KR101545260B1 - Apparatus for transferring substrate - Google Patents

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Abstract

기판 이송 장치가 제공된다. 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 기판을 지지하며 상기 기판을 제1 방향을 따라 이송시키는 제1 레인 및 제2 레인을 포함하는 입구 컨베이어, 상기 입구 컨베이어로부터 상기 기판을 공급받는 기판처리부, 및 상기 기판처리부로부터 상기 기판을 전달받아 상기 기판을 이송시키는 제3 레인 및 제4 레인을 포함하는 출구 컨베이어를 포함하고, 상기 제1 레인 내지 상기 제4 레인은 각각 상기 제1 방향과 수직한 방향으로 독립적으로 변위되는 2개의 이송레일을 포함하고, 복수의 상기 이송레일 중 인접한 한 쌍의 이송레일은 이송유닛을 구성하여 상기 기판을 이송시킨다.A substrate transfer apparatus is provided. A substrate transfer apparatus according to the present invention comprises an entrance conveyor including a first lane and a second lane for supporting a substrate and for transferring the substrate along a first direction, a substrate processing section for receiving the substrate from the entrance conveyor, And an exit conveyor including a third lane and a fourth lane that receive the substrate from the substrate processing unit and transfer the substrate, wherein the first lane to the fourth lane are independent from each other in a direction perpendicular to the first direction And a pair of adjacent transferring rails among the plurality of transferring rails constitute a transfer unit to transfer the substrate.

Description

기판 이송 장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}[0001] APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE [0002]

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다양하게 배치되어 복수의 기판을 효율적으로 이송할 수 있는 기판 이송 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus capable of efficiently transferring a plurality of substrates by various arrangements.

일반적으로, 부품 실장 장치는 인쇄회로기판과 같은 기판상에 집적회로, 고밀도 집적회로, 다이오드, 콘덴서, 저항 등의 전자부품(이하, '부품'이라 칭하기로 함)을 실장하는 작업을 수행하는 기기를 말한다.Generally, the component mounting apparatus is a device that performs an operation of mounting an electronic component (hereinafter referred to as a " component ") such as an integrated circuit, a high-density integrated circuit, a diode, a capacitor, .

이와 같은 부품 실장 장치는 기판상에 실장될 부품들을 공급하는 부품공급모듈, 부품공급모듈에서 공급하는 부품들이 실장 될 수 있도록 기판을 운송하는 기판운송모듈, 부품공급모듈로부터 공급되는 부품들을 픽업한 후, 픽업된 부품들을 기판상에 실장할 수 있도록 노즐 스핀들(nozzle spindle)을 구비한 헤드 어셈블리가 부품이 공급되도록 미리 설정된 위치 즉, 부품픽업영역에서 부품들을 픽업한 후 픽업된 부품들을 부품이 실장 되도록 미리 설정된 위치인 부품실장영역에서 실장할 수 있도록 헤드 어셈블리를 X방향, Y방향으로 이동시키는 수평이동모듈을 포함한다.Such a component mounting apparatus includes a component supply module for supplying components to be mounted on a substrate, a substrate transport module for transporting the substrate so that components supplied from the component supply module can be mounted, A head assembly having a nozzle spindle for mounting picked-up parts on a substrate, a head assembly for picking up parts in a part pick-up area to be supplied with the parts, And a horizontal movement module for moving the head assembly in the X and Y directions so as to be mounted in the component mounting area, which is a preset position.

국내특허공개공보 제2010-0001174호 (2010년 1월 6일 공개)Korean Patent Laid-Open Publication No. 2010-0001174 (published on Jan. 6, 2010)

기판을 컨베이어 상에서 이송하는 기판 이송 장치의 경우, 부품을 회로기판에 장착하는 속도를 높이기 위해 2열 컨베이어 구조에 2개의 장착기구를 전후로 배치하는 구조를 채택하고 있다. 이와 같은 기판 이송 장치는, 기판을 공급하는 컨베이어와, 공급된 기판을 헤드 어셈블리에 인접하게 이동시키는 컨베이어와, 실장을 마친 컨베이어를 언로딩 하는 컨베이어를 포함한다.In the case of a substrate transfer apparatus for transferring a substrate on a conveyor, a structure is adopted in which two mounting mechanisms are arranged back and forth in a two-row conveyor structure in order to increase the speed at which components are mounted on a circuit board. Such a substrate transfer apparatus includes a conveyor for supplying a substrate, a conveyor for moving the supplied substrate adjacent to the head assembly, and a conveyor for unloading the assembled conveyor.

