KR101538227B1 - Chemical mechanical polishing fastening fixture and fastening base - Google Patents

Chemical mechanical polishing fastening fixture and fastening base Download PDF

Info

Publication number
KR101538227B1
KR101538227B1 KR1020130131921A KR20130131921A KR101538227B1 KR 101538227 B1 KR101538227 B1 KR 101538227B1 KR 1020130131921 A KR1020130131921 A KR 1020130131921A KR 20130131921 A KR20130131921 A KR 20130131921A KR 101538227 B1 KR101538227 B1 KR 101538227B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
engagement surface
base
convex portions
convex portion
mechanical polishing
Prior art date
Application number
KR1020130131921A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20150050811A (en
Inventor
후이-첸 옌
Original Assignee
카이 펑 테크놀로지 컴퍼니 리미티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 카이 펑 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 filed Critical 카이 펑 테크놀로지 컴퍼니 리미티드
Priority to KR1020130131921A priority Critical patent/KR101538227B1/en
Publication of KR20150050811A publication Critical patent/KR20150050811A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101538227B1 publication Critical patent/KR101538227B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
    • H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Connection Of Plates (AREA)

Abstract

본 발명은 고정베이스와 고정링을 포함하는 화학기계 연마고정구에 관한 것이다. 그 중에 고정베이스는 제1결합면과 상기 제1결합면에 환상으로 배열 설치되는 PPS재질로 제조된 복수의 볼록부를 포함하며, 각 볼록부는, 고정베이스의 경방향을 따라 연장하는 평면이고 근부부터 볼록부의 외측으로 기울이는 제1감합면을 포함한다. 고정링은 제2결합면과 상기 제2결합면에 환상으로 배열 설치되고 볼록부와 대응하는 복수의 제1오목부를 포함하며, 각 제1오목부는, 고정링의 경방향을 따라 연장하는 평면이고 근부부터 제2결합면으로 기울어져 도구구조를 형성하는 제2감합면을 포함한다. 그 중에 고정베이스와 고정링의 축방향이 일치하여 제1결합면과 제2결합면을 일치하게 되고 볼록부는 각각 제1오목부와 일치하며 고정베이스와 고정링은 각각 원주방향을 따라 역방향 회전하여 볼록부의 제1감합면과 제1오목부의 제2감합면이 감합되도록 한다.The present invention relates to a chemical mechanical polishing fixture comprising a stationary base and a stationary ring. Wherein the fixed base includes a first engagement surface and a plurality of convex portions made of a PPS material annularly arranged on the first engagement surface, wherein each convex portion is a plane extending along the radial direction of the fixed base, And a first fitting surface that tilts to the outside of the convex portion. The stationary ring includes a second engaging surface and a plurality of first recesses which are annularly arranged on the second engaging surface and correspond to the convex portions, and each of the first recesses is a plane extending along the radial direction of the stationary ring And a second engagement surface that is inclined from the root to the second engagement surface to form a tool structure. The axial direction of the stationary base and the stationary ring coincide with each other so that the first engaging surface and the second engaging surface coincide with each other and the convex portions coincide with the first concave portions and the stationary base and the stationary ring rotate in opposite directions along the circumferential direction The first engagement surface of the convex portion and the second engagement surface of the first concave portion are engaged with each other.

Description

화학기계 연마고정구 및 고정베이스{CHEMICAL MECHANICAL POLISHING FASTENING FIXTURE AND FASTENING BASE}Technical Field [0001] The present invention relates to a chemical mechanical polishing fixture,

본 발명은 웨이퍼 고정구에 관한 것으로서, 특히 화학기계 연마고정구 및 고정베이스에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer clamp, and more particularly to a chemical mechanical polishing clamp and a clamp base.

반도체 제조 과정에서 웨이퍼 고정구는 필수적인 기본공구로서 웨이퍼 가공 과정에서 웨이퍼를 탑재하는 것에 적용하여 제조 과정에서의 웨이퍼의 반송, 화학처리 등을 편리하게 한다.The wafer fixture is an essential basic tool in the semiconductor manufacturing process, and it is applied to the wafer mounting process in the wafer processing process, thereby facilitating the wafer transportation and chemical treatment in the manufacturing process.

도 1에서 도시한 종래의 웨이퍼 고정구를 참조하면 일반적인 반도체 설비 제조업체에서 공급한 기준 웨이퍼 고정구로서 고정베이스(10) 및 고정링(20)을 포함한다. 고정베이스(10)는 일반적으로 스텐레스(SUS)로 제조되고 반도체 설비에 설치되며, 고정링(20)은 일반적으로 고수준 플라스틱 재료로 제조되고 웨이퍼를 탑재하는데 사용한다. 이러한 웨이퍼 고정구는 접착제로 고정링(20)을 고정베이스(10)에 첩착하는데 첩착면(11)이 평탄한 표면이기 때문에 고정링(20)과 고정베이스(10)는 접착제의 효력이 없이지는 것으로 인해 쉽게 이탈하게 된다.Referring to the conventional wafer fixture shown in FIG. 1, the reference wafer fixture supplied from a general semiconductor equipment manufacturer includes a stationary base 10 and a stationary ring 20. The stationary base 10 is generally made of stainless steel (SUS) and is installed in a semiconductor facility, and the stationary ring 20 is generally made of a high-level plastic material and is used to mount a wafer. Such a wafer fixture has a problem in that since the fixing ring 20 is adhered to the fixing base 10 with an adhesive and the adhesive surface 11 is a flat surface, the fixing ring 20 and the fixing base 10 are not effective It is easily detached.

따라서, 기준 웨이퍼 고정구는 상술한 문제로 인해 자주 바꾸어야 하고 웨이퍼 제조업체는 재료원가를 많이 소모하여야 하는 것을 제외하고는 웨이퍼 고정구의 불량이 웨이퍼에 대해 일으킨 손상을 항상 주의하여야 한다. 따라서, 이러한 기준의 웨이퍼 탑재방식을 실질적으로 개선하여 웨이퍼 고정구가 높은 안정성과 내구성을 가지게 하는 필요가 있고 이로써 웨이퍼 제조업체의 생산원가를 대폭 줄일 수 있다.Therefore, the reference wafer fixture has to be changed frequently due to the above-mentioned problems, and the wafer manufacturer must always pay attention to the damage caused by defects of the wafer fixture to the wafer, except that the wafer manufacturer must consume a large amount of material cost. Therefore, there is a need to substantially improve the wafer mounting system of this standard so that the wafer fixture has high stability and durability, thereby greatly reducing the production cost of the wafer manufacturer.

상술한 종래의 기술문제를 감안하면 본 발명은 생산, 조립이 용이하고 높은 안정성과 내구성의 특성을 가지고 있으며 웨이퍼 제조업체의 생산원가를 줄일 수 있는 화학기계 연마고정구를 제공한다.In view of the above-described conventional technical problems, the present invention provides a chemical mechanical polishing fixture that is easy to produce and assemble, has high stability and durability characteristics, and can reduce the manufacturing cost of the wafer manufacturer.

