KR101521512B1 - Device for capturing Micro metal dust - Google Patents
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Abstract
미세금속먼지 포집 장치를 개시한다. 상기 미세금속먼지 포집 장치는 PCB 유리기판, 필름 또는 패널을 이송하는 컨베이어 벨트 상부에 구비되어, 상기 PCB 유리기판, 필름 또는 패널 상에 잔존하는 금속 이물질이 자력을 통해 일면에 흡착시키는 미세금속먼지 포집 장치로서, 상기 컨베이어 벨트의 상부에 위치하며, 비자성체로 제작된 블록형 케이스(110); 상기 블록형 케이스(110)의 내부에 구비된 커버부재(120); 상기 커버부재(120)의 내부 하단면에 위치하는 자기폐회로(130); 및 상기 커버부재(120) 내부에 삽입되되, 수평방향으로 서로 이격된 상태로 상기 자기폐회로(130) 상부에 위치하는 적어도 2개 이상의 자석모듈들을 포함하고, 상기 적어도 2개 이상의 자석모듈들 각각은, 적어도 1개 이상의 자석이 높이 방향으로 적층된 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 제공하는 미세금속먼지 포집 장치는 PCB 유리기판, 필름 또는 패널 상에 잔존하는 미세금속먼지를 일정한 자력 통해 균일하게 포집할 수 있다는 이점을 가지며, 또한, 체결부재를 통해 흡착판을 탈,부착이 가능하도록 제작함으로써, 흡착판에 부착된 미세금속먼지 제거를 용이하게 할 수 있어 반영구적으로 사용될 수 있다는 이점을 갖는다.Disclosed is a fine metal dust collecting apparatus. The fine metal dust collecting apparatus is provided on a PCB glass substrate, a film or a conveyor belt for conveying the panel, and is configured to collect fine metal dusts, which are adsorbed on a surface of the PCB glass substrate, An apparatus, comprising: a block-type case (110) disposed on an upper portion of the conveyor belt and made of a non-magnetic material; A cover member 120 provided inside the block-type case 110; A magnetic close circuit 130 located at an inner lower end surface of the cover member 120; And at least two or more magnet modules inserted in the cover member (120) and positioned above the magnetic close circuit (130) while being spaced from each other in a horizontal direction, wherein each of the at least two magnet modules , And at least one or more magnets are stacked in the height direction.
The fine metal dust collecting apparatus provided in the present invention is advantageous in that fine metal dust remaining on a PCB glass substrate, a film or a panel can be uniformly collected through a certain magnetic force, and the attracting plate can be removed, It is possible to easily remove the fine metal dust adhered to the adsorption plate, and thus it can be used semi-permanently.
Description
본 발명은 먼지 포집 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 PCB 유리기판, 필름, 패널 상에 발생된 미세금속먼지를 포집하기 위한 미세금속먼지 포집 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a dust collecting apparatus, and more particularly, to a fine metal dust collecting apparatus for collecting fine metal dust generated on a PCB glass substrate, a film, and a panel.
일반적으로, LCD 도광판, LCD 확산판, 인쇄회로기판(PCB), 2차전지 등의 제조공정 중에 표면에 발생된 미세금속먼지를 제거하기 위하여 진공펌프 또는 롤러 형태의 흡착장치를 통해 미세금속먼지를 제거하고 있다. 이는 불량율을 줄이기 위해 필연적으로 사용할 수 밖에 없다. 예컨대, 현재의 금속먼지제거장치인 롤러형태의 흡착장치의 경우, 연속 가능한 먼지제거 시간은 흡착롤의 최외각에 싸여진 흡착필름의 사용 수명이 짧아 무인자동화가 불가능하고, 진공펌프를 통하여 먼지를 제거는 제거장치의 경우에는 장치의 규모가 크고 유지 비용으로 인하여 소규모 생산업체의 경우 사용하기 어려운 실정이다.Generally, in order to remove fine metal dust generated on the surface during manufacturing process of LCD light guide plate, LCD diffuser plate, printed circuit board (PCB), secondary battery, etc., fine metal dust I have removed. It is inevitable to use it to reduce the defect rate. For example, in the case of a roller type adsorption apparatus, which is a current metal dust removal apparatus, the continuous dust removal time is short because the lifetime of the adsorption film wrapped in the outermost periphery of the adsorption roll is short, In the case of the removal device, it is difficult to use in the case of a small-scale producer due to the large size of the device and the maintenance cost.