도 1을 참조하면, 2열 컨베이어 구조을 가지는 기판 이송 장치가 개시된다. 2열 컨베이어(3a, 3b)가 기판 이송 장치의 중앙부에 배치되며, 각 컨베이어(3a, 3b)에 인접하게 헤드 어셈블리를 포함하는 실장 모듈(4a, 4b)이 각각 배치된다. 2열 컨베이어(3a, 3b) 상에 지지되는 기판(P2, P3)의 소정 위치에 필요한 부품(D)을 실장하는 작업이 수행된다.Referring to Figure 1, a substrate transfer apparatus having a two row conveyor structure is disclosed. The two-row conveyors 3a and 3b are disposed at the central portion of the substrate transfer apparatus and the mounting modules 4a and 4b including the head assembly are disposed adjacent to the respective conveyors 3a and 3b, respectively. An operation of mounting necessary parts D at predetermined positions of the substrates P2 and P3 supported on the two-row conveyors 3a and 3b is performed.

이 때, 도시된 바와 같이, 2열 컨베이어(3a, 3b) 중 빈 컨베이어에 회로기판을 분배할 수 있는 셔틀 컨베이어(1, 2)가 필요하며, 실장 등의 소정 작업을 마친 회로기판을 다음 공정 단계로 이송시키기 위한 셔틀 컨베이어(5, 6)가 필요하게 된다.At this time, as shown in the drawing, shuttle conveyors 1 and 2 that can distribute the circuit board to the empty conveyor among the two-row conveyors 3a and 3b are required, and the circuit board, The shuttle conveyors 5 and 6 for conveying the sheets to the next stage are required.

이와 같이 2열 컨베이어 이외에 추가로 셔틀 컨베이어를 탑재할 경우에는 장비의 폭(좌우 길이)이 길어지게 되며, 장비 내부에 셔틀 컨베이어를 부착한 경우는 부품을 실장하는 2열 컨베이어의 레인의 길이가 짧아지기 때문에, 실장 효율 및 이송 효율이 저하될 우려가 있다.When the shuttle conveyor is installed in addition to the two-row conveyor, the width of the equipment (left and right length) becomes long. When the shuttle conveyor is installed in the equipment, the length of the lane of the two- There is a possibility that the mounting efficiency and the transport efficiency are lowered.

본 발명은 이와 같은 점으로부터 착안된 것으로, 본 발명이 해결하려는 과제는 하나의 구조로 이송 기능 및 셔틀 분배 기능을 함께 수행할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하고자 하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus capable of carrying out a transfer function and a shuttle dispensing function together in one structure.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 복수의 기판을 신속하게 이송하며, 공간 효율성을 높일 수 있는 기판 이송 장치를 제공하고자 하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus capable of rapidly transferring a plurality of substrates and improving space efficiency.

본 발명이 해결하려는 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other matters not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 기판을 지지하며 상기 기판을 제1 방향을 따라 이송시키는 제1 레인 및 제2 레인을 포함하는 입구 컨베이어, 상기 입구 컨베이어로부터 상기 기판을 공급받는 기판처리부, 및 상기 기판처리부로부터 상기 기판을 전달받아 상기 기판을 이송시키는 제3 레인 및 제4 레인을 포함하는 출구 컨베이어를 포함하고, 상기 제1 레인 내지 상기 제4 레인은 각각 상기 제1 방향과 수직한 방향으로 독립적으로 변위되는 2개의 이송레일을 포함하고, 복수의 상기 이송레일 중 인접한 한 쌍의 이송레일은 이송유닛을 구성하여 상기 기판을 이송시킨다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for transferring a substrate, comprising: an inlet conveyor including a first lane and a second lane that support a substrate and transport the substrate along a first direction; And an exit conveyor including a third lane and a fourth lane for transferring the substrate from the substrate processing section to the substrate processing section, wherein the first lane to the fourth lane are And two transferring rails independently displaced in a direction perpendicular to the first direction, and a pair of adjacent transferring rails among the plurality of transferring rails constitute a transfer unit to transfer the substrate.

본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Other specific details of the invention are included in the detailed description and drawings.

도 1은 일반적인 2열 컨베이어 구조를 가지는 기판 이송 장치를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 도시한 도면이다.
도 3 및 도 4는 도 2의 기판 이송 장치를 구성하는 입구 컨베이어의 구조를 나타내는 도면이다.
도 5는 도 2의 기판 이송 장치를 구성하는 기판처리부의 구조를 나타내는 도면이다.
도 6 및 도 7은 도 2의 기판 이송 장치를 구성하는 출구 컨베이어의 구조를 나타내는 도면이다.
도 8 내지 도 10은 도 2의 기판 이송 장치가 서로 다른 모드로 설정되어 기판을 이송하는 과정을 설명하는 도면이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치를 도시한 도면이다.1 is a view showing a substrate transfer apparatus having a general two-row conveyor structure.
2 is a view illustrating a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figs. 3 and 4 are views showing the structure of an entrance conveyor constituting the substrate transfer apparatus of Fig. 2. Fig.
5 is a view showing a structure of a substrate processing section constituting the substrate transfer apparatus of FIG.
Figs. 6 and 7 are views showing the structure of an exit conveyor constituting the substrate transfer apparatus of Fig. 2. Fig.
8 to 10 are views illustrating a process of transferring a substrate by setting the substrate transfer apparatus of FIG. 2 in different modes.
11 is a view showing a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 도면에서 층 및 영역들의 크기 및 상대적인 크기는 설명의 명료성을 위해 과장된 것일 수 있다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. The dimensions and relative sizes of layers and regions in the figures may be exaggerated for clarity of illustration.

