KR101603769B1 - 전자기파 투과 필터 및 이를 채용한 전자기파 카메라 - Google Patents

전자기파 투과 필터 및 이를 채용한 전자기파 카메라 Download PDF

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Abstract

입사하는 전자기파 중에서는 특정 파장 근처의 좁은 대역의 전자기파만을 선택하여 투과시킬 수 있는 전자기파 투과 필터 및 이를 채용한 전자기파 카메라를 개시한다. 개시된 전자기파 투과 필터는 관통된 개구를 갖는 전도성 기판 및 개구에 배치된 나선형 코일을 포함할 수 있다. 이러한 전자기파 투과 필터는 원하는 파장 근처의 좁은 대역의 전자기파만을 투과시킬 수 있으며, 투과 전자기파의 세기를 증가시킬 수 있다.

Description

전자기파 투과 필터 및 이를 채용한 전자기파 카메라{Transmission filter for electromagnetic wave and electromagnetic camera using the same}
전자기파 투과 필터 및 이를 채용한 전자기파 카메라, 더욱 상세하게는 입사하는 전자기파 중에서는 특정 파장 근처의 좁은 대역의 전자기파만을 선택하여 투과시킬 수 있는 전자기파 투과 필터 및 이를 채용한 전자기파 카메라를 개시한다.
보안 검색, 신호 전달, 시료 조사, 의료 검사 등의 다양한 분야에서 테라헤르츠 카메라 등과 같은 전자기파 카메라의 사용이 증가하고 있다. 일반적으로 전자기파 카메라는 광 대신에 밀리미터 또는 서브밀리미터 대역의 고주파수를 갖는 전자기파를 사용하여 영상을 얻는다. 이러한 전자기파 카메라에서 특정 파장의 영상을 얻기 위해서는 전자기파 검출기 어레이의 전방에 특정 파장의 전자기파만을 투과시키는 전자기파 투과 필터를 배치하여야 한다.
전자기파 카메라에서 사용되는 전자기파 투과 필터는 일반적으로 금속판에 파장보다 작은 길이의 슬릿을 뚫거나 또는 파장보다 작은 직경의 원형 개구를 뚫어서 형성된다. 금속판에 파장보다 작은 길이의 슬릿을 형성할 경우, 슬릿 길이의 약 두 배에 해당하는 파장의 전자기파를 투과시킬 수 있다. 그러나, 이 경우 투과하는 전자기파 파장의 대역이 비교적 넓고, 투과하는 전자기파의 양이 슬릿 면적의 제곱에 해당하는 투과량을 넘지 않는다. 또한, 금속판에 파장보다 작은 직경의 원형 개구를 형성할 경우, 투과하는 파장의 파장 선택성이 사라지고 투과하는 전자기파의 양이 개구 직경의 네 제곱에 비례해서 줄어든다.
투과하는 전자기파의 파장 대역이 비교적 좁고 투과하는 전자기파의 양이 증가된 전자기파 투과 필터를 제공한다.
또한 위와 같은 전자기파 투과 필터를 채용한 전자기파 카메라를 제공한다.
한 유형에 따른 전자기파 투과 필터는, 기판, 상기 기판을 관통하여 형성된 개구, 및 상기 개구에 배치된 나선형 코일을 포함할 수 있다.
상기 기판은 예를 들어 전도성 재료로 이루어질 수 있다.
상기 개구는 투과 전자기파의 파장보다 작은 크기를 가질 수 있다.
일 예에 따르면, 상기 코일은 상기 코일의 중심축이 기판의 표면과 평행하도록 배치될 수 있다.
여기서, 상기 코일은 상기 개구의 내부에 배치되어 있으며, 상기 코일의 양단이 개구의 가장자리를 통해 상기 기판에 고정될 수 있다.
다수의 코일이 상기 개구의 내부에 배치될 수 있다.
다른 예에 따르면, 상기 코일은 상기 코일의 중심축이 기판의 표면에 수직하도록 배치될 수 있다.
상기 코일은 상기 개구의 내부에 배치되어 있으며, 상기 코일을 지지하기 위한 지지부가 상기 개구의 중심부를 가로질러 형성될 수 있다.
