KR101512136B1 - The apparatus for attaching the sustrates - Google Patents
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Abstract
본 발명은 합착되는 상하 양 기판 사이의 간격이 모든 부분에 대하여 일정하게 유지되어 합착기판 사이의 간격 균일성이 확보되는 기판 합착 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 기판 합착 장치는, 상부 기판과 하부 기판을 합착하는 기판 합착 장치에 있어서, 상부 기판을 흡착하는 상부 기판 흡착 플레이트; 상기 상부 기판 흡착 플레이트를 구동시키는 상부 플레이트 구동부; 상기 상부 기판 흡착 플레이트를 상기 상부 플레이트 구동부에 결합하되, 상기 상부 기판 흡착 플레이트가 상기 상부 플레이트 구동부에 대하여 탄성적으로 평행도가 변화될 수 있도록 결합시키는 제1 평행도유지 탄성결합부; 상기 상부 기판 흡착 플레이트에서 외측으로 연장되어 다수개가 형성되는 상부 간격 유지 지그; 하부 기판을 흡착하는 하부 기판 흡착 플레이트; 상기 하부 기판 흡착 플레이트를 구동시키는 하부 플레이트 구동부; 상기 하부 기판 흡착 플레이트를 상기 하부 플레이트 구동부에 결합하되, 상기 하부 기판 흡착 플레이트가 상기 하부 플레이트 구동부에 대하여 탄성적으로 평행도가 변화될 수 있도록 결합시키는 제2 평행도유지 탄성결합부; 상기 하부 기판 흡착 플레이트에서 외측으로 연장되어 다수개가 형성되는 하부 간격 유지 지그; 상기 상부 간격 유지 지그 또는 상기 하부 간격 유지 지그 중 적어도 어느 일측에 설치되며, 상기 상부 기판 흡착 플레이트와 하부 기판 흡착 플레이트 사이의 간격을 유지하는 간격 유지 부재;를 포함하는 것이 바람직하다. The present invention relates to a substrate adhering apparatus in which the gap between both upper and lower substrates is constantly maintained with respect to all portions to ensure uniformity in spacing between adhering substrates, 1. A substrate adhering apparatus for adhering a substrate, comprising: an upper substrate adsorption plate for adsorbing an upper substrate; An upper plate driving unit for driving the upper substrate attracting plate; A first parallelism maintaining elastic coupling unit coupling the upper substrate suction plate to the upper plate driving unit and coupling the upper substrate suction plate such that the upper substrate suction plate is elastically changed in parallelism with the upper plate driving unit; An upper gap holding jig extending outward from the upper substrate attracting plate to form a plurality of upper jig; A lower substrate adsorption plate for adsorbing the lower substrate; A lower plate driving unit for driving the lower substrate adsorption plate; A second parallelism holding elastic coupling unit coupling the lower substrate suction plate to the lower plate driving unit and coupling the lower substrate suction plate such that the lower substrate suction plate is elastically changed in parallel with the lower plate driving unit; A lower space holding jig extending outward from the lower substrate adsorption plate and formed with a plurality of holes; And a gap holding member provided at least at one side of the upper gap holding jig or the lower gap holding jig and maintaining a gap between the upper substrate attracting plate and the lower substrate attracting plate.
Description
본 발명은 기판 합착 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 합착되는 상하 양 기판 사이의 간격이 모든 부분에 대하여 일정하게 유지되어 합착기판 사이의 간격 균일성이 확보되는 기판 합착 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a substrate cementing apparatus, and more particularly, to a substrate cementing apparatus in which the gap between both upper and lower substrates is constantly maintained with respect to all portions to ensure uniformity of spacing between the cementing substrates.
최근에는 사용의 편리성 때문에, 휴대폰, 태블릿 PC, 노트북 등 모바일 통신 기기와 내비게이션 등의 전자 기기에서 터치스크린 패널(Touch Screen Panel)을 널리 사용하고 있다. In recent years, for convenience of use, a touch screen panel is widely used in mobile communication devices such as mobile phones, tablet PCs, and notebooks, and electronic devices such as navigation devices.
