KR101293077B1 - Corrosion sensor and method of sensing corrosion - Google Patents

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KR101293077B1
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Abstract

부식감지센서 및 부식감지방법이 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 기판; 기판 상에 형성된 복수의 전극; 복수의 전극 사이의 저항 또는 전기용량을 측정할 수 있도록 복수의 전극 사이에 형성되고, 부식성이 있는 금속으로 이루어진 센서부를 포함하는 부식감지센서가 제공된다.A corrosion detection sensor and a corrosion detection method are disclosed. According to an aspect of the present invention, A plurality of electrodes formed on the substrate; A corrosion detection sensor is provided between a plurality of electrodes so as to measure resistance or capacitance between a plurality of electrodes, and includes a sensor unit made of corrosive metal.

Description

부식감지센서 및 부식감지방법{Corrosion sensor and method of sensing corrosion}Corrosion sensor and method of sensing corrosion

본 발명은 부식감지센서 및 부식감지방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a corrosion detection sensor and a corrosion detection method.

첨단 산업인 반도체, LCD, LED 등에 사용되는 가스 중에는 Cl2, HCl 등의 부식성 가스가 필수적으로 사용되고 있다. 이러한 부식성 가스는 배관이나 부품 등을 훼손하기 때문에 부식성 가스에 의한 부식 정도를 감지할 필요가 있다.Among gases used in semiconductors, LCDs, and LEDs, which are advanced industries, corrosive gases such as Cl 2 and HCl are essential. Since the corrosive gas damages pipes and components, it is necessary to detect the degree of corrosion by the corrosive gas.

종래의 부식감지센서는 부식성 가스에 포함된 수분을 측정하거나 온도 및 압력을 측정하여 부식 정도를 예측하는 간접적인 방식으로 작동하여, 정확한 부식 정도를 알 수 없었다. 나아가, 종래의 부식감지센서는 수분을 측정하거나 온도 및 압력을 측정하여야 하기 때문에 구조가 복잡하고 가격이 비싸다는 문제가 있었다.
Conventional corrosion detection sensors operate in an indirect manner of predicting the degree of corrosion by measuring the moisture contained in the corrosive gas or by measuring the temperature and pressure, the exact degree of corrosion was not known. Further, the conventional corrosion detection sensor has a problem that the structure is complicated and expensive because it has to measure moisture or temperature and pressure.

본 발명의 실시예는, 부식 정도를 직접적이고 간단하며 효과적으로 감지할 수 있는 부식감지센서 및 부식감지방법을 제공하는 것이다.
An embodiment of the present invention is to provide a corrosion detection sensor and a corrosion detection method capable of directly, simply and effectively detecting the degree of corrosion.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판; 기판 상에 형성된 복수의 전극; 복수의 전극 사이의 저항 또는 전기용량을 측정할 수 있도록 복수의 전극 사이에 형성되고, 부식성이 있는 금속으로 이루어진 센서부를 포함하는 부식감지센서가 제공된다.According to an aspect of the present invention, A plurality of electrodes formed on the substrate; A corrosion detection sensor is provided between a plurality of electrodes so as to measure resistance or capacitance between a plurality of electrodes, and includes a sensor unit made of corrosive metal.

이때, 부식성이 있는 금속은 알루미늄, 아연, 마그네슘 및 이들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함할 수 있다.At this time, the corrosive metal may include at least one selected from the group consisting of aluminum, zinc, magnesium, and alloys thereof.

이때, 센서부는 복수의 전극을 상호 전기적으로 연결할 수 있다.In this case, the sensor unit may electrically connect the plurality of electrodes to each other.

이때, 전극은 2개 또는 4개일 수 있다.In this case, two or four electrodes may be provided.

