KR101582256B1 - Breaking wire sensing device of wire slicing system - Google Patents

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KR101582256B1
KR101582256B1 KR1020140138156A KR20140138156A KR101582256B1 KR 101582256 B1 KR101582256 B1 KR 101582256B1 KR 1020140138156 A KR1020140138156 A KR 1020140138156A KR 20140138156 A KR20140138156 A KR 20140138156A KR 101582256 B1 KR101582256 B1 KR 101582256B1
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Korean (ko)
Inventor
안국진
권대근
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(주)새한나노텍
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere

Abstract

The present invention relates to a disconnection sensing device of a wire slicing apparatus and, more specifically, to a disconnection sensing device of a wire slicing apparatus which senses a situation that wire is disconnected in the process of cutting an ingot by the wire slicing apparatus to stop the operation of the wire slicing apparatus immediately, thereby preventing the ingot and the slicing apparatus from being destroyed and damaged. The present invention immediately senses whether the wire slicing apparatus is disconnected, thereby preventing damage to a wafer and the apparatus by disconnected diamond wire. In addition, the apparatus of the present invention configures not to mechanically interfere with the wire slicing apparatus, thereby assuring easiness in design and production and minimizing a measurement error even if cutting oil or the like is induced to stably drive the slicing apparatus in operation.

Description

와이어 슬라이싱 장치의 단선 감지장치{Breaking wire sensing device of wire slicing system}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a wire-

본 발명은 와이어 슬라이싱 장치의 단선 감지장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 와이어 슬라이싱 장치에 의해 잉곳을 절단하는 과정에서 그 와이어가 단선되는 상황을 감지하여 와이어 슬라이싱 장치의 구동을 즉각 정지시킬 있도록 함으로써 잉곳 및 슬라이싱 장치의 파손 및 훼손을 방지할 수 있는 와이어 슬라이싱 장치의 단선 감지장치에 관한 것이다.
[0001] The present invention relates to a wire breaking apparatus for a wire slicing apparatus, and more particularly, it relates to a wire breaking apparatus for detecting a wire breakage during cutting of an ingot by a wire slicing apparatus, And a breakage and damage of the slicing device can be prevented.

잉곳을 절단시켜 웨이퍼로 제조하기 위한 일반적인 장치는 구동부의 구동에 의해 상,하로 왕복 운동하는 절단부재(사파이어 잉곳 및 SI,SIC, N.D(네오디움)블럭 잉곳의 경도보다 큰 경도를 갖는 GC 슬러리와 다이아몬드 와이어가 주로 쓰임)에 의해 잉곳을 절단시켜 박판의 웨이퍼로 제조하게 된다.A general apparatus for cutting an ingot into a wafer is a GC slurry having a hardness larger than that of a sapphire ingot and SI, SIC, ND (neodymium) block ingots reciprocating upward and downward by driving of a driving unit Diamond wire is mainly used) to produce a thin wafer.

이같은 잉곳의 절단과정에 사용되는 다이아몬드 와이어가 고속으로 인출되고 권취되면서 잉곳을 절단하는 과정에서 단선되는 경우에는 잉곳이나 그 절단되는 웨이퍼에 손상을 가할 수 있고 단선 부위에 따라 와이어 슬라이싱 장치 내부에 손상을 가할 수 있다.If the diamond wire used in the cutting process of the ingot is drawn at a high speed and is wound while cutting the ingot in the process of cutting the ingot, the ingot or the wafer to be cut may be damaged, and damage to the inside of the wire slicing device Can be added.

이에 대해 종래에는 인출되고 권취되는 다이아몬드 와이어의 장력을 소정 영역에서 측정하고, 설계되고 허용된 장력 이하로 감지되는 경우 구동을 정지하는 구성이 제시된 바 있다.Conventionally, a structure has been proposed in which the tensile force of the drawn and wound diamond wire is measured in a predetermined region, and the drive is stopped when it is detected below the designed and permitted tension.