이러한 터치스크린패널은 크게 저항막 방식(Resitive Type) 터치패널과, 정전용략 방식(Capacitive Type) 및 인프라레드형(Infrared Type) 터치패널 등으로 구분된다. Such a touch screen panel is largely divided into a resistive type touch panel, a capacitive type, and an infrared type touch panel.
이 중에서 최근 가장 널리 사용되는 방식인 정전용량 방식 터치스크린 패널은 투명전극이 형성된 필름 또는 패널을 액정패널 상에 설치하고 투명전극에 균일한 전기장이 생성되도록 필름 또는 패널의 각 모서리 또는 코너에 전압을 인가하여, 펜 또는 손가락 등의 입력 수단을 통해 어느 한 지점을 터치하면 전압 강하(Voltage Drop)가 발생되도록 하여 위치 좌표를 찾는 방식이다. Among these, a capacitive touch screen panel, which is the most widely used method, has a structure in which a film or a panel formed with a transparent electrode is mounted on a liquid crystal panel and a voltage is applied to each corner or corner of the film or panel so that a uniform electric field is generated on the transparent electrode A voltage drop is generated by touching a point through an input means such as a pen or a finger to find a position coordinate.
특히, 최근에는 터치스크린 패널 표면의 내구성 확보 및 보호를 위하여 강화유리로 이루어진 윈도우 글래스(window glass) 도는 커버글래스를 터치스크린 패널 또는 디스플레이 패널 전면에 설치하는 구조가 많이 사용되고 있다. In recent years, in order to secure and protect the durability of the surface of the touch screen panel, a window glass made of tempered glass or a structure for installing the cover glass on the entire surface of the touch screen panel or the display panel is widely used.
이러한 구조의 터치스크린 패널의 제조 과정에서는 윈도우 글래스를 터치스크린 패널 전면에 안정적으로 접착하는 과정을 필연적으로 수행하게 된다. 윈도우 글래스를 터치스크린 패널 전면에 접착하는 방법 중에는 상기 터치스크린 패널 전면에 합착용 레진을 도포하고 그 상부에 윈도우 글래스를 밀착시킨 상태에서 자외선을 조사하여 터치스크린 패널과 윈도우 글래스를 접착하는 방법이 널리 사용되고 있다. In the manufacturing process of the touch screen panel having such a structure, a process of stably bonding the window glass to the entire surface of the touch screen panel is inevitably performed. As a method of bonding the window glass to the front surface of the touch screen panel, a method of applying a combination resin on the front surface of the touch screen panel and irradiating ultraviolet rays in a state in which the window glass is in close contact with the top surface, .
레진을 이용한 패널 합착 공정에서는 패널 또는 윈도우 글래스 전면에 합착용 레진을 일정한 형태로 도포하기 전에, 레진이 도포될 영역을 미리 확정하고 이후에 도포된 합착용 레진이 그 영역을 벗어나지 않도록 한정하는 일종의 댐을 형성하는 직사각형 형상의 댐라인이 패널 또는 윈도우 글래스 표면에 형성하는 방법이 있다. In a panel laminating process using a resin, a certain kind of dam is used to confine the area to be coated with the resin before application of the combined resin to the entire surface of the panel or window glass in advance, Is formed on the surface of the panel or the window glass.
그런데 이러한 댐라인을 형성하는 방법은 공정 자체가 복잡하고 불량이 많이 발생하는 문제점이 있다. 따라서 최근에는 댐라인을 형성하지 않고, 패널과 윈도우 글래스의 측면에서 자외선을 조사하여 상기 패널 가장자리로 퍼져 나오는 합착용 레진을 경화시켜 레진 자체가 상기 패널 외부로 밀려나오지 않게 하면서 합착하는 공법이 소개되고 있다. However, the method of forming such a dam line has a problem that the process itself is complicated and a lot of defects occur. Recently, there has been introduced a method of curing a joining resin which is irradiated with ultraviolet rays from the side of a panel and a window glass and which spreads to the edge of the panel without forming a dam line so that the resin itself is prevented from being pushed out of the panel have.
