 홀딩부(21, 21’)를 더 포함한다. 잠금장치(140)의 잠금해제된 상태에서 외부 장치는 상기 적어도 하나의 홀딩부(21, 21’)를 이용하여 도어(20, 20’)를 본체(10, 10’)로부터 분리시킬 수 있다. 이러한 홀딩부(21, 21’)는 예를 들어 손잡이 기능을 수행한다.The doors 20 and 20 'further include at least one holding portion 21 and 21' capable of holding the door 20 and 20 'and separating the door 20 and 20' from the main body 10 and 10 ' . In the unlocked state of the locking device 140, the external device can separate the door 20, 20 'from the main body 10, 10' using the at least one holding portion 21, 21 '. The holding portions 21 and 21 'perform, for example, a grip function.

글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)는 상기 본체(10, 10’)의 내부(30, 30’) 환경을 제어하는 내부환경 제어요소를 포함한다. 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)의 내부 환경은 습도, 산소, 파티클(또는 오염물질)로부터 글래스 패널을 보호하기 위하여 불활성 가스로 퍼징되는데, 이때 내부청정도는 수분 및 산소의 농도가 30ppm 이하로 유지되는 것이 바람직하며, 이는 여건에 따라 내부청정도 설정치는 변동될 수 있다. 불활성 가스로는 N2가스를 이용할 수 있다. 또한, 내부환경 제어요소는, 상기 불활성가스의 퍼징을 이용하여 상기 본체(10, 10’)의 내부(30, 30’)의 압력을 제어할 수 있다. 따라서, 상기 내부환경 제어요소는 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)에 마련되어 불활성 가스 퍼징에 관여하는 모든 요소를 포함한다.The glass panel feeding sealing device 1, 1 'includes an internal environmental control element for controlling the interior 30, 30' environment of the main body 10, 10 '. The internal environment of the glass panel transfer sealing device 1, 1 'is purged with an inert gas to protect the glass panel from humidity, oxygen, particles (or contaminants), wherein the internal cleanliness is such that the concentration of moisture and oxygen is 30 ppm Or less, and the internal cleanliness setting value may be changed according to circumstances. N2 gas can be used as the inert gas. Also, the internal environment control element can control the pressure of the inside 30, 30 'of the main body 10, 10' using the purging of the inert gas. Accordingly, the internal environmental control element is provided in the sealing apparatus for transporting the glass panel 1, 1 'and includes all the elements involved in inert gas purging.

본 발명에 따른 내부환경 제어요소는 3가지 실시예를 포함하고 있다.The internal environment control element according to the present invention includes three embodiments.

내부환경 제어요소의 제1실시예는 도 5a 및 도 5b를, 제2실시예는 도 5a 및 도 5c를, 제3실시예는 도 6a 및 도 6b를 참조하여 설명한다.A first embodiment of the internal environment control element will be described with reference to Figs. 5A and 5B, a second embodiment with Figs. 5A and 5C, and a third embodiment with reference to Figs. 6A and 6B.

내부환경 제어요소의 제 1실시예는, 본체(10)의 좌우측면부 중 어느 일측면부에 마련되어 외부로부터 공급되는 가스가 유입되는 제1가스유입부와, 상기 본체(10)의 좌우측면부 중 타측면부에 마련되어 상기 유입된 가스가 배출되는 제1가스배출부를 포함한다. 불황성가스는 제1가스유입부로부터 내부(30)를 거쳐 제1가스배출부로 배출되는 과정에서 내부(30)로 유입되는 불활성가스는 내부(30)의 전체 영역에 걸쳐 균일한 유입량과 유입속도를 유지하면서 내부(30)에서 와류되거나 정체되지 않고 원활하게 제1가스배출부로 배출되어야 한다. 이는 내부(30)의 불활성가스 퍼징시간 단축 및 내부(30)의 청정도를 전술한 바와 같은 설정치로 유지시킬 수 있도록 하는데 매우 중요한 사항이다.The first embodiment of the internal environment control element includes a first gas inlet provided on one of the left and right side portions of the main body 10 and supplied with gas supplied from the outside, And a first gas discharging portion provided in the second gas discharging portion. The inert gas introduced into the interior 30 during the process of discharging the incombustible gas from the first gas inlet to the first gas outlet through the inside 30 is divided into a uniform inflow amount and an inflow rate The gas should be vortexed or stagnated from the inside 30 and discharged to the first gas discharge portion smoothly. This is a very important issue in that it is possible to shorten the inert gas purging time of the inner part 30 and maintain the cleanliness of the inner part 30 at the set values as described above.

도 5a는 도 2b의 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1’)의 단면도에서 불활성 가스의 진행 방향(B)을 도시하고 있으며, 우측에서 좌측으로 가스가 이동하는 방향을 보이고 있으나 이는 설계 변경에 따라 좌측에서 우측으로 가스가 이동하도록 할 수 있다. 내부환경 제어요소의 제 1실시예는, 패널부(120)가 소정 공간(128)을 형성하도록 외벽(126)과 내벽(126)으로 이루어진 경우로서, 이러한 패널부(120)는 도 3a 및 도 3b를 참조한다. FIG. 5A shows the direction (B) of the inert gas flow in the cross-sectional view of the glass panel transfer closing device 1 'of FIG. 2B and shows the direction in which the gas moves from right to left, So that the gas can be moved to the right side. The first embodiment of the internal environment control element is a case in which the panel section 120 is composed of the outer wall 126 and the inner wall 126 so as to form the predetermined space 128, 3b.

