KR101562865B1

KR101562865B1 - 신경 영양인자를 감지하기 위한 초소형 센서 시스템

Info

Publication number: KR101562865B1
Application number: KR1020140009180A
Authority: KR
Inventors: 이현주; 조일주; 윤의성; 최낙원
Original assignee: 한국과학기술연구원
Priority date: 2014-01-24
Filing date: 2014-01-24
Publication date: 2015-10-26
Also published as: US20150208963A1; KR20150088648A

Abstract

체액 내에 포함된 영양인자를 감지하기 위한 초소형 센서 시스템은, 몸체와, 상기 몸체에 형성되며, 내부를 통해 유체 유동이 가능한 영양인자 채널과, 상기 몸체에 형성되며, 상기 영양인자를 감지할 수 있는 바이오 센서를 포함하고, 상기 영양인자 채널을 통해 체내에서 상기 체액을 추출하고, 상기 바이오 센서는 상기 영양인자 채널을 유동하는 체액에 직접 접촉하도록 상기 영양인자 채널의 경로 중에 배치되어, 상기 체액 내의 영양인자의 농도를 감지한다.

Description

신경 영양인자를 감지하기 위한 초소형 센서 시스템{Micro sensing system for detecting Neurotrophic Factors}

본 발명은 초소형 센서 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 뇌액 등 체액 내에 포함된 신경 영양인자를 감지하기 위한 초소형 센서 시스템에 관한 것이다.

최근에 신경 자극 및 이에 따른 신호를 감지하고 분석함으로써 질환을 치료하고 신경 또는 뇌의 동작을 규명하기 위한 연구가 활발히 진행되고 있다. 특히, 동물 실험에서 동물의 행동 및 질병과 관련되어 여러 신경 영양인자의 농도 변화 관찰을 통해 동물의 행동 및 질환에 관련된 신경 영양인자를 밝히려는 연구가 주목받고 있다.

기존에는 신경 영양인자 추출을 위하여 유리관을 이용하여 제작한 미소투석 시스템을 이용하고, 추출된 영양인자를 외부 저장소에 수집한 뒤 센서를 이용해 원하는 영양인자의 농도를 측정하는 시스템이 이용되고 있다.

하지만, 종래기술에 따르면 유리관의 크기가 커서, 뇌에 삽입시 뇌 손상을 유발시킬 수 있다는 단점이 있다.

또한, 뇌에서 추출한 뇌 신경 영양인자는 양이 매우 적고 유리관을 통해 유동하는 유체의 속도가 느려, 외부에 저장소를 두고 수집할 경우에 오랜 시간에 걸쳐 뇌 신경 영양인자를 추출하여야 한다.

따라서, 어떠한 질환에 의해 특정 뇌 신경 영양인자의 농도가 변화하더라도, 외부 저장소에서의 해당 인자 추출은 훨씬 후에야 이루어지므로 질환과 영양인자의 상관성을 실시간으로 관련 짓기 어려워 측정의 신뢰성이 떨어질 수 있다.

미국 등록특허 5,441,481호

본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 초소형 미세 가공 기술을 이용하여 뇌손상을 최소화할 수 있고, 미세한 량으로도 실시간으로 영양인자의 변화를 감지할 수 있는 초소형 센서 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 측면에 따르면, 체액 내에 포함된 영양인자를 감지하기 위한 초소형 센서 시스템으로서, 몸체와, 상기 몸체에 형성되며, 내부를 통해 유체 유동이 가능한 영양인자 채널과, 상기 몸체에 형성되며, 상기 영양인자를 감지할 수 있는 바이오 센서를 포함하고, 상기 영양인자 채널을 통해 체내에서 상기 체액을 추출하고, 상기 바이오 센서는 상기 영양인자 채널을 유동하는 체액에 직접 접촉하도록 상기 영양인자 채널의 경로 중에 배치되어, 상기 체액 내의 영양인자의 농도를 감지하는 초소형 센서 시스템이 제공된다.

일 실시예에 따르면, 상기 몸체에는, 상기 영양인자 채널의 경로 중에 형성되며 상기 영양인자 채널을 따라 유동하는 상기 체액을 저류할 수 있는 저장소가 형성되고, 상기 바이오 센서는 상기 저장소 안에 집적된다.

상기 영양인자 채널과 상기 저장소는 깊이 방향 식각에 의해 동시에 형성될 수 있다.

