KR101555884B1 - Apparatus for driving probe - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to an apparatus for driving a probe and, more particularly, to an apparatus for driving a probe, capable of minimizing the transmission of heat generated in a driving unit to a subject by maximally separating the probe from the driving unit.

Description

프로브 구동장치{APPARATUS FOR DRIVING PROBE}[0001] APPARATUS FOR DRIVING PROBE [0002]

본 발명은 프로브 구동장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 프로브와 구동수단을 최대한 이격시켜 구동수단에서 발생되는 열이 피검사체에 전달되는 것을 최소화할 수 있는 프로브 구동장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a probe driving apparatus, and more particularly, to a probe driving apparatus capable of minimizing the transfer of heat generated by a driving unit to a subject by maximally separating a probe and a driving unit.

칩 형상의 전자 부품의 전기적 특성을 측정하기 위해, 전자 부품에 측정 탐침을 접촉시켜서 측정하는 방법이 행해지고 있다.In order to measure the electrical characteristics of the chip-shaped electronic component, a method of measuring the electronic component in contact with the measurement probe is performed.

이러한 측정 탐침은, 측정 탐침 구동장치에 의해 구동된다. 측정 탐침 구동장치는, 캠 기구 혹은 에어 실린더 등의 구동부와, 측정 탐침과, 커다란 구동력을 받는 슬라이드 부시나 리니어 부시를 이용한 길다란 측정 탐침 가이드로 이루어지며, 이 구동부의 왕복 운동에 의해 측정 탐침을 구동시키고 있다.Such a measurement probe is driven by a measurement probe drive. The measurement probe drive apparatus is composed of a drive section such as a cam mechanism or an air cylinder, a measurement probe, and an elongated measurement probe guide using a slide bush or a linear bush receiving a large drive force, and the measurement probe is driven I have to.

도 1 내지 도 4는 공개특허 제2001-0087108호에 개시된 측정 탐침 구동장치를 나타낸 것이다. Figs. 1 to 4 show a measurement probe driving apparatus disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-0087108.

도 2에 도시한 바와 같이, 칩 형상의 전자 부품(피가공재; W)이 턴테이블(22)에 의해 순차적으로 반송된다. 피가공재(W)가 턴테이블(22) 하방에 배치된 측정 탐침 구동장치(10)까지 도달하면, 측정 탐침 구동장치(10)에 의해 구동된 2개의 측정 탐침(20)이 상방으로 돌출되고, 측정 탐침(20)의 선단이 피가공재(W)에 접촉하여, 피가공재(W)의 전기적 특성이 측정 탐침(20)에 의해 측정된다.As shown in Fig. 2, chip-shaped electronic components (workpiece W) are sequentially transported by the turntable 22. As shown in Fig. When the workpiece W reaches the measuring probe driving device 10 disposed below the turntable 22, the two measuring probes 20 driven by the measuring probe driving device 10 are projected upward, The tip of the probe 20 comes into contact with the material to be processed W and the electrical property of the material to be processed W is measured by the measurement probe 20. [

다음으로, 측정 탐침 구동장치(10)에 대해 상세히 설명한다. 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 측정탐침 구동장치(10)는, 프레임(11)과, 프레임(11)에 지지점(13)을 통해서 스윙이 자유롭게 부착된 스윙 아암(12)을 구비하며, 2개의 측정 탐침(20)은 스윙 아암(12)의 선단에 의해 지지되어 있다.Next, the measurement probe driving apparatus 10 will be described in detail. 1 to 3, the measurement probe driving apparatus 10 includes a frame 11 and a swing arm 12 swingably attached to the frame 11 via a fulcrum 13 , The two measurement probes 20 are supported by the tip of the swing arm 12.

이 경우, 측정 탐침(20)은 스윙 아암(12)과 탐침 가이드(18) 사이의 적어도 일부가 유연성을 가지고 있어, 스윙 아암(12)의 회전 운동에 의해 발생하는 측정 탐침(20)에 대한 탐침 가이드(18)의 면 방향의 위치 어긋남을 측정 탐침(20)이 휘어짐으로써 흡수할 수 있게 되어 있다. 또한 프레임(11)의 측정 탐침(20)의 선단측에, 측정 탐침(20)의 선단측을 안내하는 종래의 부시에 비해 두께가 얇은 탐침 가이드(18)가 설치되고, 이러한 탐침 가이드(18)에는 측정 탐침(20)의 선단측이 관통하는 가이드 구멍(18a)이 형성되어 있다.In this case, the measurement probe 20 has flexibility at least in part between the swing arm 12 and the probe guide 18, so that the probe 20 for the measurement probe 20, which is generated by the rotational motion of the swing arm 12, The positional deviation of the guide 18 in the plane direction can be absorbed by bending the measurement probe 20. A probe guide 18 having a thickness smaller than that of a conventional bush for guiding the tip end of the measurement probe 20 is provided on the tip end side of the measurement probe 20 of the frame 11, A guide hole 18a through which the distal end side of the measurement probe 20 passes is formed.

