KR101590623B1 - 오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치에 관한 것으로, 플라즈마 고도수처리 장치에 있어서: 상기 기체 배출관(13c)에 설치되어서 라디칼 발생원의 압력을 측정하고 측정된 압력이 설정된 기준압력 이상인 경우에는 밸브동작제어신호를 출력하는 압력계(15); 상기 압력계(15)의 후단에서 기체 배출관(13c)에 설치되고, 상기 압력계(15)로부터 밸브동작제어신호를 수신하면 개방 동작하는 순방향밸브(16)가 더 포함되어 구성되는 것을 특징으로 하고, 처리대상수가 이중관체의 제2 소통로(13A)로 역류하는 것을 예방할 수 있는 이점이 있다.

Description

오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치{ADVANCED WATER TREATMENT APPARATUS USING PLASMA}

본 발명은 플라즈마 고도수처리 장치에 관한 것으로, 특히 처리대상수 또는 처리대상수에 오존이 용해된 오존수가 플라즈마 이중관체 내부로 역류되는 것을 차단할 수 있도록 하고, 순간 정전과 같이 장치 전체에 전원 공급이 차단되는 경우에도 이중관체에 잔류하고 있는 오존이 기체공급원으로 역류되는 것을 차단할 수 있도록 하여서 장치의 화재 및 소손을 예방할 수 있도록 하기에 적당하도록 한 오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치에 관한 것이다.

도 1에는 본원발명의 출원인에 의해서 출원되어서 등록특허 제10-1157122호(공고일: 2012년 06월 22일)로 특허등록된 "플라즈마 고도수처리 장치"의 요부 구성도가 도시되어 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 특허등록 제10-1157122호에 의한 플라즈마 고도수처리 장치는 이중관체(10)와 플라즈마 발생수단(20)을 포함하여 구성된다.

상기 이중관체(10)는 처리대상수가 통과하는 제1 소통로(11A)와 라디칼 반응용 기체가 통과하는 제2 소통로(13A)가 형성되어 있으며 상기 제1 소통로(11A)와 제2 소통로(13A)를 형성하기 위한 내부관(11)과 외부관(13)이 구비되어 있다.

그리고, 상기 내부관(11)과 외부관(13)은 한 쌍의 캡(15)에 의해서 이격 고정되어 있고, 상기 캡(15)에는, 처리대상수가 유입되는 제1 유입구(11a)와, 상기 제1 유입구(11a)로 유입되어서 상기 제1 소통로(11A)를 통과한 처리대상수가 이중관체(10)를 빠져나가는 제1 토출구(11b)와, 라디칼 반응용 기체(바람직하게는 산소)를 제공하는 기체공급원(3)과 연결된 제2 유입구(13a)와, 상기 제2 유입구(13a)로 유입된 라디칼 반응용 기체가 플라즈마 방전에 의해서 생성된 라디칼 발생원(예컨대 오존)이 토출하는 제2 토출구(13b)가 형성되어 있다.

상기 플라즈마 발생수단(20)은 이중관체(10)의 제1 및 제2 소통로(11A, 13A)에 각각 배열된 전극(23, 25)과, 상기 전극(23, 25)과 연결된 전원부(21)로 구성된다.

미설명부호 (S)는 실리콘 수지와 같은 밀봉부재(S)이고, 미설명부호 (14)는 유전체비드이다.

도 2에는 도 1에 개시된 플라즈마 고도수처리 장치에 원수유입펌프(2)와 수조(1)가 구비된 경우의 구성도가 도시되어 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 하천, 강, 호소 등의 오염된 원수를 강제로 유입하여 수조(1)로 강제 공급하는 원수유입펌프(2)와, 원수유입펌프(2)에 의해서 강제로 유입된 원수(처리대상수)를 임시 저장하고 있고 임시 저장하고 있는 처리대상수를 이중관체(10)의 제1 유입관(11a)을 통해서 제1 소통로(11A)로 공급하고, 제2 토출구(13b)로부터 유출되는 라디칼 발생원(오존)을 기체 배출관(13c)을 통해서 공급받으며, 이중관체에서 배출된 라디칼 발생원이 처리대상수에 용해되도록 하는 수조(1)가 구비된다.

한편, 원수유입펌프(2)와 수조(1) 사이에는 1차로 원수를 필터링하기위한 여과기(미도시)가 더 구비되어 있는 경우도 있다.