내부환경 제어요소의 제 1실시예에서, 상기 제1가스유입부는, 외부로부터 가스의 공급 또는 공급차단을 위한 밸브(미도시)가 마련되고 상기 본체(10)의 측면부에 대응하는 길이를 가지고 상기 가스를 상기 패널부(120)의 공간(128)으로 공급하는 가스공급유로(127’)와, 상기 패널부(120)의 내벽(127)에 소정 간격을 두고 형성된 복수의 제1가스 유입공(129)을 포함한다(도 5b 참조). 상기 복수의 제1가스유입공(129)은, 상기 내벽(127)의 전체 영역에 걸쳐 소정 간격을 두고 형성될 수 있다. 가스공급유로(127’)의 일 말단에 밸브(미도시)가 마련되어 외부로부터 공급되는 가스의 공급 또는 공급차단이 가능하고, 가스공급유로(127')는 외부로부터 가스를 공급받는 메인 유로와 각 제1가스유입부로 가스를 분기시키는 분기 유로를 포함한다. 즉, 메인 유로는 본체(10)의 측면부의 길이에 상응하는 길이를 가지는 관로이고, 분기 유로는 복수의 패널부(120) 각각에 마련된 내벽(127)과 외벽(126)에 의하여 형성된 공간(128)으로 가스가 공급되도록 하는 관로이다. 상기 공간(128)으로 가스가 공급되면 외벽(126)은 완전히 밀폐되어 있으므로, 내벽(127) 전체 영역에 형성된 복수의 제1가스 유입공(129)을 통하여 본체(10)의 내부(30)로 상기 가스가 균일한 유입량과 균일한 유입속도로 퍼징된다. In the first embodiment of the internal environment control element, the first gas inlet includes a valve (not shown) for supplying or blocking gas from the outside, and has a length corresponding to the side portion of the main body 10 And a plurality of first gas inflow holes formed at predetermined intervals in the inner wall 127 of the panel unit 120. The gas supply passage 127 ' 129) (see FIG. 5B). The plurality of first gas inlet holes 129 may be formed at predetermined intervals over the entire area of the inner wall 127. A valve (not shown) is provided at one end of the gas supply passage 127 'to supply or cut off the gas supplied from the outside. The gas supply passage 127' And a branch flow path for branching the gas to the first gas inlet. That is, the main flow path is a duct having a length corresponding to the length of the side surface portion of the main body 10, and the branch flow path is formed by a space 128 formed by the inner wall 127 and the outer wall 126 provided for each of the plurality of panel portions 120 ) To supply the gas. When the gas is supplied into the space 128, the outer wall 126 is completely sealed, so that the gas is supplied to the inner portion 30 of the main body 10 through the plurality of first gas inlet holes 129 formed in the entire region of the inner wall 127 The gas is purged at a uniform inflow rate and at a uniform inflow rate.

제1가스배출부는, 상기 제1가스유입부와 대향하는 패널부의 내벽 전체 영역에 소정 간격을 두고 형성된 복수의 제1가스배출공(미도시)을 포함한다.The first gas discharging portion includes a plurality of first gas discharging holes (not shown) formed at predetermined intervals in the entire region of the inner wall of the panel portion facing the first gas inlet portion.

내부(30)에는 복수의 글래스 패널들이 지지수단에 의하여 상하 수직 방향으로 상호 이격 간격을 두고 수용되므로 복수의 제1가스 유입공(129)과 복수의 제1가스 배출공(미도시)은 글래스 패널들 사이 영역에 대응하는 영역에 형성되어야 한다. 이에 의하여 복수의 제1가스 유입공(129)을 통하여 내부(30)로 유입된 불활성가스가 글래스 패널들 사이 영역을 거쳐 복수의 제1가스 배출공(미도시)을 향해 원활하게 이동할 수 있다. 또한, 상기 제1가스배출부는, 상기 제1가스배출공으로부터 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)의 외부로 상기 불활성가스를 배출하기 위한 가스배출유로(미도시)를 더 포함할 수 있다.A plurality of glass panels are accommodated in the inner space 30 at mutually spaced intervals in the vertical direction by the support means, so that the plurality of first gas inlet holes 129 and the plurality of first gas outlet holes (not shown) Should be formed in the region corresponding to the region between the adjacent regions. Accordingly, the inert gas introduced into the interior 30 through the plurality of first gas inlet holes 129 can smoothly move toward the plurality of first gas outlet holes (not shown) through the region between the glass panels. The first gas discharging portion may further include a gas discharging passage (not shown) for discharging the inert gas from the first gas discharging hole to the outside of the sealing device for transferring the glass panel (1, 1 ') have.