스윙 아암(12)은 측정 탐침(20)이 탐침 가이드(18)의 겉표면에서부터 위쪽으로 돌출되는 돌출 위치와, 측정 탐침(20)이 탐침 가이드(18)의 겉표면에서부터 아래쪽으로 후퇴하는 후퇴 위치 사이에서 스윙할 수 있게 되어 있다.The swing arm 12 has a protruding position in which the measurement probe 20 protrudes upward from the outer surface of the probe guide 18 and a retracted position in which the measurement probe 20 is retracted downward from the outer surface of the probe guide 18 So that it can swing between the two.

이것을 도 1에 의해 설명하면, 프레임(11)에는 전자 코일(19)이 고정 부착되고, 한편 스윙 아암(12)에는 전자 코일(19)의 통전시에 전자 코일(19)에 흡착되는 흡착판(17)이 설치되며, 이들 전자 코일(19)에 통전되어 흡착판(17)이 흡착됨으로써, 스윙 아암(12)을 돌출 위치까지 구동시키는 구동 기구가 구성되어 있다. 이 경우, 흡착판(17)과 전자 코일(19)이 맞닿은 위치가, 스윙 아암(12)의 돌출 위치가 된다.1, the electromagnetic coil 19 is fixedly attached to the frame 11 while the swing arm 12 is provided with a suction plate 17 And a driving mechanism for driving the swing arm 12 to the protruding position is constructed by energizing the electromagnetic coils 19 and attracting the attracting plate 17. [ In this case, the position where the attracting plate 17 and the electromagnetic coil 19 abut each other is the projecting position of the swing arm 12.

또한 프레임(11)에는, 조정 나사(16)가 부착되며, 이 조정 나사(16)에 의해 스토퍼(15)가 지지되어 있다. 그리고 조정 나사(16)의 바깥 둘레에는, 프레임(11)과 스윙 아암(12) 사이에 위치하는 스프링(21)이 압착 가능하게 부착되어 있다. 이러한 스프링(21)은 스윙 아암(12)을 후퇴 위치까지 구동시키는 구동 기구를 구성한다. 스윙 아암(12)의 후퇴위치는 스토퍼(15)에 의해 규제되는데, 조정 나사(16)를 프레임(11)에 대해 꽉 조이거나 느슨하게 풀음으로써, 스토퍼(15)의 위치는 바뀔 수 있다.An adjusting screw 16 is attached to the frame 11 and the stopper 15 is supported by the adjusting screw 16. [ A spring (21) positioned between the frame (11) and the swing arm (12) is attached to the outer periphery of the adjusting screw (16) so as to be press fit. The spring 21 constitutes a driving mechanism for driving the swing arm 12 to the retracted position. The retracted position of the swing arm 12 is regulated by the stopper 15. The position of the stopper 15 can be changed by tightening or loosening the adjusting screw 16 against the frame 11. [

더욱이, 도 1에 도시한 바와 같이 프레임(11)에는 스윙 아암(12)의 돌출 위치를 검출하는 센서(14)가 부착되어 있다.Further, as shown in Fig. 1, a sensor 14 for detecting the protruding position of the swing arm 12 is attached to the frame 11. As shown in Fig.

그러나 위와 같이 구성된 종래의 탐침 구동장치는 솔레노이드를 작동할 때 필연적으로 열이 발생하게 된다. 그런데 칩형상의 전자부품이 열에 취약하거나 영향을 받는 부품들이 있다. 예를 들어 열센서(thermal sensor)가 대표적이다. However, in the conventional probe driving apparatus configured as described above, heat is inevitably generated when the solenoid is operated. However, there are parts in which chip-shaped electronic components are susceptible to heat or are affected. For example, thermal sensors are typical.