또한, 상기 영영인자 채널과 상기 저장소의 상부를 폐쇄하는 커버가 형성되고, 상기 저장소에는 상기 커버의 함몰을 방지하는 복수의 돌기가 형성될 수 있다.

초소형 센서 시스템은, 상기 몸체에 형성되며, 버퍼용액을 상기 체내에 유입시키는 버퍼용액 채널을 더 포함하고, 상기 체내에 유입되는 버퍼용액에 의해 상기 체내의 압력이 상승하여, 상기 체액이 상기 영양인자 채널로 유입되도록 구성될 수 있다.

일 실시예에 따르면, 상기 몸체는, 길게 연장되어 상기 체내로 삽입되는 탐침 몸체와, 상기 탐침 몸체의 후단에 형성되어 체외에 위치하는 주 몸체를 포함하고, 상기 영양인자 채널은 상기 탐침 몸체로부터 상기 주 몸체까지 연장되고, 상기 바이오 센서는 상기 주 몸체에 배치된다.

상기 바이오 센서는 상기 영양인자 채널을 연속적으로 유동하는 상기 체액 내부의 상기 영양인자의 농도를 실시간으로 감지할 수 있다.

또한, 상기 바이오 센서는, 화학 센서, 전기 센서 또는 공진 센서일 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초소형 센서 시스템의 사시도이다.
도 2는 도 1의 A-A' 선을 따라 절개한 모습을 표현한 도면이다.
도 3은 도 1의 B-B' 선을 따라 절개한 모습을 표현한 도면이다.
도 4는 도 1의 C-C' 선을 따라 절개한 모습을 표현한 도면이다.
도 5는 몸체에 형성된 채널의 모습을 도시한 것이다.
도 6은 도 2의 구조를 형성하기 위한 방법을 도시한 것이다.
도 7은 도 3의 구조를 형성하기 위한 방법을 도시한 것이다.
도 8은 도 4의 구조를 형성하기 위한 방법을 도시한 것이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다. 본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 하나의 실시예로서 설명되는 것이며, 이것에 의해 본 발명의 기술적 사상과 그 핵심 구성 및 작용은 제한되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초소형 센서 시스템(1)의 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A' 선을 따라 절개한 모습을 표현한 도면이고, 도 3은 도 1의 B-B' 선을 따라 절개한 모습을 표현한 도면이며, 도 4는 도 1의 C-C' 선을 따라 절개한 모습을 표현한 도면이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 초소형 센서 시스템(1)은 몸체(10)와, 상기 몸체(10)에 형성되며 내부를 통해 유체 유동이 가능한 영양인자 채널(30) 및 버퍼용액 채널(20)과, 몸체(10)에서 영양인자 채널(30)의 경로 중에 형성되는 저장소(33)와, 상기 저장소(33) 안에 집적되며 영양인자를 감지할 수 있는 바이오 센서(41)를 포함한다.

몸체(10)는, 끝이 뾰족하고 얇고 길게 연장되어 영양인자를 함유한 체액이 있는 체내로 삽입될 수 있는 탐침 몸체(101)와, 상기 탐침 몸체(101)의 후방에 형성되는 주 몸체(102)를 포함한다.

버퍼용액 채널(20)은 탐침 몸체(101)의 전단부 부근에서부터 연장되어 탐침 몸체(101)의 길이방향을 따라 연장되었다가, 주 몸체(102)에서 한번 절곡되어 주 몸체(102)의 후단부 부근까지 연장된다. 버퍼용액 채널(20)의 전단부에는 버퍼용액 출구(21)가 탐침 몸체(101)의 상단을 향해 개구되어 있고, 자세히 도시하지는 않았지만 후단부에는 버퍼용액 입구(22)가 주 몸체(102)의 상단을 향해 개구되어 있다.

버퍼용액 입구(22)가 형성된 버퍼용액 채널(20)의 후단부 측에는 유체 입관(51)이 채널 연결부(53)를 통해 주 몸체(102)의 상단에 결합되어 있다. 버퍼용액 입구(22)와 유체 입관(51)은 유체가 유동할 수 있도록 연통되어 있다.

영양인자 채널(30)은 탐침 몸체(101)의 전단부 부근에서부터 연장되어 탐침 몸체(101)의 길이방향을 따라 연장되었다가, 주 몸체(102)에서 버퍼용액 채널(20)과는 반대방향으로 한번 절곡되어 주 몸체(102)의 후단부 부근까지 연장된다. 영양인자 채널(30)의 전단부에는 영양인자 입구(31)가 탐침 몸체(101)의 상단을 향해 개구되어 있고, 자세히 도시하지는 않았지만 후단부에는 영양인자 출구(32)가 주 몸체(102)의 상단을 향해 개구되어 있다.

