KR101573939B1 - Gate apparatus of processing solution tank - Google Patents

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KR101573939B1
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데츠로 우에무라
가즈야 미요시
다다아키 나라다
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우에무라 고교 가부시키가이샤
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
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Abstract

장기간, 밀봉성을 높게 유지하고, 구동 기구를 간소화하고, 또한, 처리액에 의한 구동 기구의 기능 저하를 방지할 수 있는 처리액 탱크의 게이트 장치를 제공한다. 판 형상 처리물이 통과 가능한 처리물 통과구(通過口)(88)를 개폐하는 가동 게이트 부재(93)와, 가동 게이트 부재(93)를, 처리물 통과구(88)를 닫는 폐쇄 위치와 처리물 통과구(88)를 여는 개방 위치와의 사이에서 위치 변경 가능하게 이동시키는 구동 기구(94)를 구비하고 있다. 구동 기구(94)는, 가동 게이트 부재(93)와 일체적으로 이동하는 슬라이드부(93a)와, 상기 슬라이드부(93a)의 이동 방향의 양측에 배치된 팽창 수축 가능한 1쌍의 튜브 부재(101, 102)를 구비하고 있다. 한쪽 튜브 부재(101)를 팽창시키는 동시에 다른 쪽의 튜브 부재(102)를 수축시킴으로써, 가동 게이트 부재(93)를 개방 위치에 이동시키고, 한쪽 튜브 부재(101)를 수축시키는 동시에 다른 쪽의 튜브 부재(102)를 팽창시킴으로써, 가동 게이트 부재(93)를 폐쇄 위치에 이동시킨다.Provided is a gate device for a treatment liquid tank capable of maintaining a high sealing property for a long period of time, simplifying a drive mechanism, and preventing deterioration of a drive mechanism by a treatment liquid. A movable gate member 93 for opening and closing a through-hole 88 through which the plate-shaped processed product can pass; and a movable gate member 93 for moving the movable gate member 93 in the closing position for closing the through- And an opening position for opening the water passage opening (88). The drive mechanism 94 includes a slide portion 93a which moves integrally with the movable gate member 93 and a pair of expandable and contractible tube members 101 arranged on both sides in the moving direction of the slide portion 93a And 102, respectively. The movable tube member 93 is moved to the open position and the one tube member 101 is contracted by expanding the one tube member 101 and contracting the other tube member 102, (102), thereby moving the movable gate member (93) to the closed position.

Description

처리액 탱크의 게이트 장치{GATE APPARATUS OF PROCESSING SOLUTION TANK}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a gate apparatus for a treatment liquid tank,

본 발명은, 전기 도금 장치 등과 같이, 도금액 등의 처리액을 저류 가능한 처리액 탱크에 설치되는 게이트 장치에 관한 것으로, 특히, 처리물 반송 장치에 의해 수직 상태로 유지된 판 형상 처리물을, 승강(昇降)시키는 일 없이 처리액 탱크 내에 반입하고, 또는 반출할 수 있는 처리물 통과구를 개폐 자유롭게 갖는 처리액 탱크의 게이트 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a gate device installed in a treatment liquid tank capable of storing a treatment liquid such as a plating solution, such as an electroplating device, and more particularly to a gate device that is vertically held by a treatment- To a processing liquid tank without bringing the processing liquid tank up and down, or to open and close a processing liquid passage opening that can be taken out.

처리액 탱크의 처리물 통과용 게이트 장치로서, 특허 문헌 1 및 2에 기재된 장치가 있다. 이것들의 게이트 장치는, 판 형상 처리물이 수직 자세로 통과 가능한 슬릿 형상의 처리물 통과구와, 그 처리물 통과구를 개폐하는 슬라이드 가능한 판 형상의 게이트판 부재를 구비하는 것과 더불어, 그 게이트 부재를 개방 위치와 폐쇄 위치와의 사이에서 이동시키기 위해서, 모터 및 감속 기어 기구를 갖는 기계적인 구동 기구를 구비하고 있다.As a gate device for passing through the treatment liquid tank, there is an apparatus described in Patent Documents 1 and 2. These gate devices include a slit-like processing-material passage through which the plate-like processed product can pass in a vertical posture, and a slidable plate-shaped gate plate member for opening and closing the through-hole, And a mechanical drive mechanism having a motor and a reduction gear mechanism for moving the motor between the open position and the closed position.

그러나, 상기 종래 기술에서는, 모터나 감속 기어 기구 등에서 기계적으로 게이트 부재를 구동하는 구동 기구에 비용이 필요하게 되고, 또한, 구동 기구가 처리액에 침지(浸漬)하는 것을 방지하기 위한 밀봉 구조도 복잡하게 된다.However, in the above-mentioned prior art, a cost is required for a drive mechanism for mechanically driving a gate member in a motor, a reduction gear mechanism, etc., and a sealing structure for preventing the drive mechanism from being immersed .

이것들의 종래 구조에 대하여, 본건 출원인은, 팽창 신축이 자유로운 포대 형상의 게이트 부재를 구비한 게이트 장치를 개발하고 있으며(특허 문헌 3), 이것에 의해, 게이트 부재 및 그 구동 기구의 구조를 간소화하고, 비용을 저감하는 것과 더불어, 처리액에 침지되는 것에 따른 문제를 해소하고 있다.With respect to these conventional structures, the applicant of the present application has developed a gate device having a bag-shaped gate member which is free to expand and contract (Patent Document 3), thereby simplifying the structure of the gate member and its drive mechanism , The cost is reduced and the problem of being immersed in the treatment liquid is solved.

(특허 문헌 1)(Patent Document 1)

일본국 특개2004-99957호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-99957

(특허 문헌 2)(Patent Document 2)

일본국 특개2002-327296호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-327296

(특허 문헌 3)(Patent Document 3)

일본국 특개2007-113066호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-113066

특허 문헌 3의 게이트 장치는, 포대 형상의 게이트 부재에 의해, 처리물 통과구를 직접 개폐하는 구성이며, 게다가, 포대 형상의 게이트 부재 일부의 측면을, 게이트 부재 지지 벽의 간극(間隙)으로부터 팽출(膨出)시켜서, 처리물 통과구를 개폐하도록 구성하고 있으므로, 게이트 장치의 개폐마다, 포대 형상의 게이트 부재가 상기 간극의 내면과 마찰하여, 그것이 게이트 부재의 수명을 저하시키는 원인으로 되어 있다. 또한, 포대 형상 게이트 부재끼리의 밀착으로 처리물 통과구를 폐쇄하고 있으므로, 장기간의 사용에 대하여, 처리물 통과구의 전장(全長)에 걸쳐서 밀봉 상태를 유지하는 것은 곤란하다.The gate device of Patent Document 3 is configured to directly open and close the through-hole through the gate member in the form of a bag, and furthermore, the side surface of a part of the gate member in the form of a bag is bulged out from the gap The gate member of the bag-shaped shape rubs against the inner surface of the gap every time the gate device is opened or closed, which causes the life of the gate member to deteriorate. In addition, since the process water passage port is closed by the close contact of the bag-shaped gate members, it is difficult to maintain the sealed state over the entire length of the through-hole for treatment for a long period of time.

본 발명의 목적은, 게이트 부재의 구동 기구로서, 팽창 수축 가능한 1쌍의 튜브 부재를 이용함으로써, 장기간, 밀봉성을 높게 유지하고, 구동 기구를 간소화하고, 또한, 처리액에 의한 구동 기구의 기능 저하를 방지할 수 있도록 하는 것이며, 비용을 저감하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a gate member which is capable of maintaining a high sealing property for a long period of time by using a pair of expandable and contractible tube members as a drive mechanism and simplifying a drive mechanism, So as to prevent degradation, and to reduce costs.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은, 판 형상 처리물이 통과 가능한 처리물 통과구를 갖는 처리액 탱크의 게이트 장치에 있어서, 상기 처리물 통과구를 닫는 폐쇄 위치와 상기 처리물 통과구를 여는 개방 위치와의 사이에서 위치 변경 가능한 가동(可動) 게이트 부재와, 상기 가동 게이트 부재를 폐쇄 위치와 개방 위치와의 사이에서 이동시키는 구동 기구를 구비하고, 상기 구동 기구는, 상기 가동 게이트 부재와 일체적으로 이동하는 슬라이드부와, 상기 슬라이드부의 이동 방향의 양측에 배치된 팽창 수축 가능한 1쌍의 튜브 부재를 구비하고, 한쪽 튜브 부재를 팽창시키는 동시에 다른 쪽의 튜브 부재를 수축시킴으로써, 상기 슬라이드부와 함께 가동 게이트 부재를 개방 위치에 이동시키고, 한쪽 튜브 부재를 수축시키는 동시에 다른 쪽의 튜브 부재를 팽창시킴으로써, 상기 슬라이드부와 함께 가동 게이트 부재를 폐쇄 위치에 이동시키도록, 구성되어 있다.In order to solve the above problems, the present invention provides a gate device for a treatment liquid tank having a through-hole through which a plate-like processed product can pass, comprising: a closed position for closing the through- And a drive mechanism for moving the movable gate member between a closed position and an open position, wherein the drive mechanism is configured to move the movable gate member integrally with the movable gate member And a pair of expandable and contractible tube members disposed on both sides in the moving direction of the slide portion, wherein one of the tube members is inflated and the other of the tube members is contracted, The movable gate member is moved to the open position, the one of the tube members is contracted while the other of the tube members And the movable gate member is moved to the closed position together with the slide portion by expanding the ash.

상기 구성에 의하면, 종래와 같이, 처리물을 수직 상태 또는 수평 상태로 유지하여, 처리물을 승강시키는 일 없이 침지 탱크에 도입 또는 반출할 수 있는 것은 물론, 가동 게이트 부재의 구동 기구를 간소화하고, 비용의 저감을 달성할 수 있다. 게다가, 구동 기구가 처리액에 침지되어도, 구동 기구의 기능 저하의 우려가 없다.According to the above-described structure, it is possible to keep the processed product in a vertical state or a horizontal state as in the prior art, so that the processed product can be introduced into or out of the immersion tank without lifting and lowering the processed product, The cost can be reduced. In addition, even if the drive mechanism is immersed in the treatment liquid, there is no possibility of the function of the drive mechanism deteriorating.

본 발명은, 상기 구성에 있어서, 바람직하게는, 상기 튜브 부재는, 탄성재(彈性材)로 되어 있다.According to the present invention, in the above configuration, preferably, the tube member is made of an elastic material.

상기 구성에 의하면, 공압(空壓) 등을 이용해서 양쪽 튜브 부재를 팽창 및 수축시키므로, 가동 양쪽 게이트 부재의 이동을 민속하게 실행할 수 있어, 개폐 제어의 응답성이 향상된다. 또한, 어떠한 원인에 의해, 개폐 도중에 게이트 부재가 정지하였을 경우, 만일 튜브 부재의 팽창 동작이 계속되고 있어도, 튜브 부재 자체의 탄성에 의해, 튜브 부재의 파손을 방지할 수 있다.According to the above arrangement, since the both tube members are expanded and contracted by using pneumatic pressure or the like, movement of both the movable and movable gate members can be carried out folkly, and the response of the opening and closing control is improved. In addition, even if the expansion operation of the tube member continues, the tube member can be prevented from being damaged by the elasticity of the tube member itself when the gate member is stopped during opening and closing for some reason.

본 발명은, 상기 구성에 있어서, 상기 게이트 부재 및 상기 구동 기구를 지지하는 게이트 장치 본체는, 상기 처리액 탱크의 세로 벽에, 착탈(着脫)이 자유롭 게 부착되어 있다.According to the present invention, in the above arrangement, the gate apparatus main body for supporting the gate member and the drive mechanism is attached to the vertical wall of the treatment liquid tank in a detachable manner.

상기 구성에 의하면, 처리액 탱크로부터 게이트 장치를 떼어냄으로써, 게이트 장치의 보수 정비 및 청소를 용이하게 실행할 수 있다. 또한, 게이트 장치를, 처리물의 형상에 맞춘 규격의 것으로, 교환할 수도 있다.According to the above arrangement, maintenance of the gate apparatus and maintenance can be easily performed by removing the gate apparatus from the treatment liquid tank. Further, the gate device may be replaced with a standard that conforms to the shape of the processed product.

본 발명은, 상기 착탈이 자유로운 게이트 장치 본체를 구비한 구성에 있어서, 상기 세로 벽에는, 게이트 장치 본체 부착용의 상부 개방 오목부를 형성하고, 상기 게이트 장치 본체에는, 처리물 반송 방향과 직교하는 방향의 양단(兩端) 가장자리에, 상하 방향에 연장하는 줄기 형상의 끼워 맞춤 홈을 구비하고, 상기 끼워 맞춤 홈을 상기 오목부의 내단(內端) 가장자리에 걸려, 게이트 장치 본체를 위쪽으로부터 오목부에 끼워 넣음으로써, 게이트 장치 본체를 세로 벽에 부착하고 있다.The vertical wall is provided with a top opening concave portion for attaching the gate device main body. The gate device main body is provided with a plurality of openings in the direction perpendicular to the processing- And the fitting groove is engaged with the inner end edge of the recess so that the gate device main body is sandwiched from the upper side to the recessed portion The gate device body is attached to the vertical wall.

상기 구성에 의하면, 처리액 탱크에 대하여, 위쪽으로부터 게이트 장치를 간단히 착탈할 수 있다.According to the above configuration, the gate device can be easily attached to and detached from the process liquid tank from above.

처리액 탱크에 있어서, 장기간, 밀봉성을 높게 유지하고, 구동 기구를 간소화하여, 처리액에 의한 구동 기구의 기능 저하를 방지할 수 있으며, 비용을 저감할 수 있게 된다. It is possible to maintain the sealability of the treatment liquid tank at a high level for a long period of time and simplify the drive mechanism to prevent the deterioration of the function of the drive mechanism by the treatment liquid and to reduce the cost.

[제1실시형태][First Embodiment]

도 1∼도 16은, 본 발명에 관련한 게이트 장치를 구비한 액처리 탱크의 일례를 나타내며, 전기 도금 장치에 적용한 예이다.Figs. 1 to 16 illustrate an example of a liquid processing tank having a gate device according to the present invention, and are examples applied to an electroplating apparatus. Fig.