이렇게 하나의 패널 또는 기판 상에 다른 기판을 합착하는 과정에서 합착되는 양 기판 사이의 간격이 모든 부분에 대해서 일정하게 유지되는 간격 균일성(uniformity)의 확보는 매우 중요하다. 간격 균일성이 확보되어야만, 합착된 기판의 모든 부분에 대하여 동일한 광학적 특성 또는 디스플레이 특성을 확보할 수 있으며, 불량 발생을 방지할 수 있기 때문이다. It is very important to ensure the uniformity of the spacing in which the interval between both substrates to be bonded together in a process of attaching the other substrates on one panel or substrate is kept constant with respect to all the parts. The same optical or display characteristics can be ensured for all parts of the bonded substrate and the occurrence of defects can be prevented.
따라서 기판의 합착 과정에서 간격 균일성을 확보하기 위한 다양한 방법이 제시되고 있지만, 그 과정이 복잡하고 오차 발생가능성을 내포하고 있어서 합착되는 양 기판 사이의 간격 균일성을 확실하게 확보할 수 있는 기술의 개발이 절실하게 요구되고 있다. Accordingly, various methods for securing the uniformity of spacing in the process of attaching the substrates have been proposed. However, since the process is complicated and there is a possibility of occurrence of errors, Development is urgently required.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 구동 과정에서 오류 발생가능성이 없는 기구적 구조를 사용하여 합착되는 양 기판 사이의 간격 균일성을 확실하게 확보할 수 있는 기판 합착 장치를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a substrate adhering apparatus capable of reliably ensuring uniformity of spacing between both substrates to be adhered by using a mechanical structure which is free from the occurrence of errors in the driving process.
전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 합착 장치는, 상부 기판과 하부 기판을 합착하는 기판 합착 장치에 있어서, 상부 기판을 흡착하는 상부 기판 흡착 플레이트; 상기 상부 기판 흡착 플레이트를 구동시키는 상부 플레이트 구동부; 상기 상부 기판 흡착 플레이트를 상기 상부 플레이트 구동부에 결합하되, 상기 상부 기판 흡착 플레이트가 합착 압력에 따라 상기 상부 플레이트 구동부에 대하여 탄성적으로 평행도가 변화될 수 있도록 결합시키는 제1 평행도유지 탄성결합부; 상기 상부 기판 흡착 플레이트에서 외측으로 연장되어 다수개가 형성되는 상부 간격 유지 지그; 하부 기판을 흡착하는 하부 기판 흡착 플레이트; 상기 하부 기판 흡착 플레이트를 구동시키는 하부 플레이트 구동부; 상기 하부 기판 흡착 플레이트를 상기 하부 플레이트 구동부에 결합하되, 상기 하부 기판 흡착 플레이트가 합착 압력에 따라 상기 하부 플레이트 구동부에 대하여 탄성적으로 평행도가 변화될 수 있도록 결합시키는 제2 평행도유지 탄성결합부; 상기 하부 기판 흡착 플레이트에서 외측으로 연장되어 다수개가 형성되는 하부 간격 유지 지그; 상기 상부 간격 유지 지그 또는 상기 하부 간격 유지 지그 중 적어도 어느 일측에 설치되며, 상기 상부 기판 흡착 플레이트와 하부 기판 흡착 플레이트 사이의 간격을 유지하는 간격 유지 부재;를 포함하는 것이 바람직하다. According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate adhering apparatus for adhering an upper substrate and a lower substrate, the apparatus comprising: an upper substrate adsorption plate for adsorbing an upper substrate; An upper plate driving unit for driving the upper substrate attracting plate; A first parallelism maintaining elastic coupling unit coupling the upper substrate suction plate to the upper plate driving unit and coupling the upper substrate suction plate such that the upper substrate suction plate can be elastically changed in parallelism with the upper plate driving unit according to the bonding pressure; An upper gap holding jig extending outward from the upper substrate attracting plate to form a plurality of upper jig; A lower substrate adsorption plate for adsorbing the lower substrate; A lower plate driving unit for driving the lower substrate adsorption plate; A second parallelism maintaining elastic coupling unit coupling the lower substrate adsorption plate to the lower plate driving unit and coupling the lower substrate adsorption plate such that the lower substrate adsorption plate can be elastically changed in parallelism with the lower plate driving unit according to the adhesion pressure; A lower space holding jig extending outward from the lower substrate adsorption plate and formed with a plurality of holes; And a gap holding member provided at least at one side of the upper gap holding jig or the lower gap holding jig and maintaining a gap between the upper substrate attracting plate and the lower substrate attracting plate.