내부환경 제어요소의 제 2실시예는, 도 5a와 같이 가스의 흐름은 동일하며, 다만 도 5c와 같이 제1가스유입부 및 제1가스배출부가 패널부(120)가 아닌 프레임(110)에 마련되는 점이 서로 상이하다. 제1가스유입부는, 본체(10)의 좌우측면부 중 어느 한 측면부에 마련된 프레임에 소정 간격을 두고 형성된 복수의 제2가스유입공을 포함하고, 본체(10)의 좌우측면부 중 타측면부에 마련된 프레임에 소정 간격을 두고 형성된 복수의 제2가스배출공을 포함한다. 또한, 상기 제1가스배출부는, 상기 제1가스배출공으로부터 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)의 외부로 상기 불활성가스를 배출하기 위한 가스배출유로(미도시)를 더 포함할 수 있다. 도 5c를 참조하면, 우측프레임(114)에서 본체(10)의 내부(30)를 향하는 내측면에 복수의 제2가스유입공(114a)이 형성되어 있고, 이와 대향하는 좌측 프레임(113)에 본체(10)의 내부(30)를 향하는 내측면에 복수의 제2가스배출공(미도시)이 형성된다. 가스 유로는 외부로부터 소정의 가스가 공급 또는 공급차단되록 하는 밸브(미도시)를 포함하고, 상기 우측프레임(114)에 바로 연결되도록 마련될 수 있다. 따라서, 도 5c를 구현하기 위하여는 상기 프레임(110)은 그 속에 공간을 가지는 사각기둥의 형상으로 이루어지되, 상기 본체(10)에서 요구하는 강성을 충분히 유지시킬 수 있는 두께 및 재질로 마련된다.5A, the first gas inlet and the first gas outlet are not connected to the frame 110 but to the panel 120, as shown in FIG. 5C, Are different from each other. The first gas inlet portion includes a plurality of second gas inlet holes formed at a predetermined interval in a frame provided on one of left and right side portions of the main body 10, And a plurality of second gas discharge holes formed at predetermined intervals in the second gas discharge hole. The first gas discharging portion may further include a gas discharging passage (not shown) for discharging the inert gas from the first gas discharging hole to the outside of the sealing device for transferring the glass panel (1, 1 ') have. 5C, a plurality of second gas inflow holes 114a are formed on the inner side surface of the right frame 114 toward the inside 30 of the main body 10, and the left side frame 113 A plurality of second gas discharge holes (not shown) are formed on the inner surface of the body 10 facing the interior 30. The gas flow path includes a valve (not shown) for supplying or blocking a predetermined gas from the outside, and may be provided to be directly connected to the right frame 114. 5C, the frame 110 is formed in the shape of a rectangular column having a space therein, and is provided with a thickness and a material so as to sufficiently maintain the rigidity required by the main body 10.

내부환경 제어요소의 제3실시예는, 제1 및 제2실시예와 달리 가스가 본체(10)의 내부(30) 중앙 영역에서 공급되어 본체(10)의 좌우측면부로 배출되는 점이다(도 6a 참조). 따라서, 도 6a에서와 같이 본체(10)의 내부(30) 중앙 영역에서 공급되는 가스는 좌우방향(A’, A’’)으로 배출되는 것이다.The third embodiment of the internal environment control element differs from the first and second embodiments in that gas is supplied from the central region of the interior 30 of the main body 10 and discharged to the left and right side portions of the main body 10 6a). Therefore, as shown in FIG. 6A, the gas supplied from the central region of the interior 30 of the main body 10 is discharged in the left and right directions A 'and A' '.

제3실시예에서, 내부환경 제어요소는 상기 본체(10)의 후면부로부터 제3길이만큼 상기 내부로 연장되어 외부로부터 공급되는 가스가 유입되는 제2가스유입부(131)와, 상기 본체(10)의 좌우측면부 중 적어도 어느 한 일측면부에 마련되어 상기 유입된 가스가 배출되는 제2가스배출부를 포함한다. 제2가스유입부(131)는 제2지지부(150’)를 이용할 수도 있으며, 제2지지부(150’)와 별도로 소정 간격 이격되어 유사한 길이를 가진 사각기둥으로 형성될 수도 있다. 제2가스유입부(131)는 소정 간격을 두고 형성된 복수의 제3가스유입공(132)을 포함하는데, 제3가스유입공(132)은 또한 제2지지부(150’)에서 내부를 향하는 좌우측면에 소정 간격을 두고 복수 개로 형성될 수 있다. 제2가스배출부는, 본체(10)의 좌우측면부에 마련되는 프레임(113, 114)에 내부(30)를 향하는 측면에 소정 간격을 두고 형성된 복수의 제3가스배출공(미도시)을 포함한다. 또한, 상기 제2가스배출부는, 상기 제1가스배출공으로부터 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)의 외부로 상기 불활성가스를 배출하기 위한 가스배출유로(미도시)를 더 포함할 수 있다. 이에 따라, 본체(10) 내부(30)의 중앙영역에서 공급되는 가스가 본체(10)의 좌우측면부를 향하여 진행하여 좌우측면부로 배출될 수 있다. 가스 유로는 외부로부터 소정의 가스가 공급 또는 공급차단되록 하는 밸브(미도시)를 포함하고, 후면 프레임(115)에 바로 연결되도록 마련될 수 있다. 따라서, 제2실시예와 같이 제3실시예를 구현하기 위하여는 상기 프레임(110)은 그 속에 공간을 가지는 사각기둥의 형상으로 이루어지되, 상기 본체(10)에서 요구하는 강성을 충분히 유지시킬 수 있는 두께 및 재질로 마련된다.In the third embodiment, the internal environment control element includes a second gas inlet 131 through which a gas supplied from the outside flows into the interior of the main body 10 by a third length from the rear portion of the main body 10, And a second gas discharging portion provided on at least one of the left and right side portions of the first gas discharging portion to discharge the introduced gas. The second gas inlet 131 may use a second support 150 'or a quadrangle having a similar length apart from the second support 150'. The second gas inlet 131 includes a plurality of third gas inlet holes 132 formed at predetermined intervals and the third gas inlet holes 132 are also formed in the left and right sides of the second support 150 ' And may be formed in a plurality of side surfaces at predetermined intervals. The second gas discharging portion includes a plurality of third gas discharging holes (not shown) formed at predetermined intervals on a side face of the frame (113, 114) provided on the left and right side portions of the main body . The second gas discharging portion may further include a gas discharging passage (not shown) for discharging the inert gas from the first gas discharging hole to the outside of the sealing device for conveying the glass panel (1, 1 ') have. Accordingly, the gas supplied from the central region of the inside of the main body 10 can be directed toward the left and right side portions of the main body 10 and can be discharged to the left and right side portions. The gas flow path includes a valve (not shown) for supplying or blocking a predetermined gas from the outside, and may be provided to be directly connected to the rear frame 115. Therefore, in order to implement the third embodiment as in the second embodiment, the frame 110 is formed in the shape of a rectangular column having a space therein, And is provided with a thickness and material.