본 발명은 고정베이스와 고정링을 포함하는 화학기계 연마고정구를 제공한다. 그 중에 고정베이스는 제1결합면을 가진 환형 기재, 제1결합면에 환상으로 배열 설치되는 재질이 폴리페닐렌 설파이드(Polyphenyl sulphide, PPS)인 복수의 볼록부를 포함하며, 각 볼록부는, 환형 기재의 경방향을 따라 연장하는 평면이고 근부부터 볼록부의 외측으로 기울이는 제1감합면을 포함한다. 고정링은 제2결합면과 제2결합면에 환상으로 배열 설치되는 복수의 제1오목부를 포함하고 각 제1오목부는, 고정링의 경방향을 따라 연장하는 평면이고 근부부터 제2결합면으로 기울어져 도구(倒鉤)구조를 형성하는 제2감합면을 포함한다. 그 중에 고정베이스와 고정링의 축방향이 일치하여 제1결합면과 제2결합면이 일치하게 되고 볼록부는 제1오목부와 일치하며 고정베이스와 고정링은 각각 원주방향을 따라 역방향 회전하여 볼록부의 제1감합면과 제1오목부의 제2감합면이 감합되도록 한다.The present invention provides a chemical mechanical polishing fixture comprising a stationary base and a stationary ring. Wherein the fixed base includes an annular base material having a first engagement surface and a plurality of convex portions formed of polyphenylene sulfide (PPS) as a material annularly arranged on the first engagement surface, And a first fitting surface that tapers from the root to the outside of the convex portion. The stationary ring includes a plurality of first recesses annularly arranged on the second engagement surface and the second engagement surface, wherein each first recess is a plane extending along the radial direction of the stationary ring and extending from the root to the second engagement surface And a second engagement surface that forms an oblique (inverted) structure. The axial direction of the stationary base and the stationary ring coincide with each other so that the first engaging surface and the second engaging surface coincide with each other and the convex portion coincides with the first concave portion and the stationary base and the stationary ring rotate in opposite directions along the circumferential direction, So that the first fitting surface of the first fitting portion and the second fitting surface of the first concave portion are engaged with each other.

본 발명은 제2결합면과 제2결합면에 환상으로 배열 설치되는 복수의 제1오목부를 포함하는 고정링과 결합하여 화학기계 연마고정구를 형성하고 각 제1오목부는, 고정링의 경방향을 따라 연장하는 평면이고 근부부터 제2결합면으로 기울어져 도구구조를 형성하는 제2감합면을 포함하는 화학기계 연마고정구의 고정베이스에 있어서, 제1결합면을 가진 환형 기재 및 제1결합면에 환상으로 배열 설치되는 재질이 폴리페닐렌 설파이드인 복수의 볼록부를 포함하고 각 볼록부는, 환형 기재의 경방향을 따라 연장하는 평면이고 근부부터 볼록부의 외측으로 기울이는 제1감합면을 포함하는 화학기계 연마고정구의 고정베이스를 더 제공한다. 그 중에 고정베이스와 고정링의 축방향이 일치하여 제1결합면과 제2결합면이 일치하게 되고 볼록부는 제1오목부와 일치되며 고정베이스와 고정링은 각각 원주방향을 따라 역방향 회전하여 볼록부의 제1감합면과 오목부의 제2감합면이 감합되도록 한다.The present invention relates to a chemical mechanical polishing fixture which is combined with a fixing ring including a plurality of first concave portions annularly arranged on a second coupling surface and a second coupling surface to form a chemical mechanical polishing fixture, And a second engagement surface that extends from the root to the second engagement surface to form a tool structure, wherein the annular base having the first engagement surface and the second engagement surface Wherein the annular base material comprises a plurality of convex portions which are made of polyphenylene sulfide and the material of the annular base material is polyphenylene sulfide, and each of the convex portions is a plane extending along the radial direction of the annular base material and having a first fitting surface inclining outwardly from the convex portion The fixing base of the fixture is further provided. The axial direction of the stationary base and the stationary ring coincide with each other so that the first engaging surface and the second engaging surface coincide with each other, the convex portion coincides with the first concave portion, the stationary base and the stationary ring rotate in opposite directions along the circumferential direction, And the first fitting surface of the recess and the second fitting surface of the recess are engaged with each other.

본 발명은 고정베이스와 고정링을 포함하는 화학기계 연마고정구를 더 제공한다. 고정링은 제1결합면을 가진 환형 기재 및 제1결합면에 환상으로 배열 설치되는 재질이 폴리페닐렌 설파이드인 복수의 볼록부를 포함하고 각 볼록부는, 환형 기재의 경방향을 따라 연장하는 평면이고 근부부터 볼록부의 외측으로 기울어져 도구구조를 형성하는 제1감합면을 포함한다. 고정베이스는 제2결합면과 제2결합면에 환상으로 배열 설치되는 복수의 제1오목부를 포함하고 각 제1오목부는, 고정베이스의 경방향을 따라 연장하는 평면이고 근부부터 제2결합면으로 기울어져 도구구조를 형성하는 제2감합면을 포함한다. 그 중에 고정베이스와 고정링의 축방향이 일치하여 제1결합면과 제2결합면이 일치하게 되고 볼록부는 제1오목부와 일치되며 고정베이스와 고정링이 각각 원주방향을 따라 역방향 회전하여 볼록부의 제1감합면과 제1오목부의 제2감합면이 감합되도록 한다.The present invention further provides a chemical mechanical polishing fixture comprising a stationary base and a stationary ring. The stationary ring includes an annular base material having a first engaging surface and a plurality of convex portions that are made of polyphenylene sulfide and annularly arranged on the first engaging surface. The convex portions are planes extending along the radial direction of the annular base material And a first engagement surface that is inclined outwardly of the convex portion from the root to form a tool structure. The fixed base includes a plurality of first recesses annularly arranged on the second engagement surface and the second engagement surface, and each of the first recesses has a plane extending along the radial direction of the stationary base and extending from the root to the second engagement surface And a second engagement surface that is inclined to form a tool structure. The axial direction of the stationary base and the stationary ring coincide with each other so that the first engaging surface and the second engaging surface coincide with each other, the convex portion coincides with the first concave portion, the stationary base and the stationary ring rotate in opposite directions along the circumferential direction, So that the first fitting surface of the first fitting portion and the second fitting surface of the first concave portion are engaged with each other.

