KR101584177B1 - Spherical Surface Polishing Device - Google Patents

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KR101584177B1
KR101584177B1 KR1020090022235A KR20090022235A KR101584177B1 KR 101584177 B1 KR101584177 B1 KR 101584177B1 KR 1020090022235 A KR1020090022235 A KR 1020090022235A KR 20090022235 A KR20090022235 A KR 20090022235A KR 101584177 B1 KR101584177 B1 KR 101584177B1
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료조 토미타
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니시코 코키 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 광학소자의 표면에 대하여, 진구도(眞球度)가 높은 연마 가공면을 용이하게 얻을 수 있게 하기 위한 것이다. 본 발명은, 광학소자의 표면을 구면 연마접시에 맞춰 갈아서 그 표면을 구면상으로 연마하는 구면 연마장치이다. 상기 광학소자를 상기 구면 연마접시에 댄 상태로 지지하는 연마 샤프트와, 축심이 상기 광학소자의 표면의 연마 목표 구면의 곡률 중심을 지나 상기 연마 샤프트를 회전시키는 회전 구동부와, 상기 회전 구동부와 상기 연마 샤프트와의 사이에 설치되고, 상기 연마 목표 구면의 곡률 중심을 중심으로 하는 구면상 또는 원통상의 곡면을 갖고, 상기 곡면을 따라 상기 연마 샤프트를 옮김으로서 그 연마 샤프트를 그 축심 또는 축심의 연장선이 상기 곡률 중심을 항상 지나도록 기울여 지지하고, 상기 연마 샤프트의 회전에 따라 그 연마 샤프트에 지지된 상기 광학소자를 상기 연마 목표 구면을 따라 이동시키는 지지기구를 갖추었다.The present invention is intended to easily obtain a polished surface having a high sphericity with respect to the surface of an optical element. The present invention is a spherical surface polishing apparatus for grinding the surface of an optical element in accordance with a spherical polishing plate and polishing the surface thereof in a spherical shape. A rotation driving unit for rotating the polishing shaft through the center of curvature of the polishing target spherical surface of the surface of the optical element; The polishing apparatus according to any one of claims 1 to 3, further comprising: a shaft having a spherical surface or a circular curved surface centered on a center of curvature of the target spherical surface, and moving the polishing shaft along the curved surface, And a supporting mechanism for supporting the optical element supported by the polishing shaft along the rotation of the polishing shaft along the polishing target spherical surface.

연마장치, 광학소자, 구면, 곡률 중심, 연마 샤프트, 연마접시 Polishing apparatus, optical element, spherical surface, center of curvature, polishing shaft, polishing plate

Description

구면 연마장치{Spherical Surface Polishing Device}[0001] Spherical Surface Polishing Device [

도1은 본 발명의 실시형태에 따른 구면 연마장치를 나타낸 개략 구성도이다.1 is a schematic structural view showing a spherical polishing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도2는 본 발명의 실시형태에 따른 구면 연마장치의 연마 샤프트의 동작을 나타내는 모식도이다.2 is a schematic diagram showing the operation of the polishing shaft of the spherical polishing apparatus according to the embodiment of the present invention.

도3은 본 발명의 실시형태에 따른 구면 연마장치의 연마 샤프트의, 중심 G를 기준으로 한 동작을 나타낸 모식도이다.Fig. 3 is a schematic view showing an operation of the polishing shaft of the spherical polishing apparatus according to the embodiment of the present invention with reference to the center G. Fig.

도4는 본 발명의 실시형태에 따른 구면 연마장치의 연마 샤프트의 동작에 기초한 피연마 렌즈의 구면 연마접시에 대한 상대운동을 나타내는 모식도이다.4 is a schematic view showing a relative movement of a polished lens to a spherical polishing plate of a spherical polishing apparatus according to an embodiment of the present invention based on the operation of the polishing shaft.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *DESCRIPTION OF THE RELATED ART [0002]

1: 구면(球面) 연마장치 2: 연마 샤프트1: spherical polishing apparatus 2: polishing shaft

3: 회전 구동부 4: 지지기구3: rotation drive part 4: support mechanism

4A: 기판 4B: 가동판4A: substrate 4B: movable plate

4C: 기판쪽 슬라이드면 4D: 가동판쪽 슬라이드면4C: substrate side slide surface 4D: movable plate side slide surface

5: 연마접시 회전 구동부 7: 피(被)연마 렌즈5: abrasive plate rotating drive part 7: abrasive lens

8: 구면 연마접시 10: 렌즈 홀더8: spherical polishing plate 10: lens holder

11: 지지 오목부(凹部) 12: 지지 핀11: support concave portion 12: support pin

발명의 분야Field of invention

본 발명은, 렌즈 등의 구면을 연마하는 구면 연마장치에 관하여, 특히 진구도가 높은 연마 가공면을 숙련도를 요하지 않고 얻는데 적절한 구면 연마장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a spherical polishing apparatus for polishing a spherical surface of a lens or the like, and more particularly to a spherical polishing apparatus suitable for obtaining a polishing surface with high sphericity without requiring skill.

발명의 배경BACKGROUND OF THE INVENTION

최근, 디지털 기술의 진전에 의해 고정밀 촬영 시스템이 요구되고 있다. 이에 따라, 광학설계, 기구설계에 기초한 각각의 렌즈 요소에 대해서도 요구 정밀도가 엄격해지고 있다.2. Description of the Related Art In recent years, high-precision imaging systems have been required due to advances in digital technology. As a result, the required accuracy is also tight for each lens element based on optical design and mechanical design.

