KR101525782B1 - Apparatus for detecting chemicals leakage using sensor for detecting corrosion - Google Patents

Apparatus for detecting chemicals leakage using sensor for detecting corrosion Download PDF

Info

Publication number
KR101525782B1
KR101525782B1 KR1020130147142A KR20130147142A KR101525782B1 KR 101525782 B1 KR101525782 B1 KR 101525782B1 KR 1020130147142 A KR1020130147142 A KR 1020130147142A KR 20130147142 A KR20130147142 A KR 20130147142A KR 101525782 B1 KR101525782 B1 KR 101525782B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chemical
electrodes
corrosion
sensor
detection sensor
Prior art date
Application number
KR1020130147142A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20150062464A (en
Inventor
임덕준
김덕남
Original Assignee
(주) 리더스앤글로벌
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주) 리더스앤글로벌 filed Critical (주) 리더스앤글로벌
Priority to KR1020130147142A priority Critical patent/KR101525782B1/en
Publication of KR20150062464A publication Critical patent/KR20150062464A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101525782B1 publication Critical patent/KR101525782B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/16—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/40—Investigating fluid-tightness of structures by using electric means, e.g. by observing electric discharges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G—PHYSICS
    • G08—SIGNALLING
    • G08B—SIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
    • G08B21/00—Alarms responsive to a single specified undesired or abnormal condition and not otherwise provided for
    • G08B21/18—Status alarms

Abstract

부식감지센서부를 이용한 케미칼누출감지장치가 제공된다. 본 발명의 케미칼누출감지장치는, 케미칼공급장치의 공정케미칼 누출을 감지하는 케미칼누출감지장치에 있어서, 부식감지센서부; 알람발생부; 및 제어부를 포함한다. 이에 의하여, 공정케미칼의 누출을 조기에 감지하고 공정에 투입된 인력에 유해한 영향을 줄 수 있는 요소를 사전에 차단하며, 공정케미칼 누출이 발생한 부품 또는 부품의 손상 부위를 효과적으로 찾아내어 조기에 보수할 수 있다.There is provided a chemical leak detection apparatus using a corrosion detection sensor unit. The chemical leak detection device of the present invention is a chemical leak detection device for detecting a process chemical leak of a chemical supply device, the chemical leak detection device comprising: a corrosion detection sensor part; An alarm generating unit; And a control unit. This makes it possible to detect leaks of process chemicals early and to prevent any factors that may adversely affect the manpower input to the process, and to identify and repair parts damaged by process chemical leaks effectively. have.

Description

부식감지센서를 이용한 케미칼누출감지장치{APPARATUS FOR DETECTING CHEMICALS LEAKAGE USING SENSOR FOR DETECTING CORROSION}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a chemical leak detector using a corrosion detection sensor,

본 발명은 케미칼누출감지장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 케미칼공급장치에서 케미칼이 누출되는 것을 감지하여 조기에 케미칼 누출에 의해 야기될 수 있는 위험을 방지할 수 있는 부식감지센서를 이용한 케미칼누출감지장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a chemical leak detector, and more particularly, to a chemical leak detector using a corrosion detection sensor capable of detecting the leakage of a chemical in a chemical supply device and preventing an early risk of chemical leakage Sensing device.

첨단 산업인 반도체, LCD, LED, Solar Cell, CVD(DIFFUSION, ETCH, Vapor Deposition,lon implant), LDS, 특수가스 산업 및 일반 산업분야의 제조공정에는 부식성 가스 또는 부식성 액화성 가스인 Cl2, HCl, NH3, F2, HF, BCl3, BF3, DCS, HBr, NO, SF4, SiF4, SO2, WF6, H2Se 등이 사용되고 있고, 액체상태의 부식성 케미칼인 TMS, BTBAS, CUPRA, IPA, TAETO, TDEAT, TDMAT, TEB, TMB, TMCTS, DPS, HMDS, HTB, OMCTS, PDMS, TDMAS, TEPO, TMPO, ALPIS, MPA, TMAL, TMG, TEMAZr, GeCl4, TEOS, TCS, SiCl4, TICl4, TMSA,DEZ, TEMAFf, 황산, 질산, 불산, 염산, 초산 등이 필수적으로 사용되고 있다.The production process of high-tech industries such as semiconductor, LCD, LED, solar cell, CVD (DIFFUSION, ETCH, Vapor Deposition, lon implant), LDS, special gas industry and general industrial industry includes corrosive gas or corrosive liquefying gas Cl 2 , HCl , NH 3, F 2, HF, BCl 3, BF 3, DCS, HBr, NO, SF 4, SiF 4, SO 2, WF 6, H 2 Se and the like are used, and in the liquid state corrosive chemicals TMS, BTBAS , CUPRA, IPA, TAETO, TDEAT, TDMAT, TEB, TMB, TMCTS, DPS, HMDS, HTB, OMCTS, PDMS, TDMAS, TEPO, TMPO, ALPIS, MPA, TMAL, TMG, TEMAZr, GeCl4, 4 , TICI 4 , TMSA, DEZ, TEMAFf, sulfuric acid, nitric acid, hydrofluoric acid, hydrochloric acid, acetic acid and the like are essentially used.

일례로 반도체 제조 공정에서는 반도체 기판에 물질막을 형성하는 증착설비 또는 반도체 기판상에 증착된 물질막을 제거하는 식각 설비가 필요하며, 이때, 공정에 필요한 공정케미칼이 설비 내로 공급되는 장치가 요구된다. 그러나 상기 설비에 공정케미칼을 공급하는 공정케미칼공급장치를 흐르는 부식성케미칼은 배관이나 기타 부품을 손상시킬 수 있다. 이와 같이 손상된 부품의 틈을 통해 유독한 공정케미칼이 누출될 수 있고, 누출된 공정케미칼은 인체에 매우 유해하여 공정에 투입된 인력의 건강을 위협하는 요소가 될 수 있다.For example, in a semiconductor manufacturing process, a deposition apparatus for forming a material film on a semiconductor substrate or an etching apparatus for removing a material film deposited on a semiconductor substrate is required. In this case, an apparatus is required in which process chemicals necessary for the process are supplied into the apparatus. However, corrosive chemicals that flow through the process chemical feeder that feeds process chemicals to the plant can damage piping and other components. These gaps can leak toxic process chemicals, and leaking process chemicals can be very harmful to the human body and can be a health threat to the workforce put into the process.

따라서, 이와 같은 공정케미칼공급장치에는 공정케미칼 누출을 초기에 감지하여 누출 위치를 정확히 파악함으로써 공정에 투입된 인력을 보호하고, 조기에 누출이 발생한 부품을 보수할 수 있도록 하는 케미칼누출감지장치가 필요하다.Therefore, in such a process chemical supply device, a chemical leakage detection device is needed which can detect the process chemical leakage early, accurately grasp the leakage position, protect the workforce input to the process, and repair the leaked parts early .