이에 본 발명에서는 LCD 도광판, LCD 확산판, 인쇄회로기판(PCB), 2차 전지 의 표면에 발생된 미세금속먼지를 균일하게 제거가능하고, 반영구적으로 사용가능한 미세금속먼지 포집 장치를 제시하고자 한다.
Accordingly, the present invention proposes a fine metal dust collecting apparatus capable of uniformly removing fine metal dust generated on the surface of an LCD light guide plate, an LCD diffuser, a printed circuit board (PCB), and a secondary battery.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 PCB 유리기판, 패널, 필름 중 어느 하나의 제작 공정시에 표면에 발생된 미세금속먼지를 균일한 자력분포를 통해 제거/포집할 수 있는 미세금속먼지 포집 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
The present invention provides a fine metal dust collecting apparatus capable of collecting and collecting fine metal dust generated on a surface of a PCB glass substrate, a panel or a film through a uniform magnetic force distribution .
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 미세금속먼지 포집 장치는 PCB 유리기판, 필름 또는 패널을 이송하는 컨베이어 벨트 상부에 구비되어, 상기 PCB 유리기판, 필름 또는 패널 상에 잔존하는 금속 이물질이 자력을 통해 일면에 흡착시키는 미세금속먼지 포집 장치로서, 상기 컨베이어 벨트의 상부에 위치하며, 비자성체로 제작된 블록형 케이스; 상기 블록형 케이스의 내부에 구비된 커버부재; 상기 커버부재의 내부 하단면에 위치하는 자기폐회로; 및 상기 커버부재 내부에 삽입되되, 수평방향으로 서로 이격된 상태로 상기 자기폐회로 상부에 위치하는 적어도 2개 이상의 자석모듈들을 포함하고, 상기 적어도 2개 이상의 자석모듈들 각각은, 적어도 1개 이상의 자석이 높이 방향으로 적층된 것을 특징으로 한다.
According to an aspect of the present invention, there is provided a fine metal dust collecting apparatus, comprising: a PCB glass substrate, a film or a metal object on a surface of the PCB, A dust collecting device for collecting dust on a surface of the conveyor belt through a magnetic force, the dust collecting device comprising: a block-shaped case disposed on the conveyor belt and made of a non-magnetic material; A cover member provided inside the block-shaped case; A magnetic closed circuit located at an inner bottom surface of the cover member; And at least two or more magnet modules inserted in the cover member and positioned above the magnetic close circuit in a state of being spaced from each other in a horizontal direction, wherein each of the at least two magnet modules includes at least one magnet Are laminated in the height direction.
상기 적어도 2개 이상의 자석모듈들 각각은, 서로 동일한 높이로 제작되되, 인접한 자석모듈과 수직 및 수평방향으로 반대 극성을 갖도록 적층된 적층구조로 형성된 것을 특징으로 한다.
Each of the at least two or more magnet modules is formed to have the same height as the adjacent magnet modules and has a stacked structure laminated so as to have opposite polarities in the vertical and horizontal directions with adjacent magnet modules.
상기 적어도 2개 이상의 자석모듈들을 이격시키기 위한 격벽부재를 더 포함하고, 상기 격벽부재는 비자성체인 것을 특징으로 한다.
Further comprising a partition wall member for separating the at least two or more magnet modules, wherein the partition wall member is a non-magnetic body.
