KR101601006B1 - Exposure apparatus using LED having cool air supply unit - Google Patents

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KR101601006B1 KR1020140046094A KR20140046094A KR101601006B1 KR 101601006 B1 KR101601006 B1 KR 101601006B1 KR 1020140046094 A KR1020140046094 A KR 1020140046094A KR 20140046094 A KR20140046094 A KR 20140046094A KR 101601006 B1 KR101601006 B1 KR 101601006B1
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Abstract

본 발명은 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치에 관한 것으로, 감광 물질이 도포된 피처리 기판이 안치되는 스테이지와, 일측면이 오목한 곡면을 이루도록 형성되며 광축 홀이 형성된 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트에 장착되어 상기 감광 물질을 노광하기 위한 광을 발생시키는 LED 램프를 포함하는 광원부와, 상기 광원부로부터 발생된 광이 통과하도록 배치된 인터그레이터 렌즈와, 상기 인터그레이터 렌즈를 통과한 광을 평행광으로 변환시켜 상기 스테이지에 안착된 피처리 기판을 향해 반사하는 평행광 미러 및 상기 광원부의 LED 램프 작동에 따라 발생하는 열을 냉각시키기 위해 LED 램프의 후방에 설치된 방열 핀과 방열 팬을 향해 냉기를 불어 넣는 냉기 공급유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 광원 노광장치가 개시된다. 이에 따라서, LED 램프의 작동에 따라 발생하는 열이 히트 파이프와 방열 핀 및 방열 팬에 의해 냉각되고, 이때 보텍스 튜브에서 분사되는 냉기에 의해 방열 핀과 방열 팬이 더욱 신속하게 냉각되면서 LED 램프의 냉각 효율을 향상시켜 LED 램프의 기대수명을 증가시킬 뿐만 아니라 LED 광원 노광장치의 성능을 향상시키게 된다.The present invention relates to an LED light source exposure apparatus having a cool air supply unit, comprising: a stage on which a substrate to be processed with a photosensitive material is placed; a base plate having a concave curved surface on one side and having an optical axis hole; An integrator lens disposed so as to allow the light generated from the light source unit to pass therethrough; and a light source unit configured to convert the light having passed through the integrator lens into a parallel light A parallel light mirror that reflects the light toward the target substrate placed on the stage, and a heat dissipation fin installed on the rear side of the LED lamp to cool the heat generated by the LED lamp operation of the light source unit, And a cool air supply unit for supplying the cool light to the LED light source. Accordingly, the heat generated by the operation of the LED lamp is cooled by the heat pipe, the heat dissipation fin, and the heat dissipation fan. At this time, the heat dissipation fin and the heat dissipation fan are cooled more rapidly by the cool air injected from the vortex tube, The efficiency is improved to increase the life expectancy of the LED lamp and to improve the performance of the LED light source exposure apparatus.

Description

냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치{Exposure apparatus using LED having cool air supply unit}[0001] The present invention relates to an LED light source exposure apparatus having a cool air supply unit,

본 발명은 LED 광원 노광장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 LED 램프의 작동에 따라 발생하는 열을 신속하게 냉각시킬 수 있도록 LED 램프로부터 열을 전달받아 방출하는 방열 핀과 방열 팬에 냉기를 불어 넣는 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an LED light source exposing apparatus, and more particularly, to an LED light source exposing apparatus that includes a heat dissipation fin that receives heat from an LED lamp to quickly cool the heat generated by operation of the LED lamp, And an LED light source exposure apparatus having a cool air supply unit.

일반적으로, 컴퓨터 및 각종 전자 제품에 적용되는 반도체 소자나, 화상 표시 소자인 액정 표시 소자(LCD:Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(PDP: Plasma Display Panel), 전자 부품이 실장되는 회로기판(PCB) 등의 제조 과정 중에서 미세 패턴을 정밀하게 형성하기 위해 포토 리소그래피(photo-lithography) 방법을 널리 이용한다.2. Description of the Related Art In general, a semiconductor device, a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), a circuit board (PCB) ), Etc., a photolithography method is widely used in order to precisely form fine patterns in the manufacturing process.

포토 리소그래피 방법은 피처리 기판 상에 감광 물질(photo-resist)을 균일하게 도포하여 감광 물질 막을 형성하는 단계와, 형성된 감광 물질 막을 선택적으로 노광용 광에 노출시켜 노출된 부분의 감광 물질의 성질을 변화시키는 단계와, 현상액 등을 이용하여 성질이 변화된 부분을 선택적으로 제거하여 목적하는 감광 물질 막 패턴을 형성하는 단계로 이루어지며, 이후 형성된 감광 물질 막 패턴을 이용하여 식각(etching) 공정 등을 통해 피처리 기판 상에 패턴을 형성시키게 된다.The photolithography method includes: forming a photosensitive material film by uniformly applying a photo-resist on a substrate to be processed; selectively exposing the formed photosensitive material film to exposure light to change the properties of the photosensitive material Forming a desired photosensitive material film pattern by selectively removing a portion having a changed property by using a developer or the like, and then forming a desired photosensitive material film pattern using a photosensitive material film pattern formed thereon, Thereby forming a pattern on the processed substrate.

포토 리소그래피 공정에 속하는 노광(exposure) 공정은 특정 패턴이 디자인된 레티클(reticle) 또는 마스크(mask)를 광원과 피처리 기판 사이에 위치시키고, 광원으로부터 피처리 기판을 향해 광을 조사시킴으로써 광이 레티클 또는 마스크 상의 패턴에 따라 피처리 기판을 선택적으로 노출시키는 방식으로 진행된다.An exposure process belonging to a photolithography process is a process in which a reticle or a mask designed with a specific pattern is positioned between a light source and a substrate to be processed and light is irradiated from the light source to the substrate to be processed, Or selectively exposing the substrate to be processed according to the pattern on the mask.

종래 노광 공정에 사용되는 일반적인 노광장치는 수은과 같은 방전 가스가 주입된 방전 램프에서 생성된 자외선 대역의 광을 이용하여 감광 물질을 노광하는 방식으로 구성된다.A conventional exposure apparatus used in a conventional exposure process is configured in such a manner that a photosensitive material is exposed using light in the ultraviolet band generated in a discharge lamp into which a discharge gas such as mercury is injected.

이러한 방전 램프는 일반적으로 수명이 1,000 시간 내외로 짧아 교체에 따른 소모성 비용이 증가할 뿐만 아니라 교체시마다 장시간의 휴지 기간이 필요하다는 문제가 있었다. 특히, 휴지 기간에는 방전 램프에 대한 냉각시간, 교체 작업 시간 및 교체된 새로운 방전 램프의 위치 조정 등과 같은 세팅 시간 등이 필요하므로, 방전 램프의 교체시마다 생산에 상당한 차질이 발생하게 된다.Such a discharge lamp generally has a short life span of about 1,000 hours, so that the consumable cost of the discharge lamp is increased and a long downtime is required for each replacement. Particularly, during the idle period, the cooling time for the discharge lamp, the time for the replacement work, and the setting time such as the position adjustment of the replaced new discharge lamp are required.