이와 같은 케미칼누출감지장치에는 부식감지센서가 사용될 수 있으며, 종래 부식감지센서는 부식성 케미칼에 포함된 수분을 측정하거나 온도 및 압력을 측정하여 부식 정도를 예측하는 간접적인 방식으로 작동하여, 정확한 부식 정도를 알 수 없었다. 나아가, 종래의 부식감지센서는 수분을 측정하거나 온도 및 압력을 측정하여야 하기 때문에 구조가 복잡하고 가격이 비싸다는 문제가 있었다.
Such a chemical leak detection device can be used with a corrosion detection sensor, and a conventional corrosion detection sensor operates by an indirect method of measuring the moisture contained in the corrosive chemical or measuring the temperature and pressure to predict the degree of corrosion, . Furthermore, since the conventional corrosion detection sensor must measure moisture or measure temperature and pressure, there is a problem that the structure is complicated and expensive.

본 발명의 목적은 케미칼누출을 직접적이고 간단하며 효과적으로 감지할 수 있는 부식감지센서부를 포함하는 케미칼누출감지장치를 제공하여, 공정케미칼의 누출을 조기에 감지하여 공정에 투입된 인력에 유해한 영향을 줄 수 있는 요소를 사전에 차단하며 공정케미칼 누출이 발생한 부품 또는 부품의 손상 부위를 효과적으로 찾아내어 조기에 보수할 수 있도록 하는 데 있다.
It is an object of the present invention to provide a chemical leak detection apparatus including a corrosion detection sensor unit capable of directly, simply, and effectively detecting a chemical leak, so that leakage of process chemicals can be detected early and adversely affect the workforce input to the process Which can prevent damage to parts or parts of the process chemical leaks effectively and to repair them prematurely.

본 발명의 일 측면에 따르면, 케미칼공급장치의 공정케미칼 누출을 감지하는 케미칼누출감지장치에 있어서, 부식감지센서부; 알람발생부; 및 제어부를 포함하는 케미칼누출감지장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a chemical leakage sensing apparatus for sensing a chemical leakage of a chemical in a chemical supply apparatus, the chemical leakage sensing apparatus comprising: a corrosion detection sensor unit; An alarm generating unit; And a control unit.

상기 케미칼누출감지장치가 디스플레이부를 추가로 포함할 수 있다.The chemical leak detection device may further include a display unit.

상기 케미칼누출감지장치가 하우징을 추가로 포함하고, 상기 부식감지센서부 및 상기 케미칼공급장치를 구성하는 부품의 일부 또는 전부가 상기 하우징의 내부에 포함되고, 상기 하우징이 상기 부식감지센서부 및 상기 케미칼공급장치를 구성하는 부품의 일부 또는 전부를 밀폐하는 것일 수 있다.Wherein the chemical leakage sensing device further comprises a housing, wherein part or all of the parts constituting the corrosion detection sensor part and the chemical supply device are contained inside the housing, and the housing is provided with the corrosion detection sensor part and the corrosion- It may be to seal some or all of the parts constituting the chemical feeder.

상기 하우징이 배기부 및 흡기부와 연결되는 것일 수 있다.And the housing may be connected to the exhaust part and the intake part.

상기 부식감지센서부가 기판; 상기 기판 상에 형성된 복수의 전극; 상기 복수의 전극 사이의 저항 또는 전기용량을 측정할 수 있도록 상기 복수의 전극 사이에 형성되고, 부식성이 있는 금속으로 이루어진 센서를 포함하는 것일 수 있다.The corrosion detection sensor unit comprising: a substrate; A plurality of electrodes formed on the substrate; And a sensor formed between the plurality of electrodes and made of a corrosive metal so as to measure resistance or capacitance between the plurality of electrodes.

상기 부식성이 있는 금속이 알루미늄, 아연, 마그네슘 및 이들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함할 수 있다.The corrosive metal may include at least one selected from the group consisting of aluminum, zinc, magnesium, and alloys thereof.

상기 센서가 상기 복수의 전극을 상호 전기적으로 연결할 수 있다.The sensor may electrically connect the plurality of electrodes.

본 발명의 바람직한 실시예에 따르면,According to a preferred embodiment of the present invention,

상기 전극이 2개일 수 있다.The electrode may be two.

본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따르면,According to another preferred embodiment of the present invention,

상기 전극이 4개일 수 있다.The number of the electrodes may be four.

본 발명의 바람직한 다른 또 하나의 실시예에 따르면,According to another preferred embodiment of the present invention,

상기 전극이 2개이고, 상기 센서는 상기 전극 중 하나로부터 연장된 제 1 센서부와, 상기 전극 중 나머지로부터 연장되고 상기 제 1 센서부와 나란하게 배치된 제 2 센서부를 포함할 수 있다.The sensor may include a first sensor portion extending from one of the electrodes and a second sensor portion extending from the rest of the electrodes and disposed in parallel with the first sensor portion.

상기 알람발생부가 상기 케미칼공급장치의 공정케미칼 누출 정보를 청각적으로 송출할 수 있다.The alarm generating unit may acoustically transmit the process chemical leak information of the chemical supply device.

상기 디스플레이부가 상기 케미칼공급장치의 공정케미칼 누출 정보를 시각적으로 송출할 수 있다.The display unit can visually transmit process chemical leakage information of the chemical supply device.

상기 제어부가 상기 부식감지센서부로부터 수신된 부식 데이터를 분석하여 상기 알람발생부에 송신함으로써 상기 알람발생부가 상기 케미칼공급장치의 공정케미칼 누출 정보를 청각적으로 송출하도록 하고, The control unit analyzes the corrosion data received from the corrosion detection sensor unit and transmits the corrosion data to the alarm generation unit so that the alarm generation unit audibly transmits process chemical leakage information of the chemical supply device,

상기 부식감지센서부로부터 수신된 부식 데이터를 분석하여 상기 디스플레이부에 송신함으로써 상기 디스플레이부가 상기 케미칼공급장치의 공정케미칼 누출 정보를 시각적으로 송출하도록 할 수 있다.
The corrosion data received from the corrosion detection sensor unit may be analyzed and transmitted to the display unit so that the display unit visually transmits the chemical leakage information of the chemical supply unit.

본 발명의 케미칼누출감지장치는 케미칼누출을 직접적이고 간단하며 효과적으로 감지할 수 있는 부식감지센서부를 포함하여, 공정케미칼의 누출을 조기에 감지하고 공정에 투입된 인력에 유해한 영향을 줄 수 있는 요소를 사전에 차단하며, 공정케미칼 누출이 발생한 부품 또는 부품의 손상 부위를 효과적으로 찾아내어 조기에 보수할 수 있도록 하는 데 있다.
The chemical leakage detection apparatus of the present invention includes a corrosion detection sensor unit that can directly, simply, and effectively detect chemical leakage, and can detect leaks of process chemicals at an early stage and can identify factors that can adversely affect the workforce input to the process. Thereby effectively detecting the damaged part of the component or component that has leaked the process chemical and repairing it prematurely.