상기 자기폐회로는 자성체로 형성되어, 상기 적어도 2개 이상의 자석모듈들로부터 발산되는 자력을 증가시키기는 것을 특징으로 한다.
Wherein the magnetic circuit is formed of a magnetic body to increase the magnetic force emitted from the at least two or more magnet modules.
상기 블록형 케이스는 상기 커버부재를 수용하는 몸체; 및 상기 몸체 상부와 체결부재(A)를 통해 탈착되는 흡착판을 포함하고, 상기 흡착판은, 비자성체인 것을 특징으로 한다.
The block-type case includes a body for receiving the cover member; And an adsorption plate which is detached through the body and the fastening member (A), wherein the adsorption plate is a non-magnetic substance.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시 예에 제조장치는 청구항 제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 기재된 미세금속먼지 포집 장치를 구비한 것을 특징으로 한다.
According to an aspect of the present invention, there is provided a manufacturing apparatus including the fine metal dust collecting apparatus according to any one of
상기 제조장치는 반도체, LCD 패널, PCB, 2차전지 제조 공정에서 사용되는 것을 특징으로 한다.
The manufacturing apparatus is used in a semiconductor, an LCD panel, a PCB, and a secondary battery manufacturing process.
본 발명에서 제시한 미세금속먼지 포집 장치는 내구에 구비된 N극과 S극을 이격시켜 구성하되, 각각의 자속의 크기를 증가시키기 위하여 동일한 극을 적층형태로 제작함으로써, 균일한 자력분포를 생성할 수 있다. 이러한 구성은 PCB 유리기판, 패널 제작 공정시 발생되는 표면의 미세 금속 먼지를 균일하게 포집할 수 있다는 이점을 제공한다.The fine metal dust collecting apparatus proposed in the present invention is constructed by separating the N poles and the S poles provided in the durability, and in order to increase the size of each magnetic flux, the same poles are formed in a laminated form to generate a uniform magnetic force distribution can do. Such a configuration provides an advantage of uniformly collecting fine metal dust on the surface of the PCB glass substrate and the panel manufacturing process.
또한, 블록형 케이스의 일면에 구비된 미세금속먼지가 포집되는 흡착판을 탈착가능한 구조로 형성함으로써, 필요에 따라 탈착시켜 표면에 부착된 미세금속먼지를 제거할 수 있다는 이점을 갖는다.In addition, the suction plate, which is provided on one surface of the block-shaped case, can be detachably attached to the suction plate, thereby removing the fine metal dust adhered to the surface, if necessary.
또한, 본 발명에서 제공하는 미세금속먼지 포집 장치는 모듈형태로 제작가능하여, 컨베이어 밸트와 결합이 용이하다는 이점을 제공한다.
Further, the fine metal dust collecting apparatus provided in the present invention can be manufactured in the form of a module, thereby providing an advantage that it is easily combined with the conveyor belt.
도 1은 컨베이어 벨트 상에 구비된 본 발명의 미세 금속먼지 포집 장치를 나타낸 예시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 미세 금속먼지 포집 장치의 전체 사시도이다.
도 3a는 도 2에 도시된 미세 금속먼지 포집 장치의 수직 단면도이다.
도 3b는 도 2에 도시된 미세 금속먼지 포집 장치의 다른 수직 단면도이다.
도 4는 미세금속먼지 포집 장치에서 발생되는 수직 방향의 자력분포를 나타낸 그래프이다.
도 5는 종래의 미세금속먼지 포집 장치에서 발생되는 수직 방향의 자력분포를 나타낸 그래프이다.
도 6은 본 발명이 미세금속먼지 포집 장치의 각 지점에서 발생되는 자력의 세기와 높이의 상관관계를 설명하기 위한 예시도이다.
도 7은 본 발명의 미세금속먼지 포집 장치와 종래의 장치에서 발생되는 표면자속밀도의 크기를 설명하기 위한 그래프이다.