본 발명의 상기 및 기타 목적, 특징, 장점이 더욱 현명하고 쉽게 이해될 수 있도록 하기에서 특히 몇개의 바림직한 실시예를 들어 첨부된 도면을 결합하여 아래와 같이 상세히 설명한다(실시방식).In order that the above and other objects, features and advantages of the present invention may be more clearly understood and easily understood, the following detailed description is made by way of example and with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래의 웨이퍼 고정구의 예시도이고,
도 2a, 2b는 본 고안의 실시예의 예시도이고,
도 3a 내지 3g는 도 2b의 고정베이스(100)의 복수의 구체적인 실시예에 따른 부분 고정베이스(6)의 확대도이고,
도 4a 내지 4h는 각각 도 3a~3g의 단면 예시도이고,
도 5a, 5b는 고정링(200)의 부분 확대도와 단면도이고,
도 6a, 6b는 도 4a, 5b의 분리와 조립 예시도이다.1 is an exemplary view of a conventional wafer clamp,
Figures 2a and 2b are illustrations of an embodiment of the present invention,
Figures 3a-3g are enlarged views of a partial fixation base 6 according to a plurality of specific embodiments of the fixation base 100 of Figure 2b,
Figures 4A-4H are cross-sectional illustrations of Figures 3A-3G, respectively,
5A and 5B are partial enlargement and cross-sectional views of the stationary ring 200,
Figs. 6A and 6B show separation and assembly examples of Figs. 4A and 5B. Fig.

도 2a 및 도 2b에서 도시한 본 발명의 실시예의 예시도를 참조하면 본 발명에 따른 화학기계 연마고정구는 고정베이스(100), 고정링(200), 적어도 하나의 볼록부(110) 및 적어도 하나의 제1오목부(210)를 포함한다.2A and 2B, a chemical mechanical polishing fixture according to the present invention includes a stationary base 100, a stationary ring 200, at least one convex portion 110, and at least one The first concave portion 210 of the first embodiment.

고정베이스(100)는 원환상의 제1결합면(101)을 포함하고 고정베이스(100)는 스텐레스(SUS)로 제조될 수 있다. 제1결합면(101)에는 환상으로 배열된 복수의 볼록부(110)가 설치되어 있고 각 볼록부의 재질은 폴리페닐렌 설파이드(Polyphenyl sulphide, PPS)이다. 고정링(200)은 제2결합면(201)과 볼록부(110)와 대응하는 복수의 제1오목부(210)를 포함하고 고수준 플라스틱 재료로 제조될 수 있다. 본 실시예의 볼록부(110)는 PPS로 제조되는데 장기적이고 대량적인 실험을 통해 알 수 있다싶이 PPS재질로 제조된 볼록부(110)는 쉽게 가공될 수 있을 뿐만 아니라 PPS 자체가 적절한 변형가능성을 가지고 있기 때문에 PPS재질의 볼록부(110)와 재질이 고수준 플라스틱 재료인 제1오목부(210) 사이가 서로 더욱 밀접하게 결합할 수 있다. 고정베이스(100)와 고정링(200)은 각각 원주방향을 따라 역방향 회전하여 볼록부(110)와 제1오목부(210)가 감합되도록 할 수 있고 제1결합면(101)과 제2결합면(201)을 밀접하게 결합할 수 있다. 그 다음 접착제에 의해 고정베이스(100)와 고정링(200)이 형성한 감합면을 접착한 후 높은 안정성과 내구성을 가진 결합구조를 구성할 수 있다. 접착제는 여러가지가 있으나 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 숙지하고 있기 때문에 여기서 설명하지 않는다. The fixed base 100 may include an annular first coupling surface 101 and the fixed base 100 may be made of stainless steel (SUS). The first coupling surface 101 is provided with a plurality of annular projections 110, and the material of the projections is polyphenyl sulphide (PPS). The stationary ring 200 includes a plurality of first recesses 210 corresponding to the second engagement surface 201 and the convex portion 110 and can be made of a high-level plastic material. The convex portion 110 of the present embodiment is made of PPS. The convex portion 110 made of the PPS material, which is desired to be known through a long-term and large-scale experiment, can be easily processed, The convex portion 110 of the PPS material and the first concave portion 210 of the high-level plastic material can be more tightly coupled with each other. The fixed base 100 and the stationary ring 200 may rotate in the circumferential direction to respectively engage the convex portion 110 and the first concave portion 210. The first concave portion 101 and the second concave portion 210 may be engaged with each other, The surface 201 can be tightly coupled. Then, a bonding structure having high stability and durability can be formed after bonding the fitting base formed by the fixing base 100 and the fixing ring 200 with an adhesive. There are a variety of adhesives, but are not described here because they are well known to those skilled in the art.

실제적으로 볼록부(110)는 고정베이스(100)와 일체 성형하는 방식을 이용하여 제조하거나 고정베이스(100)와 분리하는 방식을 이용하여 제조할 수 있다. 이하, 각각 복수의 실시예를 들어 설명한다.Actually, the convex portion 110 may be manufactured using a method of integrally molding with the fixed base 100 or may be manufactured using a method of separating the convex portion 110 from the fixed base 100. Hereinafter, a plurality of embodiments will be described.

도 3a~3g를 참조하면 도 2b에서의 고정베이스(100)의 복수의 구체적인 실시예에 따른 부분 고정베이스(6)의 확대도이다.3A-3G are enlarged views of a partial fixation base 6 according to a plurality of specific embodiments of the fixation base 100 in FIG. 2B.

먼저 도 3a를 참조하면 고정베이스(100)가 도 3g의 실시예를 이용하는 결합예시도이고 이 실시예는 고정베이스(100)의 환형 기재와 볼록부(110)를 분리 제조하여 결합하는 일 실시예이다. 도면에서 알 수 있듯이 볼록부(110)는 나사(120)에 의해 고정베이스(100)의 환형 기재에 고정되고 환형 기재는 제2오목부(102)를 가지고 있어 볼록부(110)를 수용하여 이 볼록부(110)가 편이되는 것을 방지한다.3 (a). Referring to FIG. 3A, the fixing base 100 is a coupling example using the embodiment of FIG. 3G, and this embodiment is an embodiment in which the annular base 100 and the convex portion 110 of the fixing base 100 are separately manufactured and combined to be. As can be seen in the drawing, the convex portion 110 is fixed to the annular base member of the fixed base 100 by the screw 120 and the annular base member has the second concave portion 102 to receive the convex portion 110, Thereby preventing the convex portion 110 from being shifted.

