KR101554504B1 - 박막 증착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 태양전지, 평판 디스플레이, 반도체 등을 제조하는데 이용될 수 있으며, 웨이퍼 또는 글라스 등의 기판(substrate)에 박막층을 형성시킬 때 생산성을 증대시킬 수 있는 박막 증착 장치에 관한 것이다.
본 발명의 박막 증착 장치는, 증착 대상물이 유입되거나 배출되는 입구 및 출구를 구비한 케이스, 케이스 내부로 가스를 공급하는 가스 공급부, 케이스의 내부에 배치되는 가열부 어셈블리, 케이스의 내부에 배치되는 가이드 레일, 가이드 레일을 따라 미끄럼 이동되며 증착 대상물이 고정되는 증착 대상물 고정 트레이, 그리고 증착 대상물 고정 트레이를 이송시키는 이송부를 포함하며, 가열부 어셈블리는 케이스의 양 사이드 측에 배치되고, 증착 대상물 고정 트레이는 가열부 어셈블리 사이에 제공되고 증착 대상물이 증착 대상물 고정 트레이에 세워져 배치되는 박막 증착 장치를 제공한다.
태양전지, 솔라셀, 증착, 기판, 양면, 고정트레이, 배치, 플라즈마

Description

박막 증착 장치{Evaporation coating device for manufacturing thin film}
본 발명은 박막 증착 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 태양전지, 평판 디스플레이, 반도체 등을 제조하는데 이용될 수 있으며, 웨이퍼 또는 글라스 등의 기판에 박막층을 형성시키는 공정에서 생산성을 증대시킬 수 있는 박막 증착 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 태양전지는 실리콘 웨이퍼를 기판으로 이용한 실리콘형 태양전지와 글라스 등의 플렉시블 기판을 이용한 박막형 태양전지로 나누어질 수 있다.
이러한 태양전지는 통상 단층의 PN 접합 구조를 가지는데, 최근에는 태양전지의 고효율화를 위해 기판의 일면 또는 양면에 여러 층의 태양전지 층을 쌓아 올리는 다층 구조의 태양전지도 많이 연구되고 있다.
실리콘형 태양전지는 웨이퍼 위에 PN 접합과 전극을 형성하여 만들어진다. 즉, 실리콘 태양전지는 P형 단결정 실리콘 웨이퍼 위에 인 등 확산물질을 뿌려 N 형 반도체를 만들고 PN 접합을 한 후에 빛의 반사율을 줄이기 위해 반사 방지막을 입힌다. 또한, 내부의 전류가 밖으로 흐를 수 있도록 상, 하부 전극을 형성하는 제조 과정을 가진다.
이러한 태양전지는 하나가 출력할 수 있는 전력의 양이 제한적이기 때문에 일반적으로 수십에서 수백 개가 합쳐져 모듈을 이룬다. 여러 개의 모듈은 다시 하나의 어레이 패널로 합쳐지고, 여러 개의 패널이 합쳐져 태양광 발전 시스템이 만들어진다.
또한, 박막형 태양전지는 원료가스 분해, 실리콘 증착, PN 접합 형성, 그리고 반사 방지막과 전극을 형성하여 제조된다. 원료가스의 분해는 진공 내에 실리콘을 포함한 모노실란 등의 원료가스를 유입하고, 플라즈마 또는 열선 등의 높은 에너지를 가하여 이루어진다. 통상 200℃ ~ 300℃로 가열된 투명전극(ITO)을 지닌 기판 위에 원료가스와 붕소를 포함한 가스(B2H6)를 혼입하여 P형 박막을 형성하고, 다음으로 모노실란을 투입하여 실리콘이 증착된 대상물 위에 쌓이도록 한다. 그 다음으로 원료가스와 인을 포함한 가스(PH3)를 혼입하여 N형 박막을 형성함으로써 박막형 태양전지가 제조된다.