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 미세금속먼지 포집 장치와 패널과의 이격거리에 따른 표면자속밀도의 크기를 나타낸 그래프이다.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 미세금속먼지 포집 장치의 각 지점에 따라 패널과의 이격거리에 따른 표면자속밀도의 크기를 나타낸 그래프이다.1 is an exemplary view showing a fine metal dust collecting apparatus of the present invention provided on a conveyor belt.
FIG. 2 is an overall perspective view of the fine metal dust collecting apparatus shown in FIG. 1. FIG.
FIG. 3A is a vertical sectional view of the fine metal dust collecting apparatus shown in FIG. 2. FIG.
3B is another vertical sectional view of the fine metal dust collecting apparatus shown in FIG.
4 is a graph showing the magnetic force distribution in the vertical direction generated in the fine metal dust collecting apparatus.
5 is a graph showing a magnetic force distribution in a vertical direction generated in a conventional fine metal dust collecting apparatus.
6 is an exemplary diagram for explaining the correlation between the intensity and the height of the magnetic force generated at each point of the fine metal dust collecting apparatus of the present invention.
7 is a graph for explaining the magnitude of the surface magnetic flux density generated in the fine metal dust collecting apparatus of the present invention and the conventional apparatus.
8 is a graph showing the magnitude of the surface magnetic flux density according to the separation distance between the fine metal dust collecting apparatus and the panel according to the embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a graph showing the magnitude of the surface magnetic flux density according to the distance from the panel according to each point of the fine metal dust collecting apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예의 상세한 설명은 첨부된 도면들을 참조하여 설명할 것이다. 하기에서 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a detailed description of preferred embodiments of the present invention will be given with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.
본 발명의 개념에 따른 실시 예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서 또는 출원에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예를 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
Embodiments in accordance with the concepts of the present invention can make various changes and have various forms, so that specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in this specification or application. It is to be understood, however, that it is not intended to limit the embodiments according to the concepts of the present invention to the particular forms of disclosure, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, . On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between. Other expressions that describe the relationship between components, such as "between" and "between" or "neighboring to" and "directly adjacent to" should be interpreted as well.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, the terms "comprises ",or" having ", or the like, specify that there is a stated feature, number, step, operation, , Steps, operations, components, parts, or combinations thereof, as a matter of principle.
이하 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 미세 금속먼지 포집 장치를 보다 상세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, a fine metal dust collecting apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
도 1은 컨베이어 벨트 상에 구비된 본 발명의 미세 금속먼지 포집 장치를 나타낸 예시도이다. 1 is an exemplary view showing a fine metal dust collecting apparatus of the present invention provided on a conveyor belt.
도 2는 도 1에 도시된 미세 금속먼지 포집 장치의 전체 사시도이다. FIG. 2 is an overall perspective view of the fine metal dust collecting apparatus shown in FIG. 1. FIG.
도 3은 도 2에 도시된 미세 금속먼지 포집 장치의 수직 단면도이다.
3 is a vertical sectional view of the fine metal dust collecting apparatus shown in FIG.