그러나 이에 의할 경우 다이아몬드 와이어의 단선이 장력의 측정부위에서 멀어질수록 장력의 저하에 따른 단선 여부의 판단에 소정의 시간 이격이 발생하고, 그에 따라 고속으로 인출되고 권취되는 다이아몬드 와이어의 단선부위에 의해 잉곳 및 와이어 슬라이싱 장치 내부에 파손이나 손상을 가하는 정도가 심해진다는 문제점이 있어왔다. However, in this case, as the disconnection of the diamond wire is further away from the measurement site of the tensile force, a predetermined time interval is determined to determine whether disconnection occurs due to the lowering of the tensile force. There has been a problem that the degree of damage or damage to the inside of the ingot and wire slicing device is increased.

또한, 상기한 문제점에 대응하기 위해 다이아몬드 와이어의 장력을 측정하는 개소를 증가시키는 방법이 모색되었으나 이에 의할 경우에는 슬라이싱 장치의 구성이 조잡하고 복잡해짐은 물론 와이어 슬라이싱 장치의 구동 중 간섭이 발생할 수지를 개선시키기 위해 설계의 복잡성과 비용의 상승을 초래할 수 밖에 없고, 비록 다수개의 장력측정에 의한다 하더라도 단선에 따른 즉각적 대응에는 한계를 지닐 수 밖에 없다는 문제점이 있다.
Further, in order to cope with the above-mentioned problem, a method of increasing the position at which the tensile force of the diamond wire is measured has been sought. However, the structure of the slicing apparatus becomes complicated and complicated, It is necessary to increase the complexity and cost of the design in order to improve the strength and the cost of the apparatus.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 잉곳을 절단하는 와이어 슬라이싱 장치의 다이아몬드 와이어의 단선을 즉각 감지할 수 있는 수단을 제시함을 그 목적으로하며,SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a means for promptly detecting disconnection of a diamond wire in a wire slicing apparatus for cutting an ingot,

나아가 단선 감지를 함에 있어 와이어 슬라이싱 장치간의 간섭을 최소화할 수단을 제시하며, 정밀 공작기계의 구동시 절삭유 등의 유입에 따른 측정 오류를 최소화할 수단을 제시함을 그 목적으로 한다.
Further, the present invention provides a means for minimizing the interference between the wire slicing devices in detecting the wire breakage, and a means for minimizing measurement errors due to the inflow of cutting oil or the like during operation of the precision machine tool.

상기 목적에 대해 본 발명은 베이스 부재와, 상기 베이스 부재의 일측에 설치되어 인출용보빈에 권취된 커팅용 와이어를 동일한 장력으로 인출하는 커팅용 와이어 인출수단과, 인출되는 커팅용 와이어의 장력을 자동으로 조절 가능하도록 하는 인출용 장력조절수단과, 상기 베이스 부재의 상부에 설치되어 전후 방향으로 슬라이드 이동됨과 동시에 승강되는 승강수단과, 상기 승강수단의 하부에 설치되어 인출되는 커팅용 와이어를 일정간격으로 권회시키면서 고속 이동시키는 절단수단과, 상기 절단수단을 통하여 이동되는 커팅용 와이어를 권취용보빈에 권취하는 커팅용 와이어 권취수단과, 상기 커팅용 와이어 인출수단, 장력조절수단, 승강수단, 절단수단 및 커팅용 와이어 권취수단을 제어하는 제어부를 포함하는 와이어 슬라이싱 장치에 설치되는 것으로서, 인출부 커플러와 권취부 커플러 사이에 절단수단의 제1, 제2 절단용 스핀들을 경유하되, 인출용 보빈에서 인출되어 권취용 보빈에서 권취되는 와이어(W)를 통전시켜, 인출부 커플러 슬립링과 권취부 커플러 슬립링을 통해 센서와 폐회로를 구성하도록 구비됨을 특징으로 하는 와이어 슬라이싱장치의 단선 감지장치를 제시하고,According to another aspect of the present invention, there is provided a wire cutting apparatus comprising a base member, cutting wire pulling means provided at one side of the base member for pulling the cutting wire wound around the pulling bobbin with equal tension, A lifting means provided on an upper portion of the base member so as to be slidable in the forward and backward direction and lifted and lowered, and a cutting wire installed at a lower portion of the lifting means to be pulled out at a predetermined interval A cutting wire pulling means for winding the cutting wire which is moved through the cutting means to the winding bobbin; a wire pulling means for cutting the wire, a tension adjusting means, an elevating means, a cutting means, And a control section for controlling the wire winding means for cutting The wire W wound around the winding bobbin is passed through the first and second cutting spindles of the cutting means between the take-off portion coupler and the take-up portion coupler, A wire and a winder coupler slip ring to constitute a sensor and a closed circuit,

