KR101540580B1 - 공정 장치용 지지 구조 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 공정 장치용 지지 구조에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 장치용 지지 구조는, 적어도 하나의 공정 유닛이 장착되는 베이스 플레이트와, 베이스 플레이트로부터 하부 방향으로 이격되어 배치되는 프레임에 각각 결합되고, 베이스 플레이트를 지지하는 복수의 지지 유닛을 포함하며, 복수의 지지 유닛은 각각, 베이스 플레이트의 하부에 결합되는 플레이트 고정부와, 플레이트 고정부로부터 하부 방향으로 이격되어 배치되며, 프레임의 상부에 결합되는 프레임 고정부 및 플레이트 고정부와 프레임 고정부 사이에 회전 가능하게 결합되는 위치 조절부를 포함하며, 베이스 플레이트는 복수의 지지 유닛 각각에 구비된 위치 조절부를 회전시킬 때에 프레임에 대한 위치가 변경됨으로써 수평 상태가 조절되는 것을 특징으로 한다.

Description

공정 장치용 지지 구조{Support structure for processing apparatus}
본 발명은 공정 장치용 지지 구조에 관한 것으로, 보다 상세하게는 보다 간단한 구조로 공정 유닛이 장착되는 베이스 플레이트를 프레임 상에 안정적으로 결합시킬 수 있는 공정 장치용 지지 구조에 관한 것이다.
일반적으로 공정 장치란 특정 대상(피공정물)에 대해 다양한 공정을 수행하는 장치 및 장비를 의미하며, 피공정물에 다양한 공정을 수행하기 위한 공정 유닛을 포함한다.
예를 들어, 기판 디스펜싱 장치는 회로 패턴이 형성된 인쇄 회로 기판(Printed circuit board)과 같은 기판(Substrate)에 반도체 칩 등 다양한 종류의 전자 소자를 조립하는 공정을 수행할 때에, 디스펜서(Dispenser)를 이용하여 기판과 전자 소자의 접촉면 사이에 액상의 접착 수지를 도포하는 디스펜싱(Dispensing) 공정을 수행하는 장치를 의미한다.
이러한 공정 장치는 일반적으로 베이스 플레이트와 프레임으로 구성될 수 있는데, 베이스 플레이트는 피공정물에 수행되는 공정을 수행하는 적어도 하나의 공정 유닛이 장착되도록 대략 얇은 판상 형태로 구성되고, 프레임은 베이스 플레이트를 기준으로 하부 프레임과 상부 프레임으로 구성되며, 이러한 하부 플레임과 상부 프레임은 각각 복수의 파이프로 구성될 수 있다. 이러한 공정 장치가 안정적으로 공정을 수행하기 위해서는 공정 유닛이 장착되는 베이스 플레이트의 수평 상태가 상당히 중요하다.
일반적인 공정 장치의 경우, 공정 유닛이 장착되는 베이스 플레이트는 각각의 공정 유닛이 장착되기 전에 프레임(보다 정확하게는, 하부 프레임) 상에 직접 결합되는데, 일반적으로 베이스 플레이트는 나사 또는 볼트 등을 이용하여 프레임을 구성하는 복수의 파이프에 결합된다. 베이스 플레이트가 결합되는 프레임은 복수의 파이프로 구성되므로 프레임의 형성 과정에서 오차가 발생하므로, 프레임의 상부면에 결합되는 베이스 플레이트의 수평 상태를 조절하기에 어려움이 있었다. 이를 위해 프레임의 하단에 결합되는 복수의 캐스터(Caster) 등 지지 부재를 이용하여 프레임의 높이 조절을 통해 베이스 플레이트의 수평 상태를 조절하나, 베이스 플레이트의 수평 상태를 정확하게 조절하기에 어려움이 있었다.
더욱이, 종래의 공정 장치는 공정 유닛이 장착되는 베이스 플레이트가 프레임 상에 직접 결합되므로, 베이스 플레이트를 통해 전달되는 하중이 고르게 분포되지 못하고, 각각의 공정 유닛에서 일련의 공정이 수행될 때에 발생하는 진동을 흡수할 수 없으므로 해당 공정을 안정적으로 수행할 수 없다는 문제점도 있었다.