본 발명에서, 상기 평행도유지 탄성결합부는, 상기 상부 기판 흡착 플레이트의 중앙부를 상기 상부 플레이트 구동부의 중앙부에 자유회동가능하게 결합시키는 자유회동 결합부; 상기 상부 기판 흡착 플레이트의 가장자리부의 다수 지점에 각각 설치되며, 상기 상부 기판 흡착 플레이트를 상기 상부 플레이트 구동부에 탄성적으로 결합시켜 평행도를 유지하는 다수개의 탄성 결합부;를 포함하는 것이 바람직하다. In the present invention, the parallelism maintaining elastic coupling unit may include a free rotation coupling unit that freely rotatably couples the center portion of the upper substrate attracting plate to the central portion of the upper plate driving unit; And a plurality of elastic engaging portions provided at a plurality of positions of the edge portions of the upper substrate attracting plate and elastically coupling the upper substrate attracting plate to the upper plate driving portion to maintain parallelism.
한편 본 발명에서 상기 탄성 결합부는, 공압 실린더, 고무 소재, 스프링 중 어느 하나인 것이 바람직하다. In the present invention, it is preferable that the elastic coupling portion is any one of a pneumatic cylinder, a rubber material, and a spring.
그리고 상기 자유회동 결합부는 360° 자유 회동이 가능한 플로팅 볼(floating ball) 또는 플로팅 조인트(floating joint)인 것이 바람직하다.
The free-rotation coupling portion may be a floating ball or a floating joint capable of 360 ° free rotation.
본 발명의 기판 합착 장치에 따르면 오류 발생가능성이 없는 단순한 기구적 구조를 이용하여 상부 기판과 하부 기판 사이의 간격 균일도를 맞추는 구조이므로, 공정 시간을 단축할 수 있으며, 합착 불량 발생 가능성을 대폭 낮출 수 있는 장점이 있다. According to the substrate cementing apparatus of the present invention, since the uniformity of the gap between the upper substrate and the lower substrate can be matched by using a simple mechanical structure without any possibility of error, the process time can be shortened, There is an advantage.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치의 구조를 도시하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 하부 기판 흡착 플레이트의 구조를 도시하는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 합착 장치의 구조를 도시하는 도면이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a diagram showing the structure of a substrate laminating apparatus according to an embodiment of the present invention; Fig.
2 is a plan view showing a structure of a lower substrate adsorption plate according to an embodiment of the present invention.
3 is a view showing the structure of a substrate laminating apparatus according to another embodiment of the present invention.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예들을 상세하게 설명한다.
Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
< 실시예 1 >≪ Example 1 >
본 실시예에 따른 기판 합착 장치(100)는, 일반적인 기판 합착 장치의 구성요소들을 그대로 포함한다. 다만, 도 1에 도시된 바와 같이, 상부 기판 흡착 플레이트(110), 상부 플레이트 구동부(120), 제1 평행도유지 탄성결합부(130) 및 상부 간격 유지 지그(140)가 상이하며, 하부 기판 흡착 플레이트(150), 하부 플레이트 구동부(160), 제2 평행도유지 탄성결합부(170) 및 하부 간격 유지 지그(180)가 일반적인 기판 합착 장치와 상이하다. 따라서 전술한 상이한 구성요소들을 중심으로 설명하며, 일반적인 기판 합착 장치의 구성요소들과 동일한 구성요소들에 대한 설명은 생략한다. The substrate sticking
먼저 상기 상부 기판 흡착 플레이트(110)는 합착 대상이 되는 상부 기판(1)을 흡착한 상태에서 하부 기판(2)에 접근시켜 양 기판을 합착시키는 구성요소이다. 따라서 상기 상부 기판 흡착 플레이트(110)에는 진공 흡입공(도면에 미도시) 등의 상부 기판 배면을 흡착할 수 있는 흡착수단이 구비된다. First, the upper
그리고 상기 상부 기판 흡착 플레이트(110)는 상기 상부 기판(1)을 충분히 흡착할 수 있을 정도의 면적을 가지는 플레이트로 구성된다. 이때 상기 상부 기판 흡착 플레이트(110)의 가장자리 외곽으로는 도 2에 도시된 바와 같이, 후술하는 상부 간격 유지 지그(140)가 다수개 형성된다. The upper
한편 본 실시예에서 상기 상부 기판 흡착 플레이트(110)는 상기 상부 플레이트 구동부(120)에 결합된 상태로 상하 또는 수평 방향으로 이동하면서 기판 합착 공정을 진행한다. 이때 본 실시예에서는 상기 상부 기판 흡착 플레이트(110)가 상기 상부 플레이트 구동부(120)에 제1 평행도유지 탄성결합부(130)에 의하여 결합된다. Meanwhile, in the present embodiment, the upper
다음으로 상기 상부 플레이트 구동부(120)는 전술한 바와 같이, 상기 상부 기판 흡착 플레이트(110)와 결합되어 상기 상부 기판 흡착 플레이트(110)를 상하 방향 또는 수평 방향으로 구동시키는 구성요소이다. Next, the upper
다음으로 상기 제1 평행도유지 탄성 결합부(130)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 상부 기판 흡착 플레이트(110)를 상기 상부 플레이트 구동부(120)에 결합하되, 상기 상부 기판 흡착 플레이트(110)가 상기 상부 플레이트 구동부(120)에 대하여 탄성적으로 평행도가 변화될 수 있도록 결합시키는 구성요소이다. 따라서 본 실시예에서는 상기 제1 평행도유지 탄성결합부(130)를 구체적으로 도 1에 도시된 바와 같이, 자유회동 결합부(131)와 탄성 결합부(135)로 구성한다. 1, the first parallelism-maintaining
먼저 상기 자유회동 결합부(131)는 상기 상부 기판 흡착 플레이트(110)의 중앙부를 상기 상부 플레이트 구동부(120)의 중앙부에 360°자유회동가능하게 결합시키는 구성요소이다. 이를 위한 상기 자유회동 결합부(131)의 구조는 다양하게 변화될 수 있으며, 예를 들어 도 1에 도시된 바와 같이, 플로팅 볼(floating ball)로 구성될 수 있다. 상기 플로팅 볼(131)은 상부 기판 흡착 플레이트(110)와 상부 플레이트 구동부(120) 사이에 형성되는 설치홈에 설치되되, 상부 기판 흡착 플레이트(110)와도 곡면(133)으로 접촉되고, 상부 플레이트 구동부(120)와도 곡면(132)으로 접촉되어 자유회동이 가능한 볼 구조를 가진다. The free-
다음으로 상기 탄성 결합부(135)는 도 1에 도시된 바와 같이, 다수개가 구비된다. 구체적으로 상기 탄성 결합부(135)는, 상기 상부 기판 흡착 플레이트(110)의 가장자리부의 다수 지점에 각각 설치되며, 상기 상부 기판 흡착 플레이트(110)를 상기 상부 플레이트 구동부(120)에 탄성적으로 결합시키는 구성요소이다. 상기 탄성 결합부(135)는 상부 기판 흡착 플레이트(110)와 상부 플레이트 구동부(120)를 탄성적으로 지지하면서 결합시키는 다양한 구조를 가질 수 있으며, 예를 들어 도 1에 도시된 바와 같이, 볼 플런저(ball plunger) 구조를 가질 수 있다. 또한 상기 탄성결합부는, 공압 실린더, 고무 소재, 스프링 중 어느 하나로 구성될 수도 있다. Next, as shown in FIG. 1, a plurality of the