본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "이루어지다(made of)"는 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. As used herein, the terms "comprises" and / or "made of" means that a component, step, operation, and / or element may be embodied in one or more other components, steps, operations, and / And does not exclude the presence or addition thereof.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 구성 요소들 상호 간의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.The terms spatially relative, "below", "beneath", "lower", "above", "upper" and the like, Lt; / RTI > can be used to easily describe the correlation between the two. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

예를 들어, 동일한 구성 요소가 복수로 구비된 경우 동일한 숫자 말미에 알파벳을 병기하였다. For example, when a plurality of the same components are provided, the alphabet is indicated at the end of the same number.

이하, 도 2 내지 도 7을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 대해 설명한다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 도시한 도면이고, 도 3 및 도 4는 도 2의 기판 이송 장치를 구성하는 입구 컨베이어의 구조를 나타내는 도면이고, 도 5는 도 2의 기판 이송 장치를 구성하는 기판처리부의 구조를 나타내는 도면이고, 도 6 및 도 7은 도 2의 기판 이송 장치를 구성하는 출구 컨베이어의 구조를 나타내는 도면이다.Hereinafter, a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 7. FIG. FIG. 2 is a view showing a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, FIGS. 3 and 4 are views showing a structure of an entrance conveyor constituting the substrate transfer apparatus of FIG. 2, 6 and 7 are views showing the structure of an exit conveyor constituting the substrate transfer apparatus of Fig. 2. Fig. 6 is a view showing the structure of the substrate transfer unit constituting the substrate transfer apparatus.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 입구 컨베이어(100), 기판처리부(200), 및 출구 컨베이어(300)를 포함한다.The substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention includes an entrance conveyor 100, a substrate processing unit 200, and an exit conveyor 300. [

도 2를 참조하면, 입구 컨베이어(100)는 외부로부터 공급된 기판(P)을 수용하여 이를 기판처리부(200)에 전달하는 역할을 수행하며, 도시된 예에서는 2열 컨베이어 구조로 도시되었으나 이에 한정되는 것은 아니며, 2열 이상의 컨베이어가 병렬로 구비되는 구성을 가질 수 있다.2, the entrance conveyor 100 receives a substrate P supplied from the outside and transfers the substrate P to the substrate processing unit 200. In the illustrated example, the entrance conveyor 100 has a two-row conveyor structure. But it may have a configuration in which two or more rows of conveyors are provided in parallel.

기판처리부(200)는 입구 컨베이어(100)로부터 기판(P)을 제공받아서 소정의 작업을 수행한다. 기판(P) 상에 부품을 실장하는 작업에 한정되지 않으며, 식각, 세정 등 다양한 작업이 수행될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해 기판처리부(200)에서 기판(P)에 부품을 실장하는 예에 한하여 설명하나, 이는 권리범위를 제한하기 위한 것이 아니다.The substrate processing unit 200 receives the substrate P from the entrance conveyor 100 and performs a predetermined operation. The present invention is not limited to the operation of mounting components on the substrate P, and various operations such as etching and cleaning can be performed. Hereinafter, for convenience of explanation, an example of mounting a component on the substrate P in the substrate processing unit 200 is described, but this is not intended to limit the scope of the rights.

출구 컨베이어(300)는, 기판처리부(200)로부터 소정의 작업이 완료된 기판(P)을 제공받아서 다음 공정이 진행되도록 외부로 이송하는 역할을 수행한다. 마찬가지로 2열 컨베이어 구조로 도시되었으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 2열 이상의 컨베이어가 병렬로 구비되는 구성을 가질 수 있다.The exit conveyor 300 receives the substrate P on which a predetermined operation has been completed from the substrate processing unit 200, and transfers the substrate P to the next process. Similarly, although the conveyor structure is shown as a two-row conveyor, the present invention is not limited thereto, and the conveyor may have two or more rows of conveyors arranged in parallel.

도 3 및 도 4를 참조하여, 입구 컨베이어(100)의 상세 구성에 대해 설명한다.3 and 4, the detailed structure of the entrance conveyor 100 will be described.