상기 제1 내지 제3가스 유입공과 제1 내지 제3가스 배출공의 형상 및 개수는 동일할 수도, 서로 상이할 수도 있다. 바람직하게는, 제1 내지 제3가스 배출공의 직경은 제1 내지 제3가스 유입공의 직경보다 더 크게 형성된다. 글래스 패널들 사이로 유동하는 불활성가스의 원활한 배출을 도모하기 위한 것으로서, 제1 및 제2가스 배출공의 직경이 제1 내지 제3가스 유입공의 직경과 동일하거나 작은 직경일 경우, 불활성가스가 글래스패널들 사이에서 와류현상과 같은 재순환현상이 발생되면서 본체(10)의 내부(30)에 정체될 수 있기 때문이다. 불활성가스가 본체(10)의 내부(30)에 정체되면 불활성가스의 퍼징시간이 증가함과 동시에 본체(10)의 내부(30)의 오염물질 정체 현상이 발생한다. 이에 의해 본체(10)의 내부(30)를 빠른 시간에 퍼징할 수 없고 본체(10)의 내부(30)의 청정도가 설정치까지 도달하는데 많은 시간이 소모된다.The shapes and the numbers of the first to third gas inflow holes and the first to third gas vent holes may be the same or different from each other. Preferably, the diameters of the first to third gas discharge holes are formed to be larger than the diameters of the first to third gas inlet holes. When the diameters of the first and second gas discharge holes are equal to or smaller than the diameters of the first to third gas inlet holes, inert gas is injected into the glass Since it is possible to stagnate in the interior 30 of the main body 10 while generating a recirculation phenomenon such as a vortex phenomenon between the panels. When the inert gas is stagnated in the interior 30 of the main body 10, the purging time of the inert gas is increased and the pollutant stagnation phenomenon of the inside 30 of the main body 10 occurs. As a result, the interior 30 of the main body 10 can not be purged in a short period of time, and the cleanliness of the interior 30 of the main body 10 reaches a set value.

제1 내지 제3가스 배출공들을 제1 및 제2가스유입공들에 비해 큰 직경으로 형성하게 되면, 불활성가스의 유입속도 대비 배출속도가 증가하게 되어 불활성가스의 유동이 원활하게 이루어진다. 이에 의해 글래스 패널들 사이에서 불활성가스의 와류현상과 같은 재순환 형상이 발생하지 않고 불활성가스의 배출이 빠르고 원활하게 이루어진다. 이에 의해 본체(10)의 내부(30)를 빠른 시간에 퍼징하면서 본체(10)의 내부(30)의 청정도가 설정치까지 빠르게 도달하게 된다.If the first to third gas discharge holes are formed to have a diameter larger than that of the first and second gas discharge holes, the discharge speed is increased compared to the flow rate of the inert gas so that the flow of the inert gas is smoothly performed. Thereby, a recirculating shape such as a swirling phenomenon of an inert gas between the glass panels does not occur, and the discharging of the inert gas is performed quickly and smoothly. The purity of the interior 30 of the main body 10 reaches the set value quickly while purging the inside 30 of the main body 10 in a short time.

상기 제1 및 제2 가스유입부에 마련된 가스유로에는 외부로부터 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)의 내부(30)로 이물질이 유입되는 것을 방지하기 위한 이물질제거필터(미도시)를 더 포함할 수도 있다.(Not shown) for preventing foreign substances from flowing into the interior 30 of the sealing apparatus for conveying glass panels 1 and 1 'from outside is provided in the gas flow path provided in the first and second gas inflow portions .