따라서, 보다 간단한 구조로 공정 유닛이 장착되는 베이스 플레이트를 프레임 상에 안정적으로 결합시킬 수 있는 공정 장치용 지지 구조가 요구된다.
본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 발명된 것으로, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 공정 유닛이 장착되는 베이스 플레이트와 프레임 사이에 복수의 지지 유닛을 구비함으로써, 보다 간단한 구조로 공정 유닛이 장착되는 베이스 플레이트를 프레임 상에 안정적으로 결합시킬 수 있는 공정 장치용 지지 구조를 제공하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 장치용 지지 구조는, 적어도 하나의 공정 유닛이 장착되는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트로부터 하부 방향으로 이격되어 배치되는 프레임에 각각 결합되고, 상기 베이스 플레이트를 지지하는 복수의 지지 유닛을 포함하며, 상기 복수의 지지 유닛은 각각, 상기 베이스 플레이트의 하부에 결합되는 플레이트 고정부와, 상기 플레이트 고정부로부터 하부 방향으로 이격되어 배치되며, 상기 프레임의 상부에 결합되는 프레임 고정부 및 상기 플레이트 고정부와 상기 프레임 고정부 사이에 회전 가능하게 결합되는 위치 조절부를 포함하며, 상기 베이스 플레이트는 상기 복수의 지지 유닛 각각에 구비된 위치 조절부를 회전시킬 때에 상기 프레임에 대한 위치가 변경됨으로써 수평 상태가 조절되는 것을 특징으로 한다.
이 때, 상기 플레이트 고정부는, 상기 베이스 플레이트의 하부면에 고정되며, 상하 방향으로 관통되고 내주면에 암나사산이 형성된 제1 관통 홀이 형성된 고정 브라켓을 포함하고, 상기 위치 조절부는, 상기 제1 관통 홀에 삽입되며, 내주면에 상하 방향으로 관통된 제2 관통 홀이 형성되고, 외주면에 상기 제1 관통 홀에 형성된 암나사산에 나사 결합되는 수나사산이 형성된 조절 브라켓을 포함하며, 상기 고정 브라켓은 상기 조절 브라켓이 상기 제1 관통 홀에 삽입된 상태에서 회전될 때에 상하 방향으로 이동하며 상기 베이스 플레이트의 위치를 변경시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 위치 조절부는, 상기 조절 브라켓과 상기 프레임 고정부의 사이에 배치되며, 상기 조절 브라켓이 상기 프레임 고정부의 상부면에 맞닿은 상태로 회전하도록 지지하는 보조 브라켓을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 프레임 고정부는, 상기 프레임의 상부면에 고정되는 지지 블록과, 상기 지지 블록의 상부 방향으로 이격되어 배치되며, 상기 위치 조절부의 하부면에 맞닿은 상태에서 상기 베이스 플레이트로부터 상기 위치 조절부를 통해 전달되는 하중을 분산하기 위한 가압 블록 및 상기 지지 블록과 상기 가압 블록의 사이에 배치되며, 상기 베이스 플레이트로부터 상기 위치 조절부를 통해 전달되는 진동을 흡수하기 위한 방진 블록을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이 때, 상기 프레임 고정부는, 상기 방진 블록의 내부에 삽입되며, 상기 지지 블록과 상기 가압 블록 사이의 간격을 조절하기 위한 적어도 하나의 스페이서(Spacer)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 지지 블록은 용접에 의해 상기 프레임의 상부면에 고정되는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 복수의 지지 유닛은 각각, 상기 베이스 플레이트의 수평 상태가 조절된 상태에서 상기 플레이트 고정부, 상기 프레임 고정부 및 상기 위치 조절부를 상하 방향으로 고정시키는 고정 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 공정 장치용 지지 구조에 따르면, 공정 유닛이 장착되는 베이스 플레이트와 프레임 사이에 복수의 지지 유닛을 구비함으로써, 보다 간단한 구조로 공정 유닛이 장착되는 베이스 플레이트를 프레임 상에 안정적으로 결합시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 장치용 지지 구조에 따르면, 베이스 플레이트와 프레임 사이에 결합되는 복수의 지지 유닛 각각에 구비된 위치 조절부를 회전시켜 각각의 지지 유닛의 높이를 조절함으로써, 공정 유닛이 장착되는 베이스 플레이트의 수평 상태를 용이하게 조절할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 장치용 지지 구조에 따르면, 베이스 플레이트와 프레임 사이에 결합되는 복수의 지지 유닛 각각에 베이스 플레이트를 통해 전달되는 하중을 분산시키고 진동을 흡수하는 프레임 고정부를 구비함으로써, 공정 유닛이 장착되는 베이스 플레이트를 안정적으로 지지하고, 각각의 공정 유닛에서 일련의 공정이 수행될 때에 전달되는 진동을 흡수하여 해당 공정을 보다 안정적으로 수행할 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 일반적인 공정 장치의 구조를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 장치용 지지 구조를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 장치용 지지 구조를 나타내는 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 지지 유닛의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 지지 유닛의 구조를 나타내는 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 지지 유닛의 구조를 나타내는 종단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 지지 유닛의 프레임 고정부에 구비된 방진 블록에 스페이서가 구비된 예를 나타내는 종단면도이다.