도 1은 본 발명의 케미칼누출감지장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 케미칼누출감지장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 케미칼누출감지장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 케미칼누출감지장치에 포함될 수 있는 제1 부식감지센서부를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5은 본 발명의 케미칼누출감지장치에 포함될 수 있는 제2 부식감지센서부를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 6는 본 발명의 케미칼누출감지장치에 포함될 수 있는 제3 부식감지센서부를 개략적으로 나타낸 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic view of a chemical leak detection apparatus of the present invention. FIG.
2 is a schematic view of a chemical leak detection device of the present invention.
3 is a schematic view of a chemical leak detection device of the present invention.
4 is a schematic view of a first corrosion detection sensor unit that can be included in the chemical leak detection apparatus of the present invention.
5 is a schematic view of a second corrosion detection sensor unit that can be included in the chemical leak detection apparatus of the present invention.
FIG. 6 is a schematic view of a third corrosion detection sensor unit that can be included in the chemical leakage detection apparatus of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Referring to the accompanying drawings, the same or corresponding components are denoted by the same reference numerals, do.

본 발명에서 케미칼(chemicals)은 화학물질로서 상세하게는 기체(가스), 액체, 또는 고체상태의 화학물질을 의미하며, 바람직하게는 기체 또는 액체상태의 화학물질을 의미한다.In the present invention, the term "chemicals" refers to a chemical substance, specifically, a gas (gas), a liquid, or a solid state chemical substance, preferably a chemical substance in a gaseous or liquid state.

본 발명에서 케미칼 공급장치의 부품은 배관, 배관의 피팅(fitting) 구조인 엘보, 유니온, 레듀샤와 같은 배관 연결부, 밸브 및 압력계 등 케미칼공급장치를 포함할 뿐만 아니라 케미칼을 사용하는 화학증착장치 등 케미칼사용장치도 포함한다.In the present invention, the parts of the chemical supply device include piping connections such as an elbow, a union, a reducer, a chemical supply device such as a valve and a pressure gauge, which are fitting structures of pipes and pipes, It also includes chemical devices.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미칼누출감지장치(10)를 개략적으로 나타낸 것이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 케미칼누출감지장치(10)는 부식감지센서부(11), 케미칼공급장치의 부품(12), 알람발생부(13), 및 제어부(14)를 포함한다.1 is a schematic view of a chemical leakage sensing apparatus 10 according to an embodiment of the present invention. 1, a chemical leakage detection apparatus 10 according to an embodiment of the present invention includes a corrosion detection sensor unit 11, a component 12 of a chemical supply device, an alarm generation unit 13, and a control unit 14 ).

도 2를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 케미칼누출감지장치(10')의 부식감지센서부(11)는 케미칼이 공급되는 부품(12)인 배관(12a) 또는 케미칼을 공급받거나 케미칼을 사용하는 장치(12b) 부근에 설치될 수 있으며, 바람직하게는 케미칼이 누출되기 용이한 부분, 예를 들어 상기 배관과 밸브, 또는 배관 및 장치의 체결부 등의 부근에 설치하는 것이 바람직하다. 상기 케미칼을 공급받는 장치의 예로서 케미칼 저장장치 또는 화학증착장치를 들 수 있다. 2, the corrosion detection sensor unit 11 of the chemical leak detection device 10 'according to an embodiment of the present invention is provided with a pipe 12a or a chemical as a component 12 to which a chemical is supplied, And it is preferable to install it in the vicinity of the portion where the chemical easily leaks, for example, the pipe and the valve, or the fastening portion of the pipe and the apparatus. Examples of the apparatus to which the chemical is supplied include a chemical storage apparatus or a chemical vapor deposition apparatus.

예를 들어, 사용하는 케미칼이 액체로 누출되는 경우에는 상기 케미칼이 누출되기 용이한 부분인 체결부의 하단 아래에 부식감지센서부(11)를 위치시키는 것이 바람직하다. 또한, 사용하는 케미칼이 기체로 누출되는 경우에는 공기와의 밀도를 고려하여 공기보다 무거운 경우에는 체결부의 하단 아래에 부식감지센서부(11)을 위치시키고, 공기보다 가벼운 경우에는 또는 체결부의 상단 위에 부식감지센서부(11)을 위치시키는 것이 바람직하다.For example, when the used chemical leaks into the liquid, it is preferable to locate the corrosion detection sensor unit 11 below the lower end of the fastening part, which is a part where the chemical leaks easily. When the used chemical leaks into the gas, the corrosion detecting sensor unit 11 is positioned below the lower end of the fastening unit when the air is heavier than air in consideration of the density with air, and when the chemical is light, It is preferable to position the corrosion detection sensor unit 11.

도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 케미칼누출감지장치(10")는 케미칼공급장치의 부품인 배관(12a')과 밸브(12b')를 포함하는 하우징을 추가로 포함할 수 있다.3, a chemical leak detection device 10 "according to an embodiment of the present invention may further include a housing including a pipe 12a 'and a valve 12b', which are components of a chemical supply device have.

도 3의 (A)를 참조하면, 부식감지센서부(11)의 위치는 사용하는 하는 케미칼이 기체로 누출되는 경우에는 하우징으로 밀폐되어 있으므로 하우징내부에서 제한이 없으나 바람직하게는 공기와의 밀도를 고려하여 공기보다 무거운 경우에는 화학증착장치(12b)의 하단 아래에 부식감지센서부(11)을 위치시키고, 공기보다 가벼운 경우에는 또는 상단 위에 부식감지센서부(11)을 위치시키는 것이 바람직하다. 또한 사용하는 케미칼이 액체로 누출되는 경우에는 상기 케미칼이 누출되기 용이한 부분인 체결부의 하단 아래에 부식감지센서부(11)를 위치시키는 것이 바람직하다.3 (A), the position of the corrosion detection sensor unit 11 is not limited within the housing because the chemical used is leaked to the gas and is sealed by the housing, It is preferable that the corrosion detection sensor unit 11 is positioned below the lower end of the chemical vapor deposition apparatus 12b and the corrosion detection sensor unit 11 is positioned on the upper end when the air is lighter than air. In addition, when the used chemical leaks into the liquid, it is preferable to position the corrosion detection sensor unit 11 below the lower end of the fastening part, which is a part where the chemical leaks easily.