영양인자 출구(32)가 형성된 영양인자 채널(30)의 후단부 측에는 유체 출관(52)이 채널 연결부(54)를 통해 주 몸체(102)의 상단에 결합되어 있다. 영양인자 출구(32)와 유체 출관(52)은 유체가 유동할 수 있도록 연통되어 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 버퍼용액 채널(20)과 영양인자 채널(30)은 몸체(10)의 내부를 따라 형성되어 있다. 후술하는 바와 같이, 버퍼용액 채널(20)과 영양인자 채널(30)은 반응성 이온 식각(DRIE; deep reactive-ion etching) 공정에 의해 몸체(10)의 상면에서 오목하게 식각되는 홈을 형성하고, 식각된 홈의 상단 개구에 커버(200)를 결합시켜 형성된다.

하지만, 반드시 위와 같은 고정에 으해 미세한 미소 유체 채널을 형성하여야 하는 것은 아니며, 물리적 또는 화학적인 드릴링(drilling) 방법으로 몸체(10) 내부에 채널을 형성할 수도 있을 것이다.

한편, 버퍼용액 채널(20)과 영양인자 채널(30)의 한 부분에서 커버(200)를 제거하면, 도 3과 같이 버퍼용액 출구(21)와 영양인자 입구(31)를 형성할 수 있다.

도 1에서는 버퍼용액 출구(21)와 영양인자 입구(31)가 버퍼용액 채널(20)과 영양인자 채널(30)에 비해 폭이 큰 원형으로 이루어져 있는 것으로 도시되었지만, 이에 한정되는 것은 아니며 도 3과 같이 버퍼용액 채널(20)과 영양인자 채널(30)과 폭이 동일한 버퍼용액 출구(21)와 영양인자 입구(31)를 형성하여도 좋다.

도 1 및 도 4를 참조하면, 주 몸체(10)에는 영양인자 채널(30)의 경로 상에는 영양인자 채널(30)의 폭 보다 비교적 큰 직경을 가지는 저장소(33)가 형성되어 있다.

도 4에 잘 도시된 바와 같이, 저장소(33)는 몸체(10)의 상단에 오목하게 형성된 홈에 의해 형성된다.

저장소(33)의 내부에는 주 몸체(102)의 상면 쪽으로 노출되는 전극(42, 43)이 고정되고, 전극(42, 43)에는 바이오 센서(41)가 결합된다. 개구된 저장소(33)의 상단에는 커버(200)가 결합되어 저장소(33)을 폐쇄한다.

본 실시예에 따른 바이오 센서(41)는 초소형 센서로서, 용액 내부의 영양인자를 센싱할 수 있는 화학 센서, 전기 센서 또는 공진 센서일 수 있다.

바이오 센서(41)에 의해 검출된 신호는 전극(42, 43)을 통해 외부로 전달되어 각종 분석 장치에 전달될 수 있다.

다양한 종류의 화학 센서, 전기 센서 및 공진 센서가 이미 공지되어 있으며, 바이오 센서에 의한 영양인자의 센싱 원리는 본 발명의 기술적 사상을 넘는 것이므로, 여기서는 자세한 설명을 생략한다.

이하, 다시 도 1을 참조하여 본 실시예에 따른 초소형 센서 시스템(1)의 동작에 대해 설명한다.

본 실시예에 따른 초소형 센서 시스템(1)은 뇌에 삽입되어 뇌액 속에 포함된 뇌 신경 영양인자의 농도 변화를 관찰함으로써, 특정 동물의 행동 및 질병과 관련된 뇌 신경 영양인자를 밝히는데 이용된다.

먼저, 탐침 몸체(101)를 뇌의 원하는 장소에 삽입한다. 삽입되는 위치는 특정 행동이나 질병에 관한 영양인자를 발생시키는 것으로 추측 또는 입증된 뇌의 부부분일 수 있다.

팀침 몸체(101)의 적어도 일부가 뇌 속에 삽입되도록 하며, 최소한 버퍼용액 출구(21) 및 영양인자 입구(31)가 뇌 속에 삽입되도록 한다.

다음으로, 외부로부터 강한 압력으로 버퍼용액을 유체 입관(51)을 통해 유입시킨다. 본 실시예서는 버퍼용액으로서 세일린(saline) 용액을 이용한다.