또한, 방전 램프는 온/오프하는 경우, 정상 상태로 작동하기까지의 시간이 상당히 오래 걸릴 뿐만 아니라 빈번한 온/오프 작동시 열적 스트레스로 인해 크랙이 발생될 수 있기 때문에, 일반적으로 항상 온 상태를 유지하며 사용되고 있다. 따라서, 불필요한 전력 낭비가 발생하게 되는 등의 문제가 있었다.In addition, when the discharge lamp is turned on / off, it takes a considerably long time to operate in a normal state, and cracks may be generated due to thermal stress during frequent on / off operations. . Therefore, there is a problem that an unnecessary power wastage occurs.

아울러, 이러한 방전 램프는 그 출사광이 모든 방향으로 방사되는 형태로 구성되므로, 이러한 출사광을 타원 미러를 통해 집광해야 하며, 광원의 효율이 떨어지는 등의 문제가 있었다.In addition, since such a discharge lamp is configured such that the emitted light is radiated in all directions, there is a problem that such outgoing light must be condensed through the elliptical mirror and the efficiency of the light source is reduced.

이러한 방전 램프에 의한 노광 공정을 개선하기 위한 선행기술로 대한민국 특허등록 제10-1104367호의 "LED 광원 노광장치"가 있다. 선행기술의 LED 광원 노광장치는 피처리 기판이 안치되는 스테이지와, 베이스 플레이트에 장착되어 감광 물질을 노광하기 위한 광을 발생시키는 다수개의 LED 램프를 포함하는 광원부와, 광원부에서 조사되는 빛을 집광시키는 인터그레이터 렌즈와, 인터그레이터 렌즈를 통과한 빛을 평행광으로 변환시켜 스테이지에 안치된 피처리 기판을 향해 반사하는 평행광 미러로 구성된다.As a prior art for improving the exposure process using such a discharge lamp, there is an "LED light source exposure apparatus " in Korean Patent Registration No. 10-1104367. The prior art LED light source exposure apparatus includes a stage on which a substrate to be processed is placed, a light source unit including a plurality of LED lamps mounted on the base plate to generate light for exposing a photosensitive material, An integrator lens, and a parallel optical mirror that converts light that has passed through the integrator lens into parallel light and reflects the parallel light toward the substrate to be processed placed on the stage.

이러한 선행기술은 LED 램프를 광원으로 이용하여 광원에 대한 교체 주기를 길게 유지할 수 있고 필요에 따라 온/오프할 수 있도록 함으로써, 불필요한 전력 낭비를 방지하고 에너지 효율을 향상시킬 수 있다.This prior art can maintain the replacement cycle for the light source for a long time by using the LED lamp as a light source, and can turn on / off as needed, thereby preventing unnecessary power wastage and improving energy efficiency.

또한, 다수개의 LED 램프를 오목한 곡면상에 배치하여 각 LED 램프로부터 발생된 광이 직접 인터그레이터 렌즈로 집중 입사되도록 함으로써, 기존 노광기에서 인터그레이터 렌즈 이후의 광학계를 활용할 수 있으며, 다수개의 LED 램프로부터 발생된 광을 반사판과 집광 렌즈를 통해 인터그레이터 렌즈로 집광시킴으로써, LED 램프로부터 발생된 광 중 노광 공정에 사용되지 못하는 불용광을 최소화하여 광 효율을 최대 한도로 높임과 동시에 노광 성능을 더욱 향상시킬 수 있다.In addition, since a plurality of LED lamps are arranged on a concave curved surface and the light generated from each LED lamp is intensively incident on the integrator lens directly, an optical system after the integrator lens can be utilized in a conventional exposure apparatus. By concentrating the generated light with the integrator lens through the reflector and condenser lens, unnecessary light which is not used in the exposure process among the light generated from the LED lamp is minimized, thereby maximizing the light efficiency and improving the exposure performance .

한편, 선행기술에서는 LED 램프의 작동에 따라 발생하는 열을 냉각시켜 LED 램프의 성능을 향상시키고 LED 램프의 수명을 더욱 연장할 수 있도록 LED 램프의 후방에 방열 핀과 방열 팬이 설치되어 LED 램프의 작동에 따라 발생하는 열을 신속하게 냉각시키게 된다.In the prior art, a heat-dissipating fin and a heat-dissipating fan are installed at the rear of the LED lamp to improve the performance of the LED lamp by cooling the heat generated by the operation of the LED lamp and further prolong the lifetime of the LED lamp. The heat generated by the operation is quickly cooled.

그러나, 이러한 방열 핀과 냉각 팬에 의한 LED 램프의 냉각은 차폐된 공간 내에서 이루어지기 때문에 LED 램프의 작동시간이 길어질수록 냉각 효율이 감소하는 문제가 있다.However, since the cooling of the LED lamp by the heat dissipation fin and the cooling fan is performed in the shielded space, there is a problem that the cooling efficiency decreases as the operation time of the LED lamp becomes longer.

부연하자면, 선행기술에 따른 LED 광원 노광장치는 스테이지, 광원부, 인터그레이터 렌즈, 평행광 미러가 박스 형태의 케이스 내부에 설치되기 때문에 방열 핀과 방열 팬에 의해 LED 램프가 냉각되었다 하더라도 LED 램프와 열 교환된 열기가 케이스의 내부에 체류하면서 방열 핀과 재접촉하기 때문에 LED 램프를 신속하게 냉각시키기 어려운 냉각 효율이 감소하는 문제가 있다.
In addition, since the stage, the light source, the integrator lens, and the parallel optical mirror are installed inside the case of the box type, the LED lamp and the heat-dissipating fan cool the LED lamp, There is a problem that the cooling efficiency, which is difficult to rapidly cool the LED lamp, is reduced because the exchanged heat stays inside the case and comes into contact with the heat-dissipating fin again.