게다가 고배율 줌 시스템의 일반화에 의해 그 구성 렌즈 요소도 증대하고만 있다. 따라서 싸고 고정밀도의 렌즈 요소가 요구되고 있다.Moreover, the generalization of a high magnification zoom system only increases its constituent lens elements. Therefore, cheap and highly accurate lens elements are required.

이에 대응하는 연마장치의 한 예로서 특허문헌 1의 렌즈 연마장치가 있다. 상기 렌즈 연마장치는, 회전하는 연마접시의 윗면에 연마대상인 렌즈를 놓고, 요동기구로 그 렌즈를 전후좌우로 요동시켜 렌즈를 연마하는 것이다.As an example of a polishing apparatus corresponding to this, there is a lens polishing apparatus of Patent Document 1. The lens polishing apparatus polishes a lens by placing a lens to be polished on the upper surface of a rotating polishing plate and swinging the lens back and forth in left and right directions with a rocking mechanism.

[특허문헌 1] 일본 특개2004-255492호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-255492

그런데 상기 종래의 연마장치에서는, 이제까지 요구되어 온 것과 같은 정밀도의 렌즈를 연마하는 데는 특별히 문제없이 대응할 수 있다.However, in the above-described conventional polishing apparatus, it is possible to cope with a problem without any particular problem in polishing a lens of the same precision as heretofore required.

그러나 요구 정밀도가 엄격해져 가면, 상기 연마장치로는 대응할 수 없어진다. 상기 연마장치의 경우, 연마접시의 윗면에서 렌즈를 전후좌우로 왕복 운동시켜 연마하지만, 이 경우 운동방향이 변화한다. 이 때문에, 왕복운동의 양 단부에서 정지점이 2곳 발생하여 불연속 운동이 된다. 또, 왕복운동의 도중과 양 단부에서, 렌즈에 가해지는 압력도 미세하게 변화하여, 정확하게 일정 값은 되지 않는다.However, if the required precision becomes strict, the polishing apparatus can not cope with it. In the case of the above-described polishing apparatus, the lens is polished by reciprocating back and forth and left and right on the upper surface of the polishing plate, and in this case, the direction of motion changes. For this reason, two stop points are generated at both ends of the reciprocating motion, resulting in a discontinuous motion. Further, at the middle and both ends of the reciprocating motion, the pressure applied to the lens also changes finely, and does not become a constant value exactly.

렌즈 가공에 있어서, 부분적 스트레스를 렌즈에 부여하지 않는 것이, 렌즈 구면의 정밀도를 높이는데 중요하지만, 종래의 연마장치에서는 렌즈의 운동이 불연속이 됨과 동시에 렌즈에 가해지는 압력도 미세하게 변화하여, 엄격한 요구 정밀도에 대응하는 것이 어려운 문제가 있다.In the conventional polishing apparatus, the motion of the lens becomes discontinuous, and at the same time, the pressure applied to the lens is also minutely changed, so that it is difficult to apply the partial stress to the lens. There is a problem that it is difficult to cope with the required accuracy.

발명의 요약SUMMARY OF THE INVENTION

본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 광학소자의 표면을 구면 연마접시에 맞춰 갈아서 그 표면을 구면상으로 연마하는 구면 연마장치에 있어서, 상기 광학소자를 상기 구면 연마접시에 댄 상태로 지지하는 연마 샤프트와, 축심이 상기 광학소자의 표면의 연마 목표 구면의 곡률 중심을 지나 상기 연마 샤프트를 회전시키는 회전 구동부와, 상기 회전 구동부와 상기 연마 샤프트와의 사이에 설치되고, 상기 연마 목표 구면의 곡률 중심을 중심으로 하는 구면상 또는 원통상의 곡면(曲面)을 갖고, 상기 곡면을 따라 상기 연마 샤프트를 옮김으로써 그 연마 샤프트를 그 축심 또는 축심의 연장선이 상기 곡률 중심을 항상 지나도록 기울여 지지하고, 상기 연마 샤프트의 회전에 따라 그 연마 샤프트에 지지된 상기 광학소자를 상기 연마 목표 구면을 따라 이동시키는 지지기구를 갖춘 것을 특징으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a spherical polishing apparatus for grinding a surface of an optical element to a spherical polishing plate and polishing the surface thereof in a spherical shape, A rotation driving section for rotating the polishing shaft through the center of curvature of the polishing target spherical surface of the surface of the optical element; and a rotation driving section provided between the rotation driving section and the polishing shaft, And the polishing shaft is moved along the curved surface so that an extension line of the axis or center of the polishing shaft is inclined so as to always pass through the center of curvature of the polishing shaft And the optical element supported on the polishing shaft in accordance with the rotation of the polishing shaft, Characterized in that with a support mechanism which moves along the spherical surface.

발명의 상세한 설명DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

이하, 본 발명의 실시형태에 따른 구면 연마장치에 대해서 도면을 참조하면서 상술한다. 도1은 본 발명의 실시형태에 따른 구면 연마장치를 나타내는 개략 구성도, 도2는 구면 연마장치의 동작을 나타내는 모식도이다.Hereinafter, a spherical polishing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Fig. 1 is a schematic diagram showing a spherical polishing apparatus according to an embodiment of the present invention, and Fig. 2 is a schematic view showing the operation of the spherical polishing apparatus.