도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 미세 금속먼지 포집 장치(100)은 PCB 유리기판, 필름 또는 패널을 이송하는 컨베이어 벨트(600) 상부에 구비되어, 상기 PCB 유리기판, 필름 또는 패널(500) 상에 잔존하는 미세 금속먼지를 자력을 통해 일면에 포집하는 블록 구조체로 형성된다.1 and 2, a fine metal
보다 구체적으로, 상기 미세 금속먼지 포집 장치(100)은 블록형 케이스(110), 커버부재(120), 자기폐회로(130), 적어도 2개 이상의 자석모듈들(210, 220)을 포함할 수 있다. More specifically, the fine metal
상기 블록형 케이스(110)는 상기 컨베이어 벨트(600)의 상부에 위치하며, 비자성체 재질, 예컨대, 투명 또는 반투명 아크릴판으로 제작될 수 있다. 상기 블록형 케이스(110)는 몸체(112) 및 흡착판(111)을 포함한다.The block-
상기 몸체(112)는 상기 커버부재(120)를 수용하기 위한 수용공간이 형성된다.The
상기 흡착판(111)은 상기 몸체(112)의 일단에 체결부재(A)를 통해 용이하게 탈착 가능하도록 형성된다. 여기서, 상기 흡착판(111)은 상기 커버부재(120) 내의 자석모듈들에서 제공되는 자력의 손실을 최소화시키기 위하여, 기 설정된 두께, 바람직하게는 1mm 내지 2mm 범위 내의 두께를 갖도록 제작된다.The
또한, 상기 흡착판(111)은 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및 주석(Sn) 중 어느 하나의 물질로 제작될 수 있다. In addition, the attracting
여기서, 본 발명의 실시 예에서는 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및 주석(Sn)만을 예를 들어 설명하였으나, 비자성체 또는 상자성체에 포함되는 물질이라면 모두 가능할 것이다.
Here, in the embodiment of the present invention, only aluminum (Al), copper (Cu), and tin (Sn) have been exemplified. However, any material included in the nonmagnetic or paramagnetic material may be used.
도 3a 내지 도 3b를 참조하면, 상기 커버부재(120)는 내부에 구비된 적어도 2개 이상의 자석모듈들(210, 220)의 부식을 방지하기 위한 것으로, 상기 블록형 케이스(110) 내부에 삽입되며, 내부에 적어도 2개 이상의 자석모듈들(210, 220)을 수용하기 위한 수용공간이 형성된다.3A and 3B, the
여기서, 상기 적어도 2개 이상의 자석모듈들 각각(220, 210)은 상기 커버부재(120) 내부에 삽입되되, 수평방향으로 서로 이격된 상태로 상기 자기폐회로(130) 상부에 위치한다. 상기 적어도 2개 이상의 자석모듈들 각각은, 적어도 1개 이상의 자석이 높이 방향으로 적층된 적층구조로 형성되되, 서로 동일한 높이로 제작되고, 인접한 자석모듈과 수직 및 수평방향으로 반대 극성을 갖는 적층구조일 수 있다.
Each of the at least two
또한, 상기 커버부재(120)는 적어도 2개 이상의 자석모듈들(210, 220) 각각을 이격시키기 위한 격벽부재(미도시)가 구비될 수도 있다.Also, the
여기서, 격벽부재(미도시)의 두께는 2개의 자석모듈 사이에서 발생되는 자속밀도의 크기를 결정하게 되며, 또한, 자속밀도의 크기는 컨베이어 벨트(600) 상에 이송되는 PCB 유리기판, 필름 또는 패널(500)과 상기 미세 금속먼지 포집 장치(100)과의 이격거리에 따라 가변될 수 있다. 보다 상세한 설명은 아래에서 후술하도록 한다.
Here, the thickness of the partition member (not shown) determines the magnitude of the magnetic flux density generated between the two magnet modules, and the magnitude of the magnetic flux density depends on the size of the PCB glass substrate, And may be varied depending on a distance between the
이하에서는 본 발명의 실시 예에 따른 미세금속먼지 포집 장치의 각 지점과 패널과의 이격거리에 따른 표면자속밀도의 변화를 보다 상세하게 설명하도록 한다.
Hereinafter, the change of the surface magnetic flux density according to the distance between the respective points of the fine metal dust collecting apparatus and the panel according to the embodiment of the present invention will be described in more detail.
도 4는 종래의 미세금속먼지 포집 장치에서 발생되는 수직 방향의 자력분포를 나타낸 그래프이다. 도 5는 미세금속먼지 포집 장치에서 발생되는 수직 방향의 자력분포를 나타낸 그래프이다. 4 is a graph showing a magnetic force distribution in a vertical direction generated in a conventional fine metal dust collecting apparatus. 5 is a graph showing the magnetic force distribution in the vertical direction generated in the fine metal dust collecting apparatus.