KR, B, 10-1104367(2012.01.03)KR, B, 10-1104367 (Jan. 3, 2012)

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, LED 램프의 후방에 마련된 방열 핀과 방열 팬에 냉기를 불어 넣어 신속하고 효과적으로 LED 램프를 방열시켜 LED 램프의 기대수명 및 성능을 향상시킬 수 있는 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a cooling device capable of improving the life expectancy and performance of an LED lamp by quickly and effectively radiating heat to the heat- It is an object of the present invention to provide an LED light source exposure apparatus having a supply unit.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기술적 사상으로는, 감광 물질이 도포된 피처리 기판이 안치되는 스테이지와, 일측면이 오목한 곡면을 이루도록 형성되며 광축 홀이 형성된 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트에 장착되어 상기 감광 물질을 노광하기 위한 광을 발생시키는 LED 램프를 포함하는 광원부와, 상기 광원부로부터 발생된 광이 통과하도록 배치된 인터그레이터 렌즈와, 상기 인터그레이터 렌즈를 통과한 광을 평행광으로 변환시켜 상기 스테이지에 안착된 피처리 기판을 향해 반사하는 평행광 미러 및 상기 광원부의 LED 램프 작동에 따라 발생하는 열을 냉각시키기 위해 LED 램프의 후방에 설치된 방열 핀과 방열 팬을 향해 냉기를 불어 넣는 냉기 공급유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 광원 노광장치에 의해 달성된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a lithographic apparatus including a stage having a substrate to which a photosensitive material is applied, a base plate having a concave curved surface, An integrator lens disposed so as to allow light generated from the light source unit to pass therethrough; and a light source unit configured to convert the light having passed through the integrator lens into parallel light A parallel light mirror that reflects the light toward the target substrate placed on the stage and reflects the light toward the target substrate placed on the stage and a heat dissipation fin installed on the rear side of the LED lamp to cool the heat generated by the LED lamp operation of the light source unit, And a cool air supply unit.

여기서, 상기 광원부는 상기 베이스 플레이트의 타측면에 장착되며 후방에 LED 램프가 실장되는 LED 기판이 설치되는 경통과, 상기 경통의 내부에 장착되고 LED 램프의 광을 상기 인터그레이터 렌즈로 집광시키는 집광렌즈와, 상기 LED 기판과 접촉한 상태로 경통의 후방으로 연장되어 LED 램프의 작동에 따라 발생하는 열을 전달받는 히트 파이프와 상기 히트 파이프와 연결되어 히트 파이프에서 전달받은 열을 방출하는 방열 핀 및 방열 팬을 포함하는 것이 바람직하다.Here, the light source unit includes a lens barrel mounted on the other side of the base plate and having an LED substrate mounted on the rear side thereof, and a condenser lens mounted in the lens barrel for condensing the light of the LED lamp into the integrator lens. A heat pipe extending rearward of the barrel in a state of being in contact with the LED substrate and receiving heat generated according to the operation of the LED lamp and a heat dissipation fin connected to the heat pipe to dissipate heat received from the heat pipe, It is preferable to include a fan.

또한, 상기 냉기 공급유닛은 상기 방열 핀과 방열 팬을 향해 냉기를 분사하는 냉기 배출구가 형성되고, 상기 냉기 배출구의 반대편으로 열기를 배기하는 열기 배출구가 형성되며 상기 냉기 배출구와 열기 배출구 사이에 와류 회전실이 형성된 보텍스 튜브와, 상기 보텍스 튜브의 와류 회전실에 압축공기를 공급하는 압축공기 공급원을 포함하는 것이 바람직하다.The cold air supply unit may include a cold air discharge port for spraying cold air toward the heat radiating fin and the heat radiating fan, an air outlet port for discharging air to the opposite side of the cold air discharge port, A vortex tube having a thread formed therein, and a compressed air supply source for supplying compressed air to the swirl chamber of the vortex tube.

또한, 상기 보텍스 튜브의 열기 배출구는 상기 스테이지, 광원부, 인터그레이터 렌즈, 평행광 미러가 내설된 케이스의 외부로 인출되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the heat outlet of the vortex tube is drawn to the outside of the case in which the stage, the light source, the integrator lens, and the parallel optical mirror are installed.

그리고, 상기 보텍스 튜브의 냉기 배출구는 상기 방열 핀과 냉각 팬을 향해 냉기를 확산시켜 분사하는 디퓨져가 구비되는 것이 바람직하다.Preferably, the cold air outlet of the vortex tube is provided with a diffuser for diffusing cold air toward the heat dissipation fin and the cooling fan.

또한, 상기 광원부는 상기 LED 램프의 온도를 측정하는 온도감지센서 및 상기 온도감지센서에서 측정된 온도에 따라 상기 냉기 공급유닛의 작동을 제어하는 냉각 제어부를 포함하는 것이 바람직하다.The light source unit may include a temperature sensor for measuring the temperature of the LED lamp and a cooling controller for controlling the operation of the cold supply unit according to the temperature measured by the temperature sensor.

또한, 상기 보텍스 튜브의 냉기 배출구는 상기 다수의 방열 핀과 방열 팬을 향해 냉기를 분사하는 분기관이 구비되는 것이 바람직하다.Preferably, the cold air discharge port of the vortex tube is provided with a plurality of heat dissipation fins and a distributor for spraying cool air toward the heat dissipation fan.

본 발명에 따른 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치에 의하면, LED 램프의 작동에 따라 발생하는 열이 히트 파이프와 방열 핀 및 방열 팬에 의해 냉각되고, 이때 보텍스 튜브에서 분사되는 냉기에 의해 방열 핀과 방열 팬이 더욱 신속하게 냉각되면서 LED 램프의 냉각 효율을 향상시켜 LED 램프의 기대수명을 증가시킬 뿐만 아니라 LED 광원 노광장치의 성능을 향상시키게 된다.
According to the LED light source exposure apparatus having the cool air supply unit according to the present invention, the heat generated by the operation of the LED lamp is cooled by the heat pipe, the heat dissipation fin, and the heat dissipation fan, The fin and the heat dissipating fan are cooled more rapidly to improve the cooling efficiency of the LED lamp, thereby increasing the life expectancy of the LED lamp and improving the performance of the LED light source exposure apparatus.

도 1은 본 발명에 따른 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치의 구성을 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 2는 본 발명에 따른 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치 중 광원부와 보텍스 튜브를 발췌하여 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 보텍스 튜브에 의한 광원부 냉각을 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 보텍스 튜브에 의한 광원부 냉각을 나타낸 측단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치 중 보텍스 튜브의 설치를 나타낸 평단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치의 다른 실시예를 나타낸 개략도이다.
도 7은 본 발명에 따른 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치의 또 다른 실시예를 나타낸 평단면도이다.1 is a conceptual view schematically showing a configuration of an LED light source exposure apparatus having a cool air supply unit according to the present invention.
FIG. 2 is a perspective view illustrating a light source unit and a vortex tube of an LED light source exposure apparatus having a cool air supply unit according to the present invention.
3 is a perspective view illustrating cooling of a light source unit by a vortex tube according to the present invention.
4 is a side cross-sectional view illustrating cooling of a light source portion by a vortex tube according to the present invention.
FIG. 5 is a plan sectional view showing the installation of a vortex tube among the LED light source exposing apparatus having a cold supply unit according to the present invention.
6 is a schematic view showing another embodiment of an LED light source exposure apparatus having a cool air supply unit according to the present invention.
7 is a plan sectional view showing another embodiment of an LED light source exposure apparatus having a cool air supply unit according to the present invention.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
The terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary meanings and the inventor may properly define the concept of the term to describe its invention in the best possible way And should be construed in accordance with the principles and meanings and concepts consistent with the technical idea of the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치의 구성을 개략적으로 나타낸 개념도이다.1 is a conceptual view schematically showing a configuration of an LED light source exposure apparatus having a cool air supply unit according to the present invention.