그런데, 도 2에 도시된 종래 기술에 의한 플라즈마 고도수처리 장치의 경우에는 수조(1)에 있는 라디칼 발생원(오존)이 용해된 처리대상수(이하, "오존수"라고 칭함.)나 처리대상수가 기체 배출관(13c)을 타고 이중관체(10)의 제2 소통로(13A)로 역류되는 경우가 발생하였다.

원수유입펌프(2)의 압력이 이중관체(10)의 제2 소통로(13A)의 압력보다 큰 경우에는 그 압력차에 의해서 기체 배출관(13c)을 타고 처리대상수(또는 오존수)가 이중관체(10)의 제2 소통로(13A)로 역류하게 된다.

이와 같이 외부관(13)으로 처리대상수가 역류하면 제1 전극(23)과 제2 전극(25) 간의 고전압에 의해서 스파크가 발생하게 되고 이 스파크가 기체공급원(3)에서 공급되는 산소에 붙어서 큰 화재가 발생하거나 폭발이 발생한다.

또한, 역류된 처리대상수는 플라즈마 발생수단의 전원부(21) 내부로 유입되어서 트랜스포머와 같은 내부 회로의 소손이 발생한다.

그리고, 상기와 같이 원수유입펌프(2)와 제2 소통로(13A) 간의 압력차 외에도 수조(1)의 수위 압력에 의해서도 기체 배출관(13c)을 타고 처리대상수가 역류하는 경우도 발생하였다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로 본 발명에 의한 오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치의 목적은,

첫째, 처리대상수 또는 오존수가 이중관체 내부로 역류되어서 유입되는 것을 차단할 수 있도록 함으로써 플라즈마 고도수처리 장치의 화재 및 소손을 예방할 수 있도록 하고,

둘째, 순간 정전 등과 같이 플라즈마 고도수처리 장치 전체에 전원 공급이 차단되는 경우에도 이중관체에 잔류하고 있는 라디칼 발생원이 기체공급원으로 역류되는 것을 차단할 수 있도록 함으로써 화재와 폭발을 미연에 방지할 수 있도록 하에 적당하도록 한 오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치를 제공하는 데 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명인 오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치는, 처리대상수가 통과하는 제1 소통로와 라디칼 반응용 기체가 통과하는 제2 소통로가 형성되어 있으며, 상기 제1 소통로와 제2 소통로를 형성하기 위한 내부관과 외부관이 구비되어 있는 이중관체; 상기 이중관체의 제1, 2 소통로에 각각 배열된 전극과, 상기 전극과 연결된 전원부를 포함하는 플라즈마 발생수단; 상기 내부관과 외부관은 한 쌍의 캡에 의해서 이격 고정되어 있고, 상기 캡에는 처리대상수가 유입되는 제1 유입구와, 상기 제1 유입구로 유입되어서 상기 제1 소통로를 통과한 처리대상수가 이중관체를 빠져나가는 제1 토출구와, 라디칼 반응용 기체를 제공하는 기체공급원과 연결된 제2 유입구와, 상기 제2 유입구로 유입된 라디칼 반응용 기체가 플라즈마 방전에 의해서 생성된 라디칼 발생원이 토출되는 제2 토출구가 형성되어 있으며, 처리대상수를 이중관체의 제1 소통로로 공급하고 제2 토출구로부터 토출되는 라디칼 발생원을 기체 배출관을 통해서 공급받는 수조를 포함하여 구성되는 플라즈마 고도수처리 장치에 있어서:

상기 기체 배출관에 설치되어서 라디칼 발생원의 압력을 측정하고 측정된 압력이 설정된 기준압력 이상인 경우에는 밸브동작제어신호를 출력하는 압력계; 상기 압력계의 후단에서 기체 배출관에 설치되고 상기 압력계로부터 밸브동작제어신호를 수신하면 개방 동작하는 순방향밸브가 더 포함되어 구성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명인 오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치는, 상기 압력계에는, 기준압력값을 설정하기 위한 키 설정부와, 측정한 현재 압력값 및 설정된 기준압력값을 표시하는 디스플레이부가 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명인 오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치는, 상기 기체 배출관에서 분기된 배출 분기관; 상기 잔류 오존 배출관에 설치되고 공급되는 전원이 차단되는 경우에 개방되어서 상기 이중관체 내부에 잔존하고 있는 라디칼 발생원을 배출 분기관을 통해서 외부로 배출하는 잔류기체 배출밸브가 더 포함되어서 구성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명인 오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치는, 상기 순방향밸브의 후단에 설치되는 체크밸브가 더 포함되어서 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 구성을 가지는 본 발명인 오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치는 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, 처리대상수 또는 오존수가 이중관체 내부로 역류되어서 유입되는 것을 차단할 수 있는 효과가 있고, 그 결과 플라즈마 고도수처리 장치의 화재 및 소손을 예방할 수 있는 효과가 있다.