본 실시형태의 구면 연마장치는, 광학소자의 표면을 구면 연마접시에 맞춰 갈아서 그 표면을 구면상으로 연마하기 위한 장치이다. 연마하는 광학소자로는, 구면 렌즈나 구면경 등이 있다. 여기에서는, 렌즈를 예로 설명한다. 또, 본 발명의 특징은, 렌즈의 표면을 다 연마한 상태의 표면(렌즈의 회전속도 등의 모든 조건에 따라 약간 목표 치수를 변경하는 경우는 그 치수의 표면)인 연마 목표 구면의 곡률 중심을 중심으로 하여, 연마 샤프트, 구면 연마접시 등을 배설한 점에 있다. 이 때문에, 다른 구성부분은 공지의 모든 구면 연마장치를 이용할 수 있다.The spherical surface polishing apparatus of the present embodiment is an apparatus for grinding the surface of an optical element in accordance with a spherical polishing plate and polishing the surface of the optical element in a spherical shape. Examples of the optical element to be polished include a spherical lens and a spherical mirror. Here, a lens will be described as an example. The feature of the present invention resides in that the center of curvature of the polished target spherical surface, which is the surface of the polished surface of the lens (surface when the target dimension is slightly changed according to all conditions such as the rotational speed of the lens) A polishing shaft, a spherical polishing plate, and the like are disposed at the center. Therefore, all known spherical polishing apparatuses can be used for other constituent parts.

본 실시형태의 구면 연마장치(1)는, 도1에 나타낸 바와 같이 주로, 연마 샤프트(2)와, 회전 구동부(3)와, 지지기구(4)와, 연마접시 회전 구동부(5)로 구성되어 있다.1, the spherical polishing apparatus 1 of the present embodiment mainly includes a polishing shaft 2, a rotation driving section 3, a supporting mechanism 4, and a polishing plate rotation driving section 5 .

또한, 피(被)연마 렌즈(7)의 표면의 상기 연마 목표 구면의 곡률 중심을 중심(G)으로 한다. 여기에서는, 지지기구(4)가 후술하는 구면상의 슬라이드면을 갖기 때문에, 중심(G)은 상기 연마 목표 구면의 구심이 된다.The center of curvature of the target spherical surface on the surface of the object to be polished (7) is defined as the center (G). Here, since the support mechanism 4 has the slide surface on the spherical surface to be described later, the center G is the center of gravity of the grinding target spherical surface.

연마 샤프트(2)는, 피연마 렌즈(7)를 구면 연마접시(8)에 댄 상태로 지지하기 위한 샤프트이다. 상기 연마 샤프트(2)는, 그 축심 또는 축심의 연장선이 상기 중심(G)을 항상 지나도록 설정되어 있다. 연마 샤프트(2)의 선단에는, 렌즈 홀더(10)의 지지 오목부(11)에 끼워져 피연마 렌즈(7)를 한 점에서 지지하기 위한 지지 핀(12)이 설치되어 있다. 연마 샤프트(2)는 신축 가능하게 형성되어 있다. 이에 의해, 연마 샤프트(2)는, 피연마 렌즈(7)가 볼록렌즈인 경우는 그 볼록면을 연마하게 되는데, 이 경우는 도1의 실선과 같이, 상기 연마 목표 구면의 곡률 중심인 상기 중심(G)보다도 길게 연장된다. 또, 피연마 렌즈(7)가 오목렌즈인 경우는 도1의 가상선과 같이, 상기 중심(G)보다도 짧게 줄어든다.The polishing shaft 2 is a shaft for supporting the subject to be polished 7 on the spherical polishing plate 8 in a state of being supported. The grinding shaft 2 is set so that the axis of the shaft or the extension of the axis coincides with the center G all the time. A support pin 12 is provided at the front end of the polishing shaft 2 so as to be supported by the support recess 11 of the lens holder 10 and to support the polishing target 7 at one point. The polishing shaft 2 is formed so as to be stretchable and contractible. In this case, as shown by the solid line in Fig. 1, the center of curvature of the ablation target spherical surface, which is the center of curvature of the ablation target spherical surface, (G). In the case where the object to be polished lens 7 is a concave lens, it is shorter than the center G as shown by a virtual line in Fig.

회전 구동부(3)는 연마 샤프트(2)를 회전시키는 구동부이다. 상기 회전 구동부(3)는, 그 회전축(도시하지 않음)의 축심이 상기 중심(G)을 지나도록 설정되어 있다. 회전 구동부(3)는, 구동모터 등을 갖추어 구성되어 있다. 또한, 회전 구동부(3)로는, 공지된 각종의 것을 이용할 수 있다. 예를 들어, 외부의 구동원으로부터 벨트 등으로 토크가 전달되는 구조라도 좋다. 상기 회전 구동부(3)에는 가압장 치(도시하지 않음)가 설치된다. 상기 가압장치로는 기존의 구면 연마장치에 설치되어 있는 모든 가압장치를 이용할 수 있다.The rotary drive unit 3 is a drive unit that rotates the polishing shaft 2. [ The rotary drive unit 3 is set so that the axis of its rotation shaft (not shown) passes through the center G. The rotary drive unit 3 is configured to include a drive motor and the like. As the rotation driving section 3, various known ones can be used. For example, torque may be transmitted from an external driving source to a belt or the like. The rotation driving unit 3 is provided with a pressing device (not shown). As the pressing device, any pressing device installed in a conventional spherical polishing device can be used.

상기 회전 구동부(3)에 의해, 연마 샤프트(2)가 중심(G)을 기준으로 하여 회전함과 동시에 설정압력으로 가압되도록 되어 있다. 상기 설정압력은, 피연마 렌즈(7)나 연마 샤프트(2)의 회전속도 등의 모든 조건에 따라 적절히 설정된다.The polishing shaft 2 rotates about the center G by the rotation driving unit 3 and is pressed at a set pressure. The set pressure is appropriately set in accordance with all the conditions such as the rotational speed of the polishing target 7 and the polishing shaft 2.