이와 같이 열에 영향을 받는 전자부품을 취급할 때 솔레노이드의 작동에 의해 발생되는 열은 피가공재인 전자부품에 악영향을 미치는 문제가 있다.
When the electronic parts affected by the heat are handled as described above, there is a problem that the heat generated by the operation of the solenoid adversely affects the electronic parts to be processed.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 프로브와 구동수단을 최대한 이격시켜 구동수단에서 발생되는 열이 피검사체에 전달되는 것을 최소화할 수 있는 프로브 구동장치를 제공함에 있다.
It is an object of the present invention to provide a probe driving apparatus capable of minimizing the transfer of heat generated in a driving unit to a subject by maximally separating a probe and a driving unit have.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 탐침 구동장치는 프레임; 상기 프레임에 축결합되어 회동 가능하게 설치되는 지지대; 소정길이를 가지며, 상기 지지대의 일측에 수직으로 설치되는 프로브; 상기 프로브를 안내하도록 상기 프레임에 구비되는 가이드부; 및 상기 프로브가 상기 가이드부의 표면에서 출몰하도록 상기 지지대의 타측에 외력을 작용하여 상기 지지대를 회동시키는 구동수단;을 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a probe driving apparatus including: a frame; A support shaft axially coupled to the frame so as to be rotatable; A probe having a predetermined length and installed vertically on one side of the support; A guide provided on the frame to guide the probe; And driving means for rotating the support by acting an external force on the other side of the support so that the probe protrudes and retreats from the surface of the guide.

또한 상기 구동수단은 상기 지지대의 타측에 연결되는 솔레노이드인 것이 바람직하다. Further, the driving means is preferably a solenoid connected to the other side of the support.

또한 상기 프레임은 상기 솔레노이드를 지지하도록 연장부가 형성되는 것이 바람직하다.
Further, the frame is preferably formed with an extension portion for supporting the solenoid.

본 발명에 따르면, 프로브와 구동수단을 최대한 이격시켜 구동수단에서 발생되는 열이 피검사체에 전달되는 것을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
According to the present invention, it is possible to minimize the transfer of heat generated by the driving means to the test subject by maximally separating the probe and the driving means.

도 1 내지 도 4는 종래 프로브 구동장치를 나타낸 것이다.
도 5는 본 발명에 의한 프로브 구동장치를 나타낸 것이다. 1 to 4 show a conventional probe driving apparatus.
5 shows a probe driving apparatus according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예의 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a configuration and an operation of an embodiment according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 5를 참조하면, 본 발명에 의한 실시예(100)는 프레임(111)과, 지지대(112)와, 프로브(120)와, 가이드부(118)와, 구동수단(130)을 포함한다. 5, an embodiment 100 of the present invention includes a frame 111, a support base 112, a probe 120, a guide unit 118, and a drive unit 130.

상기 지지대(112)는 상기 프레임(111)에 회동가능하게 결합하되, 특히, 지지대의 중간영역이 회전축에 의해 결합된다. The support base 112 is rotatably coupled to the frame 111, and in particular, an intermediate region of the support base is coupled to the rotation axis.

또한 상기 지지대(112)의 일측(112a, 도면상 회전축의 좌측)에는 프로브(120)가 수직으로 결합되는데, 본 실시예에서 프로브(120)는 길고 가느다란 형상이다. A probe 120 is vertically coupled to one side 112a (left side of the rotation axis in the drawing) of the support base 112. In this embodiment, the probe 120 has a long and slender shape.

상기 프로브(120)의 선단을 안내하도록 프레임(111)의 상면에는 가이드부(118)가 구비된다는 것을 알 수 있다. It is understood that the guide part 118 is provided on the upper surface of the frame 111 to guide the tip of the probe 120.

또한, 지렛대 원리에 의해 상기 지지대(112)를 회동시켜 프로브(120)를 가이드부(118)의 표면에서 출몰시키는 구동수단이 구비된다. In addition, a drive means for rotating the support base 112 by the principle of leverage and projecting and retracting the probe 120 from the surface of the guide portion 118 is provided.

상기 구동수단은 상기 지지대(112)의 타측(112b, 도면상 회전축의 우측)에 외력을 작용한다. The driving means exerts an external force on the other side (112b, right side of the rotating shaft in the figure) of the support base 112. [

보다 구체적으로 설명하면, 상기 지지대의 타측(112b)을 상승시키면 프로브(120)는 가이드부(118)의 표면 하부로 후퇴하고, 반대로 지지대의 타측(112b)을 하강하면 프로브(120)는 상기 가이드부(118)의 표면 상부로 출현하게 되는 것이다. More specifically, when the other side 112b of the supporter is raised, the probe 120 retreats to the lower surface of the guide part 118. Conversely, when the other side 112b of the supporter descends, As shown in FIG.