상기 코일은 상기 개구의 내부에 배치되어 있으며, 상기 코일의 일단이 상기 개구의 가장자리를 향해 연장되어 상기 개구의 가장자리 부근에서 기판에 고정될 수 있다.
다수의 코일이 상기 개구의 가장자리를 따라 배열될 수 있다.
상기 기판 상에 다수의 개구들이 형성되어 있으며, 각각의 개구에 적어도 하나의 코일이 배치될 수 있다.
다른 유형에 따른 전자기파 카메라는, 전자기파를 검출하기 위한 다수의 검출기 셀들의 어레이를 갖는 전자기파 검출기 어레이, 및 상기 전자기파 검출기 어레이의 전방에 배치된 것으로 각각의 검출기 셀들마다 특정 파장의 전자기파를 제공하는 전자기파 투과 필터를 포함할 수 있으며, 여기서 상기 전자기파 투과 필터는, 기판, 상기 기판을 관통하여 형성된 다수의 개구, 및 상기 다수의 개구에 각각 배치된 적어도 하나의 나선형 코일을 포함할 수 있다.
상기 기판은 다수의 기판 셀들로 분할될 수 있으며, 인접하는 기판 셀들 사이에 절연층이 배치될 수 있다.
예를 들어, 하나의 기판 셀에 다수의 개구 및 코일들이 할당될 수 있다.
개시된 전자기파 투과 필터는 원하는 파장 근처의 좁은 대역의 전자기파만을 투과시킬 수 있다. 또한, 개시된 전자기파 투과 필터를 투과하는 전자기파의 양은 단순한 원형 홀만이 있는 경우보다 수십 ~ 수 배 증가할 수 있다. 따라서, 개시된 전자기파 투과 필터를 전자기파 카메라에 사용하면, 각각의 사진 화소에 대응하는 전자기파 검출기 어레이의 각각의 셀에서 검출되는 전자기파의 파장을 화소마다 다 르게 할 수 있으며, 검출되는 전자기파의 세기가 증가하여 카메라의 해상도가 향상될 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여, 전자기파 투과 필터 및 이를 채용한 전자기파 카메라에 대해 상세하게 설명한다. 이하의 도면들에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 도면상에서 각 구성요소의 크기는 설명의 명료성과 편의상 과장되어 있을 수 있다.
도 1은 전자기파 투과 필터(10)의 개략적인 구조를 예시적으로 보이는 정면도이다. 도 1을 참조하면, 개시된 전자기파 투과 필터(10)는 전도성 기판(11), 상기 전도성 기판(11)을 관통하여 형성된 개구(12) 및 상기 개구(12) 사이에 형성된 나선형의 전도성 코일(13)을 포함할 수 있다.
전도성 기판(11)으로는 예를 들어 실리콘과 같은 반도체 웨이퍼를 사용할 수도 있으며, 또는 금속성 재료를 사용할 수도 있다. 개구(12)는 전도성 기판(11)을 완전히 관통하여 형성되는데, 투과 전자기파의 파장보다 작은 크기를 가질 수 있다. 예를 들어 개구(12)가 원형인 경우, 개구(12)의 직경보다 작은 크기의 파장을 갖는 입사 전자기파만이 전자기파 투과 필터(10)를 투과할 수 있다. 도 1에는 원형의 개구(12)가 도시되어 있지만, 개구(12)의 형태는 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 원형 이외에도 타원형 또는 사각형이나 다른 다각형 형태로 개구(12)를 형성할 수도 있다.