둘째, 순간 정전 등과 같이 플라즈마 고도수처리 장치 전체에 전원 공급이 차단되는 경우에도 이중관체에 잔류하고 있는 라디칼 발생원(오존)이 기체공급원으로 역류되는 것을 차단할 수 있는 효과가 있고, 그 결과 화재와 폭발을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 등록특허 제10-1157122호에 의한 플라즈마 고도수처리 장치의 이중관체의 구성도이다.
도 2는 도 1에 의한 플라즈마 고도수처리 장치에서 수조와 원수유입펌프가 구비된 경우의 개략 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치의 구성도이다.

다음은 본 발명인 오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 기초로 상세하게 설명한다.

본 발명의 일 실시예에 의한 오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치에 있어서, 이중관체(10)의 제1 유입구(11a)로 유입되는 기체는 라디칼 반응용 기체로서 예컨대 기체공급원(3)에서 공급되는 산소 또는 공기이며, 산소를 투입한 경우 이중관체에서 플라즈마 방전에 의해서 오존으로 되므로 라디칼 발생원은 오존이 되며, 이는 특허등록 제10-1157122호에 의한 플라즈마 고도수처리 장치에 상술되어 있는 바와 같다.

도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치는, 처리대상수가 통과하는 제1 소통로(11A)와 라디칼 반응용 기체(예컨대 산소)가 통과하는 제2 소통로(13A)가 형성되어 있으며 상기 제1 소통로(11A)와 제2 소통로(13A)를 형성하기 위한 내부관(11)과 외부관(13)이 구비되어 있는 이중관체(10)와, 이중관체(10)의 제1, 2 소통로(11A, 13A)에 각각 배열된 전극(23, 25)과, 전극(23, 25)과 연결된 전원부(21)를 포함하는 플라즈마 발생수단(20)과, 상기 이중관체(10)의 제1 소통로(11A)는 내부관(11)에 의하여 감싸인 내부통로이고 상기 제2 소통로(13A)는 내부관(11)과 외부관(13) 사이에 형성되며, 내부관(11)과 외부관(13)은 한 쌍의 캡(15)에 의해서 이격 고정되어 있고, 상기 캡(15)에는 처리대상수가 유입되는 제1 유입구(11a)와, 상기 제1 유입구(11a)로 유입되어서 상기 제1 소통로(11A)를 통과한 처리대상수가 이중관체(10)를 빠져나가는 제1 토출구(11b)와, 라디칼 반응용 기체를 제공하는 기체공급원(3)과 연결된 제2 유입구(13a)와, 상기 제2 유입구(13a)로 유입된 라디칼 반응용 기체가 플라즈마 방전에 의해서 생성된 라디칼 발생원이 토출하는 제2 토출구(13b)가 형성되어 있으며, 상기 이중관체(10)의 제1 유입구(11a)와 연결되어 있어서 원수유입펌프(2)에서 강제로 유입된 처리대상수를 이중관체(10)의 제1 소통로(11A)로 공급하고, 제2 토출구(13b)로부터 유출되는 라디칼 발생원을 기체 배출관(13c)을 통해서 공급받아서 이를 처리대상수에 용해시키는 수조(1)를 포함하여 구성되는 플라즈마 고도수처리 장치에 있어서, 압력계(15)와 순방향밸브(16)가 더 포함되어서 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 압력계(15)는 제2 토출구(13b)와 수조(1)를 연결하는 기체 배출관(13c)에 설치되어서 제2 소통로(13A) 및 기체 배출관(13c)의 라디칼 발생원의 압력을 측정하고 측정된 압력이 설정된 기준압력(예컨대 0.7 atm) 이상인 경우에는 밸브동작제어신호를 출력하여 이를 순방향밸브(16)로 출력하는 구성이다.

상기 순방향밸브(16)는 압력계(15)의 후단에서 기체 배출관(13c)에 설치되고, 평상시에는 클로즈 상태에 있지만 압력계(15)로부터 밸브동작제어신호를 수신하면 개방 동작한다.