이러한 통상의 태양전지 제조 과정에서 사용되는 박막 증착 장치는 박막 증착 대상물(웨이퍼 또는 글라스 등의 기판)이 아래쪽에 수평으로 배치되고 이 증착 대상물의 위쪽에 가스 공급장치 및 플라즈마 소스 또는 열선 등으로 이루어지는 가열부가 배치되는 구조를 가진다. 즉, 통상의 박막 증착 장치는 증착 대상물과 가열부가 상, 하 측에 각각 배치되는 구조를 가진다.
이러한 종래의 박막 증착 장치는 증착 과정에서 가스 공급장치 등에 붙어 있던 파티클이 증착 대상물로 떨어져 증착 불량이 발생되거나 또는 성능 및 효율이 떨어질 수 있는 문제점이 있다.
또한, 종래의 박막 증착 장치는, 증착 대상물이 수평으로 배치되면서 하나씩 증착 처리되는 구조로 이루어져 있어 처리 시간이 증대됨으로써 생산성이 떨어지는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로써, 본 발명의 목적은 태양전지, 평판 디스플레이, 반도체 등을 제조하는 과정에서 수평으로 배치된 증착 대상물에 파티클이 떨어지는 것을 방지하여 제품의 불량을 줄임과 동시에 여러 개의 증착 대상물을 동시에 처리할 수 있도록 하여 처리 시간을 줄임으로써 생산성을 증대시킬 수 있는 박막 증착 장치를 제공하는데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 증착 대상물이 유입되거나 배출되는 입구 및 출구를 구비한 케이스, 상기 케이스 내부로 가스를 공급하는 가스 공급부, 상기 케이스의 내부에 배치되는 가열부 어셈블리, 상기 케이스의 내부에 배치되는 가이드 레일, 상기 가이드 레일을 따라 미끄럼 이동되며 증착 대상물이 고정되는 증착 대상물 고정 트레이, 그리고 상기 증착 대상물 고정 트레이를 이송시키는 이송부를 포함하며, 상기 가열부 어셈블리는 상기 케이스의 양 사이드 측에 배치되고, 상기 증착 대상물 고정 트레이는 상기 가열부 어셈블리 사이에 제공되고 증착 대상물이 상기 증착 대상물 고정 트레이에 세워져 배치되어 구성되는 박막 증착 장치를 제공한다.
상기 증착 대상물 고정 트레이는 증착 대상물을 고정시킬 수 있는 고정부가 양면에 제공되는 것이 바람직하다.
상기 고정 트레이는 상기 증착 대상물의 양면이 상기 가열부 어셈블리에 노 출될 수 있도록 중간 부분에 하나 이상의 관통부가 제공되는 것이 바람직하다.
상기 케이스는 상, 하부에 배기장치가 제공되는 것이 바람직하다.
상기 케이스는 상기 가열부 어셈블리가 배치되는 양 사이드 측에 각각 개폐 가능한 커버가 제공되는 것이 바람직하다.
상기 가열부 어셈블리는 다수의 열선들을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 가열부 어셈블리는 플라즈마 발생장치로 이루어지는 것이 바람직하다
이와 같은 본 발명은 증착 대상물이 증착 대상물 고정 트레이에 세워진 상태로 배치되므로 증착 대상물에 파티클 등이 떨어지는 것을 방지하여 불량을 줄일 수 있다.
또한, 본 발명은 증착 대상물 고정 트레이에 여러 개의 증착 대상물이 동시에 세워진 상태로 배치되어 증착이 이루어짐으로써 일회에 처리할 수 있는 처리량을 증대시켜 생산성을 향상시키는 효과가 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 실시 예의 외형을 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 주요부를 나타내는 사시도이며, 도 3은 도 2의 주요 부분을 분해한 도면으로, 박막 증착 장치를 도시하고 있다. 본 발명의 박막 증착 장치는 실리콘 및 박막형 태양전지, 평판 디스플레이, 반도체 등을 제조하는데 이용되는 웨이퍼, 글라스 등의 기판(이 하, '증착 대상물' 이라고 함)의 측면에 박막층을 증착하는데 이용될 수 있다.
본 발명의 박막 증착 장치는 내부에 공간이 제공되는 케이스(1), 이 케이스(1)의 양 측면에 개폐 가능하게 커버(3, 5)가 결합된다.