도 3의 (B)를 참조하면, 하우징(16)은 개방형으로 제작할 수 있으며, 하우징(16)의 형상은 고깔형, 모자형, 컵형 등으로 제작할 수 있으며 이외에도 케미칼공급장치의 부품의 형상에 따라 다양한 모양으로 제작할 수 있다. 상기 개방형 하우징은 간단하게 제작하고 설치할 수 있으므로 경제적이며 신속한 작업을 수행할 수 있다. 또한 케미칼 종류와 케미칼공급장치의 형태에 따라 밀폐형 하우징의 장점도 동시에 향유할 수 있다.Referring to FIG. 3B, the housing 16 may be formed as an open type, and the housing 16 may be formed in a shape of a circle, a hat, a cup, or the like. In addition, Various shapes can be produced. Since the open housing can be easily manufactured and installed, it is possible to perform an economical and quick operation. Depending on the type of chemical and chemical supply, the advantages of the enclosed housing can also be enjoyed at the same time.

경우에 따라, 케미칼누출감지장치(10)는 디스플레이부(15) 및 하우징(16)을 추가로 포함할 수 있다. 디스플레이부(15)는 하우징(16)의 내부공간 및 부식을 고려하여 하우징의 외부에 설치하는 것이 바람직하다.Optionally, the chemical leakage sensing device 10 may further include a display portion 15 and a housing 16. [ The display unit 15 is preferably installed outside the housing in consideration of the internal space of the housing 16 and corrosion.

부식감지센서부(11)는 필요에 따라 제1 부식감지센서부(100), 제2 부식감지센서부(200) 및 제3 부식감지센서부(300) 중 어느 하나를 선택하여 사용할 수 있다.The corrosion detection sensor unit 11 may use any one of the first corrosion detection sensor unit 100, the second corrosion detection sensor unit 200 and the third corrosion detection sensor unit 300 as needed.

이하, 본 발명의 케미칼누출감지장치(10)에 포함될 수 있는 제1 부식감지센서부(100), 제2 부식감지센서부(200) 및 제3 부식감지센서부(300)에 대해 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, the first corrosion detection sensor unit 100, the second corrosion detection sensor unit 200, and the third corrosion detection sensor unit 300, which may be included in the chemical leakage detection apparatus 10 of the present invention, will be described in detail do.

제1 부식감지센서부(100)의 개략적인 구성을 도 4에 나타내었다. 도 4를 참조하면, 제1 부식감지센서부(100)는 기판(110)과, 전극(131, 132), 센서(150)를 포함하여 구성된다.A schematic configuration of the first corrosion detection sensor unit 100 is shown in FIG. Referring to FIG. 4, the first corrosion detection sensor unit 100 includes a substrate 110, electrodes 131 and 132, and a sensor 150.

기판(110)은 사파이어, 실리콘, 쿼츠 또는 유리를 포함할 수 있으나 이에 국한되지 않는다.The substrate 110 may include, but is not limited to, sapphire, silicon, quartz, or glass.

기판(110) 상에 한 쌍의 전극(131, 132)이 배치될 수 있다. 전극(131, 132)은 금, 은, 구리 또는 백금을 포함할 수 있으나 이에 국한되지 않는다.A pair of electrodes 131 and 132 may be disposed on the substrate 110. Electrodes 131 and 132 may include, but are not limited to, gold, silver, copper, or platinum.

전극(131, 132) 사이에는 센서(150)가 배치될 수 있다. 센서(150)는 금속재질을 가진다. 센서(150)는 전극(131, 132)을 상호 전기적으로 연결한다. 이 경우, 전극(131, 132) 사이의 저항값은 센서(150)의 저항값이 된다.A sensor 150 may be disposed between the electrodes 131 and 132. The sensor 150 has a metallic material. The sensor 150 electrically connects the electrodes 131 and 132 to each other. In this case, the resistance value between the electrodes 131 and 132 becomes the resistance value of the sensor 150.

센서(150)는 부식성이 있는 금속을 사용하여 제작된다. 센서(150)는 알루미늄, 아연, 마그네슘 및 이들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함할 수 있으나 이에 국한되지 않는다.The sensor 150 is fabricated using a corrosive metal. The sensor 150 may include, but is not limited to, at least one selected from the group consisting of aluminum, zinc, magnesium, and alloys thereof.

센서(150)가 부식성 케미칼에 노출되는 경우 부식이 쉽게 일어난다. 이 경우, 센서(150)에 의해 전기적으로 연결된 전극(131, 132) 사이의 저항값은 부식의 정도에 따라 변화한다. 이는 센서(150)의 부식 정도에 따라 금속으로 이루어진 센서(150)의 단면적이 감소하고, 단면적의 감소는 센서(150)의 저항 증가로 연결되기 때문이다. 예를 들어, 센서(150)가 부식되지 않은 초기 상태에서 전극(131, 132) 사이의 저항이 10Ω이라고 하자. 이후, 센서(150)가 부식성 케미칼에 노출되어 부식이 일어난 상태에서 전극(131, 132) 사이의 저항은 100Ω이 될 수 있다. 극단적으로 센서(150)의 부식 정도가 심한 경우 전극(131, 132) 사이가 단락되어 저항이 무한대가 될 수 있다.Corrosion can easily occur when the sensor 150 is exposed to corrosive chemicals. In this case, the resistance value between the electrodes 131 and 132 electrically connected by the sensor 150 varies depending on the degree of corrosion. This is because the cross-sectional area of the metal sensor 150 is reduced according to the degree of corrosion of the sensor 150, and the decrease in cross-sectional area is connected to the increase in resistance of the sensor 150. For example, assume that the resistance between the electrodes 131 and 132 is 10? In the initial state where the sensor 150 is not corroded. Thereafter, the resistance between the electrodes 131 and 132 may be 100 OMEGA while the sensor 150 is exposed to corrosive chemicals and eroded. If the degree of corrosion of the sensor 150 is extremely high, the resistance between the electrodes 131 and 132 may be shorted to be infinite.

위와 같이 센서(150)의 부식 정도는 전극(131, 132) 사이의 저항값으로 정량적으로 변환할 수 있다. 다시 말해, 실험적으로 센서(150)의 부식 정도 및 전극(131, 132) 사이의 저항값의 관계를 데이터화 할 수 있다. 따라서, 센서(150)의 부식 정도와 전극(131, 132) 사이의 저항값에 관한 데이터를 실험적으로 미리 얻은 후 현재 측정된 전극(131, 132) 사이의 저항값을 실험데이터와 비교하면 현재 센서(150)의 부식 정도를 알 수 있다.As described above, the degree of corrosion of the sensor 150 can be quantitatively converted into the resistance value between the electrodes 131 and 132. In other words, the relationship between the degree of corrosion of the sensor 150 and the resistance value between the electrodes 131 and 132 can be experimentally measured. Therefore, if the resistance value between the electrodes 131 and 132 is compared with the experimental data after experimentally obtaining the data on the degree of corrosion of the sensor 150 and the resistance value between the electrodes 131 and 132, The degree of corrosion of the substrate 150 can be known.