(도금 장치 전체의 개략)(Overview of the entire plating apparatus)

도 1은 전기 도금 장치 전체의 평면도이며, 대강 타원 형상으로 구성된 도금 처리 라인(line) 위에는, 처리 라인의 길이 방향의 일단부(一端部)(도 1의 오른쪽 단부)의 로드(load)부(10)로부터, 화살표 F 방향(시계 회전 방향)에, 전처리(前處理) 공정의 전처리 탱크(샤워 탱크(shower tank))(11), 공(空) 스테이지(12), 박스 탱크(13), 전기 도금 공정의 도금 탱크(14), 후처리 공정의 박스 탱크(15), 공 스테이지(16), 제1후처리 탱크(샤워 탱크)(17), 길이 방향의 타단부의 제2후처리 탱크(회수 탱크)(18), 언로드(unload)부(19), 박리(剝離) 공정(행거(hanger) 복귀 공정)의 공 스테이지(20), 박스 탱크(21), 박리 탱크(22), 박스 탱크(23), 공 스테이지(24) 및 박리 후처리 탱크(샤워실)(25)를 순차적으로 구비하고 있다. 침지(浸漬) 처리 탱크인 도금 탱크(14) 및 박리 탱크(22)의 처리물 반송 방향의 전후에는, 각각 박스 탱크(13, 15, 21, 23)가 인접하고 있으며, 박스 탱크(13, 21)의 출구는, 도금 탱크(14) 및 박리 탱크(22)의 입구를 겸하고 있고, 박스 탱크(15, 23)의 입구는 도금 탱크(14) 및 박리 탱크(22)의 출구를 겸하고 있다.Fig. 1 is a plan view of the entire electroplating apparatus. Fig. 1 is a plan view of an electroplating apparatus. Fig. 1 is a plan view of a plating process line composed of a generally elliptical shape, Pretreatment tank (shower tank) 11, empty stage 12, box tanks 13, and 13 in the direction of arrow F (clockwise rotation direction) The plating tank 14 of the electroplating process, the box tank 15 of the post-treatment process, the air stage 16, the first aftertreatment tank (shower tank) 17, the second aftertreatment tank (Collecting tank) 18, an unloading unit 19, a common stage 20 of a peeling process (hanger returning process), a box tank 21, a peeling tank 22, A tank 23, a hollow stage 24, and a post-separation treatment tank (shower chamber) 25 in this order. The box tanks 13, 15, 21, and 23 are adjacent to the front and back of the plating tank 14 and the peeling tank 22, which are the immersion treatment tanks, And the inlet of the box tanks 15 and 23 also serves as an outlet of the plating tank 14 and the separation tank 22. The outlet of the plating tank 14 and the separation tank 22 are also used as the outlet of the plating tank 14 and the separation tank 22,

상기 도금 처리 라인의 내주(內周) 측에 타원 형상으로 가이드 레일(guide rail)(27)이 부설되고, 그 가이드 레일(27)에는, 다수의 반송 행거(28)가 레일 길이 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다.A guide rail 27 is provided in an elliptical shape on the inner circumferential side of the plating processing line and a plurality of conveyance hanger 28 is movable in the longitudinal direction of the rail .

가이드 레일(27)의 내주 측에는, 반송 행거(28)를 수평 방향으로 이동시키기 위해서, 복수의 독립된 반송 장치(31, 32, …, 40)가 배치되어 있다. 상기 반송 장치(31, 32, …, 40) 중, 각각의 박스 탱크(13, 15, 21, 23)에 대응하는 위치에는, 리니어 액추에이터형 왕복 이동식의 취입 반송 장치(31, 32, 33, 34)가 각각 배치되어 있다. 전처리 공정의 전처리 탱크(11) 및 공 스테이지(12)에 대응하는 위치와, 도금 탱크(14)에 대응하는 위치와, 후처리 공정의 공 스테이지(16) 및 제1후처리 탱크(17)에 대응하는 위치와, 박리 공정의 공 스테이지(20)에 대응하는 위치와, 박리 탱크(22)에 대응하는 위치와, 공 스테이지(24) 및 박리 후처리 탱크(25)에 대응하는 위치에는, 각각 체인 컨베이어(chain conveyor)형의 연속 반송 장치(35, 36, 37, 38, 39, 40)가 배치되어 있다. 또한, 후처리 공정의 제1후처리 탱크(17)로부터 제2후처리 탱크(18)를 거쳐서 언로드부(19)에 이르는 사이와, 박리 후처리 탱크(25)로부터 로드부(10)를 거쳐서 전처리 탱크(11)에 이르는 사이에는, 도시하지 않지만 반송 행거를 밀어 움직이는 푸셔(pusher) 장치가 배치되어 있다. 도 1에 있어서, ２중 선(線)의 화살표로 나타내는 각각의 구간(A1∼A6)은, 체인 컨베이어형의 연속 반송 장치(35, 36, 37, 38, 39, 40)에 의한 반송 구간을 나타내고, 파선(破線)의 화살표로 나타내는 각각의 구간(B1∼B)은 리니어 액추에이터형의 취입 반송 장치(31, 32, 33, 34)에 의한 반송 구간을 나타내며, 실선(實線)으로 나타내는 구간(C1, C2, C3, C4)은, 푸셔 장치에 의한 반송 구간을 나타내고 있다.A plurality of independent transfer devices 31, 32, ..., 40 are disposed on the inner circumferential side of the guide rail 27 in order to move the transfer hanger 28 in the horizontal direction. At the positions corresponding to the respective box tanks 13, 15, 21 and 23 of the transfer devices 31, 32, ..., 40, there are provided linear actuator type reciprocating transfer devices 31, 32, 33 and 34 Respectively. A position corresponding to the pretreatment tank 11 and the empty stage 12 in the pretreatment process and a position corresponding to the plating tank 14 and a position corresponding to the position in the coagulation stage 16 and the first posttreatment tank 17 At positions corresponding to the corresponding positions, the positions corresponding to the common stage 20 of the peeling process, the positions corresponding to the peeling tank 22, and the positions corresponding to the blank stage 24 and the post-peeling treatment tank 25, Chain conveyor type continuous conveying devices 35, 36, 37, 38, 39, and 40 are disposed. It is also possible to control the flow rate of the water from the first aftertreatment tank 17 through the second aftertreatment tank 18 to the unloading section 19 and from the separation aftertreatment tank 25 via the rod section 10 A pusher device, not shown, for pushing the transfer hanger is disposed between the pretreatment tank 11 and the pretreatment tank 11. 1, each of the sections A1 to A6 indicated by double arrows indicates a conveying section of the chain conveyor type continuous conveying devices 35, 36, 37, 38, 39, And the sections B1 to B indicated by the broken line arrows represent conveying sections of the linear actuator type take-in conveying apparatuses 31, 32, 33 and 34. In the section shown by the solid line, (C1, C2, C3, C4) indicate the conveying section by the pusher apparatus.

도 2는, 도 1의 도금 탱크(14), 후처리 공정의 박스 탱크(15), 공 스테이지(16) 및 제1후처리 탱크(17)의 종단면 확대 약도이고, 이것들 도금 탱크(14), 박스 탱크(15), 공 스테이지 및 제1후처리 탱크(17)는, 일정 높이의 가대(架臺)(42) 상에 탑재되어 있으며, 가대(42) 내에는 예비 탱크(43)가 배치되어 있다. 박스 탱크(15)의 위쪽에는 도시하지 않는 가대를 통해서 소정 용적의 칼럼 탱크(47)가 배 치되어 있다.2 is an enlarged plan view of the plating tank 14 of FIG. 1, the box tanks 15 of the post-treatment process, the blank stage 16 and the first post-treatment tank 17, and these plating tanks 14, The box tank 15, the common stage and the first aftertreatment tank 17 are mounted on a platform 42 of a predetermined height and a reserve tank 43 is disposed in the platform 42 have. A column tank 47 of a predetermined volume is disposed above the box tank 15 through a base (not shown).

박스 탱크(15)의 밑바닥 벽에는, 개폐 가능한 배출구 마개(46)가 설치되어 있으며, 그 배출구 마개(46)에는, 그 배출구 마개(46)를 개폐 구동하기 위한 조작부(46a)가 설치되어 있다. 예비 탱크(43)와 칼럼 탱크(47)와의 사이에는 배관(48)이 설치되고, 그 배관(48)에는, 예비 탱크(43)로부터 칼럼 탱크(47)에 도금액(처리액)을 도입하기 위한 펌프(49) 및 필터(50)가 설치되어 있다. 칼럼 탱크(47)의 저부(底部)에는, 박스 탱크(15)에 위쪽으로부터 처리액을 공급 가능한 배출구 마개(51)가 개폐 가능하게 설치되어 있다.An opening stopper 46 is provided on the bottom wall of the box tank 15. An opening 46a for opening and closing the outlet stopper 46 is provided in the outlet stopper 46. [ A piping 48 is provided between the reserve tank 43 and the column tank 47 and a pipe 48 for introducing the plating liquid (processing liquid) from the reserve tank 43 to the column tank 47 A pump 49 and a filter 50 are provided. The bottom of the column tank 47 is provided with a discharge cap 51 capable of supplying the process liquid from above to the box tank 15 so as to be openable and closable.

예비 탱크(43)와 도금 탱크(14)의 사이에는 2개의 배관(55, 56)이 병설되어 있으며, 어느 쪽의 배관(55, 56)에도 예비 탱크(43)로부터 도금 탱크(14)에 도금액을 공급하기 위한 펌프(57, 59) 및 필터(58, 60)가 설치되어 있다. 한쪽 배관(55)은 박스 탱크(15)의 게이트가 개폐되었을 때에, 도금 탱크(14)의 액면을 소정의 높이로 유지하기 위한 것이고, 다른 쪽 배관(56)은 도금액 순환용이다. 또한, 공 스테이지(16)의 저부에는 예비 탱크(43)에 도금액을 배출하기 위한 배출 관(44)이 설치되고, 또한 도금 탱크(14)에는, 오버플로(overflow)하는 도금액을 예비 탱크(43)에 배출하기 위한 오버플로 관(61)도 설치되어 있다.Two pipes 55 and 56 are provided between the reserve tank 43 and the plating tank 14 and the plating tank 14 is connected to the plating tank 14 through the preliminary tank 43, (57, 59) and filters (58, 60) are provided for supplying the exhaust gas. The one pipe 55 is for maintaining the liquid surface of the plating tank 14 at a predetermined height when the gate of the box tank 15 is opened and closed and the other pipe 56 is for circulating the plating liquid. A drain pipe 44 for discharging the plating liquid is provided in the reserve tank 43 at the bottom of the hole stage 16 and a plating liquid overflowing to the plating tank 14 is supplied to the reserve tank 43 The overflow pipe 61 is also provided.

(반송 행거)(Return hanger)

도 3은 반송 행거(28)의 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 단면 확대도이며, 반송 행거(28)는, 상기 가이드 레일(27)에 가이드 레일 길이 방향 이동이 자유롭게 지지된 이동 기대(基臺)(63)와, 그 이동 기대(63)로부터 가이드 레일(27)과 대략 직각 방향에 수 평으로 연장하는 암(arm)부(64)와, 그 암부(64)의 선단부로부터 아래쪽으로 연장하는 처리물 수하부(65)로서 구성되어 있으며, 처리물 수하부(65)의 하단부에는, 수하 핀(66) 및 클램프(67)가 설치되어 있다. 상기 수하 핀(66)에 처리물(예를 들면 회로용 기판)(W)의 상단부의 걸림 구멍을 걸어서, 클램프(67)에 의해 탈락 불가능하게 유지하도록 되어 있다. 매달린 처리물(W)은, 수하부(65) 및 도시하지 않지만 적당한 도전(導電) 기구를 통해서 가이드 레일(27)에 전기적으로 접속되어 있으며, 가이드 레일(27)로부터 전기가 공급되도록 되어 있다. 이동 기대(63)의 상면에는, 암부(64)와 반대 방향에 수평으로 연장하는 지축(70)이 고착되고, 그 지축(70)에는, 스프로킷(71)이 원웨이(one way) 클러치(72)를 통해서 1 방향에만 회전하도록 지지되어 있다. 구체적으로는, 도 2에 있어서, 상기 스프로킷(71)은, 화살표 R 방향에는 회전하지만, 화살표 R 반대 방향에는 회전하지 않도록 구성되어 있다.3 is an enlarged sectional view taken along the line III-III in Fig. 2 of the transport hanger 28. The transport hanger 28 is provided with a movable base 27 An arm portion 64 extending horizontally from the moving base 63 in the direction substantially perpendicular to the guide rail 27 and a processing portion 63 extending downward from the front end portion of the arm portion 64. [ And a lower pin 65 and a lower pin 66 and a clamp 67 are provided at the lower end of the lower portion 65 of the treated water. The upper end of the processing object (circuit board, for example) W is hooked on the lower pin 66 so as to be held by the clamp 67 in a non-detachable manner. The suspended object W is electrically connected to the guide rail 27 through the water bottom 65 and an appropriate conductive mechanism (not shown), and electricity is supplied from the guide rail 27. A spindle 70 extending horizontally in the direction opposite to the arm portion 64 is secured to the upper surface of the moving base 63. A sprocket 71 is connected to the one way clutch 72 To rotate only in one direction. Specifically, in Fig. 2, the sprocket 71 rotates in the direction of the arrow R but does not rotate in the direction opposite to the direction of the arrow R.

(반송 장치)(Conveying device)

도 2에 있어서, 체인 컨베이어형의 연속 반송 장치(36, 37)는, 구동 스프로킷(73)과, 종동(從動) 스프로킷(74)과, 양쪽 스프로킷(73, 74) 사이에 감아 걸린 반송 체인(75)(도 3)으로서 구성되어 있으며, 반송 체인(75)의 위쪽 주행 부분에, 상기 반송 행거(28)의 스프로킷(71)이 걸리도록 되어 있다. 반송 행거(28)는, 전술한 바와 같이, 원웨이 클러치(72)(도 3)를 구비하고 있는 것에 의해, 반송 체인(75)에 걸린 상태에서, 도 2의 화살표 F 방향에 반송 체인(75)의 위쪽 부분과 함께 이동하도록 되어 있다.2, the continuous conveying apparatuses 36 and 37 of the chain conveyor type are provided with a drive sprocket 73, a follower sprocket 74, and a conveying chain (Fig. 3), and a sprocket 71 of the carrying hanger 28 is hooked to an upper running portion of the carrying chain 75. [ The transfer hanger 28 is provided with the one-way clutch 72 (Fig. 3) as described above. Thus, when the transfer hanger 28 is in the engaged state with the transfer chain 75, As shown in Fig.