도 1의 예에서 코일(13)은 개구(12)의 내부에 배치되어 있으며, 코일(13)의 양단이 개구(12)의 가장자리를 통해 기판(11)에 고정되어 있다. 이때, 코일(13)은 전도성을 갖는 기판(11)과 전기적으로 연결될 수 있다. 코일(13)은 적어도 1회 이상 권선된 나선형으로 형성될 수 있는데, 이때 도 1의 예에서 나선형 코일(13)의 중심축이 기판(11)의 표면과 평행하도록 코일(13)이 배치될 수 있다. 이러한 코일(13)은 기판(11)과 별도로 제작한 후에 기판(11)에 결합시킬 수도 있다. 그러나, 예를 들어 테라헤르츠 대역과 같이 매우 높은 주파수의 전자기파용으로 전자기파 투과 필터(10)를 사용하고자 하는 경우에는, 약 1mm 이하의 매우 미세한 크기(예컨대, 수~수백 ㎛)의 코일(13)이 요구되기 때문에, 기판(11)에 코일(13)을 결합시키는 것이 어려울 수도 있다. 이러한 작은 코일(13)이 요구되는 경우에는, 기판(11) 위에 직접 코일(13)을 성장시키는 것도 가능하다. 예를 들어, 탄소나노튜브(CNT)와 같은 나노 와이어는 특수한 성장 조건에서 코일과 같은 형상으로 성장하게 된다는 것이 알려져 있다. 따라서, 기판(11)을 성장 기판으로 하여 기판(11) 위에 직접 나노 코일을 성장시키는 것도 가능하다.
이러한 구조에서 넓은 대역폭의 파장을 갖는 전자기파가 도 1에 도시된 전자기파 투과 필터(10)에 입사하면, 나선형 코일(13)에서의 전자기 유도 현상에 의하여 특정 파장과 편광을 갖는 전자기파가 상기 나선형 코일(13)에서 공진 현상을 보이게 된다. 이때의 공진 파장은 코일(13)의 권선수, 권선된 코일 사이의 피치, 코일(13)의 크기, 개구(12)의 크기 및 모양 등에 의존할 수 있다. 도 1의 경우에, 예를 들어 원통형 전도체 링 내에 코일이 배치된 것으로 모델화할 수 있다. 이 경우, 공진 파장은 개구(12)의 영향으로 인하여, 코일(13) 자체만의 공진 파장보다 긴 쪽 으로 이동하게 된다. 이러한 공진 현상으로 인하여, 입사 전자기파 중에서 전체적인 공진 파장에 대응하는 파장을 갖는 전자기파만이 전자기파 투과 필터(10)를 투과할 수 있게 된다. 이렇게 나선형 코일(13)에서 공진이 발생하기 때문에, 전자기파 투과 필터(10)는 특정 파장에 대한 선택성이 향상될 뿐만 아니라, 투과되는 특정 파장의 전자기파의 양이 개구(12)의 단면적의 수 배에 이를 수도 있다.
도 2는 이러한 도 1에 도시된 전자기파 투과 필터(10)의 동작을 개략적으로 보이는 사시도이다. 도 2를 참조하면, 입사 전자기파가 도면의 왼쪽에서 오른쪽으로 진행하면서 전자기파 투과 필터(10)에 입사한다. 그러면 코일(13)에서 공진 현상이 발생하게 되며, 공진 파장에 대응하는 파장을 갖는 전자기파만이 전자기파 투과 필터(10)를 투과한다. 여기서, 코일(13)의 중심축은 기판(11)의 표면에 평행하게 배치되어 있기 때문에, 자기장의 방향이 코일(13)의 중심축과 일치하는 전자기파, 즉 자기장의 방향이 기판(11)의 표면과 평행한 전자기파만이 공진에 기여하게 된다. 그 결과, 투과 전자기파는 기판(11)의 표면과 평행한 자기장 성분만을 갖게 된다. 이러한 점에서 도 1에 도시된 전자기파 투과 필터(10)는 공진 파장을 갖는 입사 전자기파 중에서 특정 편광 성분의 전자기파만을 투과시키는 편광 필터로서도 작용할 수도 있다.