와이어 인출용 구동모터와 와이어 권취용 구동모터와 각개로 연동되는 상기 인출부 커플러와 권출부 커플러는 그 종단에 인출부 커플러 절연체와 권취부 커플러 절연체를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 와이어 슬라이싱장치의 단선 감지장치를 제시하며,Wherein the pull-out portion coupler and the pull-out portion coupler individually interlocked with the wire drawing pull-out drive motor and the wire pulling pull-out drive motor further comprise a lead portion coupler insulator and a take-up portion coupler insulator at the end thereof. A disconnection detection device is proposed,

상기 인출부 커플러와 인출용 보빈 사이에 구비된 인출부 스핀들 하우징의 외주면에는 인출부 스핀들 절연체를 구비하고, 상기 권취부 커플러와 권취용 보빈 사이에 구비된 권취부 스핀들 하우징 외주면에는 권취부 스핀들 절연체를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 와이어 슬라이싱장치의 단선 감지장치를 제시한다.
A take-up spindle insulator is provided on the outer circumferential surface of the take-out spindle housing provided between the take-out portion coupler and the take-out bobbin, and a take-up spindle insulator is provided on the outer circumferential face of the take- And the wire slicing device further comprises a wire detection unit for detecting a wire breakage of the wire slicing device.

본 발명에 의하면, 와이어 슬라이싱 장치의 단선 여부를 즉각 감지함으로써 단선된 다이아몬드 와이어에 의한 웨이퍼 및 장치의 손상을 방지할 수 있게한다. 또한, 단선 여부를 감지하는 구성이 와이어 슬라이싱 장치와 기기적으로 간섭되지 않도록 함으로써 설계 및 제작의 용이성을 확보하며, 절삭유 등의 유입에도 측정 오차를 최소화하여 구동중인 슬라이싱 장치를 안정적으로 구동하게 할 수 있다.
According to the present invention, it is possible to immediately detect whether the wire slicing device is disconnected, thereby preventing the wafer and the device from being damaged by the disconnected diamond wire. In addition, it is possible to ensure the ease of design and manufacture by not interfering with the wire slicing device in a configuration for detecting whether or not the wire is disconnected, and to minimize the measurement error even with the inflow of cutting oil or the like, have.

도 1은 본 발명이 설치되는 종래의 와이어 슬라이싱 장치를 도시한 우측면 사시도이다.
도 2는 본 발명이 설치되는 종래의 와이어 슬라이싱 장치를 도시한 좌측면 사시도이다.
도 3은 본 발명이 설치되는 종래의 와이어 슬라이싱 장치를 도시한 평면도이다.
도 4는 본 발명이 설치되는 종래의 와이어 슬라이싱 장치를 도시한 정면도이다.
도 5는 본 발명이 설치되는 종래의 와이어 슬라이싱 장치를 도시한 배면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 와이어 슬라이싱 장치의 단선 감지장치를 도시한 구성도이다.1 is a right side perspective view showing a conventional wire slicing apparatus in which the present invention is installed.
2 is a left side perspective view showing a conventional wire slicing apparatus in which the present invention is installed.
3 is a plan view showing a conventional wire slicing apparatus in which the present invention is installed.
4 is a front view showing a conventional wire slicing apparatus in which the present invention is installed.
5 is a rear view showing a conventional wire slicing apparatus in which the present invention is installed.
6 is a configuration diagram illustrating a wire break detecting apparatus for a wire slicing apparatus according to the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부된 도면은 본 발명의 예시적인 형태를 도시한 것으로, 이는 본 발명을 더욱 상세히 설명하기 위해 제공되는 것일 뿐, 이에 의해 본 발명의 기술적인 범위가 한정되는 것은 아니다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are included to provide a further understanding of the invention and are incorporated in and constitute a part of this application, illustrate embodiments of the invention and, together with the description, serve to explain the principles of the invention.

먼저, 이하에서는 본 발명이 설치되는 종래의 와이어 슬라이싱 장치에 대해, 도 1 내지 도 5를 참조하여 간략하게 설명한다.
First, a conventional wire slicing apparatus in which the present invention is installed will be briefly described below with reference to FIGS. 1 to 5. FIG.