도 2에 있어서, 리니어 액추에이터형의 취입 반송 장치(32)는, 가이드 레 일(27)과 병행으로 배치된 가이드부(76)에, 슬라이더(77)가, 가이드 레일(27)과 평행으로 이동 가능하게 지지되어 있으며, 그 슬라이더(77)는, 도시하지 않지만 가이드부(76)에 구비된 나사 이송 기구 및 서보 모터 등에 의해, 가이드부(76)를 왕복 이동하도록 되어 있다.2, in the take-in and carry-over device 32 of the linear actuator type, the slider 77 is moved in parallel with the guide rail 27 to the guide portion 76 arranged in parallel with the guide rail 27 And the slider 77 reciprocates the guide portion 76 by a screw feed mechanism and a servo motor provided on the guide portion 76 although not shown.

도 4는 도 2의 IV-IV 단면 확대도이며, 상기 슬라이더(77)에는, 반송 행거(28) 측에 대략 수평으로 연장하는 지축(78)이 고착되어 있고, 그 지축(78)에는 아래쪽으로 연장하는 취입 클로(claw)(79)가 지축(78) 주위로 회전 이동 가능하게 지지되어 있다. 상기 취입 클로(79)는, 도시하지 않는 스토퍼(stopper)에 의해, 도 2에 나타내는 상태에서, 화살표 S 방향 반대 측에서 걸려져 있으며, 반송 행거(28)의 지축(70)에 화살표 F 방향 반대 측에서 걸리고, 슬라이더(77)의 화살표 F 방향에의 이동에 의해, 취입 클로(79)를 통해서 반송 행거(28)를 화살표 F 방향으로 이동시키게 되어 있다. 또한, 슬라이더(77)가 반송 행거(28)에 대하여 화살표 F 방향 반대 측으로 이동할 때에는, 취입 클로(79)는, 화살표 S 방향으로 회전 이동해서 반송 행거(28)의 지축(78)을 타고 넘도록 되어 있다.Fig. 4 is an enlarged sectional view taken along the line IV-IV of Fig. 2. An axle 78 extending substantially horizontally is fixed to the transport hanger 28 side of the slider 77, An extending blow claw 79 is rotatably supported around the support shaft 78. The blowing claw 79 is hooked by a stopper (not shown) on the side opposite to the direction of arrow S in the state shown in Fig. 2, And the transfer hanger 28 is moved in the direction of arrow F through the blowing claw 79 by the movement of the slider 77 in the direction of arrow F. [ When the slider 77 moves to the side opposite to the direction of the arrow F with respect to the carrying hanger 28, the blowing claw 79 rotates in the direction of the arrow S and rides over the supporting shaft 78 of the conveying hanger 28 have.

(게이트 장치)(Gate device)

도 5는, 후처리 공정의 박스 탱크(15) 및 그 전후의 도금 탱크(14) 및 공 스테이지(16)의 평면 확대도이며, 상기 박스 탱크(15)에는, 화살표 F 방향(처리물 반송 방향)과 직교하는 방향에 소정의 간격을 두고, 좌우 1쌍의 박스부(15a)가 배치되어, 좌우의 박스부(15a) 사이를, 처리물(W)이 통과하도록 되어 있다. 도금 탱크(14)와 박스 탱크(15)와의 사이의 세로 벽(82), 및 박스 탱크(15)와 공 스테이 지(16)와의 사이의 세로 벽(83)에, 게이트 장치(84, 85)가 각각 설치되어 있다. 박스부(15a)를 구비함으로써, 박스 탱크(15)에 공급되는 액량이 적어지고, 게이트 장치(84)를 개폐하였을 때의 도금액의 변동을 적게 할 수 있는 동시에, 박스 탱크(15)에 공급된 도금액의 배출 시간을 단축할 수 있다.5 is a plan enlarged view of the box tank 15 and the plating tanks 14 and 16 before and after the post-treatment process. In the box tank 15, A pair of right and left box portions 15a are disposed at predetermined intervals in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the box portion 15a so that the processed product W passes between the right and left box portions 15a. The vertical walls 82 between the plating tank 14 and the box tanks 15 and the vertical walls 83 between the box tanks 15 and the air stays 16 are provided with gate devices 84, Respectively. The amount of liquid supplied to the box tank 15 is reduced and the fluctuation of the plating liquid when the gate apparatus 84 is opened and closed can be reduced and the amount of the plating liquid supplied to the box tank 15 can be reduced. The discharge time of the plating liquid can be shortened.

도 6은 도 5의 VI-VI 단면 확대도, 도 7은 도 6의 게이트 장치(84)의 사시도, 도 8은 도 6의 게이트 장치(84)의 분해 사시도, 도 9는 도 6의 IX-IX 단면도, 도 10은 도 9의 X-X 단면도, 도 11은 도 10의 XI-XI 단면도이다. 또한, 설명의 형편상, 처리물 반송 방향 F를 「앞」, 그 역방향을 「뒤」, 처리물 반송 방향 F와 직교하는 수평 방향을 「좌우 방향」으로서, 이하에 설명한다. 도 6에 있어서, 박스 탱크(15)의 세로 벽(82)의 좌우 폭 중앙부에는, U자 형상의 게이트 장치 부착용 오목부(89)가 형성되어 있으며, 그 오목부(89)에, 고무 튜브제 패킹(타이곤(tigon) 튜브)(90)을 통하여, 게이트 장치(84)가 장착되어 있다. 그 게이트 장치(84)는, 좌우 폭의 중앙부에, 대략 수직인 슬릿 형상의 처리물 통과구(88)를 가지고 있다. 그 처리물 통과구(88)의 좌우 폭은, 판 형상 처리물(W)의 두께보다도 크고, 처리물 통과구(88)의 상단부에는, 반송 행거(28)의 수하부(65) 및 클램프(67)가 통과할 수 있도록, 상향으로 확장되는 역 삼각 형상의 확대부(88a)가 형성되어 있다. 게이트 부재(92, 93)의 재료로서는, 예를 들면 내식성 및 내구성이 큰 수지(樹脂) 등을 선택하는 것이 바람직하다.6 is an enlarged sectional view taken along line VI-VI in Fig. 5, Fig. 7 is a perspective view of the gate device 84 in Fig. 6, Fig. 8 is an exploded perspective view of the gate device 84 in Fig. 10 is a cross-sectional view taken along the line XX of Fig. 9, and Fig. 11 is a cross-sectional view taken along the line XI-XI of Fig. For convenience of explanation, the processed water conveying direction F will be described as "front", the reverse direction as "back", and the horizontal direction orthogonal to the processed water conveying direction F as "horizontal direction". 6, a concave portion 89 for attaching a U-shaped gate device is formed at the center of the vertical wall 82 of the box tank 15. The U- A gate device 84 is mounted through a packing (tigon tube) 90. The gate device 84 has a vertically slit-shaped treatment water passage opening 88 at the center of the left and right widths. The left and right widths of the processing water passage openings 88 are larger than the thickness of the plate-like processed products W and are formed at the upper end of the through- An enlarged portion 88a having an inverted triangular shape is formed so as to extend upwardly so as to allow the upper and lower plates 67 and 67 to pass therethrough. As the material of the gate members 92 and 93, for example, a resin (resin) having high corrosion resistance and high durability is preferably selected.

도 8에 있어서, 게이트 장치(84)는, 좌우의 기둥부(91a, 91b)에 의해 세로 길이 U자 형상으로 구성된 게이트 장치 본체(91)와, 그 U자 형상 게이트 장치 본 체(91)의 좌측 기둥부(91a)에 고정되는 스토퍼 부재(92)와, 게이트 장치 본체(91)의 좌측 기둥부(91b)에 좌우 방향으로 이동이 자유롭게 배치되는 가동 게이트 부재(93)와, 그 가동 게이트 부재(93)를 처리물 반송 방향 F의 양측에서 안내하는 가이드 플레이트(110) 및 가이드 케이스(111)와, 좌우의 기둥부(91a, 91b)를 처리물 반송 방향 F의 양측에서 협지해 연결하는 1쌍의 고정판(97)과, 상기 가동 게이트 부재(93)를 이동하기 위한 제1 및 제2튜브 부재(101, 102)를 갖는 구동 기구(94) 등을 구비하고 있다. 게이트 장치 본체(91)의 외주(外周) 면에는, 게이트 장치 본체 장착용의 부착 홈(106)이 형성되고, 또한, 좌우 기둥부(91a, 91b)의 상단에는, 게이트 장치 본체 고정용의 고정구(95)가 설치되어 있다. 스토퍼 부재(92), 가동 게이트 부재(93), 가이드 플레이트(110), 가이드 케이스(111), 튜브 부재(101), 및 튜브 부재(102)는 처리물 통과구(88)의 상하 방향의 대략 전장에 걸쳐 배치되어 있다. 좌측 기둥부(91a)와 우측 기둥부(91b)는 고정판(97)을 떼어냄으로써 양자를 분리할 수 있다. 우측 기둥부(91b)는 하부에서 왼쪽으로 연장하는 대략 직방체 형상의 교각체(91c)를 가지고 있으며, 이 교각체(91c)는 후방으로부터 보아서 L자 형상으로 형성되어 있다. 교각체(91c)의 좌단부는 좌측 기둥부(91a)의 하부에 맞닿는다. 가동 게이트 부재(93)는 단면이 구(矩) 형상의 슬라이드부(93a)와 판 형상의 게이트부(93b)에 의해 위쪽으로부터 보아서 L자 형상이 되도록 일체로 형성되어 있다. 게이트부(93b)는, 슬라이드부(93a)의 좌면 앞쪽에서 왼쪽을 향해서 돌출되게 설치되어 있다. 게이트부(93b)의 전후 폭은 슬라이드부(93a)의 전후 폭보다 작다.8, the gate device 84 includes a gate device main body 91 formed by left and right column portions 91a and 91b in a vertical U-shape, A stopper member 92 fixed to the left column portion 91a and a movable gate member 93 movably arranged in the left and right direction on the left column portion 91b of the gate apparatus main body 91, A guide plate 110 and a guide case 111 for guiding the processing object 93 on both sides in the process water conveying direction F and a pair of right and left column portions 91a and 91b A pair of fixing plates 97 and a driving mechanism 94 having first and second tube members 101 and 102 for moving the movable gate member 93 and the like. An attachment groove 106 for mounting the gate device main body is formed on the outer circumferential surface of the gate device main body 91. An upper end of the left and right post portions 91a, (Not shown). The stopper member 92, the movable gate member 93, the guide plate 110, the guide case 111, the tube member 101, and the tube member 102 are formed in a substantially vertical And is disposed over the entire field. The left column portion 91a and the right column portion 91b can be separated from each other by detaching the fixing plate 97. The right column portion 91b has a substantially rectangular parallelepiped 91c extending from the lower portion to the left. The column 91c is formed in an L shape as viewed from the rear. The left end portion of the bridge member 91c abuts the lower portion of the left column portion 91a. The movable gate member 93 is formed integrally with the slide portion 93a having a rectangular cross section and the plate-shaped gate portion 93b so as to have an L shape as viewed from above. The gate portion 93b is provided so as to protrude leftward from the seat front side of the slide portion 93a. The front-rear width of the gate portion 93b is smaller than the front-rear width of the slide portion 93a.

도 7에 있어서, 상기 게이트 장치 본체(91)의 부착 홈(106)을, 세로 벽(82) 의 상기 오목부(89)의 끝 가장자리에 끼워 맞추고, 게이트 장치 본체(91)를 위쪽으로부터 오목부(89) 내에 끼워 넣는다. 그리고, 좌우의 양쪽 고정구(95)를 볼트(95a)로 세로 벽(82)의 상면에 고정함으로써, 게이트 장치 본체(91)를 세로 벽(82)에 밀봉 상태로 부착한다. 스토퍼 부재(92)는, 판 형상체이며, 게이트부(93b)와 전후의 위치가 같아지도록 좌측 기둥부(91a)의 전면(前面)에 착탈 가능하게 고정되어 있다. 스토퍼 부재(92)의 선단부에는, 상하 방향의 대략 전장에 걸쳐서 패킹(108)이 부착되어 있다.7, the attachment groove 106 of the gate device body 91 is fitted to the end edge of the concave portion 89 of the vertical wall 82, and the gate device body 91 is inserted into the concave portion 89 from above, (89). The gate apparatus main body 91 is attached to the vertical wall 82 in a sealed state by fixing the left and right fasteners 95 to the upper surface of the vertical wall 82 with bolts 95a. The stopper member 92 is a plate-shaped body and is detachably fixed to the front surface of the left column portion 91a so that the front and rear positions thereof become the same as the gate portion 93b. A packing 108 is attached to the tip end portion of the stopper member 92 over substantially the entire length in the vertical direction.

상기 가이드 플레이트(110)는, 처리물 반송 방향 F에 직교하는 판 형상체이며, 우측 부분이 우측 기둥부(91b)의 전면에 착탈 가능하게 고정되고, 좌측 부분은 우측 기둥부(91b)보다도 좌측에 위치하고 있다. 가이드 케이스(111)는, 처리물 반송 방향 F에 직교하는 판 형상체인 후방 가이드부(111a)와, 처리물 반송 방향 F에 평행한 판 형상체인 좌측 가이드부(111b)에 의해 위쪽으로부터 보아서 L자 형상으로 형성되고, 후방 가이드부(111a)의 우측 부분은, 우측 기둥부(91b)의 후면에 착탈 가능하게 고정되어 있으며, 후방 가이드부(111a)의 좌측 부분은 가이드 플레이트(110)의 좌측 부분과 동일한 좌우 위치에 배치되어 있다. 좌측 가이드부(111b)의 후단(後端)은 후방 가이드부(111a)의 좌단(左端)과 일체로 형성되고, 좌측 가이드부(111b)의 전단(前端)은 상기 가이드 플레이트(110)의 좌단과의 사이에 일정한 간극 T를 두어서 배치되어 있다.The guide plate 110 is a plate-like body orthogonal to the processed water conveying direction F. The right portion is detachably fixed to the front surface of the right column portion 91b. The left portion of the guide plate 110 is located on the left side of the right column portion 91b . The guide case 111 is formed by a rear guide portion 111a in the form of a plate orthogonal to the process water conveying direction F and a left guide portion 111b in the form of a plate parallel to the process water conveying direction F, And the right side portion of the rear guide portion 111a is detachably fixed to the rear surface of the right side post 91b and the left side portion of the rear guide portion 111a is connected to the left side portion of the guide plate 110 As shown in Fig. The rear end of the left guide part 111b is formed integrally with the left end of the rear guide part 111a and the front end of the left guide part 111b is formed integrally with the left end And a constant clearance T is placed between them.