지지기구(4)는, 상기 연마 샤프트(2)를 옮김으로써 그 연마 샤프트(2)를 상기 중심(G)를 중심으로 하여 기울이기 위한 기구이다. 구체적으로는 지지기구(4)는, 회전 구동부(3)와 연마 샤프트(2)와의 사이에 설치되고, 상기 연마 목표 구면의 곡률 중심을 중심으로 하는 구면상의 곡면을 갖고, 그 곡면을 따라 연마 샤프트(2)를 옮김으로써 상기 연마 샤프트(2)를 그 축심 또는 축심의 연장선이 상기 곡률 중심을 항상 지나도록 기울여 지지하고, 회전 구동부(3)에 의한 연마 샤프트(2)의 회전에 따라 그 연마 샤프트(2)에 지지된 피연마 렌즈(7)를 상기 연마 목표 구면을 따라 이동시키기 위한 기구이다.The support mechanism 4 is a mechanism for tilting the polishing shaft 2 about the center G by moving the polishing shaft 2. More specifically, the support mechanism 4 is provided between the rotation drive portion 3 and the polishing shaft 2, and has a spherical surface having a center of curvature at the desired spherical surface of the abrasive, (2) is inclined so that an extension line of the axis or center of the polishing shaft (2) always passes over the center of curvature, and when the polishing shaft (2) is rotated by the rotation driving section (3) (7) supported on the polishing surface (2) along the polishing target spherical surface.

지지기구(4)는 주로, 기판(4A)과, 가동판(4B)으로 구성되어 있다. 기판(4A)은 가동판(4B)을 슬라이드 가능하게 지지하기 위한 부재이다. 기판(4A)은, 회전 구동부(3)의 회전축에 연결되고, 회전 구동부(3)에 의해 정(定)위치에서 회전되도록 되어 있다. 기판(4A)의 아래쪽 면에는, 가동판(4B)과 슬라이드 가능하게 접촉하기 위한 기판쪽 슬라이드면(4C)이 형성되어 있다. 상기 기판쪽 슬라이드면(4C)은, 상기 연마 목표 구면(S1)의 곡률 중심인 중심(G)을 중심으로 하는 곡면상으로 형성되어 있다. 기판쪽 슬라이드면(4C)은 구체적으로는 구면상으로(구면(S2)의 일부로서) 형성되어 있다.The support mechanism 4 mainly comprises a substrate 4A and a movable plate 4B. The substrate 4A is a member for slidably supporting the movable plate 4B. The substrate 4A is connected to the rotation axis of the rotation drive section 3 and is rotated at a fixed position by the rotation drive section 3. [ On the lower surface of the substrate 4A, a substrate-side slide surface 4C for slidably contacting the movable plate 4B is formed. The substrate-side slide surface 4C is formed in a curved shape centered on the center G, which is the center of curvature of the polish target spherical surface S1. Specifically, the substrate-side slide surface 4C is formed as a spherical surface (as a part of the spherical surface S2).

가동판(4B)은, 기판(4A)에 슬라이드 가능하게 지지되고, 상기 기판(4A)에 대하여 슬라이드시킴으로써 연마 샤프트(2)를 중심(G)을 중심으로 하여 기울이기 위한 부재이다. 가동판(4B)의 위쪽 면에는, 기판(4A)의 기판쪽 슬라이드면(4C)과 슬라이드 가능하게 접촉하기 위한 가동판쪽 슬라이드면(4D)이 형성되어 있다. 상기 가동판쪽 슬라이드면(4D)은, 기판(4A)의 기판쪽 슬라이드면(4C)과 동일하게, 상기 연마 목표 구면의 곡률 중심인 중심(G)을 중심으로 하는 구면상으로 형성되어 있다. 가동판(4B)의 아래쪽 면에는, 연마 샤프트(2)가 일체로 고정되어 있다. 상기 연마 샤프트(2)는, 그 축심이 상기 연마 목표 구면의 곡률 중심인 상기 중심(G)을 지나도록 설정하여 설치되어 있다.The movable plate 4B is a member slidably supported on the substrate 4A and tilted about the center G of the polishing shaft 2 by sliding the substrate 4A with respect to the substrate 4A. A movable plate side slide surface 4D for slidably contacting the substrate side slide surface 4C of the substrate 4A is formed on the upper surface of the movable plate 4B. The movable plate side slide surface 4D is formed in a spherical shape centered on the center G which is the center of curvature of the target spherical surface to be polished, like the slide surface 4C on the substrate side of the substrate 4A. On the lower surface of the movable plate 4B, the polishing shaft 2 is integrally fixed. The polishing shaft 2 is set so that the axis thereof passes through the center G, which is the center of curvature of the polishing target spherical surface.

기판(4A)과 가동판(4B) 사이는 고정수단으로 고정된다. 상기 고정수단으로는, 각종의 것을 이용할 수 있다. 예를 들어, 관통볼트와, 와셔(washer, 座金)로 구성해도 좋다. 기판(4A)과 가동판(4B)에, 관통볼트의 직경보다도 큰 내경의 볼트구멍을 설치하여, 기판(4A)과 가동판(4B)이 서로 어긋날 수 있도록 하고, 볼트구멍보다도 넓은 와셔를 설치한 관통볼트로 기판(4A)와 가동판(4B)을 서로 고정하도록 해도 좋다. 다른 구성의 고정수단을 설치해도 좋고, 공지수단을 모두 이용할 수 있다.The space between the substrate 4A and the movable plate 4B is fixed by fixing means. As the fixing means, various ones can be used. For example, a through bolt and a washer may be used. A bolt hole having an inner diameter larger than the diameter of the through bolt is provided in the substrate 4A and the movable plate 4B so that the substrate 4A and the movable plate 4B can be displaced from each other, The substrate 4A and the movable plate 4B may be fixed to each other with one through bolt. Other fixing means may be provided, or all known means may be used.