상기 압력계(15)에 설정된 기준압력은 원수유입펌프(2)가 수조(1)에 작용하는 압력값과 같거나 이보다 큰 값으로 설정된 압력값이고, 따라서 본 발명의 일 실시예에서는 측정한 기체 배출관(13c)의 압력이 원수유입펌프(20) 이상인 경우에는 압력계(15)가 밸브동작제어신호를 출력하여 순방향밸브(16)를 동작시키고, 측정한 기체 배출관(13c)의 압력이 원수유입펌프(20)의 압력보다 작은 경우에는 압력계는 제어신호를 출력하지 않고 순방향밸브(16)는 클로즈 상태를 계속 유지하는 것을 특징으로 한다.

그리고 상기 기준압력이 원수유입펌프(2)에서 수조(1)에 작용하는 압력보다 큰 경우에는 제2 소통로(13A) 내의 오존의 압력이 수조(1)의 압력보다 크게 되므로 수조(1)에 있는 오존수(처리대상수)가 기체 배출관(13c)을 타고 제2 소통로(13A)로 역류하는 것을 원천적으로 차단할 수 있게 되는 것이다.

즉, 기체 배출관(13c)의 압력, 따라서 제2 소통로(13A) 내부의 압력이 원수유입펌프(2)의 압력 이상인 경우에는 압력계(15)가 밸브동작제어신호를 순방향밸브(16)로 출력하고 이때 순방향밸브(16)는 오픈 동작하여서 제2 소통로(13A) 내부의 오존을 수조(1)로 보내고, 기체 배출관(13c)의 압력이 원수유입펌프(2)의 압력보다 작은 경우에는 압력계(15)는 순방향밸브(16)로 밸브동작제어신호를 출력하지 않고 이때 순방향밸브(16)는 크로즈(close) 상태를 계속 유지하고, 오존은 수조(1)로 배출되지 못하는 것이다.

본 발명의 일 실시예에 의한 오존수 역류 방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치에 있어서, 상기 압력계(15)에는 상기 기준압력값을 설정하기 위한 키 설정부(미도시)와, 측정한 현재 압력값 및 설정된 기준압력값을 표시하는 디스플레이부(미도시)가 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.

이에 의하면, 원수유입펌프(2)에 의한 압력에 따라서 가변되는 기준압력값을 사용자가 설정할 수 있는 이점이 있다.

본 발명의 일 실시예에 의한 오존수 역류 방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치에 있어서, 상기 기체 배출관(13c)에 분기된 배출 분기관(13d)과, 배출 분기관(13d)에 설치되고 공급되는 전원이 차단되는 경우에 개방되어서 이중관체(10)의 제2 소통로(13A) 내부에 잔존하고 있는 라디칼 발생원이 기체공급원(3)으로 역류하지 못하고 배출 분기관(13d)을 통해서 외부로 배출되도록 하는 잔류기체 배출밸브(18)가 더 포함되어서 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 잔류기체 배출밸브(18)는 플라즈마 고도수처리 장치 전체에 공급되는 전원이 온 상태를 유지하고 있는 경우에는 닫혀 있고, 공급되는 전원이 차단된 경우에는 개방 동작하는 것을 특징으로 한다.

만약 잔류기체 배출밸브(18)와 배출 분기관(13d)의 구성이 없다면 예컨대 순간정전과 같이 장치 전체에 공급되는 전원이 차단된 경우 이중관체(10)의 제2 소통로(13A) 내부에 남아 있던 오존이 기체공급원(3)으로 역류되고, 오존이 역류되면 기체공급원(3)은 폭발, 화재 등의 문제가 발생하고, 상기 잔류기체 배출밸브(18)와 배출 분기관(13d)의 구성들은 이를 예방하기 위한 것이다.

즉, 평상시에는 잔류기체 배출밸브(18)는 닫혀 있는데 예컨대 (순간)정전의 경우와 같이 공급되는 전원이 오프되는 경우 전원 오프와 동시에 개방(open)되고, 이때 제2 소통로(13A)와 기체 배출밸브(13c)에 남아 있던 오존은 잔류기체 배출밸브(18)를 통해서 배출되고, 그 결과 오존이 기체공급원(3) 내부로 역류하는 것을 예방할 수 있게 된다.

본 발명의 일 실시예에 의한 오존수 역류 방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치에 있어서, 상기 순방향밸브(16)의 후단에 설치되어서 수조(1)의 처리대상수가 이중관체(10)로 역류하는 것을 방지하기 위한 체크밸브(17)가 더 포함되어서 구성되는 것을 특징으로 한다. 평상시에 체크밸브(17)는 역류를 방지하므로 수조의 오존수가 역류하는 것을 더욱더 확실하게 예방하기 위함이다.