상술한 케이스(1)에는 증착 대상물(S1, 도 4에 표시하고 있음)이 수직으로 세워진 상태로 들어가거나 나갈 수 있는 입구(1a, 도 2 내지 도 4에 도시하고 있음)와 출구(1b, 도 2와 도 3에 도시하고 있음)가 제공된다. 또한, 케이스(1)에는 그 내부에 원료가스 등을 공급하기 위한 가스 공급부(7, 9)가 제공된다.
상술한 케이스(1)의 저면에는 커버(3, 5)들이 힌지 결합되는 힌지 결합부(11, 13)가 제공된다. 그리고 케이스(1)의 위쪽에는 커버(3, 5)들이 케이스(1)에 체결되는 체결부재(15, 17)들이 제공된다.
케이스(1)에 커버(3, 5)들을 결합하는 체결부재(15, 17)들은 통상의 원터치식 클램프 등이 사용될 수 있다. 이와 같이 케이스(1)와 커버(3, 5)들이 힌지 결합되면서 원터치식의 클램프로 고정되는 구조는 커버(3, 5)들을 케이스(1)에서 쉽게 분리하고 결합할 수 있어 유지 보수가 용이하게 이루어질 수 있다.
상술한 케이스(1)에는 위쪽과 아래쪽 방향으로 배기 관로(18, 20)들이 설치되어 내부와 연결된다. 이러한 배기 관로(18, 20)들은 내부의 가스 등을 배출하기 위한 것으로 펌프(도시생략)에 연결되는 것이 바람직하다.
상술한 커버(3, 5)들의 내측 부분에는 가스 공급부(7, 9)에서 공급되는 원료 가스를 확산시키기 위한 확산판(19, 21)들이 결합된다. 확산판(19, 21)에는 다수의 관통 구멍이 뚫어져 있어 넓은 면으로 가스를 분산시킬 수 있다.
그리고 커버(3, 5)들에는 확산판(19, 21)과 일정한 공간이 띄워지는 위치에 가열부 어셈블리(23, 25, 도 4에 도시하고 있음)가 결합된다.
그리고 케이스(1)에는 내부의 가운데 부분에 증착 대상물(S1)이 수직으로 세워진 상태로 미끄럼 이동되어 내부로 유입되거나 또는 외부로 배출되도록 안내하는 가이드 레일(27, 29, 도 4에 도시하고 있음)이 제공된다. 케이스(1)에는 증착 대상물(S1)을 이송시키는 이송부(32, 34, 도 5에 도시하고 있음)가 제공되는 것이 바람직하다.
상술한 가열부 어셈블리(23, 25)는 다수의 열선이 일정한 간격으로 배치되며 이 열선이 가열되어 고열을 발생시킬 수 있는 구조로 이루어진다. 본 발명의 실시 예에서 도시하여 설명하는 가열부 어셈블리(23, 25)는 고열을 발생시킬 수 있는 구조로 이루어지는 것이면 어떠한 구조도 적용될 수 있다.
상술한 가이드 레일(27, 29)들은 입구(1a)와 출구(1b)를 통과하여 증착 대상물 고정 트레이(31)가 이동될 수 있도록 배치되는 것이 바람직하다. 또한, 가이드 레일(27, 29)들은 상, 하 방향으로 일정한 거리가 띄워져 쌍을 이루어 배치되는 것이 바람직하다.
이러한 가이드 레일(27, 29)을 따라 이동하는 증착 대상물 고정 트레이(31)에 대하여 도 6 및 도 7을 참조하여 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.
증착 대상물 고정 트레이(31)는 위쪽과 아래쪽을 향하는 면은 상술한 가이드 레일(27, 29)들에 접촉되어 미끄럼 이동될 수 있는 구조를 가진다. 즉, 증착 대상물 고정 트레이(31)는 위쪽면과 아래쪽 면에 각각 미끄럼 접촉면(31a, 31b)들이 제 공된다.
미끄럼 접촉면(31a, 31b)들은, 도 6과 도 7에 도시된 바와 같이, 가이드 레일(27, 29)의 단면 형상과 같이 라운드 형태로 이루어져 가이드 레일(27, 29)에 밀착되어 안정적으로 이동될 수 있는 구조를 가진다.