각 볼록부(110)는 제1정면(즉 볼록부(110)의 정면), 제1안내면(111), 제1내측면(112), 제1외측면(113), 제1감합면(114)과 제1나사홀(115)(도 3g)을 포함한다. 그 중에 제1감합면(114)은 고정베이스(100)의 경방향을 따라 연장하는 평면(본 발명은 이에 한정되지 않음)이고 제1감합면(114)의 근부(제1감합면(114)과 제1결합면(101)의 교선)부터 볼록부(110)의 외측으로 기울어져 도구 형상을 나타낸다. 제1내측면(112) 및 제1외측면(113)은 모두 고정베이스(100)의 원주방향을 따라 연장하는 곡면이고 제1내측면(112)의 만곡반경은 제1외측면(113)의 만곡반경보다 작다. 제1정면은 평면이고 볼록부(110)의 정부를 구성한다. 본 실시예에서 제1감합면(114)은 각도 30도로 기울어져 있는 것이 바람직하다. 바람직하게는 제1안내면(111)은 고정베이스(100)의 경방향을 따라 연장하는 평면(본 발명은 이에 한정되지 않음)이고 제1감합면(114)과 협력하여 제1오목부(210)가 볼록부(110)에 감합되게 안내한다. 본 실시예에서 제1안내면(111)은 제1결합면(101)에 수직하게 설치되는 것이 바람직하나 제1안내면(111)의 근부(제1안내면(111)과 제1결합면(101)의 교선)부터 볼록부(110)의 내측으로 기울어져 있어도 좋다.Each convex portion 110 has a first front surface (i.e., a front surface of the convex portion 110), a first guide surface 111, a first inside surface 112, a first outside surface 113, a first fitting surface 114 And a first screw hole 115 (Fig. 3G). The first engagement surface 114 is a plane extending along the radial direction of the fixed base 100 (the present invention is not limited to this), and the root of the first engagement surface 114 (the first engagement surface 114, And the first coupling surface 101) to the outside of the convex portion 110 to show a tool shape. The first inner side surface 112 and the first outer side surface 113 are both curved surfaces extending along the circumferential direction of the fixed base 100 and the curved radius of the first inner side surface 112 is equal to the curvature radius of the first outer side surface 113 It is smaller than the curvature radius. The first front face is flat and constitutes a part of the convex portion 110. In this embodiment, it is preferable that the first fitting surface 114 is inclined at an angle of 30 degrees. Preferably, the first guide surface 111 is a plane extending along the radial direction of the fixed base 100 (the present invention is not limited to this), and cooperates with the first engagement surface 114 to define the first recess 210, Thereby guiding the convex portion 110 to fit. Although the first guide surface 111 is preferably perpendicular to the first engagement surface 101 in the present embodiment, it is preferable that the first guide surface 111 and the first engagement surface 101 Or may be inclined to the inside of the convex portion 110 from the intersection.

이어서, 도 3b~3g를 참조하면 각각 본 발명의 서로 다른 다양한 실시형태를 설명한다.Next, various different embodiments of the present invention will be described with reference to Figs. 3B to 3G.

도 3b는 본 발명에 따른 고정베이스의 일 실시형태의 예시도이다. 이 실시예에서 볼록부(110)는 단독적으로 제조되고 접착제에 의해 고정베이스(100)의 환형 기재에 고정된다. 이 실시예에서는 반드시 먼저 볼록부(110)의 위치를 확정한 다음 접착제로 고정하여야 한다. 볼록부(110)의 구조는 상술한 바와 같으므로 더 이상 설명하지 않는다.Figure 3b is an illustration of an embodiment of a stationary base according to the present invention. In this embodiment, the convex portion 110 is manufactured solely and fixed to the annular base of the stationary base 100 by an adhesive. In this embodiment, the position of the convex portion 110 must be determined and then fixed with an adhesive. Since the structure of the convex portion 110 is as described above, it will not be described further.

도 3c는 본 발명에 따른 고정베이스의 다른 하나의 실시형태의 예시도이다. 이 실시예에서 볼록부(110)는 단독적으로 제조되고 철주(116)를 포함한다. 고정베이스(100)의 환형 기재는 먼저 철주(116)와 대응되도록 요공(104)을 배치한다. 이와 같이 철주(116)는 요공(104)에 삽입한 다음 접착제에 의해 고정베이스(100)의 환형 기재에 고정할 수 있다. 이 실시예에서 철주(116)와 요공(104)의 설치는 볼록부(110)를 정확히 위치고정시킨 다음 접착제로 고정할 수 있다. 볼록부(110)의 구조는 상술한 바와 같으므로 더 이상 설명하지 않는다.3C is an illustration of another embodiment of the stationary base according to the present invention. In this embodiment, the convex portion 110 is manufactured exclusively and includes the stem 116. The annular base of the fixed base (100) first arranges the pores (104) so as to correspond to the pillar (116). In this way, the prism 116 can be inserted into the through hole 104 and then fixed to the annular base of the fixing base 100 by an adhesive. In this embodiment, the pontoon 116 and the pores 104 can be fixed by fixing the convex portion 110 accurately with an adhesive. Since the structure of the convex portion 110 is as described above, it will not be described further.

도 3d는 본 발명에 따른 고정베이스의 또 다른 하나의 실시형태의 예시도이다. 이 실시예에서 볼록부(110)는 단독적으로 제조되고 나사(120)에 의해 고정베이스(100)의 환형 기재에 고정된다. 이 실시예에서 볼록부(110)는 먼저 제1나사홀(115)을 만들어야 하고 고정베이스(100)의 환형 기재는 먼저 제2나사홀(103)을 만들어야 한다. 나사(120)는 제1나사홀(115)과 제2나사홀(103)을 통과하여 환형 기재에 고정하기 전에 접착제에 의해 그의 강도를 강화할 수도 있다. 볼록부(110)의 구조는 상술한 바와 같으므로 더 이상 설명하지 않는다.Fig. 3D is an illustration of another embodiment of the fixing base according to the present invention. In this embodiment, the convex portion 110 is manufactured exclusively and is fixed to the annular base of the stationary base 100 by means of screws 120. In this embodiment, the convex portion 110 must first make the first screw hole 115 and the annular base of the fixing base 100 should first make the second screw hole 103. The screw 120 may pass through the first screw hole 115 and the second screw hole 103 to strengthen its strength by an adhesive before being fixed to the annular base material. Since the structure of the convex portion 110 is as described above, it will not be described further.

도 3e는 본 발명에 따른 고정베이스의 또 다른 하나의 실시형태의 예시도이다. 이 실시예에서 볼록부(110)는 단독적으로 제조되고 접착제에 의해 고정베이스(100)의 환형 기재에 접착된다. 이 실시예에서 고정베이스(100)의 환형 기재에는 먼저 제2오목부(102)를 형성하여 볼록부(110)가 그 안에 수용될 수 있도록 한다. 제2오목부(102)는 횡향의 고정효과를 제공할 수 있고 접착제는 볼록부(110)와 고정베이스(100)의 환형 기재 사이의 종향의 고정효과를 제공할 수 있다. 볼록부(110)의 구조는 상술한 바와 같으므로 더 이상 설명하지 않는다.3E is an illustration of another embodiment of the stationary base according to the present invention. In this embodiment, the convex portion 110 is manufactured singly and bonded to the annular base material of the stationary base 100 by an adhesive. In this embodiment, the annular base of the fixed base 100 is first formed with the second recess 102 so that the protrusion 110 can be accommodated therein. The second recess 102 may provide a lateral effect of fixation and the adhesive may provide an anchoring effect of the longitudinal orientation between the convex portion 110 and the annular base of the stationary base 100. [ Since the structure of the convex portion 110 is as described above, it will not be described further.