본 발명이 설치되는 종래의 와이어 슬라이싱 장치(100)는 베이스 부재와, 상기 베이스 부재의 일측에 설치되어 인출용보빈에 권취된 커팅용 와이어를 동일한 장력으로 인출하는 커팅용 와이어 인출수단(110)과, 인출되는 커팅용 와이어의 장력을 자동으로 조절 가능하도록 하는 인출용 장력조절수단(120)과, 상기 베이스 부재의 상부에 설치되어 전후 방향으로 슬라이드 이동됨과 동시에 승강되는 승강수단(130)과, 상기 승강수단의 하부에 설치되어 인출되는 커팅용 와이어를 일정간격으로 권회시키면서 고속 이동시키는 절단수단(140)과, 상기 절단수단을 통하여 이동되는 커팅용 와이어를 권취용보빈에 권취하는 커팅용 와이어 권취수단(150)과, 상기 커팅용 와이어 인출수단, 장력조절수단, 승강수단, 절단수단 및 커팅용 와이어 권취수단을 제어하는 제어부를 포함하여 구성된다.
The conventional wire slicing apparatus 100 according to the present invention includes a base member, cutting wire pull-out means 110 installed at one side of the base member for pulling the cutting wire wound around the pull-out bobbin with the same tension, A lifting means (130) provided on the base member and slidable in the forward and backward direction and lifted and lowered, and a lifting means A cutting means (140) installed at a lower portion of the elevating means for moving the cutting wire to be drawn out at a predetermined interval while rotating the cutting wire at a predetermined interval; a cutting wire winding means for winding the cutting wire moved through the cutting means to the winding bobbin (150), a control for controlling the wire pulling means for cutting, the tension adjusting means, the elevating means, the cutting means and the cutting wire winding means It is configured to include a.

상기와 같이 구성되는 종래의 와이어 슬라이싱 장치(100)는 승강수단(130)에 고정된 잉곳(D)이 승강수단(130)에 의해 절단수단(140) 측으로 이송되면, 절단수단(140)에 의해 고속으로 이동되는 와이어(W)와 잉곳이 접촉하게 되고, 이에 의해 잉곳(D)을 균일한 두께로 절단하여 한번에 다수의 웨이퍼을 생산하게 된다.
In the conventional wire slicing apparatus 100 configured as described above, when the ingot D fixed to the elevating means 130 is transferred to the cutting means 140 side by the elevating means 130, the cutting means 140 The wire W moved at high speed is brought into contact with the ingot so that the ingot D is cut into a uniform thickness to produce a plurality of wafers at a time.

이하에서는, 본 발명에 따른 와이어 슬라이싱 장치의 단선 감지장치를, 도 6을 참조하여, 상세하게 설명한다.Hereinafter, a wire break detecting apparatus for a wire slicing apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to FIG.

도 6에 도시된 바와 같이 와이어 슬라이싱 장치의 단선 감지장치는 인출부 커플러(116)와 권취부 커플러(156) 사이에 절단수단(140)의 제1, 제2 절단용 스핀들(142,143)을 경유하되, 인출용 보빈(112)에서 인출되어 권취용 보빈(152)에서 권취되 는 와이어(W)를 통전시켜, 인출부 커플러 슬립링(12a)과 권취부 커플러 슬립링(12b)을 통해 센서(20)와 폐회로를 구성하도록 구비된다.As shown in FIG. 6, the wire breaking apparatus of the wire slicing apparatus includes first and second cutting spindles 142 and 143 of the cutting unit 140 between the take-off unit coupler 116 and the take-up unit coupler 156 A wire W drawn out from the drawing bobbin 112 and wound around the winding bobbin 152 is energized to connect the sensor 20 And a closed circuit.