도면을 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치는 감광 물질(P1)이 도포된 피처리 기판(P)이 안치되는 스테이지(100)와, 일측면이 오목한 곡면을 이루도록 형성되며 광축 홀(211)이 형성된 베이스 플레이트(210)와, 베이스 플레이트(210)에 장착되어 감광 물질(P1)을 노광하기 위한 광을 발생시키는 LED 램프(220)를 포함하는 광원부(200)와, 광원부(200)로부터 발생된 광이 통과하도록 배치된 인터그레이터 렌즈(300)와, 인터그레이터 렌즈(300)를 통과한 광을 평행광으로 변환시켜 스테이지(100)에 안착된 피처리 기판(P)을 향해 반사하는 평행광 미러(400) 및 광원부(200)의 LED 램프(220) 작동에 따라 발생하는 열을 냉각시키기 위해 LED 램프(220)의 후방에 설치된 방열 핀(260)과 방열 팬(270)을 향해 냉기를 불어 넣는 냉기 공급유닛(500)으로 구성된다.The LED light source exposure apparatus having a cool air supply unit according to the present invention includes a stage 100 on which a substrate P on which a photosensitive material P1 is coated is placed, A base plate 210 having an optical axis hole 211 formed therein and an LED lamp 220 mounted on the base plate 210 to generate light for exposing the photosensitive material P1, An integrator lens 300 disposed so as to allow light generated from the light source unit 200 to pass therethrough and an integrator lens 300 that converts the light that has passed through the integrator lens 300 into parallel light, A parallel light mirror 400 that reflects light toward the LED lamp 220 and a heat dissipation fin 260 installed at the rear of the LED lamp 220 to cool the heat generated by the operation of the LED lamp 220 of the light source 200, And a cool air supply unit 500 for blowing cool air toward the fan 270 .

부연하자면, 스테이지(100)는 노광 공정을 위한 피처리 기판(P)이 안치되도록 평판형으로 형성되며, 스테이지(100)에 안치되는 피처리 기판(P)은 상면에 감광 물질(P1)이 도포된 형태로 구성된다.The stage 100 is formed in a flat plate shape so that the target substrate P for the exposure process is placed thereon and the target substrate P placed on the stage 100 is coated with the photosensitive material P1 on the top surface .

또한, 베이스 플레이트(210)는 일측면이 오목한 곡면을 이루도록 형성되며 광축 홀(211)이 형성된다. 이러한 베이스 플레이트(210)의 타측면에는 광축 홀(211)을 통해 LED 램프(220)에서 조사되는 빛이 인터그레이터 렌즈(300)로 입사되도록 광원부(200)가 장착된다.In addition, the base plate 210 is formed to have a concave curved surface at one side thereof, and an optical axis hole 211 is formed. The light source unit 200 is mounted on the other side of the base plate 210 so that the light emitted from the LED lamp 220 is incident on the integrator lens 300 through the optical axis hole 211.

이렇게, 베이스 플레이트(210)의 일측면이 오목한 곡면을 형성하게 되면 베이스 플레이트(210)의 타측면에 광원부(200)가 장착되었을 때 각각의 광원부(200) 광축이 일정 지점을 향하기 때문에 LED 램프(220)로부터 각각 발생된 빛에 대한 집중도를 더욱 향상시키게 된다.When one side of the base plate 210 forms a concave curved surface, when the light source unit 200 is mounted on the other side of the base plate 210, the optical axis of each light source unit 200 faces a certain point, 220, respectively.

한편, 베이스 플레이트(210)의 타측면에 장착되는 광원부(200)는 피처리 기판(P)의 감광 물질(P1)을 노광하기 위한 노광용 광을 발생시키는 다수개의 LED 램프(220)와 경통(230)과 집광렌즈(240)가 구성되며, LED 램프의 작동에 따라 발생하는 열을 냉각시키기 위해 경통의 후방으로 방열 핀과 방열 팬 및 냉기 공급유닛이 설치된다. 이를 도 2 내지 도 4에 의거하여 설명한다.The light source unit 200 mounted on the other side of the base plate 210 includes a plurality of LED lamps 220 for generating exposure light for exposing the photosensitive material P1 of the substrate P, And a condenser lens 240. In order to cool the heat generated by the operation of the LED lamp, a heat dissipation fin, a heat dissipation fan, and a cool air supply unit are installed behind the lens barrel. This will be described with reference to Figs. 2 to 4. Fig.

도 2는 본 발명에 따른 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치 중 광원부와 보텍스 튜브를 발췌하여 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 보텍스 튜브에 의한 광원부 냉각을 나타낸 사시도이며, 도 4는 발명에 따른 보텍스 튜브에 의한 광원부 냉각을 나타낸 측단면도이다.FIG. 2 is a perspective view illustrating a light source unit and a vortex tube of an LED light source exposure apparatus having a cool air supply unit according to the present invention, FIG. 3 is a perspective view illustrating cooling of a light source unit by a vortex tube according to the present invention, Sectional side view showing cooling of a light source portion by a vortex tube according to the present invention.

도면을 참조하여 설명하면, LED 램프(220)는 일반적으로 LED 기판(P)에 LED 칩이 실장되는 형태로 형성되며, 하나의 LED 기판(P)에 다수개의 LED 칩(222)이 실장되는 형태로 구성될 수도 있으나 본 발명에서는 LED 램프(220)가 개별적인 작동이 될 수 있도록 하나의 LED 기판(P)에 하나의 LED 칩이 실장되는 형태로 구성된다. 또한, LED 램프(220)는 자외선 영역의 광을 발생할 수 있는 UV LED 램프가 사용될 수 있다.The LED lamp 220 is generally formed in a manner that an LED chip is mounted on an LED substrate P and a shape in which a plurality of LED chips 222 are mounted on a single LED substrate P. Referring to FIG. However, in the present invention, one LED chip is mounted on one LED substrate P so that the LED lamp 220 can be operated individually. Also, the LED lamp 220 may be a UV LED lamp capable of generating light in the ultraviolet ray region.