센서(150)는 도 4 도시된 바와 같이 전극(131, 132) 사이에서 지그재그로 형상으로 배치될 수 있다. 이 경우, 센서(150)가 부식 케미칼에 노출되는 면적이 증가하여 센서의 민감도가 향상될 수 있다.The sensor 150 may be arranged in a zigzag shape between the electrodes 131 and 132 as shown in FIG. In this case, the area of the sensor 150 exposed to the corrosive chemical increases, so that the sensitivity of the sensor can be improved.

제1 부식감지센서부(100)의 작동 및 이를 사용한 부식감지방법은 다음과 같다.The operation of the first corrosion detection sensor unit 100 and the corrosion detection method using the same are as follows.

제1 부식감지센서부(100)가 측정위치에 배치된다. 측정위치에 배치된 제1 부식감지센서부(100)는 부식성 케미칼에 노출되고, 부식성 케미칼에 노출된 센서(150)의 부식이 진행된다. 센서(150)가 부식되는 과정에서 센서(150)의 저항이 증가하고, 이에 따라 전극(131, 132) 사이에서 측정되는 저항이 증가한다.The first corrosion detection sensor unit 100 is disposed at the measurement position. The first corrosion detection sensor unit 100 disposed at the measurement position is exposed to the corrosive chemical and the corrosion of the sensor 150 exposed to the corrosive chemical proceeds. The resistance of the sensor 150 increases in the course of the corrosion of the sensor 150, and thus the resistance measured between the electrodes 131 and 132 increases.

제1 부식감지센서부(100)가 부식성 케미칼에 노출된 후 전극(131, 132) 사이의 저항을 측정하고, 측정된 저항값을 미리 얻은 실험데이터와 비교하면 측정 당시 센서(150)의 부식 정도를 알 수 있다. 여기서 실험데이터란 실험적으로 센서(150)의 부식 정도 및 전극(131, 132) 사이의 저항값의 관계를 정리한 데이터를 의미한다.The resistance between the electrodes 131 and 132 after the first corrosion detection sensor unit 100 is exposed to corrosive chemicals is measured and compared with the previously obtained experimental data, the degree of corrosion of the sensor 150 at the time of measurement . Here, the experimental data refers to data summarizing the relationship between the degree of corrosion of the sensor 150 and the resistance value between the electrodes 131 and 132 in an experimental manner.

위와 같이 작동하는 제1 부식감지센서부(100)는 전극(131, 132) 사이의 저항을 측정함으로써 부식성 케미칼에 노출된 센서(150)의 부식 정도를 직접적으로 확인할 수 있어 부식에 관한 현 상태를 정확하게 파악할 수 있다. 또한, 이와 같은 제1 부식감지센서부(100)는 간단한 구조로 이루어져 있어 저렴한 가격으로 제작 가능하다.The first corrosion detection sensor unit 100 operating as described above can directly determine the degree of corrosion of the sensor 150 exposed to the corrosive chemical by measuring the resistance between the electrodes 131 and 132, It is possible to grasp accurately. In addition, since the first corrosion detection sensor unit 100 has a simple structure, it can be manufactured at a low cost.

도 5은 제2 부식감지센서부(200)를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 4를 참조하면, 제2 부식감지센서부(200)는 기판(210)과, 전극(231, 232, 233, 234)과, 센서(250)를 포함하여 구성된다. 5 is a schematic view of the second corrosion detection sensor unit 200. As shown in FIG. Referring to FIG. 4, the second corrosion detection sensor unit 200 includes a substrate 210, electrodes 231, 232, 233, and 234, and a sensor 250.

제2 부식감지센서부(200)는 전극의 개수 등에서 상술한 제1 부식감지센서부(100)와 차이가 있다. 이하 제2 부식감지센서부(200)의 구조를 설명함에 있어서 앞서 설명한 제1 부식감지센서부(100)와의 차이점을 중심으로 설명하도록 한다. 참고로, 기판(210), 전극(231, 232, 233, 234) 및 센서(250)는 재질 등의 측면에서 상술한 제1 부식감지센서(100)에 포함되는 따른 기판(110), 전극(131, 132) 및 센서(150)와 동일한바, 동일한 내용에 대한 설명은 그 부분을 참조하기로 한다.The second corrosion detection sensor unit 200 differs from the first corrosion detection sensor unit 100 in the number of electrodes and the like. Hereinafter, the structure of the second corrosion detection sensor unit 200 will be described with reference to a difference from the first corrosion detection sensor unit 100 described above. The substrate 210, the electrodes 231, 232, 233 and 234 and the sensor 250 are disposed on the substrate 110 and the electrode (not shown) included in the first corrosion detection sensor 100, 131 and 132 and the sensor 150, and the description of the same contents will be referred to.

제2 부식감지센서부(200)는 4개의 전극(231, 232, 233, 234)을 포함하고, 4점 탐침법(4 point probe)을 사용하여 4개의 전극(231, 232, 233, 234)와 전기적으로 연결된 센서(250)의 저항, 특히 면저항을 측정할 수 있다. 여기서 4점 탐침법은 공지된 방법으로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.The second corrosion detection sensor unit 200 includes four electrodes 231, 232, 233 and 234 and four electrodes 231, 232, 233 and 234 using a four-point probe. The resistance of the sensor 250, in particular, the sheet resistance, which is electrically connected to the sensor 250 can be measured. Here, the four-point probe method is a known method and a detailed description thereof will be omitted.

센서(250)가 부식성 케미칼에 노출되어 부식되면 면저항이 변하는데 센서(250)의 부식 정도와 면저항값의 관계를 실험적으로 데이터화할 수 있다. 따라서 센서(250)의 부식 정도와 전극(231, 232, 233, 234) 사이의 저항값에 관한 데이터를 실험적으로 미리 얻은 후 본 실시예에 따른 제2 부식감지센서부(200)를 측정 위치에 배치하고, 전극(231, 232, 233, 234) 사이의 저항값을 측정하여 이를 실험데이터와 비교하면 현재 센서(250)의 부식 정도를 알 수 있다.When the sensor 250 is exposed to corrosive chemicals and corroded, the sheet resistance changes, and the relationship between the degree of corrosion of the sensor 250 and the sheet resistance value can be experimentally measured. Therefore, after data on the corrosion degree of the sensor 250 and the resistance values between the electrodes 231, 232, 233, and 234 are obtained in advance experimentally, the second corrosion detection sensor unit 200 according to the present embodiment is placed at the measurement position And the resistance value between the electrodes 231, 232, 233 and 234 is measured and compared with the experimental data, the degree of corrosion of the current sensor 250 can be known.