입구 컨베이어(100)는 기판을 지지하고 제1 방향(도면상으로 오른쪽)을 따라 기판을 이송시키는 제1 레인(110) 및 제2 레인(120)을 포함할 수 있다. 도시된 바와 같이, 각 레인(110, 120)은 2개의 이송레일로 구성되고, 이송레일은 각각 독립적으로 제1 방향과 수직한 제2 방향(도면상으로 상하방향)으로 변위될 수 있다.The inlet conveyor 100 may include a first lane 110 and a second lane 120 that support the substrate and transport the substrate along a first direction (right in the figure). As shown, each of the lanes 110 and 120 is constituted by two conveying rails, and each of the conveying rails can be independently displaced in a second direction (up and down direction in the drawing) perpendicular to the first direction.

구체적으로, 제1 레인(110)의 한 쌍의 이송레일(110a, 110b)은 제1 가이드부재(111)에 연결되며, 모터 등의 구동수단(미도시)에 의해서 제2 방향을 따라 왕복 운동할 수 있다. 제1 레인(110)에 구비된 한 쌍의 이송레일(110a, 110b)은 서로 독립적으로 변위될 수 있으며, 제1 가이드부재(111)의 길이 범위 내에서 이동할 수 있다.Specifically, the pair of conveying rails 110a and 110b of the first lane 110 are connected to the first guide member 111 and are reciprocated along a second direction by driving means (not shown) such as a motor, can do. The pair of conveying rails 110a and 110b provided on the first lane 110 can be displaced independently from each other and can move within the length of the first guide member 111. [

몇몇 실시예에서는 제1 레인(110)의 일측 이송레일(110a)은 제1 가이드부재(111)의 일단부에 고정되어 이동되지 않을 수 있으며, 전체 입구 컨베이어(100)의 폭을 일정하게 유지할 수 있다.In some embodiments, the one-side conveyor rails 110a of the first lane 110 may be fixed to one end of the first guide member 111 and may not be moved, so that the width of the entire entrance conveyor 100 may be kept constant have.

또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 레인(110)의 일측 이송레일(110a)은 제2 가이드부재(112)에 연결될 수 있으며, 타측 이송레일(110b)은 제2 가이드부재(112)와 연결되지 않는 구조를 가질 수 있다. 제2 가이드부재(112)는 제1 레인(110)의 최외각을 구성하는 일측 이송레일(110a)과 기판처리부(200)의 정렬 상태를 제어할 수 있다.4, the one-side transfer rail 110a of the first lane 110 may be connected to the second guide member 112 and the other transfer rail 110b may be connected to the second guide member 112, And the like. The second guide member 112 can control alignment of the substrate processing unit 200 with the one-side transfer rail 110a constituting the outermost edge of the first lane 110. [

앞서 도 2에 도시된 바와 같이, 초기 상태에서는 일측 이송레일(110a)이 기판처리부(200)의 끝단과 나란하게 정렬된 상태로 유지되다가, 제2 가이드부재(112)를 따라 일측 이송레일(110a)이 도면의 상부로 이동하면 기판처리부(200)의 외측 범위에 위치하게 되고, 일측 이송레일(110a)이 이동한 만큼 타측 이송레일(110b)의 상하 이동범위 폭이 넓어지게 된다.As shown in FIG. 2, in the initial state, the one-side transfer rail 110a is maintained in alignment with the end of the substrate processing unit 200, and the one-side transfer rail 110a Moves to the upper part of the drawing, it is positioned in the outer side range of the substrate processing part 200 and the width of the up / down movement range of the other side conveyance rail 110b becomes wider as the one side conveyance rail 110a moves.

후술하는 바와 같이, 제1 레인(110)의 2개의 이송레일(110a, 110b)이 기판을 이송하는 셔틀유닛을 구성할 수도 있으며, 제1 레인(110)과 제2 레인(120)을 구성하는 이송레일 중 서로 인접한 이송레일 한 쌍(110b, 120a)이 셔틀유닛을 구성할 수도 있는데, 이러한 경우, 셔틀유닛이 기판처리부(200)의 제1 기판처리 컨베이어(210)와 제2 기판처리 컨베이어(220) 사이를 왕복하면서 기판을 공급할 수 있도록 양 끝단의 이송레일(110a, 120b) 간의 폭이 넓어지도록 양 끝단의 이송레일(110a, 120b)이 제2 가이드부재(112)를 따라 외측으로 이동하게 된다. 이로 인해, 셔틀유닛이 다른 이송레일(110a, 120b) 과 충돌하거나 방해를 받는 상황을 미연에 방지할 수 있다.The two transfer rails 110a and 110b of the first lane 110 may constitute a shuttle unit for transferring the substrate and the first and second lanes 110 and 110b may constitute the first lane 110 and the second lane 120, A pair of transferring rails 110b and 120a adjacent to each other of the transferring rail may constitute a shuttle unit. In this case, the shuttle unit may be connected to the first substrate processing conveyor 210 of the substrate processing unit 200 and the second substrate processing conveyor The conveying rails 110a and 120b at both ends move outward along the second guide member 112 so that the width between the conveying rails 110a and 120b at both ends can be widened so as to feed the substrate do. Thus, it is possible to prevent the shuttle unit from colliding with or interfering with other transfer rails 110a and 120b.