와이어 슬라이싱 장치에 사용되는 다이아몬드 와이어는 도전성이 있으므로 직류전류를 도통시킬 수 있고, 이에 따라 와이어의 구동 경로의 종단을 폐회로로 구성하고 도통하는 전류를 감지하는 센서를 구비함으로써 단선 여부를 즉각 감지할 수 있다. 이 경우 도통하는 전류는 직류전원으로써 5V 전압으로 도통하되 부가되는 전류는 다이아몬드 와이어의 사양에 따라 조절될 수 있다.Since the diamond wire used in the wire slicing apparatus is conductive, a direct current can be conducted. Accordingly, since the end of the drive path of the wire is constituted by a closed circuit and a sensor for sensing the electric current is provided, have. In this case, the conducting current is a direct current, which is conducted to a voltage of 5V, but the added current can be adjusted according to the specification of the diamond wire.

한편, 단선 감지를 위한 센서는 인출부 커플러 슬립링(12a)과 권취부 커플러 슬립링(12b)을 통해 인출되는 별도의 선로 사이에 구비되며, 통상적으로 사용되는 전압 또는 전류를 감지하는 센서로 구성될 수 있는바 그에 대한 자세한 설명은 생략한다.On the other hand, the sensor for detecting the disconnection is provided between a lead line coupler slip ring 12a and a separate line drawn through the take-up line coupler slip ring 12b, and is constituted by a sensor for sensing a commonly used voltage or current A detailed description of what can be omitted is omitted.

또한, 상기 센서(20)는 필요에 따라 센서 제어부(21)와 연동함으로써 단선 신호를 감지함과 동시에 상기 센서제어부를 통해 구동 정지신호를 와이어 슬라이싱 장치(100)의 구동 제어부에 전송하도록 구성됨이 바람직하다.
In addition, the sensor 20 may be configured to detect a disconnection signal by interlocking with the sensor control unit 21 as necessary, and to transmit a driving stop signal to the driving control unit of the wire slicing apparatus 100 through the sensor control unit Do.

한편, 와이어 인출용 구동모터(113)와 와이어 권취용 구동모터(153)와 각개로 연동되는 상기 인출부 커플러(116)와 권출부 커플러(156)는 그 종단에 인출부 커플러 절연체(11a)와 권취부 커플러 절연체(11b)를 더 포함하여 구성됨이 바람직하다.The lead portion coupler 116 and the take-up portion coupler 156 interlocked with the wire drawing drive motor 113 and the wire winding drive motor 153 are connected to the lead portion coupler insulator 11a And a winding portion coupler insulator 11b.

상기 인출부 커플러 절연체(11a)와 권취부 커플러 절연체(11b)는 슬립링(12a,12b)을 통해 센서와 폐회로를 구성하되, 와이어 슬라이싱 장치의 본체 구성요소로 전류의 누설을 방지하여 단선 여부를 정밀하게 감시할 수 있도록 함과 동시에 와이어 슬라이싱 장치의 구성요소에 전류 또는 전압의 인가로 인한 간섭을 방지할 필요성이 있기 때문이다. 상기 절연체는 통상적인 수지 조성물을 포함하는 절연재로 구성될 수 있다.
The lead portion coupler insulator 11a and the take-up portion coupler insulator 11b constitute a sensor and a closed circuit through the slip rings 12a and 12b, and prevent leakage of current to the main constituent elements of the wire slicing device, This is because it is necessary to precisely monitor and prevent interference due to the application of current or voltage to the components of the wire slicing device. The insulator may be composed of an insulating material including a conventional resin composition.

한편, 상기 인출부 커플러(116)와 인출용 보빈(112) 사이에 구비된 인출부 스핀들 하우징의 외주면에는 인출부 스핀들 절연체(10a)를 구비하고, 상기 권취부 커플러(156)와 권취용 보빈(152) 사이에 구비된 권취부 스핀들 하우징 외주면에는 권취부 스핀들 절연체(10b)를 더 포함하여 구성된다.On the other hand, a lead spindle insulator 10a is provided on the outer peripheral surface of the lead spindle housing provided between the lead coupler 116 and the lead bobbin 112, and the take-up portion coupler 156 and the winding bobbin 152. The take-up spindle insulator 10b further includes a take-up spindle insulator 10b on the outer circumferential face of the spindle housing.