(구동 기구(94)의 상세 구조)(Detailed Structure of Drive Mechanism 94)

도 9에 있어서, 후방 가이드부(111a)의 전면(前面), 좌측 가이드부(111b)의 우면(右面), 가이드 플레이트(110)의 후면(後面), 우측 기둥부(91b)의 좌면(左面), 및 교각체(91c)의 상면으로 둘러싸인 튜브 수납실(124) 내에는, 슬라이드부(93a)가 좌우 방향 이동이 자유롭게 수납되어 있다. 슬라이드부(93a)의 전후 폭은, 튜브 수납실(124) 내의 전후 폭보다 약간 작다. 게이트부(93b)는 상기 간극 T를 통과해서 튜브 수납실(124) 밖으로 돌출되어 있다. 게이트부(93b)의 전후 폭은, 상기 간극 T의 전후 폭보다 약간 작다. 후방 가이드부(111a)의 전면, 좌측 가이드부(111b)의 우면, 슬라이드부(93a)의 좌면, 게이트부(93b)의 후면, 및 교각체(91c)의 상면으로 둘러싸인 공간부(124a)에 상기 제1튜브 부재(101)가 수납되고, 후방 가이드부(111a)의 전면, 가이드 플레이트(110)의 후면, 슬라이드부(93a)의 우면, 우측 기둥부(91b)의 좌면, 및 교각체(91c)의 상면으로 둘러싸인 공간부(124b)에 상기 제2튜브 부재(102)가 수납되어 있다. 양쪽 튜브 부재(101, 102)는 탄성을 갖는 고무제 튜브이며, 내부에 공기를 압입(壓入)함으로써 팽창하고, 내부의 공기를 뺌으로써, 수축하도록 되어 있다.9, the front surface of the rear guide portion 111a, the right surface of the left guide portion 111b, the rear surface of the guide plate 110, the left surface of the right post 91b And the tube housing chamber 124 surrounded by the upper surface of the bridge body 91c, the slide portion 93a is freely movable in the left and right directions. The front and rear width of the slide portion 93a is slightly smaller than the front-back width in the tube storage chamber 124. [ The gate portion 93b protrudes outside the tube housing chamber 124 through the gap T. The front-rear width of the gate portion 93b is slightly smaller than the front-rear width of the gap T. The space portion 124a surrounded by the front surface of the rear guide portion 111a, the right surface of the left guide portion 111b, the left surface of the slide portion 93a, the rear surface of the gate portion 93b, The first tube member 101 is accommodated and the front surface of the rear guide portion 111a, the rear surface of the guide plate 110, the right surface of the slide portion 93a, the left surface of the right post 91b, The second tube member 102 is accommodated in the space 124b surrounded by the upper surface of the first tube member 91c. Both of the tube members 101 and 102 are made of a rubber-made elastic tube, and expand by inflating air into the inside thereof to shrink the inside air.

도 10은, 도 9의 X-X 단면 확대도이며, 상하 방향의 중간 부분을 생략해서 나타내고 있다. 이 도 10에 있어서, 각각의 튜브 부재(101, 102)의 하단부는, 아래쪽 고정구(99) 및 볼트(99a)에 의해, 우측 기둥부(91b)의 좌면 및 후방 가이드부(111b)의 우면에 각각 고정되는 동시에, 폐쇄되어 있다. 각각의 튜브 부재(101, 102)의 상단부는, 직방체 형상의 위쪽 고정구(98) 및 볼트(98a)에 의해, 우측 기둥부(91b)의 좌면 및 후방 가이드부(111b)의 우면에 각각 고정되는 동시에, 폐쇄되어 있지만, 각각의 튜브 부재(101, 102)의 상단 폐쇄부의 근방에는 각각 구멍(101a, 102a)이 열려 있으며, 이 구멍(101a, 102a)에, L자 형상의 수지제 또는 금속제의 이음새관(130)이 각각 삽입되어서, 접속되어 있다.Fig. 10 is an enlarged cross-sectional view taken along the line X-X in Fig. 9, omitting the middle portion in the vertical direction. 10, the lower end portions of the respective tube members 101 and 102 are fixed to the left side surface of the right column portion 91b and the right side surface of the rear guide portion 111b by the lower fixture 99 and the bolt 99a Respectively, and are closed. The upper end portions of the respective tube members 101 and 102 are fixed to the left side surface of the right column portion 91b and the right side surface of the rear guide portion 111b by the upper fixture 98 and the bolt 98a in the form of a rectangular parallelepiped Holes 101a and 102a are opened in the vicinity of the upper closed portion of each of the tube members 101 and 102 so that the L-shaped resin or metal And a joint pipe 130 are inserted and connected, respectively.

위쪽 고정구(98)에는, 상기 이음새관(130)을 고정하기 위한 홈부(98b)와, 이음새관(130)에 연통하는 공기 통로(131)가 형성되어 있으며, 공기 통로(131)는 위쪽 고정구(98)의 상면의 대략 중앙에서 내부에 이르기까지 형성되어, 에어 호스(air hose)를 통해서 에어 펌프(air pump)(132)에 각각 접속하고 있다. 홈부(98b)는 우측 기둥부(91b)의 좌면에 대향하는 면(또는 후방 가이드부(111b)의 우면에 대향하는 면)의 대략 중앙부로부터 하단(下端)에 이르기까지 형성되어 있다. 도 22에 나타낸 바와 같이, 공기 통로(131)와 홈부(98b)는 통로(98c)에 의해 연통되어 있다.The upper fixture 98 is provided with a groove 98b for fixing the joint pipe 130 and an air passage 131 communicating with the joint pipe 130. The air passage 131 is formed in the upper fixture 98 are connected to an air pump 132 through an air hose, respectively. The groove portion 98b is formed from a substantially central portion to a lower end of a surface of the right column portion 91b facing the seat surface (or a surface facing the right surface of the rear guide portion 111b). As shown in Fig. 22, the air passage 131 and the groove portion 98b are communicated with each other by the passage 98c.

도 11은, 도 10의 XI-XI 단면도이며, 제1튜브 부재(101)용의 이음새관(130)은, 단면이 구 형상으로 형성되고, 이음새관(130)의 수직부(130a)가 위쪽 고정구(98)의 홈부(98b)에 끼워 넣어져, 후방 가이드부(111b)의 우면에 눌러져 있다. 홈부(98b)의 깊이와 폭은 수직부(130a)의 외경보다 약간 크게 되도록 설정되어 있다. 도 10에 나타낸 바와 같이, 이음새관(130)의 수평부(130b)는 상기 통로(98c)를 지나서 공기 통로(131)에 연통하고 있다. 이음새관(130)은, 고정구(98)에 의해 눌려지는 힘에 저항하는 강도를 가지고 있으므로, 공기 통로(131)와 튜브 부재(101) 사이의 공기 통로로서 항상 안정된 기능을 발휘한다. 도 23에 나타낸 바와 같이, 수직부(130a)는 주위를 튜브 부재(101)로 피복된 상태에서 홈부(98b)에 끼워 맞추어져 있으므로, 수직부(130a)와 홈부(98b)의 간극(도 23 중에 사선으로서 나타내는 D1, D2)을 튜브 부재(101)가 폐쇄하여, 고정구(98)의 하면으로부터의 공기 누설을 방지하고 있다. 고정구(98)와 후방 가이드부(111b)는, 대항하는 면(도 23 중에 사선으로 나타내는 E1, E2)에 튜브 부재(101)를 끼워서 압착한 상태로 고정되어 있으므로, 고정구(98)와 후방 가이드부(111b)의 간극을 튜브 부재(101)가 폐쇄하여, 고정구(98)의 측면(후방 가이드부(111b)에 대항하는 면)으로부터의 공기 누설을 방지하고 있다. 이것에 의해 고정구(98)의 하면과 측면 양쪽의 공기 누설을 방지하고 있으며, 튜브 부재(101)의 상단부를 이음새관(130)으로 기밀 상태로 접속하는 동시에, 후방 가이드부(111b)에 고정하고 있다. 또한, 도 10에 나타내는 제2튜브 부재(102)도, 상기 제1튜브 부재(101)와 동일한 이음새관(130)에 접속되어서, 우측 기둥부(91b)에 고정되어 있다.10 is a cross-sectional view taken along the line XI-XI in FIG. 10, wherein the joint pipe 130 for the first tube member 101 is formed in a spherical shape in cross section, and the vertical portion 130a of the joint pipe 130 Is fitted in the groove portion 98b of the fixture 98 and pressed on the right side of the rear guide portion 111b. The depth and width of the groove portion 98b are set to be slightly larger than the outer diameter of the vertical portion 130a. 10, the horizontal portion 130b of the joint pipe 130 communicates with the air passage 131 through the passage 98c. The joint pipe 130 has a strength resistant to the force pressed by the fixture 98 and thus always exhibits a stable function as an air passage between the air passage 131 and the tube member 101. [ 23, the vertical portion 130a is fitted in the groove portion 98b in a state where the periphery thereof is covered with the tube member 101, so that the gap between the vertical portion 130a and the groove portion 98b D1 and D2 indicated by oblique lines are closed by the tube member 101 to prevent air leakage from the lower surface of the fixing member 98. [ The fixture 98 and the rear guide portion 111b are fixed in a state in which the fixture 98 and the rear guide portion 111b are press-fitted with the tube member 101 sandwiched between the opposing surfaces (E1 and E2 indicated by oblique lines in FIG. 23) The tube member 101 closes the gap of the portion 111b to prevent air leakage from the side surface of the fixture 98 (surface opposed to the rear guide portion 111b). The upper end of the tube member 101 is hermetically connected to the joint pipe 130 and fixed to the rear guide portion 111b have. The second tube member 102 shown in Fig. 10 is also connected to the same joint pipe 130 as the first tube member 101 and fixed to the right pillar portion 91b.

도 9에 있어서, 상기한 바와 같이 양쪽 튜브 부재(101, 102)로서 구성되는 구동 기구(94)는, 제1튜브 부재(101)에 압축 공기를 공급해서 제1튜브 부재(101)를 팽창시키는 동시에 제2튜브 부재(102) 내의 공기를 배출해서 제2튜브 부재(102)를 수축시키는 게이트 개방 상태와, 반대로, 제2튜브 부재(102)에 압축 공기를 공급해서 제2튜브 부재(102)를 팽창시키는 동시에 제1튜브 부재(101) 내의 공기를 배출해서 제1튜브 부재(101)를 수축시키는 게이트 폐쇄 상태로, 전환할 수 있도록 되어 있다.9, the drive mechanism 94 constituted as the two tube members 101 and 102 as described above supplies the compressed air to the first tube member 101 to expand the first tube member 101 The compressed air is supplied to the second tube member 102 to open the second tube member 102 and the second tube member 102 to discharge the air in the second tube member 102 to contract the second tube member 102, Closing state in which the air in the first tube member 101 is discharged and the first tube member 101 is contracted.

즉, 도 12는 개방 상태를 나타내는 도 9의 주요부의 확대도이며, 제1튜브 부재(101)에 공기를 압입해서 팽창시킴으로써 좌측 가이드부(111b)의 우면과 슬라이드부(93a)의 좌면과의 사이의 거리를 넓히고, 또한 제2튜브 부재(102)로부터 공기 를 배출해서 수축시킴으로써, 슬라이드부(93a) 및 게이트부(93b)를 일체적으로 개방 방향(우 방향) O로 이동시켜, 처리물 통과구(88)를 열 수 있다. 이 때, 공간부(124b) 내의 도금액 및 공기는, 슬라이드부(93a)의 동작에 의해 압축되어, 공간부(124b)의 상부, 하부, 가동 게이트 부재(93)와 가이드 플레이트(110)와의 사이의 간극, 및 후방 가이드부(111a)와 슬라이드부(93a)의 간극으로부터 배출된다. 한편, 도 13에 나타낸 바와 같이, 제2튜브 부재(102)에 공기를 압입해서 팽창시킴으로써 우측 기둥부(91b)의 좌면과 슬라이드부(93a)의 우면과의 사이의 거리를 넓히고, 또한 제1튜브 부재(101)로부터 공기를 배출해서 수축시킴으로써, 슬라이드부(93a) 및 게이트부(93b)를 일체적으로 폐쇄 방향(좌 방향) S로 이동시켜, 처리물 통과구(88)를 닫을 수 있다. 이 때, 공간부(124a) 내의 도금액 및 공기는, 슬라이드부(93a)의 동작에 의해 압축되어, 공간부(124a)의 상부, 하부, 가동 게이트 부재(93)와 가이드 플레이트(110)와의 사이의 간극, 및 좌측 가이드부(111b)와 게이트부(93b)의 간극으로부터 배출된다. 이 폐쇄 상태에서는, 게이트부(93b)의 끝 가장자리는, 스토퍼 부재(92)의 패킹(108)에 압접(壓接)하고 있다.9 is an enlarged view of the main part of Fig. 9 showing the opened state. The air is press-fitted into the first tube member 101 to expand the air, so that the right side surface of the left guide part 111b and the left side surface of the slide part 93a The slide portion 93a and the gate portion 93b are integrally moved in the opening direction (rightward direction) O by expanding the distance between the first tube member 102 and the second tube member 102, The through hole 88 can be opened. At this time, the plating liquid and the air in the space portion 124b are compressed by the action of the slide portion 93a, and the plating liquid and the air in the space portion 124b are compressed by the action of the slide portion 93a, And the gap between the rear guide portion 111a and the slide portion 93a. On the other hand, as shown in Fig. 13, by expanding the air by pushing the air into the second tube member 102, the distance between the seat surface of the right post 91b and the right side surface of the slide portion 93a is widened, The slide portion 93a and the gate portion 93b can be integrally moved in the closing direction (leftward direction) S by closing the process water passage opening 88 by discharging the air from the tube member 101 and shrinking it . At this time, the plating liquid and the air in the space 124a are compressed by the action of the slide portion 93a, and the plating liquid and the air in the space 124a are compressed by the action of the slide portion 93a, And the gap between the left guide part 111b and the gate part 93b. In this closed state, the end edge of the gate portion 93b is in pressure contact with the packing 108 of the stopper member 92.