이와 같이, 제1 레인(110)을 구성하는 일측 이송레일(110a)과 타측 이송레일(110b)은 제1 가이드부재(111) 및 제2 가이드부재(112)에 의해 서로 독립적으로 자유롭게 위치 및 폭이 가변될 수 있으며, 특히 제2 가이드부재(112)와 연결된 일측 이송레일(110a)은 소정의 제1 구동부에 의해 제어됨으로써 입구 컨베이어(100)의 폭을 제어할 수 있다.The one conveying rail 110a and the other conveying rail 110b constituting the first lane 110 can be freely moved in position and width independently of each other by the first guide member 111 and the second guide member 112, The width of the entrance conveyor 100 can be controlled by controlling the first conveying rail 110a connected to the second guide member 112 by a predetermined first driving unit.

제2 레인(120)도 제1 레인(110)과 마찬가지로 한 쌍의 이송레일(120a, 120b)으로 구성되며, 제1 레인(110)과 인접하게 위치할 수 있다. 제2 레인(120)의 한 쌍의 이송레일(120a, 120b)은 모두 제3 가이드부재(121)에 연결되어 도면상으로 상하로 이동할 수 있으며, 일측 이송레일(120b)은 제4 가이드부재(122)와 연결되어 독립적인 상태에서 도면상으로 상하로 이동할 수 있다. 특히 제4 가이드부재(122)와 연결된 이송레일(120b)은 소정의 제2 구동부에 의해 제어됨으로써 입구 컨베이어(100)의 폭을 제어할 수 있다.The second lane 120 may also include a pair of conveying rails 120a and 120b as in the first lane 110 and may be positioned adjacent to the first lane 110. [ The pair of conveying rails 120a and 120b of the second lane 120 are all connected to the third guide member 121 so as to move up and down as viewed in the drawing. The one conveying rail 120b is connected to the fourth guide member 122 to move up and down in the drawing in an independent state. Particularly, the conveyance rail 120b connected to the fourth guide member 122 can be controlled by a predetermined second driving unit to control the width of the entrance conveyor 100. [

몇몇 다른 실시예에서, 입구 컨베이어(100)는 제1 레인(110) 및 제2 레인(120) 이외에도 추가적인 레인을 더 구비할 수 있으며, 동시에 2개 이상의 기판을 이송하는 구조를 가질 수도 있다.In some alternative embodiments, the entrance conveyor 100 may have additional lanes in addition to the first lane 110 and the second lane 120, and may also have a structure for transporting two or more substrates at the same time.

도 5를 참조하면, 기판처리부(200)는 제1 기판처리 컨베이어(210) 및 제2 기판처리 컨베이어(220)를 포함하며, 입구 컨베이어(100)로부터 전달된 기판(P11, P12)에 소정의 작업을 수행한다. 도시된 예에서는 제1 및 제2 기판처리 컨베이어(210, 220)에 인접하게 형성된 실장모듈(230a, 230b)을 통해 기판(P11, P12)의 일면에 부품(D)을 실장하게 된다.5, the substrate processing unit 200 includes a first substrate processing conveyor 210 and a second substrate processing conveyor 220. The substrates P11 and P12 transferred from the entrance conveyor 100 are transferred to a predetermined Perform the operation. The components D are mounted on one surface of the substrates P11 and P12 through the mounting modules 230a and 230b formed adjacent to the first and second substrate processing conveyors 210 and 220. [

기판처리부(200)는 2개 이상의 컨베이어로 이루어질 수 있으며, 앞서 설명한 바와 같이 부품 실장 이외에 다른 작업이 수행될 수도 있다.The substrate processing unit 200 may be composed of two or more conveyors, and other operations may be performed in addition to the component mounting as described above.

기판처리부(200)에서 소정의 작업을 마친 기판(P11, P12)은 이동방향을 따라 출구 컨베이어(300)로 이동하게 된다.Substrates P11 and P12 that have been subjected to a predetermined operation in the substrate processing unit 200 are moved to the exit conveyor 300 along the moving direction.

출구 컨베이어(300)는 입구 컨베이어(100)의 구조와 동일할 수 있으며, 제3 레인(310) 및 제4 레인(320)을 포함하여, 다양한 형태의 기판을 신속하게 이송할 수 있다. 출구 컨베이어(300)는 작업이 완료된 기판을 외부로 전달하는 역할을 수행하며, 후술하는 바와 같이, 복수의 기판 이송 장치가 직렬로 연결된 경우 다시 인접한 기판 이송 장치의 입구 컨베이어로 기판을 공급할 수 있다(도 11 참조).The exit conveyor 300 may be identical to the structure of the entrance conveyor 100 and may include a third lane 310 and a fourth lane 320 to rapidly transfer various types of substrates. The exit conveyor 300 serves to transfer the completed substrate to the outside, and when the plurality of substrate transfer apparatuses are connected in series, the substrate can be supplied to the entrance conveyor of the adjacent substrate transfer apparatus again 11).