상기 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)는 불활성 가스 퍼징을 통하여 내부 환경이 제어될 수 있어, 대면적 기판으로 활용되는 글래스 패널을 수용하여 클린룸 외부에서 클린룸 내부로 상기 글래스 패널을 이송할 수 있다. 대면적 글래스 패널을 복수 개 수용가능한 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)는 그 자체로 상당한 무게를 지니고 있기에 사람에 의하여 이동될 수 있고, 소정의 운반장치를 통하여 이동된다. 글래스 패널이 수용된 글래스 패널 이송용 밀폐장치 자체가 클린룸 외부에서 클린룸 내부로 이송되는 것이 아니라, 클린룸에 마련되는 소정의 출입부를 통하여 글래스 패널만 클린룸으로 반입된다. 이는 바로 본원의 글래스 패널 이송용 밀폐장치가 불활성 가스로 인하여 내부환경이 제어될 수 있기에, 클린룸의 출입부 영역에 글래스 패널 이송용 밀폐장치가 도킹되고 본원의 글래스 패널 이송용 밀폐장치의 도어가 열리기 전에 내부환경을 클린룸과 동일한 조건으로 제어한 후, 클린룸의 출입부를 통하여 글래스 패널만 클린룸 내부로 이송되는 것이다. 이를 위하여는 클린룸의 출입부가 위치하는 영역과 글래스 패널 이송용 밀폐장치 사이의 기밀유지도 요구된다. 이에 따라, 본원에 따른 글래스 패널 이송용 밀폐장치는, 상기 글래스 패널 이송용 밀폐 장치가 외부 장치(예, 클린룸)에 도킹될 때 상기 글래스 패널 이송용 밀폐 장치와 상기 외부장치 사이의 기밀을 유지하도록 하는 제2실링부(170)를 더 포함한다. 상기 제2실링부(170)는 본체(10)의 전면부(3) 외측면, 즉 외부 장치와 맞닿는 면에 복수 개(171) 마련될 수 있으며, 또한 도어(20)의 외측면, 즉 외부장치와 맞닿는 면에 복수 개(172) 마련될 수 있다. 따라서, 상기 제2실링부(170)를 통하여 상기 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)의 도킹 후에 상기 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)의 외부에 부착된 파티클(또는 오염물질)이나 클린룸 외부의 파티클이 클린룸 내부로 유입되는 것이 방지될 수 있다. 이러한 제2실링부(170)는 제1실링부(160)와 마찬가지로 탄성 부재 또는 실리콘 성형으로 이루어질 수 있다.As described above, the sealing device for conveying the glass panel (1, 1 ') according to the present invention can control the internal environment through purging of the inert gas, so that the glass panel used as a large- The glass panel can be transferred into the clean room. The glass panel conveying sealing device 1, 1 'capable of accommodating a plurality of large-area glass panels has a considerable weight per se, and can be moved by a person and moved through a predetermined conveying device. The sealing device for conveying the glass panel accommodating the glass panel itself is not transferred from the outside of the clean room to the inside of the clean room but only the glass panel is brought into the clean room through the predetermined entrance and exit portion provided in the clean room. This is because the sealing device for transferring the glass panel of the present invention can control the internal environment due to the inert gas so that the sealing device for transferring the glass panel is docked in the entrance and exit area of the clean room, After controlling the internal environment in the same condition as the clean room before opening, only the glass panel is transferred into the clean room through the entrance and exit of the clean room. For this purpose, it is also required to maintain the airtightness between the area where the entrance and exit of the clean room is located and the sealing device for transferring the glass panel. Accordingly, when the sealing device for feeding the glass panel is docked to an external device (for example, a clean room), the sealing device for feeding the glass panel according to the present invention maintains the airtightness between the sealing device for feeding the glass panel and the external device (Not shown). The second sealing part 170 may be provided on the outer surface of the front part 3 of the main body 10, that is, on the surface contacting the external device, and the outer surface of the door 20, And a plurality of (172) may be provided on a surface contacting the device. Accordingly, particles (or contamination) adhering to the outside of the glass panel conveying sealing device (1, 1 ') after docking the glass panel conveying sealing device (1, 1') through the second sealing part Material) or particles outside the clean room can be prevented from entering the inside of the clean room. The second sealing portion 170 may be formed of an elastic member or silicone molding, similar to the first sealing portion 160.

본 발명에 따른 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)는 상기 내부(30, 30’)의 환경을 감지할 수 있는 감지부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 상기 설명한 바와 같이, 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)의 내부는 사용자의 설정에 따라 수분, 산소 및 파티클 등으로부터 글래스 패널을 보호하기 위한 내부청정도 및/또는 내부 압력이 내부환경 제어요소를 통하여 제어될 수 있다. 상기 내부환경 제어요소에 의하여 사용자가 희망하는 내부환경으로 제어되었는지 여부를 감지할 수 있는 감지부가 마련될 수 있다. 이는 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)의 내부에 센서로서 마련되어 센싱 결과를 외부 장치로 무선 통신 등의 방법으로 송신할 수 있다. 또는 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)의 패널부(120)로부터 감지 유로(미도시)의 형태로 마련될 수 있다. 상기 감지 유로(미도시)는 상기 본체(10, 10’)의 내부(30, 30’)의 공기를 외부로 유출시킬 수 있는 유로로 소정의 밸브(미도시)가 마련되어 개폐가능하도록 구현될 수 있다. 이렇게 감지 유로(미도시)로 유출시킨 공기를 채집하여 외부의 분석장치를 통하여 본체(10, 10’)의 내부(30, 30’)의 환경을 감지할 수 있다.The sealing device for transferring the glass panel according to the present invention may further include a sensing unit (not shown) capable of sensing the environment of the interior 30, 30 '. As described above, the inside of the sealing apparatus for conveying the glass panel 1, 1 'has internal cleanliness and / or internal pressure for protecting the glass panel from moisture, oxygen and particles according to the setting of the user, Lt; / RTI > element. A sensing unit may be provided to sense whether the user has been controlled to the desired internal environment by the internal environment control element. This can be provided as a sensor inside the glass panel conveying sealing device 1, 1 ', and the sensing result can be transmitted to an external device by wireless communication or the like. (Not shown) from the panel part 120 of the sealing device 1 or 1 'for transferring the glass panel. The detection channel (not shown) may be implemented to be opened and closed by providing a predetermined valve (not shown) as a channel through which the air in the inside 30, 30 'of the main body 10, 10' have. The air flowed out through the sensing flow path (not shown) is collected and the environment of the inside 30, 30 'of the main body 10, 10' can be sensed through the external analyzing device.