제1 및 제2튜브 부재(101, 102)의 재질은, 상기와 같은 고무로 한정은 되지 않고, 수지라면 특히 제한은 없지만, 내약품성, 반복 신축하는 것을 견디어내는 내구성 등을 고려해서 결정하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 산성, 알카리성의 처리액을 저장하는 처리액 탱크에 이용할 경우는, EPDM, 4불화 에틸렌 수지, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 연질 염화 비닐, 천연 고무 등을 채용할 수 있다.The material of the first and second tube members 101 and 102 is not limited to the rubber as described above, and is not particularly limited as long as it is a resin, but it is determined in consideration of chemical resistance, durability to withstand repeated stretching and the like desirable. For example, EPDM, tetrafluoroethylene resin, polyethylene, polypropylene, soft vinyl chloride, natural rubber, and the like can be used when used in a treatment liquid tank storing an acidic or alkaline treatment liquid.

또한, 도 6에 있어서, 상기 고무 튜브제 패킹(108)도, 이음새관(140)을 통해 서 에어 펌프(141)에 접속되어 있어, 고무 튜브제 패킹(108)에 공기를 압입함으로써, 밀봉 성능을 발휘시킬 수 있다.6, the rubber tube packing 108 is also connected to the air pump 141 through the joint pipe 140 to press the air into the rubber tube packing 108, .

(작동의 설명)(Explanation of operation)

도금 처리 공정 및 그 후의 행거의 박리 공정 등은, 종래 공지되어 있이므로, 지극히 간단히 설명한다. 도 1에 있어서, 로드부(10)에서 도금 처리 전의 처리물(W)을 반송 행거(28)에 매달아 유지하고, 푸셔 장치에 의해 반송 행거(28) 및 처리물(W)을 전처리 탱크(11) 내까지 반송하고, 반송 행거(28)의 스프로킷(71)을 전처리 탱크(11)의 연속 반송 장치(35)의 반송 체인(75)의 시단부(始端部)에 걸리게 한다.Since the plating process and the subsequent peeling process of the hanger are conventionally known, they will be extremely briefly described. 1, the processing object W before the plating processing is suspended from the load hanger 10 by the transfer hanger 28 and the transfer hanger 28 and the processed object W are held by the pretreatment tank 11 So that the sprocket 71 of the conveying hanger 28 is hooked to the starting end of the conveying chain 75 of the continuous conveying device 35 of the pretreatment tank 11.

상기 연속 반송 장치(35)로부터, 화살표 F 방향에 순차적으로, 취입 반송 장치(31), 연속 반송 장치(36), 취입 반송 장치(32) 및 연속 반송 장치(37)에 의해 반송 행거(27)를 이동시킴으로써, 처리물(W)은, 전처리 탱크(11), 공 스테이지(12), 박스 탱크(13), 도금 탱크(14), 박스 탱크(15), 공 스테이지(16) 및 제1후처리 탱크(17)를 통과하고, 또는 소정의 처리 위치에서 소정 시간 정지하여, 전처리, 도금 처리 및 세정 등의 후처리가 실행된다. 도금 처리 완료 후의 처리물은, 도시하지 않는 푸셔 장치에 의해, 제2후처리 탱크(18)를 통해서 언로드부(19)까지 반송되어, 반송 행거(28)로부터 도금 처리 후의 처리물(W)이 떼어진다.The transfer hanger 27 is successively transferred from the continuous transfer device 35 to the transfer hanger 27 by the take-in transfer device 31, the continuous transfer device 36, the take-in transfer device 32 and the continuous transfer device 37, The processed product W is transferred to the pretreatment tank 11 through the pretreatment tank 11, the hollow stage 12, the box tank 13, the plating tank 14, the box tank 15, Passes through the treatment tank 17, or is stopped at a predetermined processing position for a predetermined time, and post treatment such as pretreatment, plating treatment, and cleaning is performed. The processed product after completion of the plating process is conveyed to the unloading section 19 through the second aftertreatment tank 18 by a pusher device not shown and the treated product W after the plating process is transferred from the transfer hanger 28 It is removed.

처리물(W)을 내린 후의 반송 행거(28)는, 이어서, 박리 공정의 공 스테이지(20)의 연속 반송 장치(38)의 체인 컨베이어(75)에 스프로킷(71)이 걸리게 해, 그 연속 반송 장치(38)로부터, 화살표 F 방향에 순서대로, 취입 반송 장치(33), 연 속 반송 장치(39), 취입 반송 장치(34) 및 연속 반송 장치(40)에 의해 이동되어, 부착물이 박리되고, 세정되어, 다시 로드부(10)에 복귀된다.The conveying hanger 28 after lowering the processed product W then takes the sprocket 71 to the chain conveyor 75 of the continuous conveying device 38 of the blank stage 20 in the peeling step, Is moved by the take-in conveying device 33, the continuous conveying device 39, the take-in conveying device 34 and the continuous conveying device 40 in order from the device 38 in the direction of the arrow F, , And is returned to the rod section (10) again.

상기 도금 처리에 있어서, 처리물(W)을, 예를 들면 도금 처리 공정의 도금 탱크(14)로부터 박스 탱크(15)에 수평 이동할 때, 또한, 박스 탱크(15)로부터 공 스테이지(16)에 수평 이동할 때 등에는, 도 12와 같이, 제1튜브 부재(101)를 팽창시키는 동시에 제2튜브 부재(102)를 수축시킴으로써, 가동 게이트 부재(93)를 개방 방향 0로 이동시켜, 처리물 통과구(88)를 연다. 이것에 의해, 처리물(W)은, 상승하는 일 없이, 처리물 통과구(88)를 통과한다. 처리물(W)이 처리물 통과구(88)를 통과해 종료하면, 도 13과 같이, 제2튜브 부재(102)를 팽창시키는 동시에 제1튜브 부재(92)를 수축시킴으로써, 가동 게이트 부재(93)를 폐쇄 방향(좌 방향) S로 이동시켜, 처리물 통과구(88)를 닫는다.When the processed product W is horizontally moved from the plating tank 14 of the plating process to the box tank 15 in the above plating process and further moved from the box tank 15 to the empty stage 16 12, the first tube member 101 is expanded and the second tube member 102 is contracted to move the movable gate member 93 in the opening direction 0, And opens the sphere 88. Thereby, the treated W passes through the treated water passage opening 88 without rising. 13, the second tube member 102 is expanded and the first tube member 92 is contracted, so that the movement of the movable gate member (not shown) 93) to the closing direction (the leftward direction) S, and closes the process water passage opening 88. [

[게이트 장치의 개폐를 이용한 처리물 반송의 일례][An example of conveying treated water by opening and closing a gate device]

도 14∼도 16은, 도금 탱크(14)와, 박스 탱크(15)와, 공 스테이지(16)와의 사이의 처리물(W)의 반송(이송)과, 게이트 장치(84, 85)의 개폐 동작과의 관련을 나타내고 있다. 또한, 게이트 장치(84, 85)가 개방 상태인 경우는 크로스 해칭(cross-hatching)을 실시하여 나타내고, 폐쇄 상태인 경우는 희게 하여서 나타내고 있다.Figs. 14 to 16 are schematic diagrams showing the transportation (transfer) of the wastewater W between the plating tank 14, the box tank 15 and the hollow stage 16, And the relationship with the operation. When the gate devices 84 and 85 are in an open state, they are shown by performing cross-hatching, and when they are closed, they are shown in a whitened state.

(1) 도 14에 있어서, 미리 박스 탱크(15) 내에는 도시하지 않는 칼럼 탱크로부터의 도금액이 공급되어 있다. 도금 탱크(14)와 박스 탱크(15)와의 사이의 게이트 장치(84)를 열고, 박스 탱크(15)와 공 스테이지(16)와의 사이의 게이트 장 치(85)는 닫아 두고, 도금 탱크(14) 내의 반송 행거(28) 중, 가장 박스 탱크(15) 측(화살표 F 방향 측)에 위치하는 반송 행거(가상 선으로 나타낸다)(28)의 지축(70)에, 취입 반송 장치(32)의 슬라이더(77)의 취입 클로(79)를 화살표 F 방향 반대 측에서 걸린다. 그리고, 슬라이더(77)를 화살표 F 방향으로 이동함으로써, 반송 행거(28)와 함께 처리물(W)을 화살표 F 방향으로 이동시켜, 게이트 장치(84)의 개구부(88)(도 6)를 통과시켜서 박스 탱크(15) 내까지 반송하고, 박스 탱크(15)에서 정지한다.(1) In Fig. 14, a plating liquid from a column tank (not shown) is supplied into the box tank 15 in advance. The gate device 84 between the plating tank 14 and the box tank 15 is opened and the gate device 85 between the box tank 15 and the empty stage 16 is closed and the plating tank 14 ) 28 of the transfer hanger 28 (indicated by the imaginary line) located on the side of the box tank 15 The take-up claw 79 of the slider 77 is hooked on the opposite side in the arrow F direction. 6) of the gate device 84 by moving the slider 77 in the direction of the arrow F so that the processed product W is moved in the direction of the arrow F together with the carrier hanger 28 And is transported to the inside of the box tank 15, and stopped at the box tank 15.

(2) 도 15에 있어서, 도금 탱크(14)와 박스 탱크(15)와의 사이의 게이트 장치(84)를 닫고, 박스 탱크(15) 내의 도금액을 배출한다.(2) In Fig. 15, the gate device 84 between the plating tank 14 and the box tank 15 is closed, and the plating liquid in the box tank 15 is discharged.

(3) 도 16에 있어서, 박스 탱크(15)와 공 스테이지(16)와의 사이의 게이트 장치(85)를 열고, 슬라이더(77)를 화살표 F 방향에 이동시킴으로써, 반송 행거(28)와 함께 처리물(W)을 화살표 F 방향으로 이동시켜, 게이트 장치(85)의 개구부(88)를 통과시켜서 공 스테이지(16) 내까지 반송한다. 그 후, 상기 게이트 장치(85)는 닫혀진다. 또한, 공 스테이지(16) 내에 반송된 반송 행거(28)는 연속 반송 장치(37)에 의해 반송된다.(3) By opening the gate device 85 between the box tank 15 and the hollow stage 16 and moving the slider 77 in the direction of the arrow F in FIG. 16, The water W is moved in the direction of the arrow F to pass through the opening 88 of the gate device 85 and is conveyed to the inside of the blank stage 16. [ Thereafter, the gate device 85 is closed. The conveying hanger 28 conveyed in the empty stage 16 is conveyed by the continuous conveying device 37.

(4) 공 스테이지(16) 내에 반송 행거(28)를 반송한 후, 슬라이더(77)는 화살표 F 반대 방향으로 이동하여, 도금 탱크(14)의 위쪽까지 복귀한다. 이 때, 슬라이더(77)의 취입 클로(79)는, 도금 탱크(14) 내의 다음 반송 행거(28)의 지축(70)을 타고 넘어, 화살표 F 방향 반대 측에서 상기 지축(70)에 걸린다.(4) After the carrier hanger 28 is transported in the air stage 16, the slider 77 moves in the direction opposite to the arrow F and returns to the upper side of the plating tank 14. At this time, the blowing claw 79 of the slider 77 rides over the supporting shaft 28 of the next carrying hanger 28 in the plating tank 14 and is hooked to the supporting shaft 70 on the opposite side in the direction of arrow F.

[실시형태의 효과][Effect of Embodiment]

(1) 스토퍼 부재(92)와 가동 게이트 부재(93)를 구비하여, 가동 게이트 부재(93)의 구동 기구(94)로서, 팽창 신축이 자유로운 1쌍의 제1 및 제2튜브 부재(101, 102)를 구비하고, 제1튜브 부재(101)를 팽창시키는 동시에 제2튜브 부재(102)를 수축시킴으로써, 가동 게이트 부재(93)를 개방 위치로 이동시키고, 제1튜브 부재(101)를 수축시키는 동시에 제2튜브 부재(102)를 팽창시킴으로써, 가동 튜브 부재(101)를 폐쇄 위치로 이동시키도록, 구성되어 있으므로, 모터나 감속 기어 기구 등의 기계적 구동 기구를 구비할 경우와 비교해서, 구동 기구(94)가 간소화되어, 비용의 저감을 달성할 수 있다. 게다가, 구동 기구(94)의 튜브 부재(101, 102)가 처리액에 침지되어도, 구동 기구의 기능 저하 우려가 없다. 실제의 장치로 테스트한 결과, 특허 문헌 3의 게이트 장치는 포대 형상의 게이트 부재의 수명이 1주간 정도이었던 것에 대해, 본 실시형태의 구동 기구(94)는 1개월의 수명을 달성하였다.(1) A stopper member 92 and a movable gate member 93 are provided and a pair of first and second tube members 101 and 102, which are capable of expanding and contracting, as a drive mechanism 94 of the movable gate member 93, The movable tube member 93 is moved to the open position and the first tube member 101 is retracted by contracting the second tube member 102 while expanding the first tube member 101, And the movable tube member 101 is moved to the closed position by expanding the second tube member 102 at the same time as the second tube member 102 is moved. Therefore, compared to the case where a mechanical driving mechanism such as a motor or a reduction gear mechanism is provided, The mechanism 94 is simplified, and cost reduction can be achieved. Moreover, even if the tube members 101 and 102 of the drive mechanism 94 are immersed in the treatment liquid, there is no risk of the function of the drive mechanism being deteriorated. As a result of the test with an actual device, the gate device of Patent Document 3 achieved a lifetime of one month, while the lifetime of the gate-shaped gate member was about one week.

(2) 공압 등을 이용해서 탄성재제의 양쪽 튜브 부재(101, 102)를 팽창 및 수축시키므로, 가동 양쪽 게이트 부재(93)의 이동을 민속하게 실행할 수 있어, 개폐 제어의 응답성이 향상된다. 또한, 어떠한 원인에 의해, 개폐 도중에 가동 게이트 부재(93)가 정지하였을 경우, 만일 튜브 부재(101 또는 102)의 팽창 동작이 계속되고 있어도, 튜브 부재 자체의 탄성에 의해, 튜브 부재의 파손을 방지할 수 있다.(2) Since both the tube members 101 and 102 of the elastic material are expanded and contracted by using pneumatic pressure or the like, movement of both the movable and movable gate members 93 can be carried out folkly, and the response of the opening and closing control is improved. Even if the expansion operation of the tube member 101 or 102 continues even if the movable gate member 93 stops during opening or closing for any reason, the elasticity of the tube member itself prevents the tube member from being damaged can do.