이하, 도 8 내지 도 10을 참조하여, 기판 이송 장치에서 기판이 이송되는 과정에 대해 상세히 설명한다. 도 8 내지 도 10은 도 2의 기판 이송 장치가 서로 다른 모드로 설정되어 기판을 이송하는 과정을 설명하는 도면이다.Hereinafter, the process of transferring the substrate in the substrate transfer apparatus will be described in detail with reference to FIGS. 8 to 10. FIG. 8 to 10 are views illustrating a process of transferring a substrate by setting the substrate transfer apparatus of FIG. 2 in different modes.

도 8을 참조하면, 입구 컨베이어(100)의 제1 레인과 제2 레인을 구성하는 이송레일이 각각 셔틀유닛(SU1, SU2)을 이루는 예가 개시된다. 이러한 경우, 제1 셔틀유닛(SU1)과 제2 셔틀유닛(SU2)은 도면상에서 상하 방향으로 이동되지 않으며, 동일한 폭을 유지하면서 지속적으로 기판처리부(200)의 컨베이어로 기판을 전달하게 된다.Referring to Fig. 8, an example is shown in which the conveyance rails constituting the first lane and the second lane of the entrance conveyor 100 constitute shuttle units SU1 and SU2, respectively. In this case, the first shuttle unit SU1 and the second shuttle unit SU2 are not moved in the vertical direction in the drawing, and the substrate is continuously transferred to the conveyor of the substrate processing unit 200 while maintaining the same width.

반면, 출구 컨베이어(300)의 제3 레인과 제4 레인을 구성하는 이송레일 중에서 최외각을 구성하는 2개의 이송레일은 각각의 가이드부재를 따라 서로 멀어지는 방향으로 이동하고, 나머지 2개의 레일은 제3 셔틀유닛(SU3)을 구성할 수 있다. 출구 컨베이어(300)의 도면 상의 상하 방향의 폭이 기판처리부(200)의 폭보다 넓게 도시된 것을 확인할 수 있다. 제3 셔틀유닛(SU3)은 기판처리부(200)의 상부 컨베이어 또는 하부 컨베이어를 왕복하면서 기판을 공급받아서 이를 외부로 배출할 수 있다.On the other hand, out of the conveying rails constituting the third lane and the fourth lane of the exit conveyor 300, the two conveying rails constituting the outermost angle move in directions away from each other along the respective guide members, 3 shuttle unit SU3. It can be seen that the width of the exit conveyor 300 in the vertical direction in the figure is wider than the width of the substrate processing unit 200. The third shuttle unit SU3 reciprocates the upper conveyor or the lower conveyor of the substrate processing unit 200 to receive the substrate and discharge it to the outside.

도 9를 참조하면, 도 8에 도시된 구성과 반대로, 입구 컨베이어(100)에서 하나의 제4 셔틀유닛(SU4)을 구성하여 기판을 선택적으로 기판처리부(200)에 공급하게 되며, 출구 컨베이어(300)는 제3 레인과 제4 레인이 각각 제5 셔틀유닛(SU5)과 제6 셔틀유닛(SU6)을 구성할 수 있다.9, one fourth shuttle unit SU4 is formed on the entrance conveyor 100 to selectively supply the substrates to the substrate processing unit 200, and the exit conveyor 300 can constitute the fifth shuttle unit SU5 and the sixth shuttle unit SU6 in the third lane and the fourth lane, respectively.

도 10을 참조하면, 입구 컨베이어(100)와 출구 컨베이어(300)가 모두 하나의 셔틀유닛(SU7, SU8)을 구성하여 기판을 공급 및 배출하는 구성이 개시된다. 앞서 설명한 바와 같이, 이러한 경우 셔틀유닛(SU7, SU8)의 이동 범위를 보장할 수 있도록, 양 끝단의 이송레일은 각각의 가이드레일에 의해 기판처리부(200)의 폭보다 넓은 범위를 가지도록 외측으로 이동할 수 있다.10, an inlet conveyor 100 and an outlet conveyor 300 constitute one shuttle unit SU7 and SU8 to supply and discharge substrates, respectively. As described above, in order to ensure the movement range of the shuttle units SU7 and SU8 in this case, the conveying rails at both ends are guided outwardly by the respective guide rails so as to have a wider range than the width of the substrate processing unit 200 Can be moved.

즉, 입구 컨베이어(100)와 출구 컨베이어(300)는 복수의 이송레일 및 복수의 가이드부재에 의해 자유롭게 변형되어, 듀얼 레인(Dual Lane)으로 기판을 그대로 전달하는 역할을 수행할 수도 있으며, 하나의 셔틀로서 레인 사이를 이동하면서 기판을 공급 또는 배출하는 기능을 수행할 수도 있다.That is, the entrance conveyor 100 and the exit conveyor 300 may be freely deformed by a plurality of conveying rails and a plurality of guide members, and may perform a role of directly conveying the substrate to a dual lane, As a shuttle, a function of supplying or discharging a substrate while moving between lanes.