도 3f는 본 발명에 따른 고정베이스의 또 다른 하나의 실시형태의 예시도이다. 이 실시예에서 볼록부(110)는 단독적으로 제조되고 철주(116)를 포함한다. 고정베이스(100)의 환형 기재는 먼저 요공(104)을 배치하여 철주(116)와 대응되도록 한다. 이와 같이 철주(116)가 요공(104)에 삽입한 다음 접착제에 의해 고정베이스(100)의 환형 기재에 고정할 수 있다. 이 실시예에서 철주(116)와 요공(104)의 설치는 볼록부(110)를 정확히 위치고정시킨 다음 접착제로 고정할 수 있다. 또한 본 실시예는 먼저 고정베이스(100)의 환형 기재에 제2오목부(102)를 형성하여 볼록부(110)를 이 안에 수용될 수 있도록 하는 것도 포함한다. 제2오목부(102)는 횡향의 고정효과를 제공할 수 있고 접착제는 볼록부(110)와 고정베이스(100)의 환형 기재 사이의 종향의 고정효과를 제공한다. 볼록부(110)의 구조는 상술한 바와 같으므로 더 이상 설명하지 않는다.3F is an illustration of another embodiment of the fixing base according to the present invention. In this embodiment, the convex portion 110 is manufactured exclusively and includes the stem 116. The annular base material of the stationary base 100 is first arranged with the pores 104 so as to correspond to the pillar 116. As described above, the pontoon rod 116 can be inserted into the pores 104 and then fixed to the annular base material of the fixed base 100 by an adhesive. In this embodiment, the pontoon 116 and the pores 104 can be fixed by fixing the convex portion 110 accurately with an adhesive. The present embodiment also includes forming the second concave portion 102 on the annular base of the fixed base 100 so that the convex portion 110 can be accommodated therein. The second recess 102 can provide a lateral effect of fixation and the adhesive provides a fixative effect of the longitudinal orientation between the convex portion 110 and the annular base of the stationary base 100. [ Since the structure of the convex portion 110 is as described above, it will not be described further.

도 3g는 본 발명에 따른 고정베이스의 또 다른 하나의 실시형태의 예시도이다. 이 실시예에서 볼록부(110)는 단독적으로 제조되고 나사(120)에 의해 고정베이스(100)의 환형 기재에 고정된다. 이 실시예에서 볼록부(110)는 먼저 제1나사홀(115)을 제조하여야 하고 고정베이스(100)의 환형 기재는 먼저 제2나사홀(103)을 제조하여야 한다. 나사(120)는 제1나사홀(115)과 제2나사홀(103)을 통과하여 환형 기재에 고정하기 전에 접착제에 의해 그의 강도를 강화할 수도 있다. 또한 본 실시예는 먼저 고정베이스(100)의 환형 기재에 제2오목부(102)를 형성하여 볼록부(110)를 이 안에 수용될 수 있도록 하는 것도 포함한다. 제2오목부(102)는 횡향의 고정효과를 제공할 수 있고 나사는 볼록부(110)와 고정베이스(100)의 환형 기재 사이의 종향의 고정효과를 제공한다. 볼록부(110)의 구조는 상술한 바와 같으므로 더 이상 설명하지 않는다.Figure 3G is an illustration of another embodiment of the stationary base according to the present invention. In this embodiment, the convex portion 110 is manufactured exclusively and is fixed to the annular base of the stationary base 100 by means of screws 120. In this embodiment, the convex portion 110 should firstly manufacture the first screw hole 115, and the annular base of the stationary base 100 should first manufacture the second screw hole 103. The screw 120 may pass through the first screw hole 115 and the second screw hole 103 to strengthen its strength by an adhesive before being fixed to the annular base material. The present embodiment also includes forming the second concave portion 102 on the annular base of the fixed base 100 so that the convex portion 110 can be accommodated therein. The second recess 102 can provide a lateral effect of fixation and the screw provides a fixative effect of the longitudinal orientation between the convex portion 110 and the annular base of the stationary base 100. [ Since the structure of the convex portion 110 is as described above, it will not be described further.

이어서, 도 4a~4h를 참조하면 각각 도 3A~3G의 단면 예시도이다.Reference is now made to Figs. 4A to 4H, which are cross-sectional illustrations of Figs. 3A to 3G, respectively.

도 4a에서 볼 수 있듯이 나사(120)는 제1나사홀(115)과 제2나사홀(103)에 의해 볼록부(110)를 고정베이스(100)의 환형 기재에 고정한다. 그리고 제2오목부(102)는 볼록부(110)를 수용하여 이 볼록부(110)를 제2오목부(102)에 위치고정시킬 수 있다.4A, the screw 120 fixes the convex portion 110 to the annular base of the fixing base 100 by the first screw hole 115 and the second screw hole 103. As shown in FIG. The second concave portion 102 can receive the convex portion 110 and fix the convex portion 110 to the second concave portion 102.

도 4b에서 볼 수 있듯이 볼록부(110)는 접착제에 의해 고정베이스(100)의 환형 기재에 접착하여야 한다.As shown in FIG. 4B, the convex portion 110 should be adhered to the annular base of the fixing base 100 with an adhesive.

도 4c에서 볼 수 있듯이 볼록부(110)는 철주(116)에 의해 요공(104)에 위치고정될 수 있고 접착제에 의해 고정베이스(100)의 환형 기재에 접착될 수 있다.As shown in FIG. 4C, the convex portion 110 can be fixed to the through hole 104 by the pontoon 116 and can be adhered to the annular base of the fixing base 100 by an adhesive.

도 4d에서 볼 수 있듯이 나사(120)는 제1나사홀(115)과 제2나사홀(103)에 의해 볼록부(110)를 고정베이스(100)의 환형 기재에 고정한다.4D, the screw 120 fixes the convex portion 110 to the annular base 100 of the fixing base 100 by the first screw hole 115 and the second screw hole 103. As shown in FIG.

도 4e에서 볼 수 있듯이 볼록부(110)는 접착제에 의해 고정베이스(100)의 환형 기재에 접착하여야 하고 제2오목부(102)는 볼록부(110)를 수용하여 이 볼록부(110)가 제2오목부(102)에 위치고정되도록 할 수 있다.4E, the convex portion 110 should be adhered to the annular base material of the fixing base 100 by an adhesive. The second concave portion 102 receives the convex portion 110 and the convex portion 110 And can be fixed to the second concave portion 102.