(3) 세로 벽(82)의 오목부(89)에 착탈이 자유로운 게이트 장치 본체(91)를 구비하고, 상기 게이트 장치 본체(91)의 좌우 양쪽 부분에, 상하 방향으로 연장하는 줄기 형상의 끼워 맞춤 홈(106)을 구비하여, 상기 끼워 맞춤 홈(106)을 상기 오 목부(89)의 내단(內端) 가장자리에 걸리고, 게이트 장치 본체(91)를 위쪽으로부터 오목부(89)에 끼워 넣음으로써, 게이트 장치 본체를 세로 벽(82)에 부착하고 있으므로, 처리액 탱크에 대하여, 게이트 장치를 간단히 착탈할 수 있다.(3) A gate device body 91 which can be attached to and detached from the concave portion 89 of the vertical wall 82 is provided on both left and right sides of the gate device body 91, The fitting groove 106 is fitted to the inner end edge of the pentagon 89 and the gate device body 91 is fitted into the recess 89 from above, , The gate device body is attached to the vertical wall 82, so that the gate device can be easily attached to and detached from the process liquid tank.

(4) 가이드 케이스(111), 가이드 플레이트(110), 및 스토퍼 부재(92)는 게이트 장치 본체(91)에 착탈할 수 있고, 또한 좌측 기둥부(91a)와 우측 기둥부(91b)를 분리할 수 있으므로, 튜브 부재(101, 102), 및 패킹(108)의 교환을 용이하게 할 수 있는 동시에 튜브 수납실(124) 내 등 각 부분의 세정도 확실하게 행할 수 있어, 도금 탱크(14)의 보수 정비성을 향상시킬 수 있다.(4) The guide case 111, the guide plate 110, and the stopper member 92 can be attached to and detached from the gate device body 91, and the left column portion 91a and the right column portion 91b can be separated from each other It is possible to facilitate the replacement of the tube members 101 and 102 and the packing 108 and at the same time to reliably clean the respective parts such as the inside of the tube storage chamber 124, The maintenance and repairability of the vehicle can be improved.

(5) 가동 게이트 부재(93)를 열 때에 튜브 부재(101)의 팽창에 의해 공간부(124a) 내의 처리액을 배출하고, 또한 공간부(124a) 내에 유입하는 처리액의 체적을 경감하므로, 다음 동작으로서 가동 게이트 부재(93)를 닫을 때에, 슬라이드부(93a)의 좌면에 대한 공간부(124a) 내의 처리액의 저항을 경감할 수 있어, 가동 게이트 부재(93)의 폐쇄 동작을 신속하고, 또한 원활하게 할 수 있다. 마찬가지로 튜브 부재(102)를 팽창시킴으로써, 가동 게이트 부재(93)의 개방 동작을 신속하고, 또한 원활하게 실행할 수 있다. 따라서, 개폐 동작이 신속해져, 처리물의 이동 시간을 단축할 수 있으므로, 도금 처리 장치의 처리물 생산량 증가에 공헌할 수 있다.(5) When the movable gate member 93 is opened, the processing liquid in the space portion 124a is discharged by the expansion of the tube member 101 and the volume of the processing liquid flowing into the space portion 124a is reduced, The resistance of the processing liquid in the space portion 124a with respect to the seat surface of the slide portion 93a can be reduced when the movable gate member 93 is closed as a next operation and the closing operation of the movable gate member 93 can be performed quickly , Can also smoothly. Similarly, by expanding the tube member 102, the opening operation of the movable gate member 93 can be performed quickly and smoothly. Therefore, the opening and closing operation becomes quick, and the moving time of the processed material can be shortened, which can contribute to an increase in the throughput of the plating apparatus.

(6) 가동 게이트 부재(93), 튜브 부재(102), 및 패킹(108)이 처리물 통과구(88)의 상하 방향의 대략 전장에 걸쳐 배치되어 있으며, 가동 게이트 부재(93)가 튜브 부재(102)의 팽창에 의해 상하 방향 전체에 균등하게 힘을 가한 상태에서 패 킹(108)과 압접(壓接)하기 때문에, 게이트 장치(84)의 액 밀봉성을 향상시킬 수 있다. 따라서, 도금 탱크(14)나 박스 탱크(15)로부터 유출하는 도금액이 적어짐으로, 유출한 도금액을 도금 탱크(14)에 복귀시키는 펌프(57)의 능력을 적게 할 수 있는 동시에, 도금액의 순환에 의한 액체 온도 변화가 적어지므로 온도 조절에 요하는 부하를 경감할 수 있다.(6) The movable gate member 93, the tube member 102, and the packing 108 are disposed over substantially the entire length in the vertical direction of the processing water passage opening 88, The liquid sealing performance of the gate device 84 can be improved because the gasket 102 is pressed against the packing 108 uniformly under the force in the entire vertical direction by the expansion of the gasket 102. Therefore, since the amount of the plating liquid flowing out of the plating tank 14 and the box tank 15 is reduced, the ability of the pump 57 to return the discharged plating liquid to the plating tank 14 can be reduced, So that the load required for temperature control can be reduced.

(7) 이음새관(130)을 튜브 부재(101)(또는 튜브 부재(102))에 삽입해 통과시킨 상태에서 고정부(98)의 홈부(98b)에 끼워, 후방 가이드부(111b)(또는 우측 기둥부(91b))에 눌러, 각각의 튜브 부재의 상단부를 이음새관(130)에 기밀 상태로 접속하는 동시에, 이음새관(130)에 의해 공기의 통로를 확보하고 있으므로, 각각의 튜브 부재에의 공기의 출입을 확실하게 해서 가동 게이트 부재(93)의 동작을 원활하게 할 수 있다. 또한, 작업자가 튜브 부재를 고정할 때에, 이음새관(130)을 튜브 부재에 뚫린 구멍의 표식으로 할 수 있어, 튜브 부재의 부착 작업을 간단히 행할 수 있다.(7) The joint pipe 130 is inserted into the tube member 101 (or the tube member 102) and is inserted into the groove portion 98b of the fixing portion 98, and the rear guide portion 111b The upper end of each of the tube members is hermetically connected to the joint pipe 130 and the air passage is secured by the joint pipe 130. Therefore, The operation of the movable gate member 93 can be smoothly performed. Further, when the worker fixes the tube member, the joint pipe 130 can be marked with a hole that is formed in the tube member, so that the work for attaching the tube member can be easily performed.

[제2실시형태][Second Embodiment]

도 17은, 제2실시형태이며, 가동 게이트 부재(93)만을 나타내고 있다. 가동 게이트 부재(93)는, 일체로 형성되어 있는 슬라이드부(93a)가 공동(空洞)으로 되어 있다. 즉, 슬라이드부(93a)의 상하 방향의 대략 전장에 걸쳐서 구멍 개방 가공하여, 가공된 공동부(140)의 상단 개구부를 뚜껑(141)으로 폐쇄하고 있다. 또한, 공동부(140)의 하단은 슬라이드부(93a)의 하단 부분으로 폐쇄되어 있다.Fig. 17 shows a second embodiment and shows only the movable gate member 93. Fig. The movable gate member 93 has a slide portion 93a integrally formed therein as a cavity. That is, the opening portion is pierced over the substantially entire length of the slide portion 93a in the vertical direction, and the upper opening of the processed hollow portion 140 is closed by the lid 141. [ The lower end of the cavity portion 140 is closed by the lower end portion of the slide portion 93a.

이와 같이, 슬라이드부(93a)를 공동화함으로써, 가동 게이트 부재(93)의 중 량의 경감을 도모하고, 또한 부력(浮力)을 효율적으로 이용할 수 있음으로써, 가동 게이트 부재(93)의 개폐 이동의 원활성을 향상시킬 수 있다. 가동 게이트 부재(93)의 개폐 이동의 원활성과 응답성을 향상시킬 수 있어, 개폐 이동을 신속하게 실행할 수 있다.As described above, by hollowing the slide portion 93a, the weight of the movable gate member 93 can be reduced and the buoyancy can be utilized efficiently, so that the opening / closing movement of the movable gate member 93 It is possible to improve the original activity. The smoothness of opening and closing movement of the movable gate member 93 and the responsiveness can be improved, and the opening and closing movement can be performed quickly.

[제3실시형태][Third embodiment]

도 18은, 제3실시형태이며, 게이트 장치(84)의 수평 단면도를 나타내고 있다. 본 실시형태의 게이트 장치(84)는 가이드 플레이트(110)에 대신해서 가이드 케이스(113)를 구비하고, 가동 게이트 부재(93)에 대신해서 가동 게이트 부재(151)를 구비하고 있다. 또한, 상기 구동 기구(94)에 대신하여, 제1튜브 부재(101a, 101b), 제2튜브 부재(102a, 102b)의 합계 4개의 튜브 부재를 갖추는 구동 기구(941)를 구비하고 있다. 상기의 부품은 모두 처리물 통과구(88)의 상하 방향의 대략 전장에 걸쳐 배치되어 있다. 그 밖의 구성은 전술한 제1실시형태와 마찬가지이며, 동일 또는 상당(相當) 부분에 동일한 부호를 첨부해서 설명을 생략한다. 가이드 케이스(113)는, 처리물 반송 방향 F에 직교하는 판 형상체인 전(前) 가이드부(113a)와, 처리물 반송 방향 F에 평행한 판 형상체인 좌 가이드부(113b)에 의해 위쪽으로부터 보아서 L자 형상으로 형성되어, 전 가이드부(113a)의 우측 부분은, 우측 기둥부(91b)의 전면(前面)에 착탈 가능하게 고정되어 있으며, 전 가이드부(113a)의 좌측 부분은 가이드 케이스(111)의 좌측 부분과 동일한 좌우 위치에 배치되어 있다. 좌 가이드부(113b) 전단(前端)은 전 가이드부(113a)의 좌단과 일체로 형성되고, 좌 가이드부(113b)의 후단(後端)은 상기 좌측 가이드부(111b) 전단과의 사이에 일정한 간극(U)을 두어서 배치되어 있다.18 is a horizontal cross-sectional view of the gate device 84 according to the third embodiment. The gate device 84 of the present embodiment includes a guide case 113 instead of the guide plate 110 and a movable gate member 151 in place of the movable gate member 93. The driving mechanism 941 includes four tube members in total including the first tube members 101a and 101b and the second tube members 102a and 102b in place of the drive mechanism 94. [ All of the above-described components are disposed over substantially the entire length in the vertical direction of the processing- The rest of the configuration is the same as that of the first embodiment described above, and the same or equivalent portions are denoted by the same reference numerals, and a description thereof will be omitted. The guide case 113 is provided with a front guide portion 113a which is a plate shape perpendicular to the process water conveying direction F and a left guide portion 113b which is a plate shape parallel to the process water conveying direction F The right portion of the front guide portion 113a is detachably fixed to the front surface of the right post 91b and the left portion of the front guide portion 113a is formed in an L- And is disposed at the same left and right position as the left side portion of the main body 111. The front end of the left guide portion 113b is formed integrally with the left end of the front guide portion 113a and the rear end of the left guide portion 113b is formed between the front end of the left guide portion 111b Are arranged with a certain gap (U) therebetween.

후방 가이드부(111a)의 전면, 좌측 가이드부(111b)의 우면, 전 가이드부(113a)의 후면, 좌 가이드부(113b)의 우면, 우측 기둥부(91b)의 좌면, 및 교각체(91c)의 상면으로 둘러싸인 튜브 수납실(124) 내에는, 상기 가동 게이트 부재(151)와 일체로 형성된 단면이 구 형상인 슬라이드부(151a)가, 좌우 방향 이동이 자유롭게 수납되어 있다.The rear surface of the front guide portion 113a, the right surface of the left guide portion 113b, the left surface of the right column portion 91b, and the rear surface of the bridge member 91c A slide portion 151a having a spherical cross section formed integrally with the movable gate member 151 is housed in the tube accommodating chamber 124 so as to be freely movable in the left and right direction.

가동 게이트 부재(151)는, 슬라이드부(151a)와 게이트부(151b)에 의해 위쪽으로부터 보아서 T자 형상이 되도록 일체로 형성되어 있다. 게이트부(151b)는 슬라이드부(151a)의 좌면 중앙으로부터 왼쪽을 향해서 돌출되어 있고, 게이트부(151b)의 전후 폭은 슬라이드부(151a)의 전후 폭보다 작다. 게이트부(151b)는 상기 간극(U)을 통과해서 튜브 수납실(124) 밖으로 돌출하고 있다. 게이트부(151b)의 전후 폭은, 상기 간극(U)의 전후 폭보다 약간 작다. 슬라이드부(151a)의 전후 폭은, 튜브 수납실(124) 내의 전후 폭보다 약간 작다. 후방 가이드부(111a)의 전면, 좌측 가이드부(111b)의 우면, 슬라이드부(151a)의 좌면, 게이트부(151b)의 후면, 및 교각체(91c)의 상면으로 둘러싸인 공간부(124a)에 상기 제1튜브 부재(101a)가 수납되고, 전 가이드부(113a)의 후면, 좌 가이드부(113b)의 우면, 슬라이드부(151a)의 좌면, 게이트부(151b)의 전면, 및 교각체(91c)의 상면으로 둘러싸인 공간부(124b)에 상기 제1튜브 부재(101b)가 수납되고, 후방 가이드부(111a)의 전면, 전 가이드부(113a)의 후면, 슬라이드부(151a)의 우면, 우측 기둥부(91b)의 좌면, 및 교각체(91c)의 상면으로 둘러싸인 공간부(124c)의 후측에 상기 제2튜브 부재(102a)가 수납되고, 앞쪽에 상기 제2튜브 부재(102b)가 수납되어 있다. 튜브 부재(101b)는 위쪽 고정구(98) 및 아래쪽 고정구(99)에 의해 좌 가이드부(113b)의 우면에 고정되고, 상기 제2튜브 부재(102a 및 102b)는 각각 위쪽 고정구(98) 및 아래쪽 고정구(99)에 의해 우측 기둥부(91b)의 좌면에 고정되어 있다.The movable gate member 151 is formed integrally with the slide portion 151a and the gate portion 151b so as to have a T shape as viewed from above. The gate portion 151b protrudes leftward from the seat surface center of the slide portion 151a and the front and rear width of the gate portion 151b is smaller than the front and rear width of the slide portion 151a. The gate portion 151b passes through the gap U and protrudes outside the tube storage chamber 124. [ The front-back width of the gate portion 151b is slightly smaller than the front-back width of the gap U. The front and rear width of the slide portion 151a is slightly smaller than the front-back width in the tube storage chamber 124. [ The space portion 124a surrounded by the front surface of the rear guide portion 111a, the right surface of the left guide portion 111b, the left surface of the slide portion 151a, the rear surface of the gate portion 151b, The first tube member 101a is housed and the rear surface of the front guide portion 113a, the right surface of the left guide portion 113b, the left surface of the slide portion 151a, the front surface of the gate portion 151b, The first tube member 101b is accommodated in the space portion 124b surrounded by the upper surface of the front guide portion 113a and the rear surface of the front guide portion 113a and the right side surface of the slide portion 151a, The second tube member 102a is housed in the rear side of the space portion 124c surrounded by the left side surface of the right column portion 91b and the upper surface of the bridge member 91c and the second tube member 102b Is stored. The tube member 101b is fixed to the right side of the left guide portion 113b by the upper fixture 98 and the lower fixture 99 and the second tube members 102a and 102b are fixed to the upper fixture 98 and the lower And is fixed to the seat surface of the right post 91b by a fastener 99.