한편, 전극은 2개이고, 센서부는 전극 중 하나로부터 연장된 제 1 센서부와, 전극 중 나머지로부터 연장되고 제 1 센서부와 나란하게 배치된 제 2 센서부를 포함할 수 있다.On the other hand, there are two electrodes, and the sensor unit may include a first sensor unit extending from one of the electrodes, and a second sensor unit extending from the other of the electrodes and arranged in parallel with the first sensor unit.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판과, 기판 상에 형성된 복수의 전극과, 복수의 전극 사이의 저항 또는 전기용량을 측정할 수 있도록 복수의 전극 사이에 형성되고 부식성이 있는 금속으로 이루어진 센서부를 포함하는 부식감지센서를 측정 위치에 배치하는 단계; 및 전극 사이의 저항 또는 전기용량을 측정하는 단계를 포함하는 부식감지방법이 제공된다.
According to another aspect of the present invention, there is provided a substrate, a plurality of electrodes formed on the substrate, and a sensor portion formed of a corrosive metal formed between the plurality of electrodes to measure resistance or capacitance between the plurality of electrodes. Placing the corrosion detection sensor in a measurement position; And it provides a corrosion detection method comprising the step of measuring the resistance or capacitance between the electrodes.

본 발명의 실시예에 따르면, 본 발명은 부식 정도를 직접적이고 간단하며 효과적으로 감지할 수 있는 부식감지센서와 그를 이용한 부식감지방법을 제공할 수 있다.
According to an embodiment of the present invention, the present invention can provide a corrosion detection sensor that can detect the degree of corrosion directly, simply and effectively and a corrosion detection method using the same.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 부식감지센서를 개략적으로 나타낸 도면이고,
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 부식감지센서를 개략적으로 나타낸 도면이고,
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 부식감지센서를 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a view schematically showing a corrosion detection sensor according to an embodiment of the present invention,
2 is a view schematically showing a corrosion detection sensor according to another embodiment of the present invention,
3 is a view schematically showing a corrosion detection sensor according to another embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "having" are intended to indicate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, components, or a combination thereof.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Referring to the accompanying drawings, the same or corresponding components are denoted by the same reference numerals, do.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 부식감지센서(100)를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 부식감지센서(100)는 기판(110)과, 전극(131, 132), 센서부(150)를 포함하여 구성된다.1 is a view schematically showing a corrosion detection sensor 100 according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, the corrosion detection sensor 100 according to the present exemplary embodiment includes a substrate 110, electrodes 131 and 132, and a sensor unit 150.

기판(110)은 사파이어, 실리콘, 쿼츠 또는 유리를 포함할 수 있으나 이에 국한되지 않는다.The substrate 110 may include, but is not limited to, sapphire, silicon, quartz, or glass.

기판(110) 상에 한 쌍의 전극(131, 132)이 배치될 수 있다. 전극(131, 132)은 금, 은, 구리 또는 백금을 포함할 수 있으나 이에 국한되지 않는다.A pair of electrodes 131 and 132 may be disposed on the substrate 110. The electrodes 131 and 132 may include, but are not limited to, gold, silver, copper, or platinum.

전극(131, 132) 사이에는 센서부(150)가 배치될 수 있다. 센서부(150)는 금속재질을 가진다. 센서부(150)는 전극(131, 132)을 상호 전기적으로 연결한다. 이 경우, 전극(131, 132) 사이의 저항값은 센서부(150)의 저항값이 된다.The sensor unit 150 may be disposed between the electrodes 131 and 132. The sensor unit 150 has a metal material. The sensor unit 150 electrically connects the electrodes 131 and 132 to each other. In this case, the resistance value between the electrodes 131 and 132 becomes the resistance value of the sensor unit 150.

본 실시예에 따르면, 센서부(150)는 부식성이 있는 금속을 사용하여 제작된다. 센서부(150)는 알루미늄, 아연, 마그네슘 및 이들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함할 수 있으나 이에 국한되지 않는다.According to this embodiment, the sensor unit 150 is manufactured using a corrosive metal. The sensor unit 150 may include one or more selected from the group consisting of aluminum, zinc, magnesium, and alloys thereof, but is not limited thereto.