도 3은 도 1에 도시된 전자기파 투과 필터(10)의 특성을 모의실험한 시뮬레이션 그래프이다. 도 3의 그래프에서 굵은 실선으로 표시한 그래프는 3.5회 권선된 코일(13)이 개구(12) 내에 배치되었을 때 투과 전자기파의 주파수별 세기를 나타내며, 가는 실선으로 표시한 그래프는 개구(12) 내에 코일(13)이 배치되지 않았을 때 투과 전자기파의 주파수별 세기를 나타낸다. 도 3의 두 그래프를 비교하면, 개구(12) 내에 코일(13)이 배치된 경우에는 공진 현상으로 인하여 특정 주파수의 배수에 해당하는 주파수에서 투과 전자기파가 피크를 보인다. 반면, 개구(12) 내에 코일(13)이 배치되지 않은 경우에는 주파수가 증가할수록, 즉 파장이 짧아질수록 투과 전자기파의 세기가 증가한다. 도 4는 개구(12) 내에 코일(13)이 없는 경우의 투과 전자기파의 세기에 대한 개구(12) 내에 코일(13)이 있는 경우의 투과 전자기파의 세기의 비를 나타내는 시뮬레이션 그래프이다. 즉, 도 4의 그래프는 도 3에서 굵은 실선으로 표시한 그래프를 가는 실선으로 표시한 그래프로 나눈 것이다. 도 4를 참조하면, 주파수가 작아질수록, 즉 파장이 증가할수록 세기비가 증가한다는 것을 알 수 있다. 따라서 작은 주파수에서 코일(13)의 효과가 더욱 크게 나타날 수 있다. 도 3 및 도 4는 5~40GHz의 주파수에 대해서 모의실험한 것이나, 도 1에 도시된 전자기파 투과 필터(10)는 이러한 주파수 범위에서만 사용되는 것은 아니다. 앞서 설명한 바와 같이, 코일(13)의 권선수, 권선된 코일 사이의 피치, 코일(13)의 크기, 개구(12)의 크기 및 모양 등을 적절히 선택함으로써 다양한 주파수 범위 내에서 원하는 특정 주파수만을 투과시키도록 전자기파 투과 필터(10)를 설계하는 것이 가능하다.
도 1은 코일(13)의 가장 기본적인 배치 구조를 도시하고 있으나, 다른 방식의 코일 배치도 가능하다. 도 5a 및 도 5b는 다른 예의 전자기파 투과 필터의 구조를 개략적으로 보이는 정면도이다. 도 5a를 참조하면, 코일(13)은 도 1의 경우와 비교하여 기판(11)의 평면 내에서 90도 회전되어 있다. 이 경우, 도 5a에 도시된 전자기파 투과 필터를 투과한 투과 전자기파와 도 1의 전자기파 투과 필터(10)를 투과한 투과 전자기파는 편광 방향이 서로 수직하게 된다. 또한, 도 5b를 참조하면, 개구(12) 내에 다수의 코일(13)들이 배치될 수도 있다.
도 6은 또 다른 예의 전자기파 투과 필터(10')의 개략적인 구조를 예시적으로 보이는 정면도이다. 도 6에 도시된 전자기파 투과 필터(10')의 경우, 코일(13)이 개구(12)의 내부에 배치되어 있다는 점에서는 도 1의 예와 같지만, 코일(13)의 중심축이 기판(11)의 표면과 수직하도록 코일(13)이 배치되어 있다는 점에서 차이가 있다. 개구(12)의 내부에서 코일(13)의 중심축이 기판(11)의 표면과 수직하도록 코일(13)을 배치시키기 위하여, 개구(12)의 중심부를 가로질러 지지부(14)가 형성되어 있다. 그러면 코일(13)은 상기 지지부(14) 위에 결합될 수 있다. 이러한 지지부(14)는 예를 들어 기판(11)과 동일한 재료로 이루어질 수 있다. 또한, 앞서 설명한 바와 같이, 코일(13)로서 미세한 나노 코일을 사용하고자 하는 경우에, 상기 지지부(14) 위에서 나노 코일을 직접 성장시킬 수도 있다.
도 7은 도 6에 도시된 전자기파 투과 필터(10')의 동작을 개략적으로 보이는 사시도이다. 도 7을 참조하면, 입사 전자기파가 도면의 왼쪽에서 오른쪽으로 진행하면서 상기 전자기파 투과 필터(10')에 입사한다. 그러면, 앞서 설명한 바와 같이 코일(13)에서 공진 현상이 발생하게 되며, 공진 파장에 대응하는 파장을 갖는 전자기파만이 전자기파 투과 필터(10')를 투과한다. 본 예의 경우, 코일(13)의 중심축이 기판(11)의 표면에 수직하게 배치되어 있기 때문에, 자기장의 방향이 코일(13)의 중심축과 일치하는 전자기파, 즉 자기장의 방향이 기판(11)의 표면에 수직한 전 자기파만이 공진에 기여하게 된다. 그 결과, 투과 전자기파는 기판(11)의 표면에 수직한 자기장 성분만을 갖게 된다. 이러한 점에서, 도 6에 도시된 전자기파 투과 필터(10')는 공진 파장을 갖는 입사 전자기파 중에서 표면에 수직한 자기장 성분을 갖는 전자기파만을 투과시키는 편광 필터로서도 작용할 수도 있다.