또한, 본 발명에 따른 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)는 상기 감지부의 감지 결과 상기 내부(30, 30’)의 조건에 부합하지 않는 경우 이를 알림하는 알림부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 상기 알림부(미도시)는 상기 감지부로부터 감지 결과를 수신하여 상기 내부환경의 조건이 사용자 설정(사용자 희망) 조건에 부합하지 않는 경우 이를 경고할 수 있다. 이러한 알림부(미도시)는 경고 디스플레이 및/또는 경고음 발생부 등 다양하게 구현될 수 있다.The sealing device for conveying the glass panel according to the present invention may further include a notification unit (not shown) for notifying the inside of the inside (30, 30 ') if the detection result of the detection unit does not meet the condition . The notification unit (not shown) receives the detection result from the detection unit and can alert the user when the condition of the internal environment does not match the user setting (user desired condition). The notification unit (not shown) may be implemented in various ways such as a warning display and / or a warning sound generating unit.

이하, 클린룸 외부에서 클린룸 내부로 글래스 패널이 이송되는 방법에 대하여 도 7을 참조하여 설명한다.Hereinafter, a method of transferring the glass panel from the outside of the clean room to the inside of the clean room will be described with reference to FIG.

상기 기재한 바와 같이, 본원에 따라 도 1a 내지 도 6b를 통하여 설명된 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)는 그 자체의 무게 및 수용되는 글래스 패널의 무게(대략 수백 kg에 달함)로 인하여 소정의 운반장치(2)에 의하여 클린룸 외부에서 운반된다. 상기 운반장치(2)는 상기 글래스 패널이 수용된 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)를 가공장치(3)에 도킹시킨다. 가공장치(3)는 글래스 패널 이송용 밀폐장치가 도킹될 때 도어(20)에 대응하는 위치에 출입부(4)가 마련되고, 상기 가공장치(3)의 내부(3’)는 클린 환경을 유지하여 클린 환경 하에서 상기 글래스 패널을 가공하는 장치이다. 즉, 가공장치(3)는 그 자체로 규모의 크기를 떠나 클린룸이 되는 것이다. 상기 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)가 가공장치(3)에 도킹되면, 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)에 마련된 제2실링부(170)를 통하여 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)와 상기 가공장치(3) 사이에 기밀이 유지된다. As described above, the sealing device 1, 1 'for conveying the glass panel described hereinabove with reference to Figs. 1A to 6B has its own weight and the weight of the received glass panel And is transported outside the clean room by the predetermined conveying device 2. The conveying device 2 docks the sealing device 1, 1 'for conveying the glass panel accommodating the glass panel to the processing device 3. The machining apparatus 3 is provided with an entrance portion 4 at a position corresponding to the door 20 when the sealing apparatus for transferring the glass panel is docked and the inside 3 ' Thereby processing the glass panel under a clean environment. That is, the processing apparatus 3 itself becomes a clean room regardless of the size of the scale. When the glass panel conveying sealing device 1 or 1 'is docked to the processing device 3, the glass panel is conveyed through the second sealing part 170 provided in the sealing device for conveying the glass panel 1 or 1' Airtightness is maintained between the sealing device (1, 1 ') and the processing device (3).

가공장치(3)는 상기 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)의 내부 환경 제어를 위한 가스를 공급해주는 가스공급부(미도시)를 포함한다. 상기 가스공급부(미도시)는 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)에 마련된 가스유입부로 가스를 공급하여 준다. 이에 따라, 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)는 가공장치(3)로부터 공급되는 가스를 이용하여 그 내부환경이 클린 환경으로 제어가 된다. 이때, 가공장치(3)의 내부(3’)와 동일한 조건을 가지는 클린 환경으로 제어될 수 있다.The processing apparatus 3 includes a gas supply unit (not shown) for supplying gas for controlling the internal environment of the sealing apparatus 1, 1 'for transferring the glass panel. The gas supply unit (not shown) supplies gas to the gas inlet unit provided in the sealing apparatus for transporting glass panels (1, 1 '). Accordingly, the sealing devices 1 and 1 'for transferring the glass panel are controlled in a clean environment by using the gas supplied from the processing device 3. [ At this time, it can be controlled to a clean environment having the same conditions as the inside 3 'of the processing apparatus 3. [

가공장치(3)의 출입부(4)에는 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)의 도어(20)를 분리시키기 위한 도어 작동부(5)를 포함한다. 상기 도어 작동부(5)는 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)의 잠금장치(140)의 위치에 대응하는 위치 및 대응하는 개수만큼 마련되고, 상기 잠금장치(140)에 소정의 압력을 가하여 도어(20)의 잠금이 해제되도록 한다. 상기 도어(20) 잠금 해제의 원리는 상기 도 4a 및 도 4b에서 설명한 바와 동일하다.The door 4 of the processing apparatus 3 includes a door operating portion 5 for separating the doors 20 of the closing devices 1 and 1 'for transferring glass panels. The door actuating part 5 is provided at a position corresponding to the position of the locking device 140 of the sealing device 1 or 1 'for transferring the glass panel and is provided with a predetermined pressure So that the door 20 is unlocked. The principle of unlocking the door 20 is the same as that described in FIGS. 4A and 4B.