버퍼용액은 버퍼용액 입구(22)를 통해 버퍼용액 채널(20)로 유입되고 채널을 따라 유동하여 버퍼용액 출구(21)로 출력되어 뇌 속으로 유입된다.

강한 압력으로 버퍼 용액을 뇌 속에 주입함으로써, 뇌압이 국부적으로 상승하고, 뇌 속의 뇌액이 영양인자 입구(31)를 통해 상대적으로 압력이 낮은 영양인자 채널(30) 속으로 유입된다.

버퍼 용액을 지속적으로 주입함에 따라, 영양인자 채널(30) 속으로 유입된 뇌액이 영양인자 채널(30)을 따라 유동한다.

영양인자 채널(30)을 따라 유동하는 뇌액은 상대적으로 체적이 큰 저장소(33)를 충진하여 저장소(33)에 저류되었다가, 저장소(33)를 빠져 나가 영양인자 출구(32)를 통해 유체 출관(52)으로 빠져나간다.

유체 출관(52)에서 유출된 뇌액은 외부의 저장소(미도시)에 수집된다.

한편, 저장소(33)를 충진하는 뇌액은 바이오 센서(41)와 직접 접촉하게 되고, 바이오 센서(41)는 뇌액 속에 포함된 영양인자의 농도 변화를 감지한다.

바이오 센서(41)에서 감지된 정보는 전극(42, 43)을 통해 외부의 분석 장치로 전달된다.

본 실시예에 따른 초소형 센서 시스템(1)에 따르면, 바이오 센서(1)가 영양인자 채널(30)의 경로 중에 형성된 저장소(33) 안에 설치된다. 따라서, 외부 저장소까지 뇌액을 추출해야하고, 충분한 양의 뇌액이 모아질 때까지 기다려야 하는 종래 기술에 비해 매우 빠른 시간 안에 충분한 양의 영양인자를 모아 영양인자의 농도 변화를 감지할 수 있다.

또한, 바이오 센서(41)가 몸체에 직접 부착되므로, 뇌액이 추출되는 뇌와 센서의 위치가 매우 가깝고, 저장소(33) 안에 저류된 뇌 액에 바이오 센서(41)가 직접 접촉하므로, 유동하는 뇌액에 바이오 센서(41)를 계속적으로 노출시킬 수 있어, 뇌액 속의 영양인자의 변화량을 실시간으로 측정할 수 있게 된다.

한편, 뇌 속에 탐침 몸체를 침습하여 뇌액을 추출하므로 센서 시스템의 크기가 작아야 한다. 본 실시예에 따르면, 미세 가공 기술과 리플로(reflow) 공정을 이용해 크기가 매우 작은 초소형의 센서 시스템을 형성한다.

도 5 내지 도 8은 초소형 센서 시스템(1)을 형성하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.

도 5에 도시된 바와 같이, 먼저 실리콘 웨이퍼를 몸체(10)로 하고, 몸체(10) 상에 채널(20, 30) 및 저장소(33)를 동시에 형성한다.

도 5에서는 몸체(10)의 형상이 탐침 몸체와 주 몸체를 형성하도록 완성되어 있지만, 이는 설명의 편의를 위한 것이며, 덩어리 형태의 웨이퍼에 채널(20, 30) 및 저장소(33)를 형성하고 판 형태의 하나의 커버(400)를 웨이퍼 상면 전체에 접합하는 등의 공정을 모두 거친 뒤, 웨이퍼 덩어리를 식각하여 몸체(10)의 형상을 최종 완성한다는 것이 이해되어야 할 것이다.

도 5에 도시된 바와 같이, 먼저 미소 유체 채널(20, 30)과 저장소(33)를 형성하기 위한 홈을 몸체(10) 상면에 오목하게 식각한다. 미소 유체 채널(20, 30)과 저장소(33)를 형성하기 위한 홈은 DRIE 공정에 의해 형성된다.

후술하는 바와 같이, 유리 재질의 커버를 용융시킨 뒤 리플로 공정을 거쳐 식각된 홈의 상면에 유리를 일부 함입시키는 방법으로 커버(200)를 형성하므로, 비교적 면적이 넓은 저장소(33)에는 커버(200)의 함몰을 막기 위한 기둥 역할을 하는 복수의 돌기(34)가 형성된다.

먼저 도 6을 참조하여, 도 2에 도시된 구조를 형성하기 위한 방법을 설명한다.

도 6(a)에 도시된 바와 같이, 버퍼용액 채널(20)과 영양인자 채널(30)을 형성할 부분 외에는 제1마스크(mask)(300)를 도포한다.