도 8 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 지지 유닛이 베이스 플레이트와 프레임에 설치되는 모습을 나타내는 종단면도이다.
이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
실시예를 설명함에 있어서 본 발명이 속하는 기술 분야에 익히 알려져 있고 본 발명과 직접적으로 관련이 없는 기술 내용에 대해서는 설명을 생략한다. 이는 불필요한 설명을 생략함으로써 본 발명의 요지를 흐리지 않고 더욱 명확히 전달하기 위함이다.
마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다. 또한, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다. 각 도면에서 동일한 또는 대응하는 구성요소에는 동일한 참조 번호를 부여하였다.
이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 공정 장치용 지지 구조를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.
도 1은 일반적인 공정 장치의 구조를 개략적으로 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 장치용 지지 구조를 나타내는 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 장치용 지지 구조를 나타내는 분해 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 일반적인 공정 장치(1)는 크게 베이스 플레이트(10)와 프레임(20, 30)(보다 정확하게는, 하부 프레임(20)과 상부 프레임(30))으로 구성될 수 있다.
베이스 플레이트(10)는 대략 얇은 판상 형태로 구성되며, 공정 장치(1)에서 수행되는 공정에 따라 적어도 하나의 공정 유닛(도시되지 않음)이 장착될 수 있다. 비록 도시되지는 않았으나, 일반적으로 공정 장치(1)는 일련의 공정이 순차적으로 수행되는 복수의 공정 유닛을 포함하며, 각각의 공정 유닛은 베이스 플레이트(10)를 중심으로 상부면 또는 하부면에 설치되는데, 필요에 따라 특정 공정 유닛은 베이스 플레이트(10)에 상하 방향으로 관통하도록 형성된 부분을 통해 베이스 플레이트(10)의 상하부면에 걸쳐 설치될 수 있다.
프레임(20, 30)은 공정 장치(1) 전체의 골격을 형성하는 것으로, 내부에 적어도 하나의 공정 유닛이 장착되는 베이스 플레이트(10)를 지지하고, 공압 펌프, 컨트롤러 등 다양한 종류의 보조 유닛(도시되지 않음)을 수용할 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 프레임(20, 30)은 베이스 플레이트(10)를 기준으로 하부 프레임(20)과 상부 프레임(30)으로 구성될 수 있다.
예를 들어, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 베이스 플레이트(10)를 지지하는 하부 프레임(20)은 대략 직육면체 형상을 가지고, 내부에 수용 공간을 가지며, 길게 형성된 복수의 파이프(21)를 X축, Y축 및 Z축 방향으로 서로 교차하도록 결합하여 형성할 수 있다. 또한, 프레임(20, 30)은 공정 장치(1)의 설치 형태나 위치에 따라 공정 장치(1)를 안정적으로 이동시키고 지지하기 위해 하단에 복수의 지지 부재(22), 복수의 캐스터(Caster)(23) 등을 포함할 수도 있다. 비록 도시되지는 않았으나, 하부 프레임(20)의 상단에 고정되어 베이스 플레이트(10)의 상부에 위치하는 상부 프레임(30)의 구조는 하부 프레임(20)과 동일 또는 유사한 구조를 가질 수 있다.