도 6은 제3 부식감지센서부(300)를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 6을 참조하면, 제3 부식감지센서부(300)는 기판(310)과, 전극(331, 332)과, 센서(350)를 포함하여 구성될 수 있다. 제3 부식감지센서부(300)는 전극(331, 332) 사이의 전기용량을 측정하여 부식 정도를 측정한다는 점에서 상술한 제1 및 제2 부식감지센서(100, 200)와 차이가 있다. 이하, 제1 및 제2 부식감지센서(100, 200)와의 차이점을 중심으로 본 제3 부식감지센서부(300)의 구조에 관해 설명하도록 한다.FIG. 6 is a schematic view of the third corrosion detection sensor unit 300. FIG. Referring to FIG. 6, the third corrosion detection sensor unit 300 may include a substrate 310, electrodes 331 and 332, and a sensor 350. The third corrosion detection sensor unit 300 differs from the first and second corrosion detection sensors 100 and 200 in that the degree of corrosion is measured by measuring the capacitance between the electrodes 331 and 332. Hereinafter, the structure of the third corrosion detection sensor unit 300 will be described focusing on differences between the first and second corrosion detection sensors 100 and 200.

기판(310) 상에 2개의 전극(331, 332)이 형성된다.Two electrodes 331 and 332 are formed on the substrate 310. [

센서(350)는 전극(331, 332) 중 하나(231)로부터 연장된 제 1 센서부(351)와 전극(331, 332) 중 나머지(332)로부터 연장된 제 2 센서부(352)를 포함한다.The sensor 350 includes a first sensor portion 351 extending from one of the electrodes 331 and 332 and a second sensor portion 352 extending from the remainder 332 of the electrodes 331 and 332 do.

제 1 센서부(351)와 제 2 센서부(352)는 상호 나란하게 배치될 수 있다. 이때, 전극(331, 332) 사이에 전압이 걸리면 제 1 센서부(351)와 제 2 센서부(352)에 각각 양전하와 음전하가 저장되는데, 이 경우 제 1 센서부(351) 및 제 2 센서부(352)는 소위 축전기(capacitor)로 기능한다.The first sensor unit 351 and the second sensor unit 352 may be disposed side by side. When a voltage is applied between the electrodes 331 and 332, positive and negative charges are stored in the first sensor unit 351 and the second sensor unit 352, respectively. In this case, the first sensor unit 351 and the second sensor unit 352, The portion 352 functions as a so-called capacitor.

통상적으로 축전기의 전기용량은 전극의 면적에 비례하는데, 제 1 센서부(351) 및 제 2 센서부(352)가 부식성 케미칼에 부식되면 그 면적이 감소하여 제 1 센서부(351) 및 제 2 센서부(352)에 의해 형성된 축전기의 전기용량이 감소한다.Generally, the capacitance of the capacitor is proportional to the area of the electrode. When the first sensor portion 351 and the second sensor portion 352 are corroded by corrosive chemicals, the area of the first sensor portion 351 and the second sensor portion 352 decreases, The capacitance of the capacitor formed by the sensor portion 352 decreases.

제 1 센서부(351) 및 제 2 센서부(352)가 부식성 케미칼에 노출되어 부식되면 축전기의 전기용량이 변화하는데 제 1 센서부(351) 및 제 2 센서부(352)의 부식 정도와 축전기의 전기용량, 다시 말해 전극(331, 332) 사이의 전기용량의 관계를 실험적으로 데이터화할 수 있다.When the first sensor unit 351 and the second sensor unit 352 are exposed to corrosive chemicals and corroded, the capacitance of the capacitor changes and the degree of corrosion of the first sensor unit 351 and the second sensor unit 352, The relationship between the capacitance of the electrodes 331 and 332, that is, the capacitance between the electrodes 331 and 332, can be experimentally measured.

따라서 제3 부식감지센서부(300)를 측정 위치에 배치하고 전극(331, 332) 사이의 전기용량 값을 측정한 후, 이를 위와 같이 실험적으로 얻어진 데이터와 비교하면 현재 센서(350)의 부식 정도를 정확하게 알 수 있다.Therefore, if the third corrosion detection sensor unit 300 is disposed at the measurement position and the capacitance value between the electrodes 331 and 332 is measured and compared with the experimentally obtained data as described above, the corrosion degree of the current sensor 350 Can be known accurately.

제 1 센서부(351)는 복수로 이루어지고, 복수의 제 1 센서부(351)는 상호 이격되어 배치될 수 있다. 제 2 센서부(352)는 복수로 이루어지고, 복수의 제 2 센서부(352)는 상호 이격되어 배치될 수 있다. 이와 같은 제 1 센서부(351) 및 제 2 센서부(352)의 배치는 축전기가 병렬로 연결된 것처럼 기능한다.A plurality of first sensor units 351 may be provided, and the plurality of first sensor units 351 may be spaced apart from each other. A plurality of second sensor units 352 may be provided, and the plurality of second sensor units 352 may be spaced apart from each other. The arrangement of the first sensor portion 351 and the second sensor portion 352 functions as if the capacitors are connected in parallel.

케미칼공급장치의 부품(12)은 케미칼 공급 및 배출을 위한 배관이나 기타 관련 부품을 모두 포함할 수 있다. 상세하게는, 반도체, LCD, LED 등의 제조설비에 있어서 염소 또는 염화수소 기체와 같은 부식성 케미칼의 접촉에 의해 부식이 진행되어 케미칼 누출을 일으킬 수 있는 배관 및 부품은 본 발명의 케미칼공급장치의 부품(12)에 모두 포함될 수 있다.The component 12 of the chemical feeder may include all of the piping or other associated components for chemical feed and discharge. Particularly, piping and parts that are susceptible to corrosion due to the contact of corrosive chemicals such as chlorine or hydrogen chloride gases in manufacturing facilities of semiconductors, LCDs, LEDs, etc., 12).

알람발생부(13)는 케미칼공급장치의 공정케미칼 누출을 청각적으로 알려줄 수 있는 구성요소이다. 상세하게는, 공정케미칼 누출 정도가 설정된 정도를 초과하는 경우, 단순한 경고음을 송출하거나, 또는 누출 상태에 대한 간단한 음성 정보를 송출할 수 있다.The alarm generating unit 13 is a component that can audibly inform the process chemical leakage of the chemical feeder. Specifically, when the degree of process chemical leakage exceeds a predetermined level, it is possible to send out a simple alarm sound or to transmit simple voice information regarding the state of leakage.

디스플레이부(15)는 케미칼공급장치의 공정케미칼 누출을 시각적으로 알려줄 수 있는 구성요소이다. 상세하게는, 공정케미칼 누출 정도가 설정된 정도를 초과하는 경우, 단순한 LED 조명의 깜빡임으로 경고하거나, 경우에 따라, 공정케미칼 누출의 추이 및 정도를 시각화 할 수 있는 그래프 및 수치 정보가 디스플레이 되도록 할 수 있다.The display unit 15 is a component capable of visually informing the chemical leakage of the chemical supply device. Specifically, when the degree of process chemical leakage exceeds a predetermined level, it is possible to warn of a simple LED lighting blinking or, in some cases, to display graphs and numerical information capable of visualizing the progress and degree of process chemical leakage have.