이러한 LED 램프(220)는 집광 렌즈(240)가 장착된 경통(230)의 타측에 마련되고, 경통(230)의 일측은 베이스 플레이트(210)에 형성된 광축 홀(211)과 동일한 축선을 갖도록 베이스 플레이트(210)의 타측면에 장착된다. 이때, LED 램프(220)의 전방에는 LED 램프(220)로부터 조사되는 빛이 인터그레이터 렌즈(300)로 집광될 수 있도록 집광 렌즈(240)가 마련되며 집광 렌즈(240)는 경통(230)에 장착된다.The LED lamp 220 is provided on the other side of the lens barrel 230 on which the focusing lens 240 is mounted and one side of the lens barrel 230 is fixed to the base plate 210 with the same axis as the optical axis hole 211 formed in the base plate 210. [ And is mounted on the other side of the plate 210. A condenser lens 240 is provided in front of the LED lamp 220 so that the light emitted from the LED lamp 220 can be converged by the integrator lens 300. The condenser lens 240 is disposed in the lens barrel 230, Respectively.

즉, LED 램프(220)는 종래 기술의 방전 램프와 달리 그 특성상 발생된 광이 상대적으로 일정 방향을 향하는 직진성을 가지므로, 다수개의 LED 램프(220)로부터 각각 발생된 광이 인터그레이터 렌즈(300)로 입사되도록 베이스 플레이트(210)에 형성된 광축 홀(211)마다 집광 렌즈(240)가 장착된 경통(230)이 마련된다.That is, unlike the discharge lamp of the related art, the LED lamp 220 has a directivity in which light generated in the nature of the LED lamp 220 is directed in a relatively constant direction. Therefore, the light generated from the plurality of LED lamps 220 is transmitted to the integrator lens 300 The lens barrel 230 having the condenser lens 240 mounted thereon is provided for each of the optical axis holes 211 formed in the base plate 210. [

이렇게, 베이스 플레이트(210)와 LED 램프(220) 사이에 경통(230)이 형성되면, LED 램프(220)로부터 발생하는 빛과 상관없는 경통(230)의 외부에서 발생하는 빛은 경통에 의해 차단되며 LED 램프(220)에서 조사되는 빛은 경통(230)에 장착된 집광 렌즈(240)를 통해 효율적으로 인터그레이터 렌즈(300)로 집중된다.When the barrel 230 is formed between the base plate 210 and the LED lamp 220, light emitted from the outside of the barrel 230, which is not related to the light generated from the LED lamp 220, And the light emitted from the LED lamp 220 is efficiently focused on the integrator lens 300 through the condenser lens 240 mounted on the lens barrel 230.

이러한 경통(230)은 중공된 관의 형상을 갖고 그 내주면에 LED 램프(220)에서 발생한 빛을 집광 렌즈(240)로 반사하는 반사판(미도시)이 배치될 수 있다. 이와 같은 경통(230)은 원통의 형상 뿐만 아니라 중공된 사각 또는 삼각 기둥과 같은 다각 기둥 형태로 이루어질 수 있다.The barrel 230 may have a hollow tube shape and a reflection plate (not shown) may be disposed on the inner circumferential surface of the barrel 230 to reflect the light generated by the LED lamp 220 to the condenser lens 240. Such a barrel 230 may be formed in a polygonal column shape such as a hollow square or triangular column as well as a cylindrical shape.

한편, 광원부(200)의 LED 램프(220)에서 조사되는 빛은 앞서 설명한 바와 같이 인터그레이터 렌즈(300)로 입사되는데, 인터그레이터 렌즈(300)는 렌즈가 다수개의 행과 열로 배치되는 플라이아이렌즈(Fly eye lens)로 구성될 수 있으며, 이러한 렌즈는 광 분포를 더욱 양호하게 하는 역할을 수행한다. The light emitted from the LED lamp 220 of the light source unit 200 is incident on the integrator lens 300 as described above. The integrator lens 300 includes a fly's eye lens And a fly-eye lens, which functions to improve the light distribution.

또한, 평행광 미러(400)는 인터그레이터 렌즈(300)를 통과한 광을 평행광으로 변환시켜 스테이지(100)를 향해 반사하도록 구성되는데, 도 1에 도시된 바와 같이 하나의 구면 미러로 구성될 수도 있으며, 이와 달리 다수개의 구면 미러 및 평면 미러 등으로 구성될 수도 있는 등 그 구성은 사용자의 필요에 따라 다양하게 변경 가능하다.The parallel optical mirror 400 is configured to convert the light that has passed through the intergator lens 300 into parallel light and reflect the light toward the stage 100. As shown in FIG. 1, the parallel optical mirror 400 includes a single spherical mirror Or alternatively, it may be constituted by a plurality of spherical mirrors and a plane mirror or the like, and the configuration thereof may be variously changed according to the needs of the user.

한편, 경통(230)의 타측면에 설치된 LED 램프(220)의 작동에 따라 발생하는 열을 신속하게 냉각시킬 수 있도록 LED 램프(220)의 작동에 따라 발생하는 열을 전달받는 히트 파이프(250)가 경통(230)의 후방으로 연장된다. The heat pipe 250 receives heat generated by the operation of the LED lamp 220 to cool the heat generated by the operation of the LED lamp 220 installed on the other side of the lens barrel 230, Extends rearwardly of the lens barrel (230).

또한, 히트 파이프(250)에는 방열 핀(260)이 형성되어 LED 램프(220)에서 히트 파이프(250)로 전달되는 열을 공기 중으로 방출하게 되며, 방열 핀(260)의 일측에는 방열 핀(260)과 공기의 접촉이 원활히 될 수 있도록 방열 팬(270)이 설치된다.A heat dissipation fin 260 is formed in the heat pipe 250 to dissipate the heat transferred from the LED lamp 220 to the heat pipe 250 into the air and the heat dissipation fin 260 And a heat-dissipating fan 270 is installed so that air can be smoothly contacted with the air.

이에 따라서, LED 램프(220)의 작동에 따라 발생하는 열은 LED 기판(P)을 통해 히트 파이프(250)로 전달되어 방열 핀(260)으로 이동하여 대기 중으로 방출하게 되며, 이렇게 방열 핀(260)을 통해 열이 방출될 때 열 교환된 공기를 방열 핀(260)으로부터 멀어지게 송풍하는 한편 차가운 공기가 방열 핀(260)으로 송풍되도록 방열 팬(270)이 작동하게 된다.The heat generated by the operation of the LED lamp 220 is transmitted to the heat pipe 250 through the LED substrate P and is transferred to the heat dissipation fin 260 and is discharged to the atmosphere. Exchanged air is blown away from the heat radiating fin 260 while the heat radiating fan 270 is operated so that the cold air is blown to the heat radiating fin 260. [

특히, 본 발명에 따른 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치는 방열 핀(260)과 방열 팬(270)에 의해 LED 램프(220)를 냉각시킬 때 스테이지(100), 광원부(200), 인터그레이터 렌즈(300), 평행광 미러(400)가 내설된 케이스(10)에 체류하는 공기보다 낮은 온도를 갖는 냉기를 방열 핀(260)과 방열 팬(270)에 불어 넣어 LED 램프(220)를 신속하게 냉각시키는 냉기 공급유닛(500)이 마련된다.Particularly, in the LED light source exposure apparatus having the cold supply unit according to the present invention, when the LED lamp 220 is cooled by the heat dissipation fin 260 and the heat dissipation fan 270, the stage 100, the light source 200, A cool air having a lower temperature than the air staying in the case 10 in which the parallel lens mirror 400 and the parallel lens mirror 400 are installed is blown into the heat dissipation fin 260 and the heat dissipation fan 270 to cool the LED lamp 220 A cool air supply unit 500 for quickly cooling is provided.