센서부(150)가 부식성 가스에 노출되는 경우 부식이 쉽게 일어난다. 이 경우, 센서부(150)에 의해 전기적으로 연결된 전극(131, 132) 사이의 저항값은 부식의 정도에 따라 변화한다. 이는 센서부(150)의 부식 정도에 따라 금속으로 이루어진 센서부(150)의 단면적이 감소하고, 단면적의 감소는 센서부(150)의 저항 증가로 연결되기 때문이다. 예를 들어, 센서부(150)가 부식되지 않은 초기 상태에서 전극(131, 132) 사이의 저항이 10Ω이라고 하자. 이후, 센서부(150)가 부식성 가스에 노출되어 부식이 일어난 상태에서 전극(131, 132) 사이의 저항은 100Ω이 될 수 있다. 극단적으로 센서부(150)의 부식 정도가 심한 경우 전극(131, 132) 사이가 단락되어 저항이 무한대가 될 수 있다.Corrosion easily occurs when the sensor unit 150 is exposed to corrosive gas. In this case, the resistance value between the electrodes 131 and 132 electrically connected by the sensor unit 150 changes according to the degree of corrosion. This is because the cross-sectional area of the sensor unit 150 made of metal decreases according to the degree of corrosion of the sensor unit 150, and the decrease in the cross-sectional area is connected to an increase in the resistance of the sensor unit 150. For example, assume that the resistance between the electrodes 131 and 132 is 10 Ω in the initial state where the sensor unit 150 is not corroded. Thereafter, in the state in which the sensor unit 150 is exposed to the corrosive gas and corrosion occurs, the resistance between the electrodes 131 and 132 may be 100Ω. If the degree of corrosion of the sensor unit 150 is extremely high, a short circuit between the electrodes 131 and 132 may result in infinite resistance.

위와 같이 센서부(150)의 부식 정도는 전극(131, 132) 사이의 저항값으로 정량적으로 변환할 수 있다. 다시 말해, 실험적으로 센서부(150)의 부식 정도 및 전극(131, 132) 사이의 저항값의 관계를 데이터화 할 수 있다. 따라서, 센서부(150)의 부식 정도와 전극(131, 132) 사이의 저항값에 관한 데이터를 실험적으로 미리 얻은 후 현재 측정된 전극(131, 132) 사이의 저항값을 실험데이터와 비교하면 현재 센서부(150)의 부식 정도를 알 수 있다.As described above, the degree of corrosion of the sensor unit 150 may be quantitatively converted into resistance values between the electrodes 131 and 132. In other words, the relationship between the degree of corrosion of the sensor unit 150 and the resistance values between the electrodes 131 and 132 may be data. Therefore, after experimentally acquiring data regarding the degree of corrosion of the sensor unit 150 and the resistance values between the electrodes 131 and 132 in advance, the current resistance value between the electrodes 131 and 132 measured is compared with the experimental data. Corrosion degree of the sensor unit 150 can be seen.

센서부(150)는 도 1에 도시된 바와 같이 전극(131, 132) 사이에서 지그재그로 형상으로 배치될 수 있다. 이 경우, 센서부(150)가 부식 가스에 노출되는 면적이 증가하여 센서의 민감도가 향상될 수 있다.The sensor unit 150 may be disposed in a zigzag shape between the electrodes 131 and 132 as shown in FIG. 1. In this case, the area of the sensor unit 150 exposed to the corrosive gas is increased, thereby improving the sensitivity of the sensor.

본 실시예에 따른 부식감지센서(100)의 작동 및 이를 사용한 부식감지방법은 다음과 같다.The operation of the corrosion detection sensor 100 and the corrosion detection method using the same according to the present embodiment are as follows.

본 실시예에 따른 부식감지센서(100)가 측정위치에 배치된다. 측정위치에 배치된 부식감지센서(100)는 부식성 가스에 노출되고, 부식성 가스에 노출된 센서부(150)의 부식이 진행된다. 센서부(150)가 부식되는 과정에서 센서부(150)의 저항이 증가하고, 이에 따라 전극(131, 132) 사이에서 측정되는 저항이 증가한다.Corrosion detection sensor 100 according to the present embodiment is disposed at the measurement position. The corrosion detection sensor 100 disposed at the measurement position is exposed to the corrosive gas, and the corrosion of the sensor unit 150 exposed to the corrosive gas proceeds. In the process of corrosion of the sensor unit 150, the resistance of the sensor unit 150 increases, and accordingly, the resistance measured between the electrodes 131 and 132 increases.