제어부(14)는 부식감지센서부(11)로부터 수신된 케미칼공급장치의 부품에 대한 부식 데이터를 분석하고, 분석한 데이터를 토대로 관련 부품에 공정케미칼의 누출이 발생하였는지 판단하며, 판단 결과 공정케미칼의 누출이 발생하였으면 이에 대한 정보를 알람발생부(13) 및/또는 디스플레이부(15)에 송신하여 미리 프로그래밍된 경고를 송출하도록 할 수 있다. 반대로, 공정케미칼의 누출이 멈춘 경우 이에 대한 정보를 알람발생부(13) 및/또는 디스플레이부(15)에 송신하여 경고 및 시각화 디스플레이 송출을 중지하도록 하거나, 경고 해제의 알림을 송출하도록 할 수 있다.The control unit 14 analyzes the corrosion data of the parts of the chemical supply device received from the corrosion detection sensor unit 11 and determines whether leakage of the process chemicals occurs in the relevant parts based on the analyzed data. The alarm generating unit 13 and / or the display unit 15 can transmit the pre-programmed warning. On the contrary, when the leakage of the process chemicals stops, information on the leakage of the process chemicals can be transmitted to the alarm generating unit 13 and / or the display unit 15 to stop the transmission of the warning and visualization display, .

하우징(15)은 부식감지센서부(11) 및 케미칼공급장치의 부품(12)의 일부 또는 전부를 포함하여, 이를 밀폐하도록 케미칼누출감지장치(10)에 설치될 수 있다.The housing 15 may include some or all of the corrosion detection sensor portion 11 and the component 12 of the chemical supply device and may be installed in the chemical leak detection device 10 to seal it.

하우징(15)의 형태는 밀폐형으로 하는 것이 바람직하고 적용되는 해당 부품의 형태에 부합하도록 제작할 수 있으며, 필요에 따라 박스형 또는 커버형 등 다양한 형태로 변경할 수 있다. The shape of the housing 15 is preferably a closed shape, and it can be manufactured in conformity with the shape of the applicable component, and can be changed into various shapes such as a box shape or a cover shape as necessary.

하우징(15)은 공정케미칼의 누출이 빈번하게 일어날 수 있는 부품을 전부 또는일부 포함할 수 있고, 또한 부분적으로 포함하거나 커버하여 밀폐할 수 있는 구조로 형성할 수도 있다. 배관의 피팅(fitting) 구조인 엘보, 유니온, 레듀샤와 같은 배관 연결부, 밸브, 압력계의 경우 이들 부품을 부분적 포함하거나 부분적으로 커버하여 밀폐하는 구조로 하우징(15)을 형성하는 것이 바람직하다. 또한 상기 부품의 크기가 큰 경우에는 부품의 일부분을 포함하는 밀폐형 하우징을 사용하거나 개방형의 커버형 하우징을 사용하여 케미칼누출감지장치를 구성할 수 있으므로 제작비용을 낮출 수 있으므로 경제성이 높다.The housing 15 may include all or a part of the components in which leakage of the process chemical is frequently occurred, and may be formed to have a structure that can partially seal or cover the seal. In the case of piping connections, valves, and pressure gauges such as an elbow, a union, and a reducer, which are fitting structures of pipes, it is preferable to form the housing 15 with a structure that partially or partially covers these components to seal them. In addition, when the size of the component is large, the chemical leakage detection device can be constructed by using a closed housing including a part of the component or by using an open cover-type housing.

하우징(15)은 배기부와 흡기부(미도시)와 연결되도록 할 수 있다. 이에 따라, 실시간으로 감지되는 공정케미칼 노출의 농도를 정확히 분석할 수 있다. 상기 배기부와 흡기부의 위치 및 형태는 필요에 따라 다양하게 변경할 수 있다.The housing 15 may be connected to an exhaust part and an intake part (not shown). As a result, it is possible to accurately analyze the concentration of process chemical exposure detected in real time. The position and shape of the exhaust part and the intake part can be variously changed as needed.

상술한 본 발명의 케미칼누출감지장치(10)는 케미칼공급장치를 구성하는 배관 등 다수의 부품에 대한 공정케미칼 누출을 동시에 감지할 수 있도록 설계할 수 있다. 이와 같은 구조는 본 발명의 케미칼누출감지장치(10)가 필요한 특정 부품에 각각 설치되거나, 복수의 부품들을 동시에 포함하도록 설치될 수도 있다.The chemical leakage detection device 10 of the present invention can be designed to simultaneously detect leakage of process chemicals to a plurality of components such as pipes constituting the chemical supply device. Such a structure may be installed in each of the specific components required for the chemical leak detection device 10 of the present invention, or may be installed so as to include a plurality of components at the same time.

이상, 본 발명의 실시예들에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, many modifications and changes may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims. The present invention can be variously modified and changed by those skilled in the art, and it is also within the scope of the present invention.

10: 케미칼누출감지장치 11: 부식감지센서부
12: 케미칼공급장치의 부품 13: 알람발생부
14: 제어부 15: 디스플레이부
16: 하우징 100: 제1 부식감지센서부
200: 제2 부식감지센서부 300: 제3 부식감지센서부
110, 210, 310: 기판
131, 132, 231, 232, 233, 234, 331, 332: 전극
150, 250, 350: 센서10: Chemical leak detection device 11: Corrosion detection sensor part
12: Component 13 of the chemical supply device:
14: control unit 15:
16: housing 100: first corrosion detection sensor unit
200: second corrosion detection sensor unit 300: third corrosion detection sensor unit
110, 210 and 310:
131, 132, 231, 232, 233, 234, 331, 332:
150, 250, 350: sensor

Claims (13)