그리고 증착 대상물 고정 트레이(31)는 상부와 하부의 일부가 연장되어 증착 대상물(S1, S2)이 끼워질 수 있는 끼움 홈으로 이루어지는 고정부(41, 43, 45, 47)들이 제공된다. 이러한 고정부(41, 43, 45, 47)들에는 복수의 증착 대상물(S1, S2)이 서로 나란하게 세워서 끼워질 수 있다. 이러한 구조는 한 번의 공정으로 두 장의 증착 대상물(S1, S2)의 일면에 동시에 박막층(Sa, 도 7에 부호를 부여하여 도시하고 있음)을 증착시킬 수 있다.
또한, 증착 대상물 고정 트레이(31)는 가운데 부분에 관통부(31c)가 제공된다. 관통부(31c)는 양면 증착시 관통부를 통한 증착 면적을 최대한 확보하기 위해서 가능한 넓은 공간으로 이루어지는 것이 바람직하다.
이러한 구조는 증착 대상물 고정 트레이(31)에 하나의 증착 대상물(예를 들면 도 6에서 S2)이 고정부(41, 45)에 세워져 고정된 경우, 증착 대상물(S2)의 양면에 박막층을 동시에 증착시킬 수도 있다.
이러한 경우에는 필요에 따라 증착 대상물의 양면에 증착을 하는 경우에 있어서 매우 효과적이다.
그리고 상술한 증착 대상물 고정 트레이(31)는 이송부(32, 34, 도 5에 도시하고 있음)에 의하여 인접한 케이스로 이동될 수 있다.
이송부(32, 34)는, 도 5에 도시하고 있는 바와 같이, 모터(M1, M2)등의 구동원과 이 구동원에 의하여 회전하는 트랜스퍼 로드(101, 103)를 포함한다. 트랜스퍼 로드(101, 103)는 일부가 밴딩된 구조로 이루어지며, 구동원에 의하여 회전되면서 증착 대상물 고정 트레이(31)에 마련된 돌기부(30)들을 밀어냄으로써 상기 증착물 고정 트레이(31)를 가이드 레일(27, 29)을 따라 이송시킬 수 있다.
본 발명의 실시 예에서 이송부(32, 34)는 구동원에 의하여 회전하는 트랜스퍼 로드(101, 103)로 구성된 예를 도시하여 설명하고 있으나 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 구조로 이루어질 수 있다.
이와 같이 이루어지는 본 발명의 실시 예에 의하여 증착 대상물이 케이스 내에서 증착되는 과정을 설명하면 다음과 같다.
가열부 어셈블리(23, 25)들은 증착 대상물(S1, S2)들을 사이에 두고 서로 평행인 상태로 배치된다. 물론 가열부 어셈블리(23, 25)들은 수직으로 배치되는 것이 바람직하다. 증착 대상물(S1, S2)들도 수직으로 배치되는 것이 바람직하다.
이와 같이 가열부 어셈블리(23, 25)와 증착 대상물(S1, S2)들이 수직방향으로 배치되는 구조는 가스 공급부(7, 9)들 측에 있던 파티클이 증착 대상물에 떨어지는 것을 방지할 수 있고, 이로 인하여 증착 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
그리고 고정 트레이(31)에 제공된 결합부(43, 47)와 또 다른 결합부(41, 45)에 증착 대상물(S1, S2)들이 끼워진 상태로 고정된다.
증착 대상물(S1, S2)이 끼워진 고정 트레이(31)는 별도의 로더(도시생략)에 의하여 가이드 레일(27, 29)을 따라 이동되어 중앙 부분에 배치된다.
일 예로서, 박막형 태양전지의 증착 공정의 경우, 케이스(1)의 내부로 원료가스가 공급되면 이 원료가스는 가열부 어셈블리(23, 25)의 높은 열에너지에 의하여 분해된다. 이때 원료 가스에 예를 들면 붕소 가스를 포함한 가스를 섞어서 투입함으로써 P형 실리콘 박막이 증착 대상물(S1, S2)의 일면에 각각 증착된다.