제1마스크(300)가 도포된 상태에서, DRIE 공정을 진행하여, 일정 깊이의 홈들이 형성되면 제1마스크(300)를 제거한다.

다음으로, 도 6(b)에 도시된 바와 같이, 진공상태에서 홈이 형성된 몸체(10)의 상면에 유리 재질인 평판 기판(400)을 결합한다. 본 실시예에 따르면, 몸체(10)와 기판(400)은 전압에 의한 결합 방식인 양극 접합(anodic bonding)에 의해 서로 강하게 접합된다. 유리 재질인 기판(400)의 녹는점(softening point)은 실리콘 재질의 몸체(10)의 녹는점에 비해 낮다.

몸체(10)와 기판(400)이 접합됨에 따라서, 몸체(10)의 상단에 형성된 홈들이 기판(4000에 의해 진공 상태로 폐쇄되어 밀봉된다.

이후, 도 6(c)에 도시된 바와 같이, 서로 접합된 몸체(10)와 기판(400)을 비진공 상태의 로(furnace)(미도시)에 넣고 유리의 녹는 점보다는 높고 실리콘의 녹는점보다는 낮은 온도에서 가열한다.

이에 따라서, 말랑말랑하게 용융된 기판(400)이 홈들의 내부로 녹아내리게 된다. 이때, 진공 상태인 홈들이 내부와 비진공 상태인 외부에는 소정의 압력차가 존재하며, 홈의 내외부의 압력차에 의해 용용된 기판(400)이 홈들 내부로 빨려들어가 더 빠르고 효과적으로 홈을 충진해 나간다.

기판(400) 재질이 소정 깊이만큼 홈들 내부로 유입되면, 열을 차단하여 기판(400)을 다시 경화시킨다.

이후, 도 6(d)에 도시된 바와 같이, 기판(400)이 충분히 굳으면 몸체(10)의 상면 위로 위치하는 기판(400)의 상단 부분을 제거하여, 몸체(10)의 상면과 평평하며, 각 채널(20, 30)을 폐쇄하는 커버(200)를 완성한다.

위와 같이, 유리를 용융시키는 리플로 공정을 통해 몸체(10)의 내부 쪽으로 함입된 커버(200)를 형성할 수 있으므로, 채널(20, 30)이 형성된 탐침 몸체(101)의 두께를 크게 감소시킬 수 있어, 탐침 몸체(101)가 삽입되는 뇌의 손상을 줄일 수 있다.

도 7은 도 3에 도시된 구조를 형성하기 위한 방법을 설명하기 위한 도면이다.

설명의 편의를 위해, 도 7과 도 6을 구분하여 도시하였지만, 도 7(a) 내지 (d)의 공정은 도 6(a) 내지 (d)의 공정과 한번에 이루어지는 동일 공정이다.

단, 도 7(e)에 도시된 바와 같이, 형성된 커버(200)의 상부를 드릴링하여, 버퍼용액 출구(21)와 영양인자 입구(31)를 형성하는 공정을 추가로 진행한다.

도 8은 도 4에 도시된 구조를 형성하기 위한 방법을 설명하기 위한 도면이다. 단, 도 8에서는 설명의 편의를 위해 바이오 센서(41)의 뒤 쪽으로 보이는 돌기(34)를 함께 도시하였다.

도 8(a)에 도시된 바와 같이, 제1마스크(300) 외에 돌기(34)가 형성될 부분 에 제2마스크(300)를 도포한다.

제1마스크와 제2마스크가 모두 도포된 상태에서, DRIE 공정을 진행하면, 돌기(34)가 내부에 형성된 홈이 형성된다.

일정한 깊이의 홈이 형성되면, 도 8(a')에 도시된 바와 같이, 제2마스크(301를 제거하고, 다시 2차 DRIE 공정을 진행한다.

2차 DRIE 공정을 통해 돌기(34)를 포함한 홈 전체가 깊이 방향으로 더 식각된다. 2차 DRIE 공정을 거치면 돌기(34)의 높이가 전체 홈의 깊이보다 낮게 형성된다.

다음으로, 도 8(a")에 도시된 바와 같이, 돌기(34)를 피해 홈 내부에 전극(42, 43)을 부착하고, 전극(42, 43) 위에 바이오 센서(41)를 부착한다. 바이오 센서(41)가 배치되는 높이는 돌기(34)의 높이에 비해 낮다.