이러한 냉기 공급유닛(500)은 방열 핀(260)과 방열 팬(270)을 향해 냉기를 분사하는 보텍스 튜브(510)와 보텍스 튜브(510)에 압축공기를 제공하는 압축공기 공급원(520)으로 구성된다.The cool air supply unit 500 includes a vortex tube 510 for spraying cool air toward the heat dissipation fin 260 and the heat dissipation fan 270 and a compressed air supply source 520 for supplying compressed air to the vortex tube 510 do.

부연하자면, 보텍스 튜브(510)는 방열 핀(260)과 방열 팬(270)을 향해 냉기를 분사하는 냉기 배출구(511)가 형성되고, 냉기 배출구(511)의 반대편으로 열기를 배기하는 열기 배출구(512)가 형성되며 냉기 배출구(511)와 열기 배출구(512) 사이에 와류 회전실(513)이 형성된 구조로 이루어진다.The vortex tube 510 is formed with a cold air discharge port 511 for spraying cold air toward the heat dissipation fin 260 and the heat dissipation fan 270 and has a hot air discharge port And a vortex rotating chamber 513 is formed between the cold air outlet 511 and the hot air outlet 512.

또한, 압축공기 공급원(520)은 광원부(200)가 내설치된 케이스(10) 외부의 공기를 일정 압력으로 압축하여 보텍스 튜브(510)로 공급하는 것으로 이러한 압축공기 공급원(520)은 공기를 압축하는 압축기 본체와 압축 공기를 저장해 두는 탱크로 구성된 공기 압축기(air compressors)로 이루어져 LED 램프(220)의 냉각이 필요한 경우 압축 공기를 보텍스 튜브(510)에 공급하게 된다.The compressed air supply source 520 compresses the air outside the case 10 in which the light source unit 200 is installed to a certain pressure and supplies the compressed air to the vortex tube 510. The compressed air supply source 520 compresses the air And an air compressor composed of a compressor main body and a tank for storing compressed air. When the LED lamp 220 needs to be cooled, compressed air is supplied to the vortex tube 510.

이에 따라서, 보텍스 튜브(510)로 압축 공기가 공급되면, 압축 공기는 일차적으로 와류 회전실(513)로 흘러들어 초고속 회전을 하게 된다. 이렇게 초고속 회전하는 압축 공기는 보텍스 튜브(510)의 열기 배출구(512) 쪽으로 향하다가 일부는 열기 배출구(512)를 통해 배출되고 나머지는 와류 회전실(513)을 거쳐 열 교환이 이루어져 열기 배출구(512)를 통해 배출되는 공기보다 낮은 온도를 갖는 냉기를 냉기 배출구(511)를 통해 방열 핀(260)과 방열 팬(270)을 향해 분사하여 방열 핀(260)과 방열 팬(270)을 냉각시키게 된다.Accordingly, when the compressed air is supplied to the vortex tube 510, the compressed air flows primarily into the vortex rotation chamber 513 and rotates at a very high speed. The compressed air that is rotating at a very high speed is directed toward the hot air outlet 512 of the vortex tube 510 and a part of the compressed air is discharged through the hot air outlet 512 and the other is heat exchanged through the swirl rotating chamber 513, The cooling air having a lower temperature than the air discharged through the cooling air outlet 511 is blown toward the heat dissipation fin 260 and the heat dissipation fan 270 through the cooling air outlet 511 to cool the heat dissipation fin 260 and the heat dissipation fan 270 .

이때, 냉기가 배출되는 냉기 배출구(511)에는 방열 핀(260)과 방열 팬(270)을 향해 균일하게 냉기를 확산시켜 분사하는 디퓨져(미도시)가 마련될 수 있으며, 이렇게 디퓨져를 통해 분사된 냉기는 그 일부가 방열 팬(270)을 통해 방열 핀(260)으로 신속하게 이동하여 방열 핀(260)과 접촉하면서 열 교환이 이루어지고, 나머지는 방열 핀(260)의 외측 둘레로 이동하면서 에어 커튼을 형성하여 케이스(10) 내부에 체류하는 열기가 방열 핀(260)과 접촉하는 것을 차단하여 LED 램프(220)의 작동에 따라 발생하는 열을 신속하게 냉각시켜 LED 램프(220)의 기대수명을 증가시킬 뿐만 아니라 LED 광원 노광장치의 성능을 향상시키게 된다.At this time, a diffuser (not shown) may be provided at the cold air discharge port 511 through which the cold air is discharged, and a diffuser (not shown) for uniformly spreading cold air to the heat dissipation fin 260 and the heat dissipation fan 270 is provided. A part of the cool air quickly moves to the heat dissipation fin 260 through the heat dissipation fan 270 to perform heat exchange while being in contact with the heat dissipation fin 260 and the remainder moves around the heat dissipation fin 260, A curtain is formed to prevent the heat retained in the case 10 from contacting with the heat radiating fins 260 to rapidly cool the heat generated by the operation of the LED lamp 220, And the performance of the LED light source exposure apparatus is improved.

한편, 상기와 같이 광원부(200)의 방열 핀(260)과 방열 팬(270)을 냉각시키는 보텍스 튜브(510)는 도 5에 도시된 바와 같이 보텍스 튜브(510)의 열기 배출구(512)가 케이스(10) 외부로 인출되도록 설치되어 보텍스 튜브(510)의 와류 회전실(513)에서 열교환된 열기는 케이스(10)의 외부로 배출되어 케이스(10) 내부의 온도를 승온시키는 것과 같은 악영향을 주지 않아 LED 램프(220)의 냉각을 더욱 신속하게 수행할 수 있게 된다.The vortex tube 510 for cooling the heat dissipation fin 260 and the heat dissipation fan 270 of the light source unit 200 as shown in FIG. The heat exchanged in the vortex rotation chamber 513 of the vortex tube 510 is discharged to the outside of the case 10 so that the temperature inside the case 10 is raised, The cooling of the LED lamp 220 can be performed more quickly.