다음으로 상기 상부 간격 유지 지그(140)는 상기 상부 기판 흡착 플레이트(110)에서 외측으로 연장되어 다수개가 형성되며, 하부 간격 유지 지그(180)와 대향되는 위치에 형성된다. 따라서 상기 상부 기판 흡착 플레이트(110)와 하부 기판 흡착 플레이트(150)가 접근하면 상기 상부 간격 유지 지그(140)와 하부 간격 유지 지그(180)도 접근하게 된다. 이때 상기 상부 간격 유지 지그(140)와 하부 간격 유지 지그(180) 사이에 개재되는 간격 유지 부재(190)에 의하여 다수개의 간격 유지 지그 사이의 간격이 모두 동일하게 유지되고, 이 간격이 상기 상부 기판(1)과 하부 기판(2) 사이의 간격으로 유지되어 양 기판 사이의 간격 균일도(uniformity)가 확보되는 것이다. The upper
본 실시예에서 상기 상부 간격 유지 지그(140)는 상기 상부 기판 흡착 플레이트(110)와 일체로 형성되는 것이 바람직하며, 상기 상부 기판 흡착 플레이트(110)의 하면과 동일한 높이의 하면을 가지는 것이 바람직하다. In this embodiment, the upper
다음으로 상기 하부 기판 흡착 플레이트(150)는 도 1에 도시된 바와 같이, 하부 기판(2)을 흡착 고정하는 구성요소이다. 이때 상기 하부 기판(2) 상에는 합착용 레진(R)이 도포된 상태일 수 있다. 본 실시예에서 상기 하부 기판 흡착 플레이트(150)도 상부 기판 흡착 플레이트(110)와 동일한 구조로 하부 플레이트 구동부(160)에 결합된다. Next, the lower
다음으로 상기 하부 플레이트 구동부(160)는, 상기 하부 기판 흡착 플레이트(150)를 상하 방향 또는 수평 방향으로 구동시키는 구성요소로서, 합착 과정에서 하부 기판 흡착 플레이트(150)를 고정시키는 역할도 한다. The lower
다음으로 상기 제2 평행도 유지 탄성 결합부(170)는, 상기 하부 기판 흡착 플레이트(150)를 상기 하부 플레이트 구동부(160)에 결합하되, 상기 하부 기판 흡착 플레이트(150)가 상기 하부 플레이트 구동부(160)에 대하여 탄성적으로 평행도가 변화될 수 있도록 결합시키는 구성요소이다. 상기 제2 평행도유지 탄성결합부(170)는 구체적으로 상기 제1 평행도 유지 탄성결합부(130)의 구조와 실질적으로 동일한 구조를 가질 수 있다. 따라서 그에 대한 상세한 설명은 생략한다. The second parallelism maintaining
다음으로 상기 하부 간격 유지 지그(180)는 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 상기 하부 기판 흡착 플레이트(150)에서 외측으로 연장되어 다수개가 형성되며, 상기 상부 간격 유지 지그(140)와 대향되는 위치에 형성된다. 1 and 2, the lower space-
그리고 상기 간격 유지 부재(190)는 상기 상부 간격 유지 지그(140) 또는 하부 간격 유지 지그(180) 중 적어도 어느 일측에 설치되며, 상기 상부 기판 흡착 플레이트(110)와 하부 기판 흡착 플레이트(150) 사이의 간격을 유지하는 구성요소이다. 상기 간격 유지 부재(190)의 두께는 미리 계산된 상기 상부 기판(1)과 하부 기판(2) 사이의 간격을 유지할 수 있는 값으로 형성되는 것이 바람직하다. The
상기 상부 간격 유지 지그(140)와 하부 간격 유지 지그(180) 사이의 간격은 상기 간격 유지 부재(190)의 두께에 의하여 결정되며, 상부 기판 흡착 플레이트(110)에 흡착되어 있는 상부 기판(1)과 하부 기판 흡착 플레이트(150)에 흡착되어 있는 하부 기판(2) 사이의 간격도 결정되는 것이다. The gap between the upper
따라서 본 실시예에 따른 기판 합착 장치(100)에서는 상기 상부 기판(1)과 하부 기판(2) 사이의 간격 균일도를 맞추기 위하여 별도의 계측 장비와 제어부 및 구동부를 구비할 필요가 없는 것이다. 즉, 매우 간단하게 상부 기판 흡착 플레이트(110)와 하부 기판 흡착 플레이트(120)를 최대한 접근시키면 상부 기판(1)과 하부 기판(2) 사이의 간격 균일도가 맞추어지는 것이다. 따라서 공정 시간이 단축되며, 공정 진행 과정에서 오류가 발생할 가능성이 낮아진다.