도 4를 참조하면, 기존의 미세금속먼지 포집 장치는 내부에 구비된 자석모듈 각각이 서로 다른 극성을 갖도록 적층되어 있어, 수직 방향의 자력분포가 주기를 갖는 포물선 형태로 나타나게 되며, 이는 자력분포의 크기 변화에 따라 미세금속먼지의 포집률이 가변됨을 뜻한다.
Referring to FIG. 4, the conventional fine metal dust collecting apparatus is constructed such that the magnet modules provided therein are stacked so as to have different polarities, and the magnetic force distribution in the vertical direction appears as a parabolic shape having a period. It means that the collection rate of the fine metal dust varies depending on the size change.
이에 반해, 먼저, 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 미세금속먼지 포집 장치는 PCB 유리기판, 필름 또는 패널의 진행방향에서도 일정한 수직 방향의 자력 분포가 형성되며, 이러한 균일한 자력분포를 통해 PCB 유리기판, 필름 또는 패널 상에 존재하는 미세금속먼지를 균일하게 포집할 수 있다. 이는 커버부재(120) 내에 구비된 제1 자석모듈(210) 과 제2 자석모듈(220)을 통해 발생되는 자기장의 방향과 패널의 이동방향이 동일하기 때문이다.
5, a fine metal dust collecting apparatus according to an embodiment of the present invention forms a uniform vertical magnetic force distribution in the direction of the PCB glass substrate, the film or the panel, and the uniform magnetic force distribution The fine metal dust present on the PCB glass substrate, film or panel can be uniformly collected. This is because the direction of the magnetic field generated through the
도 6은 본 발명이 미세금속먼지 포집 장치의 각 지점에서 발생되는 자력의 세기와 높이의 상관관계를 설명하기 위한 예시도이다. 6 is an exemplary diagram for explaining the correlation between the intensity and the height of the magnetic force generated at each point of the fine metal dust collecting apparatus of the present invention.
도 7은 본 발명의 미세금속먼지 포집 장치와 종래의 장치에서 발생되는 표면자속밀도의 크기를 설명하기 위한 그래프이다. 7 is a graph for explaining the magnitude of the surface magnetic flux density generated in the fine metal dust collecting apparatus of the present invention and the conventional apparatus.
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 미세금속먼지 포집 장치와 패널과의 이격거리에 따른 표면자속밀도의 크기를 나타낸 그래프이다. 8 is a graph showing the magnitude of the surface magnetic flux density according to the separation distance between the fine metal dust collecting apparatus and the panel according to the embodiment of the present invention.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 미세금속먼지 포집 장치의 각 지점에 따라 패널과의 이격거리에 따른 표면자속밀도의 크기를 나타낸 그래프이다.
FIG. 9 is a graph showing the magnitude of the surface magnetic flux density according to the distance from the panel according to each point of the fine metal dust collecting apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG.
도 6을 참조하면, A 지점은 N 극의 상부지점, B 지점은 N 극과 S극 사이의 상부지점을 나타내고, C 지점은 S 극의 상부지점을 나타내고, A-1, C-1 지점은 A 지점, C 지점의 좌우 가상 지점일 수 있다.6, point A represents the upper point of the N pole, point B represents the upper point between the N pole and the S pole, point C represents the upper point of the S pole, points A-1 and C- A and C, respectively.
참고로, 본 발명에서는 N 극과 S 극 사이의 거리에 따른 표면자속밀도의 변화 추이를 보기 위하여, 폭의 길이가 서로 다른 포집 장치, 예컨대, 300*30*30T(제1 장치), 300*3530T(제2 장치)를 통해 본 발명의 미세금속먼지 포집 장치와 종래의 장치에서 발생되는 표면자속밀도의 크기 비교 및 미세금속먼지 포집 장치와 패널과의 이격거리에 따른 표면자속밀도의 크기 변화 및 미세금속먼지 포집 장치의 각 지점에 따라 패널과의 이격거리에 따른 표면자속밀도의 크기 변화를 설명하고자 한다.