부식감지센서(100)가 부식성 가스에 노출된 후 전극(131, 132) 사이의 저항을 측정하고, 측정된 저항값을 미리 얻은 실험데이터와 비교하면 측정 당시 센서부(150)의 부식 정도를 알 수 있다. 여기서 실험데이터란 실험적으로 센서부(150)의 부식 정도 및 전극(131, 132) 사이의 저항값의 관계를 정리한 데이터를 의미한다.After the corrosion detection sensor 100 is exposed to corrosive gas, the resistance between the electrodes 131 and 132 is measured, and the measured resistance value is compared with the experimental data obtained in advance to determine the degree of corrosion of the sensor unit 150 at the time of measurement. Can be. Here, the experimental data refers to data that summarizes the relationship between the corrosion degree of the sensor unit 150 and the resistance value between the electrodes 131 and 132.

위와 같이 작동하는 본 실시예에 따른 부식감지센서(100)는 전극(131, 132) 사이의 저항을 측정함으로써 부식성 가스에 노출된 센서부(150)의 부식 정도를 직접적으로 확인할 수 있어 부식에 관한 현 상태를 정확하게 파악할 수 있다. 또한, 본 실시예에 따른 부식감지센서(100)는 간단한 구조로 이루어져 있어 저렴한 가격으로 제작 가능하다.Corrosion detection sensor 100 according to the present embodiment operating as described above can directly check the degree of corrosion of the sensor unit 150 exposed to the corrosive gas by measuring the resistance between the electrodes (131, 132) Accurately understand the current state. In addition, the corrosion detection sensor 100 according to the present embodiment is made of a simple structure can be produced at a low price.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 부식감지센서(200)를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 부식감지센서(200)는 기판(210)과, 전극(231, 232, 233, 234)과, 센서부(250)를 포함하여 구성된다. 2 is a view schematically showing a corrosion detection sensor 200 according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 2, the corrosion detection sensor 200 according to the present embodiment includes a substrate 210, electrodes 231, 232, 233, and 234, and a sensor unit 250.

본 실시예에 따른 부식감지센서(200)는 전극의 개수 등에서 앞선 실시예에 따른 부식감지센서(100)와 차이가 있다. 이하 본 실시예를 설명함에 있어서 앞선 실시예와의 차이점을 중심으로 설명한다. 참고로, 본 실시예에 따른 기판(210), 전극(231, 232, 233, 234) 및 센서부(250)는 재질 등의 측면에서 앞선 실시예에 따른 기판(110), 전극(131, 132) 및 센서부(150)와 동일한바, 동일한 내용에 대한 설명은 생략한다.Corrosion detection sensor 200 according to the present embodiment is different from the corrosion detection sensor 100 according to the previous embodiment in the number of electrodes and the like. Hereinafter, the present embodiment will be described focusing on differences from the foregoing embodiment. For reference, the substrate 210, the electrodes 231, 232, 233, and 234 and the sensor unit 250 according to the present exemplary embodiment may be formed of the substrate 110 and the electrodes 131 and 132 in terms of materials and the like. And the same as the sensor unit 150, the description of the same content is omitted.

본 실시예에 따른 부식감지센서(200)는 4개의 전극(231, 232, 233, 234)을 포함하고, 4점 탐침법(4 point probe)을 사용하여 4개의 전극(231, 232, 233, 234)와 전기적으로 연결된 센서부(250)의 저항, 특히 면저항을 측정한다. 여기서 4점 탐침법은 공지된 방법으로 설명을 생략한다.The corrosion detection sensor 200 according to the present embodiment includes four electrodes 231, 232, 233, and 234, and four electrodes 231, 232, 233, using a four point probe. The resistance of the sensor unit 250, which is electrically connected to 234, in particular, the sheet resistance is measured. The four-point probe method is a well-known method and will not be described.

센서부(250)가 부식성 가스에 노출되어 부식되면 면저항이 변하는데 센서부(250)의 부식 정도와 면저항값의 관계를 실험적으로 데이터화할 수 있다. 따라서 센서부(250)의 부식 정도와 전극(231, 232, 233, 234) 사이의 저항값에 관한 데이터를 실험적으로 미리 얻은 후 본 실시예에 따른 부식감지센서(200)를 측정 위치에 배치하고, 전극(231, 232, 233, 234) 사이의 저항값을 측정하여 이를 실험데이터와 비교하면 현재 센서부(250)의 부식 정도를 알 수 있다.When the sensor unit 250 is exposed to the corrosive gas and corroded, the sheet resistance changes. However, the relationship between the degree of corrosion of the sensor unit 250 and the sheet resistance value can be experimentally determined. Therefore, after experimentally acquiring data on the degree of corrosion of the sensor unit 250 and the resistance value between the electrodes 231, 232, 233, and 234 in advance, the corrosion detection sensor 200 according to the present embodiment is disposed at a measurement position. By measuring the resistance value between the electrodes 231, 232, 233, and 234 and comparing it with the experimental data, the degree of corrosion of the current sensor unit 250 can be known.