Therefore, in the
< 실시예 2 >≪ Example 2 >
한편 본 발명에서는 상기 기판 합착 장치(200)에서 하부 기판 흡착부(250)를 도 3에 도시된 바와 같이, 평행도가 변화되는 구조가 아닌 절대 평행도를 맞추어 고정된 상태를 가지는 구조로 구성할 수도 있다. 즉, 이 경우에는 상기 하부 기판 흡착부(250)의 평행도가 절대 평행에 맞추어 고정된 상태를 유지하고, 상부 기판 흡착 플레이트(210)의 평행도를 상기 하부 기판 흡착부(250)의 평행도에 맞추는 것이다. 이때 상기 하부 기판 흡착부(250)에는 하부 간격 유지 지그(260)가 다수개 형성된다. 그리고 상기 하부 간격 유지지그(260) 상에는 간격 유지 부재(270)가 구비될 수 있다. In the present invention, as shown in FIG. 3, the lower substrate adsorption unit 250 may be structured to have a fixed state by adjusting the absolute parallelism, rather than changing the parallelism, in the
이를 위하여 상기 상부 기판 흡착 플레이트(210), 상부 플레이트 구동부(220), 평행도유지 탄성 결합부(230), 상부 간격 유지 지그(240)가 구비되는 구조를 가지며, 이들의 구체적인 구조는 실시예 1의 그것들과 실질적으로 동일하다. 따라서 이에 대한 반복적인 설명은 생략한다. The upper
이러한 구조를 가지는 기판 합착 장치의 경우 상부 기판(1)을 장착한 상태에서 상부 기판 흡착 플레이트(210)를 하측으로 이동시키면 상기 상부 간격 유지 지그(240)가 간격 유지 부재(270)와 접촉하면서 더이상 하강하지 않고, 상부 기판(1)과 하부 기판(2) 사이의 간격 균일도가 맞추어지는 것이다.
When the upper
본 실시예에서는 하부 기판 흡착부를 절대 평행을 유지하는 구조로 설명하였지만, 상부 기판 흡착부를 절대 평행을 유지하는 구조로 구성하고, 하부 기판 흡착부를 평행도가 변화되는 구조로 구성할 수도 있을 것이다.
In this embodiment, the structure in which the lower substrate adsorption unit maintains the absolute parallelism is described. However, the upper substrate adsorption unit may be configured to maintain absolute parallelism, and the lower substrate adsorption unit may be configured to change the parallelism.