이하, 도 11을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 대해 설명한다. 도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치를 도시한 도면이다.Hereinafter, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 11 is a view showing a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 기판 이송 장치는 앞서 설명한 실시예에 따른 기판 이송 장치가 직렬로 2개 이상 연결된 구조를 가진다. 즉, 기판에 소정의 인라인 공정을 수행하고자 할 경우, 제1 기판 이송 모듈(1000)에서 제1 작업을 수행하고, 이어서 연결된 제2 기판 이송 모듈(2000)에서 제2 작업을 수행하도록 구성될 수 있다.The substrate transfer apparatus according to the present embodiment has a structure in which two or more substrate transfer apparatuses according to the above-described embodiments are connected in series. That is, if it is desired to perform a predetermined inline process on the substrate, it may be configured to perform a first operation in the first substrate transfer module 1000 and then perform a second operation in the second substrate transfer module 2000 connected thereto have.

도시된 예에서, 제1 기판 이송 모듈(1000)의 입구 컨베이어와, 제2 기판 이송 모듈(2000)의 출구 컨베이어는 제한없이 하나 이상의 셔틀유닛을 구성할 수 있으며, 다만, 서로 연결된 제1 기판 이송 모듈(1000)의 출구 컨베이어와, 제2 기판 이송 모듈(2000)의 입구 컨베이어는 신속하게 동일한 기판을 이송할 수 있도록, 동일한 구조를 가질 수 있다.In the illustrated example, the entrance conveyor of the first substrate transfer module 1000 and the exit conveyor of the second substrate transfer module 2000 may constitute one or more shuttle units without limitation, but the first substrate transfer The exit conveyor of the module 1000 and the entrance conveyor of the second substrate transfer module 2000 can have the same structure so that they can quickly transfer the same substrate.

이와 같이, 본 발명의 다양한 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 입구 컨베어이와 출구 컨베이어의 구조가 필요에 따라 다양하게 가변될 수 있으며, 기존의 듀얼 레인 컨베이어 구조를 유지하면서도 별도의 셔틀 컨베이어 없이 자체적으로 필요에 따라 셔틀유닛을 구성할 수 있으므로, 장비의 공간 활용도가 높으며, 용이하게 인라인 공정을 구성할 수 있다.As described above, the substrate transfer apparatus according to the various embodiments of the present invention can be variously modified as necessary in terms of the structure of the entrance conveyor and the exit conveyor, and it is possible to maintain the existing dual-lane conveyor structure without any separate shuttle conveyor, Since the shuttle unit can be constructed as needed, space utilization of the equipment is high and the in-line process can be easily configured.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, You will understand. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

100: 입구 컨베이어
200; 기판처리부
300: 출구 컨베이어100: Entrance conveyor
200; The substrate processing section
300: Exit conveyor

Claims (14)