도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 부식감지센서(300)를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 부식감지센서(300)는 기판(310)과, 전극(331, 332)과, 센서부(350)를 포함하여 구성된다. 본 실시예에 따른 부식감지센서는 전극(331, 332) 사이의 전기용량을 측정하여 부식 정도를 측정한다는 점에서 앞선 실시예에 따른 부식감지센서(100, 200)와 차이가 있다. 이하, 앞선 실시예와의 차이점을 중심으로 본 실시예에 따른 부식감지센서(300)를 설명한다.3 is a view schematically showing a corrosion sensor 300 according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3, the corrosion detection sensor 300 according to the present exemplary embodiment includes a substrate 310, electrodes 331 and 332, and a sensor unit 350. The corrosion detection sensor according to the present embodiment is different from the corrosion detection sensors 100 and 200 according to the previous embodiment in that the corrosion degree is measured by measuring the capacitance between the electrodes 331 and 332. Hereinafter, the corrosion detection sensor 300 according to the present embodiment will be described based on the difference from the previous embodiment.

기판(310) 상에 2개의 전극(331, 332)이 형성된다.Two electrodes 331 and 332 are formed on the substrate 310.

센서부(350)는 전극(331, 332) 중 하나(231)로부터 연장된 제 1 센서부(351)와 전극(331, 332) 중 나머지(332)로부터 연장된 제 2 센서부(352)를 포함한다.The sensor unit 350 may include a first sensor unit 351 extending from one of the electrodes 331 and 332 and a second sensor unit 352 extending from the remaining 332 of the electrodes 331 and 332. Include.

제 1 센서부(351)와 제 2 센서부(352)는 상호 나란하게 배치될 수 있다. 이때, 전극(331, 332) 사이에 전압이 걸리면 제 1 센서부(351)와 제 2 센서부(352)에 각각 양전하와 음전하가 저장되는데, 이 경우 제 1 센서부(351) 및 제 2 센서부(352)는 소위 축전기(capacitor)로 기능한다.The first sensor unit 351 and the second sensor unit 352 may be arranged in parallel with each other. In this case, when a voltage is applied between the electrodes 331 and 332, positive and negative charges are stored in the first sensor unit 351 and the second sensor unit 352, respectively. In this case, the first sensor unit 351 and the second sensor The unit 352 functions as a so-called capacitor.

통상적으로 축전기의 전기용량은 전극의 면적에 비례하는데, 제 1 센서부(351) 및 제 2 센서부(352)가 부식성 가스에 부식되면 그 면적이 감소하여 제 1 센서부(351) 및 제 2 센서부(352)에 의해 형성된 축전기의 전기용량이 감소한다.Typically, the capacitance of the capacitor is proportional to the area of the electrode. When the first sensor part 351 and the second sensor part 352 are corroded by the corrosive gas, the area thereof decreases, so that the first sensor part 351 and the second sensor are reduced. The capacitance of the capacitor formed by the sensor portion 352 is reduced.

제 1 센서부(351) 및 제 2 센서부(352)가 부식성 가스에 노출되어 부식되면 축전기의 전기용량이 변화하는데 제 1 센서부(351) 및 제 2 센서부(352)의 부식 정도와 축전기의 전기용량, 다시 말해 전극(331, 332) 사이의 전기용량의 관계를 실험적으로 데이터화할 수 있다.When the first sensor unit 351 and the second sensor unit 352 are exposed to corrosive gas and corrode, the capacitance of the capacitor changes. The degree of corrosion and the capacitor of the first sensor unit 351 and the second sensor unit 352 are changed. It is possible to empirically data the relationship of capacitance, that is, the relationship between capacitances between the electrodes 331 and 332.