다음으로 모노실란을 투입하여 실리콘이 증착된 대상물 위에 쌓이도록 한다. 그 다음으로 원료가스와 인을 포함한 가스(Ph3)를 혼입하여 N형 박막을 형성함으로써 박막형 태양전지가 제조될 수 있다.
그리고 다음 공정을 진행하기 위하여 증착 대상물 고정 트레이(31)를 이송시킨다. 이때 제어유닛(도시생략)에 의하여 모터(M1, M2)를 순차적으로 제어하여 구동시킨다. 그러면 트랜스퍼 로드(101)가 회전하여 증착 대상물 고정 트레이(31)에 밀착되면서 증착 대상물 고정 트레이(31)를 일측 방향으로 밀어낸다(도 5에 도시하고 있음).
이때 상기 트랜스퍼 로드(101)가 증착 대상물 고정 트레이(31)를 밀어 낸 후 원래 위치로 복귀할 때에는 상기 증착 대상물 고정 트레이(31)의 돌기부(30)에 걸리지 않도록 일정 부분 인출되며, 복귀된 후 다시 인입되어 짐은 이해 가능하다.
따라서 증착 대상물 고정 트레이(31)는 가이드 레일(27, 29)을 따라 이동되면 인접하여 배치된 다른 케이스(도시생략)로 이동하는 것이다.
다음으로 고정 트레이가 다른 케이스의 내부로 이동되면 모노실란을 투입하여 실리콘이 증착된 대상물 위에 쌓이도록 한다. 그 다음으로 다시 고정 트레이가 다른 케이스로 이동되도록 한 후, 원료 가스와 인을 포함한 가스(PH3)를 혼입하여 N형 박막을 형성함으로써 박막형 태양전지가 제조될 수 있다.
본 발명의 실시 예는 가열부 어셈블리(23, 25)들과 증착 대상물이 마주하여 평행으로 배치되고, 각각 수평면에 대하여 수직 방향으로 배치되므로 원료 가스 공급부 측 또는 가열부 어셈블리 측에서 떨어질 수 있는 파티클이 증착 대상물에 직접 떨어지는 것이 방지되어 제품의 불량을 줄일 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 예는 양쪽에서 가열부 어셈블리(23, 25)들이 가열되어 중앙부에 배치된 증착 대상물에 박막층의 증착이 이루어지므로 2개의 증착 대상물에 동시에 증착할 수 있으며, 또한, 하나의 증착 대상물의 양면에 증착이 이루어지도록 할 수 있다.
한편, 도 8은 본 발명의 다른 실시 예를 설명하기 위하여 도시한 사시도이고, 도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ를 잘라서 본 단면도로, 여러 개의 증착 대상물들에 동시에 증착시킬 수 있는 증착 대상물 고정 트레이(51)를 도시하고 있다.
이러한 본 발명의 다른 실시 예를 상술한 실시 예와 비교하여 다른 점만을 설명하기로 한다.
본 발명의 다른 실시 예는 증착 대상물 고정 트레이(51)에 여러 개의 증착 대상물을 동시에 고정하여 한 번에 여러 개의 증착 대상물에 박막층을 증착시킬 수 있는 것이다.
즉, 다른 실시 예의 증착 대상물 고정 트레이(51)는 8개의 증착 대상물을 동 시에 끼울 수 있는 끼움 홈들로 이루어지는 고정부(51a, 51b, 51c, 51d, 51e, 51f, 51g, 51h)들이 마련되어 있다. 따라서 증착 대상물이 이 고정부(51a, 51b, 51c, 51d, 51e, 51f, 51g, 51h)들에 끼워짐으로써 동시에 8개의 증착 대상물의 일면에 각각 박막층 등을 증착시킬 수 있는 것이다.
물론 이러한 다른 실시 예의 증착 대상물 고정 트레이(51)에도 일부분에 각각 다수의 관통부(53, 55, 57, 59)가 제공된다. 따라서 고정 트레이(51)의 일측에 증착 대상물들이 설치된 경우에 여러 개의 증착 대상물(예를 들면 4장의 증착 대상물)의 양면에 박막층 등을 증착할 수 있는 것이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시 예를 설명하기 위하여 도시한 구성도로, 플라즈마를 이용한 박막 증착 장치를 도시하고 있다. 본 발명의 다른 실시 예를 상술한 실시 예 동일한 부분은 상술한 예의 설명으로 대치하고 다른 점만을 설명하기로 한다.