도 4f에서 볼 수 있듯이 볼록부(110)는 철주(116)에 의해 요공(104)에 위치고정될 수 있고 접착제에 의해 고정베이스(100)의 환형 기재에 접착될 수 있다. 그리고 제2오목부(102)는 볼록부(110)를 수용하여 이 볼록부(110)가 제2오목부(102)에 위치고정되도록 할 수 있다.As shown in FIG. 4F, the convex portion 110 can be fixed to the through hole 104 by the pontoon 116 and can be adhered to the annular base of the fixing base 100 by an adhesive. The second concave portion 102 may receive the convex portion 110 and fix the convex portion 110 to the second concave portion 102.

도 4g에서 볼 수 있듯이 나사(120)는 제1나사홀(115)과 제2나사홀(103)에 의해 볼록부(110)를 고정베이스(100)의 환형 기재에 고정한다. 그리고 제2오목부(102)는 볼록부(110)를 수용하여 이 볼록부(110)가 제2오목부(102)에 위치고정되도록 할 수 있다.The screw 120 fixes the convex portion 110 to the annular base of the fixing base 100 by the first screw hole 115 and the second screw hole 103 as shown in FIG. The second concave portion 102 may receive the convex portion 110 and fix the convex portion 110 to the second concave portion 102.

도 4h에서 볼 수 있듯이 볼록부(110)는 고정베이스(100)의 환형 기재와 일체 성형된다.As shown in FIG. 4H, the convex portion 110 is formed integrally with the annular base of the stationary base 100.

이어서, 도 5a, 5b를 참조하면 고정링(200)의 부분 확대도와 단면도이다. 고정링(200)은 제2결합면(201)과 제2결합면(201)에 환상으로 배열 설치되는 복수의 제1오목부(210)를 포함하는데 상기 제2결합면(201)은 볼록부(110)를 수용하는 공간을 제공하고 제2감합면(215)(더브테일 홈 구조)을 제공하여 볼록부(110)의 제1감합면(114)이 수용되도록 한다. 제2감합면(215)은 고정링(200)의 경방향을 따라 연장하는 평면이고 제2감합면(215)의 근부부터 제2결합면(201)으로 기울어져 도구구조를 형성한다. 볼록부(110)의 제1감합면(114)은 도구구조를 형성하기 때문에 제2감합면(215)은 또한 제2결합면(201)과 다른 하나의 도구구조를 형성하고 제1감합면(114)과 평행한다. 따라서, 접착제로 고정베이스(100)와 고정링을 접착하면 종향의 고정을 형성하는데 이 점에 대한 설명은 도 6a를 참조한다.5A and 5B are partial enlargement and sectional views of the stationary ring 200. FIG. The stationary ring 200 includes a plurality of first recesses 210 annularly arranged on the second engagement surface 201 and the second engagement surface 201, And provides a space for receiving the first fitting surface 110 and a second fitting surface 215 (dovetail groove structure) to accommodate the first fitting surface 114 of the convex portion 110. The second engagement surface 215 is planar extending along the radial direction of the stationary ring 200 and is inclined from the root of the second engagement surface 215 to the second engagement surface 201 to form a tool structure. Since the first engagement surface 114 of the convex portion 110 forms a tool structure, the second engagement surface 215 also forms a different tool structure than the second engagement surface 201 and the first engagement surface < RTI ID = 0.0 > 114). Thus, bonding the fixation base 100 and the fixation ring with an adhesive forms an end fixation, see FIG. 6A for a description of this point.

도 5a에서 제1오목부(210)의 구조는 제2정면(211), 제2내측면(212), 제2외측면(213), 제2안내면(214)과 제2감합면(215)으로 이루어진다. 그 중에 제2정면(211)은 평면이고 제1오목부(210)의 바닥부를 형성한다. 제2내측면(212) 및 제2외측면(213)은 모두 고정링(200)의 원주방향을 따라 함몰하는 곡면이고 제2내측면(212)의 만곡반경은 제2외측면(213)의 만곡반경보다 작다. 제2감합면(215)은 고정링(200)의 경방향을 따라 연장하는 평면(본 발명은 이에 한정되지 않음)이고 제2감합면(215)의 근부(제2정면(211)과의 교선)부터 상기 제2결합면(201)으로 기울어져 도구 형상을 나타내는 것이 바람직하며, 본 실시예에서 제2감합면(215)이 제1감합면(114)에 맞추어 동일하게 각도 30도를 기울이는 것이 바람직하고 나머지 실시예는 1도 내지 60도 사이를 사용할 수 있으며 양자의 경사각도는 마찬가지로 동일하고 평행한다. 제2안내면(214)은 고정링(200)의 경방향을 따라 연장하는 평면(본 발명은 이에 한정되지 않음)인 것이 바람직하고, 본 실시예에서 제2안내면(214)은 근부(제2안내면(214)과 제2결합면(201)의 교선)부터 제1오목부(210)의 내측으로 기울이는 것이 바람직하다.5A, the structure of the first concave portion 210 includes a second front surface 211, a second inner surface 212, a second outer surface 213, a second guide surface 214 and a second fitting surface 215, Lt; / RTI > The second front face 211 is flat and forms the bottom portion of the first concave portion 210. The second inner side surface 212 and the second outer side surface 213 are all curved surfaces that sink along the circumferential direction of the stationary ring 200 and the curved radius of the second inner side surface 212 is equal to that of the second outer surface 213 It is smaller than the curvature radius. The second engagement surface 215 is a plane extending along the radial direction of the stationary ring 200 (the present invention is not limited to this) and a root of the second engagement surface 215 ) To the second engaging surface 201. In this embodiment, the second engaging surface 215 is inclined at an angle of 30 degrees in accordance with the first engaging surface 114 And in the remaining embodiments, between 1 degree and 60 degree can be used, and both inclination angles are equally and parallel. The second guide surface 214 is preferably a plane extending along the radial direction of the stationary ring 200 (the present invention is not limited thereto), and in this embodiment, the second guide surface 214 is a root (The intersection of the first engaging surface 214 and the second engaging surface 201) to the inside of the first recess 210.