도 8a 및 도 8b는 또 다른 예의 전자기파 투과 필터의 구조를 개략적으로 보이는 정면도이다. 도 8a에 도시된 전자기파 투과 필터의 경우, 기판(11)의 표면에 수직한 코일(13)이 개구(12)의 내부에 배치되어 있지만, 개구(12)의 중심부를 가로지르는 지지부(14)가 형성되어 있지 않다. 도 8a에 도시된 예의 경우, 코일(13)의 일단이 개구(12)의 가장자리를 향해 연장되어 상기 개구(12)의 가장자리 부근에서 기판(11)에 고정된다. 또한, 도 8b에 도시된 전자기파 투과 필터의 경우, 기판(11)의 표면에 수직한 다수의 코일(13)들이 개구(12)의 가장자리를 따라 등간격으로 배열되어 있다.
지금까지는 원형의 개구(12)만을 예시적으로 도시하였다. 그러나, 앞서 설명한 바와 같이, 개구(12)는 원형 이외에도 타원형 또는 사각형이나 다른 다각형 형태로 형성될 수 있다. 도 9a 내지 도 9e는 사각 슬릿 형태의 개구(12')를 갖는 또 다른 예의 전자기파 투과 필터의 구조를 개략적으로 도시하고 있다. 도 9a에 도시된 전자기파 투과 필터(10")는 사각 슬릿형 개구(12')의 내부에 하나의 코일(13)이 기판(11)의 표면과 평행하게 배치된 형태를 도시하고 있다. 도 9b의 경우, 사각 슬릿형 개구(12')의 내부에 기판(11)의 표면과 평행한 다수의 코일(13)이 배치된 예를 도시하고 있다. 도 9c의 경우, 기판(11)의 표면과 평행한 코일(13)이 개구(12') 의 길이 방향이 아닌 짧은 폭 방향으로 배열된 예를 도시하고 있다. 도 9d의 경우, 기판(11)의 표면과 평행한 다수의 코일(13)이 개구(12')의 짧은 폭 방향으로 배열된 예를 도시하고 있다. 마지막으로, 도 9e의 경우, 기판(11)의 표면에 수직한 다수의 코일(13)이 개구(12')의 가장자리를 따라 배열된 예를 도시하고 있다.
지금까지 설명한 전자기파 투과 필터(10, 10', 10")들은 코일(13)을 통해 공진을 일으키는 방식으로 특정 파장의 전자기파만을 선택적으로 투과시킬 수 있다. 이 경우에 투과된 특정 파장의 전자기파의 세기가 증가할 수 있다. 따라서, 이러한 전자기파 투과 필터(10, 10', 10")들을 테라헤르츠 카메라와 같은 전자기파 카메라에 사용할 경우, 감도와 해상도가 향상된 카메라를 제공할 수 있다. 도 10은 이러한 전자기파 투과 필터를 채용한 전자기파 카메라(100)의 개략적인 구조를 예시적으로 도시하고 있다.
도 10을 참조하면, 전자기파 카메라(100)는 전자기파 투과 필터(110)와 전자기파 검출기 어레이(120)를 구비할 수 있다. 도 10에 도시된 바와 같이, 전자기파 투과 필터(110)는 전자기파 검출기 어레이(120)의 전방에 배치되어, 전자기파 검출기 어레이(120)에 원하는 특정 파장의 전자기파만을 제공하는 역할을 한다. 여기서, 전자기파 검출기 어레이(120)는 다수의 검출기 셀(121)들의 어레이로 형성될 수 있다. 또한, 전자기파 투과 필터(110)도 역시 다수의 검출기 셀(121)들에 대응하는 다수의 개구(112) 및 코일(113)들을 포함할 수도 있다. 각각의 개구(112) 및 코일(113)들을 통해 각각 상이한 파장의 전자기파가 투과될 수 있도록, 상기 다수의 개구(112)들은 상이한 크기와 모양을 가질 수 있으며, 다수의 코일(113)들도 역 시 상이한 권선수, 피치, 크기 등을 가질 수 있다. 이러한 구조에서, 각각의 검출기 셀(121)은 예를 들어 전자기파 투과 필터(110)의 각각의 대응하는 개구(112) 및 코일(113)에 의해 제공되는 상이한 파장의 전자기파를 검출하는 것이 가능하다.