상기 인출부 및 권취부 스핀들 하우징의 외주면은 와이어 슬라이싱 장치(100)의 본체 프레임에 체결 고정되고, 그에 따라 통전되는 전류의 누설이 필연적으로 발생하므로 이룰 절연함으로써 와이어를 통해 도통하는 감지 전류의 경로를 폐회로로 구성할 수 있기 때문이다. 상기 절연체도 통상적인 수지 조성물을 포함하는 절연재로 구성될 수 있고, 스핀들 하우징의 외주면을 둘러싸는 커버 형태로 구성됨이 바람직하다.
Since the outer circumferential surface of the lead-out portion and the spindle housing of the take-up portion are fastened and fixed to the body frame of the wire slicing device 100 and leakage of electric current is inevitably caused thereby, the path of the sense current conducting through the wire is insulated It can be composed of closed circuits. The insulator may be formed of an insulating material including a conventional resin composition, and may be formed in the form of a cover surrounding the outer circumferential surface of the spindle housing.

본 발명에 따른 와이어 슬라이싱장치의 단선 감지장치는 상술한 바와 같이 인출부 커플러 및 권취부 커플러의 양단을 슬립링을 통해 와이어에 도통하는 전류를 센서에서 감지하도록 폐회로를 구성함과 동시에 와이어 슬라이싱 장치의 구성요소와의 간섭을 방지하고 감지 전류의 누설을 방지하도록 절연체를 더 포함함으로써 단선과 동시에 도통하는 전류의 변화를 감지함으로써 슬라이싱 장치의 구동을 즉각 정지할 수 있도록 한다.As described above, the single wire detecting device of the wire slicing apparatus according to the present invention is constituted such that a closed circuit is formed in the sensor to sense a current that conducts both ends of the take-off portion coupler and the take-up portion coupler to the wire through the slip ring, By further including an insulator to prevent interference with components and to prevent leakage of the sense current, it is possible to immediately stop the driving of the slicer by sensing a change in current that is conducted simultaneously with the disconnection.

다만, 슬라이싱 장치의 특성상 절삭유 등의 사용이 요구되고, 그에 따라 예기하지 않은 절삭유의 누유 등에 의해 감지장치를 도통하는 전류의 누설이 발생할 수 있다. 그러나 이 경우에도 단선과 달리 도통하는 전류량이 0으로 강하되지는 않으므로 설계시 그 감지 전류량의 센싱 한도를 입력 전류량의 60% 내지 80% 이내라면 정상적인 구동을 진행하도록 설계될 수 있다.
However, due to the characteristics of the slicer, it is required to use cutting oil or the like, and leakage of electric current through the sensing device due to unexpected leakage of cutting oil or the like may occur. However, even in this case, since the amount of current that flows in conduction is not reduced to 0, it can be designed to perform normal operation if the sensing limit of the amount of sensing current is within 60% to 80% of the input current amount.

본 실시 예 및 본 명세서에 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 명확하게 나타내고 있는 것에 불과하며, 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시 예는 모두 본 발명의 기술적인 사상의 범위에 포함되는 것은 자명하다.
It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description of the present invention are exemplary and explanatory and are intended to provide further explanation of the invention as claimed. It will be understood that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

100 : 와이어 슬라이싱 장치 110 : 커팅용 와이어 인출수단
112 : 인출용 보빈 113 : 와이어 인출용 구동모터
116 : 인출부 커플러
120 : 인출용 장력조절수단 130 : 승강수단
140 : 절단수단 142, 143 : 제1, 제2 절단용 스핀들
150 : 커팅용 와이어 권취수단 152 : 권취용 보빈
153 : 와이어 권취용 구동모터 156 : 권취부 커플러
10a : 인출부 스핀들 절연체 10b : 권취부 스핀들 절연체
11a : 인출부 커플러 절연체 11b : 권취부 커플러 절연체
12a : 인출부 커플러 슬립링 12b : 권취부 커플러 슬립링
20 : 센서 21 : 센서 제어부100: wire slicing device 110: wire pulling means for cutting
112: Draw-out bobbin 113: Draw-out drive motor
116: outlet coupler
120: pulling tension adjusting means 130: elevating means
140: cutting means 142, 143: first and second cutting spindles
150: Cutting wire winding means 152: Winding bobbin
153: a wire winding drive motor 156: a winding portion coupler
10a: Lead spindle insulator 10b: Winding spindle insulator
11a: lead-out coupler insulator 11b: take-up portion coupler insulator
12a: Coupler slip ring of the take-off part 12b: Slip ring of the take-up part coupler
20: sensor 21: sensor control unit