가공장치(3)의 출입부(4)에는 도어(20)를 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)로부터 분리/이탈시키기 위하여 도어 홀더(미도시)를 포함하며, 이는 도어(20)의 홀딩부(21)와 대응하는 위치 및 대응하는 개수로 존재하여 잠금해제된 도어(20)를 분리 또는 이탈시킨다. 이를 통하여 가공장치(3)의 출입부(4)와 도어(20)는 도어 홀더(미도시) 및 홀딩부(21)를 통하여 결합된 채로 이동되면, 가공장치(3)의 내부(3’)와 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)의 내부(30)는 서로 공기가 관통될 수 있다. 도어(20)가 개방되기 전에 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)의 내부(30)가 가공장치(3)의 내부(3’)와 동일/유사한 조건의 클린 환경으로 제어되었으므로, 글래스 패널의 가공장치(3)의 환경에 영향을 미치지 않는다. 그 후, 가공장치(3)에 존재하는 글래스 패널 이송장치(미도시)에 의하여 상기 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)의 내부(30)에 수용된 글래스 패널을 가공장치(3)의 내부(3’)로 이송가능하게 된다.The door 4 is provided with a door holder (not shown) for detaching / releasing the door 20 from the sealing device 1, 1 'for transferring the glass panel to the door 20, And the door 20 is in a corresponding position and corresponding to the holding portion 21 of the door 20, thereby separating or releasing the unlocked door 20. [ Through which the door 4 and the door 20 of the processing device 3 are moved together through the door holder and the holding part 21 so that the inside 3 ' And the inside 30 of the sealing device 1, 1 'for transferring the glass panel can be passed through each other. Since the inside 30 of the sealing apparatus 1, 1 'for conveying the glass panel is controlled to a clean environment of the same / similar condition as the inside 3' of the processing apparatus 3 before the door 20 is opened, It does not affect the environment of the processing apparatus 3 of the panel. Thereafter, the glass panel accommodated in the inside 30 of the glass panel conveying sealing device 1, 1 'is transferred to the processing apparatus 3 by a glass panel transfer device (not shown) existing in the processing device 3 So that it can be transported to the inside 3 '.

본 발명을 이용하면, 글래스 패널 이송용 밀폐장치(1, 1’)에서 가공장치(3)로 글래스 패널을 이송할 수도 있으며, 그 역으로도 얼마든지 가능하게 된다.With the present invention, it is possible to transfer the glass panel from the sealing device for transferring glass panel 1, 1 'to the processing device 3, or vice versa.

비록 본 발명의 몇몇 실시예들이 도시되고 설명되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 원칙이나 정신에서 벗어나지 않으면서 본 실시예를 변형할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 발명의 범위는 첨부된 청구항과 그 균등물에 의해 정해질 것이다.Although several embodiments of the present invention have been shown and described, those skilled in the art will readily appreciate that many modifications may be made without departing from the spirit or scope of the invention . The scope of the invention will be determined by the appended claims and their equivalents.

1, 1’: 글래스 패널 이송용 밀폐 장치
2: 운반장치
3: 가공장치
10: 본체
20: 도어
30: 글래스 패널 이송용 밀폐 장치의 내부
110: 프레임
120: 패널부
130: 제1지지부
140: 잠금장치
150: 제2지지부
160: 제1실링부
170: 제2실링부1, 1 ': Glass panel sealing device
2: Carrier
3: Processing device
10: Body
20: Door
30: Inside of sealing device for glass panel transfer
110: frame
120:
130: first support
140: Locking device
150: second support portion
160: first sealing portion
170: second sealing portion

Claims (23)