한편, 도 1 내지 도 3에 도시된 베이스 플레이트(10) 및 프레임(20, 30)의 구조는 예시적인 것으로서, 이에 한정되지 않으며, 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 장치용 지지 구조는 베이스 플레이트(10)와 프레임(20, 30)의 사이에 설치되어 베이스 플레이트(10)를 지지하는 복수의 지지 유닛(100)을 포함할 수 있다. 즉, 복수의 지지 유닛(100)은 상단이 베이스 플레이트(10)에 결합되고 하단이 프레임(20, 30)(보다 정확하게는, 도 2 및 도 3의 하부 프레임(20))에 결합될 수 있다. 따라서, 베이스 플레이트(10)와 프레임(20, 30)은 복수의 지지 유닛(100)에 의해 일정 거리만큼 이격될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 각각의 지지 유닛(100)은 고정 부재(B)에 의해 베이스 플레이트(10)와 프레임(20, 30)의 사이에 결합될 수 있다.
후술하겠지만, 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 장치용 지지 구조에 구비된 각각의 공정 유닛(100)은 개별적으로 위치를 조절함으로써 베이스 플레이트(10)의 위치를 변경하여 베이스 플레이트(10)의 수평 상태를 조절할 수 있다. 도 2 및 도 3에서는 프레임(20, 30)의 네 모서리 및 전후 중앙 부분에 8 개의 공정 유닛(100)이 설치된 예를 도시하고 있으나, 공정 유닛(100)의 개수 및 배치 형태는 베이스 플레이트(10) 및 프레임(20, 30)의 구조에 따라 당업자에 의해 얼마든지 변경될 수 있다.
이하, 도 4 내지 도 7을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 지지 유닛(100)의 구체적인 구조에 대해 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 지지 유닛의 구조를 나타내는 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 지지 유닛의 구조를 나타내는 분해 사시도이며, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 지지 유닛의 구조를 나타내는 종단면도이다.
도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 베이스 플레이트(10)와 프레임(20, 30) 사이에 결합되는 각각의 지지 유닛(100)은 플레이트 고정부(110), 프레임 고정부(120) 및 위치 조절부(130)를 포함하여 구성될 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 플레이트 고정부(110)는 베이스 플레이트(10)의 하부에 결합되고, 프레임 고정부(120)는 플레이트 고정부(110)로부터 하부 방향으로 이격되어 배치되며, 프레임(20, 30)의 상부에 결합될 수 있다. 또한, 위치 조절부(130)는 플레이트 고정부(110)와 프레임 고정부(120) 사이에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 따라서, 복수의 지지 유닛(100) 각각에 구비된 위치 조절부(130)를 회전시킬 때에, 복수의 지지 유닛(100)에 의해 지지되는 베이스 플레이트(10)는 프레임(20, 30)에 대한 위치가 변경되어 수평 상태가 조절될 수 있다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 각각의 지지 유닛(100)에 구비된 플레이트 고정부(110), 프레임 고정부(120) 및 위치 조절부(130)는 베이스 플레이트(10)의 수평 상태가 조절된 상태에서 고정 부재(B)에 의해 상하 방향으로 고정될 수 있다. 도 5 및 도 6에서는 고정 부재(B)가 나사 또는 볼트 형상을 가지는 것을 예로 들고 있으나, 고정 부재(B)의 종류, 형상 및 결합 형태 등은 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.
한편, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 플레이트 고정부(110)는 베이스 플레이트(10)의 하부면에 고정되며, 상하 방향으로 관통되고 내주면에 암나사산이 형성된 제1 관통 홀(111a)이 형성된 고정 브라켓(111)을 포함할 수 있다. 이 때, 고정 브라켓(111)은 적어도 하나의 제1 체결 부재(112)에 의해 베이스 플레이트(10)의 하부면에 고정될 수 있다.