케미칼공급장치의 공정케미칼 누출을 감지하는 케미칼누출감지장치에 있어서,
기판과, 상기 기판 상에 형성된 복수의 전극과, 상기 복수의 전극 사이의 저항 또는 전기용량을 측정할 수 있도록 상기 복수의 전극 사이에 형성되고 부식성이 있는 금속으로 이루어진 센서를 포함하는 부식감지센서부;
상기 케미칼공급장치의 공정케미칼 누출 정보를 청각적으로 송출하는 알람발생부;
상기 케미칼공급장치의 공정케미칼 누출의 추이 및 정도를 시각화 할 수 있는 그래프 및 수치 정보를 디스플레이하는 디스플레이부;와
상기 부식감지센서부로부터 수신된 부식 데이터를 분석하여 상기 알람발생부에 송신함으로써 상기 알람발생부가 상기 케미칼공급장치의 공정케미칼 누출 정보를 청각적으로 송출하도록 하고, 상기 부식감지센서부로부터 수신된 부식 데이터를 분석하여 상기 디스플레이부에 송신함으로써 상기 디스플레이부가 상기 케미칼공급장치의 공정케미칼 누출 정보를 시각적으로 송출하도록 하는 제어부를 포함하고,
상기 케미칼누출감지장치가 하우징을 추가로 포함하고,
상기 부식감지센서부 및 상기 케미칼공급장치를 구성하는 부품의 일부 또는 전부가 상기 하우징의 내부에 포함되고,
상기 하우징이 상기 부식감지센서부 및 상기 케미칼공급장치를 구성하는 부품의 일부 또는 전부를 밀폐하는 것을 특징으로 하는 케미칼누출감지장치.CLAIMS 1. A chemical leak detector for detecting a process chemical leak in a chemical feeder,
A corrosion sensor comprising: a substrate; a plurality of electrodes formed on the substrate; and a sensor formed between the plurality of electrodes and formed of a corrosive metal so as to measure resistance or capacitance between the electrodes, ;
An alarm generating unit for audibly transmitting process chemical leakage information of the chemical supply device;
A display unit for displaying graphs and numerical information capable of visualizing the progress and degree of chemical leakage of the chemical supply apparatus;
Wherein the alarm generation unit analyzes the corrosion data received from the corrosion detection sensor unit and transmits the corrosion data to the alarm generation unit so that the process chemical leakage information of the chemical supply device is audibly transmitted, And a control unit for causing the display unit to visually transmit process chemical leak information of the chemical supply device by transmitting the analyzed data to the display unit,
Wherein the chemical leak detection device further comprises a housing,
Wherein the corrosion detection sensor unit and part or all of the components constituting the chemical supply device are included in the housing,
Wherein the housing seals a part or all of the components constituting the corrosion detection sensor unit and the chemical supply device. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 하우징이 배기부 및 흡기부와 연결되는 것을 특징으로 하는 케미칼누출감지장치.The method according to claim 1,
And the housing is connected to the exhaust part and the intake part. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 부식성이 있는 금속이 알루미늄, 아연, 마그네슘 및 이들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 케미칼누출감지장치.The method according to claim 1,
Wherein the corrosive metal includes at least one selected from the group consisting of aluminum, zinc, magnesium, and alloys thereof. 제1항에 있어서,
상기 센서가 상기 복수의 전극을 상호 전기적으로 연결하는 것을 특징으로 하는 케미칼누출감지장치.The method according to claim 1,
Wherein the sensor electrically connects the plurality of electrodes to each other. 제7항에 있어서,
상기 전극이 2개인 것을 특징으로 하는 케미칼누출감지장치.8. The method of claim 7,
Wherein the electrode has two electrodes. 제7항에 있어서,
상기 전극이 4개인 것을 특징으로 하는 케미칼누출감지장치.8. The method of claim 7,
Wherein the electrode has four electrodes. 제1항에 있어서,
상기 전극이 2개이고,
상기 센서는 상기 전극 중 하나로부터 연장된 제 1 센서부와, 상기 전극 중 나머지로부터 연장되고 상기 제 1 센서부와 나란하게 배치된 제 2 센서부를 포함하는 것을 특징으로 하는 케미칼누출감지장치.The method according to claim 1,
The number of the electrodes is two,
Wherein the sensor comprises a first sensor part extending from one of the electrodes and a second sensor part extending from the rest of the electrodes and arranged in parallel with the first sensor part. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
KR1020130147142A 2013-11-29 2013-11-29 Apparatus for detecting chemicals leakage using sensor for detecting corrosion KR101525782B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130147142A KR101525782B1 (en) 2013-11-29 2013-11-29 Apparatus for detecting chemicals leakage using sensor for detecting corrosion

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130147142A KR101525782B1 (en) 2013-11-29 2013-11-29 Apparatus for detecting chemicals leakage using sensor for detecting corrosion

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150062464A KR20150062464A (en) 2015-06-08
KR101525782B1 true KR101525782B1 (en) 2015-06-15

Family

ID=53500476

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130147142A KR101525782B1 (en) 2013-11-29 2013-11-29 Apparatus for detecting chemicals leakage using sensor for detecting corrosion

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101525782B1 (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990058581A (en) * 1997-12-30 1999-07-15 조희재 Gas leak notification system
KR20130056589A (en) * 2011-11-22 2013-05-30 주식회사 엘앤엘 Corrosion sensor and method of sensing corrosion

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990058581A (en) * 1997-12-30 1999-07-15 조희재 Gas leak notification system
KR20130056589A (en) * 2011-11-22 2013-05-30 주식회사 엘앤엘 Corrosion sensor and method of sensing corrosion

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150062464A (en) 2015-06-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1651815A (en) Piping structure having leak detection function and leak detector
US20180328812A1 (en) Apparatus and Method for Leak Testing
CN113124327A (en) Monitoring method and device for natural gas pipeline and monitoring and scheduling system
US10001233B2 (en) Vacuum-pipe connecting member for detecting gas leak
US7178402B2 (en) Pressure measuring device for vacuum systems
GB2442981A (en) System For Detecting The Intrusion Of Moisture Into Insulation
CN105190272B (en) The pressure sensor for monitoring and compensating with real time health
CN107131996A (en) Pressure sensor condition detection method and system
CN205049190U (en) Magnetic current gauge flow tube external member
Bergoglio et al. Leak rate metrology for the society and industry
KR101525782B1 (en) Apparatus for detecting chemicals leakage using sensor for detecting corrosion
WO2009093738A1 (en) Method for inspecting the presence/absence of leakage hole in fluid container
JP2010043946A (en) Method for determining presence or absence of gas leak
KR101869811B1 (en) device for detecting ammonia gas and management system of semiconductor manufacturing factory used the same
KR100859568B1 (en) Electrostatic capacitance type sensor for detecting liquid level and system
KR101293077B1 (en) Corrosion sensor and method of sensing corrosion
CN203216822U (en) Anti-hydrogen sulfide stress corrosion cracking bending test device
CN101281076A (en) Method for automatically detecting whether vapor deposition equipment reaction cavity is leaking or not
CN109443605A (en) The detection device and its detection method of rubber prefabricated component and cable insulation interfacial pressure
CN203100779U (en) Combination air bag temperature and pressure detection device
CN202432247U (en) Buried gas pipeline tightness test system
US11391402B2 (en) Flexible pipe and manufacturing method thereof
CN209043493U (en) A kind of detection device of rubber prefabricated component and cable insulation interfacial pressure
JP2015169647A (en) Leakage determination method of buried pipe line
JP3488198B2 (en) Piping leak detection method and device

Legal Events

Date Code Title Description
AMND Amendment
X091 Application refused [patent]
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180321

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190401

Year of fee payment: 5