글래스 패널 이송용 밀폐장치로서,
글래스 패널을 삽입 또는 인출 가능하도록 하는 개구된 전면부, 밀폐된 좌우측면부, 밀폐된 상면부, 밀폐된 저면부, 및 밀폐된 후면부를 이루어 상기 글래스 패널의 수용 공간이 형성되는 내부를 포함하고, 상기 글래스 패널을 지지하는 지지수단을 포함하는 본체와;
상기 본체의 개구된 전면부를 기밀 가능하게 개폐하는 도어와;
상기 내부의 환경을 제어하는 내부환경 제어요소를 포함하고
상기 도어가 상기 본체의 개구된 전면부를 폐쇄할 때 상기 도어와 상기 전면부 사이의 기밀을 유지하도록 하는 제1실링부를 더 포함하고,
상기 본체는 상기 글래스 패널 이송용 밀폐 장치의 형상을 이루고, 상기 좌우측면부, 상기 상면부, 상기 저면부 및 상기 후면부가 복수의 구획을 갖도록 형성되는 프레임과; 상기 복수의 구획 각각에 대응되도록 형성되어 상기 복수의 구획 각각을 밀폐시키는 복수의 패널부를 포함하고,
상기 내부환경 제어요소는 상기 본체의 후면부로부터 제3길이만큼 상기 내부로 연장되어 외부로부터 공급되는 가스가 유입되는 제2가스유입부와; 상기 본체의 좌우측면부 중 적어도 한 일측면부에 마련되어 상기 유입된 가스가 배출되는 제2가스배출부를 포함하는 글래스 패널 이송용 밀폐 장치.
A sealing device for glass panel feeding,
And an interior of which an accommodating space of the glass panel is formed to form an enclosed front surface portion, a closed top surface portion, a closed bottom surface portion, and a closed rear surface portion for allowing the glass panel to be inserted or withdrawn, A body including support means for supporting the glass panel;
A door hermetically opening and closing an opened front portion of the main body;
And an internal environment control element for controlling the internal environment
Further comprising a first sealing portion for keeping the airtightness between the door and the front portion when the door closes the opened front portion of the main body,
Wherein the main body is in the form of a sealing device for transferring the glass panel, and the left and right side portions, the upper surface portion, the bottom portion and the rear portion are formed to have a plurality of compartments; And a plurality of panel portions formed to correspond to the plurality of sections and sealing each of the plurality of sections,
The internal environment control element includes: a second gas inlet portion extending from the rear portion of the main body to the inside by a third length, into which gas supplied from the outside is introduced; And a second gas discharging portion provided on at least one side portion of the left and right side portions of the main body for discharging the introduced gas.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 글래스 패널 이송용 밀폐 장치가 외부 장치에 도킹될 때 상기 글래스 패널 이송용 밀폐 장치와 상기 외부장치 사이의 기밀을 유지하도록 하는 제2실링부를 더 포함하는 글래스 패널 이송용 밀폐 장치.The method according to claim 1,
Further comprising a second sealing portion for maintaining the airtightness between the sealing device for transferring the glass panel and the external device when the sealing device for sealing the glass panel is docked to an external device. 제3항에 있어서,
상기 제2실링부는 상기 본체의 전면부 및 상기 도어의 전면에 적어도 하나 마련되는 것인 글래스 패널 이송용 밀폐 장치.The method of claim 3,
Wherein at least one of the second sealing portions is provided on a front surface of the main body and a front surface of the door. 삭제delete 제4항에 있어서,
상기 지지수단은,
상기 좌우측면부에 마련된 프레임으로부터 제1 길이만큼 상기 내부로 연장되는 제1 지지부를 포함하는 글래스 패널 이송용 밀폐 장치.5. The method of claim 4,
Wherein the support means comprises:
And a first support portion extending from the frame provided on the left and right side portions to the inside by a first length. 제6항에 있어서,
상기 지지수단은,
상기 후면부에 마련된 프레임으로부터 제2 길이만큼 상기 내부로 연장되는 제2지지부를 더 포함하는 글래스 패널 이송용 밀폐 장치.The method according to claim 6,
Wherein the support means comprises:
And a second support portion extending from the frame provided on the rear portion to the inside by a second length. 제6항에 있어서,
상기 패널부는,
소정의 공간을 형성하도록 내벽과 외벽으로 이루어지는 것인 글래스 패널 이송용 밀폐 장치.The method according to claim 6,
The panel unit includes:
Wherein the glass panel comprises an inner wall and an outer wall so as to form a predetermined space. 제8항에 있어서,
상기 본체의 전면부에 마련되어 상기 도어의 잠금 및 잠금해제 되도록 하는 적어도 하나의 잠금장치를 더 포함하고,
상기 적어도 하나의 잠금장치는 외부로부터 소정 압력이 가해지면 상기 도어가 잠금 또는 잠금해제되도록 하는 것인 글래스 패널 이송용 밀폐 장치.9. The method of claim 8,
Further comprising at least one locking device provided on a front portion of the main body to lock and unlock the door,
Wherein the at least one locking device causes the door to be locked or unlocked when a predetermined pressure is applied from the outside. 제9항에 있어서,
상기 도어는,
상기 적어도 하나의 잠금장치에 대응하는 위치에 상기 잠금장치가 출입가능하도록 형성된 적어도 하나의 잠금홈을 더 포함하는 글래스 패널 이송용 밀폐 장치.10. The method of claim 9,
The door
Further comprising at least one locking groove formed at a position corresponding to the at least one locking device so that the locking device can be moved into and out of the locking groove. 제10항에 있어서,
상기 도어는,
상기 외부 장치가 상기 도어를 홀딩하여 상기 본체로부터 분리시킬 수 있는 적어도 하나의 홀딩부를 더 포함하는 글래스 패널 이송용 밀폐 장치.11. The method of claim 10,
The door
Further comprising at least one holding part for holding the door and separating the door from the main body. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제7항에 있어서,
상기 제2가스유입부는,
상기 제2지지부에 소정 간격을 두고 형성된 복수의 제3가스유입공을 포함하고,
상기 복수의 제3가스유입공을 통하여 상기 제2지지부의 좌우 방향으로 상기 내부를 향하여 상기 가스가 공급되는 것인 글래스 패널 이송용 밀폐 장치.8. The method of claim 7,
Wherein the second gas inlet comprises:
And a plurality of third gas inflow holes formed at a predetermined interval in the second support portion,
Wherein the gas is supplied from the plurality of third gas inflow holes toward the inside in the left-right direction of the second support portion. 제1항에 있어서,
상기 내부의 환경을 감지할 수 있는 감지부를 더 포함하는 글래스 패널 이송용 밀폐 장치.The method according to claim 1,
And a sensing unit capable of sensing the internal environment of the glass panel. 제18항에 있어서,
상기 감지부의 감지 결과 상기 내부의 환경이 소정의 조건에 부합하지 않는 경우 이를 알림하는 알림부를 더 포함하는 글래스 패널 이송용 밀폐 장치.19. The method of claim 18,
And a notification unit for informing the user if the internal environment does not meet a predetermined condition as a result of the detection by the detection unit. 제9항에 있어서,
상기 잠금장치에 인접한 위치에 마련되어, 상기 잠금장치가 손상되는 경우 상기 잠금장치를 해체할 수 있는 수리구를 더 포함하는 글래스 패널 이송용 밀폐 장치.10. The method of claim 9,
And a repairing means provided at a position adjacent to the locking device and capable of disassembling the locking device when the locking device is damaged. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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