연마접시 회전 구동부(5)는, 구면 연마접시(8)를 지지하여 회전시키기 위한 장치이다. 연마접시 회전 구동부(5)는, 구면 연마장치 본체에 설치되고, 연마 샤프트(2)의 아래쪽에 위치해 있다. 연마접시 회전 구동부(5)는, 구면 연마접시(8)를 회전 가능하게 지지함과 동시에, 상하로 이동 가능하게 설치되어 있다. 구면 연마접시(8)는, 연마 샤프트(2)의 신축에 맞추어 그 높이가 조정된다. 이 기구의 구체적인 구성은 예를 들어, 구면 연마접시(8)에 회전축이 설치된 구동 모터(도시하지 않음)와, 상기 구동 모터를 상하로 이동시키는 승강기구(도시하지 않음)로 구성된다. 구면 연마접시(8)는, 연마접시 회전 구동부(5)에 탈착 가능하게 설치되어 있다. 구면 연마접시(8)의 탈착수단으로는, 공지의 모든 수단을 이용할 수 있다.The polishing plate rotation driving unit 5 is a device for supporting and rotating the spherical polishing plate 8. [ The polishing plate rotation drive unit 5 is provided on the main body of the spherical polishing apparatus and is located below the polishing shaft 2. [ The polishing plate rotation driving section 5 is provided so as to be capable of supporting the spherical polishing plate 8 in a rotatable manner and moving up and down. The height of the spherical polishing plate 8 is adjusted in accordance with the elongation and contraction of the polishing shaft 2. A concrete structure of this mechanism is constituted by, for example, a driving motor (not shown) provided with a rotating shaft on the spherical polishing plate 8 and an elevating mechanism (not shown) for moving the driving motor up and down. The spherical abrasive plate 8 is detachably attached to the polishing plate rotation driving part 5. Any means known in the art can be used as the means for attaching and detaching the spherical polishing plate 8. [

게다가, 연마접시 회전 구동부(5)에는, 그 회전축을 적절히 경사시키는 경사기구(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 상기 경사기구는, 연마접시 회전 구동부(5)에 설치된 구면 연마접시(8)의 연마면이, 중심(G)을 중심으로 한 상기 연마 목표 구면(S1)을 따라 이동하도록 구성된다. 경사기구의 구체적인 구성은, 그 동작이 가능한 기존의 기구 모두를 이용할 수 있다.In addition, the polishing plate rotation drive section 5 is provided with a tilting mechanism (not shown) for appropriately tilting the rotation axis thereof. The inclining mechanism is configured to move the polishing surface of the spherical polishing plate 8 provided on the polishing plate rotation driving portion 5 along the polishing target spherical surface S1 about the center G. [ The specific configuration of the tilting mechanism can use all of the existing mechanisms capable of operating the tilting mechanism.

구면 연마접시(8)는, 피연마 렌즈(7)의 상기 연마 목표 구면의 곡률의 차이 및 표면의 요철의 차이에 맞추어 복수개 준비된다. 각 구면 연마접시(8)는, 연마접시 회전 구동부(5)에 적절히 교체된다.A plurality of spherical abrasive plates 8 are prepared in accordance with the difference in curvature of the target spherical surface of the abrasive lens 7 and the difference in surface unevenness. Each of the spherical polishing dishes 8 is appropriately replaced with the polishing dish rotation driving part 5. [

이상과 같이 구성된 구면 연마장치(1)는, 다음과 같이 사용된다.The spherical polishing apparatus 1 configured as described above is used as follows.

우선, 피연마 렌즈(7)의 연마 목표 구면(S1)의 곡률에 맞추어 연마 샤프트(2)의 길이를 조정한다. 즉, 피연마 렌즈(7)의 연마 목표 구면(S1)의 곡률반경과, 중심(G)으로부터 피연마 렌즈(7)의 연마면까지의 거리가 일치하도록, 연마 샤프트(2)의 길이를 설정한다. 게다가, 지지기구(4)의 기판쪽 슬라이드면(4C)과 가동판쪽 슬라이드면(4D)을 슬라이드시킴으로써 기판(4A)에 대하여 가동판(4B)을 옮겨, 연마 샤프트(2)의 각도를 기울인다. 상기 연마 샤프트(2)의 경사각도는, 구면 연마접시(8)의 연마면으로부터 피연마 렌즈(7)가 완전히 나오지 않는 범위에서 넓고 고르게 맞춰 갈리는 각도로 설정된다.First, the length of the polishing shaft 2 is adjusted in accordance with the curvature of the polishing target spherical surface S1 of the polishing target lens 7. That is to say, the length of the polishing shaft 2 is set so that the radius of curvature of the polishing target spherical surface S1 of the abrasive lens 7 and the distance from the center G to the abrasive surface of the abrasive lens 7 do. In addition, the movable plate 4B is moved relative to the substrate 4A by sliding the substrate-side slide surface 4C and the movable plate-side slide surface 4D of the support mechanism 4 to tilt the angle of the polishing shaft 2. [ The inclination angle of the polishing shaft 2 is set to an angle at which it is wide and uniformly aligned within a range in which the polishing target 7 does not completely exit from the polishing surface of the spherical polishing plate 8. [

게다가, 연마접시 회전 구동부(5)로 구면 연마접시(8)의 높이를, 중심(G)으로부터 구면 연마접시(8)의 연마면까지의 거리가 상기 연마 목표 구면(S1)의 곡률반경과 일치하도록 조정한다. 구면 연마접시(8)의 경사각도는 연마 샤프트(2)의 경사각도와의 균형으로 설정한다.The height of the spherical polishing plate 8 is set such that the distance from the center G to the polishing surface of the spherical polishing plate 8 is equal to the radius of curvature of the polishing target spherical surface S1 . The inclination angle of the spherical polishing plate 8 is set to a balance with the inclination angle of the polishing shaft 2. [

이 상태로, 렌즈 홀더(10)에 설치한 피연마 렌즈(7)를 구면 연마접시(8)에 설치하고, 렌즈 홀더(10)의 지지 오목부(11)에 연마 샤프트(2)의 지지 핀(12)을 끼운다.In this state, the abrasive lens 7 provided on the lens holder 10 is provided on the spherical abrasive plate 8, and the support pin 11 of the abrasive shaft 2 is fixed to the support recess 11 of the lens holder 10, (12).