도 6a 및 도 6b를 참조하면 고정베이스(100)와 고정링(200)의 축심이 일치하여 제1결합면(101)이 제2결합면(201)에 일치하게 마주 향하게 되도록 하고 볼록부(110)는 제1오목부(210)와 일치되며 각 제1감합면(114)은 대응하는 제2감합면(215)과 일치되고 각 제2안내면(214)과 제2정면(211)의 교선은 대응하는 제1안내면(111)과 일치하며 제1내측면(112), 제1외측면(113)은 각각 제2내측면(212) 및 제2외측면(213)과 일치하여 볼록부(110) 및 제1오목부(210)를 위치고정시킨다. 그 다음 고정베이스(100)와 고정링(200)을 각각 원주방향을 따라 역방향 회전시켜 제1오목부(210) 및 볼록부(110)가 제1감합면(114)(또는 제2감합면(215))의 방향을 따라 부딪치지 않도록 상대적으로 슬라이드하게 하며 이로써 고정링(200)이 고정베이스(100)에서 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 고정베이스(100)와 고정링(200) 사이는 접착제로 접착하여 고정베이스(100)와 고정링(200) 사이의 고정력을 강화한다.6A and 6B, the axial center of the stationary base 100 and the stationary ring 200 coincide with each other such that the first engaging surface 101 faces the second engaging surface 201 and the convex portion 110 Is coincident with the first concave portion 210 and each first fitting surface 114 is coincident with the corresponding second fitting surface 215 and the intersection of each second guiding surface 214 and the second front surface 211 And the first inner side surface 112 and the first outer side surface 113 coincide with the corresponding second guide surface 111 and the second inner side surface 212 and the second outer side surface 213, And the first concave portion 210 are fixed in position. The first concave portion 210 and the convex portion 110 are rotated in the circumferential direction by rotating the fixed base 100 and the stationary ring 200 respectively in the circumferential direction so that the first concave portion 210 and the convex portion 110 contact the first fitting surface 114 215) so that the fixing ring 200 can be prevented from being detached from the fixed base 100. The fixing base 100 and the stationary ring 200 are adhered with an adhesive to strengthen the fixing force between the stationary base 100 and the stationary ring 200.

또한 상기 실시예에서 제1감합면(114)은 외부에서 볼 때 좌측으로 기울이는 것을 채용하고 고정링(200)을 고정베이스(100) 윗쪽에 설치할 때는 시계반대방향으로 제1오목부(210)를 볼록부(110)에 수용한다. 실제적으로 반대되는 방향을 이용할 수 있는데 즉 제1감합면(114)은 외부에서 볼 때 우측으로 기울이는 것을 채용하고 고정링(200)을 고정베이스(100) 윗쪽에 설치할 때 시계방향으로 제1오목부(210)를 볼록부(110)에 수용하는 것이다.In this embodiment, the first fitting surface 114 is tilted to the left when viewed from the outside, and when the fixing ring 200 is installed above the fixing base 100, the first concave portion 210 And is housed in the convex portion 110. The first fitting surface 114 may be tilted to the right when viewed from the outside and when the fixing ring 200 is installed above the fixing base 100, (210) in the convex portion (110).

또한 실제적으로 본 발명에 따른 고정베이스(100)의 볼록부(110) 구조 및 고정링(200)의 제1오목부(210) 구조는 서로 치환할 수 있다. 즉 볼록부(110)의 구조를 고정링(200)에 제조하고 제1오목부(210)의 구조를 고정베이스(100)에 제조하는 것이다. 구조가 동일하기 때문에 도면 및 설명을 별도로 서술하지 않는다.Actually, the convex portion 110 of the stationary base 100 and the first concave portion 210 of the stationary ring 200 may be replaced with each other. That is, the structure of the convex portion 110 is manufactured in the stationary ring 200 and the structure of the first concave portion 210 is manufactured in the stationary base 100. Since the structure is the same, the drawings and the description are not separately described.

직접 평면첩착면(11)을 첩착하는 종래의 기술에 비하여 본 발명에 따른 화학기계 연마고정구는 고정링(200) 및 고정베이스(100)를 더욱 효과적으로 고정하여 화학기계 연마고정구의 사용수명을 연장할 수 있다.The chemical mechanical polishing fixture according to the present invention more effectively fixes the stationary ring 200 and the stationary base 100 to prolong the service life of the chemical mechanical polishing fixture can do.

본 발명은 상기 실시예에 의해 상술한 바와 같이 개시되었으나 본 발명을 한정하기 위한 것이 아니며 관련되는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 정신과 범위를 벗어나지 않고 약간의 변동과 윤식을 할 수 있으므로 본 발명의 특허보호범위는 본 명세서에 첨부된 특허청구범위에서 정한 것을 기준으로 하여야 한다.It is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. Therefore, the scope of the patent protection of the present invention should be based on those defined in the claims attached hereto.

6 : 부분 고정베이스 10, 100 : 고정베이스 11 : 첩착면
101 : 제1결합면 102 : 제2오목부 103 : 제2나사홀
104 : 요공 110 : 볼록부 111 : 제1안내면
112 : 제1내측면 113 : 제1외측면 114 : 제1감합면
115 : 제1나사홀 116 : 철주 120 : 나사
20, 200 : 고정링 201 : 제2결합면 210 : 제1오목부
211 : 제2정면 212 : 제2내측면 213 : 제2외측면
214 : 제2안내면 215 : 제2감합면6: partial fixing base 10, 100: fixed base 11:
101: first engagement surface 102: second recess 103: second screw hole
104: lug 110: convex portion 111: first guide surface
112: first inner side surface 113: first outer side surface 114: first fitting surface
115: first screw hole 116: spindle 120: screw
20, 200: stationary ring 201: second engagement surface 210: first recess
211: second front surface 212: second inside surface 213: second outside surface
214: second guide surface 215: second fitting surface

Claims (9)