본 실시예에서 구동수단은 솔레노이드(130)로 구성된다. 도시된 바와 같이 지지대(112)의 타측(112b) 하부에는 프레임(111)이 연장된 연장부(111a)가 형성된다. In this embodiment, the driving means is constituted by the solenoid 130. As shown in the figure, an extension 111a extending from the frame 111 is formed below the other side 112b of the support 112. [

또한 상기 지지대(112)의 타측(112b) 하부에는 흡착부(132)가 연결되고, 상기 연장부(111a)에는 전자코일(131)이 구비된다. 따라서 전자코일(131)에 통전되면 흡착판(132)이 흡착됨으로써 지지대(112)의 타측(112b)은 하강하고, 반대로 지지대의 일측(112a)은 상승하여 프로브(120)의 선단이 가이드부(118)의 표면에 출현하게 되는 것이다. A suction part 132 is connected to the lower part of the other side 112b of the supporter 112 and an electromagnetic coil 131 is provided in the extension part 111a. When the electromagnetic coil 131 is energized, the attracting plate 132 is attracted so that the other side 112b of the support 112 descends. On the contrary, the one side 112a of the support 112 rises and the tip of the probe 120 is guided by the guide part 118 ). ≪ / RTI >

본 실시예에서 구동수단은 솔레노이드(130)로 구성하지만, 이와 달리 지지대(112)의 타측(112b)에 외력을 작용하여 지지대의 일측(112a)에 결합된 프로브(120)를 승강시킬 수 있는 공지의 수단이 적용될 수 있다. In this embodiment, the driving means is constituted by the solenoid 130. Alternatively, the driving means may be a solenoid 130 which is actuated by an external force acting on the other side 112b of the supporting base 112 to raise and lower the probe 120 coupled to the one side 112a of the base. Means of < / RTI >

또한 프레임(111)에는 조정나사(116)가 부착되며, 상기 조정나사(116)에 의해 스토퍼(115)가 지지되어 있다. 그리고 조정나사(116)의 외주면에는 프레임(111)과 지지대(112) 사이에 위치하는 스프링(121)이 압착 가능하게 부착되어 있다. 이러한 스프링(121)의 탄성복원력에 의해 지지대(112)를 후퇴위치까지 복귀시킨다. An adjusting screw 116 is attached to the frame 111, and the stopper 115 is supported by the adjusting screw 116. On the outer peripheral surface of the adjustment screw 116, a spring 121, which is positioned between the frame 111 and the support base 112, The support base 112 is returned to the retracted position by the elastic restoring force of the spring 121.

또한 프레임(111)에는 지지대(112)의 돌출 위치를 검출하는 센서가(114) 더 구비된다.
The frame 111 is further provided with a sensor 114 for detecting the protruding position of the support stand 112.

100: 프로브 구동장치
111: 프레임 112: 지지대
113: 회전축 114: 센서
115: 스토퍼 116: 조정나사
118: 가이드부 120: 프로브
121: 스프링 130: 솔레노이드100: probe driving device
111: frame 112: support
113: rotation shaft 114: sensor
115: stopper 116: adjusting screw
118: guide part 120: probe
121: spring 130: solenoid

Claims (3)

프레임;
중간영역이 상기 프레임에 회전축에 의해 축결합되어 회동 가능하게 설치되는 지지대;
소정길이를 가지며, 상기 회전축을 기준으로 상기 지지대의 일측에 수직으로 설치되는 프로브;
상기 프로브를 안내하도록 상기 프레임에 구비되는 가이드부; 및
상기 프로브가 상기 가이드부의 표면에서 출몰하도록 상기 회전축을 기준으로 상기 지지대의 타측에 외력을 작용하여 상기 지지대를 회동시키는 구동수단;을 포함하며,
상기 구동수단은 상기 지지대의 타측에 연결되는 솔레노이드이고,
상기 프레임은 상기 솔레노이드를 지지하도록 연장부가 형성되고,
상기 연장부는 상기 지지대를 사이에 두고 상기 가이드부의 반대편에 형성되는 것을 특징으로 하는 탐침 구동장치. frame;
A support member having an intermediate region axially coupled to the frame by a rotation shaft so as to be rotatable;
A probe having a predetermined length and being vertically installed on one side of the support base with respect to the rotation axis;
A guide provided on the frame to guide the probe; And
And driving means for rotating the support by exerting an external force on the other side of the support base with respect to the rotation axis so that the probe projects from the surface of the guide portion,
The driving means is a solenoid connected to the other side of the support,
Wherein the frame is formed with an extension portion for supporting the solenoid,
Wherein the extended portion is formed on the opposite side of the guide portion with the support member interposed therebetween. 삭제delete 삭제delete
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