제1튜브 부재(101a 및 101b)에 공기를 압입해서 팽창시킴으로써 슬라이드부(151a)의 좌면과 좌측 가이드부(111b)의 우면 및 좌 가이드부(113b)의 우면과의 사이의 거리를 넓히고, 또한 제2튜브 부재(102a 및 102b)로부터 공기를 배출해서 수축시킴으로써, 슬라이드부(151a) 및 게이트부(151b)를 일체적으로 개방 방향(우 방향) 0로 이동시켜, 처리물 통과구(88)를 열 수 있다. 이 때, 공간부(124c) 내의 도금액 및 공기는, 공간부(124c)의 상부, 하부, 슬라이드부(151a)와 후방 가이드부(111a)와의 사이의 간극, 및 슬라이드부(151a)와 전 가이드부(113a)의 간극으로부터 배출된다. 한편, 제2튜브 부재(102a 및 102b)에 공기를 압입해서 팽창시킴으로써 우측 기둥부(91b)의 좌면과 슬라이드부(151a)의 우면과의 사이의 거리를 넓히고, 또한 제1튜브 부재(101a 및 101b)로부터 공기를 배출해서 수축시킴으로써, 슬라이드부(151a)와 게이트부(151b)를 일체적으로 폐쇄 방향(좌 방향) S로 이동시켜, 처리물 통과구(88)를 닫을 수 있다. 이 때, 공간부(124a) 내의 도금액 및 공기는, 공간부(124a)의 상부, 하부, 슬라이드부(151a)와 후방 가이드부(111a)와의 사이의 간극, 및 게이트부(151b)와 좌측 가이드부(111b)의 간극으로부터 배출되어, 공간부(124b) 내의 도금액 및 공기는, 공간부(124b)의 상부, 하부, 슬라이드부(151a)와 전 가이드부(113a)와의 사이의 간극, 및 게이트부(151b)와 좌 가이드부(113b)의 간 극으로부터 배출된다. 이 폐쇄 상태에서는, 게이트부(151b)의 끝 가장자리는, 스토퍼 부재(92)의 패킹(108)에 압접되어 있다. 이렇게 본 실시형태에서는 제1튜브 부재(101a 및 101b)와 제2튜브 부재(102a 및 102b)가 슬라이드부(151a)의 이동 방향의 양측에 각각 배치되어, 팽창 수축 가능한 1쌍의 튜브 부재로서 동작한다.The distance between the left side surface of the slide portion 151a and the right side surface of the left guide portion 111b and the right side surface of the left guide portion 113b is widened by pressurizing and expanding air into the first tube members 101a and 101b, The slide portion 151a and the gate portion 151b are integrally moved in the opening direction (rightward direction) to zero by discharging the air from the second tube members 102a and 102b and contracting them, Lt; / RTI > At this time, the plating liquid and air in the space portion 124c are supplied to the upper and lower portions of the space portion 124c, the gap between the slide portion 151a and the rear guide portion 111a, And is discharged from the gap of the portion 113a. On the other hand, the air is press-fitted into the second tube members 102a and 102b to expand the distance between the seat surface of the right column portion 91b and the right side surface of the slide portion 151a, The slide portion 151a and the gate portion 151b can be integrally moved in the closing direction (leftward direction) S to close the processing water passage opening 88 by discharging the air from the water passage openings 101a and 101b. At this time, the plating liquid and air in the space portion 124a are supplied to the upper portion and the lower portion of the space portion 124a, the gap between the slide portion 151a and the rear guide portion 111a and the gap between the gate portion 151b and the left guide portion The plating liquid and the air in the space portion 124b discharged from the gap of the portion 111b are discharged to the upper and lower portions of the space portion 124b and the gap between the slide portion 151a and the front guide portion 113a, And is discharged from the gap between the portion 151b and the left guide portion 113b. In this closed state, the end edge of the gate portion 151b is in pressure contact with the packing 108 of the stopper member 92. In this embodiment, the first tube members 101a and 101b and the second tube members 102a and 102b are disposed on both sides in the moving direction of the slide portion 151a, and act as a pair of expandable and contractible tube members do.

본 실시형태에 의하면, 제1튜브 부재(101)와 제2튜브 부재(102)가, 각각 1쌍 배치되어 있으므로, 가동 게이트 부재(93)를, 강한 힘으로, 또한, 처리물 반송 방향의 전폭에 걸치는 대략 균등한 힘으로, 이동시킬 수 있다. 또한, 1쌍의 제1튜브 부재(101)의 한쪽이 펑크(punk)가 되거나, 1쌍의 제2튜브 부재(102)의 한쪽이 펑크가 되거나 해도, 가동 게이트 부재(93)의 동작을 확보할 수 있다. 또한, 도 18에 있어서, 상기 제1실시형태와 동일한 부품에는, 동일한 부호를 첨부하고 있다.According to the present embodiment, since the pair of the first tube member 101 and the second tube member 102 are arranged in a pair, the movable gate member 93 can be moved in the direction of the treated water, With a substantially equal force over the entire length of the frame. Even if one of the pair of first tube members 101 becomes a punk or one of the pair of second tube members 102 punctures, the operation of the movable gate member 93 is assured can do. In Fig. 18, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals.

[제4실시형태][Fourth Embodiment]

도 19는 제4실시형태이며, 게이트 장치(84)의 수평 단면도를 나타내고 있으며, 가동 게이트 부재(93) 및 구동 기구(94)를, 좌우 1쌍 설치한 구조이다. 즉, 상기 제1실시형태의 도 6 등의 우측 반분에 배치된 가동 게이트 부재(93)와, 제1 및 제2튜브 부재(101, 102)로서 이루어지는 구동 기구(94)를, 좌우 대칭으로 배치한 구조이다. 도 19에 있어서, 상기 제1실시형태와 동일한 부품에는, 동일한 부호를 첨부하고 있다.Fig. 19 is a horizontal cross-sectional view of a gate device 84 according to a fourth embodiment of the present invention, in which a pair of left and right movable gate members 93 and drive mechanisms 94 are provided. That is, the movable gate member 93 disposed on the right half of FIG. 6 and the like of the first embodiment and the drive mechanism 94 configured as the first and second tube members 101 and 102 are arranged symmetrically It is one structure. In Fig. 19, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals.

그 실시형태에 의하면, 좌우에서 각각의 가동 게이트 부재(93)를 가압하므로, 확실하게 슬릿 형상 처리물 통과구(88)를 닫을 수 있다.According to this embodiment, since the movable gate members 93 are pressed on the left and right sides, the slit-shaped processed water passage opening 88 can be reliably closed.

[제5실시형태][Fifth Embodiment]

도 20 및 도 21은, 판 형상 처리물(W)을, 수평 상태에서 반송하는 도금 처리 장치에 본 발명을 적용한 예이다. 도 20은 도금 처리 장치 전체를 나타내고 있으며, 처리물 반송원 측에서 순서대로, 처리물 로드 탱크(처리물 로드부)(201), 전처리 탱크(샤워 탱크)(202), 박스 탱크(203), 도금 탱크(204), 박스 탱크(205), 후처리 탱크(샤워 탱크)(206), 처리물 언로드 탱크(처리물 언로드부)(207)를 배치하고 있으며, 각 탱크 간의 세로 벽에, 수평인 슬릿 형상의 처리물 통과구(210)(도 21)를 갖는 게이트 장치(G)가 배치되어 있다. 각 탱크(201 내지 207) 내에는, 수평 상태의 처리물(W)을 상하로 협지하여, 반송하는 상하의 반송 롤러(211)가 배치되어 있다. 또한, 박스 탱크(203, 205)에는, 처리물 반송 경로의 아래쪽에 박스 탱크(203a, 205a)가 배치되어 있다.20 and 21 show an example in which the present invention is applied to a plating apparatus for carrying a plate-like processed object W in a horizontal state. Fig. 20 shows the entire plating apparatus, which includes, sequentially from the treated water transfer source side, a treated water load tank (processed water rod) 201, a pretreatment tank (shower tank) 202, a box tank 203, A plating tank 204, a box tank 205, a post-treatment tank (shower tank) 206 and a treated water unloading tank (treated water unloading portion) 207 are arranged. And a gate apparatus G having a slit-shaped through-hole 210 (Fig. 21) is disposed. In each of the tanks 201 to 207, upper and lower conveying rollers 211 for conveying the processed wafers W in a horizontal state are disposed. The box tanks 203 and 205 are provided with box tanks 203a and 205a below the processed water conveying path.

도 21은, 게이트(G)의 일례이며, 기본적으로는, 상기 도 6 내지 도 9 등에 나타내는 세로 방향의 처리물 통과구를 갖는 게이트 장치를, 90° 회전해서 횡 방향으로 배치한 구조이며, 따라서, 제1실시형태와 동일한 기능을 갖는 부품에는, 동일한 부호를 첨부하고, 자세한 설명은 생략한다.21 is an example of the gate G and basically has a structure in which gate apparatuses having vertical process through holes shown in Figs. 6 to 9 or the like are rotated 90 degrees and arranged in the lateral direction, , Components having the same functions as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

도 21에 있어서, 게이트 장치 본체(91)는 상하 방향에 간격을 두고 상하의 기둥 부재(대들보 부재)(91a, 91b)를 가지고 있으며, 양자는 그 단부끼리를 좌우의 수직 기둥 부재(91c, 91d)(91d만 도시하지 않음)로 연결함으로써 처리물 반송 방향 F 방향으로 관통하는 구멍을 갖는 직방체를 형성하고 있다. 세로 벽(82)의 오목부(89)의 끝 가장자리에, 게이트 장치 본체(91)의 외주에 형성된 부착 홈(106)이, 고무 튜브제 패킹(90)을 통해서 끼워 맞추어지고 있다. 가이드 플레이트(110)는, 처리물 반송 방향 F에 직교하는 판 형상체이며, 하측 부분이 아래쪽 기둥 부재(91b)의 전면에 착탈 가능하게 고정되고, 상측 부분은 아래쪽 기둥 부재(91b)보다도 위쪽에 배치되어 있다. 가이드 케이스(111)는, 처리물 반송 방향 F에 직교하는 판 형상체인 후방 가이드부(111a)와, 처리물 반송 방향 F에 평행한 판 형상체인 상부 가이드부(111b)에 의해 측방으로부터 보아서 L자 형상으로 형성되고, 후방 가이드부(111a)의 하측 부분은, 아래쪽 기둥 부재(91b)의 후면에 착탈 가능하게 고정되어 있으며, 후방 가이드부(111a)의 위쪽 부분은 상기 가이드 플레이트(110)와 동일한 상하 위치에 배치되어 있다. 위쪽 가이드부(111b)의 후단은 후방 가이드부(111a)의 상단과 일체로 형성되고, 위쪽 가이드부(111b)의 전단은 상기 가이드 플레이트(110)의 후단과의 사이에 일정한 간극(Ⅴ)을 두고 배치되어 있다. 가동 게이트 부재(93)는 단면이 구 형상인 슬라이드부(93a)와 판 형상인 게이트부(93b)에 의해 측방으로부터 보아서 L자 형상이 되도록 일체로 형성되어 있다. 게이트부(93b)는, 슬라이드부(93a)의 상면 앞쪽으로부터 위를 향해서 돌출 설치되어 있다. 게이트부(93b)의 전후 폭은 슬라이드부(93a)의 전후 폭보다 작다. 후방 가이드부(111a)의 전면, 위쪽 가이드부(111b)의 하면, 가이드 플레이트(110)의 후면, 하측 기둥 부재(91b)의 상면, 좌측 기둥 부재(91c)의 우면, 및 우측 기둥 부재(91d)의 좌면으로 둘러싸인 튜브 수납실(124) 내에는, 슬라이드부(93a)가, 상하 방향 이동이 자유롭게 수납되어 있다. 슬라이드부(93a)의 전후 폭은, 튜브 수납실(124) 내의 전후 폭보다 약간 작다.21, upper and lower column members (girder members) 91a and 91b are provided at an interval in the vertical direction, both of which are connected to the left and right vertical columns 91c and 91d, (Not shown in FIG. 91 d), thereby forming a rectangular parallelepiped having a hole penetrating in the direction of the treated water conveyance F. An attaching groove 106 formed on the outer periphery of the gate device body 91 is fitted to the end edge of the concave portion 89 of the vertical wall 82 through the rubber tube packing 90. The guide plate 110 is a plate-shaped body orthogonal to the process water conveying direction F. The lower portion of the guide plate 110 is detachably fixed to the front surface of the lower column member 91b. The upper portion of the guide plate 110 is located above the lower column member 91b Respectively. The guide case 111 has a rear guide portion 111a in the form of a plate orthogonal to the process water conveying direction F and an upper guide portion 111b in the form of a plate parallel to the process water conveying direction F, The lower portion of the rear guide portion 111a is detachably fixed to the rear surface of the lower post member 91b and the upper portion of the rear guide portion 111a is formed in the same shape as the guide plate 110 And are disposed at upper and lower positions. The rear end of the upper guide part 111b is formed integrally with the upper end of the rear guide part 111a and the front end of the upper guide part 111b forms a constant gap V between the rear end of the upper guide part 111b and the rear end of the guide plate 110 Respectively. The movable gate member 93 is formed integrally with the slide portion 93a having a spherical cross section and the gate portion 93b having a plate shape so as to be L-shaped as viewed from the side. The gate portion 93b protrudes upward from the upper surface of the slide portion 93a. The front-rear width of the gate portion 93b is smaller than the front-rear width of the slide portion 93a. The rear surface of the guide plate 110, the upper surface of the lower column member 91b, the right surface of the left column member 91c and the right surface of the right column member 91d The slide portion 93a is housed movably in the vertical direction within the tube housing chamber 124 surrounded by the seating surface of the slide portion 93a. The front and rear width of the slide portion 93a is slightly smaller than the front-back width in the tube storage chamber 124. [

게이트부(93b)는 상기 간극(Ⅴ)을 통과해서 튜브 수납실(124) 밖으로 돌출하 고 있다. 게이트부(93b)의 전후 폭은, 상기 간극(Ⅴ)의 전후 폭보다 약간 작다. 후방 가이드부(111a)의 전면, 위쪽 가이드부(111b)의 하면, 슬라이드부(93a)의 상면, 게이트부(93b)의 후면, 좌측 기둥 부재(91c)의 우면, 및 우측 기둥 부재(91d)의 좌면으로 둘러싸인 공간부(124a)에 상기 제1튜브 부재(101)가 수납되고, 후방 가이드부(111a)의 전면, 가이드 플레이트(110)의 후면, 슬라이드부(93a)의 하면, 하측 기둥부(91b)의 상면, 좌측 기둥 부재(91c)의 우면, 및 우측 기둥 부재(91d)의 좌면으로 둘러싸인 공간부(124b)에 상기 제2튜브 부재(102)가 수납되어 있다.The gate portion 93b passes through the gap V and protrudes outside the tube storage chamber 124. [ The front-rear width of the gate portion 93b is slightly smaller than the front-rear width of the gap (V). The upper surface of the slide portion 93a, the rear surface of the gate portion 93b, the right surface of the left column member 91c, and the right column member 91d are formed on the front surface of the rear guide portion 111a, The front surface of the rear guide portion 111a and the rear surface of the guide plate 110. The lower surface of the slide portion 93a and the lower surface of the lower column portion 111a The second tube member 102 is accommodated in the space 124b surrounded by the upper surface of the right column member 91b, the right surface of the left column member 91c and the left surface of the right column member 91d.