1 : 상부 기판 2 : 하부 기판
100 : 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치
200 : 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 합착 장치1: upper substrate 2: lower substrate
100: A substrate bonding apparatus according to an embodiment of the present invention
200: A substrate bonding apparatus according to another embodiment of the present invention
Claims (4)
상부 기판을 흡착하는 상부 기판 흡착 플레이트;
상기 상부 기판 흡착 플레이트를 구동시키는 상부 플레이트 구동부;
상기 상부 기판 흡착 플레이트를 상기 상부 플레이트 구동부에 결합하되, 상기 상부 기판 흡착 플레이트가 합착 압력에 따라 상기 상부 플레이트 구동부에 대하여 탄성적으로 평행도가 변화될 수 있도록 결합시키는 제1 평행도유지 탄성결합부;
상기 상부 기판 흡착 플레이트에서 외측으로 연장되어 형성되거나 내측에 다수개가 형성되는 상부 간격 유지 지그;
하부 기판을 흡착하는 하부 기판 흡착 플레이트;
상기 하부 기판 흡착 플레이트를 구동시키는 하부 플레이트 구동부;
상기 하부 기판 흡착 플레이트를 상기 하부 플레이트 구동부에 결합하되, 상기 하부 기판 흡착 플레이트가 합착 압력에 따라 상기 하부 플레이트 구동부에 대하여 탄성적으로 평행도가 변화될 수 있도록 결합시키는 제2 평행도유지 탄성결합부;
상기 하부 기판 흡착 플레이트에서 외측으로 연장되어 다수개가 형성되는 하부 간격 유지 지그;
상기 상부 간격 유지 지그 또는 상기 하부 간격 유지 지그 중 적어도 어느 일측에 설치되며, 상기 상부 기판 흡착 플레이트와 하부 기판 흡착 플레이트 사이의 간격을 유지하는 간격 유지 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.A substrate laminating apparatus for laminating an upper substrate and a lower substrate,
An upper substrate adsorption plate for adsorbing the upper substrate;
An upper plate driving unit for driving the upper substrate attracting plate;
A first parallelism maintaining elastic coupling unit coupling the upper substrate suction plate to the upper plate driving unit and coupling the upper substrate suction plate such that the upper substrate suction plate can be elastically changed in parallelism with the upper plate driving unit according to the bonding pressure;
An upper gap holding jig extending outwardly from the upper substrate attracting plate or having a plurality of inner slots formed therein;
A lower substrate adsorption plate for adsorbing the lower substrate;
A lower plate driving unit for driving the lower substrate adsorption plate;
A second parallelism maintaining elastic coupling unit coupling the lower substrate adsorption plate to the lower plate driving unit and coupling the lower substrate adsorption plate such that the lower substrate adsorption plate can be elastically changed in parallelism with the lower plate driving unit according to the adhesion pressure;
A lower space holding jig extending outward from the lower substrate adsorption plate and formed with a plurality of holes;
And a gap holding member which is provided on at least one of the upper gap holding jig or the lower gap holding jig and which maintains a gap between the upper substrate attracting plate and the lower substrate attracting plate.
상기 상부 기판 흡착 플레이트의 중앙부를 상기 상부 플레이트 구동부의 중앙부에 자유회동가능하게 결합시키는 자유회동 결합부;
상기 상부 기판 흡착 플레이트의 가장자리부의 다수 지점에 각각 설치되며, 상기 상부 기판 흡착 플레이트를 상기 상부 플레이트 구동부에 탄성적으로 결합시켜 평행도를 유지하는 다수개의 탄성 결합부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.2. The connector according to claim 1, wherein the parallelism-
A free rotation coupling unit for freely rotatably coupling a central portion of the upper substrate attracting plate to a central portion of the upper plate driving unit;
And a plurality of elastic engaging portions provided at a plurality of positions of the edge portions of the upper substrate attracting plate and elastically coupling the upper substrate attracting plate to the upper plate driving portion to maintain parallelism, Device.
공압 실린더, 고무 소재, 스프링 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.The connector according to claim 2,
Wherein the pneumatic cylinder is a pneumatic cylinder, a rubber material, and a spring.
플로팅 볼(floating ball) 또는 플로팅 조인트(floating joint)인 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.
The portable terminal according to claim 2, wherein the free-
Wherein the substrate is a floating ball or a floating joint.
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