제1결합면을 가진 환형 기재, 및 상기 제1결합면에 환상으로 배열 설치되고 재질이 폴리페닐렌 설파이드이며 각각 상기 환형 기재의 경방향을 따라 연장하는 평면이고 근부부터 볼록부의 외측으로 기울이는 제1감합면을 포함하는 복수의 볼록부를 포함하는 고정베이스; 및
제2결합면과 상기 제2결합면에 환상으로 배열 설치되고 부분적인 주연이 근부부터 제2결합면으로 기울이는 제2감합면을 구성하는 복수의 제1오목부를 포함하는 고정링을 포함하고,
상기 복수의 볼록부 각각이 상기 복수의 제1오목부 각각에 설치될 때 상기 고정베이스와 상기 고정링이 각각 원주방향을 따라 역방향 회전하는 것에 의해 상기 복수의 볼록부의 제1감합면을 상기 복수의 제1오목부의 제2감합면에 감합하도록 하며,
상기 복수의 볼록부 각각은 제1나사홀을 포함하고, 상기 환형 기재의 상기 제1결합면은 각각 상기 제1나사홀에 대응하는 복수의 제2나사홀을 포함하며 서로 마주하는 상기 제1나사홀과 상기 복수의 제2나사홀은 나사를 통과하여 상기 복수의 볼록부를 상기 환형 기재에 고정하고,
상기 환형 기재는 상기 복수의 볼록부 각각을 수용하여 상기 복수의 볼록부 각각이 슬라이드 하는 것을 방지하는 복수의 제2오목부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기계 연마고정구.A first annular base material having a first engagement surface and a first annular base material annularly arranged on the first engagement surface and made of polyphenylene sulfide and extending in the radial direction of the annular base material, A fixing base including a plurality of convex portions including a fitting surface; And
And a plurality of first recesses which are annularly arranged on the second engagement surface and the second engagement surface and which constitute a second engagement surface on which the partial periphery is inclined from the root to the second engagement surface,
Wherein when the plurality of convex portions are provided in each of the plurality of first concave portions, the stationary base and the stationary ring rotate in the circumferential direction respectively in the opposite directions, thereby rotating the first engagement surfaces of the plurality of convex portions, To fit the second fitting surface of the first concave portion,
Wherein each of the plurality of convex portions includes a first screw hole and the first engagement surface of the annular base member includes a plurality of second screw holes corresponding to the first screw hole, The hole and the plurality of second screw holes pass through the screw to fix the plurality of convex portions to the annular base,
Wherein the annular base further comprises a plurality of second recesses for receiving each of the plurality of protrusions to prevent each of the plurality of protrusions from sliding. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 복수의 볼록부 각각은 철주를 포함하고, 상기 환형 기재의 상기 제1결합면은 요공을 포함하며, 상기 철주가 상기 요공에 삽입하여 상기 복수의 볼록부를 상기 환형 기재에 고정하는 것을 특징으로 하는 화학기계 연마고정구.2. The annular substrate according to claim 1, wherein each of the plurality of convex portions comprises a column, the first engagement surface of the annular substrate includes a hole, and the column is inserted into the hole to form the plurality of convex portions, Wherein the chemical mechanical polishing fixture is fixed. 제4항에 있어서, 상기 환형 기재는 각각 상기 복수의 볼록부 각각을 수용하여 상기 복수의 볼록부가 슬라이드 하는 것을 방지하는 복수의 제2오목부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기계 연마고정구.5. The chemical mechanical polishing fastener according to claim 4, wherein the annular base material further comprises a plurality of second concave portions for respectively receiving the plurality of convex portions and preventing the plurality of convex portions from sliding. 제1항에 있어서, 상기 제1감합면과 상기 제2감합면의 경사각도는 1도 내지 60도 사이의 범위이고, 상기 제1감합면은 상기 제2감합면에 평행되는 것을 특징으로 하는 화학기계 연마고정구.The method of claim 1, wherein the inclination angle of the first engagement surface and the second engagement surface is in a range between 1 degree and 60 degrees, and the first engagement surface is parallel to the second engagement surface Mechanical polishing fixture. 제1항에 있어서, 상기 복수의 볼록부 각각은 상기 제1감합면의 상대면에 위치하고 상기 제1감합면에 평행하는 제1안내면을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기계 연마고정구.The chemical mechanical polishing fastener according to claim 1, wherein each of the plurality of convex portions further comprises a first guide surface located on a mating surface of the first mating surface and parallel to the first mating surface. 제7항에 있어서, 상기 복수의 제1오목부 각각은 상기 제2감합면의 상대면에 위치하고 상기 제2감합면에 평행하는 제2안내면을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기계 연마고정구.The chemical mechanical polishing fastener according to claim 7, wherein each of the plurality of first recesses further comprises a second guide surface located on a mating surface of the second mating surface and parallel to the second mating surface. 제8항에 있어서, 상기 제1안내면과 상기 제2안내면의 경사각도는 1도 내지 60도 사이이고, 상기 제1안내면은 상기 제2안내면에 평행하는 것을 특징으로 하는 화학기계 연마고정구.The chemical mechanical polishing fastener according to claim 8, wherein the inclination angle of the first guide surface and the second guide surface is between 1 degree and 60 degrees, and the first guide surface is parallel to the second guide surface.
KR1020130131921A 2013-11-01 2013-11-01 Chemical mechanical polishing fastening fixture and fastening base KR101538227B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130131921A KR101538227B1 (en) 2013-11-01 2013-11-01 Chemical mechanical polishing fastening fixture and fastening base

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130131921A KR101538227B1 (en) 2013-11-01 2013-11-01 Chemical mechanical polishing fastening fixture and fastening base

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150050811A KR20150050811A (en) 2015-05-11
KR101538227B1 true KR101538227B1 (en) 2015-07-20

Family

ID=53388467

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130131921A KR101538227B1 (en) 2013-11-01 2013-11-01 Chemical mechanical polishing fastening fixture and fastening base

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101538227B1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010085083A (en) * 2001-08-02 2001-09-07 배상육 Easily-assemblable retainer ring for chemical mechanical poshishing apparatus
KR200338451Y1 (en) * 2003-04-30 2004-01-16 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 Two part retaining ring
KR20100002874U (en) * 2008-09-03 2010-03-11 그린스펙(주) retainer ring for chemical mechanical polishing
KR101003523B1 (en) * 2010-06-07 2010-12-30 주식회사 윌비에스엔티 Retainner ring of chemical mechanical polishing apparatus

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010085083A (en) * 2001-08-02 2001-09-07 배상육 Easily-assemblable retainer ring for chemical mechanical poshishing apparatus
KR200338451Y1 (en) * 2003-04-30 2004-01-16 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 Two part retaining ring
KR20100002874U (en) * 2008-09-03 2010-03-11 그린스펙(주) retainer ring for chemical mechanical polishing
KR101003523B1 (en) * 2010-06-07 2010-12-30 주식회사 윌비에스엔티 Retainner ring of chemical mechanical polishing apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150050811A (en) 2015-05-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101455311B1 (en) Retainner Ring of Chemical Mechanical Polishing Apparatus
US6560045B1 (en) Elastic lens holder
KR101800427B1 (en) Work pallet positioning and affixing device
JP2011027108A (en) One-axis screw pump and related pump device
US20180186017A1 (en) Joint structure and robot
KR101538227B1 (en) Chemical mechanical polishing fastening fixture and fastening base
CN114378751A (en) Mounting clamp of bearing ring for wafer
CN102493984B (en) Connecting piece
CN103477131B (en) Mechanical seal
JP2003239923A (en) Pole with joining screw
JP3181961U (en) Chemical mechanical polishing fixture and holder
CN211388289U (en) Workpiece plane grinding clamp
KR101769983B1 (en) Polishing head cover assembly
US20150098131A1 (en) Lens assemblies and optical systems incorporating lens assemblies
JP2010038226A (en) Linear slide way
WO2018033064A1 (en) Bearing piece with bearings angularly arranged and bearing installation structure
US10596723B2 (en) Cutting tool holding device
CN111999845B (en) Lens module
WO2018003342A1 (en) Attachment structure for ic tag
JP2008015342A (en) Combination lens and manufacturing method thereof
WO2012008150A1 (en) Fixing structure and drive apparatus
EP2835218B1 (en) Chemical mechanical polishing fastening fixture and fastening base
CN203471551U (en) Chemical machine lapping fixing tool
US11855519B2 (en) Bearing stator, compressor and conditioner
CN220623944U (en) Light-operated mounting structure and lamp

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180502

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190423

Year of fee payment: 5