이 상태로, 회전 구동부(3)와 연마접시 회전 구동부(5)를 작동시킨다. 이에 의해, 연마 샤프트(2)는 도2(A), (B), (C)에 나타낸 바와 같이 동작한다. 구체적으로는, 회전 구동부(3)로 지지기구(4)의 기판(4A)이 회전되면, 그 기판(4A)에 대하여 어긋난 위치의 가동판(4B)이 회전 구동부(3)의 회전축을 중심으로 하여 공전한다. 이에 의해, 가동판(4B)에 설치된 연마 샤프트(2)가 중심(G)을 기점으로 하여 경사진 상태로 회전한다.In this state, the rotation driving section 3 and the polishing plate rotation driving section 5 are operated. Thus, the polishing shaft 2 operates as shown in Figs. 2 (A), 2 (B) and 2 (C). More specifically, when the substrate 4A of the support mechanism 4 is rotated by the rotation driving unit 3, the movable plate 4B at the position shifted from the substrate 4A is rotated about the rotation axis of the rotation drive unit 3 And turn. Thereby, the polishing shaft 2 provided on the movable plate 4B is rotated in a tilted state with the center G as a starting point.

도2(A)에서 90° 회전하여 도2(B)가 되고, 180° 회전하여 도2(C)가 된다. 그리고 상기 회전 중, 중심(G)의 위치에서는 연마 샤프트(2)가 벗어나지 않고 그 위치에서 회전한다. 이에 의해, 연마 샤프트(2)의 지지 핀(12)이 중심(G)을 중심으로 회전한다. 즉, 도3에 나타낸 바와 같이, 중심(G)으로부터 매달린 진자(振子)가, 중심(G)을 구심으로 한 구면을 따라 원을 그리도록 회전하는 것과 같은 동작으로, 연마 샤프트(2)의 지지 핀(12)이 중심(G)을 중심으로 회전한다.In Fig. 2 (A), Fig. 2 (B) turns by 90 and turns by 180 to become Fig. 2 (C). During the rotation, the polishing shaft 2 rotates at the position of the center G without coming off. Thereby, the support pin 12 of the polishing shaft 2 rotates about the center G. That is, as shown in Fig. 3, the pendulum pendant from the center G rotates to draw a circle along the spherical surface centered on the center G, The pin 12 rotates around the center G.

이에 의해, 피연마 렌즈(7)의 피연마면이, 구면 연마접시(8)에 맞춰 갈리면서, 상기 연마 목표 구면(S1)을 따라 회전한다.Thereby, the surface to be polished of the object to be polished lens 7 is rotated along the polishing target spherical surface S1 while being aligned with the spherical polishing plate 8.

상기 동작을 도4에 나타내었다. 또한, 도4는 연마 샤프트(2)가 회전 구동부(3)에 의해 90°, 180°, 270°, 360° 회전한 4개의 상태를 나타내고 있다. 도4 중의 원(14)은 정위치에서 우회전하는 구면 연마접시(8)를 나타내고 있다. 도4 중의 원(15)은 중심(G)을 중심으로 진자운동을 하여 회전하는 피연마 렌즈(7)의 움직임을 나타내고 있다. 여기에서는, 연마접시 회전 구동부(5)가 다소 경사진 상태로 설정되어 있기 때문에, 구면 연마접시(8)의 회전운동의 원(14)에 대하여, 중심(G)을 중심으로 진자운동하는 피연마 렌즈(7)의 원(15)은 편심(偏心)해 있다. 즉, 피연마 렌즈(7)는, 구면 연마접시(8)에 대하여 편심한 위치에서 공전하고 있다.This operation is shown in Fig. 4 shows four states in which the polishing shaft 2 is rotated by 90 degrees, 180 degrees, 270 degrees, and 360 degrees by the rotation driving unit 3. In FIG. The circle 14 in FIG. 4 shows the spherical polishing plate 8 that makes a right turn at the right position. The circle 15 in FIG. 4 indicates the movement of the subject lens 7 rotating by pendulum movement about the center G. FIG. In this case, since the polishing plate rotation driving section 5 is set in a slightly inclined state, with respect to the circle 14 of the rotational motion of the spherical polishing plate 8, The circle 15 of the lens 7 is eccentric. That is, the subject to be polished lens 7 revolves at an eccentric position with respect to the spherical polishing plate 8.

상기 구면 연마접시(8)의 회전운동에 대하여, 피연마 렌즈(7)가 원(15)과 같이 중심(G)을 중심으로 진자운동을 하기 때문에, 피연마 렌즈(7)의 피연마면에 대하여 균등한 압력으로, 게다가 상기 연마 목표 구면을 따라 이동하면서 연마된다.The subject to be polished 7 performs pendulum movement about the center G like the circle 15 with respect to the rotational motion of the spherical polishing plate 8, And is further polished while moving along the polishing target spherical surface.