상측 기둥 부재(91a)의 하면에는, 아래쪽으로 돌출하는 스토퍼 부재(92)가 설치되고, 그 스토퍼 부재(92)의 하면에 대하여, 가동 게이트 부재(93)의 상단 면이, 수평인 슬릿 형상의 처리물 통과구(210)를 통해서 대향하고 있다.A stopper member 92 protruding downward is provided on the lower surface of the upper column member 91a and the upper end surface of the movable gate member 93 is slit- And is opposed through the through-hole 210 of the treated water.

스토퍼 부재(92), 가동 게이트 부재(93), 가이드 플레이트(110), 가이드 케이스(111), 튜브 부재(101), 및 튜브 부재(102)는 모두 처리물 통과구(210)의 좌우 방향의 대략 전장에 걸쳐 배치되어 있다.The stopper member 92, the movable gate member 93, the guide plate 110, the guide case 111, the tube member 101, and the tube member 102 all have the through- And is disposed over an approximate overall length.

그 게이트 장치(G)에서는, 위쪽의 제1튜브 부재(101)에 공기를 압입해서 팽창시킴으로써 위쪽 가이드부(111b)의 하면과 슬라이드부(93a)의 상면과의 사이의 거리를 넓히고, 또한 제2튜브 부재(102)로부터 공기를 배출해서 수축시킴으로써, 슬라이드부(93a) 및 게이트부(93b)를 일체적으로 개방 방향(아래쪽 방향)으로 이동시켜, 처리물 통과구(210)를 연다. 이것에 의해, 처리물(W)은 상승하는 일 없이, 수평 상태에서 처리물 통과구(210)를 통과한다. 한편, 제2튜브 부재(102)에 공기를 압입해서 팽창시킴으로써 하측 기둥부(91b)의 상면과 슬라이드부(93a)의 하면과의 사이의 거리를 넓히고, 또한 제1튜브 부재(101)로부터 공기를 배출해서 수축시킴으로써, 슬라이드부(93a) 및 게이트부(93b)를 일체적으로 폐쇄 방향(위쪽 방향)으로 이동시켜, 처리물 통과구(210)를 닫는다.In the gate device G, the distance between the lower surface of the upper guide portion 111b and the upper surface of the slide portion 93a is widened by pressurizing and expanding the air in the upper first tube member 101, The slide portion 93a and the gate portion 93b are integrally moved in the opening direction (downward direction) by discharging air from the two-tube member 102 to shrink the liquid. As a result, the processed product W passes through the treated-product passing hole 210 in a horizontal state without rising. On the other hand, by expanding the air into the second tube member 102, the distance between the upper surface of the lower column portion 91b and the lower surface of the slide portion 93a is widened and the air from the first tube member 101 The slide portion 93a and the gate portion 93b are integrally moved in the closing direction (upward direction) so as to close the processing water passage opening 210. [

[기타의 실시형태][Other Embodiments]

(1) 상기 각 실시형태는, 반송 행거를 연속해서 수평 이동시킴으로써, 각 탱크를 통과시키는 소위 연속 반송 방식의 도금 장치이지만, 본 발명에 관련한 게이트 장치는, 예를 들면, 도중에, 행거를 상승시켜서 다음 탱크까지 이송하고, 다음 탱크에서 하강시키는 반송 구간을 갖는 간헐(間歇) 반송 방식의 도금 장치 등에도 적용할 수 있다.(1) Each of the above-described embodiments is a so-called continuous conveying type plating apparatus in which each tank is passed by horizontally moving the conveying hanger continuously. However, the gate apparatus according to the present invention is, for example, The present invention can also be applied to an intermittent conveying type plating apparatus having a conveying section for conveying to the next tank and lowering in the next tank.

(2) 본 발명에 관련한 게이트 장치는, 도금 장치에 한정되지 않고, 예를 들면, 처리액 탱크 내에 저류한 처리액에 의해 처리물을 세정하는 박리 탱크 등의 침지 처리 장치에도 적용하는 것은 가능하다.(2) The gate device according to the present invention is not limited to a plating apparatus, and can be applied to an immersion treatment apparatus such as a separation tank for cleaning a treated material with a treatment liquid stored in a treatment liquid tank .

본 발명은, 도금 장치 이외에, 크로메이트 처리 장치(chromate treatment apparatus), 알루미늄의 양극(陽極) 산화 처리 장치, 전해 연마 장치 또는 전해 산세(酸洗) 장치 등의 처리 장치에도 적용 가능하다.The present invention is also applicable to processing apparatuses such as a chromate treatment apparatus, an anode oxidation treatment apparatus for aluminum, an electrolytic polishing apparatus or an electrolytic pickling apparatus in addition to the plating apparatus.

도 1은 본 발명의 제1실시형태로서, 게이트 장치를 구비한 도금 장치 전체의 평면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a plan view of a plating apparatus according to a first embodiment of the present invention; Fig.

도 2는 도 1의 도금 탱크 및 박스 탱크 부근의 종단면 확대도.Fig. 2 is an enlarged view of a vertical section near the plating tank and the box tank of Fig. 1; Fig.

도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 단면 확대도.3 is an enlarged cross-sectional view taken along the line III-III in Fig.

도 4는 도 2의 IV-IV 단면 확대도.4 is an enlarged cross-sectional view taken along line IV-IV of Fig.

도 5는 도 2의 박스 탱크의 평면 확대도.Figure 5 is a plan enlarged view of the box tank of Figure 2;

도 6은 도 5의 VI-VI 단면도.6 is a sectional view taken along the line VI-VI in Fig. 5;

도 7은 도 6의 게이트 장치의 사시도.7 is a perspective view of the gate device of Fig.

도 8은 도 6의 게이트 장치의 분해 사시도.8 is an exploded perspective view of the gate device of FIG.

도 9는 처리물 통과구가 열린 상태의 도 6의 게이트 장치의 IX-IX 단면도.9 is a cross-sectional view taken along line IX-IX of the gate device of Fig.

도 10은 도 9의 X-X 단면도.10 is a sectional view taken along the line X-X in Fig.

도 11은 도 10의 XI-XI 단면도.11 is a cross-sectional view taken along the line XI-XI in Fig. 10;

도 12는 처리물 통과구가 열린 상태의 도 6의 게이트 장치의 IX-IX 단면 확대도(도 9의 주요부의 확대도).Fig. 12 is an enlarged cross-sectional view taken along line IX-IX of the gate device of Fig. 6 in a state in which the through-hole is opened; Fig.

도 13은 처리물 통과구가 닫힌 상태의 도 6의 게이트 장치의 IX-IX 단면 확대도.Fig. 13 is an enlarged cross-sectional view taken along line IX-IX of the gate device of Fig. 6 in a state where the through-water passage is closed;

도 14는 도 1의 도금 탱크와, 박스 탱크와, 공 스테이지와의 사이의 처리물의 반송과, 게이트 장치의 개폐 동작과의 관련을 나타내는 작동 설명도.Fig. 14 is an explanatory view showing the relationship between the conveyance of the treatment product between the plating tank, the box tank, and the blank stage of Fig. 1 and the opening and closing operation of the gate device. Fig.

도 15는 도 14의 다음 공정을 나타내는 도 14와 마찬가지의 작동 설명도.Fig. 15 is an explanatory view similar to Fig. 14 showing the next step of Fig. 14; Fig.

도 16은 도 15의 다음 공정을 나타내는 도 14와 마찬가지의 작동 설명도.Fig. 16 is an explanatory view similar to Fig. 14 showing the next step of Fig. 15; Fig.

도 17은 본 발명의 제2실시형태이며, 가동 게이트 부재의 정면도.17 is a second embodiment of the present invention, and is a front view of a movable gate member.

도 18은 본 발명의 제3실시형태이며, 게이트 장치의 수평 단면도.18 is a horizontal cross-sectional view of a gate device according to a third embodiment of the present invention.

도 19는 본 발명의 제4실시형태이며, 게이트 장치의 수평 단면도.Fig. 19 is a horizontal sectional view of a gate device according to a fourth embodiment of the present invention. Fig.

도 20은 본 발명의 제5실시형태이며, 도금 처리 장치의 세로 단면도.FIG. 20 is a longitudinal sectional view of a plating apparatus according to a fifth embodiment of the present invention. FIG.

도 21은 도 20의 게이트 장치의 단면 사시도.21 is a cross-sectional perspective view of the gate device of Fig.

도 22는 도 8 등에 나타내는 상측 고정구의 종단면 확대도.Fig. 22 is an enlarged view of a longitudinal section of the upper fixture shown in Fig. 8 and the like;

도 23은 도 22의 상측 고정구 근방의 분해 사시도.23 is an exploded perspective view of the vicinity of the upper fixture of Fig. 22;

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS

14: 도금 탱크(처리액 탱크의 일례)14: Plating tank (example of treatment liquid tank)

15: 박스 탱크15: Box Tank

28: 반송 행거(hanger)28: Return hanger

84, 85: 게이트 장치84, 85: Gate device

88: 처리물 통과구88: Through hole

91: 포대 형상 게이트 부재91: bag-shaped gate member

92: 스토퍼 부재92: Stopper member

93: 가동 게이트 부재93: movable gate member

93a: 슬라이드부(슬라이드 부재의 일례)93a: Slide part (example of slide member)

94: 구동 기구94: Driving mechanism

101, 102: 제1 및 제2튜브 부재101, 102: first and second tube members

132: 에어 펌프(air pump)132: air pump

Claims (4)

판 형상 처리물이 통과 가능한 슬릿 형상의 처리물 통과구를 갖는 처리액 탱크의 게이트 장치에 있어서,1. A gate apparatus for a treatment liquid tank having a slit-shaped through-hole through which a plate- 상기 처리물 통과구를 닫는 폐쇄 위치와 상기 처리물 통과구를 여는 개방 위치와의 사이에서 위치 변경 가능한 가동 게이트 부재와,A movable gate member capable of being displaced between a closed position for closing the treatment object passage and an open position for opening the treatment object passage, 상기 가동 게이트 부재를 폐쇄 위치와 개방 위치와의 사이에서 이동시키는 구동 기구를 구비하고,And a drive mechanism for moving the movable gate member between a closed position and an open position, 상기 구동 기구는, 상기 가동 게이트 부재와 일체적으로 이동하는 슬라이드부와, 상기 슬라이드부의 이동 방향의 양측에 배치된 팽창 수축 가능한 1쌍의 튜브 부재를 구비하여, 한쪽 튜브 부재를 팽창시키는 동시에 다른 쪽의 튜브 부재를 수축시킴으로써, 상기 슬라이드부와 함께 가동 게이트 부재를 개방 위치에 이동시키고, 한쪽 튜브 부재를 수축시키는 동시에 다른 쪽의 튜브 부재를 팽창시킴으로써, 상기 슬라이드부와 함께 가동 게이트 부재를 폐쇄 위치에 이동시키도록, 구성되어 있는, 처리액 탱크의 게이트 장치.Wherein the drive mechanism includes a slide portion that moves integrally with the movable gate member and a pair of expandable and contractible tube members disposed on both sides in the moving direction of the slide portion to expand the one of the tube members, , The movable gate member is moved to the open position together with the slide portion, the one of the tube members is contracted, and the other of the tube members is expanded so that the movable gate member is moved to the closed position To the processing liquid tank. 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 튜브 부재는, 탄성재로 되어 있는 처리액 탱크의 게이트 장치.Wherein the tube member is an elastic material. 제1항 또는 제2항에 있어서,3. The method according to claim 1 or 2, 상기 게이트 부재 및 상기 구동 기구를 지지하는 게이트 장치 본체는, 상기 처리액 탱크의 세로 벽에, 착탈(着脫)이 자유롭게 부착되어 있는 처리액 탱크의 게이트 장치.Wherein the gate device body supporting the gate member and the driving mechanism is attached and detached to a vertical wall of the treatment liquid tank. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 세로 벽에는, 게이트 장치 본체 부착용의 상향 개방의 오목부를 형성하고, Wherein the vertical wall is provided with an upwardly open recess for attaching the gate apparatus main body, 상기 게이트 장치 본체에는, 처리물 반송 방향과 직교하는 방향의 양단 가장자리에, 상하 방향으로 연장하는 줄기 형상의 끼워 맞춤 홈을 구비하고, Wherein the gate device body is provided with a truncated fitting groove extending in the vertical direction at both end edges in a direction orthogonal to the process water conveying direction, 상기 끼워 맞춤 홈을 상기 오목부의 내단(內端) 가장자리에 걸리고, 게이트 장치 본체를 위쪽으로부터 오목부에 끼워 넣음으로써, 게이트 장치 본체를 세로 벽에 부착하고 있는 처리액 탱크의 게이트 장치.Wherein the gate device body is attached to the vertical wall by engaging the fitting groove with the inner edge of the recess and fitting the gate device body into the recess from above.
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