도 5 및 도 6에서는 서로 다른 직경을 가지는 원통 형상의 고정 브라켓(111)에 상하 방향으로 제1 관통 홀(111a)이 형성되고, 고정 브라켓(111)이 나사 또는 볼트 형상을 가지는 4 개의 제1 체결 부재(112)에 의해 베이스 플레이트(10)의 하부면에 결합되는 예를 도시하고 있으나, 이는 예시적인 것으로서, 플레이트 고정부(110)의 구조는 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.
위치 조절부(130)는 고정 브라켓(111)에 형성된 제1 관통 홀(111a)에 삽입되며, 내주면에 상하 방향으로 관통된 제2 관통 홀(131a)이 형성되고, 외주면에 제1 관통 홀(111a)에 형성된 암나사산에 나사 결합되는 수나사산이 형성된 조절 브라켓(131)을 포함할 수 있다. 따라서, 고정 브라켓(111)은 조절 브라켓(131)이 제1 관통 홀(111a)에 삽입된 상태에서 회전될 때에 상하 방향으로 이동하며 베이스 플레이트(10)의 위치를 변경시킬 수 있다. 이 때, 조절 브라켓(131)은 고정 브라켓(111)에 형성된 제1 관통 홀(111a)에 삽입된 상태에서 스패너 등의 공구에 의해 용이하게 회전될 수 있도록 측면이 한 쌍 이상의 평면(131b)으로 형성될 수 있다.
도 5 및 도 6에서는 상단이 원통 형상으로 형성되고 하단이 직육면체 형상으로 형성된 조절 브라켓(131)에 상하 방향으로 제2 관통 홀(131a)이 형성된 예를 도시하고 있으나, 이는 예시적인 것으로서, 위치 조절부(130)의 구조는 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.
한편, 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 위치 조절부(130)는, 조절 브라켓(131)과 프레임 고정부(120)의 사이에 배치되며, 조절 브라켓(131)이 프레임 고정부(120)의 상부면에 맞닿은 상태로 회전하도록 지지하는 보조 브라켓(132)을 더 포함할 수 있다. 도 4 내지 도 6에서는 보조 브라켓(132)이 대략 와셔(Washer) 형태로 형성된 예를 도시하고 있으나, 이에 한정되지 않으며, 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.
한편, 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 프레임 고정부(120)는 지지 블록(121), 가압 블록(122) 및 방진 블록(123)을 포함하여 구성될 수 있다.
지지 블록(121)은 프레임(20, 30)의 상부면에 고정되고, 가압 블록(122)은 지지 블록(121)의 상부 방향으로 이격되어 배치될 수 있다. 또한, 방진 블록(123)은 지지 블록(121)과 가압 블록(122)의 사이에 배치될 수 있다. 가압 블록(122)은 위치 조절부(130)의 하부면에 맞닿은 상태에서 베이스 플레이트(10)로부터 위치 조절부(130)를 통해 전달되는 하중을 분산시키고, 방진 블록(123)은 베이스 플레이트(10)로부터 위치 조절부(130)를 통해 전달되는 진동을 흡수할 수 있다. 따라서, 가압 블록(122)은 스틸, 알루미늄 등과 같이 강하고 견고한 재질을 사용하고, 방진 블록(123)은 고무, 실리콘 등과 같이 탄성력, 복귀력 등이 우수한 재질을 사용할 수 있다.
비록 자세히 도시되지 않았으나, 지지 블록(121)은 용접(Welding)에 의해 프레임(20, 30)의 상부면(보다 정확하게는, 하부 프레임(20)에 구비된 복수의 파이프(21))에 고정될 수 있다. 또한, 지지 블록(121)의 상부에 순차적으로 배치되는 방진 블록(123)과 가압 블록(122)은 상하 방향으로 결합되는 나사 또는 볼트 등의 제2 체결 부재(124)를 통해 결합될 수 있다.
따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 지지 유닛(100)의 프레임 고정부(120)는 적어도 하나의 공정 유닛이 장착되는 베이스 플레이트(10)를 안정적으로 지지하고, 각각의 공정 유닛에서 일련의 공정이 수행될 때에 전달되는 진동을 흡수하여 해당 공정을 보다 안정적으로 수행할 수 있다.