또한, 피연마 렌즈(7)가 오목렌즈인 경우는, 도1의 가상선과 같이 되지만, 기본적인 동작은 상술한 경우와 완전히 동일하다.In the case where the object to be polished lens 7 is a concave lens, it is like the virtual line in Fig. 1, but the basic operation is completely the same as the above-mentioned case.

이에 의해, 피연마 렌즈(7)의 연마면을, 상기 연마 목표 구면(S1)을 따라 정확하게 이동시킬 수 있고, 피연마 렌즈(7)의 연마면을, 높은 진구도를 유지하여 고정밀도로 완성할 수 있다. 진구도가 높은 연마 가공면을, 숙련도를 요하지 않고 용 이하게 얻을 수 있다.This makes it possible to accurately move the polished surface of the object to be polished 7 along the polished target spherical surface S1 and to finish the polished surface of the polished surface of the objected lens 7 with high precision . A polishing surface with a high degree of sphericity can be easily obtained without requiring any proficiency.

렌즈 가공에 있어서는, 부분적 스트레스를 렌즈에 주지 않는 것이, 렌즈 구면의 정밀도를 높이는데 중요한데, 구면 연마장치(1)에서는, 피연마 렌즈(7)의 연마면을, 상기 연마 목표 구면(S1)을 따라 정확하고 연속적으로 이동시킬 수 있기 때문에, 렌즈의 운동이 불연속으로 되지 않고, 렌즈에 가해지는 압력도 일정하게 유지되어, 높은 정밀도로 구면을 연마할 수 있다.In the lens processing, it is important to increase the accuracy of the lens spherical surface by not giving partial stress to the lens. In the spherical grinding apparatus 1, the grinding surface of the grinding target lens 7 is grasped by the grinding target spherical surface S1 Therefore, the motion of the lens is not discontinuous, and the pressure applied to the lens is kept constant, so that the spherical surface can be polished with high accuracy.

[변형예][Modifications]

상기 실시형태에서는, 지지기구(4)의 기판(4A)의 기판쪽 슬라이드면(4C) 및 가동판(4B)의 가동판쪽 슬라이드면(4D)을 구면상으로 하였지만, 상기 연마 목표 구면의 곡률 중심(G)을 중심으로 하는 원통면의 일부로 구성해도 좋다. 연마 샤프트(2)는, 중심(G)을 기준으로 하여 비스듬히 할 수 있는 구성이면 되기 때문에, 구면에 한정되지 않고, 원통면이어도 좋다. 이 경우도, 상기와 같은 작용, 효과를 가질 수 있다.Although the slide surface 4C of the substrate 4A of the support mechanism 4 and the movable plate side slide surface 4D of the movable plate 4B are in the spherical shape in the above embodiment, Or may be a part of a cylindrical surface centering on the gaps G as shown in Fig. The polishing shaft 2 is not limited to the spherical surface, but may be a cylindrical surface, as long as the polishing shaft 2 can be formed obliquely with respect to the center G. In this case as well, the same operation and effect as described above can be obtained.

연마 샤프트(2)에서는 그 선단에 지지 핀(12)을 설치하였지만, 다른 구성의 지지수단이어도 좋다. 피연마 렌즈(7)를 지지할 수 있는 모든 구성을 이용할 수 있다.In the polishing shaft 2, the support pins 12 are provided at the tip ends thereof, but they may be support means of other configurations. Any configuration capable of supporting the subject polishing lens 7 can be used.

렌즈 등의 광학소자의 운동이 연속이 됨과 동시에 광학소자에 가해지는 압력 도 일정하게 유지할 수 있어, 높은 정밀도로 구면을 연마할 수 있다.The motion of the optical element such as the lens becomes continuous, and at the same time, the pressure applied to the optical element can be kept constant, and the spherical surface can be polished with high precision.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

Claims (5)