상기와 같은 구성을 갖는 본 발명의 LED 광원 노광장치는 LED 램프(220)의 작동에 따라 발생하는 열이 히트 파이프(250)와 방열 핀(260) 및 방열 팬(270)에 의해 냉각되고, 이때 보텍스 튜브(510)에서 분사되는 냉기에 의해 방열 핀(260)과 방열 팬(270)이 더욱 신속하게 냉각되면서 LED 램프(220)의 냉각 효율을 향상시켜 LED 램프(220)의 기대수명을 증가시킬 뿐만 아니라 LED 광원 노광장치의 성능을 향상시키게 된다.In the LED light source exposure apparatus of the present invention having the above configuration, heat generated by the operation of the LED lamp 220 is cooled by the heat pipe 250, the heat dissipation fin 260 and the heat dissipation fan 270, The heat dissipation fin 260 and the heat dissipation fan 270 are cooled more rapidly by the cool air injected from the vortex tube 510 to improve the cooling efficiency of the LED lamp 220 to increase the life expectancy of the LED lamp 220 In addition, the performance of the LED light source exposure apparatus is improved.

한편, 본 발명은 앞서 설명한 실시예로 한정되는 것이 아니라 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있고, 그러한 수정 및 변형이 가해진 것도 본 발명의 기술적 사상에 속하는 것으로 보아야 한다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. .

예를 들어, 광원부(200)에 온도감지센서(290) 및 냉각 제어부(280)가 마련되어 LED 램프(220)의 온도에 따라 냉기 공급유닛(500)이 작동할 수도 있을 것이다. 이를 도 6에 의거하여 설명한다.For example, the temperature sensing sensor 290 and the cooling control unit 280 may be provided in the light source unit 200 to operate the cold supply unit 500 according to the temperature of the LED lamp 220. This will be described with reference to FIG.

도 6은 본 발명에 따른 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치의 다른 실시예를 나타낸 개략도이다. 도면을 참조하여 설명하면, 냉기 공급유닛(500)이 LED 램프(220)의 온도에 따라 작동될 수 있도록 광원부(200)에는 LED 램프(220)의 온도를 측정하는 온도감지센서(290)와 온도감지센서(290)에서 측정된 온도에 따라 냉기 공급유닛(500)의 작동을 제어하는 냉각 제어부(280)가 마련된다.6 is a schematic view showing another embodiment of an LED light source exposure apparatus having a cool air supply unit according to the present invention. The temperature sensor 290 for measuring the temperature of the LED lamp 220 and the temperature sensor 290 for measuring the temperature of the LED lamp 220 are provided in the light source unit 200 so that the cool air supply unit 500 can be operated according to the temperature of the LED lamp 220. [ A cooling control unit 280 for controlling the operation of the cold air supply unit 500 according to the temperature measured by the detection sensor 290 is provided.

온도감지센서(290)는 LED 램프(220)와 인접하게 설치되어 LED 램프(220)의 작동에 따른 온도 변화를 감지하여 냉각 제어부(280)로 전기적 신호로 보내게 된다. 이렇게 온도감지센서(290)에서 감지된 LED 램프(220)의 온도는 냉각 제어부(280)에서 처리되어 LED 램프(220)의 온도가 설정된 온도보다 높은 경우 냉기 공급유닛(500)의 압축공기 공급원(520)을 작동시켜 보텍스 튜브(510)를 통해 냉기를 방열 핀(260)과 방열 팬(270)에 분사하여 냉각시키게 된다.The temperature sensor 290 is installed adjacent to the LED lamp 220 to detect a temperature change due to the operation of the LED lamp 220 and to transmit the electrical signal to the cooling controller 280. The temperature of the LED lamp 220 sensed by the temperature sensing sensor 290 is processed by the cooling control unit 280 so that when the temperature of the LED lamp 220 is higher than the set temperature, 520 are operated to blow cool air to the heat dissipation fin 260 and the heat dissipation fan 270 through the vortex tube 510 to be cooled.

이와는 반대로 LED 램프(220)의 온도가 설정된 온도보다 낮은 경우 냉각 제어부(280)가 압축공기 공급원(520)의 작동을 중지시켜 냉기 공급유닛(500)의 과도한 작동에 따른 전기 에너지 손실 및 냉기 공급유닛(500)의 기대수명을 증가시키게 된다.
On the contrary, when the temperature of the LED lamp 220 is lower than the set temperature, the cooling control unit 280 stops the operation of the compressed air supply source 520 to reduce the electrical energy loss due to the excessive operation of the cold supply unit 500, The life expectancy of the battery 500 is increased.

한편, 본 발명에 따른 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치는 하나의 보텍스 튜브(510)가 다수의 방열 핀(260)과 방열 팬(270)에 냉기를 공급하도록 형성될 수 있다. 이를 도 7에 의거하여 설명한다.Meanwhile, the LED light source exposure apparatus having the cool air supply unit according to the present invention may be configured such that one vortex tube 510 supplies cool air to the plurality of heat dissipation fins 260 and the heat dissipation fan 270. This will be described with reference to FIG.

도 7은 본 발명에 따른 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치의 또 다른 실시예를 나타낸 평단면도이다. 도면을 참조하여 설명하면, 압축공기 공급원(520)으로부터 압축공기를 제공받아 냉기를 분사하는 보텍스 튜브(510)는 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이 각각의 LED 램프(220)를 냉각시키도록 개별적으로 방열 핀(260)과 방열 팬(270)마다 설치될 수도 있지만, 경우에 따라서는 다수개의 방열 핀(260)과 방열 팬(270)이 한 개의 보텍스 튜브(510)에서 분사되는 냉기에 의해 냉각될 수도 있다.7 is a plan sectional view showing another embodiment of an LED light source exposure apparatus having a cool air supply unit according to the present invention. 2 and 5, the vortex tube 510, which receives compressed air from the compressed air supply source 520 and emits cool air, is cooled to cool the respective LED lamps 220 The heat dissipation fins 260 and the heat dissipation fins 270 may be installed separately for each heat dissipation fin 260 and the heat dissipation fan 270. However, It may be cooled.

이를 위해 보텍스 튜브(510)의 냉기 배출구(511)에는 다수의 방열 핀(260)과 방열 팬(270)으로 분기되고 보텍스 튜브(510)의 냉기를 분사하는 분기관(530)이 설치되어 한 개의 보텍스 튜브(510)에서 제공되는 냉기가 분기관(530)에 안내되어 다수의 방열 핀(260)과 방열 팬(270)에 분사하게 된다.A plurality of heat dissipation fins 260 are installed in the cold air discharge port 511 of the vortex tube 510 and a branch tube 530 branched from the heat dissipation fan 270 and injecting cold air of the vortex tube 510 is installed, The cool air provided in the vortex tube 510 is guided to the branch pipe 530 and is sprayed to the plurality of heat dissipation fins 260 and the heat dissipation fan 270.

이와 같이 보텍스 튜브(510)에 분기관(530)이 설치되어 한 개의 보텍스 튜브(510)가 다수의 방열 핀(260)과 방열 팬(270)에 냉기를 공급하게 되면 압축공기 공급원(520)의 부하를 감소시켜 전력 소비량을 감소시켜 에너지 효율을 극대화할 수 있다.
When a vortex tube 510 is installed in the vortex tube 510 so that one vortex tube 510 supplies cold air to the plurality of heat dissipation fins 260 and the heat dissipation fan 270, By reducing load, power consumption can be reduced to maximize energy efficiency.