한편, 상기 이중관체(10)의 제1 소통로(11A)에는 처리수 통과에 따라 랜덤하게 움직여 제1 소통로 내에서 안정적인 전위를 발생시키는 다수의 유전체비드(14)가 충진되어 있다

이와 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술분야에 있어 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 것이다.

그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하며, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수 있다.

1 : 수조 2 : 원수유입펌프
3 : 기체공급원 10 : 이중관체
14 : 유전체비드 15 : 압력계
13c: 기체 배출관 13d: 배출 분기관
15 : 압력계 16 : 순방향밸브
17 : 체크밸브 18 : 잔존기체 배출밸브

Claims (4)

1. 처리대상수가 통과하는 제1 소통로(11A)와 라디칼 반응용 기체가 통과하는 제2 소통로(13A)가 형성되어 있으며, 상기 제1 소통로(11A)와 제2 소통로(13A)를 형성하기 위한 내부관(11)과 외부관(13)이 구비되어 있는 이중관체(10);
   상기 이중관체(10)의 제1, 2 소통로(11A, 13A)에 각각 배열된 전극(23, 25)과, 상기 전극(23, 25)과 연결된 전원부(21)를 포함하는 플라즈마 발생수단(20);
   상기 내부관(11)과 외부관(13)은 한 쌍의 캡(15)에 의해서 이격 고정되어 있고,
   상기 캡(15)에는, 처리대상수가 유입되는 제1 유입구(11a)와, 상기 제1 유입구(11a)로 유입되어서 상기 제1 소통로(11A)를 통과한 처리대상수가 이중관체(10)를 빠져나가는 제1 토출구(11b)와, 라디칼 반응용 기체를 제공하는 기체공급원(3)과 연결된 제2 유입구(13a)와, 상기 제2 유입구(13a)로 유입된 라디칼 반응용 기체가 플라즈마 방전에 의해서 생성된 라디칼 발생원이 토출되는 제2 토출구(13b)가 형성되어 있으며,
   상기 이중관체(10)의 제1 유입구(11a)와 연결되어 있어서 원수유입펌프(2)에서 강제로 유입된 처리대상수를 이중관체(10)의 제1 소통로(11A)로 공급하고, 제2 토출구(13b)로부터 유출되는 라디칼 발생원을 기체 배출관(13c)을 통해서 공급받아서 이를 처리대상수에 용해시키는 수조(1)를 포함하여 구성되는 플라즈마 고도수처리 장치에 있어서:
   상기 기체 배출관(13c)에 설치되어서 라디칼 발생원의 압력을 측정하고 측정된 압력이 설정된 기준압력 이상인 경우에는 밸브동작제어신호를 출력하는 압력계(15)와,
   상기 압력계(15)의 후단에서 기체 배출관(13c)에 설치되고, 상기 압력계(15)로부터 밸브동작제어신호를 수신하면 개방 동작하는 순방향밸브(16)와,
   상기 기체 배출관(13c)에서 분기된 배출 분기관(13d)과,
   상기 배출 분기관(13d)에 설치되고, 플라즈마 고도수처리 장치 전체에 공급되는 전원이 온 상태를 유지하고 있는 경우에는 닫혀 있고, 공급되는 전원이 차단된 경우에는 개방되어서 상기 이중관체(10) 내부에 잔존하고 있는 라디칼 발생원을 배출 분기관(13d)을 통해서 외부로 배출하는 잔류기체 배출밸브(18)가 더 포함되어서 구성되는 것을 특징으로 하는 오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치.
   
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 압력계(15)에 설정된 기준압력은, 원수유입펌프(2)가 수조(1)에 작용하는 압력값과 같거나 이보다 큰 값으로 설정된 압력값이고,
   측정한 기체 배출관(13c)의 압력이 원수유입펌프(20)의 압력값 이상인 경우에는 상기 압력계(15)가 밸브동작제어신호를 출력하여 상기 순방향밸브(16)를 동작시키고, 측정한 기체 배출관(13c)의 압력이 원수유입펌프(20)의 압력값보다 작은 경우에는 상기 압력계(15)는 제어신호를 출력하지 않고 상기 순방향밸브(16)는 클로즈 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치.
   
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   상기 압력계(15)에는,
   기준압력값을 설정하기 위한 키 설정부와, 측정한 현재 압력값 및 설정된 기준압력값을 표시하는 디스플레이부가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치.
   
4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   상기 순방향밸브(16)의 후단에 설치되는 체크밸브(17)가 더 포함되어서 구성되는 것을 특징으로 하는 오존수 역류방지 기능이 구비된 플라즈마 고도수처리 장치.

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