상술한 바와 같이, 프레임 고정부(120)는 고정 부재(B)에 의해 플레이트 고정부(110) 및 위치 조절부(130)와 함께 프레임(20, 30)에 결합될 수 있는데, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 지지 블록(121), 가압 블록(122) 및 방진 블록(123) 각각은 나사 또는 볼트 형상의 고정 부재(B)가 삽입 및 결합되도록 상하 방향으로 관통하는 체결 홀(121a, 122a, 123a)이 형성될 수 있다. 비록 자세히 도시되지는 않았으나, 가압 블록(122)과 방진 블록(123)에 형성된 체결 홀(122a, 123a)은 각각 드릴 홀(Drill hole)로 형성되고, 지지 블록(121)에 형성된 체결 홀(121a)은 암나사산(Tap)으로 형성될 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 지지 유닛(100)의 프레임 고정부(120)는 방진 블록(123)의 내부에 삽입되며, 지지 블록(121)과 가압 블록(122) 사이의 간격을 조절하기 위한 적어도 하나의 스페이서(125)(Spacer)를 더 포함할 수 있다. 상술한 바와 같이, 방진 블록(123)은 고무, 실리콘 등과 같이 탄성력, 복귀력 등이 우수한 재질을 사용하므로, 방진 블록(123)의 높이를 어느 정도 일정하게 유지하여 지지 블록(121)과 가압 블록(122) 사이의 간격을 유지할 수 있도록 방진 블록(123)의 내부에 적어도 하나의 스페이서(125)를 설치할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 지지 유닛의 프레임 고정부에 구비된 방진 블록에 스페이서가 구비된 예를 나타내는 종단면도이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 각각의 스페이서(125)는 방진 블록(123)의 내부에 형성된 삽입 홈 또는 삽입 홀(123b)에 삽입될 수 있으며, 스페이서(125)의 높이는 방진 블록(123)의 높이와 실질적으로 동일하거나 약간 작게 형성될 수 있다. 도 7에서는 4 개의 스페이서(125)가 각각 중공부를 가지는 원통 형상으로 형성되고, 나사 또는 볼트 등의 제2 체결 부재(124)가 중공부를 관통하도록 삽입되는 예를 도시하고 있으나, 이는 예시적인 것으로서, 이에 한정되지 않으며, 스페이서(125)의 형상, 배치 형태 및 결합 형태는 당업자에 의해 얼마든지 변경 가능하다.
이하, 도 8 내지 도 10을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 장치용 지지 구조에 구비된 복수의 지지 유닛(100)이 설치되는 방법에 대해 설명하기로 한다.
도 8 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 지지 유닛이 베이스 플레이트와 프레임에 설치되는 모습을 나타내는 종단면도이다.
먼저, 도 8에 도시된 바와 같이, 플레이트 고정부(110)의 고정 브라켓(111)은 제1 체결 부재(112)에 의해 베이스 플레이트(10)의 하부에 결합되고, 위치 조절부(130)의 조절 브라켓(131)은 고정 브라켓(111)의 제1 관통 홀(111a)에 나사 결합되어 삽입될 수 있다.
그리고, 도 9에 도시된 바와 같이, 프레임 고정부(120)의 지지 블록(121)은 용접(Welding)에 의해 프레임(20, 30)의 상부면(보다 정확하게는, 하부 프레임(20)에 구비된 복수의 파이프(21))에 고정되고, 방진 블록(123)과 가압 블록(122)은 지지 블록(121)의 상부에 순차적으로 배치된 상태에서 제2 체결 부재(124)에 의해 지지 블록(121)과 결합될 수 있다. 이 때, 위치 조절부(130)의 보조 브라켓(132)은 지지 블록(121)의 상부에 임시 배치될 수 있다.
도 8 및 도 9에 도시된 플레이트 고정부(110)와 프레임 고정부(120)의 결합 순서는 예시적인 것으로서, 도 8 및 도 9에 도시된 플레이트 고정부(110)와 프레임 고정부(120)의 결합은 서로 반대로 수행될 수도 있다.