한편, 전자기파 투과 필터(110)에 전자기파가 입사할 때, 도전성 기판(111)의 표면에 유도 전류가 발생하게 된다. 기판(111) 상에 형성되는 이러한 유도 전류에 의해 인접한 개구(112) 및 코일(113)들의 공진 파장에 영향을 주는 것을 최소화하기 위하여 도전성 기판(111)은 다수의 기판 셀(111a,111b,111c)들로 분할될 수 있다. 이를 위해, 인접한 기판 셀(111a,111b,111c)들 사이에는 절연층(115)이 배치될 수 있다. 도 10에는 하나의 기판 셀(111a,111b,111c)에 다수의 개구(112) 및 코일(113)들이 할당되어 있는 것으로 도시되어 있다. 그러나 실시예에 따라서는 하나의 기판 셀(111a,111b,111c)에 하나의 개구(112)와 코일(113)만을 배치시킬 수도 있다. 하나의 기판 셀(111a,111b,111c)에 배치되는 개구(112) 및 코일(113)의 개수는, 예를 들어, 인접한 개구(112) 및 코일(113)들의 공진 파장에 대한 영향의 정도와 제조 비용 등을 감안하여 적절하게 선택할 수 있다.
또한, 도 10에는 하나의 검출기 셀(121)에 하나의 개구(112) 및 코일(113)이 대응하는 것으로 도시되어 있다. 그러나, 검출기 셀(121)에 입사하는 전자기파의 파장 대역을 더욱 좁게 하고 입사 전자기파의 세기를 증가시키기 위하여, 하나의 검출기 셀(121)에 다수의 개구(112) 및 코일(113)들을 할당하는 것도 가능하다.
지금까지, 본 발명의 이해를 돕기 위하여 전자기파 투과 필터 및 이를 채용한 전자기파 카메라에 대한 예시적인 실시예가 설명되고 첨부된 도면에 도시되었 다. 그러나, 이러한 실시예는 단지 본 발명을 예시하기 위한 것이고 이를 제한하지 않는다는 점이 이해되어야 할 것이다. 그리고 본 발명은 도시되고 설명된 설명에 국한되지 않는다는 점이 이해되어야 할 것이다. 이는 다양한 다른 변형이 본 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일어날 수 있기 때문이다.
도 1은 전자기파 투과 필터의 개략적인 구조를 예시적으로 보이는 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 전자기파 투과 필터의 동작을 설명하는 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 전자기파 투과 필터를 투과하는 전자기파의 세기를 코일이 없는 경우와 비교하여 나타내는 시뮬레이션 그래프이다.
도 4는 코일이 없는 경우에 대한 코일이 있는 경우의 투과 전자기파의 세기비를 나타내는 시뮬레이션 그래프이다.
도 5a 및 도 5b는 다른 예의 전자기파 투과 필터의 구조를 개략적으로 보이는 정면도이다.
도 6은 또 다른 예의 전자기파 투과 필터의 개략적인 구조를 예시적으로 보이는 정면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 전자기파 투과 필터의 동작을 설명하는 사시도이다.
도 8a 및 도 8b는 또 다른 예의 전자기파 투과 필터의 구조를 개략적으로 보이는 정면도이다.
도 9a 내지 도 9e는 또 다른 예의 전자기파 투과 필터의 구조를 개략적으로 보이는 정면도이다.