For reference, in the present invention, in order to observe the change in the surface magnetic flux density according to the distance between the N pole and the S pole, a collecting device having a different width, for example, 300 * 30 * 30T (first device) The comparison of the magnitude of the surface magnetic flux density generated in the conventional apparatus and the fine metal dust collecting apparatus of the present invention through the 3530T (the second apparatus), the magnitude of the surface magnetic flux density according to the distance between the fine metal dust collecting apparatus and the panel, The variation of the surface magnetic flux density according to the distance from the panel according to each point of the fine metal dust collecting apparatus will be explained.
도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명에서 제시하는 제1 장치 및 제2 장치는 기존 장치에 비하여 표면자속밀도의 크기가 대체적으로 높게 나옴을 알 수 있다.Referring to FIGS. 6 and 7, it can be seen that the magnitudes of the surface magnetic flux density of the first and second devices of the present invention are generally higher than those of the conventional device.
또한, 도 8을 참조하면, 제1 포집 장치 및 제2 포집 장치는 이격거리의 변화에 따른 표면자속밀도가 거의 일치함을 알 수 있다. 이는 N극과 S극 사이의 이격거리가 일정 거리(예컨대, 5 mm) 이하에서는 표면자속밀도의 변화에 영향을 주지 않음을 나타낸다. Referring to FIG. 8, it can be seen that the surface magnetic flux density of the first collecting device and the second collecting device are substantially the same with the change of the separation distance. This indicates that the distance between the N pole and the S pole does not affect the change of the surface magnetic flux density at a certain distance (for example, 5 mm) or less.
도 9을 참조하면, 도 6에 도시된 각 지점들에서 측정된 표면자속밀도의 크기는 이격거리에 비례하여 감소됨을 알 수 있다.
Referring to FIG. 9, it can be seen that the magnitude of the surface magnetic flux density measured at each point shown in FIG. 6 decreases in proportion to the separation distance.
즉, 본 발명에서 제시한 미세금속먼지 포집 장치는 내구에 구비된 N극과 S극을 이격시켜 구성하되, 각각의 자속의 크기를 증가시키기 위하여 동일한 극을 적층형태로 제작함으로써, 균일한 자력분포를 생성할 수 있다. 이러한 구성은 PCB 유리기판, 패널 제작 공정시 발생되는 표면의 미세 금속 먼지를 균일하게 포집할 수 있다는 이점을 제공한다.That is, the fine metal dust collecting apparatus proposed in the present invention is constructed by separating N poles and S poles provided in the durability, and in order to increase the size of each magnetic flux, Lt; / RTI > Such a configuration provides an advantage of uniformly collecting fine metal dust on the surface of the PCB glass substrate and the panel manufacturing process.
또한, 블록형 케이스의 일면에 구비된 미세금속먼지가 포집되는 흡착판을 탈착가능한 구조로 형성함으로써, 필요에 따라 탈착시켜 표면에 부착된 미세금속먼지를 제거할 수 있다는 이점을 갖는다.In addition, the suction plate, which is provided on one surface of the block-shaped case, can be detachably attached to the suction plate, thereby removing the fine metal dust adhered to the surface, if necessary.
또한, 본 발명에서 제공하는 미세금속먼지 포집 장치는 모듈형태로 제작가능하여, 컨베이어 밸트와 결합이 용이하다는 이점을 제공한다.
Further, the fine metal dust collecting apparatus provided in the present invention can be manufactured in the form of a module, thereby providing an advantage that it is easily combined with the conveyor belt.
이에 더불어, 앞에서 상술한 미세금속먼지 포집 장치는 반도체, LCD 패널, PCB, 2차 전지 제조 공정에서 사용되는 제조 장치와 결합이 가능할 수 있도록 제작된다.