광학소자의 표면을 구면 연마접시에 서로 맞추어 그 표면을 구면상으로 연마하는 구면 연마장치에 있어서,A spherical polishing apparatus for aligning a surface of an optical element with a spherical polishing plate and polishing the surface of the optical element in a spherical shape, 상기 광학소자를 경사진 상기 구면 연마접시에 맞춘 상태로 지지하는 연마 샤프트; 및A polishing shaft for supporting the optical element in a state aligned with the inclined spherical polishing plate; And 축심이 상기 광학소자의 표면의 연마 목표 구면의 곡률 중심을 지나 상기 연마 샤프트를 회전시키는 회전 구동부; 및A rotation driving unit for rotating the polishing shaft through the center of curvature of the polishing target spherical surface of the surface of the optical element; And 상기 회전 구동부와 상기 연마 샤프트와의 사이에 설치되고, 상기 연마 목표 구면의 곡률 중심을 중심으로 하는 구면의 일부 또는 원통면의 일부인 곡면을 갖고, 그 곡면을 따라 상기 연마 샤프트를 옮김으로써 그 연마 샤프트를 그 축심 또는 축심의 연장선이 상기 곡률 중심을 항상 지나도록 비스듬히 지지하여, 상기 연마 샤프트의 선단이 상기 곡률 중심을 지점으로 하여 원운동하고, 상기 연마 샤프트의 선단의 원운동에 따라 상기 연마 샤프트에 지지된 상기 광학소자를 상기 연마 목표 구면을 따라, 상기 경사진 구면 연마접시 위를 이동시키는 지지기구;Wherein the polishing head has a curved surface that is a part of a spherical surface centered on a center of curvature of the polishing target spherical surface or a part of a cylindrical surface and is disposed between the rotary drive part and the polishing shaft, Wherein a distal end of the polishing shaft is circularly moved around the center of curvature so that an extension line of the axial center or the axial center always passes through the center of curvature, A supporting mechanism for moving the supported optical element on the inclined spherical polishing plate along the polishing target spherical surface; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 구면 연마장치.Wherein the spherical polishing apparatus comprises: 제1항에 있어서, 상기 연마 샤프트가 신축 가능하게 형성되어, 상기 광학소자의 볼록(凸)면을 연마할 때 상기 연마 목표 구면의 곡률 반경보다도 길게 늘어나고, 상기 광학소자의 오목(凹)면을 연마할 때 상기 곡률 반경보다도 짧게 줄어드는 것을 특징으로 하는 구면 연마장치.The optical element according to claim 1, wherein the polishing shaft is formed so as to be stretchable and elongates longer than a radius of curvature of the target spherical surface when polishing a convex surface of the optical element, Wherein the radius of curvature is reduced to be shorter than the radius of curvature when polishing. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 구면 연마접시를 지지하여 회전시킴과 동시에, 상기 연마 샤프트의 신축에 맞추어 높이를 조정하는 연마접시 회전 구동부와, 상기 연마 접시 회전 구동부에 설치되고 상기 구면 연마접시의 연마면을 상기 연마 목표 구면을 따라 이동시켜 상기 연마접시 회전 구동부의 회전축을 경사시키는 경사기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 구면 연마장치.The polishing apparatus according to claim 1 or 2, further comprising: a polishing plate rotation driving unit for supporting and rotating the spherical polishing plate and adjusting a height of the polishing shaft in accordance with elongation and contraction of the polishing shaft; Further comprising a tilting mechanism that moves the polishing surface of the dish along the polishing target spherical surface to tilt the rotation axis of the polishing plate rotation driving portion. 삭제delete 삭제delete
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20120289127A1 (en) * 2010-01-29 2012-11-15 Kojima Engineering Co., Ltd. Lens spherical surface grinding method using dish-shaped grindstone
CN102848301B (en) * 2012-09-04 2015-02-18 北京青锋达精密技术有限责任公司 Numerical control spherical pair grinder and grinding method
CN102962764B (en) * 2012-12-17 2015-03-18 北京理工大学 Rigid eccentric-gearing revolution and rotation pneumatic-force-application numerically-controlled polishing device
KR101342838B1 (en) 2013-04-17 2013-12-17 영 진 이 Apparatus for dealing surface of radome
JP6346538B2 (en) * 2014-10-02 2018-06-20 オリンパス株式会社 Shape measuring apparatus and shape measuring method
CN104551922B (en) * 2014-12-25 2017-02-22 常州市润昌光电科技有限公司 Quick forming machine for glass ball and quick glass ball forming technique
CN105643392B (en) * 2016-01-08 2017-10-27 陈振 A kind of crystal photosphere ball crusher
JP2017219333A (en) * 2016-06-03 2017-12-14 オリンパス株式会社 Shape measurement device and shape measurement method
CN107671659A (en) * 2017-10-19 2018-02-09 杭州天宏智能科技有限公司 A kind of abrasive band emery wheel of curvature-adjustable
CN107961840B (en) * 2017-11-28 2019-05-07 浙江探针生物科技有限公司 A kind of Respiratory Medicine medicine particle milling equipment
CN108032170B (en) * 2017-12-29 2023-12-05 包头市金杰稀土纳米材料有限公司 Chamfering equipment and chamfering method for small-size round hard and brittle material chips
CN110319229B (en) * 2019-07-04 2020-04-24 浙江石化阀门有限公司 Hard sealing ball valve with double-spherical-surface valve seat and machining process of double-spherical-surface valve seat
CN112025540A (en) * 2020-08-26 2020-12-04 江西昌河航空工业有限公司 Spherical surface forming device and method based on grinding ball track
CN113134765B (en) * 2021-04-23 2022-07-22 中山市光维智能科技有限公司 Full-automatic lens production and processing equipment
CN115771084A (en) * 2022-12-08 2023-03-10 中国科学院西安光学精密机械研究所 Optical surface wheel type air bag processing device and polishing method

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004025314A (en) 2002-06-21 2004-01-29 Olympus Corp Polishing device
JP2004255492A (en) 2003-02-25 2004-09-16 Topcon Corp Lens polishing device
JP2007118117A (en) 2005-10-27 2007-05-17 Olympus Corp Machining device and method for fly-eye lens forming die

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5114197B2 (en) * 1971-08-16 1976-05-07
JPS5753855U (en) * 1980-09-16 1982-03-29
JPS60232862A (en) * 1984-04-27 1985-11-19 Nippon Contact Lens Seizo Kk Lens polishing device
JPH03111164A (en) * 1989-09-25 1991-05-10 Olympus Optical Co Ltd Method and device for polishing
CN2291992Y (en) * 1995-05-29 1998-09-23 汪胜生 High-speed polishing and abrading machine for lens of astigmaitic glasses
JP2000317798A (en) * 1999-05-13 2000-11-21 Olympus Optical Co Ltd Polishing device for spherical surface of optical element
JP4201329B2 (en) * 2003-03-31 2008-12-24 株式会社春近精密 Lens spherical polishing equipment
JP2005014168A (en) * 2003-06-27 2005-01-20 Canon Inc Spherical surface processing device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004025314A (en) 2002-06-21 2004-01-29 Olympus Corp Polishing device
JP2004255492A (en) 2003-02-25 2004-09-16 Topcon Corp Lens polishing device
JP2007118117A (en) 2005-10-27 2007-05-17 Olympus Corp Machining device and method for fly-eye lens forming die

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Publication number Publication date
CN101537588B (en) 2013-03-13
KR20090099489A (en) 2009-09-22
JP2009220226A (en) 2009-10-01
JP4633815B2 (en) 2011-02-16
TW200940250A (en) 2009-10-01
CN101537588A (en) 2009-09-23

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