Claims (4)

베이스 부재와, 상기 베이스 부재의 일측에 설치되어 인출용보빈에 권취된 커팅용 와이어를 동일한 장력으로 인출하는 커팅용 와이어 인출수단과, 인출되는 커팅용 와이어의 장력을 자동으로 조절 가능하도록 하는 인출용 장력조절수단과, 상기 베이스 부재의 상부에 설치되어 전후 방향으로 슬라이드 이동됨과 동시에 승강되는 승강수단과, 상기 승강수단의 하부에 설치되어 인출되는 커팅용 와이어를 일정간격으로 권회시키면서 고속 이동시키는 절단수단과, 상기 절단수단을 통하여 이동되는 커팅용 와이어를 권취용보빈에 권취하는 커팅용 와이어 권취수단과, 상기 커팅용 와이어 인출수단, 장력조절수단, 승강수단, 절단수단 및 커팅용 와이어 권취수단을 제어하는 제어부를 포함하는 와이어 슬라이싱장치의 단선 감지장치로서,
인출부 커플러와 권취부 커플러 사이에 절단수단의 제1, 제2 절단용 스핀들을 경유하되, 인출용 보빈에서 인출되어 권취용 보빈에서 권취되는 와이어(W)를 통전시켜, 인출부 커플러 슬립링과 권취부 커플러 슬립링을 통해 센서와 폐회로를 구성하도록 구비됨을 특징으로 하는 와이어 슬라이싱장치의 단선 감지장치.
A wire pulling means for cutting which is provided at one side of the base member and pulls the cutting wire wound around the pulling bobbin with the same tension; a pulling out means for pulling out the pulling wire, A lifting means provided at an upper portion of the base member and being slidably moved up and down at the same time as being lifted up and down; a cutting means installed at a lower portion of the lifting means for moving the cutting wire at a predetermined interval, A cutting wire pulling means for winding the cutting wire that is moved through the cutting means to the winding bobbin, and a control means for controlling the cutting wire pulling means, the tension adjusting means, the elevating means, the cutting means, And a controller for controlling the wire slicing device,
A wire (W) taken out from the drawing bobbin and wound around the winding bobbin is passed through the first and second cutting spindles of the cutting means between the take-off portion coupler and the take-up portion coupler, And wherein the winding slider is configured to form a sensor and a closed circuit through a winding part coupler slip ring.
제 1항에 있어서,
와이어 인출용 구동모터와 와이어 권취용 구동모터와 각개로 연동되는 상기 인출부 커플러와 권출부 커플러는 그 종단에 인출부 커플러 절연체와 권취부 커플러 절연체를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 와이어 슬라이싱장치의 단선 감지장치.
The method according to claim 1,
Wherein the pull-out portion coupler and the pull-out portion coupler individually interlocked with the wire drawing pull-out drive motor and the wire pulling pull-out drive motor further comprise a lead portion coupler insulator and a take-up portion coupler insulator at the end thereof. Disconnection detection device.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 인출부 커플러와 인출용 보빈 사이에 구비된 인출부 스핀들 하우징의 외주면에는 인출부 스핀들 절연체를 구비하고, 상기 권취부 커플러와 권취용 보빈 사이에 구비된 권취부 스핀들 하우징 외주면에는 권취부 스핀들 절연체를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 와이어 슬라이싱장치의 단선 감지장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
A take-up spindle insulator is provided on the outer circumferential surface of the take-out spindle housing provided between the take-out portion coupler and the take-out bobbin, and a take-up spindle insulator is provided on the outer circumferential face of the take-up spindle housing provided between the take- Wherein the wire-slicing device further comprises:
제 1항에 있어서,
상기 센서는 그 감지 전류량의 센싱 한도를 입력 전류량의 60% 내지 80% 이내에서 정상구동으로 진행하도록 구성됨을 특징으로 하는 와이어 슬라이싱장치의 단선 감지장치.




The method according to claim 1,
Wherein the sensor is configured to advance the sensing limit of the sensing current amount to the normal driving within 60% to 80% of the input current amount.




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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101084966B1 (en) * 2011-01-31 2011-11-23 오성엘에스티(주) The sensing method of wire disconnection for the wire saw device

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