도 10은 전자기파 투과 필터와 전자기파 검출기 어레이를 구비하는 전자기파 카메라의 개략적인 구조를 도시한다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
10,10',110.....전자기파 투과 필터 11,111a,111b,111c.....기판
12,12',112.....개구 13,113.....코일
14.....지지부 100.....전자기파 카메라
115....절연층
120.....전자기파 검출기 어레이
121.....검출기 셀

Claims (23)

  1. 기판;
    상기 기판을 관통하여 형성된 개구; 및
    상기 개구에 배치된 것으로, 적어도 1회 이상 권선된 나선형 코일을 포함하며,
    상기 개구는 투과 전자기파의 파장보다 작은 크기를 갖는 전자기파 투과 필터.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판은 전도성 재료로 이루어지는 전자기파 투과 필터.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 코일은 상기 코일의 중심축이 기판의 표면과 평행하도록 배치되는 전자기파 투과 필터.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 코일은 상기 개구의 내부에 배치되어 있으며, 상기 코일의 양단이 개구의 가장자리를 통해 상기 기판에 고정되는 전자기파 투과 필터.
  6. 제 5 항에 있어서,
    다수의 코일이 상기 개구의 내부에 배치되는 전자기파 투과 필터.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 코일은 상기 코일의 중심축이 기판의 표면에 수직하도록 배치되는 전자기파 투과 필터.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 코일은 상기 개구의 내부에 배치되어 있으며, 상기 코일을 지지하기 위한 지지부가 상기 개구의 중심부를 가로질러 형성되어 있는 전자기파 투과 필터.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 코일은 상기 개구의 내부에 배치되어 있으며, 상기 코일의 일단이 상기 개구의 가장자리를 향해 연장되어 상기 개구의 가장자리 부근에서 기판에 고정되는 전자기파 투과 필터.
  10. 제 7 항에 있어서,
    다수의 코일이 상기 개구의 가장자리를 따라 배열되어 있는 전자기파 투과 필터.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 상에 다수의 개구들이 형성되어 있으며, 각각의 개구에 적어도 하나의 코일이 배치되어 있는 전자기파 투과 필터.
  12. 전자기파를 검출하기 위한 다수의 검출기 셀들의 어레이를 갖는 전자기파 검출기 어레이; 및
    상기 전자기파 검출기 어레이의 전방에 배치된 것으로, 각각의 검출기 셀들마다 특정 파장의 전자기파를 제공하는 전자기파 투과 필터를 포함하며,
    상기 전자기파 투과 필터는:
    기판;
    상기 기판을 관통하여 형성된 다수의 개구; 및
    상기 다수의 개구에 각각 배치된 적어도 하나의 나선형 코일을 포함하는, 전자기파 카메라.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 기판은 전도성 재료로 이루어지는 전자기파 카메라.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 개구는 투과 전자기파의 파장보다 작은 크기를 갖는 전자기파 카메라.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 코일은 상기 코일의 중심축이 기판의 표면과 평행하도록 배치되는 전자기파 카메라.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 코일은 상기 개구의 내부에 배치되어 있으며, 상기 코일의 양단이 개구의 가장자리를 통해 상기 기판에 고정되는 전자기파 카메라.
  17. 제 16 항에 있어서,
    다수의 코일이 상기 개구의 내부에 배치되는 전자기파 카메라.
  18. 제 12 항에 있어서,
    상기 코일은 상기 코일의 중심축이 기판의 표면에 수직하도록 배치되는 전자기파 카메라.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 코일은 상기 개구의 내부에 배치되어 있으며, 상기 코일을 지지하기 위한 지지부가 상기 개구의 중심부를 가로질러 형성되어 있는 전자기파 카메라.
  20. 제 18 항에 있어서,
    상기 코일은 상기 개구의 내부에 배치되어 있으며, 상기 코일의 일단이 상기 개구의 가장자리를 향해 연장되어 상기 개구의 가장자리 부근에서 기판에 고정되는 전자기파 카메라.
  21. 제 18 항에 있어서,
    다수의 코일이 상기 개구의 가장자리를 따라 배열되어 있는 전자기파 카메라.
  22. 제 12 항에 있어서,
    상기 기판은 다수의 기판 셀들로 분할되어 있으며, 인접하는 기판 셀들 사이에 절연층이 배치되어 있는 전자기파 카메라.
  23. 제 22 항에 있어서,
    하나의 기판 셀에 다수의 개구 및 코일들이 할당되어 있는 전자기파 카메라.
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