그리고, 도 10에 도시된 바와 같이, 플레이트 고정부(110), 프레임 고정부(120) 및 위치 조절부(130)는 위치 조절부(130)의 조절 브라켓(131)을 프레임 고정부(120)의 지지 블록(121) 또는 위치 조절부(130)의 보조 브라켓(132)의 상부에 위치시킨 상태에서 고정 부재(B)에 의해 결합될 수 있다.
마지막으로, 베이스 플레이트(10)는 위치 조절부(130)의 조절 브라켓(131)을 회전시켜 고정 브라켓(111)을 상하 방향으로 이동시키면서 베이스 플레이트(10)의 위치를 변경시킬 수 있다.
한편, 본 명세서와 도면에는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 개시하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 발명의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것이지, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1: 공정 장치
10: 베이스 플레이트 20: 하부 프레임
30: 상부 프레임 B: 고정 부재
100: 지지 구조
110: 플레이트 고정부 111: 고정 브라켓
112: 제1 체결 부재 120: 프레임 고정부
121: 지지 블록 122: 가압 블록
123: 방진 블록 124: 제2 체결 부재
125: 스페이서 130: 위치 조절부
131: 조절 브라켓 132: 보조 브라켓

Claims (7)

  1. 적어도 하나의 공정 유닛이 장착되는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트로부터 하부 방향으로 이격되어 배치되는 프레임에 각각 결합되고, 상기 베이스 플레이트를 지지하는 복수의 지지 유닛을 포함하며,
    상기 복수의 지지 유닛은 각각,
    상기 베이스 플레이트의 하부면에 고정되며, 상하 방향으로 관통되고 내주면에 암나사산이 형성된 제1 관통 홀이 형성된 고정 브라켓을 포함하는 플레이트 고정부;
    상기 플레이트 고정부의 하부에 이격되어 배치되며, 상기 프레임의 상부에 결합되는 프레임 고정부; 및
    상기 플레이트 고정부와 상기 프레임 고정부 사이에 회전 가능하게 결합되며, 외주면에 상기 제1 관통 홀에 형성된 암나사산에 나사 결합되는 수나사산이 형성된 조절 브라켓을 포함하는 위치 조절부를 포함하고,
    상기 복수의 지지 유닛 각각에 대해, 상기 조절 브라켓이 상기 제1 관통 홀에 삽입된 상태에서 상기 조절 브라켓을 회전시켜 상기 고정 브라켓을 상하 방향으로 이동시킬 때에, 상기 베이스 플레이트는 상기 복수의 지지 유닛에서 상기 프레임에 대한 위치가 변경됨으로써 수평 상태가 조절되며,
    상기 프레임 고정부는,
    상기 프레임의 상부면에 고정되는 지지 블록;
    상기 지지 블록의 상부에 이격되어 배치되며, 상기 위치 조절부의 하부면에 맞닿은 상태에서 상기 베이스 플레이트로부터 상기 위치 조절부를 통해 상기 프레임으로 전달되는 하중을 분산하기 위한 가압 블록; 및
    상기 지지 블록과 상기 가압 블록의 사이에 배치되며, 상기 베이스 플레이트로부터 상기 위치 조절부를 통해 상기 프레임으로 전달되는 진동을 흡수하기 위한 방진 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 장치용 지지 구조.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 위치 조절부는,
    상기 조절 브라켓과 상기 프레임 고정부의 사이에 배치되며, 상기 조절 브라켓이 상기 프레임 고정부의 상부면에 맞닿은 상태로 회전하도록 지지하는 보조 브라켓을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 장치용 지지 구조.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 프레임 고정부는,
    상기 방진 블록의 내부에 삽입되며, 상기 지지 블록과 상기 가압 블록 사이의 간격을 조절하기 위한 적어도 하나의 스페이서(Spacer)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 장치용 지지 구조.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지 블록은 용접에 의해 상기 프레임의 상부면에 고정되는 것을 특징으로 하는 공정 장치용 지지 구조.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 지지 유닛은 각각,
    상기 베이스 플레이트의 수평 상태가 조절된 상태에서 상기 플레이트 고정부, 상기 프레임 고정부 및 상기 위치 조절부를 상하 방향으로 고정시키는 고정 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 장치용 지지 구조.
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