따라서 본 실시예에 따른 부식감지센서(300)를 측정 위치에 배치하고 전극(331, 332) 사이의 전기용량 값을 측정한 후, 이를 위와 같이 실험적으로 얻어진 데이터와 비교하면 현재 센서부(350)의 부식 정도를 정확하게 알 수 있다.Therefore, the corrosion detection sensor 300 according to the present embodiment is disposed at the measurement position and the capacitance value between the electrodes 331 and 332 is measured, and then compared with the experimentally obtained data as described above. The degree of corrosion can be known accurately.

제 1 센서부(351)는 복수로 이루어지고, 복수의 제 1 센서부(351)는 상호 이격되어 배치될 수 있다. 제 2 센서부(352)는 복수로 이루어지고, 복수의 제 2 센서부(352)는 상호 이격되어 배치될 수 있다. 이와 같은 제 1 센서부(351) 및 제 2 센서부(352)의 배치는 축전기가 병렬로 연결된 것처럼 기능한다.The first sensor unit 351 may be formed in plural, and the plurality of first sensor units 351 may be spaced apart from each other. The second sensor unit 352 may be formed in plural, and the plurality of second sensor units 352 may be spaced apart from each other. This arrangement of the first sensor portion 351 and the second sensor portion 352 functions as if the capacitors were connected in parallel.

이상, 본 발명의 실시예들에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, many modifications and changes may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims. The present invention can be variously modified and changed by those skilled in the art, and it is also within the scope of the present invention.

110, 210, 310 : 기판
131, 132, 231, 232, 233, 234, 331, 332 : 전극
150, 250, 350 : 센서부110, 210, 310: Substrate
131, 132, 231, 232, 233, 234, 331, 332: electrode
150, 250, 350: sensor

Claims (7)

기판;
상기 기판 상에 형성된 복수의 전극;
상기 복수의 전극 사이의 전기용량을 측정할 수 있도록 상기 복수의 전극 사이에 형성되고, 부식성이 있는 금속으로 이루어진 센서부를 포함하고,
상기 전극은 2개이고,
상기 센서부는 상기 전극 중 하나로부터 연장된 제 1 센서부와, 상기 전극 중 나머지로부터 연장되고 상기 제 1 센서부와 나란하게 배치된 제 2 센서부를 포함하는 부식감지센서.Board;
A plurality of electrodes formed on the substrate;
A sensor unit formed between the plurality of electrodes to measure capacitance between the plurality of electrodes and formed of corrosive metal,
The electrode is two,
The sensor part includes a first sensor part extending from one of the electrodes, and a second sensor part extending from the other of the electrodes and arranged in parallel with the first sensor part. 제1항에 있어서,
상기 부식성이 있는 금속은 알루미늄, 아연, 마그네슘 및 이들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종을 포함하는 것을 특징으로 하는 부식감지센서.The method of claim 1,
The corrosive metal is a corrosion detection sensor, characterized in that it comprises one selected from the group consisting of aluminum, zinc, magnesium and alloys thereof. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 기판과, 상기 기판 상에 형성된 복수의 전극과, 상기 복수의 전극 사이의 전기용량을 측정할 수 있도록 상기 복수의 전극 사이에 형성되고 부식성이 있는 금속으로 이루어진 센서부를 포함하는 부식감지센서를 측정 위치에 배치하는 단계; 및
상기 전극 사이의 전기용량을 측정하는 단계를 포함하고,
상기 전극은 2개이고,
상기 센서부는 상기 전극 중 하나로부터 연장된 제1 센서부와, 상기 전극 중 나머지로부터 연장되고 상기 제1 센서부와 나란하게 배치된 제2 센서부를 포함하는 부식 감지방법.Measuring a corrosion detection sensor including a substrate, a plurality of electrodes formed on the substrate, and a sensor unit formed between the plurality of electrodes and a corrosive metal so as to measure capacitance between the plurality of electrodes Placing in; And
Measuring capacitance between the electrodes;
The electrode is two,
And the sensor unit includes a first sensor unit extending from one of the electrodes and a second sensor unit extending from the other of the electrodes and arranged in parallel with the first sensor unit.
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