다음으로, 도 8(b)에 도시된 바와 같이, 진공상태에서 홈이 형성된 몸체(10)의 상면에 유리 재질인 평판 기판(400)을 결합한다.

이때, 전극(41)이 몸체(10)의 상면에 부착되어 있으므로, 기판(400)이 전극(41) 근처에서 몸체(10)에 접합되지 않는 부분이 발생할 수 있다. 다만, 몸체(10) 및 기판(400)의 면적에 비해 비접합부의 면적이 매우 작으므로, 홈 내부에 진공을 형성하는데 큰 지장은 없다.

이후, 도 8(c)에 도시된 바와 같이, 서로 접합된 몸체(10)와 기판(400)을 비진공 상태의 로(furnace)(미도시)에 넣고 유리의 녹는 점보다는 높고 실리콘의 녹는점보다는 낮은 온도에서 가열한다.

저장소(33)를 형성하는 홈의 넓이가 비교적 넓으므로, 용융 시간이 지체되면, 기판(400)이 예상 외로 녹아내리면서 홈을 막아버릴 수 있다.

본 실시예에 따르면, 홈의 곳곳에 복수의 돌기(34)가 형성되므로, 돌기(34)가 홈의 아래쪽으로 급격히 무너지는 기판(400) 재료의 유동을 저지하여 기판(400)이 홈 전체로 함몰되는 것을 방지할 수 있다.

이후, 도 8(d)에 도시된 바와 같이, 기판(400)의 상단 부분을 연마하여, 전극(41, 43)이 몸체(10)의 상면 위로 노출되도록 한다.

본 실시예에 따르면, 깊이 반응성 식각 공정을 통해 채널과 저장소를 동시에 형성하고, 리플로 공정을 통해 커버를 형성하므로, 매우 작고 정밀한 센서 시스템을 형성할 수 있게 된다.

Claims

체액 내에 포함된 영양인자를 감지하기 위한 초소형 센서 시스템으로서,
몸체;
상기 몸체에 형성되며, 내부를 통해 유체 유동이 가능한 영양인자 채널;
상기 몸체에 형성되며, 버퍼용액을 체내에 유입시키는 버퍼용액 채널; 및
상기 몸체에 형성되며, 상기 영양인자를 감지할 수 있는 바이오 센서를 포함하고,
상기 영양인자 채널을 통해 상기 체내에서 상기 체액을 추출하고,
상기 바이오 센서는 상기 영양인자 채널을 유동하는 체액에 직접 접촉하도록 상기 영양인자 채널의 경로 중에 배치되어, 상기 체액 내의 영양인자의 농도를 감지하고,
상기 체내에 유입되는 버퍼용액에 의해 상기 체내의 압력이 상승하여, 상기 체액이 상기 영양인자 채널로 유입되는 것을 특징으로 하는 초소형 센서 시스템.
제1항에 있어서,
상기 몸체에는,
상기 영양인자 채널의 경로 중에 형성되며, 상기 영양인자 채널을 따라 유동하는 상기 체액을 저류할 수 있는 저장소가 형성되고,
상기 바이오 센서는 상기 저장소 안에 집적되는 것을 특징으로 하는 초소형 센서 시스템.
제2항에 있어서,
상기 영양인자 채널과 상기 저장소는 깊이 방향 식각에 의해 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 초소형 센서 시스템.
제2항에 있어서,
상기 영영인자 채널과 상기 저장소의 상부를 폐쇄하는 커버가 형성되고,
상기 저장소에는 상기 커버의 함몰을 방지하는 복수의 돌기가 형성된 것을 특징으로 하는 초소형 센서 시스템.
삭제
제1항에 있어서,
상기 몸체는,
길게 연장되어 상기 체내로 삽입되는 탐침 몸체와,
상기 탐침 몸체의 후단에 형성되어 체외에 위치하는 주 몸체를 포함하고,
상기 영양인자 채널은 상기 탐침 몸체로부터 상기 주 몸체까지 연장되고,
상기 바이오 센서는 상기 주 몸체에 배치되는 것을 특징으로 하는 초소형 센서 시스템.
제1항에 있어서,
상기 바이오 센서는 상기 영양인자 채널을 연속적으로 유동하는 상기 체액 내부의 상기 영양인자의 농도를 실시간으로 감지하는 것을 특징으로 하는 초소형 센서 시스템.
제1항에 있어서,
상기 바이오 센서는, 화학 센서, 전기 센서 또는 공진 센서인 것을 특징으로 하는 초소형 센서 시스템.