10 : 케이스 100 : 스테이지
200 : 광원부 210 : 베이스 플레이트
211 : 광축 홀 220 : LED 램프
221 : LED 기판 230 : 경통
240 : 집광렌즈 250 : 히트 파이프
260 : 방열 핀 270 : 방열 팬
280 : 냉각 제어부 290 : 온도감지센서
300 : 인터그레이터 렌즈 400 : 평행광 미러
500 : 냉기 공급유닛 510 : 보넥스 튜브
511 : 냉기 배출구 512 : 열기 배출구
513 : 와류 회전실 520 : 압축공기 공급원10: Case 100: Stage
200: light source 210: base plate
211: Optical axis hole 220: LED lamp
221: LED substrate 230: lens barrel
240: condenser lens 250: heat pipe
260: heat dissipating fin 270: heat dissipating fan
280: cooling control unit 290: temperature sensor
300: Intergrating lens 400: Parallel optical mirror
500: cold air supply unit 510: Vonex tube
511: Cool air outlet 512: Open air outlet
513: vortex rotation chamber 520: compressed air source

Claims (7)

감광 물질이 도포된 피처리 기판이 안치되는 스테이지;
일측면이 오목한 곡면을 이루도록 형성되며 광축 홀이 형성된 베이스 플레이트;
상기 베이스 플레이트에 장착되어 상기 감광 물질을 노광하기 위한 광을 발생시키는 LED 램프와, 상기 베이스 플레이트의 타측면에 장착되며 후방에 LED 램프가 실장되는 LED 기판이 설치되는 경통과, 상기 LED 램프의 후방에 설치된 방열 핀과 방열 팬을 포함하는 광원부;
상기 광원부로부터 발생된 광이 통과하도록 배치된 인터그레이터 렌즈;
상기 인터그레이터 렌즈를 통과한 광을 평행광으로 변환시켜 상기 스테이지에 안착된 피처리 기판을 향해 반사하는 평행광 미러; 및
상기 광원부의 LED 램프 작동에 따라 발생하는 열을 냉각시키기 위해 LED 램프의 후방에 설치된 방열 핀과 방열 팬을 향해 냉기를 불어 넣는 냉기 공급유닛;을 포함하며,
상기 광원부는 상기 경통의 내부에 장착되고 LED 램프의 광을 상기 인터그레이터 렌즈로 집광시키는 집광렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치.
A stage on which a substrate to be processed with a photosensitive material is placed;
A base plate having one side surface formed to be concavely curved and having an optical axis hole;
An LED lamp mounted on the base plate for generating light for exposing the photosensitive material, a lens barrel mounted on the other side of the base plate and having an LED lamp mounted on a rear side thereof, And a heat dissipation fan;
An integrator lens arranged to allow light generated from the light source unit to pass therethrough;
A parallel optical mirror for converting the light having passed through the integrator lens into parallel light and reflecting the parallel light toward a target substrate placed on the stage; And
And a cool air supply unit for blowing cool air toward the heat dissipation fin and the heat dissipation fan installed at the rear of the LED lamp to cool the heat generated by the operation of the LED lamp of the light source unit,
Wherein the light source unit further comprises a condenser lens mounted in the barrel and configured to condense light of the LED lamp with the integrator lens.
청구항 1에 있어서,
상기 광원부는,
상기 LED 기판과 접촉한 상태로 경통의 후방으로 연장되어 LED 램프의 작동에 따라 발생하는 열을 전달받는 히트 파이프를 더 포함하며,
상기 방열 핀과 방열 팬은 상기 히트 파이프와 연결되어 히트 파이프에서 전달받은 열을 방출하는 것을 특징으로 하는 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치.
The method according to claim 1,
The light source unit includes:
Further comprising a heat pipe extending rearward of the barrel in contact with the LED substrate and receiving heat generated by operation of the LED lamp,
Wherein the heat dissipation fin and the heat dissipation fan are connected to the heat pipe and emit heat received from the heat pipe.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 냉기 공급유닛은
상기 방열 핀과 방열 팬을 향해 냉기를 분사하는 냉기 배출구가 형성되고, 상기 냉기 배출구의 반대편으로 열기를 배기하는 열기 배출구가 형성되며 상기 냉기 배출구와 열기 배출구 사이에 와류 회전실이 형성된 보텍스 튜브;
상기 보텍스 튜브의 와류 회전실에 압축공기를 공급하는 압축공기 공급원;을 포함하는 것을 특징으로 하는 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치.
The method according to claim 1 or 2,
The cold air supply unit
A vortex tube in which a cold air discharge port for spraying cold air toward the heat radiating fin and the heat radiating fan is formed and an air outlet for discharging heat is formed on the opposite side of the cold air outlet and a vortex rotating chamber is formed between the cold air outlet and the air outlet;
And a compressed air supply source for supplying compressed air to the vortex rotation chamber of the vortex tube.
청구항 3에 있어서,
상기 보텍스 튜브의 열기 배출구는
상기 스테이지, 광원부, 인터그레이터 렌즈, 평행광 미러가 내설된 케이스의 외부로 인출되는 것을 특징으로 하는 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치.
The method of claim 3,
The vent outlet of the vortex tube
And the cool air supply unit is drawn out to the outside of the case having the stage, the light source unit, the integrator lens, and the parallel optical mirror.
청구항 3에 있어서,
상기 보텍스 튜브의 냉기 배출구는
상기 방열 핀과 냉각 팬을 향해 냉기를 확산시켜 분사하는 디퓨져가 구비되는 것을 특징으로 하는 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치.
The method of claim 3,
The cold air outlet of the vortex tube
And a diffuser for diffusing the cool air toward the heat dissipation fin and the cooling fan to spray the cool air.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 광원부는
상기 LED 램프의 온도를 측정하는 온도감지센서; 및
상기 온도감지센서에서 측정된 온도에 따라 상기 냉기 공급유닛의 작동을 제어하는 냉각 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치.
The method according to claim 1 or 2,
The light source unit
A temperature sensor for measuring the temperature of the LED lamp; And
And a cooling controller for controlling the operation of the cool air supply unit according to the temperature measured by the temperature sensor.
청구항 3에 있어서,
상기 보텍스 튜브의 냉기 배출구는
상기 방열 핀과 방열 팬을 향해 냉기를 분사하는 분기관이 구비되는 것을 특징으로 하는 냉기공급 유닛을 구비한 LED 광원 노광장치.The method of claim 3,
The cold air outlet of the vortex tube
And a branch pipe for spraying cool air toward the heat dissipation fin and the heat dissipation fan.
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