즉, 상술한 실시 예에서는 증착 대상물의 양측에 고열을 발생시키는 가열부 어셈블리가 배치되어 있으나, 본 발명의 다른 실시 예인 플라즈마를 이용한 박막 증착 장치는, 증착 대상물(S1, S2)의 양측에 전극(151, 153) 들이 배치되어 플라즈마 증착을 구현할 수 있는 점에 차이가 있다. 플라즈마를 이용한 박막층의 증착은 이미 알려진 기술이므로 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.
따라서 본 발명은 핫 와이어(Hot wire)를 이용한 구조 뿐 만 아니라 플라즈마(plasma)를 이용하여 박막층을 증착할 수 있는 구조에도 적용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예의 외형을 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 내부를 보여주는 사시도이다.
도 3은 도 2의 주요한 부분을 분해하여 도시한 분해 사시도이다.
도 4는 도 1의 Ⅳ-Ⅳ부를 잘라서 본 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 적용되는 증착 대상물 고정 트레이를 이송시키는 이송부의 구조와 작동 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 증착 대상물 고정 트레이의 실시 예를 도시한 사시도이다.
도 7은 도 6의 Ⅶ-Ⅶ부를 잘라서 본 단면도이다.
도 8은 도 6의 다른 실시 예를 도시한 사시도이다.
도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ부를 잘라서 본 단면도이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시 예로 플라즈마 발생 장치가 적용된 예를 도시한 구성도이다.

Claims (7)

  1. 증착 대상물이 유입되거나 배출되는 입구 및 출구를 구비한 케이스;
    상기 케이스 내부로 가스를 공급하는 가스 공급부;
    상기 케이스의 내부에 배치되는 가열부 어셈블리;
    상기 케이스의 내부에 배치되는 가이드 레일;
    상기 가이드 레일을 따라 미끄럼 이동되며 증착 대상물이 고정되는 증착 대상물 고정 트레이; 그리고
    상기 증착 대상물 고정 트레이를 이송시키는 이송부를 포함하며,
    상기 가열부 어셈블리는 상기 케이스의 양 사이드 측에 배치되고,
    상기 증착 대상물 고정 트레이는 상기 가열부 어셈블리 사이에 배치되며,
    상기 증착 대상물 고정 트레이에는 상기 증착 대상물의 양면이 상기 가열부 어셈블리에 노출될 수 있도록 중간 부분에 하나 이상의 관통부가 제공되는 박막 증착 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 증착 대상물 고정 트레이에는 상기 증착 대상물이 세워져 고정될 수 있는 고정부가 양면에 제공되는 박막 증착 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 이송부는 구동원에 의하여 회전하는 트랜스퍼 로드를 포함하고, 상기 트랜스퍼 로드는 상기 구동원에 의하여 회전하면서 상기 증착 대상물 고정트레이에 마련된 돌기부를 밀어냄으로써 상기 증착물 고정 트레이를 상기 가이드 레일을 따라 이송시키는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 케이스는 상, 하부에 배기장치가 제공되는 박막 증착 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 케이스에는 상기 가열부 어셈블리가 배치되는 양 사이드 측에 각각 개폐 가능한 커버가 제공되는 박막 증착 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 커버의 내측 부분에는 상기 가스 공급부에서 공급되는 가스를 확산시키기 위한 확산판이 결합되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 가열부 어셈블리는 다수의 열선들을 포함하거나, 플라즈마 발생장치인 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
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JP2002270600A (ja) * 2001-03-14 2002-09-20 Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd プラズマｃｖｄ装置、プラズマｃｖｄ方法及び薄膜太陽電池
KR100670106B1 (ko) * 2004-05-14 2007-01-17 에이피티씨 주식회사 챔버 천장에 히터를 구비한 플라즈마 장비

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