기판을 지지하며 상기 기판을 제1 방향을 따라 이송시키는 제1 레인 및 제2 레인을 포함하는 입구 컨베이어;
상기 입구 컨베이어로부터 상기 기판을 공급받는 기판처리부; 및
상기 기판처리부로부터 상기 기판을 전달받아 상기 기판을 이송시키는 제3 레인 및 제4 레인을 포함하는 출구 컨베이어를 포함하고,
상기 제1 레인 내지 상기 제4 레인은 각각 상기 제1 방향과 수직한 방향으로 독립적으로 변위되는 2개의 이송레일을 포함하고,
복수의 상기 이송레일 중 인접한 한 쌍의 이송레일은 이송유닛을 구성하여 상기 기판을 이송시키고,
상기 기판처리부는 상기 제1 레인 및 제3 레인과 대응되는 위치에 구비되는 제1 기판처리 컨베이어와, 상기 제2 레인 및 제4 레인과 대응되는 위치에 구비되는 제2 기판처리 컨베이어를 포함하며,
상기 입구 컨베이어의 상기 제1 레인에 포함된 제1 이송레일과 상기 제2 레인에 포함된 상기 제1 이송레일과 인접한 제2 이송레일이 제1 셔틀유닛을 구성하는, 기판 이송 장치.An inlet conveyor including a first lane and a second lane that support the substrate and transport the substrate along a first direction;
A substrate processing unit for receiving the substrate from the entrance conveyor; And
And an exit conveyor including a third lane and a fourth lane that receive the substrate from the substrate processing unit and transfer the substrate,
Each of the first lane to the fourth lane includes two conveying rails independently displaced in a direction perpendicular to the first direction,
A pair of adjacent transferring rails constituting a transfer unit to transfer the substrate,
Wherein the substrate processing unit includes a first substrate processing conveyor provided at a position corresponding to the first lane and the third lane and a second substrate processing conveyor provided at a position corresponding to the second lane and the fourth lane,
Wherein the first conveying rail included in the first lane of the entrance conveyor and the second conveying rail adjacent to the first conveying rail included in the second lane constitute a first shuttle unit. 제1항에 있어서,
상기 입구 컨베이어의 상기 제1 레인에 포함된 상기 2개의 이송레일이 제1 이송유닛을 구성하고, 상기 제2 레인에 포함된 상기 2개의 이송레일이 제2 이송유닛을 구성하는, 기판 이송 장치.The method according to claim 1,
Wherein the two conveying rails included in the first lane of the entrance conveyor constitute a first conveying unit and the two conveying rails included in the second lane constitute a second conveying unit. 청구항 3은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 3 has been abandoned due to the setting registration fee. 제2항에 있어서,
상기 입구 컨베이어의 폭은 상기 기판처리부의 폭과 동일한, 기판 이송 장치.3. The method of claim 2,
And the width of the entrance conveyor is equal to the width of the substrate processing section. 제1항에 있어서,
상기 출구 컨베이어의 상기 제3 레인에 포함된 상기 2개의 이송레일이 제3 이송유닛을 구성하고, 상기 제4 레인에 포함된 상기 2개의 이송레일이 제4 이송유닛을 구성하는, 기판 이송 장치.The method according to claim 1,
Wherein the two conveying rails included in the third lane of the exit conveyor constitute a third conveying unit and the two conveying rails included in the fourth lane constitute a fourth conveying unit. 청구항 5은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 5 has been abandoned due to the setting registration fee. 제4항에 있어서,
상기 출구 컨베이어의 폭은 상기 기판처리부의 폭과 동일한, 기판 이송 장치.5. The method of claim 4,
And the width of the exit conveyor is equal to the width of the substrate processing section. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 셔틀유닛은 상기 제1 기판처리 컨베이어 또는 상기 제2 기판처리 컨베이어 사이를 이동하면서 상기 기판을 공급하는, 기판 이송 장치.The method according to claim 1,
Wherein the first shuttle unit supplies the substrate while moving between the first substrate processing conveyor or the second substrate processing conveyor. 청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 9 has been abandoned due to the setting registration fee. 제1항에 있어서,
상기 입구 컨베이어의 폭은 상기 기판처리부의 폭보다 넓은, 기판 이송 장치.The method according to claim 1,
Wherein the width of the entrance conveyor is wider than the width of the substrate processing section. 제1항에 있어서,
상기 출구 컨베이어의 상기 제3 레인에 포함된 제3 이송레일과 상기 제4 레인에 포함된 상기 제3 이송레일과 인접한 제4 이송레일이 제2 셔틀유닛을 구성하는, 기판 이송 장치.The method according to claim 1,
Wherein the third conveying rail included in the third lane of the exit conveyor and the fourth conveying rail adjacent to the third conveying rail included in the fourth lane constitute a second shuttle unit. 청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 11 has been abandoned due to the set registration fee. 제10항에 있어서,
상기 제2 셔틀유닛은 상기 제1 기판처리 컨베이어 또는 상기 제2 기판처리 컨베이어 사이를 이동하면서 상기 기판을 전달받는, 기판 이송 장치.11. The method of claim 10,
And the second shuttle unit receives the substrate while moving between the first substrate processing conveyor or the second substrate processing conveyor. 청구항 12은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 12 is abandoned in setting registration fee. 제10항에 있어서,
상기 출구 컨베이어의 폭은 상기 기판처리부의 폭보다 넓은, 기판 이송 장치.11. The method of claim 10,
Wherein the width of the exit conveyor is wider than the width of the substrate processing section. 청구항 13은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 13 has been abandoned due to the set registration fee. 제1항에 있어서,
상기 입구 컨베이어는,
상기 입구 컨베이어의 양측 최외각에 배치된 상기 이송레일을 서로 멀어지는 방향으로 이동시켜 상기 입구 컨베이어의 폭을 제어하는 제1 구동부를 더 포함하는, 기판 이송 장치.The method according to claim 1,
The entrance conveyor comprises:
Further comprising a first driving unit for moving the conveying rails disposed at the outermost sides of the entrance conveyor in directions away from each other to control the width of the entrance conveyor. 청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.Claim 14 has been abandoned due to the setting registration fee. 제1항에 있어서,
상기 출구 컨베이어는,
상기 출구 컨베이어의 양측 최외각에 배치된 상기 이송레일을 서로 멀어지는 방향으로 이동시켜 상기 출구 컨베이어의 폭을 제어하는 제2 구동부를 더 포함하는, 기판 이송 장치.The method according to claim 1,
The exit conveyor comprises:
And a second driving unit for moving the conveying rails disposed at both outermost sides of the exit conveyor in directions away from each other to control the width of the exit conveyor.
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