In addition, the above-described fine metal dust collecting apparatus can be combined with a semiconductor, an LCD panel, a PCB, and a manufacturing apparatus used in a secondary battery manufacturing process.
한편, 이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and detail may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention.
100: 미세금속먼지 포집 장치 110: 블록형 케이스
120: 커버부재 130: 자기폐회로
112: 몸체 111: 흡착판
210, 220: 자석모듈 500: PCB 유리기판, 필름 또는 패널 600: 컨베이어 벨트 A: 체결부재100: fine metal dust collecting device 110: block type case
120: cover member 130: magnetic closed loop
112: body 111: suction plate
210, 220: magnet module 500: PCB glass substrate, film or panel 600: conveyor belt A: fastening member
Claims (7)
비자성체로 제작된 블록형 케이스(110);
상기 블록형 케이스(110)의 내부에 구비된 커버부재(120); 및
상기 커버부재(120) 내부에 삽입되되, 수평방향으로 서로 이격된 상태로 위치하는 적어도 2개 이상의 자석모듈들을 포함하고,
상기 적어도 2개 이상의 자석모듈들 각각은,
적어도 1개 이상의 자석이 높이 방향으로 적층되고, 서로 동일한 높이로 제작되되 인접한 자석모듈과 수직 및 수평방향으로 반대 극성을 갖도록 적층된 적층구조로 형성된 것을 특징으로 하는 미세금속먼지 포집 장치.
A fine metal dust collecting apparatus for adsorbing metal foreign matter on one surface by a magnetic force,
A block-type case 110 made of a non-magnetic material;
A cover member 120 provided inside the block-type case 110; And
And at least two magnet modules inserted in the cover member (120) and spaced from each other in a horizontal direction,
Wherein each of the at least two magnet modules comprises:
Wherein at least one or more magnets are stacked in a height direction and are formed to have the same height and have opposite polarities perpendicularly and horizontally to adjacent magnet modules.
상기 커버부재(120)의 내부 하단면에 위치하는 자기폐회로(130)를 더 포함하고,
상기 자석모듈들은 상기 자기폐회로(130) 상부에 위치하는 것을 특징으로 하는 미세금속먼지 포집 장치.
The method according to claim 1,
Further comprising a magnetic close circuit (130) located at an inner lower end surface of the cover member (120)
And the magnet modules are located above the magnetic closed circuit (130).
상기 적어도 2개 이상의 자석모듈들(210,220)을 이격시키기 위한 격벽부재를 더 포함하고,
상기 격벽부재는,
비자성체인 것을 특징으로 하는 미세금속먼지 포집 장치.
The method according to claim 1,
Further comprising a partition member for separating the at least two magnet modules (210, 220)
Wherein,
Wherein the non-magnetic material is a non-magnetic material.
상기 자기폐회로(130)는,
자성체로 형성되어, 상기 적어도 2개 이상의 자석모듈들로부터 발산되는 자력을 증가시키는 것을 특징으로 하는 미세금속먼지 포집 장치.
3. The method of claim 2,
The magnetic closed circuit (130)
Wherein the magnet is formed of a magnetic material to increase the magnetic force emitted from the at least two or more magnet modules.
상기 블록형 케이스(110)는,
상기 커버부재(120)를 수용하는 몸체(112); 및
상기 몸체(112) 상부와 체결부재(A)를 통해 탈착되는 흡착판(111)을 포함하고,
상기 흡착판(111)은,
비자성체인 것을 특징으로 하는 미세금속먼지 포집 장치.
The method according to claim 1,
The block-type case 110 includes:
A body 112 for receiving the cover member 120; And
And a suction plate (111) which is detached from the upper part of the body (112) and through the fastening member (A)
The adsorption plate (111)
Wherein the non-magnetic material is a non-magnetic material.
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